JP2003065872A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
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- G01L19/14—Housings
- G01L19/142—Multiple part housings
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- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/069—Protection against electromagnetic or electrostatic interferences
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- Analytical Chemistry (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 感圧部から静電気を逃がすことにより、セン
サ素子への放電を防ぎ、圧力センサの耐久性を向上させ
る。 【解決手段】 流路３が形成されたハウジング２内に、
流路３から導かれた溶液と接する感圧部５と、この感圧
部５に掛かる応力を検出するセンサ素子４とを設けて、
圧力センサ１を構成する。感圧部５とセンサ素子４との
間に、導電層としてアルミ箔９を設け、このアルミ箔９
を接地する。感圧部５に蓄積された静電気が、センサ素
子４に達することなく、接地されたアルミ箔９へ放電し
て逃がされる。
サ素子への放電を防ぎ、圧力センサの耐久性を向上させ
る。 【解決手段】 流路３が形成されたハウジング２内に、
流路３から導かれた溶液と接する感圧部５と、この感圧
部５に掛かる応力を検出するセンサ素子４とを設けて、
圧力センサ１を構成する。感圧部５とセンサ素子４との
間に、導電層としてアルミ箔９を設け、このアルミ箔９
を接地する。感圧部５に蓄積された静電気が、センサ素
子４に達することなく、接地されたアルミ箔９へ放電し
て逃がされる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、流体の圧力を検出
する圧力センサに係り、特に、半導体のウェット処理に
用いられる腐食性溶液、有機溶剤、純水や他の液体、気
体の圧力を検出する場合に好適に用いられる圧力センサ
に関するものである。
する圧力センサに係り、特に、半導体のウェット処理に
用いられる腐食性溶液、有機溶剤、純水や他の液体、気
体の圧力を検出する場合に好適に用いられる圧力センサ
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、超ＬＳＩ等の半導体製造プロセス
においては、ウェハの表面洗浄やエッチング処理等にお
いて多数のウェット処理が行われる。これら処理では、
通常の半導体用グレードより高純度、高清浄度の腐食性
溶液、及び純水やＩＰＡ等の液体が用いられている。ま
た、気体が用いられる場合もある。
においては、ウェハの表面洗浄やエッチング処理等にお
いて多数のウェット処理が行われる。これら処理では、
通常の半導体用グレードより高純度、高清浄度の腐食性
溶液、及び純水やＩＰＡ等の液体が用いられている。ま
た、気体が用いられる場合もある。
【０００３】これら溶液の圧力を検出するために、図３
に示すように、圧力センサ２０が、継ぎ手２１を介し
て、溶液が流れるチューブ２２に接続される。この圧力
センサ２０は、図４に示すように、チューブ２２から溶
液が導入される流路２３と、この流路２３の端部に配置
されるセンサ素子２４と、このセンサ素子２４を保持す
るハウジング２５とから構成されている。センサ素子２
４の流路２３と対向する前面側には、溶液の圧力を受け
る感圧部２６が設けられている。センサ素子２４は、外
側にキャップ２８が取り付けられ、このキャップ２８に
より、感圧部２６に接触した状態でハウジング２５内に
保持されている。ここで、溶液が腐食性溶液の場合に
は、ハウジング２５と、感圧部２６とは、耐薬性に優れ
たフッ素樹脂を主成分とする素材から構成され、溶液が
純水、ＩＰＡ等の場合は、ハウジング２５は、金属から
構成される。
に示すように、圧力センサ２０が、継ぎ手２１を介し
て、溶液が流れるチューブ２２に接続される。この圧力
センサ２０は、図４に示すように、チューブ２２から溶
液が導入される流路２３と、この流路２３の端部に配置
されるセンサ素子２４と、このセンサ素子２４を保持す
るハウジング２５とから構成されている。センサ素子２
４の流路２３と対向する前面側には、溶液の圧力を受け
る感圧部２６が設けられている。センサ素子２４は、外
側にキャップ２８が取り付けられ、このキャップ２８に
より、感圧部２６に接触した状態でハウジング２５内に
保持されている。ここで、溶液が腐食性溶液の場合に
は、ハウジング２５と、感圧部２６とは、耐薬性に優れ
たフッ素樹脂を主成分とする素材から構成され、溶液が
純水、ＩＰＡ等の場合は、ハウジング２５は、金属から
構成される。
【０００４】センサ素子２４の内部には、感圧部２６に
掛かる応力を電気信号に変換する回路が組み込まれてい
る。この回路には、図５に示すように、抵抗Ｒ１〜Ｒ４
によるホイートストンブリッジ回路が組まれており、抵
抗Ｒ１〜Ｒ４の抵抗値が変化すると、出力電圧Ｖoutが
変化する。センサ素子２４に圧力が掛かっていない場
合、この出力電圧Ｖoutの値はゼロである。しかし、セ
ンサ素子２４に圧力が掛かり、抵抗Ｒ１〜Ｒ４の抵抗値
が変化すると、それに応じて出力電圧Ｖoutの値も変化
する。そして、この出力電圧Ｖoutの値が流体の圧力に
変換される。抵抗Ｒ１〜Ｒ４は、図６に示すように、Ｒ
２とＲ４とがセンサ素子２４の中央に、Ｒ１とＲ３とが
センサ素子２４の端にそれぞれ配置される。そして、こ
のセンサ素子２４に感圧部２６を介して溶液からの圧力
が加えられると、センサ素子２４の中央にあるＲ２とＲ
４は、引っ張られてその抵抗値が増加し、一方、センサ
素子２４の端にあるＲ１とＲ３は、両側から押されてそ
の抵抗値が減少する。その結果、センサ素子２４に加え
られた圧力に応じて出力電圧Ｖoutの値も変化し、この
出力電圧Ｖoutの値によってチューブ２２内を流れる溶
液の圧力を得ることができる。
掛かる応力を電気信号に変換する回路が組み込まれてい
る。この回路には、図５に示すように、抵抗Ｒ１〜Ｒ４
によるホイートストンブリッジ回路が組まれており、抵
抗Ｒ１〜Ｒ４の抵抗値が変化すると、出力電圧Ｖoutが
変化する。センサ素子２４に圧力が掛かっていない場
合、この出力電圧Ｖoutの値はゼロである。しかし、セ
ンサ素子２４に圧力が掛かり、抵抗Ｒ１〜Ｒ４の抵抗値
が変化すると、それに応じて出力電圧Ｖoutの値も変化
する。そして、この出力電圧Ｖoutの値が流体の圧力に
変換される。抵抗Ｒ１〜Ｒ４は、図６に示すように、Ｒ
２とＲ４とがセンサ素子２４の中央に、Ｒ１とＲ３とが
センサ素子２４の端にそれぞれ配置される。そして、こ
のセンサ素子２４に感圧部２６を介して溶液からの圧力
が加えられると、センサ素子２４の中央にあるＲ２とＲ
４は、引っ張られてその抵抗値が増加し、一方、センサ
素子２４の端にあるＲ１とＲ３は、両側から押されてそ
の抵抗値が減少する。その結果、センサ素子２４に加え
られた圧力に応じて出力電圧Ｖoutの値も変化し、この
出力電圧Ｖoutの値によってチューブ２２内を流れる溶
液の圧力を得ることができる。
【０００５】ところで、ハウジング２５が耐薬品性のあ
る樹脂から構成された場合、樹脂は帯電しやすい特徴が
あるため、チューブ２２内に溶液が流れ込むと、チュー
ブ２２の内周面と溶液との間に摩擦が生じ、継ぎ手２１
を通じてハウジング２５の流路２３近傍や、感圧部２６
に静電気が蓄積される。そして、圧力センサ２０の使用
が進むと、感圧部２６に蓄積された静電気がセンサ素子
２４に向かって放電して、センサ素子２４内の回路にノ
イズが生じたり、回路自体が破壊されてしまい、測定不
良や測定不能が生じる恐れがあった。一方、ハウジング
２５が金属から構成された場合においては、静電気はハ
ウジング２５には蓄積されないが、感圧部２６には蓄積
されるため、依然として放電を起こしていた。
る樹脂から構成された場合、樹脂は帯電しやすい特徴が
あるため、チューブ２２内に溶液が流れ込むと、チュー
ブ２２の内周面と溶液との間に摩擦が生じ、継ぎ手２１
を通じてハウジング２５の流路２３近傍や、感圧部２６
に静電気が蓄積される。そして、圧力センサ２０の使用
が進むと、感圧部２６に蓄積された静電気がセンサ素子
２４に向かって放電して、センサ素子２４内の回路にノ
イズが生じたり、回路自体が破壊されてしまい、測定不
良や測定不能が生じる恐れがあった。一方、ハウジング
２５が金属から構成された場合においては、静電気はハ
ウジング２５には蓄積されないが、感圧部２６には蓄積
されるため、依然として放電を起こしていた。
【０００６】そこで、キャップ２８に接地されたリード
線２９を取り付け、このリード線２９を介して感圧部２
６から静電気を逃がす構造が考案された。このリード線
２９により、チューブ２２内を高純度腐食性溶液や純水
などの溶液または気体が流れる場合において、感圧部２
６から静電気を逃がすことができようになり、静電気が
センサ素子２４に向かって放電を起こすのを防ぐことが
できるようになった。
線２９を取り付け、このリード線２９を介して感圧部２
６から静電気を逃がす構造が考案された。このリード線
２９により、チューブ２２内を高純度腐食性溶液や純水
などの溶液または気体が流れる場合において、感圧部２
６から静電気を逃がすことができようになり、静電気が
センサ素子２４に向かって放電を起こすのを防ぐことが
できるようになった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ハウジ
ング２５が帯電しやすい樹脂から構成され、チューブ２
２内に静電気を発生しやすいＩＰＡやアルコールの溶液
または気体が流される場合では、ハウジング２５と感圧
部２６とに通常よりも多くの静電気が発生するため、感
圧部２６に直接接続されていないリード線２９では静電
気を逃がしきれなくなり、静電気による放電が起こる危
険性があった。
ング２５が帯電しやすい樹脂から構成され、チューブ２
２内に静電気を発生しやすいＩＰＡやアルコールの溶液
または気体が流される場合では、ハウジング２５と感圧
部２６とに通常よりも多くの静電気が発生するため、感
圧部２６に直接接続されていないリード線２９では静電
気を逃がしきれなくなり、静電気による放電が起こる危
険性があった。
【０００８】本発明は、上記の事情に鑑みてなされたも
のであって、耐薬品性に優れ、静電気にも強い圧力セン
サを提供することを目的としている。
のであって、耐薬品性に優れ、静電気にも強い圧力セン
サを提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載の圧力センサは、流体に接する樹脂か
らなる感圧部と、感圧部に掛かる圧力を検出するセンサ
素子との間に、導電性を有する箔膜からなる導電層が設
けられ、この導電層が接地されていることを特徴として
いる。したがって、感圧部に蓄積された静電気を、感圧
部から導電層を介して逃がすことができ、感圧部に蓄積
された静電気がセンサ素子に向かって放電して、センサ
素子へ悪影響を及ぼすのを防止することができる。
に、請求項１記載の圧力センサは、流体に接する樹脂か
らなる感圧部と、感圧部に掛かる圧力を検出するセンサ
素子との間に、導電性を有する箔膜からなる導電層が設
けられ、この導電層が接地されていることを特徴として
いる。したがって、感圧部に蓄積された静電気を、感圧
部から導電層を介して逃がすことができ、感圧部に蓄積
された静電気がセンサ素子に向かって放電して、センサ
素子へ悪影響を及ぼすのを防止することができる。
【００１０】請求項２記載の圧力センサは、流体に接す
る樹脂からなる感圧部と、感圧部に掛かる圧力を検出す
るセンサ素子との間に、導電性を有するメッシュからな
る導電層が設けられ、この導電層が接地されていること
を特徴としている。したがって、感圧部に蓄積された静
電気を、感圧部から導電層を介して逃がすことができ、
感圧部に蓄積された静電気がセンサ素子に向かって放電
して、センサ素子へ悪影響を及ぼすのを防止することが
できる。
る樹脂からなる感圧部と、感圧部に掛かる圧力を検出す
るセンサ素子との間に、導電性を有するメッシュからな
る導電層が設けられ、この導電層が接地されていること
を特徴としている。したがって、感圧部に蓄積された静
電気を、感圧部から導電層を介して逃がすことができ、
感圧部に蓄積された静電気がセンサ素子に向かって放電
して、センサ素子へ悪影響を及ぼすのを防止することが
できる。
【００１１】請求項３記載の圧力センサは、センサ素子
が、接地された導電性物質のキャップによりハウジング
内に保持され、導電層がこのキャップに接触されている
ことを特徴としている。したがって、キャップによりセ
ンサ素子を確実にハウジング内に保持させることができ
ると同時に、導電層をキャップに接触させ、このキャッ
プを接地することで、感圧部とセンサ素子とに挟まれた
導電層を簡単に接地することができ、圧力センサの製造
及び組み立ての簡単化を図ることができる。
が、接地された導電性物質のキャップによりハウジング
内に保持され、導電層がこのキャップに接触されている
ことを特徴としている。したがって、キャップによりセ
ンサ素子を確実にハウジング内に保持させることができ
ると同時に、導電層をキャップに接触させ、このキャッ
プを接地することで、感圧部とセンサ素子とに挟まれた
導電層を簡単に接地することができ、圧力センサの製造
及び組み立ての簡単化を図ることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態に係る圧
力センサを、図１及び図２を参照して、説明する。図１
は、本発明の圧力センサ１の縦断面図である。この図１
に示すように、本発明の圧力センサ１は、略円筒状のフ
ッ素樹脂製のハウジング２に、溶液が流れる流路３が形
成され、この流路３の先端部壁面中央には、センサ素子
４が設置されている。また、センサ素子４の流路３と対
向する前面側には、流路３に導かれた溶液と接する感圧
部５が設けられている。 なお、ハウジング２は、流
路３の両端部にチューブ２２が接続され、感圧部５が流
路３の外周壁面上に設けられたインライン型であっても
良い。
力センサを、図１及び図２を参照して、説明する。図１
は、本発明の圧力センサ１の縦断面図である。この図１
に示すように、本発明の圧力センサ１は、略円筒状のフ
ッ素樹脂製のハウジング２に、溶液が流れる流路３が形
成され、この流路３の先端部壁面中央には、センサ素子
４が設置されている。また、センサ素子４の流路３と対
向する前面側には、流路３に導かれた溶液と接する感圧
部５が設けられている。 なお、ハウジング２は、流
路３の両端部にチューブ２２が接続され、感圧部５が流
路３の外周壁面上に設けられたインライン型であっても
良い。
【００１３】感圧部５は、硝酸（ＨＮＯ3）、塩酸（Ｈ
Ｃｌ）、硫酸（Ｈ2ＳＯ4）、フッ化水素（ＨＦ）等を含
む腐食性溶液に腐食されに難く、耐薬品性に優れてい
る、例えば、フッ素樹脂シートからなり、センサ素子４
は、例えばセラミック素材からなる。
Ｃｌ）、硫酸（Ｈ2ＳＯ4）、フッ化水素（ＨＦ）等を含
む腐食性溶液に腐食されに難く、耐薬品性に優れてい
る、例えば、フッ素樹脂シートからなり、センサ素子４
は、例えばセラミック素材からなる。
【００１４】センサ素子４には、感圧部５と接する面及
びその周面の一部に、導電性を有する箔膜であるアルミ
箔（導電層）９が貼られ、内部に感圧部５に掛かる応力
を電気信号に変換する回路が組み込まれている。また、
センサ素子４の後面には、内部の回路で得られた電気信
号を外部に出力するためのリード線６が接続されてい
る。なお、センサ素子４の回路については、従来の圧力
センサと同様の構成とされているため、説明を省略す
る。なお、センサ素子４には、内部に組み込まれたホイ
ーストンブリッジにより感圧部５に掛かる圧力を検出す
るストレンゲージ式センサ素子の他、圧電式、容量式等
のセンサ素子を使用しても良い。
びその周面の一部に、導電性を有する箔膜であるアルミ
箔（導電層）９が貼られ、内部に感圧部５に掛かる応力
を電気信号に変換する回路が組み込まれている。また、
センサ素子４の後面には、内部の回路で得られた電気信
号を外部に出力するためのリード線６が接続されてい
る。なお、センサ素子４の回路については、従来の圧力
センサと同様の構成とされているため、説明を省略す
る。なお、センサ素子４には、内部に組み込まれたホイ
ーストンブリッジにより感圧部５に掛かる圧力を検出す
るストレンゲージ式センサ素子の他、圧電式、容量式等
のセンサ素子を使用しても良い。
【００１５】上記感圧部５の表面外周側には、Ｏリング
１０が取り付けられてシールされている。センサ素子４
の後面には、センサ素子４を保持する穴１１を有した導
電性物質からなるキャップ１２が取り付けられている。
このキャップ１２は、ハウジング２にねじ込まれてお
り、穴１１に取り付けられたセンサ素子４をハウジング
２内に保持している。ここで、センサ素子４に貼られて
周面に折り返されたアルミ箔９は、図２に示すように、
キャップ１２の穴１１の内周面に接している。
１０が取り付けられてシールされている。センサ素子４
の後面には、センサ素子４を保持する穴１１を有した導
電性物質からなるキャップ１２が取り付けられている。
このキャップ１２は、ハウジング２にねじ込まれてお
り、穴１１に取り付けられたセンサ素子４をハウジング
２内に保持している。ここで、センサ素子４に貼られて
周面に折り返されたアルミ箔９は、図２に示すように、
キャップ１２の穴１１の内周面に接している。
【００１６】また、キャップ１２の穴１１には、キャッ
プ１２の後面へと貫通する貫通穴１２ａが設けられ、こ
の貫通穴１２ａからセンサ素子４のリード線６がキャッ
プ１２の後面に引き出されている。さらに、キャップ１
２の後面には、キャップ１２を接地するためのシールド
線１３が接続されている。このシールド線１３は、リー
ド線６と共に、ハウジング２の孔１４から圧力センサ１
の外部に引き出され、接地される。
プ１２の後面へと貫通する貫通穴１２ａが設けられ、こ
の貫通穴１２ａからセンサ素子４のリード線６がキャッ
プ１２の後面に引き出されている。さらに、キャップ１
２の後面には、キャップ１２を接地するためのシールド
線１３が接続されている。このシールド線１３は、リー
ド線６と共に、ハウジング２の孔１４から圧力センサ１
の外部に引き出され、接地される。
【００１７】そして、上記圧力センサ１の流路３に溶液
が流れ込み、感圧部５に応力が掛かると、センサ素子４
が感圧部５に掛かる応力を電気信号へと変換する。この
電気信号は、リード線６を伝って外部に引き出され、溶
液の圧力値に変換される。このとき、チューブ２２の内
周面と溶液との摩擦により生じて感圧部５に蓄積した静
電気は、センサ素子４に達することなく、感圧部５から
アルミ箔９へと放電し、さらに、アルミ箔９からキャッ
プ１２へと逃がされる。そして、キャップ１２に逃がさ
れた静電気は、キャップ１２の後面に接続されたシール
ド線１３を介して逃がされる。
が流れ込み、感圧部５に応力が掛かると、センサ素子４
が感圧部５に掛かる応力を電気信号へと変換する。この
電気信号は、リード線６を伝って外部に引き出され、溶
液の圧力値に変換される。このとき、チューブ２２の内
周面と溶液との摩擦により生じて感圧部５に蓄積した静
電気は、センサ素子４に達することなく、感圧部５から
アルミ箔９へと放電し、さらに、アルミ箔９からキャッ
プ１２へと逃がされる。そして、キャップ１２に逃がさ
れた静電気は、キャップ１２の後面に接続されたシール
ド線１３を介して逃がされる。
【００１８】このように、上記構造の圧力センサ１によ
れば、チューブ２２の内周面と溶液との摩擦により生じ
て感圧部５に蓄積した静電気は、感圧部５からアルミ箔
９へ放電してシールド線１３を介して逃がされるため、
静電気がセンサ素子４へ放電されるのを防ぐことができ
る。これにより、感圧部５に蓄積された静電気がセンサ
素子４に向かって放電して、センサ素子４へ悪影響を及
ぼすのを防止することができる。
れば、チューブ２２の内周面と溶液との摩擦により生じ
て感圧部５に蓄積した静電気は、感圧部５からアルミ箔
９へ放電してシールド線１３を介して逃がされるため、
静電気がセンサ素子４へ放電されるのを防ぐことができ
る。これにより、感圧部５に蓄積された静電気がセンサ
素子４に向かって放電して、センサ素子４へ悪影響を及
ぼすのを防止することができる。
【００１９】また、アルミ箔９は、センサ素子４の周面
に折り返されてキャップ１２に接しているため、感圧部
５とセンサ素子４に挟まれたアルミ箔９に直接シールド
１３を設ける必要がなく、キャップ１２によりセンサ素
子４を確実にハウジング２内に保持させることができる
と同時に、感圧部５とセンサ素子４とに挟まれたアルミ
箔９を簡単に接地することができ、圧力センサの製造及
び組み立ての簡単化を図ることができる。
に折り返されてキャップ１２に接しているため、感圧部
５とセンサ素子４に挟まれたアルミ箔９に直接シールド
１３を設ける必要がなく、キャップ１２によりセンサ素
子４を確実にハウジング２内に保持させることができる
と同時に、感圧部５とセンサ素子４とに挟まれたアルミ
箔９を簡単に接地することができ、圧力センサの製造及
び組み立ての簡単化を図ることができる。
【００２０】なお、上記ハウジング２を、帯電しにくい
ステンレス等の金属から構成すると、静電気の蓄積を抑
えて、静電気がセンサ素子４へ悪影響を及ぼすのをさら
に防止することができる。金属から構成されたハウジン
グ２を、半導体製造のプロセスにおいて使用する際は、
チューブ２２を流れる溶液中にハウジング２のメタル分
が流出するのを防止するため、ハウジング２に電界研磨
処理を施す。この処理により、高純度腐食性溶液または
その気体が使用された場合でも、溶液中にハウジング２
のメタル分が流出するのを抑えることができる。
ステンレス等の金属から構成すると、静電気の蓄積を抑
えて、静電気がセンサ素子４へ悪影響を及ぼすのをさら
に防止することができる。金属から構成されたハウジン
グ２を、半導体製造のプロセスにおいて使用する際は、
チューブ２２を流れる溶液中にハウジング２のメタル分
が流出するのを防止するため、ハウジング２に電界研磨
処理を施す。この処理により、高純度腐食性溶液または
その気体が使用された場合でも、溶液中にハウジング２
のメタル分が流出するのを抑えることができる。
【００２１】上記圧力センサ１では、導電層をアルミ箔
９により構成したが、アルミに限らず、導電性を有する
他の金属においても同様の効果が得られることは言うま
でもない。さらに、導電層としては、導電性を有する金
属のメッシュ等から構成しても良い。また、上記圧力セ
ンサ１では、感圧部５がセンサ素子４の前面に設けられ
ているが、感圧部５がハウジング２と一体化されたダイ
ヤフラム部から構成された場合においても、同様の効果
が得られる。
９により構成したが、アルミに限らず、導電性を有する
他の金属においても同様の効果が得られることは言うま
でもない。さらに、導電層としては、導電性を有する金
属のメッシュ等から構成しても良い。また、上記圧力セ
ンサ１では、感圧部５がセンサ素子４の前面に設けられ
ているが、感圧部５がハウジング２と一体化されたダイ
ヤフラム部から構成された場合においても、同様の効果
が得られる。
【００２２】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明の圧力セ
ンサによれば、下記の効果を得ることができる。請求項
１または請求項２記載の圧力センサによれば、流路に導
かれた流体に接する樹脂からなる感圧部と、感圧部に掛
かる圧力を検出するセンサ素子との間に、導電層が設け
られ、この導電層は接地されているので、感圧部に生じ
た静電気を、感圧部から導電層を介して逃がすことがで
き、感圧部に蓄積された静電気がセンサ素子に向かって
放電して、センサ素子へ悪影響を及ぼすのを防止するこ
とができる。
ンサによれば、下記の効果を得ることができる。請求項
１または請求項２記載の圧力センサによれば、流路に導
かれた流体に接する樹脂からなる感圧部と、感圧部に掛
かる圧力を検出するセンサ素子との間に、導電層が設け
られ、この導電層は接地されているので、感圧部に生じ
た静電気を、感圧部から導電層を介して逃がすことがで
き、感圧部に蓄積された静電気がセンサ素子に向かって
放電して、センサ素子へ悪影響を及ぼすのを防止するこ
とができる。
【００２３】請求項３記載の圧力センサによれば、セン
サ素子が、接地された導電性物質のキャップによりハウ
ジング内に保持され、導電層がこのキャップに接触され
ているので、キャップによりセンサ素子を確実にハウジ
ング内に保持させることができると同時に、導電層をキ
ャップに接触させ、このキャップを接地することで、感
圧部とセンサ素子とに挟まれた導電層を簡単に接地する
ことができ、圧力センサの製造及び組み立ての簡単化を
図ることができる。
サ素子が、接地された導電性物質のキャップによりハウ
ジング内に保持され、導電層がこのキャップに接触され
ているので、キャップによりセンサ素子を確実にハウジ
ング内に保持させることができると同時に、導電層をキ
ャップに接触させ、このキャップを接地することで、感
圧部とセンサ素子とに挟まれた導電層を簡単に接地する
ことができ、圧力センサの製造及び組み立ての簡単化を
図ることができる。
【図１】 本発明の実施形態に係る圧力センサの縦断面
図である。
図である。
【図２】 本発明の実施形態に係る圧力センサの概略断
面図である。
面図である。
【図３】 チューブに取り付けられた圧力センサの概略
断面図である。
断面図である。
【図４】 従来の圧力センサの概略断面図である。
【図５】 センサ素子に組み込まれた回路図である。
【図６】 センサ素子の構成を説明する概略構成図であ
る。
る。
１ 圧力センサ
２ ハウジング
３ 流路
４ センサ素子
５ 感圧部
９ アルミ箔（導電層）
１２ キャップ
Claims (3)
- 【請求項１】 流体が導かれる流路を有するハウジング
内に、前記流路に導かれる流体に接する樹脂からなる感
圧部と、該感圧部に掛かる応力を検出するセンサ素子と
を有する圧力センサにおいて、 前記感圧部と前記センサ素子との間には、導電性を有す
る箔膜からなる導電層が設けられ、該導電層が接地され
ていることを特徴とする圧力センサ。 - 【請求項２】 流体が導かれる流路を有するハウジング
内に、前記流路に導かれる流体に接する樹脂からなる感
圧部と、該感圧部に掛かる応力を検出するセンサ素子と
を有する圧力センサにおいて、 前記感圧部と前記センサ素子との間には、導電性を有す
るメッシュからなる導電層が設けられ、該導電層が接地
されていることを特徴とする圧力センサ。 - 【請求項３】 前記センサ素子は、接地された導電性物
質のキャップにより前記ハウジング内に保持され、前記
導電層は前記キャップに接触されていることを特徴とす
る請求項１または請求項２記載の圧力センサ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001254920A JP4846140B2 (ja) | 2001-08-24 | 2001-08-24 | 圧力センサ |
| US10/226,510 US6640639B2 (en) | 2001-08-24 | 2002-08-23 | Pressure sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001254920A JP4846140B2 (ja) | 2001-08-24 | 2001-08-24 | 圧力センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003065872A true JP2003065872A (ja) | 2003-03-05 |
| JP4846140B2 JP4846140B2 (ja) | 2011-12-28 |
Family
ID=19082999
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001254920A Expired - Lifetime JP4846140B2 (ja) | 2001-08-24 | 2001-08-24 | 圧力センサ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6640639B2 (ja) |
| JP (1) | JP4846140B2 (ja) |
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| US10175133B2 (en) | 2013-06-07 | 2019-01-08 | Entegris, Inc. | Sensor with protective layer |
| JP6751648B2 (ja) | 2016-10-27 | 2020-09-09 | サーパス工業株式会社 | 圧力検出装置 |
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2001
- 2001-08-24 JP JP2001254920A patent/JP4846140B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-08-23 US US10/226,510 patent/US6640639B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
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| KR20180000276A (ko) * | 2016-06-22 | 2018-01-02 | 사파스고교 가부시키가이샤 | 압력 검출 장치 |
| KR102596136B1 (ko) * | 2016-06-22 | 2023-10-31 | 사파스고교 가부시키가이샤 | 압력 검출 장치 |
| WO2018025461A1 (ja) * | 2016-08-03 | 2018-02-08 | 日本ピラー工業株式会社 | 往復動ポンプ |
| JP2018021504A (ja) * | 2016-08-03 | 2018-02-08 | 日本ピラー工業株式会社 | 往復動ポンプ |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20030037618A1 (en) | 2003-02-27 |
| JP4846140B2 (ja) | 2011-12-28 |
| US6640639B2 (en) | 2003-11-04 |
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