JP2003069292A

JP2003069292A - 作業用アームの駆動制御方法

Info

Publication number: JP2003069292A
Application number: JP2001260070A
Authority: JP
Inventors: Seiichi Takasu; 誠一高須
Original assignee: NEC Machinery Corp
Current assignee: Canon Machinery Inc
Priority date: 2001-08-29
Filing date: 2001-08-29
Publication date: 2003-03-07

Abstract

(57)【要約】【課題】セラミックス製基板にチップ部品をマウント
アームでマウントする作業において、基板の反りがマウ
ント動作を遅らせて作業インデックスの改善を難しくし
ているのを解決する。【解決手段】セラミックス製基板等の基板１の上面で
ある作業対象面２に設けた各被作業箇所（被マウント個
所）Ｐにマウントアーム４でチップ部品３をマウントす
るマウント工程において、マウントアーム４を離隔点Ｋ
から低速に減速させて被作業箇所に接近させる一回のア
ーム接近動作毎に、マウントアーム４が当接する被作業
箇所Ｐの高さの座標点を検出し、この座標点をマウント
アーム４が次にアーム接近動作する被作業箇所Ｐの座標
点と推定し、この推定された座標点から定距離Ｌの高さ
に、次にマウントアーム４がアーム接近動作する軌道上
の離隔点Ｋの位置を設定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板等の略平坦な
作業対象面の複数箇所にチップ部品等の部品を作業用ア
ームで順にマウントする製造工程等における作業用アー
ムの駆動制御方法で、詳しくは、マウントアーム等のア
ームを定位置の作業対象面に向けて高速で接近させ、あ
る程度接近したところで接近速度を低速に落としてアー
ム先端部を作業対象面に当接させるアーム接近動作時の
駆動制御方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば高周波フィルターは、平板状のセ
ラミックス製基板に複数個のフィルター素子を順にマウ
ントして、セラミックス製基板をマウントされたフィル
ター素子毎に分割する製造工程を有する。この高周波フ
ィルター製造のマウント工程は、図５に示すようなマウ
ントアーム４を使って行われる。マウントアーム４は先
端でトレー等に整列された１枚のフィルター素子等のチ
ップ部品３をピックアップする機能と、定位置に水平に
配置された矩形のセラミックス製基板１の真上で前後左
右及び上下動して、下降時にチップ部品３を基板１の上
面（以下、作業対象面２と称する）の一箇所にマウント
する機能を有する。

【０００３】マウントアーム４が定位置の水平な作業対
象面２に向けて下降する一回のアーム接近動作（マウン
ト動作）の作業インデックスを上げるため、図６及び図
７に示すようにマウントアーム４の下降する軌道の所定
の高さ位置に離隔点Ｋを設定して、離隔点Ｋまでは所定
の高速で移動（下降）させ、離隔点Ｋから所定の低速に
減速してチップ部品３を作業対象面２にマウントするよ
うにしている。マウントアーム４の下降速度（接近速
度）を離隔点Ｋまで高速にすることで作業インデックス
が上がり、下降途中で減速させることで作業対象面２に
マウントアーム４に保持されたチップ部品３を当接させ
るときの衝撃力を緩和して、作業対象面２とマウントア
ーム４及びチップ部品３の損傷を防止している。定位置
の作業対象面２から離隔点Ｋまでの距離（高さ）Ｌは可
能な限り最短に設定されて、一回のアーム接近動作に要
する作業時間ｔが最短になるようにして、一回のマウン
ト作業のインデックスを上げるようにしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】定位置の基板１の作業
対象面２が水平な平坦面で、チップ部品３がマウントさ
れる複数箇所の被作業箇所（被マウント箇所）が同一の
高さの座標点に在れば、複数の各被作業箇所の真上に設
定される離隔点Ｋの作業対象面２からの距離が予め設定
された適正な最短の定距離Ｌに統一されて、各被作業箇
所でのチップ部品３のマウント作業が適正にして高イン
デックスで行われる。しかし、セラミックス製の基板１
は、その製造時の焼成条件等の影響で反りが発生して、
作業対象面２に高さ方向で段差が生じることがある。

【０００５】図８（Ａ）は矩形の基板１の中央部が凸状
に反った状態が示され、この反った基板１に対して、従
来はマウント動作を開始する前に作業対象面２の中央部
や隅部等の数点の高さ位置（座標点）を測定することで
作業対象面２の全体の反りの程度を検出し、作業対象面
２に多数設けられた各被作業箇所における離隔点Ｋの高
さを予め設定しておいて、各被作業箇所の軌道でマウン
トアーム４を順にアーム接近動作させるようにしてい
る。図８（Ａ）は作業対象面２の最も高い位置である中
央部の被作業箇所Ｐａとその離隔点Ｋａの間隔が予め設
定された適正な定距離Ｌとなるように設定し、作業対象
面２の最も低い位置の端部の被作業箇所Ｐｂにおける離
隔点Ｋｂの高さも離隔点Ｋａの高さと同じに設定してい
る。

【０００６】図８（Ａ）の場合、作業対象面２の中央部
の被作業箇所Ｐａは適正な高さの離隔点Ｋａからマウン
トアームの下降速度が減速して時間的に良好なマウント
動作が実行されるが、端部の被作業箇所Ｐｂとその離隔
点Ｋｂの間の距離Ｌ’が適正な定距離Ｌより作業対象面
２の反りによる最大段差ｄの分だけ大きくなって、マウ
ントアームが離隔点Ｋｂから減速して被作業箇所Ｐｂに
到達するまでの時間が中央の被作業箇所Ｐａの場合より
長く掛かる。

【０００７】例えば基板１の縦横サイズが７０×７０ｍ
ｍで、反った作業対象面２の中央部と端部の高さ方向の
最大段差ｄが０．３mm（なお、この０．３ｍｍの段差
は、基板にフィルター素子をマウントする場合に許容さ
れる段差の最大値に相当する）で、マウントアームの減
速下降時の速度が１ｍｍ／秒の場合、被作業箇所Ｐｂで
は離隔点Ｋｂまでの距離Ｌ’が適正な定距離Ｌより大き
く、その増大分ｄ＝０．３ｍｍをマウントアームが余分
に下降するに要する時間は０．３秒［０．３ｍｍ／（１
ｍｍ／秒）＝０．３秒］であって、この０．３秒だけ一
回のマウント動作に要する時間が長くなる。このような
余分に必要とされる時間は微小であるが、１枚の基板の
多数点にある被作業箇所での余分な時間が積算されると
無視できない大きさとなる。

【０００８】なお、図示しないが、反った作業対象面の
最も低い位置の被作業箇所とその離隔点の間の距離を適
正な定距離Ｌに設定することも可能である。しかし、こ
の場合は、反った作業対象面の最も高い位置の被作業箇
所とその離隔点の間の距離が適正な定距離Ｌより短くな
り、この最も高い位置の被作業箇所とマウントアームが
当接するときの衝撃力が大きくなって、被作業箇所やマ
ウントアーム等が損傷を受ける不具合が生じることがあ
る。

【０００９】図８（Ｂ）は、反った作業対象面２の全体
の等高線を測定してから、マウント動作を開始させる従
来方法を説明するものである。つまり、凸状（凹状や凹
凸状でも同じ）に反った作業対象面２の全体の等高線か
ら作業対象面２の多数の各被作業箇所の高さ方向の座標
点を算出して、各被作業箇所から適正な定距離Ｌの高さ
位置に離隔点Ｋを設定しておいて、マウントアームによ
るマウント動作を開始させる。このようにすれば全ての
被作業箇所で時間無駄なく適正にマウント動作が実行さ
れる。しかし、マウント動作開始前に行われる作業対象
面全体の等高線の測定作業に時間を要して、結果的に作
業インデックスを改善することが難しい。また、作業対
象面の多数の被作業箇所と等高線の測定精度とのバラン
スが悪く現実的でない問題もある。

【００１０】本発明の目的は、セラミックス製基板等の
作業対象面に反り等による高低差、段差があっても、作
業対象面の複数の被処理箇所にアームを時間的無駄少な
くアーム接近動作させて作業インデックスの改善を容易
にする作業用アームの駆動制御方法を提供することにあ
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、定位置の作業
対象面の被作業箇所に作業用アームを、被作業箇所から
定方向の軌道上の前記被作業箇所より定距離Ｌの位置に
設定された離隔点から接近速度を所定の高速から低速に
落として接近させ、アーム先端部が被作業箇所に当接す
ると接近動作を停止させる一連のアーム接近動作を、作
業対象面に設けた複数の被作業箇所の各軌道で順に繰り
返し行う各軌道上での作業用アームの駆動制御方法であ
って、一回のアーム接近動作毎に、アームが被作業箇所
に接近して当接したときの被作業箇所の軌道上における
座標点を検出し、この検出した座標点をアームが次にア
ーム接近動作に向かう別の軌道における被作業箇所の座
標点と推定し、この推定座標点における被作業箇所の軌
道上の離隔点を前記推定座標点から定距離Ｌの位置に設
定して、アームを次のアーム接近動作に移行させるよう
にしたことを特徴とする。

【００１２】ここで、作業対象面はセラミックス製基板
や他の絶縁基板、金属板の表面又は裏面で、この作業対
象面に設けた複数の被作業箇所にアームを接近させ、最
終的に当接させてチップマウント等の各種の作業を行
う。この作業は、セラミックス製基板等の絶縁基板の被
作業箇所（被マウント箇所）にマウントアームでフィル
ター素子等のチップ部品をマウントする作業（請求項２
の発明の場合）や、基板表面等の作業対象面の被作業箇
所に載置されたチップ部品をピックアップアームでピッ
クアップする作業（請求項３の発明の場合）であり、ロ
ボットアームを使ったネジ締め等の各種の作業である。

【００１３】作業対象面の任意の一箇所の被作業箇所に
アームを接近させる際のアームの軌道は作業対象面と略
直交方向に設定されて、この軌道の途中にアーム接近動
作の変速点としての離隔点が設定される。アームは軌道
を離隔点までは高速で移動して作業インデックスを上
げ、離隔点からは減速して作業対象面の被作業箇所に接
近し、低速で被作業箇所に衝撃力少なくして当接する。
アームが被作業箇所に当接して所定の作業を行うと、接
近時の軌道を逆戻りする、或いは、別の軌道で作業対象
面から離れる。アームが作業対象面に向かう一回のアー
ム接近動作毎に、アームが当接する被作業箇所の高さ方
向の座標点が検出され、この座標点からアームが次にア
ーム接近動作する軌道上での離隔点の位置が推定的に設
定される。

【００１４】例えば、作業対象面の複数の第１〜第ｎの
被作業箇所が定ピッチで連続的に並んでいる場合で、ア
ームが第１の被作業箇所でアーム接近動作して作業が終
了した後、次に第１の被作業箇所と隣接する第２の被作
業箇所でアーム接近動作を繰り返す場合、アームが第１
の被作業箇所に当接したときに第１の被作業箇所の高さ
位置の座標点が検出され、この検出した座標点が次の第
２の被作業箇所の座標点（高さ位置）と推定されて、第
２の被作業箇所の軌道の離隔点が推定された座標点から
所定の定距離Ｌの位置に推定的に設定される。ここで、
第１と第２の各被作業箇所の実際の高さ位置が同じであ
れば、第２の被作業箇所とその離隔点の距離は予め設定
された適正な定距離Ｌとなる。また、第１と第２の各被
作業箇所の実際の高さ位置が基板の反り等で相違してい
ると、第２の被作業箇所とその離隔点の距離は適正な定
距離Ｌより若干短いか、長いかのいずれかとなる。しか
し、第１と第２の被作業箇所は十分に接近して隣接する
ことから、作業対象面が仮に反っていても第１と第２の
被作業箇所の高さ位置の座標点はほぼ同一であり、相違
していても極僅かであるのが通常である。その結果、第
２の被作業箇所とその離隔点の距離は適正な定距離Ｌと
ほとんど変わらずに、第２の被作業箇所でのアーム接近
動作が時間的無駄なく行えるようになる。そして、第２
の被作業箇所から第３〜第ｎの各被作業箇所にアーム接
近動作が順に移るときも、上記同様にして一回のアーム
接近動作毎に第３〜第ｎの各被作業箇所での離隔点が推
定的に設定されて、第３〜第ｎの被作業箇所でのアーム
接近動作が常に適正に行えるようになり、作業対象面全
体の作業のインデックスを上げることが容易になる。

【００１５】

【発明の実施の形態】図５のセラミックス製基板１にマ
ウントアーム４でチップ部品３をマウントする際の本発
明方法を、図１〜図３を参照して説明する。

【００１６】図１はセラミックス製基板１を水平に配置
したときの概念図で、この基板１は中央部が凸状に反っ
ている。基板１の上面である作業対象面２は幅方向に定
ピッチで複数の被作業箇所Ｐ₁，Ｐ₂，…が設定されて、
図１の左端の第１の被作業箇所Ｐ₁に向かってマウント
アーム４が接近してチップ部品２をマウントする一回目
のアーム接近動作を開始して、次に隣接する第２の被作
業箇所Ｐ₂でのアーム接近動作に移行するようにした場
合、本発明は次の要領でアーム接近動作を繰り返す。

【００１７】［第１の被作業箇所Ｐ₁におけるアーム接
近動作］最初のアーム接近動作のときだけ第１の被作業
箇所Ｐ₁の真上の離隔点Ｋ₁を、図６と同様な定距離Ｌよ
り十分に大きめの距離Ｌｘの高さ位置Ｈ₁に予め設定し
て置く。この離隔点Ｋ₁の高さ位置Ｈ₁は、基板１の反っ
た作業対象面２の最大高さ位置の中央部と最少高さ位置
の端部との間の予想される最大段差と、予め設定された
定距離Ｌの和より少し大きめに設定されて、基板１がい
ずれの形態で反っていても最初のアーム接近動作でマウ
ントアーム４が基板１に不本意な衝撃力で当接しないよ
うにする。

【００１８】マウントアーム４を第１の被作業箇所Ｐ₁
に向けて真下に下降させ、その軌道上の離隔点Ｋ₁で図
２に示すように下降速度を高速から所定の低速に落と
す。離隔点Ｋ₁から低速でアーム接近動作を開始させ
て、マウントアーム４の先端のチップ部品３が第１の被
作業箇所Ｐ₁に当接すると、下降を停止させてチップ部
品３を第１の被作業箇所Ｐ₁にマウントする。このマウ
ントアーム４の低速下降時の一連のアーム接近動作にお
いて、マウントアーム４の先端が離隔点Ｋ₁を通過して
チップ部品２を第１の被作業箇所Ｐ₁に当接させるまで
の下降距離を計測し、この計測値と離隔点Ｋ₁の予め設
定された高さ位置Ｈ₁から第１の被作業箇所Ｐ ₁の高さの
座標点を検出する。

【００１９】検出された第１の被作業箇所Ｐ₁の高さの
座標点が次の第２の被作業箇所Ｐ₂の高さの座標点と推
定し、この推定座標点に基づいて第２の被作業箇所Ｐ₂
の真上の軌道における離隔点Ｋ₂の高さ位置Ｈ₂を推定座
標点から適正な定距離Ｌの位置に設定する。つまり、作
業対象面２が水平な平坦面で第１の被作業箇所Ｐ₁と第
２の被作業箇所Ｐ₂が同一の高さにあると推定して、第
１の被作業箇所Ｐ₁の高さの座標点が決まると、この座
標点から定距離Ｌの高さのところに第２の被作業箇所Ｐ
₂の離隔点Ｋ₂があると推定して、次のアーム接近動作の
軌道上の離隔点Ｋ₂を高さ位置Ｈ₂に設定する。この後、
一回目のアーム接近動作をしたマウントアーム４を作業
対象面２から離して新たなチップ部品を保持させてか
ら、次の第２の被作業箇所Ｐ₂の軌道でのアーム接近動
作に移行させる。

【００２０】なお、マウントアーム４は例えば図３に示
すような作業ヘッド１０に取り付けられる。作業ヘッド
１０は筒状で、これの先端部をマウントアーム４が貫通
し、平常時は図３（Ａ）に示すようにマウントアーム４
の外周に突設した接点スイッチ等のセンサー１１が作業
ヘッド１０の先端部内面に係止してマウントアーム４が
作業ヘッド１０に保持される。この図３（Ａ）の状態で
作業ヘッド１０でマウントアーム４を作業対象面２に向
けて垂直に下降させると、作業対象面２にマウントアー
ム４のチップ部品３が当接した時点でマウントアーム４
だけ下降が停止して、図３（Ｂ）に示すように作業ヘッ
ド１０だけが予め設定された小ストロークだけさらに下
降してセンサー１１が作業ヘッド１０から離れる。この
センサー離脱のタイミングでチップ部品３が作業対象面
２に当接したタイミングが検知され、図１の場合では作
業対象面２の第１の被作業箇所Ｐ₁の高さの座標点が検
知される。

【００２１】［第２の被作業箇所Ｐ₂におけるアーム接
近動作］図１の鎖線で示すようにマウントアーム４が第
２の作業箇所Ｐ₂の真上の軌道を下降する二回目のアー
ム接近動作の場合、マウントアーム４が離隔点Ｋ₂まで
高速で下降して離隔点Ｋ₂で減速し、チップ部品３を第
２の被作業箇所Ｐ₂に当接する。この二回目のアーム接
近動作時の場合も、一回目と同様にして離隔点Ｋ₂から
第２の被作業箇所Ｐ₂の距離を計測して第２の被作業箇
所Ｐ₂の高さの座標点を検出する。

【００２２】二回目のアーム接近動作でマウントアーム
４が離隔点Ｋ₂から第２の被作業箇所Ｐ₂まで低速で下降
する距離は、基板１に反りが無くて第２の被作業箇所Ｐ
₂と第１の被作業箇所Ｐ₁の実際の高さが同一であれば、
予め設定された最短の定距離Ｌとなって、最適な条件下
でのアーム接近動作が実行される。また、作業対象面２
が例えば凸状に反って、第１の被作業箇所Ｐ₁の高さ位
置が第２の被作業箇所Ｐ₂より低い位置にある場合は、
推定して設定された第２の被作業箇所Ｐ₂の離隔点Ｋ₂と
実際の第２の被作業箇所Ｐ₂との距離は定距離Ｌより短
くなる。このときの両距離の差は、隣接する二箇所の被
作業箇所Ｐ₁，Ｐ₂の高さの差に相当するが、この差は常
に極僅かである。

【００２３】すなわち、フィルター素子等のチップ部品
のマウント工程で使用されるセラミックス製基板１に横
一列に配列される複数の被作業箇所（被マウント箇所）
の隣接する箇所間の配列ピッチは小さく、かつ、基板１
が反ったときの最大段差の許容値は例えば０．３ｍｍ程
度と極小さいことから、基板１が最大段差の許容値内で
反った場合の第１の被作業箇所Ｐ₁と第２の被作業箇所
Ｐ₂の高さの差は極僅かであり、従って、第２の被作業
箇所Ｐ₂から離隔点Ｋ₂の距離は定距離Ｌに極近いものと
なって、アーム接近動作が適正な条件下で実行される。

【００２４】第２の被作業箇所Ｐ₂でのアーム接近動作
で第２の被作業箇所Ｐ₂の高さの座標点が検出される
と、この座標点が次にアーム接近動作する第３の被作業
箇所Ｐ₃の高さの座標点と推定して、推定された座標点
に基づいて第３の被作業箇所Ｐ₃の真上の軌道における
離隔点Ｋ₃の高さ位置Ｈ₃を推定座標点から定距離Ｌの高
さに設定する。

【００２５】［第３の被作業箇所Ｐ３におけるアーム接
近動作］この場合も作業対象面２が凸状に反って第２の
被作業箇所Ｐ₂の座標点が第３の被作業箇所Ｐ₃の座標点
より低い位置にある場合は、第２の被作業箇所Ｐ₂の離
隔点Ｋ₂の高さ位置Ｈ₂より第３の被作業箇所Ｐ₃の離隔
点Ｋ₃の高さ位置Ｈ₃が高く、その差［Ｈ₂−Ｈ₃］は極僅
かである。従って、第３の被作業箇所Ｐ₃においてもア
ーム接近動作が適正な条件下で実行される。

【００２６】以上のようなアーム接近動作が第３の被作
業箇所Ｐ₃から第４の被作業箇所Ｐ₄、さらに後続の各被
作業箇所Ｐ₅，Ｐ₆へと順に行われる。図１において、第
３の被作業箇所Ｐ₃と第４の被作業箇所Ｐ₄はほぼ同一高
さにあるため、第４の被作業箇所Ｐ₄と離隔点Ｋ₄の距離
はほぼ定距離Ｌに推定的に設定される。また、作業対象
面２の反りで第４の被作業箇所Ｐ₄より第５の被作業箇
所Ｐ₅の高さ位置が低くなる場合は、第４の被作業箇所
Ｐ₄の座標点から推定して設定された次の軌道における
離隔点Ｋ₅の高さ位置Ｈ₅と実際の第５の被作業箇所Ｐ₅
の距離が定距離Ｌより少し大きくなるが、この場合も両
距離の差が極僅かとなって、第５の被作業箇所Ｐ₅以降
もアーム接近動作が適正な条件下で実行される。

【００２７】なお、図１ではマウントアーム４を使用し
たマウント工程の最初のアーム接近動作を基板１の端部
から行うようにしたが、基板１の中央部から行うことも
可能である。また、最初のアーム接近動作でチップ部品
を基板１にマウントすることが作業インデックスをより
上げる上で望ましいが、最初のアーム接近動作だけは次
の軌道の離隔点の高さ位置を推定するだけにすることも
可能である。

【００２８】図４はピックアップ装置に適用した際の本
発明方法を説明するためのもので、トレー等の部品整列
用基板５の上面である作業対象面６に配置されたチップ
部品７を１個ずつピックアップアーム８でピックアップ
する装置において、作業対象面６のチップ部品７が載置
された被作業箇所の真上の軌道に沿ってピックアップア
ーム８を下降させ、この軌道の離隔点Ｋから下降速度を
減速させてピックアップアーム８の下端をチップ部品７
に当接させるアーム接近動作を図１と同様に行う。つま
り、ピックアップアーム８を離隔点Ｋまで高速で下降さ
せることで作業インデックスを上げ、離隔点Ｋから下降
速度を減速させてピックアップアーム８がチップ部品７
に大きな衝撃力で当接しないようにしてチップ部品等の
損傷を防止する。ピックアップアーム８がチップ部品７
に当接すると、下降が停止してピックアップアーム８が
チップ部品７を真空吸着等で保持した状態で真上に上昇
して、チップ部品７を基板５からピックアップする。

【００２９】図４のピックアップ装置においては、作業
対象面６に配置される複数のチップ部品７が同一厚さの
部品であり、ピックアップアーム８の一回のアーム接近
動作毎に検出される被作業箇所はチップ部品７の上面で
ある。一回のアーム接近動作で１個のチップ部品７の上
面の高さの座標点を検出すると、この座標点が次のアー
ム接近動作の対象となる隣接したチップ部品の上面の座
標点と推定して、この推定座標点から予め設定された定
距離Ｌ’の高さ位置に次の軌道上における離隔点Ｋが設
定される。定距離Ｌ’を図１と同様に適正な最短距離に
設定することで、図１と同様に基板５が反っていてもピ
ックアップアーム８が一回毎に適正なアーム接近動作を
繰り返して、高インデックスでチップ部品７を１個ずつ
ピックアップする。

【００３０】

【発明の効果】本発明によれば、マウントアームやピッ
クアップアーム等の作業用アームを作業対象面の任意の
被作業箇所の軌道に沿って接近させる一回のアーム接近
動作毎に、アームが当接する被作業箇所の座標点からア
ームが次にアーム接近動作する軌道上でのアーム接近速
度の変位点（減速点）である離隔点の位置を推定的に設
定するようにしたので、作業対象面に仮に反りが発生し
ていても反りによる段差が極小さい二箇所の被作業箇所
でアームを順にアーム接近動作させることで、一回のア
ーム接近動作毎の離隔点から被作業箇所までの距離を常
に予め設定された適正な定距離Ｌに極近付けることがで
きて、作業対象面の複数の被作業箇所での各アーム接近
動作が時間的無駄を極力小さくして実行でき、全被作業
箇所での全作業のインデックスを上げることが容易にな
る。

【００３１】また、セラミックス製基板等の作業対象面
に反り等で高低差があっても、作業対象面の全面の高さ
の等高線を求めて複数の各被作業箇所の高さ位置を検知
するといった事前作業をせずに、アームを直接に作業対
象面の任意の一箇所の被作業箇所からアーム接近動作を
開始させることができて、作業インデックスの尚一層の
改善が図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明方法の実施の形態を示す概念的な基板と
作業用アーム（マウントアーム）の側面図である。

【図２】基板の作業対象面に接近動作するアームの速度
パターンを示す波形図である。

【図３】（Ａ）はマウントアームの部分断面を含む側面
図（Ｂ）は同マウントアームのマウント動作時の部分断面
を含む側面図である。

【図４】本発明方法の他の実施の形態を示す基板と作業
用アーム（ピックアップアーム）の概念的な側面図であ
る。

【図５】チップ部品のマウント工程における基板とマウ
ントアームの斜視図である。

【図６】基板と接近動作するマウントアームの側面図で
ある。

【図７】基板にマウントアームが接近するときの速度パ
ターンを示す波形図である。

【図８】（Ａ）は従来のアーム接近動作を説明するため
の基板の概念的な側面図、（Ｂ）は他の従来のアーム接
近動作を説明するための基板の概念的な側面図である。

【符号の説明】

１基板２作業対象面３チップ部品４作業用アーム（マウントアーム）５基板６作業対象面７チップ部品８作業用アーム（ピックアップアーム）Ｐ被作業箇所Ｋ離隔点Ｈ高さ位置Ｌ定距離Ｌ’ 定距離

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】定位置の作業対象面の被作業箇所に作業
用アームを、被作業箇所から定方向の軌道上の前記被作
業箇所より定距離Ｌの位置に設定された離隔点から接近
速度を所定の高速から低速に落として接近させ、アーム
先端部が被作業箇所に当接すると接近動作を停止させる
一連のアーム接近動作を、作業対象面に設けた複数の被
作業箇所の各軌道で順に繰り返し行う各軌道上での作業
用アームの駆動制御方法であって、一回のアーム接近動作毎に、アームが被作業箇所に接近
して当接したときの被作業箇所の軌道上における座標点
を検出し、この検出した座標点をアームが次にアーム接
近動作に向かう別の軌道における被作業箇所の座標点と
推定し、この推定座標点における被作業箇所の軌道上の
離隔点を前記推定座標点から定距離Ｌの位置に設定し
て、アームを次のアーム接近動作に移行させるようにし
たことを特徴とする作業用アームの駆動制御方法。
【請求項２】略平板状で略水平な基板の上面である作
業対象面の複数の被作業箇所に、先端にチップ部品を保
持したマウントアームを接近させてチップ部品をマウン
トする請求項１記載の作業用アームの駆動制御方法。
【請求項３】略水平な基板の上面である作業対象面の
複数箇所に配置されたチップ部品にピックアップアーム
を接近させて作業対象面からチップ部品を取り出す請求
項１記載の作業用アームの駆動制御方法。