JP3829661B2

JP3829661B2 - 液晶パネルの製造装置、液晶パネルの製造方法、圧着封止装置及び圧着封止方法

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Publication number: JP3829661B2
Application number: JP2001215607A
Authority: JP
Inventors: 光祥曽山; 雅宏黒岩
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2001-07-16
Filing date: 2001-07-16
Publication date: 2006-10-04
Anticipated expiration: 2021-07-16
Also published as: JP2003029274A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶装置製造における圧着封止工程に適用される液晶パネルの製造装置、液晶パネルの製造方法、圧着封止装置及び圧着封止方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、液晶パネルの製造工程では、まず未硬化のシール材を介して２枚の基板を張り合わせた後、所定圧力で加圧して基板間を相互に圧着する。次いで、加熱などの処理を行うことによりシール材を硬化させ、液晶パネルのセル構造を形成する。上記シール材には液晶注入口を構成する開口部が設けられており、この開口部から上記セル内に液晶を注入し、この後液晶パネルを圧着封止する。
【０００３】
この圧着封止工程では、まず圧着対象である液晶パネルをパネルの保護を図るための間紙を介して複数枚積層し、これらを剛性を有する板状部材からなる加圧治具により挟持する。次いで、この加圧治具に対して圧力を加え、これらの複数の液晶パネルのセル厚をまとめて調整する。次に、加圧により液晶注入口から噴出した余剰液晶を拭き拭き取った後、各液晶注入口にＵＶ硬化樹脂等の封止剤を塗布する。そして、加圧治具ごと例えばフォークリフトでＵＶ硬化炉に搬送してＵＶ照射により封止剤を硬化している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このように圧着封止工程において複数の液晶パネルをまとめて処理すると、加圧治具による加圧の際にパネル間で加圧むらが生じたり、ＵＶ硬化炉での処理の際に色調むらが生じ、セル厚を均一にすることが困難である、という課題がある。また、複数のパネルの加圧治具へのセットやＵＶ硬化炉への搬送やバッチ処理などにも相当の時間を要する、という課題もある。そこで、上記課題を解決する方法として、例えばパネル１枚ごとに処理を行うセル厚調整装置、封止材塗布装置及びＵＶ照射装置を直列的にライン状に配置し、エアーにより圧力をかけながら液晶パネルを１枚ずつ挟持する加圧治具を用い、これらの加圧治具をライン上を移動させながら一連の処理を行うことが考えられる。
【０００５】
しかしながら、このようなシステムでは、例えば、エアー供給の方法として、各加圧治具に対して加圧用のポンプからの配管を接続することが考えられるが、セル厚調整装置、封止材塗布装置及びＵＶ照射装置に沿ってライン上に移動していく加圧治具にかかる配管を追従させるようにすると、そのような追従のための機構を構成することは非常に困難であり、またＵＶ照射装置が終了した後の加圧治具ばかりでなくこのような配管をセル厚調整装置まで戻すための機構も構成することが困難である、という課題がある。
【０００６】
本発明は上記事情に鑑み、液晶パネルのセル厚を均一に保った状態での処理を簡単な機構で効率よく実現できる液晶パネルの製造装置、液晶パネルの製造方法、圧着封止装置及び圧着封止方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、液晶パネルの製造装置であって、回転可能なステージと、前記ステージ上の外周に沿って複数配置され、液晶パネルを保持する加圧治具と、前記ステージのほぼ回転中心から前記各加圧治具に接続されるエアー供給路と、を具備する。
【０００８】
このような構成によれば、一つの配管で全ての加圧治具に対してエアーを供給することができる。このため、常に所望の圧力を各液晶パネルに対して均一にかけながら連続して処理を行うことができる。
【０００９】
また、本発明は、前記ステージの外側に配置され、前記加圧治具により加圧された液晶パネルのセル厚を、前記エアー供給路を介して供給されるエアーを用いて調整する第１の処理部と、前記ステージの外側で前記第１の処理部と隣接する位置に配置され、前記セル厚が調整された液晶パネルに対して所定の処理を施す第２の処理部とを具備することが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、まず加圧治具に挟持された液晶パネルのセル厚を調整し、ステージが回転することによりそのままの状態で次の処理に移行することができる。
【００１１】
また、本発明は、前記第２の処理部が、前記セル厚が調整された液晶パネルの液晶注入口に封止剤を塗布するものであり、前記ステージの外側で前記第２の処理部と隣接する位置に配置され、前記液晶注入口に塗布された封止剤を硬化する処理を施す第３の処理部を更に具備することが好ましい。
【００１２】
このような構成によれば、第１の処理部で液晶パネルのセル厚調整を行った後、そのままの状態で封止材の塗布および封止材の硬化処理が可能になる。
【００１３】
また、本発明において、前記加圧治具は、液晶パネルの基板面に対向する面において枠状に設けられ、前記液晶パネルの基板面に当接して空間を形成し、該空間に前記エアー供給路を介してエアーを供給することにより前記液晶パネルに圧力を加えてセル厚調整する密閉用シールをさらに具備する。
【００１４】
この構成では、加圧治具内の密閉用シールが液晶パネルの各基板それぞれに対向する状態で接触している。こうすることで基板とシールとの間にエアーを供給する空間ができ、エアーにより液晶パネル全体を均一に加圧することができる。そのため、セル厚調整の精度も向上する。
【００１５】
また、前記第１の処理部は、前記液晶パネルの基板面に対して一方の側に設けられた光源を更に具備し、前記液晶パネルの基板面に対して他方の側に設けられ、前記光源から射出して前記液晶パネルを通過した透過光もしくは前記液晶パネルの表面で反射した反射光を検出する光検出部と、前記光検出部による検出に基づいてセル厚を検出するセル厚検出部と、検出されたセル厚と目標値とを比較して、比較結果に応じた圧力を前記加圧治具にかける圧力制御部と、を具備する。
【００１６】
これにより、液晶が注入された状態で搬送されてきた液晶パネルの初期セル厚を透過光もしくは反射光により計測し、その値から所望のセル厚となるまでエアーを供給しつつ液晶パネルを加圧することができるので、適切なセル厚を得ることができる。
【００１７】
また、前記第２の処理部は、前記封止剤が液晶注入口に塗布された後、前記加圧治具内の圧力を所定値まで減圧することにより封止剤を注入口内に引き込むための減圧部を有する。この構成によれば封止材が塗布された後、加圧治具内を減圧することができるので、これにより封止材が確実に液晶パネルの封止部内に引き込まれる。
【００１８】
また、前記圧力制御部は、ほぼ３０ｋＰａ程度の圧力を前記加圧治具に対して加圧し、前記減圧部は前記封止材を塗布後、前記加圧治具に対してほぼ１０〜２０ｋＰａ程度減圧することが好ましい。この構成によれば加圧治具内の液晶パネルに対して一定量加圧することでセル厚調整を行い、封止材を塗布した後は一定量減圧して封止剤を液晶パネルの内部に引き込むことが一連の処理で行える。
【００１９】
本発明の液晶パネルの製造方法は、（ａ）ステージ上に加圧治具を載置して液晶パネルを装着する工程と、（ｂ）前記ステージをステージ駆動部により所定角度回転させて、第１の処理部の所定位置まで加圧治具を移動させる工程と、（ｃ）前記第１の処理部において、ステージのほぼ回転中心から前記加圧治具に接続されるエアー供給路からエアーを供給することにより加圧治具内に圧力をかけ、液晶パネルのセル厚を調整する工程と、（ｄ）前記ステージを前記ステージ駆動部により所定角度回転させて、第２の処理部の所定位置まで加圧治具を移動させる工程と、（ｅ）前記第２の処理部において、所定の処理を行う工程と、を具備する。
【００２０】
このような構成によれば、回転可能なステージに加圧治具を載置して回転移動するだけで次の処理部へと移動ができ、隣接する次の処理部への移動効率が向上する。また、エアー供給路により加圧治具の圧力調整が一定にできるので、工程全体で安定したセル厚のまま処理することができる。
【００２１】
また、本発明の液晶パネルの製造方法において、前記工程（ｅ）では前記第２の処理部は液晶パネルの開口部に封止剤を塗布する工程を具備し、さらに、（ｆ）前記エアー供給路を介して加圧治具内の圧力を減圧する工程と、（ｇ）前記ステージを前記ステージ駆動部により所定角度回転させて、第３の処理部の所定位置まで加圧治具を移動させる工程と、（ｈ）前記第３の処理部において、前記液晶パネルの基板に対してほぼ垂直方向から紫外線を照射して前記封止剤を硬化させる工程と、を具備することを特徴とする。
【００２２】
この構成によれば、第１の処理部でセル厚調整を行った後、そのままの状態で全工程を行うことができる。
【００２３】
また、本発明の液晶パネルの製造方法では、前記工程（ａ）、（ｃ）、（ｅ）及び（ｈ）は、同時に行われることを特徴とする。この構成によれば、各処理部での処理は並行的に行われるので、常に全ての処理装置が稼動していることになり、各装置の稼動率も向上し、生産性も向上する。
【００２４】
また、本発明の圧着封止装置は、回転可能なステージと、前記ステージ上の外周に沿って複数配置され、液晶パネルを保持する加圧治具と、前記ステージのほぼ回転中心から各加圧治具に分岐するエアー供給路と、を具備することを特徴とする。この構成によれば、一つのエアー供給路で加圧治具の圧力調整を行い、加圧治具がステージ上を移動しながら圧着封止工程を行うことができるので、効率良く処理できる。
【００２５】
また、本発明の圧着封止装置は、前記ステージの外側に配置され、前記加圧治具により保持された液晶パネルのセル厚を、前記エアー供給路を介して供給されるセル厚調整部と、前記ステージの外側で前記セル厚調整部と隣接する位置に配置され、前記セル厚が調整された液晶パネルに対して開口部に封止剤を塗布する封止剤塗布部とを具備する。この構成によれば、この構成によれば、まず加圧治具に挟持された液晶パネルのセル厚を調整し、ステージが回転することによりそのままの状態で封止剤塗布処理に移行することができる。
【００２６】
また、本発明の圧着封止装置は、前記ステージの外側で前記封止剤塗布部と隣接する位置に配置され、前記液晶パネルの液晶注入口に塗布された封止剤を硬化する処理を施すＵＶ照射部を更に具備する。この構成によれば、封止剤を塗布した後、引き続きＵＶ照射処理を行うことができる。
【００２７】
また、本発明の圧着封止装置において、前記加圧治具は、液晶パネルの基板面に対向する面において枠状に設けられ、前記液晶パネルの基板面に当接して空間を形成し、該空間に前記エアー供給路を介してエアーを供給することにより、前記液晶パネルに圧力を加えてセル厚調整する密閉用シールをさらに具備する。この構成によれば、液晶パネル全体を均一に加圧することができるので、セル厚調整の精度も向上する。
【００２８】
また、本発明の圧着封止装置において、前記セル厚調整部は、前記液晶パネルの基板面に対して一方の側に設けられた光源と、前記液晶パネルの基板面に対して他方の側に設けられ、前記光源から射出して前記液晶パネルを通過した透過光もしくは前記液晶パネル表面で反射された反射光を検出する光検出部と、前記光検出部による検出値に基づいてセル厚を検出するセル厚検出部と、検出されたセル厚と目標値とを比較して、前記エアー供給路を介して比較結果に応じた圧力を加圧治具にかける圧力制御部と、を具備する。この構成によれば、初期セル厚を測定し、その値から所望値まで適切に加圧することができるので、セル厚調整の精度が向上する。
【００２９】
また、本発明の圧着封止装置において、前記圧力制御部における加圧値は、ほぼ３０ｋＰａ程度であり、前記封止剤塗布部における減圧値は、ほぼ１０〜２０ｋＰａであることが好ましい。
【００３０】
本発明の圧着封止方法は、（ａ）液晶パネルを加圧治具に装着してステージに載置する工程と、（ｂ）前記ステージをステージ駆動部により所定角度回転させて、セル厚調整部の所定位置まで加圧治具を移動させる工程と、（ｃ）前記セル厚調整部において、ステージのほぼ回転中心から前記加圧治具に接続されるエアー供給路からエアーを供給することにより加圧治具内に圧力をかけ、前記液晶パネルのセル厚を調整する工程と、（ｄ）前記ステージを前記ステージ駆動部により所定角度回転させて、封止剤塗布部の所定位置まで加圧治具を移動させる工程と、（ｅ）前記封止剤塗布部において、前記液晶パネルの開口部に封止剤を塗布する工程と、（ｆ）前記エアー供給路を介して加圧治具内の圧力を減圧する工程と、（ｇ）前記ステージを前記ステージ駆動部により所定角度回転させて、ＵＶ照射部の所定位置まで加圧治具を移動させる工程と、（ｈ）前記ＵＶ照射部において、紫外線を照射して前記封止剤を硬化させる工程と、を具備する。この構成によれば、回転ステージに加圧治具を配置して回転移動して次の処理部の処理位置へと移動ができ、各圧着封止処理装置への移動効率が向上する。また、エアー供給路により全ての加圧減圧が一定にできるので、圧着封止工程全体で安定したセル厚で処理することができる。
【００３１】
また、本発明の圧着封止方法において、前記工程（ａ）、（ｃ）、（ｆ）及び（ｉ）は常に同時に行われることを特徴とする。この構成によれば、各処理部での処理は並行的に行われるので、常に全ての圧着封止装置が稼動していることになり、各装置の稼動率も向上し、生産性も向上する。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。
【００３３】
＜全体構成＞
まず本発明の液晶パネルの製造装置１００の全体構成を説明する。
【００３４】
図１は本発明の一実施形態に係る圧着封止装置１００の全体構成を示す平面図である。図２はその断面図である。
【００３５】
図１及び図２に示すように、圧着封止装置本体１００ａのほぼ中央には、回転可能なステージ１０１が設けられている。また、ステージ１０１の下方には、ステージ駆動部１０９が設けられ、このステージ駆動部１０９の駆動によりステージ１０１が回転駆動されるようになっている。
【００３６】
ステージ１０１上の外周に沿って、例えば４つの加圧治具２１０が９０°の間隔をもって配置されている。また、ステージ１０１のほぼ中心には、工場のエアー配管と接続され、ステージ下方から上方に向かってエアーを供給するエアー供給路１０２が設けられている。ステージ１０１上では、エアー供給路１０２が各加圧治具２１０に向かって４方向に分岐したエアー分岐路１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、１０２ｄを備え、各エアー分岐路１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、１０２ｄは各加圧治具２１０にそれぞれ接続されている。またエアー分岐路１０２ａ、ｂ、ｃ、ｄにはそれぞれ圧力調整弁ａ、ｂ、ｃ、ｄが設けられ、各圧力調整弁は独立的にバルブを開放することによりエアーをリークする。これらの圧力調整弁１０７ａ〜ｄは圧力制御部１０６により制御されるようになっている。そして、この圧力制御部１０６の下で、例えば上記の加圧治具２１０内に対する加圧や減圧が行われるようになっている。
【００３７】
前記ステージ１０１の外側には、加圧治具をステージに載置または除去する除給材部１１０、セル厚調整を行うセル厚調整部１２０、封止剤を塗布する封止剤塗布部１３０、塗布した封止剤をＵＶで硬化するＵＶ照射部１４０が配置されている。各装置での処理は、ステージ１０１が回転して加圧治具２１０が移動することにより順次行われるようになっている。
【００３８】
セル厚調整部１２０は、セル厚を測定するための分光光度計１２１、分光光度計で測定を行うための光源１２２及びセル厚検出部１２３とを具備している。光源１２２から射出された光が液晶パネルを透過して、その透過光を分光光度計１２１で測定してセル厚を求める。また、セル厚検出部１２３は圧力制御部１０６と接続してセル厚制御を行えるようになっている。例えば、分光光度計１２１での測定で求められた液晶パネル３１０のセル厚に基づいて、適正セル厚にするために必要な加圧量を算出し、その加圧量に基づき、圧力制御部１０６は加圧制御指示を行う。さらにセル厚調整部１２０では、セル厚調整により排出された余剰液晶を拭き取る拭き取り装置１２５及びエアブロー装置１２６を具備している。拭き取り装置１２５で余剰液晶を拭き取った後、さらにエアブローで残った液晶を吹き飛ばすことで、完全に余剰液晶を除去することができる。
【００３９】
封止剤塗布部１３０は、液晶パネル３１０の液晶注入口にＵＶ硬化性樹脂を塗布するためのディスペンサー１３１を備えている。また、封止剤塗布部１３０は封止剤塗布後、封止剤を液晶パネル内の適切な位置まで引き込むために、圧力制御部１０６及び圧力調整弁１０７ａ〜ｄと接続して加圧治具２１０を減圧する。
【００４０】
ＵＶ照射部１４０は、封止剤を硬化するためのＵＶ照射装置１４１を備え、ＵＶ照射装置１４１は枚葉タイプ加圧治具に対応して複数に分岐した照射ヘッド１４３を備えている。各照射ヘッド１４３は液晶パネル３１０の各セルの液晶注入口部分を、液晶パネルの基板面に対して垂直方向からスポット的に照射するようになっている。
【００４１】
以上の構成により、本発明の圧着封止装置１００では回転可能なステージ１０１に加圧治具２１０を配置することにより一連の工程を連続して一つの装置で施すことができる。
【００４２】
次に、各装置を図面を用いて詳細に説明する。
【００４３】
＜加圧治具＞
図３は本発明の加圧治具２１０が液晶パネル３１０を挟持した状態の斜視図である。図４は加圧治具２１０内の圧力保持構造に関わる密閉用シール２１１の全体図である。図５は加圧治具２１０にエアーを供給して加圧している状態を示す縦断面図である。
【００４４】
本発明の加圧治具２１０は枚葉式の加圧治具であり、８〜１２枚の液晶セルからなる短冊状の液晶パネル３１０を挟持している。従来の、複数のパネルを間紙を介して積層し、挟持する加圧治具と比較して、本発明の加圧治具２１０は液晶パネル３１０を１枚ずつ挟持することができるので、液晶パネルに対する加圧も精度良く行うことができる。
【００４５】
加圧治具の内部には、図４に示すようにゴム製の密閉用シール（以下リップシールという）２１１が備えられている。リップシール２１１は、シールの枠部分が液晶パネルの基板面と当接して、基板面との間に空間（以下加圧領域という）２１２を形成している。また、リップシール２１１の中央には光源１２２ａからの光を通過させるための分光測定孔とエアー供給路との接続孔が設けられている。この加圧領域２１２にエアー供給路１０２を介してエアーが供給されることにより加圧治具内の圧力が上昇し、液晶パネル３１０を押圧することによりセル厚が調整される。このように本実施形態では、１対のリップシール２１１によりエアー漏れを防ぎ効率良く加圧治具に対して加圧することができる。
【００４６】
＜セル厚調整部＞
次に図６を用いてセル厚調整部の説明をする。図６はセル厚調整装置１２０の構成を示す図である。
【００４７】
セル厚調整装置１２０には、まず、液晶パネル３１０のセル厚を測定するために、分光光度計１２１がステージ外側に、測定するための透過光受光部１２２ｂがステージ内に配置されている。分光光度計１２１内には、透過光測定のための光源１２２ａと、反射光でセル厚を測定するための反射光光源１２４ａと、その反射光を受光する反射光受光部１２４ｂとが設けられている。また、ステージ外には分光光度計１２１で検出された値からセル厚を算出するセル厚検出部１２３が配置されている。該検出部１２３は圧力制御部１０６に接続しているので、圧力制御部１０６は検出部１２３で算出されたセル厚に基づいてフィードバック制御を行い、所望セル厚を得るまで加圧治具２１０を加圧する。具体的には、分光光度計１２１内に配置された光源１２２ａから光が射出され、液晶パネル３１０を通過して透過光受光部１２２ｂに到達する。この透過光の分光特性を測定して、液晶パネルの初期セル厚を求める。または、反射光光源１２４ａから射出した光が液晶パネル３１０の表面で反射して、その反射光を反射光受光部１２４ｂで受光し、界面反射光の干渉を利用して初期セル厚を求める。こうして求められた初期セル厚値はセル厚検出部１２３に伝達され、予め設定されたセル厚値に調整するために必要な加圧量を算出し、圧力制御部１０６に伝達される。圧力制御部１０６では、この加圧量に基づいて加圧治具２１０の圧力制御を行う。
【００４８】
このような構成により、液晶パネル１枚毎に適切な圧力で加圧することができるので、セル厚調整の精度が向上する。
【００４９】
また、セル厚調整装置１２０は上述のように液晶パネル３１０を適切なセル厚に調整した後、押圧されたことで排出された余剰液晶を拭き取る拭き取り装置１２５を有している。この拭き取り装置１２５は、加圧治具の周回軌道上に、加圧治具が斜めに交差するように配置されている。拭き取り装置１２５は、例えば２つのローラ間に幅約１５ｍｍのベンコットンを巻き取るように掛け渡し、ローラを一定方向に回転させながら、液晶パネル上部の拭き取り面に押し当てて余剰液晶を除去している。この構成により、常に清浄な拭き取り面で余剰液晶を拭き取ることが可能になる。
【００５０】
さらに、拭き取り装置１２５に隣接して、封止剤塗布部端部にエアブロー装置１２６が配置されている。これにより、拭き取り装置１２５でも余剰液晶が除去しきれなかった場合でも、残存液晶をエアーで吹き飛ばして完全に除去することができる。
【００５１】
＜封止剤塗布部＞
図７に基づいて封止剤塗布装置１３０について説明する。図７は本発明の封止剤塗布装置１３０の構成を示す図である。
【００５２】
本装置１３０は液晶パネル３１０の液晶注入口に封止剤を塗布するためのディスペンサー１３１を有する。ディスペンサー１３１は後方で駆動部１３２と接続し、左右方向に移動可能になっている。また、ディスペンサー１３１内にはディスペンサーが４基備えられ、加圧治具２１０が移動してくると液晶注入口付近までディスペンサーが順次加圧治具２１０上を移動して封止剤を塗布する。この構成により、液晶パネルのセル一つ一つに的確に封止剤を塗布することができる。
【００５３】
また、ディスペンサー内部では、封止剤はおよそ２３．５℃程度で温調され、封止剤を常に一定の粘性及び品質で維持できるようになっている。しかし、例えば３０分以上装置が休止した場合には、封止剤が変質している恐れもあるので、封止剤を液晶パネルに塗布する前に、一旦ディスペンサーの先端にある封止剤を捨て出しする捨て出し部１３３を有している。これにより常時品質が安定した封止剤を確実に液晶注入口に塗布することができる。
【００５４】
また、封止剤塗布装置１３０は、封止剤を液晶パネルの封止部分に引き込むため、封止剤塗布後に加圧治具を減圧する。まず、リークバルブ１０７が、圧力制御部１０６の指示に従い、バルブを開放する。こうすることにより加圧治具２１０に接続しているエアー供給路のエアーをリークして、所定値まで加圧治具内の圧力を減圧する。このように加圧治具２１０内を減圧することで、液晶パネルにかけられていた圧力が減少して液晶パネルが緩み、所望の部位まで封止剤を引き込むことができる。
【００５５】
＜ＵＶ照射部＞
次に図８及び図９を用いてＵＶ照射部１４０について説明する。図８は本発明のＵＶ照射部１４０の構成を示す構成図であり、図９は照射部分を示す部分平面図である。図１０は液晶パネルの本ＵＶ照射部により照射される部分を示す図である。
【００５６】
ＵＶ照射部１４０は図８に示すようにＵＶ光源１４１と、光源１４１から延在している光ファイバー１４２と、さらに光ファイバー１４２が分岐してその先端に備えられている複数の照射ヘッド１４３を有している。この構成によれば、従来のバッチ式でＵＶ照射をして硬化させる処理に比較して至近距離で、枚葉式で照射できるので、照射精度が向上し、短時間の照射で済む。また、図９に示すように、本発明のＵＶ照射装置は液晶パネルの基板面に垂直な方向から照射し、図１０に示す照射部分１４５という狭い範囲にのみ照射できるので、従来の、基板断面側から液晶注入口に向かって照射する方法と比べて、液晶パネル内部までＵＶが浸透することがないので、液晶パネル全体の劣化を防ぐことができる。
【００５７】
＜圧着封止方法＞
以上、上述した構成の装置による本発明の圧着封止方法を、図１１を用いて説明する。図１１は本発明の圧着封止方法を示す工程図である。
【００５８】
まず、除給材部１１０で、液晶注入が終わった液晶パネル３１０をステージ１０１上に設置してある加圧治具２１０に挿入して（ステップ１）。この時点ではまだ加圧治具は加圧されていない。
【００５９】
次に、ステージ１０１を回転させて、上記のように液晶パネル３１０がセットされた加圧治具２１０を除給材部１１０からセル厚調整部１２０まで移動する（ステップ２）。なお、このとき、セル厚調整部１２０で既に調整の終えた加圧治具２１０は封止剤塗布部１３０まで、封止剤塗布部１３０で封止剤を塗布した加圧治具２１０はＵＶ照射部１４０まで、ＵＶ照射部１４０でＵＶ照射を追えた加圧治具２１０は除給材部１１０へ、それぞれ移動する。
【００６０】
セル厚調整処理では、まず光源１２１ａから光を射出し、光が加圧治具２１０中の液晶パネル３１０を通過し、その透過光もしくは反射光を分光光度計１２１で計測する（ステップ３−１）。次にその計測値がセル厚検出部１２２に伝達され、初期セル厚を算出し、そのセル厚から所望セル厚にするために必要な圧力を算出する（ステップ３−２）。所望圧力値が圧力制御部１０６に伝達され、圧力調整弁１０７を介してエアー供給路にエアーを供給して、所望セル厚になるまで加圧される（ステップ３−３）。加圧が終わると、液晶拭き取り装置１２５を液晶パネル３１０の上面に押し当てることにより、排出された余剰液晶を拭き取る再び回転移動が行われる（ステップ４）。
【００６１】
その後ステージ１０１が回転し、エアブロー装置１２６によりエアーを拭きつけて完全に余剰液晶を除去する（ステップ５）、そして封止剤塗布部１３０と加圧治具２１０が対面する位置まで回転移動した後、ディスペンサー１３１が液晶パネル３１０上まで移動して、封止剤を塗布する（ステップ６−１）。ディスペンサー１３１は４つのディスペンサーで構成されているので、１枚の液晶パネルに対して数回に分けて、横方向に移動しながら封止剤を塗布する。
【００６２】
次いで、圧力制御部１０６を介して圧力調整弁１０７を開放し、加圧治具内のエアーをリークして減圧して、塗布した封止剤を所定位置まで引き込む（ステップ６−２）。
【００６３】
減圧値は予め圧力制御部１０６で設定されているので、所定の圧力になるまで一度にエアーのリーク減圧を行う。
【００６４】
再びステージ１０１が回転し、ＵＶ照射部１４０と対面する位置まで加圧治具２１０を移動させる（ステップ７）。
【００６５】
加圧治具１１０がＵＶ照射部１４０に移動した後、ＵＶ光源１４１から、光ファイバ１４２及び射出ヘッド１４３を介してＵＶ光を液晶パネルの封止部に向かって照射して封止剤を硬化する（ステップ８）。
【００６６】
射出ヘッド１４３が液晶パネル３１０至近まで前進し、照射部１４５に向かってＵＶを照射する。このＵＶ照射部１４０には一本の光ファイバーから６個の射出ヘッド１４３分岐しているので、一度照射した後、横方向に移動して、もう一度液晶パネル３１０に対して照射を行う。
そして、再度ステージ１０１が回転し（ステップ９）、加圧治具２１０は除給材部１１０に戻ってくるので、加圧治具より液晶パネル３１０を取り出す（ステップ１０）。
【００６７】
このように本実施形態のシステムでは、回転可能なステージ１０１のほぼ中心にエアー供給路１０２を配置し、エアー供給路１０２からステージ外周方向に向かって４方向に分岐したエアー供給路１０２ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、１０１ｄにより、ステージ１０１上に載置された加圧治具２１０にエアーを供給して治具内の加圧減圧を行うと共に、ステージ１０１が回転することにより、加圧治具２１０に挟持された液晶パネル３１０のセル厚を均一に維持しながら各処理装置まで移動し、順次処理を施しているので、液晶パネルのセル厚を均一に保った状態での処理を簡単な機構で効率よく実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の圧着封止装置の全体構成を示す平面図である。
【図２】図１に示す圧着封止装置の断面図である。
【図３】本発明の圧着封止装置に適用される枚葉式の加圧治具の斜視図である。
【図４】本発明の加圧治具に用いられる密閉用シールの平面図である。
【図５】図３に示す加圧治具の断面図である。
【図６】本発明の圧着封止装置を構成するセル厚調整部の平面図である。
【図７】本発明の圧着封止装置を構成する封止剤塗布部の正面図である。
【図８】本発明の圧着封止装置を構成するＵＶ照射部の模式図である。
【図９】図８に示すＵＶ照射部における液晶パネルに対するＵＶ照射方法を示す部分平面図である。
【図１０】同じく図８に示すＵＶ照射部で照射される液晶パネルの照射対象部分を示す図である。
【図１１】本発明の圧着封止方法を説明するための工程図である。
【符号の説明】
１００…圧着封止装置
１０１…回転ステージ
１０２…エアー供給路
１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、１０２ｄ…エアー分岐路
１０６…圧力制御部
１０７ａ、ｂ、ｃ、ｄ…圧力調整弁
１０９…ステージ駆動手段
１１０…除給材部
１２０…セル厚調整部
１２１…分光光度計
１２２ａ…透過光光源
１２２ｂ…透過光受光部
１２３…セル厚検出部
１２４ａ…反射光光源
１２４ｂ…反射光受光部
１３０…封止剤塗布部
１４０…ＵＶ照射部
２１０…加圧治具
２１１…密閉用シール
２１２…加圧領域
３１０…液晶パネル

Claims

回転可能なステージと、
前記ステージ上の外周に沿って複数配置され、液晶パネルを保持する加圧治具と、
前記ステージのほぼ回転中心から前記各加圧治具に接続されるエアー供給路とを具備することを特徴とする液晶パネルの製造装置。
前記ステージの外側に配置され、前記加圧治具により加圧された液晶パネルのセル厚を、前記エアー供給路を介して供給されるエアーを用いて調整する第１の処理部と、
前記ステージの外側で前記第１の処理部とは異なる位置に配置され、前記セル厚が調整された液晶パネルに対して所定の処理を施す第２の処理部と
を具備することを特徴とする請求項１に記載の液晶パネルの製造装置。
前記第２の処理部が、前記セル厚が調整された液晶パネルの液晶注入口に封止剤を塗布するものであり、
前記ステージの外側で前記第１及び第２の処理部とは異なる位置に配置され、前記液晶注入口に塗布された封止剤を硬化する処理を施す第３の処理部を更に具備することを特徴とする請求項１または２に記載の液晶装置の製造装置。
前記加圧治具は、液晶パネルの基板面に対向する面において枠状に設けられ、前記液晶パネルの基板面に当接して空間を形成し、該空間に前記エアー供給路を介してエアーを供給することにより前記液晶パネルに圧力を加えてセル厚調整する密閉用シールをさらに具備することを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液晶パネル製造装置。
前記第１の処理部は、前記液晶パネルの基板面に対して一方の側に設けられた光源を更に具備し、
前記液晶パネルの基板面に対して他方の側に設けられ、前記光源から射出して前記液晶パネルを通過した透過光もしくは前記液晶パネルの表面で反射した反射光を検出する光検出部と、
前記光検出部による検出に基づいてセル厚を検出するセル厚検出部と、
検出されたセル厚と目標値とを比較して、比較結果に応じた圧力を前記加圧治具にかける圧力制御部と
を具備することを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液晶パネル製造装置。
前記第２の処理部は、前記封止剤が液晶注入口に塗布された後、前記加圧治具内の圧力を所定値まで減圧することにより封止剤を注入口内に引き込むための減圧部を有することを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の液晶パネルの製造装置。
前記圧力制御部は、前記加圧治具に対してほぼ３０ｋＰａ程度の圧力を加圧し、
前記減圧部は前記封止材を塗布後、前記加圧治具に対してほぼ１０〜２０ｋＰａ程度減圧する
ことを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の液晶パネルの製造装置。
（ａ）ステージ上に加圧治具を載置して液晶パネルを装着する工程と、
（ｂ）前記ステージをステージ駆動部により所定角度回転させて、第１の処理部の所定位置まで加圧治具を移動させる工程と、
（ｃ）前記第１の処理部において、ステージのほぼ回転中心から前記加圧治具に接続されるエアー供給路からエアーを供給することにより加圧治具内に圧力をかけ、液晶パネルのセル厚を調整する工程と、
（ｄ）前記ステージを前記ステージ駆動部により所定角度回転させて、第２の処理部に移動させる工程と、
（ｅ）前記第２の処理部において所定の処理を行う工程と、
を具備することを特徴とする液晶パネルの製造方法。
前記工程（ｅ）において、前記第２の処理部は、前記液晶パネルの開口部に封止剤を塗布するものであり、
さらに、（ｆ）前記エアー供給路を介して加圧治具内の圧力を減圧する工程と、
（ｇ）前記ステージを前記ステージ駆動部により所定角度回転させて、第３の処理部の所定位置まで加圧治具を移動させる工程と、
（ｈ）前記第３の処理部において、前記液晶パネルの基板に対してほぼ垂直方向から紫外線を照射して前記封止剤を硬化させる工程と、
を具備することを特徴とする請求項８に記載の液晶パネルの製造方法。
前記工程（ａ）、（ｃ）、（ｅ）及び（ｈ）は、同時に行われることを特徴とする請求項８または９に記載の液晶パネルの製造方法。
回転可能なステージと、
前記ステージ上の外周に沿って複数配置され、液晶パネルを保持する加圧治具と、
前記ステージのほぼ回転中心から各加圧治具に分岐するエアー供給路と
を具備することを特徴とする圧着封止装置。
液晶パネルの製造装置前記ステージの外側に配置され、前記加圧治具により保持された液晶パネルのセル厚を、前記エアー供給路を介して供給されるエアーを用いて調整するセル厚調整部と、
前記ステージの外側で前記セル厚調整部と隣接する位置に配置され、前記セル厚が調整された液晶パネルに対して開口部に封止剤を塗布する封止剤塗布部と
を具備することを特徴とする請求項１１に記載の圧着封止装置。
前記ステージの外側で前記封止剤塗布部と隣接する位置に配置され、前記液晶パネルの開口部に塗布された封止剤を硬化する処理を施すＵＶ照射部を更に具備することを特徴とする請求項１１または１２に記載の圧着封止装置。
前記加圧治具は、液晶パネルの基板面に対向する面において枠状に設けられ、前記液晶パネルの基板面に当接して空間を形成し、該空間に前記エアー供給路を介してエアーを供給することにより前記液晶パネルに圧力を加えてセル厚調整する密閉用シールをさらに具備することを特徴とする請求項１１
ないし１３いずれかに記載の圧着封止装置。
（ａ）ステージ上に加圧治具を載置して液晶パネルを装着する工程と、
（ｂ）前記ステージをステージ駆動部により所定角度回転させて、セル厚調整部に対面する位置まで加圧治具を移動させる工程と、
（ｃ）前記セル厚調整部において、ステージのほぼ回転中心から前記加圧治具に接続されるエアー供給路からエアーを供給することにより加圧治具内に圧力をかけ、前記液晶パネルのセル厚を調整する工程と、
（ｄ）前記ステージを前記ステージ駆動部により所定角度回転させて、封止剤塗布部の所定位置まで加圧治具を移動させる工程と、
（ｅ）前記封止剤塗布部において、前記液晶パネルの開口部に封止剤を塗布する工程と、
（ｆ）前記エアー供給路を介して加圧治具内の圧力を減圧する工程と、
（ｇ）前記ステージを前記ステージ駆動部により所定角度回転させて、ＵＶ照射部の所定位置まで加圧治具を移動させる工程と、
（ｈ）前記ＵＶ照射部において、紫外線を照射して前記封止剤を硬化させる工程と、
を具備することを特徴とする圧着封止方法。