JP2003029274A - 液晶パネルの製造装置、液晶パネルの製造方法、圧着封止装置及び圧着封止方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 液晶パネルのセル厚を均一に保った状態での
処理を簡単な機構で効率よく実現すること。 【解決手段】 回転可能なステージ１０１のほぼ中心に
エアー供給路１０２を配置し、エアー供給路１０２から
ステージ外周方向に向かって４方向に分岐したエアー供
給路１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、１０２ｄにより、
ステージ１０１上に載置された加圧治具２１０にエアー
を供給して治具内の加圧減圧を行うと共に、ステージ１
０１が回転することにより、加圧治具２１０に挟持され
た液晶パネル３１０のセル厚を均一に維持しながら各処
理装置まで移動し、順次処理を施している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶装置製
造における圧着封止工程に適用される液晶パネルの製造
装置、液晶パネルの製造方法、圧着封止装置及び圧着封
止方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、液晶パネルの製造工程では、ま
ず未硬化のシール材を介して２枚の基板を張り合わせた
後、所定圧力で加圧して基板間を相互に圧着する。次い
で、加熱などの処理を行うことによりシール材を硬化さ
せ、液晶パネルのセル構造を形成する。上記シール材に
は液晶注入口を構成する開口部が設けられており、この
開口部から上記セル内に液晶を注入し、この後液晶パネ
ルを圧着封止する。

【０００３】この圧着封止工程では、まず圧着対象であ
る液晶パネルをパネルの保護を図るための間紙を介して
複数枚積層し、これらを剛性を有する板状部材からなる
加圧治具により挟持する。次いで、この加圧治具に対し
て圧力を加え、これらの複数の液晶パネルのセル厚をま
とめて調整する。次に、加圧により液晶注入口から噴出
した余剰液晶を拭き拭き取った後、各液晶注入口にＵＶ
硬化樹脂等の封止剤を塗布する。そして、加圧治具ごと
例えばフォークリフトでＵＶ硬化炉に搬送してＵＶ照射
により封止剤を硬化している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、このように
圧着封止工程において複数の液晶パネルをまとめて処理
すると、加圧治具による加圧の際にパネル間で加圧むら
が生じたり、ＵＶ硬化炉での処理の際に色調むらが生
じ、セル厚を均一にすることが困難である、という課題
がある。また、複数のパネルの加圧治具へのセットやＵ
Ｖ硬化炉への搬送やバッチ処理などにも相当の時間を要
する、という課題もある。そこで、上記課題を解決する
方法として、例えばパネル１枚ごとに処理を行うセル厚
調整装置、封止材塗布装置及びＵＶ照射装置を直列的に
ライン状に配置し、エアーにより圧力をかけながら液晶
パネルを１枚ずつ挟持する加圧治具を用い、これらの加
圧治具をライン上を移動させながら一連の処理を行うこ
とが考えられる。

【０００５】しかしながら、このようなシステムでは、
例えば、エアー供給の方法として、各加圧治具に対して
加圧用のポンプからの配管を接続することが考えられる
が、セル厚調整装置、封止材塗布装置及びＵＶ照射装置
に沿ってライン上に移動していく加圧治具にかかる配管
を追従させるようにすると、そのような追従のための機
構を構成することは非常に困難であり、またＵＶ照射装
置が終了した後の加圧治具ばかりでなくこのような配管
をセル厚調整装置まで戻すための機構も構成することが
困難である、という課題がある。

【０００６】本発明は上記事情に鑑み、液晶パネルのセ
ル厚を均一に保った状態での処理を簡単な機構で効率よ
く実現できる液晶パネルの製造装置、液晶パネルの製造
方法、圧着封止装置及び圧着封止方法を提供することを
目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、液晶パネルの
製造装置であって、回転可能なステージと、前記ステー
ジ上の外周に沿って複数配置され、液晶パネルを保持す
る加圧治具と、前記ステージのほぼ回転中心から前記各
加圧治具に接続されるエアー供給路と、を具備する。

【０００８】このような構成によれば、一つの配管で全
ての加圧治具に対してエアーを供給することができる。
このため、常に所望の圧力を各液晶パネルに対して均一
にかけながら連続して処理を行うことができる。

【０００９】また、本発明は、前記ステージの外側に配
置され、前記加圧治具により加圧された液晶パネルのセ
ル厚を、前記エアー供給路を介して供給されるエアーを
用いて調整する第１の処理部と、前記ステージの外側で
前記第１の処理部と隣接する位置に配置され、前記セル
厚が調整された液晶パネルに対して所定の処理を施す第
２の処理部とを具備することが好ましい。

【００１０】この構成によれば、まず加圧治具に挟持さ
れた液晶パネルのセル厚を調整し、ステージが回転する
ことによりそのままの状態で次の処理に移行することが
できる。

【００１１】また、本発明は、前記第２の処理部が、前
記セル厚が調整された液晶パネルの液晶注入口に封止剤
を塗布するものであり、前記ステージの外側で前記第２
の処理部と隣接する位置に配置され、前記液晶注入口に
塗布された封止剤を硬化する処理を施す第３の処理部を
更に具備することが好ましい。

【００１２】このような構成によれば、第１の処理部で
液晶パネルのセル厚調整を行った後、そのままの状態で
封止材の塗布および封止材の硬化処理が可能になる。

【００１３】また、本発明において、前記加圧治具は、
液晶パネルの基板面に対向する面において枠状に設けら
れ、前記液晶パネルの基板面に当接して空間を形成し、
該空間に前記エアー供給路を介してエアーを供給するこ
とにより前記液晶パネルに圧力を加えてセル厚調整する
密閉用シールをさらに具備する。

【００１４】この構成では、加圧治具内の密閉用シール
が液晶パネルの各基板それぞれに対向する状態で接触し
ている。こうすることで基板とシールとの間にエアーを
供給する空間ができ、エアーにより液晶パネル全体を均
一に加圧することができる。そのため、セル厚調整の精
度も向上する。

【００１５】また、前記第１の処理部は、前記液晶パネ
ルの基板面に対して一方の側に設けられた光源を更に具
備し、前記液晶パネルの基板面に対して他方の側に設け
られ、前記光源から射出して前記液晶パネルを通過した
透過光もしくは前記液晶パネルの表面で反射した反射光
を検出する光検出部と、前記光検出部による検出に基づ
いてセル厚を検出するセル厚検出部と、検出されたセル
厚と目標値とを比較して、比較結果に応じた圧力を前記
加圧治具にかける圧力制御部と、を具備する。

【００１６】これにより、液晶が注入された状態で搬送
されてきた液晶パネルの初期セル厚を透過光もしくは反
射光により計測し、その値から所望のセル厚となるまで
エアーを供給しつつ液晶パネルを加圧することができる
ので、適切なセル厚を得ることができる。

【００１７】また、前記第２の処理部は、前記封止剤が
液晶注入口に塗布された後、前記加圧治具内の圧力を所
定値まで減圧することにより封止剤を注入口内に引き込
むための減圧部を有する。この構成によれば封止材が塗
布された後、加圧治具内を減圧することができるので、
これにより封止材が確実に液晶パネルの封止部内に引き
込まれる。

【００１８】また、前記圧力制御部は、ほぼ３０ｋＰａ
程度の圧力を前記加圧治具に対して加圧し、前記減圧部
は前記封止材を塗布後、前記加圧治具に対してほぼ１０
〜２０ｋＰａ程度減圧することが好ましい。この構成に
よれば加圧治具内の液晶パネルに対して一定量加圧する
ことでセル厚調整を行い、封止材を塗布した後は一定量
減圧して封止剤を液晶パネルの内部に引き込むことが一
連の処理で行える。

【００１９】本発明の液晶パネルの製造方法は、（ａ）
ステージ上に加圧治具を載置して液晶パネルを装着する
工程と、（ｂ）前記ステージをステージ駆動部により所
定角度回転させて、第１の処理部の所定位置まで加圧治
具を移動させる工程と、（ｃ）前記第１の処理部におい
て、ステージのほぼ回転中心から前記加圧治具に接続さ
れるエアー供給路からエアーを供給することにより加圧
治具内に圧力をかけ、液晶パネルのセル厚を調整する工
程と、（ｄ）前記ステージを前記ステージ駆動部により
所定角度回転させて、第２の処理部の所定位置まで加圧
治具を移動させる工程と、（ｅ）前記第２の処理部にお
いて、所定の処理を行う工程と、を具備する。

【００２０】このような構成によれば、回転可能なステ
ージに加圧治具を載置して回転移動するだけで次の処理
部へと移動ができ、隣接する次の処理部への移動効率が
向上する。また、エアー供給路により加圧治具の圧力調
整が一定にできるので、工程全体で安定したセル厚のま
ま処理することができる。

【００２１】また、本発明の液晶パネルの製造方法にお
いて、前記工程（ｅ）では前記第２の処理部は液晶パネ
ルの開口部に封止剤を塗布する工程を具備し、さらに、
（ｆ）前記エアー供給路を介して加圧治具内の圧力を減
圧する工程と、（ｇ）前記ステージを前記ステージ駆動
部により所定角度回転させて、第３の処理部の所定位置
まで加圧治具を移動させる工程と、（ｈ）前記第３の処
理部において、前記液晶パネルの基板に対してほぼ垂直
方向から紫外線を照射して前記封止剤を硬化させる工程
と、を具備することを特徴とする。

【００２２】この構成によれば、第１の処理部でセル厚
調整を行った後、そのままの状態で全工程を行うことが
できる。

【００２３】また、本発明の液晶パネルの製造方法で
は、前記工程（ａ）、（ｃ）、（ｅ）及び（ｈ）は、同
時に行われることを特徴とする。この構成によれば、各
処理部での処理は並行的に行われるので、常に全ての処
理装置が稼動していることになり、各装置の稼動率も向
上し、生産性も向上する。

【００２４】また、本発明の圧着封止装置は、回転可能
なステージと、前記ステージ上の外周に沿って複数配置
され、液晶パネルを保持する加圧治具と、前記ステージ
のほぼ回転中心から各加圧治具に分岐するエアー供給路
と、を具備することを特徴とする。この構成によれば、
一つのエアー供給路で加圧治具の圧力調整を行い、加圧
治具がステージ上を移動しながら圧着封止工程を行うこ
とができるので、効率良く処理できる。

【００２５】また、本発明の圧着封止装置は、前記ステ
ージの外側に配置され、前記加圧治具により保持された
液晶パネルのセル厚を、前記エアー供給路を介して供給
されるセル厚調整部と、前記ステージの外側で前記セル
厚調整部と隣接する位置に配置され、前記セル厚が調整
された液晶パネルに対して開口部に封止剤を塗布する封
止剤塗布部とを具備する。この構成によれば、この構成
によれば、まず加圧治具に挟持された液晶パネルのセル
厚を調整し、ステージが回転することによりそのままの
状態で封止剤塗布処理に移行することができる。

【００２６】また、本発明の圧着封止装置は、前記ステ
ージの外側で前記封止剤塗布部と隣接する位置に配置さ
れ、前記液晶パネルの液晶注入口に塗布された封止剤を
硬化する処理を施すＵＶ照射部を更に具備する。この構
成によれば、封止剤を塗布した後、引き続きＵＶ照射処
理を行うことができる。

【００２７】また、本発明の圧着封止装置において、前
記加圧治具は、液晶パネルの基板面に対向する面におい
て枠状に設けられ、前記液晶パネルの基板面に当接して
空間を形成し、該空間に前記エアー供給路を介してエア
ーを供給することにより、前記液晶パネルに圧力を加え
てセル厚調整する密閉用シールをさらに具備する。この
構成によれば、液晶パネル全体を均一に加圧することが
できるので、セル厚調整の精度も向上する。

【００２８】また、本発明の圧着封止装置において、前
記セル厚調整部は、前記液晶パネルの基板面に対して一
方の側に設けられた光源と、前記液晶パネルの基板面に
対して他方の側に設けられ、前記光源から射出して前記
液晶パネルを通過した透過光もしくは前記液晶パネル表
面で反射された反射光を検出する光検出部と、前記光検
出部による検出値に基づいてセル厚を検出するセル厚検
出部と、検出されたセル厚と目標値とを比較して、前記
エアー供給路を介して比較結果に応じた圧力を加圧治具
にかける圧力制御部と、を具備する。この構成によれ
ば、初期セル厚を測定し、その値から所望値まで適切に
加圧することができるので、セル厚調整の精度が向上す
る。

【００２９】また、本発明の圧着封止装置において、前
記圧力制御部における加圧値は、ほぼ３０ｋＰａ程度で
あり、前記封止剤塗布部における減圧値は、ほぼ１０〜
２０ｋＰａであることが好ましい。

【００３０】本発明の圧着封止方法は、（ａ）液晶パネ
ルを加圧治具に装着してステージに載置する工程と、
（ｂ）前記ステージをステージ駆動部により所定角度回
転させて、セル厚調整部の所定位置まで加圧治具を移動
させる工程と、（ｃ）前記セル厚調整部において、ステ
ージのほぼ回転中心から前記加圧治具に接続されるエア
ー供給路からエアーを供給することにより加圧治具内に
圧力をかけ、前記液晶パネルのセル厚を調整する工程
と、（ｄ）前記ステージを前記ステージ駆動部により所
定角度回転させて、封止剤塗布部の所定位置まで加圧治
具を移動させる工程と、（ｅ）前記封止剤塗布部におい
て、前記液晶パネルの開口部に封止剤を塗布する工程
と、（ｆ）前記エアー供給路を介して加圧治具内の圧力
を減圧する工程と、（ｇ）前記ステージを前記ステージ
駆動部により所定角度回転させて、ＵＶ照射部の所定位
置まで加圧治具を移動させる工程と、（ｈ）前記ＵＶ照
射部において、紫外線を照射して前記封止剤を硬化させ
る工程と、を具備する。この構成によれば、回転ステー
ジに加圧治具を配置して回転移動して次の処理部の処理
位置へと移動ができ、各圧着封止処理装置への移動効率
が向上する。また、エアー供給路により全ての加圧減圧
が一定にできるので、圧着封止工程全体で安定したセル
厚で処理することができる。

【００３１】また、本発明の圧着封止方法において、前
記工程（ａ）、（ｃ）、（ｆ）及び（ｉ）は常に同時に
行われることを特徴とする。この構成によれば、各処理
部での処理は並行的に行われるので、常に全ての圧着封
止装置が稼動していることになり、各装置の稼動率も向
上し、生産性も向上する。

【００３２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づき説明する。

【００３３】＜全体構成＞まず本発明の液晶パネルの製
造装置１００の全体構成を説明する。

【００３４】図１は本発明の一実施形態に係る圧着封止
装置１００の全体構成を示す平面図である。図２はその
断面図である。

【００３５】図１及び図２に示すように、圧着封止装置
本体１００ａのほぼ中央には、回転可能なステージ１０
１が設けられている。また、ステージ１０１の下方に
は、ステージ駆動部１０９が設けられ、このステージ駆
動部１０９の駆動によりステージ１０１が回転駆動され
るようになっている。

【００３６】ステージ１０１上の外周に沿って、例えば
４つの加圧治具２１０が９０°の間隔をもって配置され
ている。また、ステージ１０１のほぼ中心には、工場の
エアー配管と接続され、ステージ下方から上方に向かっ
てエアーを供給するエアー供給路１０２が設けられてい
る。ステージ１０１上では、エアー供給路１０２が各加
圧治具２１０に向かって４方向に分岐したエアー分岐路
１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、１０２ｄを備え、各エ
アー分岐路１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、１０２ｄは
各加圧治具２１０にそれぞれ接続されている。またエア
ー分岐路１０２ａ、ｂ、ｃ、ｄにはそれぞれ圧力調整弁
ａ、ｂ、ｃ、ｄが設けられ、各圧力調整弁は独立的にバ
ルブを開放することによりエアーをリークする。これら
の圧力調整弁１０７ａ〜ｄは圧力制御部１０６により制
御されるようになっている。そして、この圧力制御部１
０６の下で、例えば上記の加圧治具２１０内に対する加
圧や減圧が行われるようになっている。

【００３７】前記ステージ１０１の外側には、加圧治具
をステージに載置または除去する除給材部１１０、セル
厚調整を行うセル厚調整部１２０、封止剤を塗布する封
止剤塗布部１３０、塗布した封止剤をＵＶで硬化するＵ
Ｖ照射部１４０が配置されている。各装置での処理は、
ステージ１０１が回転して加圧治具２１０が移動するこ
とにより順次行われるようになっている。

【００３８】セル厚調整部１２０は、セル厚を測定する
ための分光光度計１２１、分光光度計で測定を行うため
の光源１２２及びセル厚検出部１２３とを具備してい
る。光源１２２から射出された光が液晶パネルを透過し
て、その透過光を分光光度計１２１で測定してセル厚を
求める。また、セル厚検出部１２３は圧力制御部１０６
と接続してセル厚制御を行えるようになっている。例え
ば、分光光度計１２１での測定で求められた液晶パネル
３１０のセル厚に基づいて、適正セル厚にするために必
要な加圧量を算出し、その加圧量に基づき、圧力制御部
１０６は加圧制御指示を行う。さらにセル厚調整部１２
０では、セル厚調整により排出された余剰液晶を拭き取
る拭き取り装置１２５及びエアブロー装置１２６を具備
している。拭き取り装置１２５で余剰液晶を拭き取った
後、さらにエアブローで残った液晶を吹き飛ばすこと
で、完全に余剰液晶を除去することができる。

【００３９】封止剤塗布部１３０は、液晶パネル３１０
の液晶注入口にＵＶ硬化性樹脂を塗布するためのディス
ペンサー１３１を備えている。また、封止剤塗布部１３
０は封止剤塗布後、封止剤を液晶パネル内の適切な位置
まで引き込むために、圧力制御部１０６及び圧力調整弁
１０７ａ〜ｄと接続して加圧治具２１０を減圧する。

【００４０】ＵＶ照射部１４０は、封止剤を硬化するた
めのＵＶ照射装置１４１を備え、ＵＶ照射装置１４１は
枚葉タイプ加圧治具に対応して複数に分岐した照射ヘッ
ド１４３を備えている。各照射ヘッド１４３は液晶パネ
ル３１０の各セルの液晶注入口部分を、液晶パネルの基
板面に対して垂直方向からスポット的に照射するように
なっている。

【００４１】以上の構成により、本発明の圧着封止装置
１００では回転可能なステージ１０１に加圧治具２１０
を配置することにより一連の工程を連続して一つの装置
で施すことができる。

【００４２】次に、各装置を図面を用いて詳細に説明す
る。

【００４３】＜加圧治具＞図３は本発明の加圧治具２１
０が液晶パネル３１０を挟持した状態の斜視図である。
図４は加圧治具２１０内の圧力保持構造に関わる密閉用
シール２１１の全体図である。図５は加圧治具２１０に
エアーを供給して加圧している状態を示す縦断面図であ
る。

【００４４】本発明の加圧治具２１０は枚葉式の加圧治
具であり、８〜１２枚の液晶セルからなる短冊状の液晶
パネル３１０を挟持している。従来の、複数のパネルを
間紙を介して積層し、挟持する加圧治具と比較して、本
発明の加圧治具２１０は液晶パネル３１０を１枚ずつ挟
持することができるので、液晶パネルに対する加圧も精
度良く行うことができる。

【００４５】加圧治具の内部には、図４に示すようにゴ
ム製の密閉用シール（以下リップシールという）２１１
が備えられている。リップシール２１１は、シールの枠
部分が液晶パネルの基板面と当接して、基板面との間に
空間（以下加圧領域という）２１２を形成している。ま
た、リップシール２１１の中央には光源１２２ａからの
光を通過させるための分光測定孔とエアー供給路との接
続孔が設けられている。この加圧領域２１２にエアー供
給路１０２を介してエアーが供給されることにより加圧
治具内の圧力が上昇し、液晶パネル３１０を押圧するこ
とによりセル厚が調整される。このように本実施形態で
は、１対のリップシール２１１によりエアー漏れを防ぎ
効率良く加圧治具に対して加圧することができる。

【００４６】＜セル厚調整部＞次に図６を用いてセル厚
調整部の説明をする。図６はセル厚調整装置１２０の構
成を示す図である。

【００４７】セル厚調整装置１２０には、まず、液晶パ
ネル３１０のセル厚を測定するために、分光光度計１２
１がステージ外側に、測定するための透過光受光部１２
２ｂがステージ内に配置されている。分光光度計１２１
内には、透過光測定のための光源１２２ａと、反射光で
セル厚を測定するための反射光光源１２４ａと、その反
射光を受光する反射光受光部１２４ｂとが設けられてい
る。また、ステージ外には分光光度計１２１で検出され
た値からセル厚を算出するセル厚検出部１２３が配置さ
れている。該検出部１２３は圧力制御部１０６に接続し
ているので、圧力制御部１０６は検出部１２３で算出さ
れたセル厚に基づいてフィードバック制御を行い、所望
セル厚を得るまで加圧治具２１０を加圧する。具体的に
は、分光光度計１２１内に配置された光源１２２ａから
光が射出され、液晶パネル３１０を通過して透過光受光
部１２２ｂに到達する。この透過光の分光特性を測定し
て、液晶パネルの初期セル厚を求める。または、反射光
光源１２４ａから射出した光が液晶パネル３１０の表面
で反射して、その反射光を反射光受光部１２４ｂで受光
し、界面反射光の干渉を利用して初期セル厚を求める。
こうして求められた初期セル厚値はセル厚検出部１２３
に伝達され、予め設定されたセル厚値に調整するために
必要な加圧量を算出し、圧力制御部１０６に伝達され
る。圧力制御部１０６では、この加圧量に基づいて加圧
治具２１０の圧力制御を行う。

【００４８】このような構成により、液晶パネル１枚毎
に適切な圧力で加圧することができるので、セル厚調整
の精度が向上する。

【００４９】また、セル厚調整装置１２０は上述のよう
に液晶パネル３１０を適切なセル厚に調整した後、押圧
されたことで排出された余剰液晶を拭き取る拭き取り装
置１２５を有している。この拭き取り装置１２５は、加
圧治具の周回軌道上に、加圧治具が斜めに交差するよう
に配置されている。拭き取り装置１２５は、例えば２つ
のローラ間に幅約１５ｍｍのベンコットンを巻き取るよ
うに掛け渡し、ローラを一定方向に回転させながら、液
晶パネル上部の拭き取り面に押し当てて余剰液晶を除去
している。この構成により、常に清浄な拭き取り面で余
剰液晶を拭き取ることが可能になる。

【００５０】さらに、拭き取り装置１２５に隣接して、
封止剤塗布部端部にエアブロー装置１２６が配置されて
いる。これにより、拭き取り装置１２５でも余剰液晶が
除去しきれなかった場合でも、残存液晶をエアーで吹き
飛ばして完全に除去することができる。

【００５１】＜封止剤塗布部＞図７に基づいて封止剤塗
布装置１３０について説明する。図７は本発明の封止剤
塗布装置１３０の構成を示す図である。

【００５２】本装置１３０は液晶パネル３１０の液晶注
入口に封止剤を塗布するためのディスペンサー１３１を
有する。ディスペンサー１３１は後方で駆動部１３２と
接続し、左右方向に移動可能になっている。また、ディ
スペンサー１３１内にはディスペンサーが４基備えら
れ、加圧治具２１０が移動してくると液晶注入口付近ま
でディスペンサーが順次加圧治具２１０上を移動して封
止剤を塗布する。この構成により、液晶パネルのセル一
つ一つに的確に封止剤を塗布することができる。

【００５３】また、ディスペンサー内部では、封止剤は
およそ２３．５℃程度で温調され、封止剤を常に一定の
粘性及び品質で維持できるようになっている。しかし、
例えば３０分以上装置が休止した場合には、封止剤が変
質している恐れもあるので、封止剤を液晶パネルに塗布
する前に、一旦ディスペンサーの先端にある封止剤を捨
て出しする捨て出し部１３３を有している。これにより
常時品質が安定した封止剤を確実に液晶注入口に塗布す
ることができる。

【００５４】また、封止剤塗布装置１３０は、封止剤を
液晶パネルの封止部分に引き込むため、封止剤塗布後に
加圧治具を減圧する。まず、リークバルブ１０７が、圧
力制御部１０６の指示に従い、バルブを開放する。こう
することにより加圧治具２１０に接続しているエアー供
給路のエアーをリークして、所定値まで加圧治具内の圧
力を減圧する。このように加圧治具２１０内を減圧する
ことで、液晶パネルにかけられていた圧力が減少して液
晶パネルが緩み、所望の部位まで封止剤を引き込むこと
ができる。

【００５５】＜ＵＶ照射部＞次に図８及び図９を用いて
ＵＶ照射部１４０について説明する。図８は本発明のＵ
Ｖ照射部１４０の構成を示す構成図であり、図９は照射
部分を示す部分平面図である。図１０は液晶パネルの本
ＵＶ照射部により照射される部分を示す図である。

【００５６】ＵＶ照射部１４０は図８に示すようにＵＶ
光源１４１と、光源１４１から延在している光ファイバ
ー１４２と、さらに光ファイバー１４２が分岐してその
先端に備えられている複数の照射ヘッド１４３を有して
いる。この構成によれば、従来のバッチ式でＵＶ照射を
して硬化させる処理に比較して至近距離で、枚葉式で照
射できるので、照射精度が向上し、短時間の照射で済
む。また、図９に示すように、本発明のＵＶ照射装置は
液晶パネルの基板面に垂直な方向から照射し、図１０に
示す照射部分１４５という狭い範囲にのみ照射できるの
で、従来の、基板断面側から液晶注入口に向かって照射
する方法と比べて、液晶パネル内部までＵＶが浸透する
ことがないので、液晶パネル全体の劣化を防ぐことがで
きる。

【００５７】＜圧着封止方法＞以上、上述した構成の装
置による本発明の圧着封止方法を、図１１を用いて説明
する。図１１は本発明の圧着封止方法を示す工程図であ
る。

【００５８】まず、除給材部１１０で、液晶注入が終わ
った液晶パネル３１０をステージ１０１上に設置してあ
る加圧治具２１０に挿入して（ステップ１）。この時点
ではまだ加圧治具は加圧されていない。

【００５９】次に、ステージ１０１を回転させて、上記
のように液晶パネル３１０がセットされた加圧治具２１
０を除給材部１１０からセル厚調整部１２０まで移動す
る（ステップ２）。なお、このとき、セル厚調整部１２
０で既に調整の終えた加圧治具２１０は封止剤塗布部１
３０まで、封止剤塗布部１３０で封止剤を塗布した加圧
治具２１０はＵＶ照射部１４０まで、ＵＶ照射部１４０
でＵＶ照射を追えた加圧治具２１０は除給材部１１０
へ、それぞれ移動する。

【００６０】セル厚調整処理では、まず光源１２１ａか
ら光を射出し、光が加圧治具２１０中の液晶パネル３１
０を通過し、その透過光もしくは反射光を分光光度計１
２１で計測する（ステップ３−１）。次にその計測値が
セル厚検出部１２２に伝達され、初期セル厚を算出し、
そのセル厚から所望セル厚にするために必要な圧力を算
出する（ステップ３−２）。所望圧力値が圧力制御部１
０６に伝達され、圧力調整弁１０７を介してエアー供給
路にエアーを供給して、所望セル厚になるまで加圧され
る（ステップ３−３）。加圧が終わると、液晶拭き取り
装置１２５を液晶パネル３１０の上面に押し当てること
により、排出された余剰液晶を拭き取る再び回転移動が
行われる（ステップ４）。

【００６１】その後ステージ１０１が回転し、エアブロ
ー装置１２６によりエアーを拭きつけて完全に余剰液晶
を除去する（ステップ５）、そして封止剤塗布部１３０
と加圧治具２１０が対面する位置まで回転移動した後、
ディスペンサー１３１が液晶パネル３１０上まで移動し
て、封止剤を塗布する（ステップ６−１）。ディスペン
サー１３１は４つのディスペンサーで構成されているの
で、１枚の液晶パネルに対して数回に分けて、横方向に
移動しながら封止剤を塗布する。

【００６２】次いで、圧力制御部１０６を介して圧力調
整弁１０７を開放し、加圧治具内のエアーをリークして
減圧して、塗布した封止剤を所定位置まで引き込む（ス
テップ６−２）。

【００６３】減圧値は予め圧力制御部１０６で設定され
ているので、所定の圧力になるまで一度にエアーのリー
ク減圧を行う。

【００６４】再びステージ１０１が回転し、ＵＶ照射部
１４０と対面する位置まで加圧治具２１０を移動させる
（ステップ７）。

【００６５】加圧治具１１０がＵＶ照射部１４０に移動
した後、ＵＶ光源１４１から、光ファイバ１４２及び射
出ヘッド１４３を介してＵＶ光を液晶パネルの封止部に
向かって照射して封止剤を硬化する（ステップ８）。

【００６６】射出ヘッド１４３が液晶パネル３１０至近
まで前進し、照射部１４５に向かってＵＶを照射する。
このＵＶ照射部１４０には一本の光ファイバーから６個
の射出ヘッド１４３分岐しているので、一度照射した
後、横方向に移動して、もう一度液晶パネル３１０に対
して照射を行う。そして、再度ステージ１０１が回転し
（ステップ９）、加圧治具２１０は除給材部１１０に戻
ってくるので、加圧治具より液晶パネル３１０を取り出
す（ステップ１０）。

【００６７】このように本実施形態のシステムでは、回
転可能なステージ１０１のほぼ中心にエアー供給路１０
２を配置し、エアー供給路１０２からステージ外周方向
に向かって４方向に分岐したエアー供給路１０２ａ、１
０１ｂ、１０１ｃ、１０１ｄにより、ステージ１０１上
に載置された加圧治具２１０にエアーを供給して治具内
の加圧減圧を行うと共に、ステージ１０１が回転するこ
とにより、加圧治具２１０に挟持された液晶パネル３１
０のセル厚を均一に維持しながら各処理装置まで移動
し、順次処理を施しているので、液晶パネルのセル厚を
均一に保った状態での処理を簡単な機構で効率よく実現
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の圧着封止装置の全体構成を示す平面図
である。

【図２】図１に示す圧着封止装置の断面図である。

【図３】本発明の圧着封止装置に適用される枚葉式の加
圧治具の斜視図である。

【図４】本発明の加圧治具に用いられる密閉用シールの
平面図である。

【図５】図３に示す加圧治具の断面図である。

【図６】本発明の圧着封止装置を構成するセル厚調整部
の平面図である。

【図７】本発明の圧着封止装置を構成する封止剤塗布部
の正面図である。

【図８】本発明の圧着封止装置を構成するＵＶ照射部の
模式図である。

【図９】図８に示すＵＶ照射部における液晶パネルに対
するＵＶ照射方法を示す部分平面図である。

【図１０】同じく図８に示すＵＶ照射部で照射される液
晶パネルの照射対象部分を示す図である。

【図１１】本発明の圧着封止方法を説明するための工程
図である。

【符号の説明】

１００…圧着封止装置 １０１…回転ステージ １０２…エアー供給路 １０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、１０２ｄ…エアー分岐
路 １０６…圧力制御部 １０７ａ、ｂ、ｃ、ｄ…圧力調整弁 １０９…ステージ駆動手段 １１０…除給材部 １２０…セル厚調整部 １２１…分光光度計 １２２ａ…透過光光源 １２２ｂ…透過光受光部 １２３…セル厚検出部 １２４ａ…反射光光源 １２４ｂ…反射光受光部 １３０…封止剤塗布部 １４０…ＵＶ照射部 ２１０…加圧治具 ２１１…密閉用シール ２１２…加圧領域 ３１０…液晶パネル

Claims (19)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転可能なステージと、 前記ステージ上の外周に沿って複数配置され、液晶パネ
   ルを保持する加圧治具と、 前記ステージのほぼ回転中心から前記各加圧治具に接続
   されるエアー供給路とを具備することを特徴とする液晶
   パネルの製造装置。
2. 【請求項２】 前記ステージの外側に配置され、前記加
   圧治具により加圧された液晶パネルのセル厚を、前記エ
   アー供給路を介して供給されるエアーを用いて調整する
   第１の処理部と、 前記ステージの外側で前記第１の処理部とは異なる位置
   に配置され、前記セル厚が調整された液晶パネルに対し
   て所定の処理を施す第２の処理部とを具備することを特
   徴とする請求項１に記載の液晶パネルの製造装置。
3. 【請求項３】 前記第２の処理部が、前記セル厚が調整
   された液晶パネルの液晶注入口に封止剤を塗布するもの
   であり、 前記ステージの外側で前記第１及び第２の処理部とは異
   なる位置に配置され、前記液晶注入口に塗布された封止
   剤を硬化する処理を施す第３の処理部を更に具備するこ
   とを特徴とする請求項１または２に記載の液晶装置の製
   造装置。
4. 【請求項４】 前記加圧治具は、液晶パネルの基板面に
   対向する面において枠状に設けられ、前記液晶パネルの
   基板面に当接して空間を形成し、該空間に前記エアー供
   給路を介してエアーを供給することにより前記液晶パネ
   ルに圧力を加えてセル厚調整する密閉用シールをさらに
   具備することを特徴とする請求項１ないし３に記載の液
   晶パネル製造装置。
5. 【請求項５】 前記第１の処理部は、前記液晶パネルの
   基板面に対して一方の側に設けられた光源を更に具備
   し、 前記液晶パネルの基板面に対して他方の側に設けられ、
   前記光源から射出して前記液晶パネルを通過した透過光
   もしくは前記液晶パネルの表面で反射した反射光を検出
   する光検出部と、 前記光検出部による検出に基づいてセル厚を検出するセ
   ル厚検出部と、 検出されたセル厚と目標値とを比較して、比較結果に応
   じた圧力を前記加圧治具にかける圧力制御部とを具備す
   ることを特徴とする請求項１ないし４に記載の液晶パネ
   ル製造装置。
6. 【請求項６】 前記第２の処理部は、前記封止剤が液晶
   注入口に塗布された後、前記加圧治具内の圧力を所定値
   まで減圧することにより封止剤を注入口内に引き込むた
   めの減圧部を有することを特徴とする請求項１ないし５
   に記載の液晶パネルの製造装置。
7. 【請求項７】 前記圧力制御部は、前記加圧治具に対し
   てほぼ３０ｋＰａ程度の圧力を加圧し、 前記減圧部は前記封止材を塗布後、前記加圧治具に対し
   てほぼ１０〜２０ｋＰａ程度減圧することを特徴とする
   請求項１ないし６に記載の液晶パネルの製造装置。
8. 【請求項８】 （ａ）ステージ上に加圧治具を載置して
   液晶パネルを装着する工程と、 （ｂ）前記ステージをステージ駆動部により所定角度回
   転させて、第１の処理部の所定位置まで加圧治具を移動
   させる工程と、 （ｃ）前記第１の処理部において、ステージのほぼ回転
   中心から前記加圧治具に接続されるエアー供給路からエ
   アーを供給することにより加圧治具内に圧力をかけ、液
   晶パネルのセル厚を調整する工程と、 （ｄ）前記ステージを前記ステージ駆動部により所定角
   度回転させて、第２の処理部に移動させる工程と、 （ｅ）前記第２の処理部において所定の処理を行う工程
   と、 を具備することを特徴とする液晶パネルの製造方法。
9. 【請求項９】 前記工程（ｅ）において、前記第２の処
   理部は、前記液晶パネルの開口部に封止剤を塗布するも
   のであり、さらに、（ｆ）前記エアー供給路を介して加
   圧治具内の圧力を減圧する工程と、 （ｇ）前記ステージを前記ステージ駆動部により所定角
   度回転させて、第３の処理部の所定位置まで加圧治具を
   移動させる工程と、 （ｈ）前記第３の処理部において、前記液晶パネルの基
   板に対してほぼ垂直方向から紫外線を照射して前記封止
   剤を硬化させる工程と、 を具備することを特徴とする請求項８に記載の液晶パネ
   ルの製造方法。
10. 【請求項１０】 前記工程（ａ）、（ｃ）、（ｅ）及び
    （ｈ）は、同時に行われることを特徴とする請求項８ま
    たは９に記載の液晶パネルの製造方法。
11. 【請求項１１】 回転可能なステージと、 前記ステージ上の外周に沿って複数配置され、液晶パネ
    ルを保持する加圧治具と、 前記ステージのほぼ回転中心から各加圧治具に分岐する
    エアー供給路とを具備することを特徴とする圧着封止装
    置。
12. 【請求項１２】 液晶パネルの製造装置前記ステージの
    外側に配置され、前記加圧治具により保持された液晶パ
    ネルのセル厚を、前記エアー供給路を介して供給される
    エアーを用いて調整するセル厚調整部と、 前記ステージの外側で前記セル厚調整部と隣接する位置
    に配置され、前記セル厚が調整された液晶パネルに対し
    て開口部に封止剤を塗布する封止剤塗布部とを具備する
    ことを特徴とする請求項１１に記載の圧着封止装置。
13. 【請求項１３】 前記ステージの外側で前記封止剤塗布
    部と隣接する位置に配置され、前記液晶パネルの開口部
    に塗布された封止剤を硬化する処理を施すＵＶ照射部を
    更に具備することを特徴とする請求項１１または１２に
    記載の圧着封止装置。
14. 【請求項１４】 前記加圧治具は、液晶パネルの基板面
    に対向する面において枠状に設けられ、前記液晶パネル
    の基板面に当接して空間を形成し、該空間に前記エアー
    供給路を介してエアーを供給することにより前記液晶パ
    ネルに圧力を加えてセル厚調整する密閉用シールをさら
    に具備することを特徴とする請求項１１ないし１３に記
    載の圧着封止装置。
15. 【請求項１５】 前記セル厚調整部は、前記液晶パネル
    の基板面に対して一方の側に設けられた光源と、 前記液晶パネルの基板面に対して他方の側に設けられ、
    前記光源から射出して前期液晶パネルを通過した透過光
    もしくは前記液晶パネルの表面で反射した反射光を検出
    する光検出部と、 前記光検出部による検出値に基づいてセル厚を検出する
    セル厚検出部と、 検出されたセル厚と目標値とを比較して、前記エアー供
    給路を介して比較結果に応じた圧力を加圧治具にかける
    圧力制御部と、 を具備することを特徴とする請求項１１ないし１４に記
    載の圧着封止装置。
16. 【請求項１６】 前記封止材塗布部は、前記封止剤が前
    記液晶パネルの開口部に塗布された後、前記エアー供給
    路を介してエアー調整して前記加圧治具内の圧力を所定
    値まで減圧することにより封止剤を開口部内に引き込む
    減圧部を具備することを特徴とする請求項１１ないし１
    ４に記載の圧着封止装置。
17. 【請求項１７】 前記圧力制御部は、前記加圧治具に対
    してほぼ３０ｋＰａ程度の圧力を加圧し、 前記封止剤塗布部は、前記封止剤を塗布後、前記加圧治
    具に対してほぼ１０〜２０ｋＰａ程度減圧することを特
    徴とする請求項１５に記載の圧着封止装置。
18. 【請求項１８】 （ａ）ステージ上に加圧治具を載置し
    て液晶パネルを装着する工程と、 （ｂ）前記ステージをステージ駆動部により所定角度回
    転させて、セル厚調整部に対面する位置まで加圧治具を
    移動させる工程と、 （ｃ）前記セル厚調整部において、ステージのほぼ回転
    中心から前記加圧治具に接続されるエアー供給路からエ
    アーを供給することにより加圧治具内に圧力をかけ、前
    記液晶パネルのセル厚を調整する工程と、 （ｄ）前記ステージを前記ステージ駆動部により所定角
    度回転させて、封止剤塗布部の所定位置まで加圧治具を
    移動させる工程と、 （ｅ）前記封止剤塗布部において、前記液晶パネルの開
    口部に封止剤を塗布する工程と、 （ｆ）前記エアー供給路を介して加圧治具内の圧力を減
    圧する工程と、 （ｇ）前記ステージを前記ステージ駆動部により所定角
    度回転させて、ＵＶ照射部の所定位置まで加圧治具を移
    動させる工程と、 （ｈ）前記ＵＶ照射部において、紫外線を照射して前記
    封止剤を硬化させる工程と、 を具備することを特徴とする圧着封止方法。
19. 【請求項１９】 前記工程（ａ）、（ｃ）、（ｆ）及び
    （ｉ）は常に同時に行われることを特徴とする請求項１
    ８に記載の圧着封止方法。