JP2003029276A - 液晶注入装置 - Google Patents
液晶注入装置Info
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- JP2003029276A JP2003029276A JP2001214938A JP2001214938A JP2003029276A JP 2003029276 A JP2003029276 A JP 2003029276A JP 2001214938 A JP2001214938 A JP 2001214938A JP 2001214938 A JP2001214938 A JP 2001214938A JP 2003029276 A JP2003029276 A JP 2003029276A
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Abstract
(57)【要約】
チャンバ内の液晶セルに対して均一に加熱するととも
に、加熱や冷却の時間を短縮できる液晶注入装置の提
供。 【解決手段】 真空チャンバ１１には、液晶セル１と液
晶皿２とを相対的に接近させる移動機構１６と、内部を
真空排気するための真空ポンプ１３とＮ２ガスを導入し
て大気圧に戻すためのＮ２ガス源とが設けられ、真空チ
ャンバ１１を真空ポンプ１３で真空状態にして液晶セル
１を真空引きした後に、昇降機構１６で液晶セル１の液
晶注入口が液晶皿２の液晶に接触するよう相対的に接近
してからＮ ２ガス源から真空チャンバ１１内にＮ２ガス
を導入して大気圧に戻すと共に、フィン２０が設けられ
たパネル状のヒータ１７で真空チャンバ１１内を均一に
加熱し、液晶セル１への液晶注入を促進する。
に、加熱や冷却の時間を短縮できる液晶注入装置の提
供。 【解決手段】 真空チャンバ１１には、液晶セル１と液
晶皿２とを相対的に接近させる移動機構１６と、内部を
真空排気するための真空ポンプ１３とＮ２ガスを導入し
て大気圧に戻すためのＮ２ガス源とが設けられ、真空チ
ャンバ１１を真空ポンプ１３で真空状態にして液晶セル
１を真空引きした後に、昇降機構１６で液晶セル１の液
晶注入口が液晶皿２の液晶に接触するよう相対的に接近
してからＮ ２ガス源から真空チャンバ１１内にＮ２ガス
を導入して大気圧に戻すと共に、フィン２０が設けられ
たパネル状のヒータ１７で真空チャンバ１１内を均一に
加熱し、液晶セル１への液晶注入を促進する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、収容した液晶セ
ル等のワークを加熱する真空チャンバと、その真空チャ
ンバ内で液晶セルに液晶を注入する液晶注入装置に関す
る。
ル等のワークを加熱する真空チャンバと、その真空チャ
ンバ内で液晶セルに液晶を注入する液晶注入装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の真空チャンバを用いた液晶注入装
置について、図２を用いて説明する。動作開始前、真空
バルブ、Ｎ２導入バルブは閉じられた状態、真空ポンプ
は動作状態となっている。
置について、図２を用いて説明する。動作開始前、真空
バルブ、Ｎ２導入バルブは閉じられた状態、真空ポンプ
は動作状態となっている。
【０００３】まず、図示省略の扉を開き、液晶を注入す
べき液晶セル１、及び液晶を収容した液晶皿２を真空チ
ャンバ１１へ搬送し、扉を閉める。そして、真空バルブ
１４を開き、真空ポンプ１３で真空チャンバ１１内を真
空引きし、所定圧に達するか又は所定時間が経過した
ら、液晶皿昇降機構１６を上昇させ、液晶セル１の液晶
注入口に液晶を接液させる。そして、真空バルブ１４を
閉め、Ｎ２導入バルブ１５を開き、真空チャンバ１１内
を大気圧に戻すことで、真空となっている液晶セル１内
に液晶が浸入しはじめる。
べき液晶セル１、及び液晶を収容した液晶皿２を真空チ
ャンバ１１へ搬送し、扉を閉める。そして、真空バルブ
１４を開き、真空ポンプ１３で真空チャンバ１１内を真
空引きし、所定圧に達するか又は所定時間が経過した
ら、液晶皿昇降機構１６を上昇させ、液晶セル１の液晶
注入口に液晶を接液させる。そして、真空バルブ１４を
閉め、Ｎ２導入バルブ１５を開き、真空チャンバ１１内
を大気圧に戻すことで、真空となっている液晶セル１内
に液晶が浸入しはじめる。
【０００４】そして、液晶の注入処理を促進するため、
真空チャンバ１１内に設けられたパネル状のヒータ１７
で所定温度に昇温する。また、液晶の注入が完了する
と、オペレータが液晶セル１の取り出しができるよう
に、真空チャンバ１１内に設けられパネル状の冷却水ジ
ャケット（図示省略）に冷却水を循環することで冷却
し、真空チャンバ１１内を降温している。さらに、真空
チャンバ１１内では、ファン１８によるＮ２ガスの循環
を行なうことで、これら加熱や冷却の均一化、効率化を
促進している。
真空チャンバ１１内に設けられたパネル状のヒータ１７
で所定温度に昇温する。また、液晶の注入が完了する
と、オペレータが液晶セル１の取り出しができるよう
に、真空チャンバ１１内に設けられパネル状の冷却水ジ
ャケット（図示省略）に冷却水を循環することで冷却
し、真空チャンバ１１内を降温している。さらに、真空
チャンバ１１内では、ファン１８によるＮ２ガスの循環
を行なうことで、これら加熱や冷却の均一化、効率化を
促進している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような真
空チャンバにおいて、例えば、複数の液晶セルを収容
し、これら液晶セルに対し同時に液晶の注入を行なう場
合、液晶セルを加熱して液晶注入を促進するとき、複数
の液晶セル間で温度分布のばらつきが大きく、各液晶セ
ル間の液晶注入速度が一様でないので、注入が完了する
までの時間が液晶セルによって異なり、全ての液晶セル
への液晶の注入が完了するまでの時間が、一番温度の低
い液晶セルへの液晶注入に律速されるという問題があっ
た。また、液晶の注入完了後、液晶セルを冷却する際、
熱交換量が小さく、冷却に時間を要するという問題があ
った。
空チャンバにおいて、例えば、複数の液晶セルを収容
し、これら液晶セルに対し同時に液晶の注入を行なう場
合、液晶セルを加熱して液晶注入を促進するとき、複数
の液晶セル間で温度分布のばらつきが大きく、各液晶セ
ル間の液晶注入速度が一様でないので、注入が完了する
までの時間が液晶セルによって異なり、全ての液晶セル
への液晶の注入が完了するまでの時間が、一番温度の低
い液晶セルへの液晶注入に律速されるという問題があっ
た。また、液晶の注入完了後、液晶セルを冷却する際、
熱交換量が小さく、冷却に時間を要するという問題があ
った。
【０００６】本発明は、このような問題点を伴うことな
く、真空チャンバ内を均一に加熱するとともに、加熱や
冷却の時間を短縮できる液晶注入装置を提供することを
目的とする。
く、真空チャンバ内を均一に加熱するとともに、加熱や
冷却の時間を短縮できる液晶注入装置を提供することを
目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の液晶注入装置
は、チャンバには、液晶セルと液晶皿とを相対的に接近
させる移動機構と、内部を真空排気するための真空排気
系と不活性ガスを導入して大気圧に戻すための不活性ガ
ス導入系とが設けられ、チャンバを真空排気系で真空状
態にして液晶セルを真空引きした後に、移動機構で液晶
セルの液晶注入口が液晶皿の液晶に接触するよう相対的
に接近してから不活性ガス導入系でチャンバ内を大気圧
に戻すと共に、液晶セルに対向した面に複数のフィンが
設けられた熱交換手段でチャンバ内を均一に加熱し、液
晶セルへの液晶注入を促進する。
は、チャンバには、液晶セルと液晶皿とを相対的に接近
させる移動機構と、内部を真空排気するための真空排気
系と不活性ガスを導入して大気圧に戻すための不活性ガ
ス導入系とが設けられ、チャンバを真空排気系で真空状
態にして液晶セルを真空引きした後に、移動機構で液晶
セルの液晶注入口が液晶皿の液晶に接触するよう相対的
に接近してから不活性ガス導入系でチャンバ内を大気圧
に戻すと共に、液晶セルに対向した面に複数のフィンが
設けられた熱交換手段でチャンバ内を均一に加熱し、液
晶セルへの液晶注入を促進する。
【０００８】すなわち、熱交換手段に複数のフィンを設
けることで、チャンバ内の不活性ガスと万遍なく接触し
て熱交換が可能になると共に、不活性ガスとの接触面積
が増大するので熱交換効率が向上する。また、熱交換手
段の液晶セルに対向する面に、複数のフィンの代わり
に、凸部又は凹部の少なくとも一方を複数形成すること
によっても、不活性ガスとの接触面積が増大するので熱
交換効率の向上を図ることができる。
けることで、チャンバ内の不活性ガスと万遍なく接触し
て熱交換が可能になると共に、不活性ガスとの接触面積
が増大するので熱交換効率が向上する。また、熱交換手
段の液晶セルに対向する面に、複数のフィンの代わり
に、凸部又は凹部の少なくとも一方を複数形成すること
によっても、不活性ガスとの接触面積が増大するので熱
交換効率の向上を図ることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の液晶注入装置の一
実施の形態を詳細に説明する。図１は本実施例の液晶注
入装置の概略構成を示した図である。
実施の形態を詳細に説明する。図１は本実施例の液晶注
入装置の概略構成を示した図である。
【００１０】図１において、図示省略の扉の開閉によ
り、液晶セル１及び液晶皿２が搬送される真空チャンバ
１１には、液晶セル１の保持機構（図示省略）と、保持
された液晶セル１に対して、液晶皿２を接液状態とする
ように移動する液晶皿昇降機構１６とを備える。真空チ
ャンバ１１には、内部を真空排気する真空ポンプ１３が
真空バルブ１４を介して接続され、また、内部を大気圧
に戻す際に供給されるＮ ２源がＮ２導入バルブ１５を介
して接続されている。
り、液晶セル１及び液晶皿２が搬送される真空チャンバ
１１には、液晶セル１の保持機構（図示省略）と、保持
された液晶セル１に対して、液晶皿２を接液状態とする
ように移動する液晶皿昇降機構１６とを備える。真空チ
ャンバ１１には、内部を真空排気する真空ポンプ１３が
真空バルブ１４を介して接続され、また、内部を大気圧
に戻す際に供給されるＮ ２源がＮ２導入バルブ１５を介
して接続されている。
【００１１】また、真空チャンバ１１の内壁面には、液
晶セル１を加熱するために、パネル状のヒータ１７が複
数設けられるが、このヒータ１７の液晶セル１に向った
面には、面上に万遍なく略均一間隔で多数のフィン２０
が設けられており、ヒータ１７と共に加熱されたフィン
２０を介して、液晶セル１や真空チャンバ１１内が加熱
される。
晶セル１を加熱するために、パネル状のヒータ１７が複
数設けられるが、このヒータ１７の液晶セル１に向った
面には、面上に万遍なく略均一間隔で多数のフィン２０
が設けられており、ヒータ１７と共に加熱されたフィン
２０を介して、液晶セル１や真空チャンバ１１内が加熱
される。
【００１２】さらに、真空チャンバ１１内には、液晶注
入後に真空チャンバ１１内や液晶セル１を冷却するため
に、冷却水ジャケット（図示省略）が設けられており、
この冷却水ジャケットにも、ヒータ１７のフィン２０同
様のフィンが設けられており、冷却水ジャケットとフィ
ンを介して、液晶セル１や真空チャンバ１１内が冷却さ
れる。
入後に真空チャンバ１１内や液晶セル１を冷却するため
に、冷却水ジャケット（図示省略）が設けられており、
この冷却水ジャケットにも、ヒータ１７のフィン２０同
様のフィンが設けられており、冷却水ジャケットとフィ
ンを介して、液晶セル１や真空チャンバ１１内が冷却さ
れる。
【００１３】なお、真空チャンバ１１内のＮ２ガスを攪
拌することで、熱交換効率を促進するためにファン１８
も設けられている。
拌することで、熱交換効率を促進するためにファン１８
も設けられている。
【００１４】次に、図１の液晶注入装置の動作を説明す
る。動作開始前、真空バルブ１４、Ｎ２導入バルブ１５
は閉じられた状態、真空ポンプ１３は動作状態となって
いる。まず、扉を開け、液晶を注入すべき液晶セル１、
及び液晶を収容した液晶皿２を離した状態で真空チャン
バ１１へ搬入し扉を閉じ、真空チャンバ１１内を密閉す
る。
る。動作開始前、真空バルブ１４、Ｎ２導入バルブ１５
は閉じられた状態、真空ポンプ１３は動作状態となって
いる。まず、扉を開け、液晶を注入すべき液晶セル１、
及び液晶を収容した液晶皿２を離した状態で真空チャン
バ１１へ搬入し扉を閉じ、真空チャンバ１１内を密閉す
る。
【００１５】そして、真空バルブ１４を開き、真空チャ
ンバ１１を真空引きし所定圧に達するか、所定時間が経
過したら、液晶皿昇降機構１６を上昇させ、液晶セル１
の液晶注入口に液晶を接液する。そして、真空バルブ１
４を閉じ、Ｎ２導入バルブ１５を開き、真空チャンバ１
１を大気圧に戻すと、真空となっている液晶セル１内に
液晶が注入しはじめる。
ンバ１１を真空引きし所定圧に達するか、所定時間が経
過したら、液晶皿昇降機構１６を上昇させ、液晶セル１
の液晶注入口に液晶を接液する。そして、真空バルブ１
４を閉じ、Ｎ２導入バルブ１５を開き、真空チャンバ１
１を大気圧に戻すと、真空となっている液晶セル１内に
液晶が注入しはじめる。
【００１６】このとき、ヒータ１７を作動することで、
ヒータ自体が高温化すると共に、ヒータ１７に設けられ
たフィン２０も加熱され、これらヒータ１７やフィン２
０を介して真空チャンバ１１内のＮ２ガスと熱交換が行
なわれることによって、液晶セル１が加熱される。
ヒータ自体が高温化すると共に、ヒータ１７に設けられ
たフィン２０も加熱され、これらヒータ１７やフィン２
０を介して真空チャンバ１１内のＮ２ガスと熱交換が行
なわれることによって、液晶セル１が加熱される。
【００１７】このようにして、パネル状のヒータ１７の
面に、多数設けられたフィン２０を介することで、真空
チャンバ１１内のＮ２ガスと万遍なく熱交換が行なわ
れ、また、Ｎ２ガスとの接触面積が増大するので、ヒー
タ１７とＮ２ガスとの熱交換効率も増大し、ひいては、
真空チャンバ１１内を万遍なく、しかも短時間で加熱す
ることが可能となる。
面に、多数設けられたフィン２０を介することで、真空
チャンバ１１内のＮ２ガスと万遍なく熱交換が行なわ
れ、また、Ｎ２ガスとの接触面積が増大するので、ヒー
タ１７とＮ２ガスとの熱交換効率も増大し、ひいては、
真空チャンバ１１内を万遍なく、しかも短時間で加熱す
ることが可能となる。
【００１８】そして、液晶セル１へ液晶の注入が完了し
たとき、ヒータ１７を停止すると共に、冷却水ジャケッ
トに冷却水を循環することで、真空チャンバ１１内や液
晶セル１を冷却する。このとき、冷却水ジャケットに
も、ヒータ１７同様に、面上に均一に多数のフィンが設
けられており、これらフィンを介することで、真空チャ
ンバ１１内を万遍なく冷却すると共に、冷却時間が短縮
される。
たとき、ヒータ１７を停止すると共に、冷却水ジャケッ
トに冷却水を循環することで、真空チャンバ１１内や液
晶セル１を冷却する。このとき、冷却水ジャケットに
も、ヒータ１７同様に、面上に均一に多数のフィンが設
けられており、これらフィンを介することで、真空チャ
ンバ１１内を万遍なく冷却すると共に、冷却時間が短縮
される。
【００１９】なお、本実施例では、熱交換手段であるヒ
ータや冷却水ジャケットの液晶セルに対向する面に、複
数のフィンを設けたが、フィンの代わりに、凸部又は凹
部の少なくとも一方を複数形成することによっても、熱
交換手段の不活性ガスとの接触面積が増大するので熱交
換効率の向上を図ることができ、本実施例と同様の効果
を奏する。
ータや冷却水ジャケットの液晶セルに対向する面に、複
数のフィンを設けたが、フィンの代わりに、凸部又は凹
部の少なくとも一方を複数形成することによっても、熱
交換手段の不活性ガスとの接触面積が増大するので熱交
換効率の向上を図ることができ、本実施例と同様の効果
を奏する。
【００２０】
【発明の効果】上記したように、本発明によれば、熱交
換手段に複数のフィンを設けることで、フィンを介し
て、熱交換が可能となり、真空チャンバ内の不活性ガス
との接触面積が増大するので、液晶セルが均一に加熱、
冷却されると共に、熱交換効率が向上し、液晶注入の処
理時間が短縮化される。したがって、速やかに、次の液
晶セルとの交換作業が行なわれ、処理時間の短縮化を図
ることができる。
換手段に複数のフィンを設けることで、フィンを介し
て、熱交換が可能となり、真空チャンバ内の不活性ガス
との接触面積が増大するので、液晶セルが均一に加熱、
冷却されると共に、熱交換効率が向上し、液晶注入の処
理時間が短縮化される。したがって、速やかに、次の液
晶セルとの交換作業が行なわれ、処理時間の短縮化を図
ることができる。
【図１】本発明の液晶注入装置の概略構成図。
【図２】従来の液晶注入装置の概略構成図。
１ 液晶セル
２ 液晶皿
１１ 真空チャンバ
１３ 真空ポンプ
１６ 昇降機構
１７ ヒータ
２０ フィン
Claims (2)
- 【請求項１】 液晶が注入される液晶セルと液晶を収容
した液晶皿とが装填されるチャンバと、前記チャンバ内
に設けられた、前記液晶セルと前記液晶皿とを相対的に
接近させる移動機構と、前記チャンバ内を真空排気する
ための真空排気系と、前記チャンバ内に不活性ガスを導
入して大気圧に戻すための不活性ガス導入系と、前記チ
ャンバ内に加熱又は冷却用の熱交換手段とを備え、前記
チャンバ内を前記真空排気系で真空状態にして前記液晶
セルを真空引きした後に、前記移動機構で前記液晶セル
の液晶注入口が前記液晶皿の液晶に接触するよう相対的
に接近してから前記不活性ガス導入系で前記チャンバ内
を大気圧に戻すことにより、前記液晶セルに液晶を注入
し、さらに前記チャンバ内を前記熱交換手段で所定の温
度雰囲気にして前記液晶セルに液晶を注入する液晶注入
装置において、前記熱交換手段の少なくとも前記液晶セ
ルに対向する面に複数のフィンを備えたことを特徴とす
る液晶注入装置。 - 【請求項２】 液晶が注入される液晶セルと液晶を収容
した液晶皿とが装填されるチャンバと、前記チャンバ内
に設けられた、前記液晶セルと前記液晶皿とを相対的に
接近させる移動機構と、前記チャンバ内を真空排気する
ための真空排気系と、前記チャンバ内に不活性ガスを導
入して大気圧に戻すための不活性ガス導入系と、前記チ
ャンバ内に加熱又は冷却用の熱交換手段とを備え、前記
チャンバ内を前記真空排気系で真空状態にして前記液晶
セルを真空引きした後に、前記移動機構で前記液晶セル
の液晶注入口が前記液晶皿の液晶に接触するよう相対的
に接近してから前記不活性ガス導入系で前記チャンバ内
を大気圧に戻すことにより、前記液晶セルに液晶を注入
し、さらに前記チャンバ内を前記熱交換手段で所定の温
度雰囲気にして前記液晶セルに液晶を注入する液晶注入
装置において、前記熱交換手段の少なくとも前記液晶セ
ルに対向する面に、凸部又は凹部の少なくとも一方を複
数形成したことを特徴とする液晶注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001214938A JP2003029276A (ja) | 2001-07-16 | 2001-07-16 | 液晶注入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001214938A JP2003029276A (ja) | 2001-07-16 | 2001-07-16 | 液晶注入装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003029276A true JP2003029276A (ja) | 2003-01-29 |
Family
ID=19049669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001214938A Withdrawn JP2003029276A (ja) | 2001-07-16 | 2001-07-16 | 液晶注入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003029276A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107884999A (zh) * | 2017-10-17 | 2018-04-06 | 永州市新辉开科技有限公司 | 一种提升pmva灌液效率的方法 |
-
2001
- 2001-07-16 JP JP2001214938A patent/JP2003029276A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107884999A (zh) * | 2017-10-17 | 2018-04-06 | 永州市新辉开科技有限公司 | 一种提升pmva灌液效率的方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071221 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20090911 |