JP2003056510A - 流量計測機能付きマスターバルブ - Google Patents
流量計測機能付きマスターバルブInfo
- Publication number
- JP2003056510A JP2003056510A JP2001245725A JP2001245725A JP2003056510A JP 2003056510 A JP2003056510 A JP 2003056510A JP 2001245725 A JP2001245725 A JP 2001245725A JP 2001245725 A JP2001245725 A JP 2001245725A JP 2003056510 A JP2003056510 A JP 2003056510A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- port
- flow path
- flow rate
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Fluid-Pressure Circuits (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Servomotors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 空気圧機器で消費されるエアの消費流量と微
小な漏れ流量とを、差圧流量法を用いて精度良く測定で
きる機能を備えたマスターバルブを得る。 【解決手段】 圧力エア源７に接続するための第１ポー
トＰ1 と空気圧機器８に接続するための第２ポートＰ2
とを結ぶ流路９中に、該流路９を給気状態と排気状態と
に切り換えるための第１バルブ３と、全開放状態と制限
開放状態とに切り換えるための第２バルブ４とを直列に
接続すると共に、これらのバルブ３，４を個別に切換操
作するための切換手段５，６を設け、更に、一次側流路
９ａ及び二次側流路９ｃ中のエア圧力をそれぞれ測定し
て演算装置２に出力する圧力センサー２８ａ，２８ｂを
設ける。
小な漏れ流量とを、差圧流量法を用いて精度良く測定で
きる機能を備えたマスターバルブを得る。 【解決手段】 圧力エア源７に接続するための第１ポー
トＰ1 と空気圧機器８に接続するための第２ポートＰ2
とを結ぶ流路９中に、該流路９を給気状態と排気状態と
に切り換えるための第１バルブ３と、全開放状態と制限
開放状態とに切り換えるための第２バルブ４とを直列に
接続すると共に、これらのバルブ３，４を個別に切換操
作するための切換手段５，６を設け、更に、一次側流路
９ａ及び二次側流路９ｃ中のエア圧力をそれぞれ測定し
て演算装置２に出力する圧力センサー２８ａ，２８ｂを
設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、工作機械などの空
気圧機器を制御するためのマスターバルブに関するもの
であり、更に詳しくは、上記空気圧機器の稼動時に消費
されるエアの消費流量と、非稼動時に消費されるエアの
微小な漏れ流量とを測定するための機能を備えたマスタ
ーバルブに関するものである。
気圧機器を制御するためのマスターバルブに関するもの
であり、更に詳しくは、上記空気圧機器の稼動時に消費
されるエアの消費流量と、非稼動時に消費されるエアの
微小な漏れ流量とを測定するための機能を備えたマスタ
ーバルブに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、工作機械のような比較的エアの
消費流量が大きい空気圧機器の制御には、マスターバル
ブが使用される。一方、上述した空気圧機器で消費され
るエアの消費流量や微小な漏れ流量等を測定するための
方法として、従来より、差圧流量式や、超音波式、ター
ビン式、オリフィス式などの各種方法が知られている。
この中の差圧流量方式を利用する技術として、例えば特
開２０００−２４９５７９号公報には、絞り機構を利用
して流体の圧力変化量及び流速を求め、流体の流量を算
出する差圧式流量計について開示されている。これは、
管路を流れる流体の圧力損失によって生じる第１の差圧
と、絞り機構の入口と絞り部との間の第２の差圧とか
ら、ベルヌーイの定理に従う管路断面積が変化したこと
のみによる補正圧力変化量を算出し、この補正圧力変化
量を利用して流速を求め、その流速と管路断面積とから
流体の流量を算出するものである。
消費流量が大きい空気圧機器の制御には、マスターバル
ブが使用される。一方、上述した空気圧機器で消費され
るエアの消費流量や微小な漏れ流量等を測定するための
方法として、従来より、差圧流量式や、超音波式、ター
ビン式、オリフィス式などの各種方法が知られている。
この中の差圧流量方式を利用する技術として、例えば特
開２０００−２４９５７９号公報には、絞り機構を利用
して流体の圧力変化量及び流速を求め、流体の流量を算
出する差圧式流量計について開示されている。これは、
管路を流れる流体の圧力損失によって生じる第１の差圧
と、絞り機構の入口と絞り部との間の第２の差圧とか
ら、ベルヌーイの定理に従う管路断面積が変化したこと
のみによる補正圧力変化量を算出し、この補正圧力変化
量を利用して流速を求め、その流速と管路断面積とから
流体の流量を算出するものである。
【０００３】しかしながら、上述した公知の測定技術
は、流量が定量的に消費されていて流量変動の少ない状
態においては効果的であるが、消費流量が増大したとき
には、絞りが圧力損失となって測定精度が低下するとい
う欠点がある。また、漏れ流量のような配管内を僅かに
流れる微小流量の測定には不向きである。さらに、管路
中にマスターバルブとは別に専用の測定装置を接続しな
ければならないため、配管が複雑になり易いという問題
もある。
は、流量が定量的に消費されていて流量変動の少ない状
態においては効果的であるが、消費流量が増大したとき
には、絞りが圧力損失となって測定精度が低下するとい
う欠点がある。また、漏れ流量のような配管内を僅かに
流れる微小流量の測定には不向きである。さらに、管路
中にマスターバルブとは別に専用の測定装置を接続しな
ければならないため、配管が複雑になり易いという問題
もある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、空気圧機器で消費されるエアの消費流量と微小な漏
れ流量とを、差圧流量法を用いて精度良く測定すること
ができ、また、管路中への接続も容易な、流量測定のた
めの手段を提供することにある。
は、空気圧機器で消費されるエアの消費流量と微小な漏
れ流量とを、差圧流量法を用いて精度良く測定すること
ができ、また、管路中への接続も容易な、流量測定のた
めの手段を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明によれば、圧力エア源に接続するための第１
ポートと空気圧機器に接続するための第２ポートとを結
ぶ流路中に直列に接続され、個別の切換手段により切換
操作される第１バルブ及び第２バルブと、上記第１ポー
トと第１バルブとを結ぶ一次側流路、及び第２バルブと
第２ポートとを結ぶ二次側流路にそれぞれ接続され、こ
れらの流路中のエア圧力を測定して演算装置に出力する
圧力センサーとを有する流量計測機能付きマスターバル
ブが提供される。上記第１バルブは、上記流路を給気状
態と排気状態とに切り換えるための機能を有し、また上
記第２バルブは、上記流路が給気状態及び排気状態にあ
るときは該流路の断面積を大きく保ち、空気圧機器にお
けるエアの漏れ流量の測定時には上記流路の断面積を絞
る機能を有する。
め、本発明によれば、圧力エア源に接続するための第１
ポートと空気圧機器に接続するための第２ポートとを結
ぶ流路中に直列に接続され、個別の切換手段により切換
操作される第１バルブ及び第２バルブと、上記第１ポー
トと第１バルブとを結ぶ一次側流路、及び第２バルブと
第２ポートとを結ぶ二次側流路にそれぞれ接続され、こ
れらの流路中のエア圧力を測定して演算装置に出力する
圧力センサーとを有する流量計測機能付きマスターバル
ブが提供される。上記第１バルブは、上記流路を給気状
態と排気状態とに切り換えるための機能を有し、また上
記第２バルブは、上記流路が給気状態及び排気状態にあ
るときは該流路の断面積を大きく保ち、空気圧機器にお
けるエアの漏れ流量の測定時には上記流路の断面積を絞
る機能を有する。
【０００６】上記構成を有する本発明のマスターバルブ
は、空気圧機器稼動時のエア供給状態及び消費流量測定
状態と、非稼動時の漏れ流量測定状態と、稼動時又は非
稼動時の残圧排気状態とに切り換えることができる。す
なわち、空気圧機器の稼動時には、切換手段によって上
記第１バルブを給気状態に切り換えると共に、第２バル
ブを流路の断面積が大きくなるように切り換えることに
より、このマスターバルブはエア供給状態となる。そし
てこのとき、一次側流路と二次側流路とにおけるエア圧
力を圧力センサーでそれぞれ測定することにより、それ
らの差圧から差圧流量法に基づいて定常の消費流量を算
出することができる。また、空気圧機器の非稼動時にお
ける漏れ流量測定状態では、上記第１バルブは給気状態
のまま、第２バルブで流路の断面積を小さく絞ることに
より、圧力エアはこの第２バルブを通じて制限的に空気
圧機器に供給される。そして、このときの一次側流路と
二次側流路とにおけるエア圧力を圧力センサーでそれぞ
れ測定することにより、それらの差圧から差圧流量法に
基づいて空気圧機器からの微小な漏れ流量を算出するこ
とができる。さらに、空気圧機器の稼動時又は非稼動時
における残圧排気状態では、上記第１バルブを排気状態
に切り換えると共に、第２バルブを流路の断面積が大き
くなるように切り換えることにより、空気圧機器からの
エアを第１バルブを通じて急速排気することができる。
は、空気圧機器稼動時のエア供給状態及び消費流量測定
状態と、非稼動時の漏れ流量測定状態と、稼動時又は非
稼動時の残圧排気状態とに切り換えることができる。す
なわち、空気圧機器の稼動時には、切換手段によって上
記第１バルブを給気状態に切り換えると共に、第２バル
ブを流路の断面積が大きくなるように切り換えることに
より、このマスターバルブはエア供給状態となる。そし
てこのとき、一次側流路と二次側流路とにおけるエア圧
力を圧力センサーでそれぞれ測定することにより、それ
らの差圧から差圧流量法に基づいて定常の消費流量を算
出することができる。また、空気圧機器の非稼動時にお
ける漏れ流量測定状態では、上記第１バルブは給気状態
のまま、第２バルブで流路の断面積を小さく絞ることに
より、圧力エアはこの第２バルブを通じて制限的に空気
圧機器に供給される。そして、このときの一次側流路と
二次側流路とにおけるエア圧力を圧力センサーでそれぞ
れ測定することにより、それらの差圧から差圧流量法に
基づいて空気圧機器からの微小な漏れ流量を算出するこ
とができる。さらに、空気圧機器の稼動時又は非稼動時
における残圧排気状態では、上記第１バルブを排気状態
に切り換えると共に、第２バルブを流路の断面積が大き
くなるように切り換えることにより、空気圧機器からの
エアを第１バルブを通じて急速排気することができる。
【０００７】かくして本発明によれば、空気圧機器の制
御に用いられるマスターバルブを使用して、稼動時のエ
アの消費流量と非稼動時の微小な漏れ流量とを、差圧流
量法を利用して２段階で測定することができ、また、専
用の測定装置をマスターバルブとは別に管路中へ接続す
る必要がないため、管路の構成も簡単になる。
御に用いられるマスターバルブを使用して、稼動時のエ
アの消費流量と非稼動時の微小な漏れ流量とを、差圧流
量法を利用して２段階で測定することができ、また、専
用の測定装置をマスターバルブとは別に管路中へ接続す
る必要がないため、管路の構成も簡単になる。
【０００８】本発明の具体的な実施態様によれば、上記
第１バルブが、第２バルブに通じる中間流路と上記一次
側流路とを連通させる第１切換位置と、上記一次側流路
を遮断しかつ中間流路を外部に開放する第２切換位置と
に切換可能なるように構成され、上記第２バルブは、上
記中間流路と二次側流路とを全開放状態で連通させる第
１切換位置と、制限開放状態で連通させる第２切換位置
とに切換可能なるように構成されている。
第１バルブが、第２バルブに通じる中間流路と上記一次
側流路とを連通させる第１切換位置と、上記一次側流路
を遮断しかつ中間流路を外部に開放する第２切換位置と
に切換可能なるように構成され、上記第２バルブは、上
記中間流路と二次側流路とを全開放状態で連通させる第
１切換位置と、制限開放状態で連通させる第２切換位置
とに切換可能なるように構成されている。
【０００９】本発明の好ましい具体的な実施態様によれ
ば、上記第１バルブ及び第２バルブがそれぞれ、パイロ
ットエアにより操作されるパイロット操作形バルブであ
り、また、上記第１バルブを切換操作するための切換手
段が電磁パイロット弁であって、第２バルブを切換操作
するための切換手段が手動操作弁である。
ば、上記第１バルブ及び第２バルブがそれぞれ、パイロ
ットエアにより操作されるパイロット操作形バルブであ
り、また、上記第１バルブを切換操作するための切換手
段が電磁パイロット弁であって、第２バルブを切換操作
するための切換手段が手動操作弁である。
【００１０】本発明の他の具体的な実施態様によれば、
上記第１バルブが３ポートバルブであって、上記第１ポ
ートに通じる入力口と、上記第２バルブの入力口に通じ
る出力口と、排気口と、これらの開口を結ぶ流路を切り
換えるための弁手段とを有しており、また、一方の上記
第２バルブは２ポートバルブであって、上記第１バルブ
の出力口に通じる上記入力口と、上記第２ポートに通じ
る出力口と、これらの入力口と出力口との間を結ぶ流路
を開閉するための弁手段とを有し、該第２バルブの弁手
段に、第２切換位置において上記入力口と出力口とを制
限的に連通させるためのオリフィスが設けられている。
上記第１バルブが３ポートバルブであって、上記第１ポ
ートに通じる入力口と、上記第２バルブの入力口に通じ
る出力口と、排気口と、これらの開口を結ぶ流路を切り
換えるための弁手段とを有しており、また、一方の上記
第２バルブは２ポートバルブであって、上記第１バルブ
の出力口に通じる上記入力口と、上記第２ポートに通じ
る出力口と、これらの入力口と出力口との間を結ぶ流路
を開閉するための弁手段とを有し、該第２バルブの弁手
段に、第２切換位置において上記入力口と出力口とを制
限的に連通させるためのオリフィスが設けられている。
【００１１】本発明のマスターバルブにおいては、上記
第１バルブと第２バルブとが、上記各ポートと流路とを
備えた一つのケーシング内に一体に組み込まれると共
に、該ケーシングに上記切換手段及び圧力センサーが組
み付けられている。
第１バルブと第２バルブとが、上記各ポートと流路とを
備えた一つのケーシング内に一体に組み込まれると共
に、該ケーシングに上記切換手段及び圧力センサーが組
み付けられている。
【００１２】本発明においては更に、上記マスターバル
ブと、上記圧力センサーにより測定されたエア圧力に基
づいて計算式から空気圧機器におけるエアの消費流量と
漏れ流量とを算出する演算装置とを有する流量計測装置
が提供される。
ブと、上記圧力センサーにより測定されたエア圧力に基
づいて計算式から空気圧機器におけるエアの消費流量と
漏れ流量とを算出する演算装置とを有する流量計測装置
が提供される。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１は本発明の実施形態を記号に
よって示すもので、図中１は工作機械などの空気圧機器
を制御するためのマスターバルブ、２はこのマスターバ
ルブ１に接続された演算装置を示しており、これらのマ
スターバルブ１と演算装置２とによって流量計測装置が
構成されている。
よって示すもので、図中１は工作機械などの空気圧機器
を制御するためのマスターバルブ、２はこのマスターバ
ルブ１に接続された演算装置を示しており、これらのマ
スターバルブ１と演算装置２とによって流量計測装置が
構成されている。
【００１４】上記マスターバルブ１は、圧力エア源７に
接続するための第１ポートＰ１ と、空気圧機器８に接
続するための第２ポートＰ２ と、排気用の第３ポート
Ｐ３とを有していて、上記第１ポートＰ１ と第２ポー
トＰ２ とを結ぶ流路９中に、個別の切換手段５，６に
よって切換操作される第１バルブ３と第２バルブ４とが
直列に接続されている。
接続するための第１ポートＰ１ と、空気圧機器８に接
続するための第２ポートＰ２ と、排気用の第３ポート
Ｐ３とを有していて、上記第１ポートＰ１ と第２ポー
トＰ２ とを結ぶ流路９中に、個別の切換手段５，６に
よって切換操作される第１バルブ３と第２バルブ４とが
直列に接続されている。
【００１５】上記第１バルブ３は、上記流路９を給気状
態と排気状態とに切り換えるためのもので、パイロット
操作形の３ポートバルブとして構成されている。即ちこ
の第１バルブ３は、上記第１ポートＰ１ に一次側流路
９ａを通じて連通する入力口１０と、上記第２バルブ４
の入力口２０に中間流路９ｂを通じて連通する出力口１
１と、上記第３ポートＰ３ に通じる排気口１２と、こ
れらの各開口間を結ぶ流路を切り換えるための弁手段１
３とを有している。そして、この弁手段１３に作用する
復帰用のばね１４と、切換手段５により供給されるパイ
ロットエアとによって、上記一次側流路９ａと中間流路
９ｂとを連通させる第１切換位置と、一次側流路９ａを
遮断しかつ中間流路９ｂを外部に開放する第２切換位置
とに切換可能となっている。
態と排気状態とに切り換えるためのもので、パイロット
操作形の３ポートバルブとして構成されている。即ちこ
の第１バルブ３は、上記第１ポートＰ１ に一次側流路
９ａを通じて連通する入力口１０と、上記第２バルブ４
の入力口２０に中間流路９ｂを通じて連通する出力口１
１と、上記第３ポートＰ３ に通じる排気口１２と、こ
れらの各開口間を結ぶ流路を切り換えるための弁手段１
３とを有している。そして、この弁手段１３に作用する
復帰用のばね１４と、切換手段５により供給されるパイ
ロットエアとによって、上記一次側流路９ａと中間流路
９ｂとを連通させる第１切換位置と、一次側流路９ａを
遮断しかつ中間流路９ｂを外部に開放する第２切換位置
とに切換可能となっている。
【００１６】また、上記第１バルブ３を切換操作するた
めの切換手段５は、電磁力によって操作される３ポート
式の電磁パイロット弁であって、パイロット流路１６
ａ，１６ｂを通じて上記一次側流路９ａと第１バルブ３
とに接続され、この一次側流路９ａからパイロットエア
を上記第１バルブ３に供給するようになっている。
めの切換手段５は、電磁力によって操作される３ポート
式の電磁パイロット弁であって、パイロット流路１６
ａ，１６ｂを通じて上記一次側流路９ａと第１バルブ３
とに接続され、この一次側流路９ａからパイロットエア
を上記第１バルブ３に供給するようになっている。
【００１７】一方、上記第２バルブ４は、上記流路９が
給気状態及び排気状態にあるときは該流路の断面積を大
きく保ち、空気圧機器８におけるエアの漏れ流量の測定
時には上記流路９の断面積を小さく絞るためのもので、
パイロット操作形の２ポートバルブとして構成されてい
る。即ちこの第２バルブ４は、上記第１バルブ３の出力
口１１に通じる上記入力口２０と、第２ポートＰ２ に
通じる出力口２１と、これらの各開口間を結ぶ流路を切
り換えるための弁手段２３とを有している。そして、こ
の弁手段２３に作用する復帰用のばね２４と、切換手段
６により供給されるパイロットエアとによって、上記中
間流路９ｂと二次側流路９ｃとを全開放状態で連通させ
る第１切換位置と、オリフィス２５を通じて制限開放状
態で連通させる第２切換位置とに切換可能なるように構
成されている。
給気状態及び排気状態にあるときは該流路の断面積を大
きく保ち、空気圧機器８におけるエアの漏れ流量の測定
時には上記流路９の断面積を小さく絞るためのもので、
パイロット操作形の２ポートバルブとして構成されてい
る。即ちこの第２バルブ４は、上記第１バルブ３の出力
口１１に通じる上記入力口２０と、第２ポートＰ２ に
通じる出力口２１と、これらの各開口間を結ぶ流路を切
り換えるための弁手段２３とを有している。そして、こ
の弁手段２３に作用する復帰用のばね２４と、切換手段
６により供給されるパイロットエアとによって、上記中
間流路９ｂと二次側流路９ｃとを全開放状態で連通させ
る第１切換位置と、オリフィス２５を通じて制限開放状
態で連通させる第２切換位置とに切換可能なるように構
成されている。
【００１８】また、上記第２バルブ４を切換操作するた
めの切換手段６は、手動により切換操作される３ポート
式の手動操作弁であって、パイロット流路２６ａ，２６
ｂを通じて上記一次側流路９ａと第２バルブ４とに接続
され、この一次側流路９ａからパイロットエアを上記第
２バルブ４に供給するものである。
めの切換手段６は、手動により切換操作される３ポート
式の手動操作弁であって、パイロット流路２６ａ，２６
ｂを通じて上記一次側流路９ａと第２バルブ４とに接続
され、この一次側流路９ａからパイロットエアを上記第
２バルブ４に供給するものである。
【００１９】さらに、上記マスターバルブ１における一
次側流路９ａ及び二次側流路９ｃにはそれぞれ、これら
の流路中のエア圧力を測定するための圧力センサー２８
ａ，２８ｂが接続され、これらの圧力センサー２８ａ，
２８ｂが上記演算装置２に接続されている。
次側流路９ａ及び二次側流路９ｃにはそれぞれ、これら
の流路中のエア圧力を測定するための圧力センサー２８
ａ，２８ｂが接続され、これらの圧力センサー２８ａ，
２８ｂが上記演算装置２に接続されている。
【００２０】この演算装置２には、差圧流量法による流
量測定のための計算式が入力されていて、上記圧力セン
サー２８ａ，２８ｂで測定されたエア圧力がこの演算装
置２に入力されると、上記計算式によってエアの瞬時流
量と単位時間当りの積算流量とが算出され、それらが必
要に応じてマスターバルブ１やその他の場所に設置され
た表示手段に表示されるようになっている。
量測定のための計算式が入力されていて、上記圧力セン
サー２８ａ，２８ｂで測定されたエア圧力がこの演算装
置２に入力されると、上記計算式によってエアの瞬時流
量と単位時間当りの積算流量とが算出され、それらが必
要に応じてマスターバルブ１やその他の場所に設置され
た表示手段に表示されるようになっている。
【００２１】上記計算式は、下記に示すように、エアの
消費流量と漏れ流量とをそれぞれ音速域について算出す
るための計算式１と、亜音速域について算出するための
計算式２とに分かれている。
消費流量と漏れ流量とをそれぞれ音速域について算出す
るための計算式１と、亜音速域について算出するための
計算式２とに分かれている。
【００２２】（ａ）音速域
【数３】
但し、 Ｑｍａｘ： 音速域での流量 ｌ／ｍｉｎ（標準状態）
Ｃ ： 流体コンダクタンス ｌ／（ min・MPa abs ）
ＰＨ ： 一次側圧力 ＭＰａ ａｂｓ
Ｔｏ ： 絶対温度 ２７３℃
Ｔ ： 常温 ℃
【００２３】（ｂ）亜音速域
【数４】
但し、 Ｑｎ ： 亜音速域での流量 ｌ／ｍｉｎ（標準状態）
Ｃ ： 流体コンダクタンス ｌ／（ min・MPa abs ）
ｂ ： 臨界圧力比
ＰＨ ： 一次側圧力 ＭＰａ ａｂｓ
ＰＬ ： 二次側圧力 ＭＰａ ａｂｓ
Ｔｏ ： 絶対温度 ２７３℃
Ｔ ： 常温 ℃
【００２４】上記計算式中の流体コンダクタンスＣと臨
界圧力比ｂとは、マスターバルブ１の固有値であって、
消費流量の測定時と漏れ流量の測定時とで数値が異なる
ものである。従って、使用するマスターバルブ１が決定
されると、事前に、このマスターバルブ１が消費流量測
定のための切換状態にあるときと、漏れ流量測定のため
の切換状態にあるときとの、それぞれの場合について上
記流体コンダクタンスＣと臨界圧力比ｂとが求められ、
それらの数値が上記各式に組み込まれることによって計
算が行われる。
界圧力比ｂとは、マスターバルブ１の固有値であって、
消費流量の測定時と漏れ流量の測定時とで数値が異なる
ものである。従って、使用するマスターバルブ１が決定
されると、事前に、このマスターバルブ１が消費流量測
定のための切換状態にあるときと、漏れ流量測定のため
の切換状態にあるときとの、それぞれの場合について上
記流体コンダクタンスＣと臨界圧力比ｂとが求められ、
それらの数値が上記各式に組み込まれることによって計
算が行われる。
【００２５】上記構成を有するマスターバルブ１は、圧
力エア源７と空気圧機器８との間に接続され、該空気圧
機器８の制御と、該空気圧機器８の稼動時におけるエア
の消費流量の測定と、非稼動時における漏れ流量の測定
とに使用される。すなわち、図１に示すように、空気圧
機器８の稼動時には、上記第１バルブ３及び第２バルブ
４が切換手段５，６によって共に第１切換位置に切り換
えられることにより、このマスターバルブ１はエア供給
状態となる。そしてこのとき、一次側流路９ａと二次側
流路９ｃとにおけるエア圧力を圧力センサー２８ａ，２
８ｂでそれぞれ測定して演算装置２に入力することによ
り、この演算装置２において、差圧流量法に基づく上記
計算式１及び計算式２によって稼動時のエア消費流量が
算出される。
力エア源７と空気圧機器８との間に接続され、該空気圧
機器８の制御と、該空気圧機器８の稼動時におけるエア
の消費流量の測定と、非稼動時における漏れ流量の測定
とに使用される。すなわち、図１に示すように、空気圧
機器８の稼動時には、上記第１バルブ３及び第２バルブ
４が切換手段５，６によって共に第１切換位置に切り換
えられることにより、このマスターバルブ１はエア供給
状態となる。そしてこのとき、一次側流路９ａと二次側
流路９ｃとにおけるエア圧力を圧力センサー２８ａ，２
８ｂでそれぞれ測定して演算装置２に入力することによ
り、この演算装置２において、差圧流量法に基づく上記
計算式１及び計算式２によって稼動時のエア消費流量が
算出される。
【００２６】また、空気圧機器８の非稼動時における漏
れ流量の測定時には、図２に示すように、上記第１バル
ブ３が第１切換位置にあり且つ第２バルブ４が第２切換
位置にあるようにマスターバルブ１が制御されることに
より、圧力エアはこの第２バルブ４のオリフィス２５を
通じて制限的に空気圧機器８に供給される。そして、こ
のときの一次側流路９ａと二次側流路９ｃとにおけるエ
ア圧力を圧力センサー２８ａ，２８ｂでそれぞれ測定す
ることにより、上記計算式１及び計算式２により非稼動
時のエアの漏れ流量が算出される。
れ流量の測定時には、図２に示すように、上記第１バル
ブ３が第１切換位置にあり且つ第２バルブ４が第２切換
位置にあるようにマスターバルブ１が制御されることに
より、圧力エアはこの第２バルブ４のオリフィス２５を
通じて制限的に空気圧機器８に供給される。そして、こ
のときの一次側流路９ａと二次側流路９ｃとにおけるエ
ア圧力を圧力センサー２８ａ，２８ｂでそれぞれ測定す
ることにより、上記計算式１及び計算式２により非稼動
時のエアの漏れ流量が算出される。
【００２７】更に、空気圧機器８の残圧排気時には、図
３に示すように、上記第１バルブ３が第２切換位置にあ
り且つ第２バルブ４が第１切換位置にあるようにマスタ
ーバルブ１が制御されることにより、空気圧機器８から
のエアが第３ポートＰ３ を通じて急速排気される。
３に示すように、上記第１バルブ３が第２切換位置にあ
り且つ第２バルブ４が第１切換位置にあるようにマスタ
ーバルブ１が制御されることにより、空気圧機器８から
のエアが第３ポートＰ３ を通じて急速排気される。
【００２８】図４〜図６は、図１に記号で示されている
マスターバルブ１の具体的な実施形態を例示するもの
で、このマスターバルブ１は、上記第１ポートＰ１ と
第２ポートＰ２ 及び第３ポートＰ３ を備えた一つのケ
ーシング３０を有していて、このケーシング３０に上記
第１バルブ３と第２バルブ４とを並べて内蔵すると共
に、上記パイロット弁５と手動操作弁６及び圧力センサ
ー２８ａ，２８ｂとを組み付けることにより、全体を一
体に形成したものである。
マスターバルブ１の具体的な実施形態を例示するもの
で、このマスターバルブ１は、上記第１ポートＰ１ と
第２ポートＰ２ 及び第３ポートＰ３ を備えた一つのケ
ーシング３０を有していて、このケーシング３０に上記
第１バルブ３と第２バルブ４とを並べて内蔵すると共
に、上記パイロット弁５と手動操作弁６及び圧力センサ
ー２８ａ，２８ｂとを組み付けることにより、全体を一
体に形成したものである。
【００２９】上記第１バルブ３は、上記入力口１０と出
力口１１との間の供給弁座３１と、出力口１１と排気口
１２との間の排気弁座３２と、これらの弁座３１，３２
を開閉する上記弁手段１３とを有している。この弁手段
１３は、弁孔３３内に摺動自在に収容されたピストン３
４と、このピストン３４から延びるバルブステム３５
と、このバルブステム３５の先端に取り付けられて上記
弁座３１，３２をポペット式に開閉する弁体３６と、上
記ピストン３４とケーシング３０との間に介設した復帰
ばね１４とを含んでいて、上記ピストン３４の受圧面側
に区画形成された圧力室３８にパイロット弁５でパイロ
ットエアを供給することにより、このパイロットエアと
上記復帰ばね１４との共同作用によって第１切換位置と
第２切換位置とに切り換えられ、上記弁座３１，３２を
交互に開閉するものである。
力口１１との間の供給弁座３１と、出力口１１と排気口
１２との間の排気弁座３２と、これらの弁座３１，３２
を開閉する上記弁手段１３とを有している。この弁手段
１３は、弁孔３３内に摺動自在に収容されたピストン３
４と、このピストン３４から延びるバルブステム３５
と、このバルブステム３５の先端に取り付けられて上記
弁座３１，３２をポペット式に開閉する弁体３６と、上
記ピストン３４とケーシング３０との間に介設した復帰
ばね１４とを含んでいて、上記ピストン３４の受圧面側
に区画形成された圧力室３８にパイロット弁５でパイロ
ットエアを供給することにより、このパイロットエアと
上記復帰ばね１４との共同作用によって第１切換位置と
第２切換位置とに切り換えられ、上記弁座３１，３２を
交互に開閉するものである。
【００３０】上記パイロット弁５は、上記ケーシング３
０の上面に取り付けられ、該ケーシング３０の内部に設
けられたパイロット流路を通じて上記一次側流路９ａと
圧力室３８とに接続されている。
０の上面に取り付けられ、該ケーシング３０の内部に設
けられたパイロット流路を通じて上記一次側流路９ａと
圧力室３８とに接続されている。
【００３１】また、上記第２バルブ４は、上記入力口２
０と出力口２１との間に形成された弁座４１と、この弁
座４１を開閉する上記弁手段２３とを有している。この
弁手段２３は、弁孔４２内に摺動自在に収容されたピス
トン４３と、このピストン４３から延びるバルブステム
４４と、このバルブステム４４の先端に取り付けられて
上記弁座４１をポペット式に開閉する弁体４５と、上記
ピストン４３とケーシング３０との間に介設された復帰
ばね２４とを含んでいて、上記ピストン４３の受圧面側
に形成された圧力室４７に手動操作弁６でパイロットエ
アを供給することにより、このパイロットエアと上記復
帰ばね２４との共同作用によって第１切換位置と第２切
換位置とに切り換えられ、上記弁座４１を開閉する。そ
して、上記弁体４５及びバルブステム４４には、上記第
２切換位置において上記入力口２０と出力口２１とを制
限的に連通させるための小断面積の流路を形成する上記
オリフィス２５が設けられている。
０と出力口２１との間に形成された弁座４１と、この弁
座４１を開閉する上記弁手段２３とを有している。この
弁手段２３は、弁孔４２内に摺動自在に収容されたピス
トン４３と、このピストン４３から延びるバルブステム
４４と、このバルブステム４４の先端に取り付けられて
上記弁座４１をポペット式に開閉する弁体４５と、上記
ピストン４３とケーシング３０との間に介設された復帰
ばね２４とを含んでいて、上記ピストン４３の受圧面側
に形成された圧力室４７に手動操作弁６でパイロットエ
アを供給することにより、このパイロットエアと上記復
帰ばね２４との共同作用によって第１切換位置と第２切
換位置とに切り換えられ、上記弁座４１を開閉する。そ
して、上記弁体４５及びバルブステム４４には、上記第
２切換位置において上記入力口２０と出力口２１とを制
限的に連通させるための小断面積の流路を形成する上記
オリフィス２５が設けられている。
【００３２】上記手動操作弁６は、上記ケーシング３０
の前面に取り付けられていて、該ケーシング３０の内部
に設けられたパイロット流路を通じて上記一次側流路９
ａと圧力室４７とに接続され、ハンドル６ａを回すこと
によって上記圧力室４７にパイロットエアを供給できる
ように構成されている。
の前面に取り付けられていて、該ケーシング３０の内部
に設けられたパイロット流路を通じて上記一次側流路９
ａと圧力室４７とに接続され、ハンドル６ａを回すこと
によって上記圧力室４７にパイロットエアを供給できる
ように構成されている。
【００３３】また、上記ケーシング３０の前面には、上
記圧力センサー２８ａ，２８ｂで検出したエア圧力や、
測定した消費流量及び漏れ流量等を選択的に表示するた
めの表示部４９が設けられると共に、その表示内容を選
択するための切換スイッチ５０が設けられている。図中
５１ａ，５１ｂは圧力測定用のポートであって、これら
の各ポートにそれぞれ上記圧力センサー２８ａ，２８ｂ
が取り付けられている。
記圧力センサー２８ａ，２８ｂで検出したエア圧力や、
測定した消費流量及び漏れ流量等を選択的に表示するた
めの表示部４９が設けられると共に、その表示内容を選
択するための切換スイッチ５０が設けられている。図中
５１ａ，５１ｂは圧力測定用のポートであって、これら
の各ポートにそれぞれ上記圧力センサー２８ａ，２８ｂ
が取り付けられている。
【００３４】図４〜図６に示す構成のマスターバルブを
試作して試験的に使用し、その時の一次側圧力と二次側
圧力とから上記計算式によりエアの消費流量と漏れ流量
とを求めると共に、それらの圧力に対応する実測流量を
求め、それらを比較した。 （１）試作品の仕様 ポートの管接続口径 ： ３／８ 使用圧力範囲 ： ０．２〜１Ｍｐａ 周囲温度及び使用液体温度 ： ０〜６０℃ Ｃｖ値 第１ポートから第２ポート ： ２．２ 第２ポートから第３ポート ： ２．９ 質量 ： １２６５ｇ
試作して試験的に使用し、その時の一次側圧力と二次側
圧力とから上記計算式によりエアの消費流量と漏れ流量
とを求めると共に、それらの圧力に対応する実測流量を
求め、それらを比較した。 （１）試作品の仕様 ポートの管接続口径 ： ３／８ 使用圧力範囲 ： ０．２〜１Ｍｐａ 周囲温度及び使用液体温度 ： ０〜６０℃ Ｃｖ値 第１ポートから第２ポート ： ２．２ 第２ポートから第３ポート ： ２．９ 質量 ： １２６５ｇ
【００３５】（２）消費流量の比較
上記マスターバルブが消費流量測定のための切換状態に
あるときの流体コンダクタンス（Ｃ）、臨界圧力比
（ｂ）、有効断面積（Ｓ＝計算値）は下記の通りであ
る。 流体コンダクタンス（Ｃ）： ５７２１．８／ｍｉｎ・ｂａｒ 臨界圧力比（ｂ） ： ０．１８４ 有効断面積（Ｓ） ： ６７ｍｍ２ 上述した数値をそれぞれ上記計算式１，２に代入する
と、音速域での消費流量の計算式は、
あるときの流体コンダクタンス（Ｃ）、臨界圧力比
（ｂ）、有効断面積（Ｓ＝計算値）は下記の通りであ
る。 流体コンダクタンス（Ｃ）： ５７２１．８／ｍｉｎ・ｂａｒ 臨界圧力比（ｂ） ： ０．１８４ 有効断面積（Ｓ） ： ６７ｍｍ２ 上述した数値をそれぞれ上記計算式１，２に代入する
と、音速域での消費流量の計算式は、
【数５】
となり、亜音速域での消費流量の計算式は、
【数６】
となり、これらの計算式から消費流量が算出される。
【００３６】また、このマスターバルブの実測による消
費流量特性は図７の線図に示す通りである。この線図に
おける各曲線は、一次側圧力に対する二次側圧力とエア
流量との変化の関係を表すもので、例えば曲線Ｘは、一
次側圧力が０．６Ｍｐａである場合の二次側圧力とエア
流量との変化を表していて、この曲線Ｘ上の点Ｙは、一
次側圧力が０．６Ｍｐａであるとき二次側圧力が０．５
３Ｍｐａであって、そのときのエア流量が１５００ｌ／
ｍｉｎであるということを表している。
費流量特性は図７の線図に示す通りである。この線図に
おける各曲線は、一次側圧力に対する二次側圧力とエア
流量との変化の関係を表すもので、例えば曲線Ｘは、一
次側圧力が０．６Ｍｐａである場合の二次側圧力とエア
流量との変化を表していて、この曲線Ｘ上の点Ｙは、一
次側圧力が０．６Ｍｐａであるとき二次側圧力が０．５
３Ｍｐａであって、そのときのエア流量が１５００ｌ／
ｍｉｎであるということを表している。
【００３７】上記計算式１ａ，２ａを用いて算出した消
費流量の、実測流量に対する比を表１に示す。
費流量の、実測流量に対する比を表１に示す。
【表１】
この表から分かるように、上記構成のマスターバルブを
使用し、その固有値である流体コンダクタンスと臨界圧
力比とを組み入れた計算式から算出した消費流量は、実
測流量に対し、音速域においても亜音速域においても±
５％以内の精度を有する。
使用し、その固有値である流体コンダクタンスと臨界圧
力比とを組み入れた計算式から算出した消費流量は、実
測流量に対し、音速域においても亜音速域においても±
５％以内の精度を有する。
【００３８】（３）漏れ流量の比較
上記マスターバルブが漏れ流量測定のための切換状態に
あるときの流体コンダクタンス（Ｃ）、臨界圧力比
（ｂ）、有効断面積（Ｓ＝計算値）は下記の通りであ
る。 流体コンダクタンス（Ｃ）： ５３５．０／ｍｉｎ・ｂａｒ 臨界圧力比（ｂ） ： ０．２１６ 有効断面積（Ｓ） ： ４０ｍｍ２
あるときの流体コンダクタンス（Ｃ）、臨界圧力比
（ｂ）、有効断面積（Ｓ＝計算値）は下記の通りであ
る。 流体コンダクタンス（Ｃ）： ５３５．０／ｍｉｎ・ｂａｒ 臨界圧力比（ｂ） ： ０．２１６ 有効断面積（Ｓ） ： ４０ｍｍ２
【００３９】上述した数値をそれぞれ上記計算式１，２
に代入すると、音速域での漏れ流量の計算式は、
に代入すると、音速域での漏れ流量の計算式は、
【数７】
となり、亜音速域での漏れ流量の計算式は、
【数８】
となり、これらの計算式から漏れ流量が算出される。
【００４０】また、このマスターバルブの実測による漏
れ流量特性は図８の線図に示す通りである。この線図に
おける各曲線は、一次側圧力に対する二次側圧力とエア
の漏れ流量との変化の関係を表すもので、その見方は図
７の場合と同じである。上記計算式１ｂ，２ｂから算出
した漏れ流量の、実測流量に対する比を表２に示す。
れ流量特性は図８の線図に示す通りである。この線図に
おける各曲線は、一次側圧力に対する二次側圧力とエア
の漏れ流量との変化の関係を表すもので、その見方は図
７の場合と同じである。上記計算式１ｂ，２ｂから算出
した漏れ流量の、実測流量に対する比を表２に示す。
【００４１】
【表２】
この表から分かるように、上記マスターバルブを使用
し、その固有値である流体コンダクタンスと臨界圧力比
とを組み入れた計算式から算出した漏れ流量は、実測流
量に対し、音速域においても亜音速域においても±５％
以内の精度を有する。
し、その固有値である流体コンダクタンスと臨界圧力比
とを組み入れた計算式から算出した漏れ流量は、実測流
量に対し、音速域においても亜音速域においても±５％
以内の精度を有する。
【００４２】
【発明の効果】以上に詳述したように本発明によれば、
エアの定常消費流量と微小な漏れ流量とを差圧流量法を
利用して２段階で精度良く測定することができ、また、
専用の測定装置を用意してマスターバルブとは別に管路
中へ接続する必要がないため、管路の構成も簡単にな
る。
エアの定常消費流量と微小な漏れ流量とを差圧流量法を
利用して２段階で精度良く測定することができ、また、
専用の測定装置を用意してマスターバルブとは別に管路
中へ接続する必要がないため、管路の構成も簡単にな
る。
【図１】本発明の一実施形態を記号によって示す構成図
である。
である。
【図２】図１の装置の他の動作状態を示す構成図であ
る。
る。
【図３】図１の装置の更に他の動作状態を示す構成図で
ある。
ある。
【図４】マスターバルブの一実施形態を示す正面図であ
る。
る。
【図５】図４のマスターバルブの側面図である。
【図６】図４のマスターバルブの断面図である。
【図７】マスターバルブの実測したエアの消費流量特性
を示す線図である。
を示す線図である。
【図８】マスターバルブの実測したエアの漏れ流量特性
を示す線図である。
を示す線図である。
Ｐ１ 第１ポート
Ｐ２ 第２ポート
Ｐ３ 第３ポート
１ マスターバルブ
２ 演算装置
３ 第１バルブ
４ 第２バルブ
５ 切換手段（パイロット弁）
６ 切換手段（手動操作弁）
７ 圧力エア源
８ 空気圧機器
９ 流路
９ａ 一次側流路
９ｂ 中間流路
９ｃ 二次側流路
１０，２０ 入力口
１１，２１ 出力口
１２ 排気口
１３，２３ 弁手段
１４，２４ 復帰ばね
２５ オリフィス
２８ａ，２８ｂ 圧力センサー
３０ ケーシング
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 鎌 田 裕 二
愛知県豊田市トヨタ町１番地 トヨタ自動
車株式会社内
Ｆターム(参考） 2F030 CB02 CC11 CE04 CF08 CF20
3H002 BA01 BB08 BC01 BD04
3H089 BB27 EE35 FF06 FF07 FF12
FF21 GG03 HH29 JJ20
Claims (6)
- 【請求項１】圧力エア源に接続するための第１ポートと
空気圧機器に接続するための第２ポートとを結ぶ流路中
に直列に接続され、個別の切換手段により切換操作され
る第１バルブ及び第２バルブと、上記第１ポートと第１
バルブとを結ぶ一次側流路、及び第２バルブと第２ポー
トとを結ぶ二次側流路にそれぞれ接続され、これらの流
路中のエア圧力を測定して演算装置に出力する圧力セン
サーとを有し、 上記第１バルブは、上記流路を給気状態と排気状態とに
切り換えるための機能を持ち、 上記第２バルブは、上記流路が給気状態及び排気状態に
あるときは該流路の断面積を大きく保ち、空気圧機器に
おけるエアの漏れ流量の測定時には上記流路の断面積を
小さく絞る機能を持つ、ことを特徴とする流量計測機能
付きマスターバルブ。 - 【請求項２】請求項１に記載のマスターバルブにおい
て、上記第１バルブが、第２バルブに通じる中間流路と
上記一次側流路とを連通させる第１切換位置と、上記一
次側流路を遮断しかつ中間流路を外部に開放する第２切
換位置とに切換可能なるように構成され、上記第２バル
ブは、上記中間流路と二次側流路とを全開放状態で連通
させる第１切換位置と、制限開放状態で連通させる第２
切換位置とに切換可能なるように構成されていることを
特徴とするもの。 - 【請求項３】請求項２に記載のマスターバルブにおい
て、上記第１バルブ及び第２バルブがそれぞれ、パイロ
ットエアにより操作されるパイロット操作形のバルブで
あり、また、上記第１バルブを切換操作するための切換
手段が電磁パイロット弁であって、第２バルブを切換操
作するための切換手段が手動操作弁であることを特徴と
するもの。 - 【請求項４】請求項２又は３に記載のマスターバルブに
おいて、上記第１バルブが３ポートバルブであって、上
記第１ポートに通じる入力口と、上記第２バルブの入力
口に通じる出力口と、排気口と、これらの開口を結ぶ流
路を切り換えるための弁手段とを有し、一方の上記第２
バルブは２ポートバルブであって、上記第１バルブの出
力口に通じる上記入力口と、上記第２ポートに通じる出
力口と、これらの入力口と出力口との間を結ぶ流路を開
閉するための弁手段とを有し、該第２バルブの弁手段
に、第２切換位置において上記入力口と出力口とを制限
的に連通させるためのオリフィスが設けられていること
を特徴とするもの。 - 【請求項５】請求項１から４までの何れかに記載のマス
ターバルブにおいて、上記各ポートと流路とを備えた一
つのケーシング内に上記第１バルブと第２バルブとが一
体に組み込まれると共に、該ケーシングに上記切換手段
及び圧力センサーが組み付けられていることを特徴とす
るもの。 - 【請求項６】請求項１から５までの何れかに記載のマス
ターバルブと、上記圧力センサーにより測定されたエア
圧力に基づいて計算式から空気圧機器におけるエアの消
費流量と漏れ流量とを算出する上記演算装置とを有し、
上記計算式が、 【数１】 【数２】 但し、Ｑｍａｘ： 音速域での流量 ｌ／ｍｉｎ（標準状態） Ｑｎ ： 亜音速域での流量 ｌ／ｍｉｎ（標準状態） Ｃ ： 流体コンダクタンス ｌ／（ min・MPa abs ） ｂ ： 臨界圧力比 ＰＨ ： 一次側圧力 ＭＰａ ａｂｓ ＰＬ ： 二次側圧力 ＭＰａ ａｂｓ Ｔｏ ： 絶対温度 ２７３℃ Ｔ ： 常温 ℃ であることを特徴とする流量計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001245725A JP4703912B2 (ja) | 2001-08-13 | 2001-08-13 | 流量計測機能付きマスターバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001245725A JP4703912B2 (ja) | 2001-08-13 | 2001-08-13 | 流量計測機能付きマスターバルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003056510A true JP2003056510A (ja) | 2003-02-26 |
| JP4703912B2 JP4703912B2 (ja) | 2011-06-15 |
Family
ID=19075420
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001245725A Expired - Fee Related JP4703912B2 (ja) | 2001-08-13 | 2001-08-13 | 流量計測機能付きマスターバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4703912B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019520576A (ja) * | 2016-06-27 | 2019-07-18 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | チョーク流れに基づく質量流量検証のための方法、システム、および装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0552615A (ja) * | 1991-08-23 | 1993-03-02 | Fuji Electric Co Ltd | 絞り流量計 |
| JPH06123648A (ja) * | 1992-10-12 | 1994-05-06 | Babcock Hitachi Kk | 流量計測装置 |
| JPH09189586A (ja) * | 1996-01-10 | 1997-07-22 | Toshiba Corp | オリフィス式流量測定装置 |
-
2001
- 2001-08-13 JP JP2001245725A patent/JP4703912B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0552615A (ja) * | 1991-08-23 | 1993-03-02 | Fuji Electric Co Ltd | 絞り流量計 |
| JPH06123648A (ja) * | 1992-10-12 | 1994-05-06 | Babcock Hitachi Kk | 流量計測装置 |
| JPH09189586A (ja) * | 1996-01-10 | 1997-07-22 | Toshiba Corp | オリフィス式流量測定装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019520576A (ja) * | 2016-06-27 | 2019-07-18 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | チョーク流れに基づく質量流量検証のための方法、システム、および装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4703912B2 (ja) | 2011-06-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB2414817A (en) | Multi-valve fluid operated cylinder positioning system | |
| JP2006506608A5 (ja) | ||
| KR20180133429A (ko) | 밸브 디바이스의 작동 방법, 밸브 디바이스, 및 컴퓨터 프로그램을 갖는 데이터 캐리어 | |
| JP2006512545A5 (ja) | ||
| EP1705435A3 (en) | Constant flow rate expansion valve | |
| WO2017122714A1 (ja) | 流量測定可能なガス供給装置、流量計、及び流量測定方法 | |
| ATE407313T1 (de) | Flüssigkeitssteuerventil | |
| JP2018179840A (ja) | エアリークテスタ、エアリークテスト方法 | |
| CA2463209A1 (en) | Proportional pressure regulator having positive and negative pressure delivery capability | |
| JPH06295209A (ja) | 流体コントロールバルブ | |
| CA2312276A1 (en) | Apparatus for dynamically adjusting size of an orifice to increase accuracy in measuring the rate of air flow | |
| JP2003056510A (ja) | 流量計測機能付きマスターバルブ | |
| US20090101213A1 (en) | Apparatus for controlling and metering fluid flow | |
| US6408879B1 (en) | Fluid control device | |
| WO2005111481A3 (en) | Gate valve | |
| CN114088146A (zh) | 一种气体流量检测控制集成阀岛装置 | |
| CN212458870U (zh) | 一种气压调节阀检测装置 | |
| JP2002023858A (ja) | パイロット式圧力比例制御弁システム | |
| JP2001289202A (ja) | バルブ構造 | |
| CN218937689U (zh) | 一种同时检测气密性及流量的阀门检测系统 | |
| CN221033403U (zh) | 一种改良密封性气路 | |
| EP1262393A3 (en) | Low slip steering system and improved fluid controller therefor | |
| JP2529815Y2 (ja) | 圧力調整器 | |
| JP2001208578A (ja) | 流量測定装置 | |
| WO2004065798A8 (en) | Accurate fluid operated cylinder positioning system |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080402 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101126 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101207 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110121 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110215 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110309 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |