JP2003039366A - 真空供給装置 - Google Patents
真空供給装置Info
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- JP2003039366A JP2003039366A JP2001224180A JP2001224180A JP2003039366A JP 2003039366 A JP2003039366 A JP 2003039366A JP 2001224180 A JP2001224180 A JP 2001224180A JP 2001224180 A JP2001224180 A JP 2001224180A JP 2003039366 A JP2003039366 A JP 2003039366A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワークＷの吸着時には負圧空気を供給し、ワ
ークＷを離脱する真空破壊時にはワークＷを吹き飛ばす
ことのない、簡潔な真空供給装置を提供する。 【解決手段】 ワークＷを真空吸着する吸着具１３と負
圧空気を発生する真空供給源１１との間に、吸着具１３
が接続する真空出力ポート１４を真空供給源１１が接続
する真空入力ポート１５に連通する吸着位置と、外気を
導く真空破壊ポート１６に連通する離脱位置とにパイロ
ット圧室１９の圧力制御で作動する真空供給弁１２を設
ける。真空供給弁１２のパイロット圧室１９と正圧供給
源１０との間に、パイロット圧室１９に正圧空気を供給
する給気位置と、前記パイロット圧室１９内を排気する
排気位置とに作動する電磁パイロット弁１７を設ける。
電磁パイロット弁１７の通電制御により、吸着時には真
空制御弁を吸着位置に作動させ吸着し、離脱時には真空
供給弁１２を離脱位置に作動させ大気圧により真空破壊
する。
ークＷを離脱する真空破壊時にはワークＷを吹き飛ばす
ことのない、簡潔な真空供給装置を提供する。 【解決手段】 ワークＷを真空吸着する吸着具１３と負
圧空気を発生する真空供給源１１との間に、吸着具１３
が接続する真空出力ポート１４を真空供給源１１が接続
する真空入力ポート１５に連通する吸着位置と、外気を
導く真空破壊ポート１６に連通する離脱位置とにパイロ
ット圧室１９の圧力制御で作動する真空供給弁１２を設
ける。真空供給弁１２のパイロット圧室１９と正圧供給
源１０との間に、パイロット圧室１９に正圧空気を供給
する給気位置と、前記パイロット圧室１９内を排気する
排気位置とに作動する電磁パイロット弁１７を設ける。
電磁パイロット弁１７の通電制御により、吸着時には真
空制御弁を吸着位置に作動させ吸着し、離脱時には真空
供給弁１２を離脱位置に作動させ大気圧により真空破壊
する。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワークを真空吸着
する吸着具に対して、作動流体の供給制御を行う真空供
給装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】半導体集積回路が形成されたＩＣやＬＳ
Ｉなどの電子部品を検査する場合、トレイなどに配置さ
れた多数の電子部品を吸着搬送装置により検査ボードに
搭載するようにしている。また、実装基板に電子部品を
搭載する場合にも、吸着搬送装置を用いて所定の順序で
電子部品を実装基板に搭載するようにしている。 【０００３】このような吸着搬送装置は、水平方向に移
動自在な搬送ヘッドを有しており、搬送ヘッドには垂直
方向に移動自在な上下動部材が取り付けられている。ま
た、上下動部材の先端には、ワークを吸着する吸着具が
装着されたものがある。吸着具により吸着されたワーク
は、上昇移動された後に所定の位置まで水平移動され、
そして、下降移動されることにより所定の位置に搬送さ
れる。 【０００４】吸着具は、吸着具内部を負圧状態とし大気
圧との圧力差でワークを吸着するものがある。このよう
な吸着具は内部に連通する着脱流路を有しており、この
着脱流路に真空供給源と正圧供給源とが制御弁を介して
連結される。ワークを吸着する際には着脱流路と真空供
給源とが連通される一方、ワークを離脱する際には着脱
流路と正圧供給源とが連通され、着脱流路内の真空を破
壊することによりワークは確実に離脱される。 【０００５】真空供給源と着脱流路とを繋ぐ流路に設け
られる真空供給制御弁、および正圧供給源と着脱流路と
を繋ぐ流路に設けられる正圧供給制御弁は、通常、流路
を連通する位置と、流路を遮断する位置とに作動する２
ポート切換弁が使用されており、２つの切換弁を電磁パ
イロット弁により作動制御することで吸着と離脱とが制
御される。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】昨今のワークである電
子部品は、形状が小さくかつ軽くなってきており、離脱
時に正圧空気によって真空破壊を行うと、ワークが吹き
飛ばされ所定の位置に搭載することができないおそれが
ある。また、真空破壊用の正圧空気を絞り弁を介して流
量を減少させることにより、徐々に真空破壊を行って離
脱させるとワークを吹き飛ばすことなく離脱させること
ができる。しかしながら、正圧空気の流量を絞るため
に、真空破壊を行いワークを離脱させるまでの時間が長
くなり、製造工程でのタクトタイムに影響を及ぼすおそ
れがある。 【０００７】また、着脱流路に２つの切換弁が設けら
れ、それぞれの切換弁を制御するために、２系統の制御
回路を有する複雑な真空供給装置となっていた。 【０００８】本発明の目的は、ワークの吸着時には吸着
具に対して負圧空気を供給し、離脱時には吸着具に対し
てワークを吹き飛ばすことなく真空破壊を行う、簡潔な
構成の真空供給装置を提供することにある。 【０００９】 【課題を解決するための手段】本発明の真空供給装置
は、ワークを真空吸着する吸着具に負圧空気を供給する
真空供給装置であって、前記吸着具に接続される真空出
力ポートを真空供給源に接続された真空入力ポートに連
通させる吸着位置と、外気を導入する真空破壊ポートに
連通させる離脱位置とに作動する真空供給弁と、前記真
空供給弁のパイロット圧室と正圧供給源との間に設けら
れ、前記パイロット圧室に正圧空気を供給する給気位置
と、前記パイロット圧室内の空気を排気する排気位置と
に作動する電磁パイロット弁とを有することを特徴とす
る。 【００１０】本発明によれば、１つの制御系統により吸
着具に対する制御流体の供給を行うことができるため
に、簡潔な構造の真空供給装置を得ることができる。 【００１１】本発明によれば、真空破壊を大気圧の導入
により行うために、ワークを吹き飛ばすことなく離脱す
る簡潔な構造の真空供給装置を得ることができる。 【００１２】 【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。 【００１３】図１は本発明の一実施の形態である真空供
給装置を示す回路図である。図１に示すように、この真
空供給装置は、正圧供給源１０と真空供給源１１とを有
しており、正圧供給源１０からの空気圧により真空供給
弁１２の作動を制御し、真空供給弁１２の作動により真
空供給源１１からの負圧空気を吸着具１３の着脱流路１
３ａに案内することでワークＷを吸着具１３に吸着する
ものである。 【００１４】真空供給源１１と吸着具１３との間には真
空供給弁１２が設けられている。真空供給弁１２は、吸
着具１３に連通する真空出力ポート１４、真空供給源１
１に連通する真空入力ポート１５、および外部に連通す
る真空破壊ポート１６を有する３ポート２位置切換弁で
あり、この真空供給弁１２は、真空出力ポート１４と真
空入力ポート１５とを連通しワークＷを吸着する吸着位
置と、真空出力ポート１４と真空破壊ポート１６とを連
通しワークＷを離脱する離脱位置とに作動する。 【００１５】また、真空供給弁１２と正圧供給源１０と
の間には電磁パイロット弁１７が設けられている。真空
供給弁１２の作動を制御する電磁パイロット弁１７は、
正圧供給源１０に連通する給気ポート１８、真空供給弁
１２に形成されるパイロット圧室１９に連通するパイロ
ット圧ポート２０、および外部に連通する排気ポート２
１を有する３ポート２位置切換弁であり、この電磁パイ
ロット弁１７は、ソレノイド２２の通電によりパイロッ
ト圧ポート２０と給気ポート１８とを連通する給気位置
と、ソレノイド２２の通電遮断によりパイロット圧ポー
ト２０と排気ポート２１とを連通する排気位置とに作動
する。 【００１６】電磁パイロット弁１７のソレノイド２２に
通電を行うことにより、パイロット圧が出力され、真空
供給弁１２は吸着位置に作動する。一方、ソレノイド２
２の通電が遮断されると、供給されていたパイロット圧
は排気ポート２１より排気され、真空供給弁１２は離脱
位置に作動する。 【００１７】図２は本発明の一実施の形態である真空供
給装置の一部を示す斜視図であり、図３は図２のＡ−Ａ
に沿う断面図である。図２および図３に示すように、真
空供給弁１２は、複数の部材からなるハウジング２３を
有しており、このハウジング２３は弁ブロック２３ａ、
パイロットブロック２３ｂ、および流路ブロック２３ｃ
により構成されている。ほぼ直方体形状の弁ブロック２
３ａの図２に示す下端部には、パイロットブロック２３
ｂが取り付けられ、この弁ブロック２３ａとパイロット
ブロック２３ｂとにより構成される両端面には、流路ブ
ロック２３ｃと電磁パイロット弁１７とがそれぞれ取り
付けられ、ねじ部材２４により固定される。また、流路
ブロック２３ｃに真空供給弁１２内に異物の混入を防ぐ
フィルタ２５が装着されている。 【００１８】流路ブロック２３ｃには、真空出力ポート
１４、真空入力ポート１５、真空破壊ポート１６、およ
び正圧供給源１０が接続される接続ポート２６がそれぞ
れ形成され、これらのポート１４〜１６，２６のそれぞ
れに連通する複数の流路１４ａ〜１６ａ，２６ａがそれ
ぞれ内部に形成されている。また、流路ブロック２３ｃ
の外側面に真空供給弁１２を固定するための取付ねじ孔
２７が複数形成されている。 【００１９】流路ブロック２３ｃに装着される弁ブロッ
ク２３ａには、長手方向に弁収容孔３０が形成されてお
り、弁収容孔３０は、図３に示す下端部よりスリーブ収
容部３０ａ、弁体収容部３０ｂ、および弁軸収容部３０
ｃにより構成され、弁体収容部３０ｂには弁座３１が形
成されている。また、弁ブロック２３ａには、真空入力
ポート１５とスリーブ収容部３０ａとを連通する流路１
５ｂが形成され、真空出力ポート１４と弁体収容部３０
ｂとを連通し、真空破壊ポート１６と弁軸収容部３０ｃ
とを連通する流路１４ｂ，１６ｂがそれぞれ形成されて
いる。 【００２０】この弁収容孔３０に、弁軸３２が軸方向に
摺動自在に装着され、弁軸３２のほぼ中央部に弁体３３
が設けられている。弁収容孔３０のスリーブ収容部３０
ａには弁座３４が形成されるスリーブ３５が嵌合され、
パイロットブロック２３ｂにより固定される。このよう
に弁体３３は弁体収容部３０ｂとスリーブ３５とのそれ
ぞれの弁座３１，３４に挟まれ保持されている。 【００２１】弁ブロック２３ａに装着される弁軸３２の
両端部には、ばね受け３６とピストン３７とがそれぞれ
設けられ、弁ブロック２３ａとばね受け３６とにより形
成されるばね室３８に、ばね部材３９が装着される。ま
た、パイロットブロック２３ｂとピストン３７とにより
パイロット圧室１９が形成され、パイロット圧室１９に
圧縮空気を送り込むと、弁軸３２は軸方向にばね部材３
９を圧縮しながら駆動し、弁体３３は弁収容孔３０に形
成される弁座３１に圧接され、弁体３３と弁座３１との
間に形成される隙間は遮断される。このように、パイロ
ット圧室１９を加圧することにより、真空出力ポート１
４と真空入力ポート１５とは連通する。一方、パイロッ
ト圧室１９に送り込まれていた圧縮空気を排出すると、
パイロット圧室１９の減圧に伴いばね部材３９のばね力
により、弁軸３２は弁体３３を弁座３４に圧接する方向
に駆動される。このように、パイロット圧室１９の圧縮
空気を排出することにより、真空出力ポート１４と真空
破壊ポート１６とは連通する。 【００２２】弁ブロック２３ａに装着される電磁パイロ
ット弁１７は、給気ポート１８、排気ポート２１、およ
びパイロット圧ポート２０を有しており、それぞれのポ
ート１８，２０，２１のそれぞれに連通する流路１８
ａ，２０ａ，２１ａが形成されている。３つの流路１８
ａ，２０ａ，２１ａは開口孔４０を介して給気流路１８
ａとパイロット流路２０ａとが連通し、開口孔４１を介
して排気流路２１ａとパイロット流路２０ａとが連通し
ている。ソレノイド２２に通電および通電遮断を行うこ
とにより、２つの開口孔４０，４１を開閉する２つの弁
体４２，４３が連動して作動し、開口孔４０を開いて開
口孔４１を閉じ、パイロット流路２０ａと給気流路１８
ａとを連通させる給気位置と、開口孔４０を閉じて開口
孔４１を開き、パイロット流路２０ａと排気流路２１ａ
とを連通させる排気位置とに電磁パイロット弁１７を駆
動する。なお、電磁パイロット弁１７には手動ボタン４
４が設けられており、手動ボタン４４を押圧することに
より電磁パイロット弁１７を給気位置に作動することも
できる。 【００２３】弁ブロック２３ａには、正圧供給源１０か
らの圧縮空気を給気ポート１８に案内する流路４５が形
成され、排気ポート２１からの圧縮空気を排気口４６に
案内する流路４７が形成されている。また、弁ブロック
２３ａとパイロットブロック２３ｂには、パイロット圧
室１９にパイロット圧を案内する流路４８ａ，４８ｂが
それぞれ形成されている。したがって、電磁パイロット
弁１７を給気位置に駆動すると、正圧供給源１０からの
圧縮空気がパイロット流路２０ａを介してパイロット圧
室１９に案内される。そして、真空供給弁１２は吸着位
置に駆動することで、吸着具１３に負圧空気が案内され
ワークＷを吸着することが可能となる。 【００２４】一方、電磁パイロット弁１７を排気位置に
駆動すると、パイロット圧室１９に供給されていた圧縮
空気がパイロット流路２０ａ、および排気流路２１ａを
介して排気口４６より外部に排出され、真空供給弁１２
は離脱位置に駆動する。このとき、吸着具１３は大気圧
により真空破壊され、吸着されていたワークＷを吹き飛
ばすことなく離脱することが可能となる。 【００２５】このように、１つの真空供給弁１２を作動
制御することで吸着具１３に作動流体を供給制御し、大
気圧により真空破壊を行うことで、ワークＷの離脱時に
はワークＷを吹き飛ばすことのない、簡潔な構造の真空
供給装置とすることができる。 【００２６】本発明は前記実施の形態に限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能で
あることはいうまでもない。たとえば、図示する真空供
給弁１２は、パイロット圧室１９にパイロット圧を供給
すると吸着位置に作動し、パイロット圧を排出すると離
脱位置に作動するが、パイロット圧の供給により離脱位
置に作動させ、パイロット圧の排出により吸着位置に作
動させても良い。また、図示する電磁パイロット弁１７
は、ソレノイド２２の通電により給気位置に作動する
が、ソレノイド２２の通電により排気位置に作動する電
磁パイロット弁１７を用いて真空供給弁１２を制御する
こともできる。 【００２７】 【発明の効果】本発明によれば、１つの制御系統により
吸着具に対する制御流体の供給を行うことができるため
に、簡潔な構造の真空供給装置を得ることができる。 【００２８】本発明によれば、真空破壊を大気圧の導入
により行うために、ワークを吹き飛ばすことなく離脱す
る簡潔な構造の真空供給装置を得ることができる。
する吸着具に対して、作動流体の供給制御を行う真空供
給装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】半導体集積回路が形成されたＩＣやＬＳ
Ｉなどの電子部品を検査する場合、トレイなどに配置さ
れた多数の電子部品を吸着搬送装置により検査ボードに
搭載するようにしている。また、実装基板に電子部品を
搭載する場合にも、吸着搬送装置を用いて所定の順序で
電子部品を実装基板に搭載するようにしている。 【０００３】このような吸着搬送装置は、水平方向に移
動自在な搬送ヘッドを有しており、搬送ヘッドには垂直
方向に移動自在な上下動部材が取り付けられている。ま
た、上下動部材の先端には、ワークを吸着する吸着具が
装着されたものがある。吸着具により吸着されたワーク
は、上昇移動された後に所定の位置まで水平移動され、
そして、下降移動されることにより所定の位置に搬送さ
れる。 【０００４】吸着具は、吸着具内部を負圧状態とし大気
圧との圧力差でワークを吸着するものがある。このよう
な吸着具は内部に連通する着脱流路を有しており、この
着脱流路に真空供給源と正圧供給源とが制御弁を介して
連結される。ワークを吸着する際には着脱流路と真空供
給源とが連通される一方、ワークを離脱する際には着脱
流路と正圧供給源とが連通され、着脱流路内の真空を破
壊することによりワークは確実に離脱される。 【０００５】真空供給源と着脱流路とを繋ぐ流路に設け
られる真空供給制御弁、および正圧供給源と着脱流路と
を繋ぐ流路に設けられる正圧供給制御弁は、通常、流路
を連通する位置と、流路を遮断する位置とに作動する２
ポート切換弁が使用されており、２つの切換弁を電磁パ
イロット弁により作動制御することで吸着と離脱とが制
御される。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】昨今のワークである電
子部品は、形状が小さくかつ軽くなってきており、離脱
時に正圧空気によって真空破壊を行うと、ワークが吹き
飛ばされ所定の位置に搭載することができないおそれが
ある。また、真空破壊用の正圧空気を絞り弁を介して流
量を減少させることにより、徐々に真空破壊を行って離
脱させるとワークを吹き飛ばすことなく離脱させること
ができる。しかしながら、正圧空気の流量を絞るため
に、真空破壊を行いワークを離脱させるまでの時間が長
くなり、製造工程でのタクトタイムに影響を及ぼすおそ
れがある。 【０００７】また、着脱流路に２つの切換弁が設けら
れ、それぞれの切換弁を制御するために、２系統の制御
回路を有する複雑な真空供給装置となっていた。 【０００８】本発明の目的は、ワークの吸着時には吸着
具に対して負圧空気を供給し、離脱時には吸着具に対し
てワークを吹き飛ばすことなく真空破壊を行う、簡潔な
構成の真空供給装置を提供することにある。 【０００９】 【課題を解決するための手段】本発明の真空供給装置
は、ワークを真空吸着する吸着具に負圧空気を供給する
真空供給装置であって、前記吸着具に接続される真空出
力ポートを真空供給源に接続された真空入力ポートに連
通させる吸着位置と、外気を導入する真空破壊ポートに
連通させる離脱位置とに作動する真空供給弁と、前記真
空供給弁のパイロット圧室と正圧供給源との間に設けら
れ、前記パイロット圧室に正圧空気を供給する給気位置
と、前記パイロット圧室内の空気を排気する排気位置と
に作動する電磁パイロット弁とを有することを特徴とす
る。 【００１０】本発明によれば、１つの制御系統により吸
着具に対する制御流体の供給を行うことができるため
に、簡潔な構造の真空供給装置を得ることができる。 【００１１】本発明によれば、真空破壊を大気圧の導入
により行うために、ワークを吹き飛ばすことなく離脱す
る簡潔な構造の真空供給装置を得ることができる。 【００１２】 【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。 【００１３】図１は本発明の一実施の形態である真空供
給装置を示す回路図である。図１に示すように、この真
空供給装置は、正圧供給源１０と真空供給源１１とを有
しており、正圧供給源１０からの空気圧により真空供給
弁１２の作動を制御し、真空供給弁１２の作動により真
空供給源１１からの負圧空気を吸着具１３の着脱流路１
３ａに案内することでワークＷを吸着具１３に吸着する
ものである。 【００１４】真空供給源１１と吸着具１３との間には真
空供給弁１２が設けられている。真空供給弁１２は、吸
着具１３に連通する真空出力ポート１４、真空供給源１
１に連通する真空入力ポート１５、および外部に連通す
る真空破壊ポート１６を有する３ポート２位置切換弁で
あり、この真空供給弁１２は、真空出力ポート１４と真
空入力ポート１５とを連通しワークＷを吸着する吸着位
置と、真空出力ポート１４と真空破壊ポート１６とを連
通しワークＷを離脱する離脱位置とに作動する。 【００１５】また、真空供給弁１２と正圧供給源１０と
の間には電磁パイロット弁１７が設けられている。真空
供給弁１２の作動を制御する電磁パイロット弁１７は、
正圧供給源１０に連通する給気ポート１８、真空供給弁
１２に形成されるパイロット圧室１９に連通するパイロ
ット圧ポート２０、および外部に連通する排気ポート２
１を有する３ポート２位置切換弁であり、この電磁パイ
ロット弁１７は、ソレノイド２２の通電によりパイロッ
ト圧ポート２０と給気ポート１８とを連通する給気位置
と、ソレノイド２２の通電遮断によりパイロット圧ポー
ト２０と排気ポート２１とを連通する排気位置とに作動
する。 【００１６】電磁パイロット弁１７のソレノイド２２に
通電を行うことにより、パイロット圧が出力され、真空
供給弁１２は吸着位置に作動する。一方、ソレノイド２
２の通電が遮断されると、供給されていたパイロット圧
は排気ポート２１より排気され、真空供給弁１２は離脱
位置に作動する。 【００１７】図２は本発明の一実施の形態である真空供
給装置の一部を示す斜視図であり、図３は図２のＡ−Ａ
に沿う断面図である。図２および図３に示すように、真
空供給弁１２は、複数の部材からなるハウジング２３を
有しており、このハウジング２３は弁ブロック２３ａ、
パイロットブロック２３ｂ、および流路ブロック２３ｃ
により構成されている。ほぼ直方体形状の弁ブロック２
３ａの図２に示す下端部には、パイロットブロック２３
ｂが取り付けられ、この弁ブロック２３ａとパイロット
ブロック２３ｂとにより構成される両端面には、流路ブ
ロック２３ｃと電磁パイロット弁１７とがそれぞれ取り
付けられ、ねじ部材２４により固定される。また、流路
ブロック２３ｃに真空供給弁１２内に異物の混入を防ぐ
フィルタ２５が装着されている。 【００１８】流路ブロック２３ｃには、真空出力ポート
１４、真空入力ポート１５、真空破壊ポート１６、およ
び正圧供給源１０が接続される接続ポート２６がそれぞ
れ形成され、これらのポート１４〜１６，２６のそれぞ
れに連通する複数の流路１４ａ〜１６ａ，２６ａがそれ
ぞれ内部に形成されている。また、流路ブロック２３ｃ
の外側面に真空供給弁１２を固定するための取付ねじ孔
２７が複数形成されている。 【００１９】流路ブロック２３ｃに装着される弁ブロッ
ク２３ａには、長手方向に弁収容孔３０が形成されてお
り、弁収容孔３０は、図３に示す下端部よりスリーブ収
容部３０ａ、弁体収容部３０ｂ、および弁軸収容部３０
ｃにより構成され、弁体収容部３０ｂには弁座３１が形
成されている。また、弁ブロック２３ａには、真空入力
ポート１５とスリーブ収容部３０ａとを連通する流路１
５ｂが形成され、真空出力ポート１４と弁体収容部３０
ｂとを連通し、真空破壊ポート１６と弁軸収容部３０ｃ
とを連通する流路１４ｂ，１６ｂがそれぞれ形成されて
いる。 【００２０】この弁収容孔３０に、弁軸３２が軸方向に
摺動自在に装着され、弁軸３２のほぼ中央部に弁体３３
が設けられている。弁収容孔３０のスリーブ収容部３０
ａには弁座３４が形成されるスリーブ３５が嵌合され、
パイロットブロック２３ｂにより固定される。このよう
に弁体３３は弁体収容部３０ｂとスリーブ３５とのそれ
ぞれの弁座３１，３４に挟まれ保持されている。 【００２１】弁ブロック２３ａに装着される弁軸３２の
両端部には、ばね受け３６とピストン３７とがそれぞれ
設けられ、弁ブロック２３ａとばね受け３６とにより形
成されるばね室３８に、ばね部材３９が装着される。ま
た、パイロットブロック２３ｂとピストン３７とにより
パイロット圧室１９が形成され、パイロット圧室１９に
圧縮空気を送り込むと、弁軸３２は軸方向にばね部材３
９を圧縮しながら駆動し、弁体３３は弁収容孔３０に形
成される弁座３１に圧接され、弁体３３と弁座３１との
間に形成される隙間は遮断される。このように、パイロ
ット圧室１９を加圧することにより、真空出力ポート１
４と真空入力ポート１５とは連通する。一方、パイロッ
ト圧室１９に送り込まれていた圧縮空気を排出すると、
パイロット圧室１９の減圧に伴いばね部材３９のばね力
により、弁軸３２は弁体３３を弁座３４に圧接する方向
に駆動される。このように、パイロット圧室１９の圧縮
空気を排出することにより、真空出力ポート１４と真空
破壊ポート１６とは連通する。 【００２２】弁ブロック２３ａに装着される電磁パイロ
ット弁１７は、給気ポート１８、排気ポート２１、およ
びパイロット圧ポート２０を有しており、それぞれのポ
ート１８，２０，２１のそれぞれに連通する流路１８
ａ，２０ａ，２１ａが形成されている。３つの流路１８
ａ，２０ａ，２１ａは開口孔４０を介して給気流路１８
ａとパイロット流路２０ａとが連通し、開口孔４１を介
して排気流路２１ａとパイロット流路２０ａとが連通し
ている。ソレノイド２２に通電および通電遮断を行うこ
とにより、２つの開口孔４０，４１を開閉する２つの弁
体４２，４３が連動して作動し、開口孔４０を開いて開
口孔４１を閉じ、パイロット流路２０ａと給気流路１８
ａとを連通させる給気位置と、開口孔４０を閉じて開口
孔４１を開き、パイロット流路２０ａと排気流路２１ａ
とを連通させる排気位置とに電磁パイロット弁１７を駆
動する。なお、電磁パイロット弁１７には手動ボタン４
４が設けられており、手動ボタン４４を押圧することに
より電磁パイロット弁１７を給気位置に作動することも
できる。 【００２３】弁ブロック２３ａには、正圧供給源１０か
らの圧縮空気を給気ポート１８に案内する流路４５が形
成され、排気ポート２１からの圧縮空気を排気口４６に
案内する流路４７が形成されている。また、弁ブロック
２３ａとパイロットブロック２３ｂには、パイロット圧
室１９にパイロット圧を案内する流路４８ａ，４８ｂが
それぞれ形成されている。したがって、電磁パイロット
弁１７を給気位置に駆動すると、正圧供給源１０からの
圧縮空気がパイロット流路２０ａを介してパイロット圧
室１９に案内される。そして、真空供給弁１２は吸着位
置に駆動することで、吸着具１３に負圧空気が案内され
ワークＷを吸着することが可能となる。 【００２４】一方、電磁パイロット弁１７を排気位置に
駆動すると、パイロット圧室１９に供給されていた圧縮
空気がパイロット流路２０ａ、および排気流路２１ａを
介して排気口４６より外部に排出され、真空供給弁１２
は離脱位置に駆動する。このとき、吸着具１３は大気圧
により真空破壊され、吸着されていたワークＷを吹き飛
ばすことなく離脱することが可能となる。 【００２５】このように、１つの真空供給弁１２を作動
制御することで吸着具１３に作動流体を供給制御し、大
気圧により真空破壊を行うことで、ワークＷの離脱時に
はワークＷを吹き飛ばすことのない、簡潔な構造の真空
供給装置とすることができる。 【００２６】本発明は前記実施の形態に限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能で
あることはいうまでもない。たとえば、図示する真空供
給弁１２は、パイロット圧室１９にパイロット圧を供給
すると吸着位置に作動し、パイロット圧を排出すると離
脱位置に作動するが、パイロット圧の供給により離脱位
置に作動させ、パイロット圧の排出により吸着位置に作
動させても良い。また、図示する電磁パイロット弁１７
は、ソレノイド２２の通電により給気位置に作動する
が、ソレノイド２２の通電により排気位置に作動する電
磁パイロット弁１７を用いて真空供給弁１２を制御する
こともできる。 【００２７】 【発明の効果】本発明によれば、１つの制御系統により
吸着具に対する制御流体の供給を行うことができるため
に、簡潔な構造の真空供給装置を得ることができる。 【００２８】本発明によれば、真空破壊を大気圧の導入
により行うために、ワークを吹き飛ばすことなく離脱す
る簡潔な構造の真空供給装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態である真空供給装置を示
す回路図である。 【図２】本発明の一実施の形態である真空供給装置の一
部を示す斜視図である。 【図３】図２のＡ−Ａに沿う断面図である。 【符号の説明】 １０ 正圧供給源 １１ 真空供給源 １２ 真空供給弁 １３ 吸着具 １３ａ 着脱流路 １４ 真空出力ポート １５ 真空入力ポート １６ 真空破壊ポート １７ 電磁パイロット弁 １８ 給気ポート １８ａ 給気流路 １９ パイロット圧室 ２０ パイロット圧ポート ２０ａ パイロット流路 ２１ 排気ポート ２１ａ 排気流路 ２２ ソレノイド ２３ ハウジング ２３ａ 弁ブロック ２３ｂ パイロットブロック ２３ｃ 流路ブロック ２４ ねじ部材 ２５ フィルタ ２６ 接続ポート ２７ 取付ねじ孔 ３０ 弁収容孔 ３０ａ スリーブ収容部 ３０ｂ 弁体収容部 ３０ｃ 弁軸収容部 ３１ 弁座 ３２ 弁軸 ３３ 弁体 ３４ 弁座 ３５ スリーブ ３６ ばね受け ３７ ピストン ３８ ばね室 ３９ ばね部材 ４０，４１ 開口孔 ４２，４３ 弁体 ４４ 手動ボタン ４５ 流路 ４６ 排気口 ４７ 流路 ４８ａ，４８ｂ 流路 Ｗ ワーク
す回路図である。 【図２】本発明の一実施の形態である真空供給装置の一
部を示す斜視図である。 【図３】図２のＡ−Ａに沿う断面図である。 【符号の説明】 １０ 正圧供給源 １１ 真空供給源 １２ 真空供給弁 １３ 吸着具 １３ａ 着脱流路 １４ 真空出力ポート １５ 真空入力ポート １６ 真空破壊ポート １７ 電磁パイロット弁 １８ 給気ポート １８ａ 給気流路 １９ パイロット圧室 ２０ パイロット圧ポート ２０ａ パイロット流路 ２１ 排気ポート ２１ａ 排気流路 ２２ ソレノイド ２３ ハウジング ２３ａ 弁ブロック ２３ｂ パイロットブロック ２３ｃ 流路ブロック ２４ ねじ部材 ２５ フィルタ ２６ 接続ポート ２７ 取付ねじ孔 ３０ 弁収容孔 ３０ａ スリーブ収容部 ３０ｂ 弁体収容部 ３０ｃ 弁軸収容部 ３１ 弁座 ３２ 弁軸 ３３ 弁体 ３４ 弁座 ３５ スリーブ ３６ ばね受け ３７ ピストン ３８ ばね室 ３９ ばね部材 ４０，４１ 開口孔 ４２，４３ 弁体 ４４ 手動ボタン ４５ 流路 ４６ 排気口 ４７ 流路 ４８ａ，４８ｂ 流路 Ｗ ワーク
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 ワークを真空吸着する吸着具に負圧空気
を供給する真空供給装置であって、 前記吸着具に接続される真空出力ポートを真空供給源に
接続される真空入力ポートに連通させる吸着位置と、外
気を導入する真空破壊ポートに連通させる離脱位置とに
作動する真空供給弁と、 前記真空供給弁のパイロット圧室と正圧供給源との間に
設けられ、前記パイロット圧室に正圧空気を供給する給
気位置と、前記パイロット圧室内の空気を排気する排気
位置とに作動する電磁パイロット弁とを有することを特
徴とする真空供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001224180A JP2003039366A (ja) | 2001-07-25 | 2001-07-25 | 真空供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001224180A JP2003039366A (ja) | 2001-07-25 | 2001-07-25 | 真空供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003039366A true JP2003039366A (ja) | 2003-02-13 |
Family
ID=19057390
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001224180A Pending JP2003039366A (ja) | 2001-07-25 | 2001-07-25 | 真空供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003039366A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2883339A1 (fr) * | 2005-03-15 | 2006-09-22 | Sapelem Soc Par Actions Simpli | Actionneur pneumatique et son dispositif de transfert integrant un tel actionneur |
| CN103889876A (zh) * | 2011-10-25 | 2014-06-25 | 谢雷克斯公司 | 用于在真空动力工具中非线性压缩/伸展的波纹管的插入件 |
-
2001
- 2001-07-25 JP JP2001224180A patent/JP2003039366A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2883339A1 (fr) * | 2005-03-15 | 2006-09-22 | Sapelem Soc Par Actions Simpli | Actionneur pneumatique et son dispositif de transfert integrant un tel actionneur |
| CN103889876A (zh) * | 2011-10-25 | 2014-06-25 | 谢雷克斯公司 | 用于在真空动力工具中非线性压缩/伸展的波纹管的插入件 |
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