KR20120041262A - 액정 디스플레이 제조 장치 및 액정 디스플레이 제조 방법 - Google Patents

액정 디스플레이 제조 장치 및 액정 디스플레이 제조 방법 Download PDF

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KR20120041262A
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Abstract

시일제를 확실하게 경화시킴으로써 표시 문제의 발생이 저감되고, 게다가 기판이 주위(특히, 네 귀퉁이)로부터 쉽게 박리되어 버리는 것을 방지하여, 제조 공정 중에도 기판이 잘 박리되지 않음으로써 수율이 상승하고 장치의 신뢰성이 향상된다. 쌍을 이루는 상하 기판을 접합하여 액정 디스플레이를 제조하는 액정 디스플레이 제조 장치로서, 쌍을 이루는 상하 기판 중 적어도 한쪽이 롤 형태의 플라스틱 필름이고, 한쪽 기판의 접합면에 시일제 묘화를 제공하는 시일제 묘화부(2)와, 시일제 묘화에 대응하여 기판의 접합면에 액정을 적하하는 액정 적하부(3)와, 기판의 접합면에 다른쪽 기판을 접합하는 기판 접합부(4)와, 접합된 상하 기판의 시일제 묘화의 시일제를 경화시키는 시일제 경화부(5)를 제조 처리순으로 구비한다.

Description

액정 디스플레이 제조 장치 및 액정 디스플레이 제조 방법{LIQUID CRYSTAL DISPLAY MANUFACTURING APPARATUS AND LIQUID CRYSTAL DISPLAY MANUFACTURING METHOD}
본 발명은 쌍을 이루는 상하 기판을 접합하여 액정 디스플레이를 제조하는 액정 디스플레이 제조 장치 및 액정 디스플레이 제조 방법에 관한 것이다.
종래로부터 액정 디스플레이는 박형 경량, 저소비 전력이라는 특징을 가져 널리 보급되어 있으며, 이 액정 디스플레이에서는 액정을 2장 1세트의 기판 사이에 봉입하기 위해 시일제(劑)라 불리는 접착제를 사용하고 있다.
이러한 액정 디스플레이의 기판에는 일반적으로는 유리가 사용되는데, 곡면 표시를 가능하게 하거나 보다 더 박형 경량화된 액정 디스플레이를 제조하기 위해, 기판에 플라스틱 필름을 사용한 것도 제안된바 있다(특허문헌 1 참조).
일본 특허 공개 2004-272224호 공보
그런데, 액정 디스플레이에서는 액정을 2장 1세트의 기판 사이에 봉입하기 위해 시일제를 사용하고 있는데, 이 시일제가 경화되지 않은 상태이면 시일제의 성분이 액정에 용해되는 현상이 발생하거나, 시일제의 일부가 파괴되고, 이 파괴된 부분으로부터 액정 누설이 발생한다. 그 결과, 액정의 셀 갭이 작아지거나, 외부로부터 수분 등이 혼입되는 등 전기 특성이 저하하고, 액정의 표시 문제가 발생할 수가 있다.
또한, 시일제가 경화되지 않은 상태이면 시일제의 접착 강도가 약해져, 접합된 상하 기판이 쉽게 벗겨지게 된다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 시일제를 확실하게 경화시킴으로써 표시 문제의 발생이 저감되고, 게다가 기판이 주위(특히, 네 귀퉁이)로부터 쉽게 박리되는 것을 방지하여, 제조 공정 중에도 기판이 잘 박리되지 않음으로써 수율이 상승하고 장치의 신뢰성이 향상되는 액정 디스플레이 제조 장치 및 액정 디스플레이 제조 방법을 제공하는 것이다.
상기 과제를 해결하고 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 이하와 같이 구성했다. 청구항 1에 기재된 발명은 쌍을 이루는 상하 기판을 접합하여 액정 디스플레이를 제조하는 액정 디스플레이 제조 장치로서,
상기 쌍을 이루는 상하 기판 중 적어도 한쪽이 롤 형태의 플라스틱 필름이고,
그 한쪽 기판의 접합면에 시일제(劑) 묘화를 제공하는 시일제 묘화부와,
상기 시일제 묘화에 대응하여 상기 기판의 접합면에 액정을 적하하는 액정 적하부와,
상기 기판의 접합면에 다른쪽 기판을 접합하는 기판 접합부와,
접합된 상하 기판의 상기 시일제 묘화의 시일제를 경화시키는 시일제 경화부를 제조 처리순으로 구비하는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 제조 장치이다.
청구항 2에 기재된 발명은 쌍을 이루는 상하 기판을 접합하여 액정 디스플레이를 제조하는 액정 디스플레이 제조 장치로서,
그 한쪽 기판의 접합면에 시일제 묘화를 제공하는 시일제 묘화부와,
상기 시일제 묘화에 대응하여 상기 기판의 접합면에 액정을 적하하는 액정 적하부와,
상기 기판의 접합면에 다른쪽 기판을 접합하는 기판 접합부를 구비하며,
상기 기판 접합부에, 접합된 상하 기판의 상기 시일제 묘화의 시일제를 경화시키는 시일제 경화부를 구비하는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 제조 장치이다.
청구항 3에 기재된 발명은, 상기 기판 접합부로부터 상기 시일제 경화부까지의 제조 처리 대기 시간이 2분 이하인 것을 특징으로 하는 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 액정 디스플레이 제조 장치이다.
청구항 4에 기재된 발명에 있어서, 상기 시일제 경화부는, 상기 시일제가 자외선 경화 수지이고, 이 시일제에 자외선을 조사하는 자외선 조사 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 액정 디스플레이 제조 장치이다.
청구항 5에 기재된 발명에 있어서, 상기 시일제 경화부는, 상기 시일제가 열경화 수지이고, 이 시일제를 가열하는 가열 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 액정 디스플레이 제조 장치.
청구항 6에 기재된 발명에 있어서, 상기 시일제 경화부는 상기 시일제를 냉각하는 냉각 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 액정 디스플레이 제조 장치이다.
청구항 7에 기재된 발명은, 쌍을 이루는 상하 기판을 접합하여 액정 디스플레이를 제조하는 액정 디스플레이 제조 방법으로서,
상기 쌍을 이루는 상하 기판 중 적어도 한쪽이 롤 형태의 플라스틱 필름이고,
그 한쪽 기판의 접합면에 시일제 묘화를 제공하는 시일제 묘화 공정과,
상기 시일제 묘화에 대응하여 상기 기판의 접합면에 액정을 적하하는 액정 적하 공정과,
상기 기판의 접합면에 다른쪽 기판을 접합하는 기판 접합 공정과,
접합된 상하 기판의 상기 시일제 묘화의 시일제를 경화시키는 시일제 경화 공정을 순서대로 수행하는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 제조 방법이다.
청구항 8에 기재된 발명은 쌍을 이루는 상하 기판을 접합하여 액정 디스플레이를 제조하는 액정 디스플레이 제조 방법으로서,
그 한쪽 기판의 접합면에 시일제 묘화를 제공하는 시일제 묘화 공정과,
상기 시일제 묘화에 대응하여 상기 기판의 접합면에 액정을 적하하는 액정 적하 공정과,
상기 기판의 접합면에 다른쪽 기판을 접합하는 기판 접합 공정과,
접합된 상하 기판의 상기 시일제 묘화의 시일제를 경화시키는 시일제 경화 공정을 순서대로 수행하고,
상기 기판 접합 공정에서 상기 시일제 경화 공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 제조 방법이다.
청구항 9에 기재된 발명은, 상기 기판 접합 공정의 접합 후부터 상기 시일제 경화 공정의 경화 개시까지의 제조 처리 대기 시간이 2분 이하인 것을 특징으로 하는 청구항 7 또는 청구항 8에 기재된 액정 디스플레이 제조 방법이다.
청구항 10에 기재된 발명에 있어서, 상기 시일제 경화 공정에서는, 상기 시일제가 자외선 경화 수지이고, 이 시일제에 자외선을 조사하여 경화시키는 것을 특징으로 하는 청구항 7 내지 청구항 9 중 어느 한 항에 기재된 액정 디스플레이 제조 방법이다.
청구항 11에 기재된 발명에 있어서, 상기 시일제 경화부는, 상기 시일제가 열경화 수지이고, 이 시일제를 가열하여 경화시키는 것을 특징으로 하는 청구항 7 내지 청구항 9 중 어느 한 항에 기재된 액정 디스플레이 제조 방법이다.
청구항 12에 기재된 발명에 있어서, 상기 시일제 경화 공정에서는 상기 시일제를 냉각하여 경화시키는 것을 특징으로 하는 청구항 7 내지 청구항 9 중 어느 한 항에 기재된 액정 디스플레이 제조 방법이다.
청구항 13에 기재된 발명에 있어서, 상기 시일제 경화 공정에서는 시일제를 경화시킬 때의 상기 상하 기판의 표면 온도가 30℃ 이하인 것을 특징으로 하는 청구항 12에 기재된 액정 디스플레이 제조 방법이다.
상기 구성에 의해 본 발명은 이하와 같은 효과를 갖는다.
청구항 1에 기재된 발명에서는, 시일제 묘화부와, 액정 적하부와, 기판 접합부와, 시일제 경화부를 제조 처리순으로 구비하며, 시일제를 확실하게 경화시킴으로써 전기 특성이 저하함에 따른 표시 문제의 발생이 저감되고, 게다가 기판이 주위(특히, 네 귀퉁이)로부터 쉽게 박리되어 버리는 것을 방지하여, 제조 공정 중에도 기판이 잘 박리되지 않음으로써 수율이 상승하고 장치의 신뢰성이 향상된다.
청구항 2에 기재된 발명에서는, 시일제 묘화부와, 액정 적하부와, 기판 접합부를 구비하며, 이 기판 접합부에, 접합된 상하 기판의 시일제 묘화의 시일제를 경화시키는 시일제 경화부를 구비하는 컴팩트한 구조로서, 시일제를 확실하게 경화시킴으로써 전기 특성이 저하함에 따른 표시 문제의 발생이 저감되고, 게다가 기판의 주위(특히, 네 귀퉁이)로부터 쉽게 박리되어 버리는 것을 방지하여, 제조 공정 중에도 기판이 잘 박리되지 않음으로써 수율이 상승하고 장치의 신뢰성이 향상된다.
청구항 3에 기재된 발명에서는, 기판 접합부로부터 시일제 경화부까지의 제조 처리 대기 시간이 2분 이하로서, 시일제를 단시간에 경화시킬 수 있다.
청구항 4에 기재된 발명에서는, 시일제가 자외선 경화 수지로서, 이 시일제에 자외선을 조사하여, 시일제를 간단하고 확실하게 경화시킬 수 있다.
청구항 5에 기재된 발명에서는, 시일제가 열경화 수지로서, 이 시일제를 가열하여 시일제를 간단하고 확실하게 경화시킬 수 있다.
청구항 6에 기재된 발명에서는, 냉각 수단에 의해 시일제 경화 시의 복사열에 의한 액정의 유동성 업을 억제하기 때문에, 시일제를 간단하고 확실하게 경화시킬 수 있다.
청구항 7에 기재된 발명에서는, 시일제 묘화 공정과, 액정 적하 공정과, 기판 접합 공정과, 시일제 경화 공정을 순서대로 수행하여 시일제를 확실하게 경화시킴으로써 전기 특성이 저하함에 따른 표시 문제의 발생이 저감되고, 게다가 기판이 주위(특히, 네 귀퉁이)로부터 쉽게 박리되어 버리는 것을 방지하여, 제조 공정 중에도 기판이 잘 박리되지 않음으로써 수율이 상승하고 장치의 신뢰성이 향상된다.
청구항 8에 기재된 발명에서는, 시일제 묘화 공정과, 액정 적하 공정과, 기판 접합 공정과, 시일제 경화 공정을 순서대로 수행하고, 기판 접합 공정에서 시일제 경화 공정을 수행하는 컴팩트한 구조로서, 시일제를 확실하게 경화시킴으로써 전기 특성이 저하함에 따른 표시 문제의 발생이 저감되고, 게다가 기판이 주위(특히, 네 귀퉁이)로부터 쉽게 박리되는 것을 방지하여, 제조 공정 중에도 기판이 잘 박리되지 않음으로써 수율이 상승하고 장치의 신뢰성이 향상된다.
청구항 9에 기재된 발명에서는, 기판 접합 공정의 접합 후로부터 시일제 경화 공정의 경화 개시까지의 제조 처리 대기 시간이 2분 이하로서, 시일제를 단시간에 경화시킬 수 있다.
청구항 10에 기재된 발명에서는, 시일제가 자외선 경화 수지로서, 이 시일제에 자외선을 조사하여 시일제를 간단하고 확실하게 경화시킬 수 있다.
청구항 11에 기재된 발명에서는, 시일제가 열경화 수지로서, 이 시일제를 가열하여 시일제를 간단하고 확실하게 경화시킬 수 있다.
청구항 12에 기재된 발명에서는, 냉각 수단을 사용함으로써 시일제 경화 시의 복사열에 의한 액정의 유동성 업을 억제하기 때문에 시일제를 간단하고 확실하게 경화시킬 수 있다.
청구항 13에 기재된 발명에서는, 시일제 경화 공정에서 시일제를 경화시킬 때의 상하 기판의 표면 온도가 30℃ 이하로서, 액정의 유동성 업을 억제하기 때문에 시일제를 간단하고 확실하게 경화시킬 수 있다.
도 1은 제1 실시형태의 액정 디스플레이 제조 장치의 개략 구성도이다.
도 2는 시일제 묘화를 도시한 도면이다.
도 3은 시일제가 경화되지 않은 상태를 도시한 도면이다.
도 4는 제2 실시형태의 액정 디스플레이 제조 장치의 개략 구성도이다.
도 5는 제3 실시형태의 액정 디스플레이 제조 장치의 개략 구성도이다.
도 6은 제4 실시형태의 액정 디스플레이 제조 장치의 개략 구성도이다.
도 7은 제1 시일제 경화부의 개략 구성도이다.
도 8은 제2 시일제 경화부의 개략 구성도이다.
도 9는 제3 시일제 경화부의 개략 구성도이다.
이하, 본 발명의 액정 디스플레이 제조 장치 및 액정 디스플레이 제조 방법의 실시형태를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 또한, 본 발명의 실시형태는 발명의 가장 바람직한 형태를 나타내는 것으로서, 본 발명은 이에 한정되지 않는다.
[제1 실시형태]
본 실시형태의 액정 디스플레이 제조 장치 및 액정 디스플레이 제조 방법을 도 1을 참조하여 설명한다. 본 실시형태의 액정 디스플레이 제조 장치는 권출부(卷出部)(1)와, 시일제 묘화부(2)와, 액정 적하부(3)와, 기판 접합부(4)와, 시일제 경화부(5)와, 절단부(6)를 제조 처리순으로 구비한다.
권출부(1)에서는 플라스틱 필름의 웹(90)이 롤 형태로 감겨져 있으며, 가공 시에 정해진 속도로 풀려나와 반송 기구(10, 11)에 의해 반송된다. 이 웹(90)은 플라스틱 기판으로서, 도 2에 도시한 바와 같이, 표면에 위치 맞춤을 수행하기 위한 패턴(95)을 갖는다.
반송 기구(10, 11)는 반송로(20)를 따라 배치된 한 쌍의 반송 롤러(10a, 11a)를 가지며, 권출부(1)로부터 풀려나온 웹(90)을 협지시켜 반송하며, 웹(90)을 반송 시에 평면 상태로 지지한다.
시일제 묘화부(2)에서는, 도 2의 (a)에 도시한 바와 같이, 시일제(50)에 의해 웹(90)의 접합면에 시일제 묘화를 제공한다. 시일제 묘화는 복수 개의 표시 장치의 전기에 의해 작동하는 부위를, 각각 그 외부 전체를 에워싸도록 부여하는데, 복수 개의 표시 장치의 전기에 의해 작동하는 부위의 외부 전체를 에워싸도록 부여할 수도 있다. 시일제 묘화는 각각 외부 전체를 에워싸는 것에 한정되지 않으며, 외부의 일부를 에워싸도록 부여할 수도 있다. 본 실시형태에서는 디스펜서를 이용하여 시린지에 넣은 액상의 시일제를 디스펜서의 개구부로부터 토출시켜 도포해서 제공한다. 이 디스펜서는 개구부 열의 폭 방향, 각 위치의 개구부의 토출량의 불균일이 작은 것을 이용하여, 시린지에 넣은 액상의 시일제를 압출하면서 도포함으로써 시일제를 간단하고 확실하게 부여할 수 있다.
시일제 묘화를 형성하는 시일제(50)로는, 자외선 경화 수지, 열경화 수지, 접착제 등에 의해 구성되며, 웹(90)에 도포되고, 웹(90)의 갭 및 면 내의 어긋남을 방지하고 액정의 누설을 방지한다.
액정 적하부(3)에서는, 도 2의 (b)에 도시한 바와 같이, 시일제(50)에 대응하여 웹(90)에 액정(51)을 적하한다. 접합에 사용되는 시일제를 웹(90)에 제공하고, 이 시일제로 에워싸여 시일된 부분의 웹(90)에 액정(51)을 적하할 수 있다. 본 실시형태에서는 액정(51)을 제공함으로써 액정 디스플레이를 제조한다.
기판 접합부(4)는 진공 챔버(40)와, 평면 스테이지(41)와, 위치 맞춤 기구(42)와, 접합 기구(43)를 구비한다. 진공 챔버(40)는 하부 챔버부(40a)와 상부 챔버부(40b)를 가지며, 반송되는 웹(90)을 협지시켜 닫는 구성이다. 이 하부 챔버부(40a)와 상부 챔버부(40b)는 각각이 웹(90)을 협지하는 면(40a1, 40b1)을 가지며, 하부 챔버부(40a)는 반송로(20)의 반송면(L)에 대해 하방 위치에 배치되고, 상부 챔버부(40b)는 반송로(20)의 반송면(L)에 대해 상방 위치에 배치되어 있다. 하부 챔버부(40a)와 상부 챔버부(40b)는 접합 시에 협지하는 면(40a1, 40b1)을 서로 맞닿게 하여 닫아 내부를 진공 상태로 만들고, 웹(90)을 반송시킬 때에는 협지하는 면(40a1, 40b1)을 이간시켜 반송한다.
진공 챔버(40)의 내부에 평면 스테이지(41)와, 위치 맞춤 기구(42)과, 접합 기구(43)가 배치되어 있다. 평면 스테이지(41)는 평면형의 면(41a)에 웹(90)을 흡착 고정하여 웹(90)을 평면 상태로 유지한다. 웹(90)을 흡착 고정하는 구성으로는, 평면형의 면(41a)에 흡착 구멍(41b)을 다수 개 형성하고, 이 흡착 구멍(41b)에 연통하는 감압 장치(41c)를 구동하여 평면형의 면(41a)에 웹(90)을 흡착 고정한다.
위치 맞춤 기구(42)는, 예컨대 CCD 카메라(42a)를 가지며, 웹(90)에 형성되고 위치 맞춤을 수행하기 위한 패턴(95)을 검출하고, 이 패턴(95)의 검출 정보를 제어 장치(60)로 보낸다. 제어 장치(60)는 패턴(95)의 검출 정보에 기초하여 반송 기구 구동 장치(61), 접합 기구 구동 장치(62), 진공 챔버 구동 장치(63)를 제어한다.
반송 기구 구동 장치(61)는 모터, 센서 등으로 구성되며, 권출부(1) 및 반송 기구(10, 11)를 구동하고, 정해진 타이밍, 정해진 속도로 웹(90)을 정해진 양만큼 반송한다. 접합 구동 장치(62)는 접합 기구(43)를 승하강시키는 승하강 장치, 승하강 등의 위치를 검출하는 센서 등으로 구성되며, 접합 기구(43)를 구동하고, 접합 기구(43)는 정전 척(43a)에 의해 낱장 시트(91)를 흡착하여 세팅한다. 진공 챔버 구동 장치(63)는 진공 챔버(40)를 승하강시키는 승하강 장치, 승하강 등의 위치를 검출하는 센서, 진공 챔버(40) 안을 진공 상태로 하는 진공 펌프 등으로 구성된다.
액정(51)을 적하한 부분이 진공 챔버(40)로 진행한 시점에서 웹(90)의 반송을 일시 정지하고, 반송면(L)까지 평면 스테이지(41)를 상승시키고, 정전 척(43a)에 의해 낱장 시트(91)를 액정(51)이 적하된 웹(90)의 부분에 위치 결정하고, 웹(90)에 대해 평면 스테이지(41) 상에서 위치 맞춤한 후에, 진공 챔버 구동 장치(63)의 진공 펌프를 구동하여 진공 챔버(40)의 내부를 진공 상태로 만들고, 평면 스테이지(41) 상에서 웹(90)과 다른 낱장 시트(91)의 접합을 수행한다.
기판 접합부(4)의 후단에는 시일제 경화부(5)와 절단부(6)가 순서대로 배치되어 있다. 시일제 경화 기구(5)는 위치 맞춤 및 접합 후에 시일제를 경화시킨다. 접합에 사용하는 시일제를 웹(90)에 제공하고, 위치 맞춤 및 접합 후에 시일제를 경화시킴으로써 정밀한 접합이 가능하다.
본 실시형태에 있어서, 시일제 경화부(5)는 시일제(50)가 자외선 경화 수지로서, 웹(90)의 시일제(50)에 자외선을 조사하는 자외선 조사 수단(5a)을 갖는다. 자외선 조사 수단(5a)이 자외선 조사하여 자외선 경화 수지를 경화시키고, 웹(90)에 열을 공급하여 변형시키지 않고 간단하고 확실하게 경화시킬 수 있다.
절단부(6)는 시일제를 경화시킨 후에 웹(90)을 절단한다. 이와 같이 시일제를 경화시킨 후에 웹(90)을 절단함으로써 절단에 의해 위치 맞춤 및 접합이 어긋나지 않고 정밀한 접합이 가능하다. 절단부(6)는 절단 장치(다이싱 소)를 사용하며, 이 절단에 따라, 어느 한쪽 또는 양쪽에 회로가 형성되어 있는 웹(90)과 낱장 시트(91)의 접합에 의해 액정 디스플레이를 제조한다.
도 3의 (a)에 도시한 바와 같이, 시일제(50)의 경화가 불충분하면, 시일제(50)가 경화되지 않은 상태로 액정(51)과 접하고, 시일제(50)의 성분이 액정(51)에 용해되는 부분(50a)이 생기고, 이 액정(51)에 용해되는 부분(50a)에 의해 액정(51)의 전압 유지율이 저하한다. 또한, 도 3의 (b)에 도시한 바와 같이, 시일제(50)의 경화가 불충분하면, 시일제(50)의 일부(50b)가 파괴되고, 이 파괴된 부분으로부터 액정(51)이 누출되며, 그만큼 액정(51)이 존재하지 않는 부분(51a)이나 적어지는 부분이 생겨 액정(51)의 전압 유지율이 저하한다.
본 실시형태에서는, 시일제 묘화부(2)와, 액정 적하부(3)와, 기판 접합부(4)와, 시일제 경화부(5)를 제조 처리순으로 구비하며, 시일제 묘화 공정과, 액정 적하 공정과, 기판 접합 공정과, 시일제 경화 공정을 순서대로 수행하여 시일제(50)를 확실하게 경화시킴으로써, 시일제(50)의 성분이 액정(51)에 용해되는 것을 방지하고, 또한 시일제(50)의 일부(50b)가 파괴되는 것을 방지한다. 이에 따라, 액정(51)의 전기 특성이 저하함에 따른 표시 문제의 발생이 저감되고, 게다가 기판이 주위(특히, 네 귀퉁이)로부터 쉽게 박리되어 버리는 것을 방지하여, 제조 공정 중에도 기판이 잘 박리되지 않음으로써 수율이 상승하고 장치의 신뢰성이 향상된다.
[제2 실시형태]
본 제2 실시형태를 도 4를 참조하여 설명한다. 본 제2 실시형태는 도 1 내지 도 3의 실시형태와 마찬가지로 구성되는데, 시일제 묘화부(2)와, 액정 적하부(3)와, 기판 접합부(4)를 구비하며, 이 기판 접합부(4)에, 시일제 경화부(5)를 구비한다. 이 기판 접합부(4)에 시일제 경화부(5)를 구비하는 컴팩트한 구조로서, 기판 접합 공정에서 시일제 경화 공정을 수행하여 시일제(50)를 확실하게 경화시킴으로써, 전기 특성이 저하함에 따른 표시 문제의 발생이 저감되고, 게다가 기판의 주위(특히, 네 귀퉁이)로부터 쉽게 박리되어 버리는 것을 방지하여, 제조 공정 중에도 기판이 잘 박리되지 않음으로써 수율이 상승하고 장치의 신뢰성이 향상된다.
[제3 실시형태]
본 제3 실시형태를 도 5를 참조하여 설명한다. 본 제3 실시형태는 도 1 내지 도 3의 실시형태와 마찬가지로 구성되는데, 기판 접합부(4)로부터 시일제 경화부(5)까지의 제조 처리 대기 시간(T1)이 2분 이하이다. 제어 장치(60)는 반송 기구 구동 장치(61)를 제어하고, 권출부(1) 및 반송 기구(10, 11)를 구동하며, 기판 접합부(4)로부터 시일제 경화부(5)까지의 제조 처리 대기 시간(T1)을 2분 이하로 하고, 또한 기판 접합 공정의 접합 후부터 시일제 경화 공정의 경화 개시까지의 제조 처리 대기 시간이 2분 이하이기 때문에 시일제 경화부(5)에 의해 시일제(50)를 단시간에 경화시킬 수 있다.
[제4 실시형태]
본 제4 실시형태를 도 6을 참조하여 설명한다. 본 제4 실시형태는 도 4의 실시형태와 마찬가지로 구성되는데, 기판 접합부(4)로부터 시일제 경화부(5)까지의 제조 처리 대기 시간(T2)이 2분 이하이다. 제어 장치(60)는 반송 기구 구동 장치(61)를 제어하고, 권출부(1) 및 반송 기구(10, 11)를 구동하며, 기판 접합부(4)로부터 시일제 경화부(5)까지의 제조 처리 대기 시간(T2)을 2분 이하로 하고, 또한 기판 접합 공정의 접합 후부터 시일제 경화 공정의 경화 개시까지의 제조 처리 대기 시간이 2분 이하이기 때문에, 시일제 경화부(5)에 의해 시일제(50)를 단시간에 경화시킬 수 있다.
[시일제 경화부의 실시형태]
다음, 시일제 경화부의 실시형태에 대해 설명한다. 제1 실시형태의 시일제 경화부(5a)를 도 7에 도시한다. 제1 실시형태의 시일제 경화부(5a)는 시일제(50)가 자외선 경화 수지로서, 이 시일제(50)에 자외선을 조사하는 자외선 조사 수단(5a1)을 갖는다. 자외선 조사 수단(5a1)은 자외선 광원(5a11)으로부터 패터닝 마스크(5a12)를 통해 조사된다. 패터닝 마스크(5a12)는 차광부(5a13)와 투과부(5a14)를 갖는다. 자외선 광원(5a11)으로부터 조사된 자외선은 투과부(5a14)를 통해 경화시키고자 하는 시일제(50)의 부분만 투과하고, 그 밖의 부분은 차광부(5a13)에 의해 자외선이 차광된다.
패터닝 마스크(5a12)는 SUS 등의 금속판에서 시일 부분에 대응하는 곳에 구멍을 뚫은 금속 마스크나, 유리 기판 상에서 흑색 막을 패터닝하고, 시일 부분에 대응하는 곳만 흑색 막을 제거한 유리 마스크 등을 사용할 수 있다.
이 패터닝 마스크(5a12)를 낱장 시트(91)와 웹(90)의 상하 기판 상방 1 내지 2 ㎜의 거리에 세팅하고, 그 상방에 자외선 광원(5a11)도 세팅하며, 이 패터닝 마스크(5a12)를 통해 상하 기판에의 자외선 조사를 수행함으로써, 자외선의 조사 시의 복사열은 패터닝 마스크(5a12)의 차광부(5a13)에 흡수되기 때문에 상하 기판 표면의 온도 상승을 방지할 수 있다.
제2 실시형태의 시일제 경화부(5b)를 도 8에 도시한다. 제2 실시형태의 시일제 경화부(5b)는 시일제(50)가 열경화 수지로서, 이 시일제(50)를 가열하는 가열 수단(5b1)을 갖는다. 가열 수단(5b1)는 열풍을 보내는 가열기 혹은 히터 등을 사용할 수 있으며, 시일제(50)를 가열하여 간단하고 확실하게 경화시킬 수 있다.
제3 실시형태의 시일제 경화부(5c)를 도 9에 도시한다. 제3 실시형태의 시일제 경화부(5c)는 시일제(50)를 냉각하는 냉각 수단(5c1)을 갖는다. 냉각 수단(5c1)은 시일제(50)를 냉각함으로써 시일제(50)를 간단하고 확실하게 경화시킬 수 있다. 이 냉각 수단(5c1)으로는 냉풍을 분사하는 구성으로 할 수 있다. 예컨대, 공기를 식힌 냉풍을 접합된 낱장 시트(91)와 웹(90)의 상하 기판의 표면을 향해 분사한다. 이 냉각 수단(5c1)을 사용하면, 상하 기판의 표면 온도를 45℃에서 24?22℃로 낮출 수 있어 시일제(50)를 간단하고 확실하게 경화시킬 수 있다.
또한, 냉각 수단(5c1)으로는 드라이아이스를 분사하는 구성으로 할 수 있다. 예컨대, 드라이아이스 혹은 파우더 형태의 드라이아이스 분체를 접합된 상하 기판의 표면에 분사한다. 이 냉각 수단(5c1)을 사용하면 상하 기판의 표면 온도를 45℃에서 20?16℃로 낮출 수 있어 시일제(50)를 간단하고 확실하게 경화시킬 수 있다.
또한, 냉각 수단(5c1)에서는 접합된 상하 기판이 배치되는 평면 스테이지(41)를 냉각한다. 예컨대, 자외선 조사 전의 접합된 상하 기판이 배치되는 평면 스테이지(41) 내부에 냉수가 흐르는 유로를 돌려서, 평면 스테이지(41) 자체를 냉각시킴으로써 이 평면 스테이지(41)에 닿는 상하 기판을 간접적으로 냉각시켜 상하 기판의 표면 온도를 45℃에서 30?28℃로 낮출 수 있다.
또한, 냉각 수단(5c1)에서는 자외선의 조사 영역을 통째로 냉각시킬 수 있다. 예컨대, 자외선의 조사 영역을 밀폐하고, 그 내부를 개별 공기 조절 등을 이용하여 통째로 냉각시키면, 상하 기판의 표면 온도를 45℃에서 28?26℃로 낮출 수 있다.
이와 같이, 시일제 경화 공정에서는 시일제(50)를 경화시킬 때의 상하 기판의 표면 온도가 30℃ 이하로서, 시일제(50)를 단시간에 경화시킬 수 있다.
[산업상 이용가능성]
본 발명은 쌍을 이루는 상하 기판을 접합하여 액정 디스플레이를 제조하는 액정 디스플레이 제조 장치 및 액정 디스플레이 제조 방법에 적용 가능하며, 시일제를 확실하게 경화시킴으로써 표시 문제의 발생이 저감되고, 게다가 기판이 주위(특히, 네 귀퉁이)로부터 쉽게 박리되어 버리는 것을 방지하여, 제조 공정 중에도 기판이 잘 박리되지 않음으로써 수율이 상승하고 장치의 신뢰성이 향상된다.
1: 권출부 2: 시일제 묘화부
3: 액정 적하부 4: 기판 접합부
5: 시일제 경화부 6: 절단부
10, 11: 반송 기구 20: 반송로
40: 진공 챔버 41: 평면 스테이지
42: 위치 맞춤 기구 43: 접합 기구
50: 시일제 51: 액정
60: 제어 장치 61: 반송 기구 구동 장치
62: 접합 기구 구동 장치 63: 진공 챔버 구동 장치
90: 플라스틱 필름의 웹 91: 낱장 시트

Claims (13)

  1. 쌍을 이루는 상하 기판을 접합하여 액정 디스플레이를 제조하는 액정 디스플레이 제조 장치에 있어서,
    상기 쌍을 이루는 상하 기판 중 적어도 한쪽이 롤 형태의 플라스틱 필름이고,
    그 한쪽 기판의 접합면에 시일제(劑) 묘화를 제공하는 시일제 묘화부와,
    상기 시일제 묘화에 대응하여 상기 기판의 접합면에 액정을 적하하는 액정 적하부와,
    상기 기판의 접합면에 다른쪽 기판을 접합하는 기판 접합부와,
    접합된 상하 기판의 상기 시일제 묘화의 시일제를 경화시키는 시일제 경화부
    를 제조 처리순으로 구비하는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 제조 장치.
  2. 쌍을 이루는 상하 기판을 접합하여 액정 디스플레이를 제조하는 액정 디스플레이 제조 장치에 있어서,
    그 한쪽 기판의 접합면에 시일제 묘화를 제공하는 시일제 묘화부와,
    상기 시일제 묘화에 대응하여 상기 기판의 접합면에 액정을 적하하는 액정 적하부와,
    상기 기판의 접합면에 다른쪽 기판을 접합하는 기판 접합부
    를 구비하며,
    상기 기판 접합부에, 접합된 상하 기판의 상기 시일제 묘화의 시일제를 경화시키는 시일제 경화부를 구비하는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 제조 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 기판 접합부로부터 상기 시일제 경화부까지의 제조 처리 대기 시간은 2분 이하인 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 제조 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 시일제 경화부는, 상기 시일제가 자외선 경화 수지이고, 이 시일제에 자외선을 조사하는 자외선 조사 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 제조 장치.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 시일제 경화부는, 상기 시일제가 열경화 수지이고, 이 시일제를 가열하는 가열 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 제조 장치.
  6. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 시일제 경화부는 상기 시일제를 냉각하는 냉각 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 제조 장치.
  7. 쌍을 이루는 상하 기판을 접합하여 액정 디스플레이를 제조하는 액정 디스플레이 제조 방법에 있어서,
    상기 쌍을 이루는 상하 기판 중 적어도 한쪽이 롤 형태의 플라스틱 필름이고,
    그 한쪽 기판의 접합면에 시일제 묘화를 제공하는 시일제 묘화 공정과,
    상기 시일제 묘화에 대응하여 상기 기판의 접합면에 액정을 적하하는 액정 적하 공정과,
    상기 기판의 접합면에 다른쪽 기판을 접합하는 기판 접합 공정과,
    접합된 상하 기판의 상기 시일제 묘화의 시일제를 경화시키는 시일제 경화 공정
    을 순서대로 수행하는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 제조 방법.
  8. 쌍을 이루는 상하 기판을 접합하여 액정 디스플레이를 제조하는 액정 디스플레이 제조 방법에 있어서,
    그 한쪽 기판의 접합면에 시일제 묘화를 제공하는 시일제 묘화 공정과,
    상기 시일제 묘화에 대응하여 상기 기판의 접합면에 액정을 적하하는 액정 적하 공정과,
    상기 기판의 접합면에 다른쪽 기판을 접합하는 기판 접합 공정과,
    접합된 상하 기판의 상기 시일제 묘화의 시일제를 경화시키는 시일제 경화 공정
    을 순서대로 수행하고,
    상기 기판 접합 공정에서 상기 시일제 경화 공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 제조 방법.
  9. 제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 기판 접합 공정의 접합 후부터 상기 시일제 경화 공정의 경화 개시까지의 제조 처리 대기 시간은 2분 이하인 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 제조 방법.
  10. 제7항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 시일제 경화 공정에서는, 상기 시일제가 자외선 경화 수지이고, 이 시일제에 자외선을 조사하여 경화시키는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 제조 방법.
  11. 제7항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 시일제 경화부는, 상기 시일제가 열경화 수지이고, 이 시일제를 가열하여 경화시키는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 제조 방법.
  12. 제7항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 시일제 경화 공정에서는, 상기 시일제를 냉각하여 경화시키는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 제조 방법.
  13. 제12항에 있어서, 상기 시일제 경화 공정에서는, 시일제를 경화시킬 때의 상기 상하 기판의 표면 온도가 30℃ 이하인 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 제조 방법.
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