JP2003030944A

JP2003030944A - 磁気ディスク評価装置

Info

Publication number: JP2003030944A
Application number: JP2001218130A
Authority: JP
Inventors: Toru Yokohata; 徹横畑; Yoshiharu Kasamatsu; 祥治笠松; Satoru Momose; 悟百瀬; Naoyuki Yamamoto; 尚之山本
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 2001-07-18
Filing date: 2001-07-18
Publication date: 2003-01-31
Also published as: US6985315B2; US20030026015A1

Abstract

(57)【要約】【課題】安定浮上を維持できるグライドハイト評価ヘ
ッドを備え正確な磁気ディスク評価を実現できる磁気デ
ィスク評価装置を提供する。【解決手段】回転する磁気ディスクの表面上を移動可
能とされ、前記磁気ディスクとの接触高さを検出するた
めのグライドハイト評価ヘッドと、前記グライドハイト
評価ヘッドを支持するヘッド支持体とを含み、前記磁気
ディスクの浮上保証量を評価する磁気ディスク評価装置
であって、前記グライドハイト評価ヘッドの空気流方向
での全長をＬとしたとき、前記ヘッド支持体によるヘッ
ド支持点が、空気流入端位置から空気流出端側に向かっ
て０．７８Ｌ以上となる位置に設定され、前記グライド
ハイト評価ヘッドの浮上面と前記磁気ディスク表面とが
成す角である浮上ピッチ角αが９５マイクロラジアン以
上とされている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、コンピュータの外
部記憶装置等として使用される磁気ディスク装置に搭載
される磁気ディスクの信頼性評価試験を行う磁気ディス
ク評価装置に関する。

【０００２】製品用に製造された磁気ディスクは、磁気
ディスク装置に搭載される前に、所定の浮上保証高さを
満たしているか、否かが評価（検査）される。そのため
に、磁気ディスク評価装置が使用される。近年の磁気デ
ィスク装置の高記録密度化に伴い、グライドハイトも小
さくなってきており、磁気ディスク評価装置で用いるグ
ライドハイトヘッドへの性能要求は厳しくなっている。

【０００３】また、グライドハイトヘッドが磁気ディス
クと接触した際に発する検出信号に基づいて行う磁気デ
ィスクの評価については、より高精度に行うことが必要
となっきている。

【０００４】

【従来の技術】近年、磁気ディスク装置は高記録密度
化、小型化が著しい。これに伴い、磁気ヘッドが磁気デ
ィスク表面から浮上している高さとなる浮上量について
も、ますます小さくしなければならない。このように浮
上量を小さくするためには、磁気ディスク表面の表面粗
さを小さくする必要がある。

【０００５】ところで、従来から現在に至るまで多く用
いられているＣＳＳ方式では、磁気ディスクの停止時に
は磁気ヘッド浮上面と磁気ディスク面とが接触してい
る。そして、磁気ディスクの回転に伴って生じる空気流
の作用で磁気ヘッドが浮上する。このため、上記ＣＳＳ
方式では、前記のように磁気ディスクの表面粗さを小さ
くすると、磁気ディスクの停止時における磁気ヘッドの
接触面と磁気ディスク面との間の接触面積が大きくな
り、磁気ディスク装置の回転起動時に、磁気ヘッドと磁
気ディスクとの間で吸着障害が生じて問題となる。この
問題に対処するため、磁気ディスク表面にテクスチャ加
工と称して、人工的に微細な凹凸を設ける処理が広く採
用され、この手法により上記問題の発生を抑制してい
る。

【０００６】上記のように、一方では磁気ヘッドの浮上
量を小さくするために磁気ディスク表面の表面粗さを小
さくすることへの要求があり、他方では磁気ディスク表
面での吸着防止のために微細な凹凸を設けることへの要
求がある。これらの要求各々を追求すると相反すること
になるので、両要求をバランスよく調整して磁気ディス
クを設計することが必要となる。そのためには、製品と
して製造した磁気ディスクを正確に評価できる浮上保証
評価を行う装置が必要となる。

【０００７】ここで、上記浮上保証評価の考え方を以下
に簡単に述べる。磁気ディスク装置で使用する磁気ヘッ
ドの浮上量よりも多少なりとも小さな浮上量で、グライ
ドハイト評価用のヘッド（以下、グライドハイト評価ヘ
ッド）を磁気ディスク面上に浮上させる。また、グライ
ドハイト評価ヘッドと磁気ディスクとの間の接触を検出
するためピエゾ素子等の接触検出センサを配設する。

【０００８】上記浮上保証評価の試験では、ある値以下
ではグライドハイト評価ヘッドは磁気ディスク表面にあ
る突起の一部と接触を引き起こすが、その値を越えると
グライドハイト評価ヘッドと磁気ディスクとの接触が決
して引き起こされないような浮上量を特定することがで
きる。このように、グライドハイト評価ヘッドが磁気デ
ィスクと接触しない下限の高さとして特定された浮上量
をグライドハイト（ＧｌｉｄｅＨｅｉｇｈｔ）とい
う。このグライドハイトは磁気ディスクの浮上保証高さ
ということになる。

【０００９】そして、実際の磁気ディスク装置では、こ
のグライドハイトより僅かに大きい（高い）フライング
ハイトにより磁気ヘッドを浮上させるように設定する。
よって、磁気ディスクのグライドハイトを目標値以下に
抑えないと磁気ディスク装置の信頼性が損なわれること
になる。

【００１０】前述した理由から、グライドハイトを評価
するために用いるグライドハイト評価ヘッドは、磁気ヘ
ッドより小さい浮上量で磁気ディスクの評価を行うた
め、より厳格な浮上性能が要求されることにもなる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た磁気ディスク評価装置に関しては、以下に説明するよ
うな複数の問題がある。

【００１２】先ず第１の問題を説明する。近年、磁気ヘ
ッドの浮上量はかなり小さくなっている。これよりも更
に小さな浮上量となるグライドハイト評価ヘッドに関し
て、浮上の安定性が損なわれる事態が発生して大きな問
題となってきている。このようにグライドハイト評価ヘ
ッドの不安定浮上の問題が発生すると磁気ディスクの正
確な評価を行えなくなる。この不安定浮上の問題が発生
する原因については、現時点では明らかではないが、磁
気ヘッドの場合に順じて考えると次のように推測され
る。

【００１３】（１）小さな浮上量で浮上するグライド
ハイト評価ヘッドの浮上面に、磁気ディスク面から、潤
滑剤又はコンタミネーション（微小な汚れ分子）等が移
着する。

【００１４】（２）浮上面への移着量がある程度以上
にまで増えると、グライドハイト評価ヘッドの浮上特性
が変化し、浮上量が変化する。多くの場合は浮上量低下
が引き起こされる。極端な場合は、グライドハイト評価
ヘッドが磁気ディスク面上に墜落し、磁気ディスク面上
を滑走する状態が引き起こされる。

【００１５】（３）また、何らかの原因で、グライド
ハイト評価ヘッドの浮上面の移着物が取り除かれると、
元の（所定の）浮上量に戻り、再び安定浮上する。

【００１６】（４）以上の（１）、（２）及び（３）
の過程が不定期に繰り返される。このため、安定浮上を
長く維持することが困難となる。

【００１７】上記推測によればグライドハイト評価ヘッ
ドの浮上面への潤滑剤或いはコンタミネーション等の移
着が、問題発生の主な原因であるいうことになる。しか
しながら、実際に不安定浮上の問題が発生した場合に、
グライドハイト評価ヘッドを変更するとその現われ方が
異なる。よって、上述した不安定浮上の問題は上記推測
のみで理解される程、単純ではないことが明らかとなっ
た。

【００１８】次に、第２の問題について説明する。従来
の磁気ディスク評価装置による試験では、磁気ディスク
表面の異常突起の有無を判定することを主な目的として
いる。そのために、回転する磁気ディスクの表面上に、
一定の浮上量（グライドハイト）で、突起との接触を検
出するピエゾ素子等の接触検出センサを備えたグライド
ハイト評価ヘッドを浮上させ、磁気ディスク表面を走査
して、磁気ディスク上にグライドハイト評価ヘッドと接
触する高さの突起が存在するか、否かを判定している。

【００１９】ところが、前述したように磁気ヘッドの浮
上量（フライングハイト）を減少させることが必要とな
ってきている。その結果、磁気ディスク表面の突起ばか
りでなく、磁気ディスク表面に塗布されている潤滑剤の
塗布むらで生じた局部的な潤滑剤の突出部と磁気ヘッド
との接触が、新たな問題となりつつある。

【００２０】よって、磁気ディスク評価装置により、塗
布むらで生じた突起状の潤滑剤も検出することが必要と
なってきている。しかしながら、従来の磁気ディスク評
価装置では、磁気ディスク表面の突起（固体）との接触
を検出することを目的に構成されていたので、突出した
潤滑剤（液体）との接触を検出することについては、こ
れまでに知見が無く、当然に有効な試験法についての提
案もなされていないのが現状である。

【００２１】なお、従来の磁気ディスク評価において
は、グライド評価ヘッドと磁気ディスク上の突起との接
触を検出するために、観測対象とするグライド評価ヘッ
ドの振動周波数を例えば２００〜８００ｋＨｚ程度に設
定していた。これは磁気ディスクの表面にある突起は固
体であり、この固体突起に接触したグライド評価ヘッド
は例えば２００ｋＨｚより高い周波数で振動する傾向が
あるので、接触検出センサによる検出信号の内で２００
ｋＨｚより高い周波数の信号成分が所定閾値を越えた時
に固体の突起との接触があったと判定するためである。
また、２００ｋＨｚより低い周波数での振動はグライド
評価ヘッド周辺の空気膜が振動した影響を受けたもので
あると想定して検出対象から除外していた。

【００２２】本発明は上述した実状に鑑みてなされたも
のであり、第１の目的は安定浮上を維持できるグライド
ハイト評価ヘッドを備え正確な磁気ディスク評価を実現
できる磁気ディスク評価装置に係る第１の発明を提供す
ることである。また、第２の目的は従来においては対象
となっていなかった磁気ディスク表面で突出した潤滑剤
をも検出する機能を備えた磁気ディスク評価装置に係る
第２の発明を提供することである。

【００２３】

【課題を解決するための手段】上記第１の問題に対処す
るために、本発明者等はグライドハイト評価ヘッドの各
種設計パラメタを変化させて詳細な調査を行って所定の
知見を得た。すなわち、本願発明者等は、各種設計パラ
メタとしてグライドハイト評価ヘッドの浮上ピッチ角、
その支持支点、支持体よりグライドハイト評価ヘッドへ
供給される負荷、グライドハイト評価ヘッドの浮上面の
形状、グライドハイト評価ヘッドと磁気ヘッド間の空気
膜剛性値等の多くについて種々の検討を行い、グライド
ハイト評価ヘッドを安定浮上させる条件を見出して、下
記第１の発明に至ったものである。

【００２４】したがって、上記第１の目的は、請求項１
に記載の如く、回転する磁気ディスクの表面上を移動可
能とされ、前記磁気ディスクとの接触高さを検出するた
めのグライドハイト評価ヘッドと、前記グライドハイト
評価ヘッドを支持するヘッド支持体とを含み、前記磁気
ディスクの浮上保証量を評価する磁気ディスク評価装置
であって、前記グライドハイト評価ヘッドの空気流方向
での全長をＬとしたとき、前記ヘッド支持体によるヘッ
ド支持点が、空気流入端位置から空気流出端側に向かっ
て０．７８Ｌ以上となる位置に設定され、前記グライド
ハイト評価ヘッドの浮上面と前記磁気ディスク表面とが
成す角である浮上ピッチ角が９５マイクロラジアン以上
となっている磁気ディスク評価装置により達成される。

【００２５】そして、前記グライドハイト評価ヘッド
は、前記ヘッド支持体により前記磁気ディスク側へ向け
３．５ｇｆ以上の負荷が供給されている状態に設定する
ことが好ましい。

【００２６】また、上記第１の目的は、請求項３に記載
の如く、回転する磁気ディスクの表面上を移動可能とさ
れ、前記磁気ディスクとの接触高さを検出するためのグ
ライドハイト評価ヘッドと、前記グライドハイト評価ヘ
ッドを支持するヘッド支持体とを含み、前記磁気ディス
クの浮上保証量を評価する磁気ディスク評価装置であっ
て、前記グライドハイト評価ヘッドの浮上面に、前記磁
気ディスクの回転による空気流を利用して該グライドハ
イト評価ヘッドを前記磁気ディスク側に引く負圧を生じ
させる負圧誘導形状が形成され、前記浮上面と前記磁気
ディスク表面とが成す角である浮上ピッチ角が９５マイ
クロラジアン以上とされている、磁気ディスク評価装置
によっても達成することができる。

【００２７】そして、上記第１の発明は、前記グライド
ハイト評価ヘッドと前記磁気ディスクとの間に生じる空
気膜剛性値から見て、０．３３ｇｆ／ｎｍ以上となるよ
うに設計すると前述したグライドハイト評価ヘッドの不
安定浮上の問題発生を抑制することができる構成である
とも捉えることができる。

【００２８】上記第１の発明により、グライドハイト評
価ヘッドの浮上量を小さくした場合でも不安定浮上の問
題発生を抑制することができるので、磁気ディスクを精
度よく評価できる磁気ディスク評価装置を提供できる。
その結果、信頼性の高い磁気ディスクを安定して供給す
ることが可能となり、信頼性の高い磁気記録装置をより
安価に消費者に提供することも可能ともなる。

【００２９】なお、前記グライドハイト評価ヘッドの浮
上面の少なくとも一部が、アモルファスカーボン、ダイ
ヤモンドライクカーボン、水素添加ダイヤモンドライク
カーボン及び窒素添加ダイヤモンドライクカーボンより
なる群から選択された保護材料により被覆することがよ
り好ましい。この保護材料による被膜は、少なくとも一
部がフッ素化処理されていることがさらに好ましい。

【００３０】前記保護材料による被膜の一部に磁気ディ
スク側に突出している突起が形成されていると、グライ
ドハイト評価ヘッドが磁気ディスクに接触した後に安定
状態に早期に復帰できるようになる。

【００３１】つぎに、上記第２の問題に対処するため
に、本発明者等はグライドハイト評価ヘッドが振動する
ことに関して詳細な検討を行った。その結果、従来にお
いて空気膜振動であるとして除外していた信号成分に
は、グライドハイト評価ヘッドが突出した潤滑剤に接触
した場合も含まれていることを見出して、本第２の発明
に至ったものである。

【００３２】すなわち、本第２の発明は磁気ディスク上
の固体突起にグライドハイト評価ヘッドが接触した場合
にはある程度高い周波数となり、突出状態となっている
液体の潤滑剤に評価ヘッドが接触した場合にはこれと比
較して低い周波数となることに着目して成されたもので
ある。例えば、グライド評価ヘッドが何かに接触した際
に発された検出信号を２００ｋＨｚ未満の帯域と２００
ｋＨｚ以上の帯域とに分割し、別個に観測対象とするこ
とにより、グライド評価ヘッドと磁気ディスク上の潤滑
剤との接触を検出可能としたものである。

【００３３】すなわち、上記第２の目的は、請求項５に
記載の如く、潤滑剤が塗布された磁気ディスクを回転さ
せながら、該記磁気ディスクとの接触を検出する接触検
出手段を備えたグライドハイト評価ヘッドを浮上させな
がら走査して、該磁気ディスクの評価を行う磁気ディス
ク評価装置であって、前記接触検出手段の検出信号を、
前記磁気ディスクの突起に前記グライドハイト評価ヘッ
ドが接触したことに基づいて生じる第１の周波数帯に入
る信号成分と、前記潤滑剤の突出部に前記グライドハイ
ト評価ヘッドが接触したことに基づいて生じる第２の周
波数帯に入る信号成分とに、分割する検出信号分割手段
と、前記検出信号分割手段に接続され、前記検出信号に
前記第２の周波数帯のみに所定閾値を越える前記信号成
分が含まれていることに基づいて、前記グライドハイト
評価ヘッドが前記潤滑剤の突出部に接触したとの判定を
実行する接触判定部とを含む磁気ディスク評価装置によ
り達成される。

【００３４】上記第２の発明によると、これまで得るこ
とができなかった磁気ディスク表面に塗布された潤滑剤
の突出高さに関する情報を得ることができ、また、その
程度が磁気ディスク装置の動作に悪影響を及ぼすもので
あるか予想することも可能となる。

【００３５】上記第２の発明に関して、前記接触判定部
は、少なくとも前記第１の周波数帯に所定閾値を越える
信号成分が含まれていることに基づいて前記グライドハ
イト評価ヘッドが前記磁気ディスクの突起に接触したと
の判定も実行することとすれば、磁気ディスクの突起及
び潤滑剤の突出部を各々検出できる磁気ディスク評価装
置とすることができる。

【００３６】また、上記第２の発明に関して、前記第１
の周波数帯と前記第２の周波数帯とは、前記グライドハ
イト評価ヘッドの形状に応じて、１００〜５００ｋＨｚ
から選択され特定された境界周波数の前後に設定するこ
とができる。

【００３７】前述したように、固体である磁気ディスク
の突起に、グライドハイト評価ヘッドが接触したときに
は比較的高い周波数で振動する傾向にある。よって、例
えば２００ｋＨｚを境界周波数とし、その前後を、グラ
イドハイト評価ヘッドが磁気ディスクの突起に接触した
ことに基づいて生じた信号成分が属する第１の周波数帯
と、グライドハイト評価ヘッドが潤滑剤の突出部に接触
したことに基づいて生じた信号成分が属する第２の周波
数帯とに分割できる。

【００３８】ところで、磁気ディスク評価装置で用いら
れるグライドハイト評価ヘッドには種々の形状があり、
また将来においてはグライドハイト評価ヘッドがより小
型化するものと想定される。よって、前記境界周波数は
２００ｋＨｚに限定されるものではなく、設計したグラ
イドハイト評価ヘッドの形状に応じて１００〜５００ｋ
Ｈｚから適宜選択される。

【００３９】

【発明の実施の形態】図面に基づいて実施例を説明す
る。以下の第１実施例から第４実施例は前述した第１の
発明に関連して例示するものである。また、第５実施例
は前述した第２の発明に関連して例示するものである。

【００４０】（第１実施例）図１から図４を参照して、
第１実施例の磁気ディスク評価装置について説明する。
図１は、磁気ディスク評価装置１０のグライドハイト評
価ヘッド（以下、単に評価ヘッドとする）２０と磁気デ
ィスク１１の周辺を示した図である。

【００４１】図１において、磁気ディスク１１は矢印Ｘ
で示される方向に所定回転数で回転されるようになって
いる。評価ヘッド２０は、この磁気ディスク１１の上面
に接近し、対向した状態で磁気ディスク１１のグライド
ハイトを評価する。この評価ヘッド２０は、図示せぬ装
置本体側から延出し、矢印Ｙ方向に回動可能なバネ性の
支持部材（以下、サスペンションという）１２の先端部
に固定されている。この固定部分についてより詳細に説
明すると、サスペンション１２の先端部の一部が切欠か
れて舌片１３が形成されている。この舌片１３に設けた
支持点１３Ａの下側に評価ヘッド２０が固定されてい
る。

【００４２】上記サスペンション１２は基部１２Ａとア
ーム部１２Ｂとに成形したバネ材で形成されている。こ
の基部１２Ａとアーム部１２Ｂとは所定の曲げ角度ＡＮ
をもって成形され、評価ヘッド２０を磁気ディスク１１
側へ押下するような負荷を生じさせる構成となってい
る。曲げ角度ＡＮを変更することで評価ヘッド２０への
バネ圧（ｇｆ）としての負荷を調整できるようになって
いる。

【００４３】図２（Ａ）及び（Ｂ）は、図１で示した評
価ヘッド２０を拡大して示した図である。図２（Ａ）は
評価ヘッド２０を磁気ディスク１１側から見た浮上面を
示した図、図２（Ｂ）は評価ヘッド２０を磁気ディスク
１１を下にして側面から見た図である。

【００４４】図２（Ａ）及び（Ｂ）を参照して評価ヘッ
ド２０の概形を説明する。評価ヘッド２０の後端部に
は、磁気ディスク１１がＸ方向へ回転したことにより発
生する空気流を受け入れ易くするようにテーパ２５が形
成され、また両側部には中央より高く形成したレール２
１、２２を備えるヘッドスライダである。

【００４５】また、評価ヘッド２０は支持点２４で前述
したサスペンション１２の支持点１３Ａに固定されてい
る。図２（Ａ）及び（Ｂ）ではこの支持点２４の位置を
×印で示している。

【００４６】本実施例では、上記支持点２４は、図２
（Ａ）に示すように、評価ヘッド２０の全長Ｌに対し、
空気流入端から０．８Ｌ±０．０２Ｌの位置に設定され
ている。このような配置とすることにより、グライドハ
イト評価条件における同ヘッド２０の浮上ピッチ角を１
００μｒａｄ（ラジアン）程度またはそれ以上とするこ
とができる。ここで、浮上ピッチ角αは、図２（Ａ）に
示すように、評価ヘッド２０の浮上面と磁気ディスク１
１表面とが成す角である。

【００４７】ところで、本発明者等は、上記浮上ピッチ
角を少なくとも９５μｒａｄ以上、好ましくは１００μ
ｒａｄ以上に設計することが、評価ヘッド２０の安定浮
上に効果的であることを確認している。そのための構成
として、上記支持点２４が評価ヘッド２０の全長Ｌに対
して０．７８Ｌ以上の位置にあるように設定することが
有効であるとの知見を得ている。

【００４８】本第１実施例で一例として支持点２４の位
置をほぼ０．８Ｌとなるように設定する例を示してい
る。しかしこれに限らず、支持点２４の位置を０．７８
Ｌより空気流出端側とすることにより、評価ヘッド２０
の空気流入端部が、従来の評価ヘッドの場合と比較し
て、持上がった態勢（浮上ピッチ角が９５μｒａｄ以上
の状態）を形成できる。このような態勢が評価ヘッド２
０の安定浮上に効果を奏するのである。その詳細な理由
については、この後の説明で明らかにする。

【００４９】図３は、上記評価ヘッド２０が不安定浮上
する問題を発生させた率と、上記浮上ピッチ角αとの関
係について示した図である。

【００５０】なお、図３に示したデータの測定条件は次
の通りである。磁気ディスク１１の周速は同一とし、浮
上量がほぼ同一となるような複数の評価ヘッド２０を準
備して測定した。サスペンション１２により評価ヘッド
２０を磁気ディスク１１側へ押下するバネ圧を３ｇｆで
一定とし、浮上ピッチ角αを変更した。その際、磁気デ
ィスク装置で使用する磁気ヘッドの浮上量よりも小さな
所定の浮上量とし、各評価ヘッド２０が磁気ディスク１
１面上に墜落する割合を調査して問題発生率とした。

【００５１】図３により、上記浮上ピッチ角αが、９５
μｒａｄ（ラジアン）以上、より確実には１００μｒａ
ｄ以上となれば問題発生率がゼロとなることが確認でき
る。すなわち、浮上ピッチ角αを９５μｒａｄとするこ
とが評価ヘッド２０を安定浮上させるために有効であ
り、そのためには評価ヘッド２０の支持点２４を全長Ｌ
に対して空気流入端から０．７８Ｌ以上の位置に設定す
ればよい。

【００５２】次に、図４は、評価ヘッド２０が不安定浮
上の問題を発生させた率とサスペンション１２のバネ圧
（ｇｆ）との関係について示した図である。本発明者等
は、さらにサスペンション１２から評価ヘッド２０へ供
給されるバネ圧についても検討を行い、評価ヘッド２０
の浮上安定に好ましいバネ圧を見出した。また、これに
関連して評価ヘッド２０と磁気ディスク１１との間に形
成される空気バネの強さついても知見を得た。

【００５３】なお、図４に示したデータの測定条件は次
の通りである。磁気ディスク１１の周速は同一とし、浮
上量及び浮上ピッチ角αの両方がほぼ同一となるような
複数の評価ヘッド２０を準備して測定した。サスペンシ
ョン１２により評価ヘッド２０を磁気ディスク１１側へ
押下するバネ圧を変更した。その際、バネ圧を大きくす
るときには図２のレール２１、２２の幅を適宜広げて、
浮上に必要な空気流が評価ヘッド２０下に流入するよう
に調整した。また、磁気ディスク装置で使用する磁気ヘ
ッドの浮上量よりも小さな所定の浮上量とし、各評価ヘ
ッド２０が磁気ディスク１１面上に墜落する割合を調査
して問題発生率とした。

【００５４】この図４から、サスペンション１２のバネ
圧（ｇｆ）が大となる程、問題発生率が抑制される傾向
にあることが確認できる。このような傾向が現われる理
由を確認するため、バネ圧及び空気膜剛性値並びに問題
発生率の関係をまとめて、下記の表１に示した。

【００５５】上記空気膜剛性値は、評価ヘッド２０と磁
気ディスク１１との間に形成された空気バネの強さ（堅
さ）を示す指針である。評価ヘッド２０が浮上するとい
うことは、この空気バネが下から評価ヘッド２０を押上
げていると見ることができる。そして、評価ヘッド２０
はサスペンション１２のバネ圧を受けているので、この
上下のバネ圧が釣り合い状態にあるときに浮上状態が維
持されることになる。

【００５６】そして、この浮上状態を維持するには、上
のバネ圧が強くなったとき、下の空気バネもこれに応じ
て強くなるはずである。本発明者等はこのような観点か
ら、空気膜剛性値を求めて検討を行った。

【００５７】なお、空気膜剛性値の単位は（ｇｆ／ｎ
ｍ）であり磁気ディスク１１の高さ方向でのバネ係数を
示していると見ることができる。バネ係数が大きい程、
強い（堅い）空気バネとなる。

【００５８】ここで、表１によると、バネ圧が大となる
ほど空気膜剛性値が大となっている。空気膜剛性値が大
とは、評価ヘッド２０と磁気ディスク１１との間の空気
バネが堅いということになる。よって、この空気膜剛性
値に着目すると、この空気膜剛性値が大となるように評
価ヘッド２０の設計条件を定めると磁気ディスク１１と
の接触が発生し難い構成となる。

【００５９】ところで、図４に示すバネ圧２．５ｇｆ
は、従来の磁気ディスク評価装置で採用していたバネ圧
である。従来においては、設定するグライドハイトが大
きいので不安浮上の問題は生じていなかった。ところ
が、本第１実施例の磁気ディスク評価装置では例えば８
〜１１ｎｍというグライドハイト値を設定する。このよ
うに小さいグライドハイトにして従来のバネ圧２．５ｇ
ｆを用いると７６％もの問題発生率となり、全く実用に
耐えないものとなる。

【００６０】ところが、バネ圧３．５ｇｆ、５ｇｆとす
ると問題発生率が顕著に減少する。これについて検討す
ると、前述したように上側のバネ圧に応じて下の空気バ
ネも強くなっていおり、これが評価ヘッド２０の安定浮
上に寄与していると推定できる。

【００６１】よって、評価ヘッド２０に下向きの負荷を
供給するバネ圧に関しては、３．５ｇｆ以上となるよう
に設定することが好ましく、より好ましくは５ｇｆ以上
に設定することが推奨される。また、空気膜剛性値の側
から捉えると、０．３３ｇｆ／ｎｍ以上となるように設
定することが好ましく、０．４０ｇｆ／ｎｍ以上に設定
するのがより好ましいことになる。

【００６２】

【表１】（第２実施例）図５を参照して、第２実施例の磁気ディ
スク評価装置について説明する。但し、磁気ディスク評
価装置としての基本構成は第１実施例の装置と同様であ
り、用いる評価ヘッド３０に特徴があるのでヘッド部に
ついて説明する。

【００６３】本第２実施例の評価ヘッド３０の浮上面に
は、浮上面側に磁気ディスクの回転により発生した空気
流を利用して負圧を生じさせる負圧誘導形状が形成され
ている。磁気ディスクの回転により負圧が発生すると、
評価ヘッド３０は前記磁気ディスク側に所定圧で吸引さ
れる状態となる。

【００６４】このように構成すると、前記第１実施例の
場合と比較して、評価ヘッド３０の支持点３４を中央部
側に移動することが可能となり、またサスペンション
（図示せず）によるバネ圧を弱くすることができる。す
なわち、負圧誘導形状を有する本第２実施例の評価ヘッ
ド３０では、第１実施例の評価ヘッド２０より穏やかな
条件で、第１実施例の同様の効果を得ることができる構
成となる。

【００６５】図５により評価ヘッド３０の概形を説明す
る。評価ヘッド３０の浮上面には空気流Ａｉｒが流入す
る側に屈曲部を設けたＵ条の気流障害壁３１が形成され
ている。この気流障害壁３１の直線部分は、第１実施例
のリール２１、２２と同様の機能を果たすＡＢＳ（Ａｉ
ｒＢｅａｒｉｎｇＳｕｒｆａｃｅ）面である。

【００６６】気流障害壁３１の屈曲部の外周には約０．
２μｍ下がって外平坦部３３が形成され、気流障害壁３
１の内部には約２μｍ下がった内平坦部３２が形成され
ている。

【００６７】このような、負圧誘導型の形状が浮上面に
形成されていると、磁気ディスクの回転により空気流Ａ
ｉｒが気流障害壁３１の屈曲部を越えて流れ込むことで
負圧が発生する負圧利用型ヘッドスライダの浮上面設計
となる。

【００６８】本実施例の評価ヘッド３０の場合、サスペ
ンション支持支点３４の位置を空気流端から０．６Ｌ程
度、バネ圧は２ｇｆ程度としても、第１実施例で示した
評価ヘッドの好ましい条件である、浮上ピッチ角が９５
μｒａｄ以上及び空気膜剛性値が０．３３ｇｆ／ｎｍ以
上を実現できる。

【００６９】そして、本第２実施例の負圧利用型の評価
ヘッド３０では次のような利点がある。

【００７０】（１）上記バネ圧を小として、空気膜剛性
値を大にすることができる。このようにすると、評価ヘ
ッド３０が磁気ディスク表面上に墜落して滑走したとき
には、評価ヘッド３０には正圧と負圧のどちらも発生し
ない。そのため、評価ヘッド３０と磁気ディスク間の接
触力は弱いバネ圧のみとなる。よって、滑走状態での接
触力を小さくすることができる。これにより、評価ヘッ
ド３０と磁気ディスクとの接触摺動をよりスムースにす
ることができ、グライド検査中に問題が発生して評価ヘ
ッドが磁気ディスク表面上に墜落した場合に、瞬間的に
墜落姿勢から復帰して正常な浮上姿勢に戻る傾向を強め
ることができる。

【００７１】（２）所望の空気膜剛性値の大きさに対
し、バネ圧の大きさを小とすることができる。このた
め、サスペンションの曲げ角度ＡＮ（図１参照）を小さ
くすることができる。そのため磁気ディスク評価装置側
への制約を緩和することができ、余分な付加装置を省略
することができる。

【００７２】（第３実施例）図６を参照して、第３実施
例の評価ヘッドについて説明する。

【００７３】本第３実施例は、浮上面側に形成されるＡ
ＢＳ面に吸着抑制用の保護被膜を形成して前記第１及び
第２実施例で示した評価ヘッドを改善する例である。こ
こでは、第１実施例で示した図２の評価ヘッド２０を改
善した評価ヘッド４０について説明する。

【００７４】図６（Ａ）は、第３実施例の評価ヘッド４
０の浮上面を示した図である。本第３実施例の特徴は、
図６（Ａ）でＡＢＳ面となるレール２１、２２の各々の
上に、カーボン材料を塗布して被膜４１、４２を形成し
た点である。

【００７５】図６（Ｂ）に示すように、例えばダイヤモ
ンドライクカーボン（ＤＬＣ）膜を３ｎｍ程度の厚さで
レール（例えば、Ａｌ_２Ｏ_３−ＴｉＣ材）２１、２２上
を被覆する。

【００７６】上記の様に形成した評価ヘッド４０に第１
実施例の場合と同様に、バネ圧３．５ｇｆのサスペンシ
ョン１２と組合せて不安定浮上の問題が発生する率を調
査した。その結果を下記表２に示す。ＤＬＣ被膜を施す
と、これを施さない場合と比較して問題発生率が低減す
ることが確認できる。

【００７７】なお、本第３実施例において、被膜材料の
ＤＬＣに替えてアモルファスカーボン、水素添加ダイヤ
モンドライクカーボン、窒素添加ダイヤモンドライクカ
ーボン等を用いても同様の効果を得ることができる。

【００７８】また、上記ＤＬＣ膜４１、４２の表面をさ
らにフッ素化処理すると、吸着発生率がさらに抑制する
方向に改善された。この結果についても下記表２に併せ
て示している。フッ素化処理の効果で、磁気ディスク表
面に塗布されている潤滑剤の評価ヘッド３０への移着を
低減できるためと推測できる。

【００７９】

【表２】（第４実施例）図７及び図８を参照して、第４実施例の
評価ヘッドについて説明する。

【００８０】本第４実施例は、上記第３実施例の評価ヘ
ッド４０の改善を行ったものである。したがって、本実
施例でも図２に示した第１実施例の評価ヘッド２０が基
本構成となる。

【００８１】図７は、第４実施例の評価ヘッド５０の浮
上面を示した図である。ここでは，符号５１、５２で示
したＤＬＣ被膜の各々に突起５４、５６が新たに形成さ
れた点に特徴がある。これら突起５４、５６を空気流出
端近くに設けることにより磁気ディスク突起の位置が特
定し易くなる。

【００８２】図８により、ＤＬＣからなる突起を設ける
製造工程を説明する。突起材料であるＤＬＣ被膜を約４
０ｎｍ程度の厚さに被覆し（図８Ａ）、フォトマスクＭ
ＡＳとレジストＲＥＳとを用いたフォトリソグラフィー
技術（図８Ｂ及びＣ）と反応性イオンエッチング（図８
Ｄ）により突起状のＤＬＣを成形する。

【００８３】なお、上記突起形成時（図８Ｄ）に、突起
以外の部位（平坦部分）にダイヤモンドライクカーボン
被膜を３〜５ｎｍ程度残存させるような条件を選ぶと、
第３実施例で述べた効果も併せて享受できる。

【００８４】本第４実施例で試作した評価ヘッド５０に
第１実施例の場合と同様に、バネ圧３．５ｇｆのサスペ
ンション１２と組合せて不安定浮上の問題が発生する率
を調査した。その結果を下記表３に示す。ＤＬＣ被膜に
更に突起を形成すると、これを施さない場合と比較して
問題発生率が２％以上低減できることが確認できる。

【００８５】本実施例の評価ヘッド５０は、突起を有す
ることにより、摺動姿勢における接触面積が減少し、動
摩擦力が低減する。グライドハイト評価中に問題が発生
して評価ヘッド５０が磁気ディスク表面上に墜落した場
合に、浮上ピッチ角を負の方向に向けようとするモーメ
ントが小となる。その結果として、瞬間的に墜落姿勢か
ら復帰して正常な浮上姿勢に戻る傾向を強める効果が現
れるためと推定できる。

【００８６】

【表３】なお、上記第３実施例及び第４実施例は、図２に示した
第１実施例の評価ヘッド２０を改善した例を示したが、
第２実施例の評価ヘッド３０に関して同様の改善を行う
ことができる。

【００８７】（第５実施例）さらに、第２の発明に係る
第５実施例の磁気ディスク評価装置について説明する。
図９は、第２の発明に係る第５実施例の磁気ディスク評
価装置１００の概要構成を示した図である。

【００８８】図９において、磁気ディスク１０１はスピ
ンドルモーター１０２に、クランプ１０３によって固定
され、スピンドルモーター１０２を回転することによっ
て矢印方法に回転する。この状態で磁気ディスク１０２
上にグライドハイト評価ヘッド（以下、評価ヘッドとす
る）１０４を移動させると、磁気ディスク１０１の回転
に伴う空気流によって、評価ヘッド１０４は磁気ディス
ク１０１表面から浮上する。このような状態で評価ヘッ
ド１０４は、磁気ディスク１０１の上面全体に亘って、
半径方向に走査される。

【００８９】上記評価ヘッド１０４は、ヘッド支持アー
ム１０５によって支持されたサスペンション１０６の先
端に取り付けられている。図９中に、評価ヘッド１０４
の周辺を一部拡大して示すように、この評価ヘッド１０
４に接してその振動状態を検出する接触検出手段として
の圧電素子１１４が配設されている。圧電素子１１４の
信号出力は増幅器１０７に接続され増幅されてから、２
つのバンドパスフィルタ１０８、１０８に入力されて分
割される。これらのバンドパスフィルタのうち１つは、
通過帯域を２００〜８００ｋＨｚとした第１の周波数
帯、もう一方は通過帯域を７５〜２００ｋＨｚとした第
２の周波数帯とする。

【００９０】上記２つのバンドパスフィルタ１０８、１
０８を通過した検出信号は、接触判定部としての信号解
析装置１０９に入力される。信号解析装置１０９では、
通過帯域の異なる２つのバンドパスフィルタからの出力
を処理し、グライドハイト評価ヘッド１０４の振動が、
磁気ディスク上の固体の突起との接触によるものか、あ
るいは塗布むらで生じた潤滑剤の突出部との接触や空気
膜によるものかを判定する機能を備えている。

【００９１】ここで、圧電素子１１４の信号出力を、第
１の周波数帯２００〜８００ｋＨｚと、第２の周波数帯
７５〜２００ｋＨｚとに分割して、磁気ディスク１０１
を評価できる根拠について説明する。

【００９２】図１０は、バンドパスフィルタの通過帯域
を７５〜８００ｋＨｚに設定し、磁気ディスク上に潤滑
剤を塗布した場合及び潤滑剤を塗布しない場合の磁気デ
ィスクを磁気ディスク評価装置で評価した場合の試験結
果を示した図である。

【００９３】図１０（Ａ）に示すのは、潤滑剤を塗布し
ない磁気ディスク上を浮上量８ｎｍで評価ヘッドを走査
したときの信号出力のスペクトルである。このスペクト
ルは、評価ヘッドを磁気ディスクと摺動させていない時
の、バックグラウンドノイズと同等である。すなわち、
このスペクトルは空気膜による共振がない評価ヘッドの
状態が示されている。

【００９４】そして、上記磁気ディスクの回転数を変化
させて試験を行った結果、ここで用いた評価ヘッドの場
合、磁気ディスクとの相対速度が３４ｍ／ｓ以上となっ
たときに、評価ヘッドを浮上させている空気膜の共振に
対応する共振が見られた。しかし、磁気ディスクとの相
対速度が３４ｍ／ｓ未満の場合には、磁気ディスク表面
の突起との接触が発生しない限り、グライドハイト評価
ヘッドには空気膜の共振による振動が発生しないことが
確認された。

【００９５】次に、同じ磁気ディスクに、平均膜厚が
１．２ｎｍであるように潤滑膜を塗布し、その上を浮上
量８ｎｍとして評価ヘッドを走査したときの信号出力の
スペクトルを図１０（Ｂ）に示した。この図１０（Ｂ）
では８０〜１８０ｋＨｚの帯域の信号成分が図１０
（Ａ）と比較して、大きくなっており、評価ヘッドが共
振していることが示されている。この帯域の振動は、評
価ヘッドを浮上させている空気膜の共振に相当するもの
である。

【００９６】図１０（Ａ）に結果を示した試験と、図１
０（Ｂ）に結果を示した試験において、異なっているの
は、磁気ディスク上での潤滑剤の塗布の有無だけである
ので、図１０（Ｂ）に表れた振動は評価ヘッドと潤滑剤
との接触によって、評価ヘッドを浮上させている空気膜
の共振が励起されたと推定できる。

【００９７】なお、本願発明者等は、この図１０に示し
た試験で、潤滑剤による評価ヘッドの振動はその振動数
が２００ｋＨｚを越えないことも、試験により確認し
た。

【００９８】次に、潤滑剤を塗布しない磁気ディスク上
で、軽微な接触が連続的に発生する状態になるまで、評
価ヘッドの浮上量を減少させると、図１０（Ｃ）に示す
スペクトルが得られた。

【００９９】図１０（Ｃ）では、１００〜１９０ｋＨｚ
の範囲に、空気膜の共振による評価ヘッドの振動が見ら
れるほか、３５０ｋＨｚと７６０ｋＨｚを中心として、
評価ヘッドの固有振動に対応する振動が確認できる。評
価ヘッドと磁気ディスクとの固体同士の接触により、評
価ヘッドの固有振動が励起されているためである。

【０１００】以上の結果より、図１０に例示した試験で
は、２００ｋＨｚ未満の周波数帯（第２の周波数帯）に
振動が見られ、かつ２００ｋＨｚ以上の周波数帯（第１
の周波数帯）に振動が見られない場合、評価ヘッドは磁
気ディスク表面に突出した潤滑剤とのみ接触しており、
磁気ディスク表面の突起とは接触していないものとの判
断ができることが分かる。

【０１０１】さらに、少なくとも２００ｋＨｚ以上の周
波数帯（第１の周波数帯）に振動が見られる場合には、
評価ヘッドは磁気ヘッド表面の突起と接触しているとの
判断を行うことができることも分かる。

【０１０２】本第５実施例の磁気ディスク評価装置１０
０は上述した点に基づいて、磁気ディスク表面に突出し
た潤滑剤と評価ヘッドが接触したか、否かを判定するも
のである。なお、本実施例では２００ｋＨｚを境界周波
数とした例を示すがこれに限定するものではなく、設計
した評価ヘッドに応じて境界周波数を適宜設定する必要
があること前述した通りである。

【０１０３】（評価試験例）次に、図９に示した第５実
施例の磁気ディスク評価装置１００を用い、平均膜厚
１．２ｎｍとなるように潤滑剤を塗布した磁気ディスク
１０１上で、グライドハイト評価ヘッド１０４の浮上量
を１０ｎｍとして磁気ディスク１０１の評価試験を行っ
た。

【０１０４】潤滑剤の突出部との接触を想定した第２の
周波数帯に対応した通過帯域７５〜２００ｋＨｚである
バンドパスフィルタ（以下、フィルタＡと記す）と、磁
気ディスク１０１の突起との接触を想定した第１の周波
数帯に対応した通過帯域２００〜８００ｋＨｚであるバ
ンドパスフィルタ（以下、フィルタＢと記す）とから、
の出力は信号解析装置１０９により、二乗平均処理を行
った上で、磁気ディスクの各トラックにつき、一周分の
平均値をそれぞれ求め、磁気ディスク１０１面当たり２
０トラックについて測定を行った。

【０１０５】また、信号解析装置１０９では、フィルタ
Ａ、Ｂからの平均出力について、それぞれの閾値を５０
ｍＶとし、これを越えたときに接触と判定するように設
定した。そして、フィルタＡからの出力に基づいての接
触との判定、フィルタＢからの出力に基づいて非接触と
の判定が出たトラックについて、潤滑剤のみとの接触あ
りとの判定を実行するように信号解析装置１０９を設計
した。

【０１０６】本実施例の磁気ディスク評価装置１００に
より磁気ディスク評価を行い、１０以上のトラックにお
いて潤滑剤のみの接触ありとの試験結果が出た磁気ディ
スク１０枚（第１群）と、３〜９トラックにおいて潤滑
剤のみとの接触ありとの試験結果が出た磁気ディスク１
０枚（第２群）、潤滑剤のみとの接触が見られたトラッ
ク数が２以下である磁気ディスク１０枚（第３群）を準
備した。

【０１０７】これらを、実際の磁気ディスク装置に搭載
して、２０００回連続して磁気ヘッドをシーク動作する
試験を行った。その直後に、磁気ディスク全面に対して
読出し試験を行った。用いた磁気ヘッドの平均浮上量は
１８ｎｍであった。

【０１０８】その結果、上記第１群の磁気ディスクを用
いた場合には１０枚中６枚で磁気ヘッド振動による読取
りエラーが発生した。また、第２群の磁気ディスクを用
いた場合では１０枚中３枚で磁気ヘッド振動による読取
りエラーが発生した。しかし、第３群では、読取りエラ
ーは発生しなかった。

【０１０９】第１群及び第２群の磁気ディスクを用いて
読取りエラーが発生した磁気ヘッドには多量の潤滑剤が
付着していた。よって、潤滑剤との接触が多く発生した
磁気ヘッドでは振動が発生して、読取りエラーの原因と
なることが確認できる。

【０１１０】よって、本第５実施例の磁気ディスク評価
装置により、これまで得ることができなかった磁気ディ
スク表面に塗布された潤滑剤の突出高さに関する情報を
得ることができ、また、その程度が磁気ディスク装置の
動作に悪影響を及ぼすものであるかどうか判断すること
も可能となる。

【０１１１】この評価試験例では、磁気ディスク評価装
置１００で磁気ディスク上に突出した潤滑剤と評価ヘッ
ドとの接触を検出する例を示したが、磁気ディスク評価
装置１００が従来の磁気ディスク評価装置と同様に磁気
ディスク上の固体突起との接触を検出機能も備えている
ことは既述したとおりである。

【０１１２】なお、上記第２の発明に係る第５実施例の
磁気ディスク評価装置の評価ヘッドとして、前述した第
１の発明に係る第１〜４実施例で示した評価ヘッドを適
用すればより好ましい磁気ディスク評価装置として提供
できることになる。

【０１１３】以上本発明の好ましい実施例について詳述
したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるもの
ではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の
範囲内において、種々の変形・変更が可能である。

【０１１４】なお、以上の説明に関して更に以下の付記
を開示する。

【０１１５】（付記１）回転する磁気ディスクの表面
上を移動可能とされ、前記磁気ディスクとの接触高さを
検出するためのグライドハイト評価ヘッドと、前記グラ
イドハイト評価ヘッドを支持するヘッド支持体とを含
み、前記磁気ディスクの浮上保証量を評価する磁気ディ
スク評価装置であって、前記グライドハイト評価ヘッド
の空気流方向での全長をＬとしたとき、前記ヘッド支持
体によるヘッド支持点が、空気流入端位置から空気流出
端側に向かって０．７８Ｌ以上となる位置に設定され、
前記グライドハイト評価ヘッドの浮上面と前記磁気ディ
スク表面とが成す角である浮上ピッチ角が９５マイクロ
ラジアン以上とされている、ことを特徴とする磁気ディ
スク評価装置。

【０１１６】（付記２）付記１に記載の磁気ディスク
評価装置において、前記グライドハイト評価ヘッドは、
前記ヘッド支持体により前記磁気ディスク側へ向け３．
５ｇｆ以上の負荷が供給されている、ことを特徴とする
磁気ディスク評価装置。

【０１１７】（付記３）回転する磁気ディスクの表面
上を移動可能とされ、前記磁気ディスクとの接触高さを
検出するためのグライドハイト評価ヘッドと、前記グラ
イドハイト評価ヘッドを支持するヘッド支持体とを含
み、前記磁気ディスクの浮上保証量を評価する磁気ディ
スク評価装置であって、前記グライドハイト評価ヘッド
の浮上面に、前記磁気ディスクの回転による空気流を利
用して該グライドハイト評価ヘッドを前記磁気ディスク
側に引く負圧を生じさせる負圧誘導形状が形成され、前
記浮上面と前記磁気ディスク表面とが成す角である浮上
ピッチ角が９５マイクロラジアン以上とされている、こ
とを特徴とする磁気ディスク評価装置。

【０１１８】（付記４）付記１から３のいずれかに記
載の磁気ディスク評価装置において、前記グライドハイ
ト評価ヘッドと前記磁気ディスクとの間に生じる空気膜
剛性値が、０．３３ｇｆ／ｎｍ以上である、ことを特徴
とする磁気ディスク評価装置。

【０１１９】（付記５）潤滑剤が塗布された磁気ディ
スクを回転させながら、該記磁気ディスクとの接触を検
出する接触検出手段を備えたグライドハイト評価ヘッド
を浮上させながら走査して、該磁気ディスクの評価を行
う磁気ディスク評価装置であって、前記接触検出手段の
検出信号を、前記磁気ディスクの突起に前記グライドハ
イト評価ヘッドが接触したことに基づいて生じる第１の
周波数帯と、前記潤滑剤の突出部に前記グライドハイト
評価ヘッドが接触したことに基づいて生じる第２の周波
数帯とに、分割する検出信号分割手段と、前記検出信号
分割手段に接続され、前記検出信号に前記第２の周波数
帯のみに所定閾値を越える信号成分が含まれていること
に基づいて、前記グライドハイト評価ヘッドが前記潤滑
剤の突出部に接触したとの判定を実行する接触判定部と
を含む、ことを特徴とする磁気ディスク評価装置。

【０１２０】（付記６）付記１〜４のいずれかに記載
の磁気ディスク評価装置において、前記グライドハイト
評価ヘッドの浮上面の少なくとも一部が、アモルファス
カーボン、ダイヤモンドライクカーボン、水素添加ダイ
ヤモンドライクカーボン及び窒素添加ダイヤモンドライ
クカーボンよりなる群から選択された保護材料により被
覆されている、ことを特徴とする磁気ディスク評価装
置。

【０１２１】（付記７）付記６に記載の磁気ディスク
評価装置において、前記保護材料による被膜の少なくと
も一部がフッ素化処理されている、ことを特徴とする磁
気ディスク評価装置。

【０１２２】（付記８）付記６又は７に記載の磁気デ
ィスク評価装置において、前記保護材料による被膜の一
部に磁気ディスク側に突出している突起が形成されてい
る、ことを特徴とする磁気ディスク評価装置。

【０１２３】（付記９）付記５に記載の磁気ディスク
評価装置において、前記接触判定部は、少なくとも前記
第１の周波数帯に所定閾値を越える成分が含まれている
ことに基づいて前記グライドハイト評価ヘッドが前記磁
気ディスクの突起に接触したとの判定も実行する、こと
を特徴とする磁気ディスク評価装置。

【０１２４】（付記１０）付記５又は９に記載の磁気
ディスク評価装置において、前記第１の周波数帯と前記
第２の周波数帯とは、前記グライドハイト評価ヘッドの
形状に応じて、１００〜５００ｋＨｚから選択され特定
された境界周波数の前後に設定されている、ことを特徴
とする磁気ディスク評価装置。

【０１２５】

【発明の効果】以上詳述したところから明らかなよう
に、請求項１〜４に記載の発明によればグライドハイト
評価ヘッドの不安定浮上の問題発生を抑制した磁気ディ
スク評価装置を提供できる。その結果、信頼性の高い磁
気ディスクを安定して供給することが可能となり、ひい
ては信頼性の高い磁気記録装置をより安価に消費者に提
供することにもなる。

【０１２６】また、請求項５記載の発明によれば、磁気
ディスク表面に塗布された潤滑剤の突出高さに関する情
報を得ることができ、また、その程度が磁気ディスク装
置の動作に悪影響を及ぼすものであるか予想することも
可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例の磁気ディスク評価装置の評価ヘッ
ドと磁気ディスクの周辺を示した図である。

【図２】（Ａ）は評価ヘッドを磁気ディスク側から見た
浮上面を示した図、図（Ｂ）は評価ヘッド２を磁気ディ
スクを下にして側面から見た図である。

【図３】評価ヘッドが不安定浮上する問題を発生させた
率と、浮上ピッチ角αとの関係について示した図であ
る。

【図４】評価ヘッドが不安定浮上の問題を発生させた率
とサスペンションのバネ圧（ｇｆ）との関係について示
した図である。

【図５】第２実施例の評価ヘッドの浮上面を示した図で
ある。

【図６】（Ａ）は第３実施例の評価ヘッドの浮上面を示
した図である。（Ｂ）同評価ヘッドのＤＬＣ膜の状態を
示した図である。

【図７】第４実施例の評価ヘッドの浮上面を示した図で
ある。

【図８】（Ａ）〜（Ｄ）は、第４実施例の評価ヘッドの
製造工程を示した図である。

【図９】第５実施例の磁気ディスク評価装置について示
した図である。

【図１０】磁気ディスク上に潤滑剤を塗布した場合及び
しない場合で、磁気ディスク評価装置試験を行った結果
について示した図である。

【符号の説明】

１０磁気ディスク評価装置１１磁気ディスク１２サスペンション（支持部材）１３舌片１３Ａ支持点２０評価ヘッド（グライドハイト評価ヘッ
ド）２１、２２レール２４支持点 α 浮上ピッチ角１００磁気ディスク評価装置１０１磁気ディスク１０４評価ヘッド（グライドハイト評価ヘッ
ド）１０８バンドパスフィルタ（検出信号分割手
段）１０９信号解析装置（接触判定部）１１４圧電素子（接触検出手段）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｇ１１Ｂ 21/21 Ｇ１１Ｂ 21/21 １０１Ｑ (72)発明者百瀬悟神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番１号富士通株式会社内 (72)発明者山本尚之神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番１号富士通株式会社内Ｆターム(参考） 5D059 AA01 BA01 CA11 DA15 DA24 DA35 EA02

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】回転する磁気ディスクの表面上を移動可
能とされ、前記磁気ディスクとの接触高さを検出するた
めのグライドハイト評価ヘッドと、前記グライドハイト
評価ヘッドを支持するヘッド支持体とを含み、前記磁気
ディスクの浮上保証量を評価する磁気ディスク評価装置
であって、前記グライドハイト評価ヘッドの空気流方向での全長を
Ｌとしたとき、前記ヘッド支持体によるヘッド支持点
が、空気流入端位置から空気流出端側に向かって０．７
８Ｌ以上となる位置に設定され、前記グライドハイト評価ヘッドの浮上面と前記磁気ディ
スク表面とが成す角である浮上ピッチ角が９５マイクロ
ラジアン以上とされている、ことを特徴とする磁気ディ
スク評価装置。
【請求項２】請求項１に記載の磁気ディスク評価装置
において、前記グライドハイト評価ヘッドは、前記ヘッド支持体に
より前記磁気ディスク側へ向け３．５ｇｆ以上の負荷が
供給されている、ことを特徴とする磁気ディスク評価装
置。
【請求項３】回転する磁気ディスクの表面上を移動可
能とされ、前記磁気ディスクとの接触高さを検出するた
めのグライドハイト評価ヘッドと、前記グライドハイト
評価ヘッドを支持するヘッド支持体とを含み、前記磁気
ディスクの浮上保証量を評価する磁気ディスク評価装置
であって、前記グライドハイト評価ヘッドの浮上面に、前記磁気デ
ィスクの回転による空気流を利用して該グライドハイト
評価ヘッドを前記磁気ディスク側に引く負圧を生じさせ
る負圧誘導形状が形成され、前記浮上面と前記磁気ディスク表面とが成す角である浮
上ピッチ角が９５マイクロラジアン以上とされている、
ことを特徴とする磁気ディスク評価装置。
【請求項４】請求項１から３のいずれかに記載の磁気
ディスク評価装置において、前記グライドハイト評価ヘッドと前記磁気ディスクとの
間に生じる空気膜剛性値が、０．３３ｇｆ／ｎｍ以上で
ある、ことを特徴とする磁気ディスク評価装置。
【請求項５】潤滑剤が塗布された磁気ディスクを回転
させながら、該記磁気ディスクとの接触を検出する接触
検出手段を備えたグライドハイト評価ヘッドを浮上させ
ながら走査して、該磁気ディスクの評価を行う磁気ディ
スク評価装置であって、前記接触検出手段の検出信号を、前記磁気ディスクの突
起に前記グライドハイト評価ヘッドが接触したことに基
づいて生じる第１の周波数帯に入る信号成分と、前記潤
滑剤の突出部に前記グライドハイト評価ヘッドが接触し
たことに基づいて生じる第２の周波数帯に入る信号成分
とに、分割する検出信号分割手段と、前記検出信号分割手段に接続され、前記検出信号に前記
第２の周波数帯のみに所定閾値を越える前記信号成分が
含まれていることに基づいて、前記グライドハイト評価
ヘッドが前記潤滑剤の突出部に接触したとの判定を実行
する接触判定部とを含む、ことを特徴とする磁気ディス
ク評価装置。