JP2003071254A

JP2003071254A - 分離膜の逆洗方法

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Publication number: JP2003071254A
Application number: JP2001265481A
Authority: JP
Inventors: Masanobu Okata; 政信大方
Original assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority date: 2001-09-03
Filing date: 2001-09-03
Publication date: 2003-03-11
Anticipated expiration: 2021-09-03
Also published as: JP3548736B2

Abstract

(57)【要約】【課題】被処理流体の分離膜を逆洗する際の洗浄効率
を、従来に比して格別に高めることができる分離膜の逆
洗方法を提供する。【解決手段】膜分離装置１０は、筐体１の内部に、複
数の中空糸膜エレメント２が長手方向に並設された膜モ
ジュール２０が設けられたものである。また、筐体１に
は、洗浄用液体Ｍを供給するためのポンプ５が接続さ
れ、且つ、逆洗液Ｍｍを筐体１から排出するための真空
ポンプ４が真空槽６を有する配管を介して接続されてい
る。逆洗の際には、洗浄用液体Ｍを中空糸膜エレメント
２の外部空間Ｓ２に供給した後、予め減圧しておいた真
空槽６の空間部Ｓ６と内部空間Ｓ１とを連通させ、これ
により、内部空間Ｓ１に当接する膜面部において洗浄用
液体Ｍの沸騰状態を生じさせ、その爆噴力によりろ別残
渣としての堆積物を剥離除去する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被処理流体を膜分
離する分離膜の逆洗方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】固形物、粒子状物質等を含む被処理流体
（被処理液、被処理水）の浄化処理、種々の固液分離、
液液分離等には、膜分離によるろ過処理が広く用いられ
ており、ろ過精度（ろ別サイズ）に応じて種々の分離膜
が適用される。分離膜としては、例えば、精密ろ過（Ｍ
Ｆ）膜、限外ろ過（ＵＦ）膜、ナノフィルトレーション
（ＮＦ）膜、逆浸透（ＲＯ）膜等が挙げられる。

【０００３】このような膜分離では、その膜分離性能つ
まりろ過性能を長期にわたって良好に維持すべく、分離
膜表面に付着又は堆積したろ別残渣である固形分等が適
宜洗浄される。近年、浄化処理においては、処理済液
（浄水等）の水質の更なる向上が望まれており、これに
対応すべく、分離膜又は膜モジュール全体のろ過抵抗を
十分に低く保持してろ過性能を良好に維持するため、膜
洗浄の重要性が一層高まっている。

【０００４】ところで、これらの分離膜の性状・形状
は、用途に応じて多岐にわたり、特に、大量の被処理流
体を生物処理しながら継続的に膜分離するような浄化処
理では、例えば、複数の膜エレメントが集合配置された
膜モジュールが多段に設けられることが多い。特に、分
離膜の形態として中空糸膜を用いたものは、設備構成が
簡便であり、容積効率が高く、操作性に優れる等の観点
から、種々の固液分離、液液分離、気液分離に多用され
ている。

【０００５】このような中空糸膜は、通常、中空糸状の
膜エレメントが多数束ねられて中空糸膜モジュールとし
て用いられ、ろ過方式としては、被処理流体が中空糸の
内側から供給される内圧式、及び、被処理流体が中空糸
の外側から供給される外圧式がある。膜洗浄方法として
は、液体（洗浄液）や気体による逆洗が一般的である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、中空糸膜モジ
ュールを用いた膜分離装置や膜ろ過器に対する一般的な
逆洗による膜洗浄では、上述したような更なる洗浄効果
の向上を十分に達成することが困難な場合がある。特
に、ろ別サイズの極小化に応じて膜面部の微細孔径がよ
り小さいものを用いると、固形分等のろ別残渣による微
細孔の閉塞が顕著となり、このため、殊にろ過精度の高
い機能膜を中空糸膜として使用する際の洗浄効率を一層
高めることが切望されている。

【０００７】そこで、本発明は、このような事情に鑑み
てなされたものであり、被処理流体の分離膜を逆洗する
際に、その洗浄効率を従来に比して格別に高めることが
できる分離膜の逆洗方法を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明による分離膜の逆洗方法は、被処理流体を膜
分離する方法であって、分離膜に対して被処理流体の流
通方向における透過側から洗浄用液体を供給し、分離膜
に対して被処理流体の流通方向における非透過側が所定
圧力となるように減圧することにより、非透過側におけ
る分離膜の膜面部において洗浄用液体の沸騰状態を生じ
せしめることを特徴とする。

【０００９】ここで、本発明における「分離膜」として
は、逆洗が適用できる分離膜であれば、膜の種類、性
状、形状等は限定されず、分離膜に対して被処理流体の
流通方向における非透過側を減圧する観点から、正圧又
は負圧にて膜分離（膜ろ過）し得る形態で用いられるも
のに好適であり、例えば、好ましくは、膜エレメントが
管状、筒状等を成す中空状のもの、より好ましくは中空
糸膜が挙げられる。

【００１０】また、「非透過側」とは、すなわち分離膜
に対して被処理流体が供給される側をいい、「透過側」
とは、膜分離された被処理流体つまり処理済流体が透過
液として排出される側をいう。具体的には、中空糸膜を
例にとると、膜分離が内圧方式で行われる場合、「非透
過側」とは中空糸膜の内側であるのに対して「透過側」
とは中空糸膜の外側であり、膜分離が外圧方式で行われ
る場合、「非透過側」とは中空糸膜の外側であるのに対
して「透過側」とは中空糸膜の内側である。

【００１１】このような分離膜においては、通常、膜分
離の進行に伴ってその非透過側（被処理流体を供給する
側）の膜面に、固形分等のろ別残渣が付着・堆積し、分
離膜の微細孔が閉塞されてろ過抵抗が増大する。この分
離膜に対し、本発明の逆洗方法を適用し、分離膜に対す
る透過側（処理済流体が排出される側）から洗浄用液体
を供給すると、洗浄用液体が膜分離時の流通方向と逆方
向から分離膜の微細孔内に流入し、微細孔を閉塞してい
る堆積物や上記非透過側の膜面部上の付着物又は堆積物
（以下、まとめて「堆積物」という）と接触する。

【００１２】このとき、分離膜の非透過側が所定圧力と
なるようにその非透過側を減圧すると、微細孔を通って
非透過側の膜面部に達した洗浄用液体の沸騰状態を生じ
せしめることができる。具体的には、非透過側の所定圧
力を洗浄用液体の温度における飽和蒸気圧（以下、単に
「蒸気圧」という）以下の値とすることより、洗浄用液
体の沸騰・気化が起こり、体積膨張による一種の爆噴状
態が生じる。これにより、膜面部上の堆積物が破砕さ
れ、非透過側へ噴出するように膜面部から剥離除去され
る。

【００１３】また、洗浄用液体の種類に応じ、その洗浄
用液体の沸騰状態が生じるように非透過側の減圧量を調
整すると好ましい。洗浄用液体としては、水、アルコー
ル類等の有機溶媒、酸・アルカリ等の無機溶媒等を適宜
選択して種々の濃度等で用いることができ、また、界面
活性剤等の種々の添加剤を添加することができる。洗浄
用液体の種類が異なると、同じ温度でも蒸気圧が異なる
ので、用いる洗浄用液体の種類（性状、濃度等を含む）
に応じて非透過側の減圧量を調整することにより、非透
過側の所定圧力を必要な蒸気圧へと適切に制御すること
ができる。

【００１４】さらに、上記列記した洗浄用液体の中で
は、取扱性、安全性、処理済流体のクロスコンタミネー
ションの防止等の観点より、水又はアルコール類を用い
ることが一層好ましく、特に、分子中の炭素数が比較的
少ないアルコール（低級アルコール）、例えば、メタノ
ール（ＣＨ₃ＯＨ）、エタノール（Ｃ₂Ｈ₅ＯＨ）等を用
いると、同じ温度の水に比して蒸気圧が高く、減圧量が
比較的少なくて済むので、動力コストを低減できる点で
有用である。

【００１５】またさらに、非透過側における膜面部が当
接する第１の空間領域と、第１の空間領域内の第１の圧
力よりも小さい第２の圧力を有する第２の空間領域とを
連通させることにより、非透過側が所定圧力となるよう
に第１の空間領域を減圧すると好適である。

【００１６】こうすれば、第２の空間領域が例えば予め
減圧されて第１の圧力より小さい第２の圧力とされてお
り、この状態で第１の空間領域と第２の空間領域とを連
通させると、第１の空間領域の第１の圧力が急激に降下
する。このとき、第１の空間領域に比して第２の空間領
域の容積を十分に大きくし、及び／又は、第２の圧力を
第１の圧力に比して十分に低い値とすれば、第１の空間
領域の圧力変化がより急峻となる。これにより、第１の
空間領域に当接する膜面部の周囲の圧力を、第１の圧力
（例えば常圧）から洗浄用液体の蒸気圧まで瞬時に低下
させることができ、膜面部における洗浄用液体の爆噴状
態を短時間で且つ強力に生起させ得る。よって、膜面部
上の付着物や体積物の剥離除去効果が一層高められる。

【００１７】ここで、本発明による分離膜の逆洗方法を
有効に実施するための装置としては、例えば、被処理流
体を膜分離する分離膜の逆洗装置であって、分離膜に対
して被処理流体の流通方向における透過側に接続された
洗浄用液体の供給部と、分離膜に対して被処理流体の流
通方向における非透過側に接続され、且つ、非透過側が
所定圧力となるように非透過側を減圧する減圧部とを備
えるものが挙げられる。より具体的には、減圧部が、非
透過側において分離膜の膜面部が当接する第１の空間領
域に接続されており、且つ、第１の空間領域内の第１の
圧力よりも小さい第２の圧力を有する第２の空間領域を
含む容器を備えるものであると好適である。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
詳細に説明する。なお、同一の要素には同一の符号を付
し、重複する説明を省略する。また、上下左右等の位置
関係は、特に断らない限り、図面に示す位置関係に基づ
くものとする。また、図面の寸法比率は、図示の比率に
限られるものではない。

【００１９】図１及び２は、本発明による分離膜の逆洗
方法を実施するための装置の好適な一実施形態の構成を
模式的に示す断面図であるとともに、図１は、その逆洗
装置が設けられた膜分離装置で膜分離処理を行っている
状態を示し、図２は、その逆洗装置によって分離膜の逆
洗を行っている状態を示すものである。

【００２０】同図において、膜分離装置１０は、中空糸
膜による内圧式キャピラリ型の膜分装置であり、筐体１
の内部に、複数の中空糸膜エレメント２（分離膜）が長
手方向に並設された膜モジュール２０が設けられたもの
である。筐体１内の膜モジュール２０の上方及び下方に
は、中空糸膜エレメント２の内部空間Ｓ１（第１の空間
領域、非透過側）と連通するように、それぞれ被処理流
体供給部ＳＩ及び被処理流体排出部ＳＯが画成されてい
る。筐体１の底壁には、被処理流体Ｗが供給される供給
口Ｎ１が設けられ、ポンプ３及びバルブＶ３を有する配
管を通して、被処理流体Ｗが被処理流体供給部ＳＩに導
入される。一方、筐体１の上壁には、中空糸膜エレメン
ト２の膜壁を透過できない被処理流体Ｗが非透過流体Ｗ
ｈとして排出される排出口Ｎ３が設けられている。

【００２１】また、筐体１の側壁には、洗浄用液体Ｍ
（図２参照）が供給される供給口Ｎ４が設けられ、ポン
プ５及びバルブＶ５を有する配管を通して、膜モジュー
ル２０における中空糸膜エレメント２の外部空間Ｓ２
（透過側）に洗浄用液体Ｍが導入される。さらに、筐体
１の側壁には、洗浄用液体Ｍが排出される排出口Ｎ２が
設けられている。この排出口Ｎ２は、外部空間Ｓ２と連
通しており、中空糸膜エレメント２の内部空間Ｓ１から
膜壁を通して外部空間Ｓ２へ透過した被処理流体Ｗが処
理済流体である透過流体Ｗｓ（図１参照）として排出口
Ｎ２から排出されるようにもなっている。

【００２２】また、筐体１の底壁には、被処理流体供給
部ＳＩを介して中空糸膜エレメント２の内部空間Ｓ１と
連通する排出口Ｎ５が設けられている。この排出口Ｎ５
は、中空糸膜エレメント２の外部空間Ｓ２から膜壁を通
して内部空間Ｓ１へ透過した洗浄用液体Ｍ等を逆洗液Ｍ
ｍとして筐体１の外部へ排出するためのものである。さ
らに、排出口Ｎ５には、真空ポンプ４に接続された真空
槽６（容器）とバルブＶ６とを有する配管が接続されて
いる。またさらに、真空槽６は、配管及び被処理流体供
給部ＳＩを介して中空糸膜エレメント２の内部空間Ｓ１
と連通し得る空間部Ｓ６（第２の空間領域）を有してい
る。

【００２３】このように、ポンプ５、バルブＶ５及び供
給口Ｎ４から洗浄用液体Ｍの供給部が構成されており、
真空ポンプ４、バルブＶ６、真空槽６及び排出口Ｎ５か
ら減圧部が構成されている。また、これら供給部及び減
圧部から本発明による分離膜の逆洗装置が構成されてい
る。

【００２４】このように構成された本発明による分離膜
の逆洗装置が設けられた膜分離装置１０を用いた膜分離
処理、及び、本発明による分離膜の逆洗方法の一例につ
いて以下に説明する。まず、排出口Ｎ２，Ｎ３を開放
し、且つ、バルブＶ５，Ｖ６を閉じた状態で、ポンプ３
を運転し、バルブＶ３を所定の開度で開けて被処理流体
Ｗを供給口Ｎ１から被処理流体供給部ＳＩへ導入する
（図１参照）。被処理流体Ｗは、被処理流体供給部ＳＩ
と連通する中空糸膜エレメント２の内部空間Ｓ１内に流
入する。

【００２５】ここで、図３は、図１及び２に示す膜分離
装置１０で膜分離を行っている状態の要部を模式的に示
す断面図である。中空糸膜エレメント２の膜壁２ａには
多数の微細孔Ｐが設けられており、内部空間Ｓ１を流上
する被処理流体Ｗのうち微細孔Ｐを透過した液分は、透
過流体Ｗｓとして外部空間Ｓ２に流出し、排出口Ｎ２を
通して膜分離装置１０の外部へ排出される。排出された
透過流体Ｗｓは、必要に応じて他の処理に供せられる。

【００２６】一方、被処理流体Ｗのうち微細孔Ｐを透過
できない液分や固形分は、内部空間Ｓ１を流上し、最終
的に、非透過流体Ｗｈとして被処理流体排出部ＳＯ及び
排出口Ｎ３を通して膜分離装置１０の外部へ排出され
る。このような膜分離が進行するにつれて、固形分の一
部は、ろ別残渣として膜面部２ｂ上に付着、堆積、又は
沈積し、さらにその一部は微細孔Ｐ内に侵入した状態で
堆積し得る（以下、付着、堆積等した固形分をまとめて
「堆積物Ｒ」という）。こうして膜モジュール２０のろ
過抵抗が増大していく。

【００２７】次に、ろ過抵抗値が予め設定した制限値と
なった時点で、膜分離を一旦中断して逆洗を行う。ま
ず、排出口Ｎ３及びバルブＶ３を閉止し、Ｎ２を開放し
た状態で、ポンプ５を運転する。また、バルブＶ６を閉
じた状態で真空ポンプ４を運転する。このとき、被処理
流体供給部ＳＩ内の被処理流体Ｗを筐体１の外部へ排出
しておく。次いで、真空槽６の空間部Ｓ６内が内部空間
Ｓ１及び被処理流体供給部ＳＩ内の気圧（第１の圧力）
よりも十分に小さい所定の圧力（第２の圧力）となるよ
うに減圧した後、バルブＶ５を開いて洗浄用液体Ｍを外
部空間Ｓ２へ供給する。次に、外部空間Ｓ２が洗浄用液
体Ｍで充填された後、バルブＶ６を開放する。

【００２８】こうすると、真空槽６の空間部Ｓ６と中空
糸膜エレメント２の内部空間Ｓ１とが被処理流体供給部
ＳＩを介して連通される。空間部Ｓ６は先に減圧されて
いるので、内部空間Ｓ１及び被処理流体供給部ＳＩ内の
気体は真空槽６側へ直ちに拡散し、内部空間Ｓ１の内圧
が急激に低下する。ここで、図４は、図１及び２に示す
膜分離装置１０で逆洗を行っている状態の要部を模式的
に示す断面図である。外部空間Ｓ２に充填された洗浄用
液体Ｍは、中空糸膜エレメント２の膜壁２ａの微細孔Ｐ
内に流入し、微細孔Ｐの膜面部２ｂ側を閉塞していた堆
積物Ｒと接触する。さらに、洗浄用液体Ｍは、堆積物Ｒ
内に浸透して内部空間Ｓ１側に流出又は浸出してくる。

【００２９】この状態で、上述の如く、内部空間Ｓ１が
急激に減圧される。このとき、内部空間Ｓ１の圧力が洗
浄用液体Ｍのその温度における蒸気圧以下とされれば、
内部空間Ｓ１内に流入又は浸出した洗浄用液体Ｍが瞬時
に沸騰・気化して急激な体積膨張が生じ、気化した洗浄
用液体Ｍｇの内部空間Ｓ１側への爆噴状態が生起され
る。

【００３０】そして、その噴出力により、堆積物Ｒは破
砕されて内部空間Ｓ１側へ吹き飛ばされ、破砕片（物）
Ｒｓとなり、洗浄用液体Ｍの気液混合物と共に逆洗液Ｍ
ｍとして内部空間Ｓ１内を流下する。この逆洗液Ｍｍ
は、被処理流体供給部ＳＩを通って排出口Ｎ５から真空
槽６へ流入し、更に系外へ排出されて処理される。それ
から、かかる逆洗処理を一定時間継続して膜モジュール
２０のろ過抵抗を本来の値に回復させ、前述した膜分離
手順を再び実施して被処理流体Ｗの膜分離処理を再開す
る。

【００３１】ところで、本発明で使用する洗浄用液体Ｍ
としては、先述したように、水、アルコール類等の有機
溶媒、酸・アルカリ等の無機溶媒等を適宜選択して種々
の濃度等で用いることができ、更に界面活性剤等の種々
の添加剤を添加してもよい。ここで、洗浄用液体Ｍとし
て水を用いた場合、バルブＶ６を開くことにより、内部
空間Ｓ１の圧力が水の蒸気圧以下となるように、真空槽
６の空間部Ｓ６を減圧する。

【００３２】空間部Ｓ６内の所定の圧力つまり第２の圧
力は、主として、（１）用いる水の蒸気圧、並びに、
（２）内部空間Ｓ１、被処理流体供給部ＳＩ、配管及び
真空槽６の容積に加え、他の補正要因、例えば、内部空
間Ｓ１への水の浸出量、堆積物Ｒの量（ろ過抵抗で把握
することも可）、膜モジュール２０の高さ、並びに、被
処理流体供給部ＳＩ、配管及び真空槽６の形状因子等に
よる圧力損失、等を考慮して決定し得る。

【００３３】図５は、水の蒸気圧と温度との関係を示す
グラフであり、水の物性諸量として一般に知られている
ものを便宜的に掲載したものである。本図より、例え
ば、洗浄用液体Ｍとして、内部空間Ｓ１における温度が
６０℃程度となる状態の温水を用いた場合、バルブＶ６
を開いた状態で内部空間Ｓ１内の圧力が約１５０ｍｍＨ
ｇ（２０ｋＰａ）以下となるようにすれば、膜面部２ｂ
における洗浄用液体Ｍの沸騰状態を生じせしめることが
でき、図４に示すような気化した洗浄用液体Ｍｇの爆噴
状態が生起され得る。

【００３４】また、他の洗浄用液体Ｍを用いた場合に
も、水を用いた場合と同様にして真空槽６の空間部Ｓ６
の第２の圧力を設定し得る。ここで、図６は、アルコー
ル類の一例としてメタノールの蒸気圧と温度との関係を
示すグラフであり、メタノールの物性諸量として一般に
知られているものを便宜的に掲載したものである。本図
より、メタノールを洗浄用液体Ｍとして用いた場合、先
述した水の例と同温度（６０℃）での蒸気圧は、６１０
ｍｍＨｇ（８１ｋＰａ）を若干上回る程度である。よっ
て、同温度の水を用いたときに比して空間部Ｓ６の減圧
量を格別に軽減できる。また、メタノールやエタノール
等の低級アルコールは工業上の利用性に優れており、純
度の高いものを入手可能であるので、これらの点におい
て有用である。

【００３５】また、換言すれば、洗浄用液体Ｍの種類、
濃度、添加剤の含有量等（液性）によってその蒸気圧は
種々の値をとるので、かかる洗浄用液体Ｍの液性に応じ
て、真空槽６の空間部Ｓ６ひいては中空糸膜エレメント
２における内部空間Ｓ１内の減圧量を調整するように、
真空ポンプ４の運転を制御することが望ましい。さら
に、内部空間Ｓ１の所定圧力を、洗浄用液体Ｍの蒸気圧
に対して裕度をもって低い圧力とすれば、内部空間Ｓ１
に流入又は浸出した洗浄用液体Ｍが沸騰に至る時間がよ
り短縮され、爆噴による堆積物Ｒの破砕力が増強される
ので一層好ましい。

【００３６】このように構成された膜分離装置１０及び
それを用いた逆洗方法によれば、中空糸膜エレメント２
内の外部空間Ｓ２に洗浄用液体Ｍを供給し、内部空間Ｓ
１内の圧力を洗浄用液体Ｍのその温度における蒸気圧以
下として沸騰状態を生ぜしめ、その爆噴力により堆積物
Ｒを破砕して膜面部２ｂから剥離除去する。よって、膜
壁２ａの微細孔Ｐの内部に入り込んで沈積した堆積物Ｒ
を十分に内部空間Ｓ１側へ破砕・噴出させることがで
き、しかも、その破砕力によって膜面部２ｂにおける微
細孔Ｐの周囲の堆積物Ｒをも吹き飛ばすように除去でき
る。したがって、従来の逆洗方法に比して、膜モジュー
ル２０の逆洗効率を格段に高めることが可能となる。

【００３７】また、真空槽６を設け、外部空間Ｓ２に洗
浄用液体Ｍを充填して微細孔Ｐに流入させた状態で、先
に減圧しておいた真空槽６の空間部Ｓ６と内部空間Ｓ１
とを連通させ、これにより、内部空間Ｓ１における洗浄
用液体Ｍの沸騰状態を瞬時に形成せしめるので、気化し
た洗浄用液体Ｍｇの爆噴力を増大できる。よって、膜面
部２ｂ上の堆積物Ｒの剥離効果がより高められ、逆洗効
率を一層向上できる。さらに、洗浄用液体Ｍを適宜選択
して用い、特にメタノール等の低級アルコールを用いる
と、真空槽６の空間部Ｓ６ひいては内部空間Ｓ１の減圧
量を軽減できるので、動力コストを低減して経済上有利
である。

【００３８】なお、本発明は上述した実施形態に限定さ
れるものではなく、例えば、図１〜４に示した内圧式の
膜分離装置１０に代えて、外圧式の膜分離方式に供され
る膜モジュールにも適用可能である。また、中空糸膜エ
レメント２の種類は特に限定されない。さらに、膜モジ
ュール２０の設置方向（長手方向）は鉛直方向に制限さ
れるものではない。

【００３９】またさらに、内部空間Ｓ１の減圧手順及び
外部空間Ｓ２への洗浄用液体Ｍの供給に係る手順は上述
した手順に限定されない。例えば、真空槽６の空間部Ｓ
６を予め定常的に減圧しておき、膜分離が終了した時点
でバルブＶ６を開放して、或るいは、洗浄用液体Ｍを供
給し始めると共にバルブＶ６を開放するといった種々の
運転が可能である。さらにまた、膜モジュール２０の数
量も図示に限定されず、本発明によれば、従来に比して
多段数の膜モジュール２０を有する膜分離装置の逆洗を
高効率で実施し得る。

【００４０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の分離膜の
逆洗方法によれば、分離膜に対して被処理流体の流通方
向における透過側から洗浄用液体を供給し、分離膜に対
して被処理流体の流通方向における非透過側が所定圧力
となるように減圧することにより、非透過側における分
離膜の膜面部において洗浄用液体の沸騰状態を生じせし
め、これにより、膜面部に堆積等した固形分等を破砕し
て剥離除去する。よって、被処理流体の分離膜を逆洗す
る際の洗浄効率を、従来に比して格別に向上させること
ができる。また、その結果、分離膜の所望の膜分離性能
を長期にわたって良好に維持することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による分離膜の逆洗方法を実施するため
の装置の好適な一実施形態の構成を模式的に示す断面図
であり、その逆洗装置が設けられた膜分離装置で膜分離
処理を行っている状態を示すものである。

【図２】本発明による分離膜の逆洗方法を実施するため
の装置の好適な一実施形態の構成を模式的に示す断面図
であり、その逆洗装置によって分離膜の逆洗を行ってい
る状態を示すものである。

【図３】図１及び２に示す膜分離装置で膜分離を行って
いる状態の要部を模式的に示す断面図である。

【図４】図１及び２に示す膜分離装置で逆洗を行ってい
る状態の要部を模式的に示す断面図である。

【図５】水の蒸気圧と温度との関係を示すグラフであ
る。

【図６】メタノールの蒸気圧と温度との関係を示すグラ
フである。

【符号の説明】

２…中空糸膜エレメント（分離膜）、２０…膜モジュー
ル、２ａ…膜壁、２ｂ…膜面部、４…真空ポンプ、５…
ポンプ、６…真空槽（容器）、１０…膜分離装置、Ｍ…
洗浄用液体、Ｍｇ…気化した洗浄用液体、Ｍｍ…逆洗
液、Ｎ１，Ｎ４…供給口、Ｎ２，Ｎ３，Ｎ５…排出口、
Ｐ…微細孔、Ｒ…体積物、Ｓ１…内部空間（第１の空間
領域、非透過側）、Ｓ２…外部空間（透過側）、Ｓ６…
空間部（第２の空間領域）、ＳＩ…被処理流体供給部、
ＳＯ…被処理流体排出部、Ｖ３，Ｖ５，Ｖ６…バルブ、
Ｗ…被処理流体、Ｗｈ…非透過流体、Ｗｓ…透過流体。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被処理流体を膜分離する分離膜の逆洗方
法であって、前記分離膜に対して前記被処理流体の流通方向における
透過側から洗浄用液体を供給し、前記分離膜に対して前記被処理流体の流通方向における
非透過側が所定圧力となるように減圧することにより、
該非透過側における該分離膜の膜面部において前記洗浄
用液体の沸騰状態を生じせしめる、ことを特徴とする分
離膜の逆洗方法。
【請求項２】前記洗浄用液体の種類に応じ、該洗浄用
液体の沸騰状態が生じるように前記非透過側の減圧量を
調整する、ことを特徴とする請求項１記載の分離膜の逆
洗方法。
【請求項３】前記非透過側における前記膜面部が当接
する第１の空間領域と、該第１の空間領域内の第１の圧
力よりも小さい第２の圧力を有する第２の空間領域とを
連通させることにより、前記非透過側が前記所定圧力と
なるように該第１の空間領域を減圧する、ことを特徴と
する請求項１又は２に記載の分離膜の逆洗方法。