JP2003028717A - 光波長測定装置、方法、プログラムおよび該プログラムを記録した記録媒体 - Google Patents
光波長測定装置、方法、プログラムおよび該プログラムを記録した記録媒体Info
- Publication number
- JP2003028717A JP2003028717A JP2001213566A JP2001213566A JP2003028717A JP 2003028717 A JP2003028717 A JP 2003028717A JP 2001213566 A JP2001213566 A JP 2001213566A JP 2001213566 A JP2001213566 A JP 2001213566A JP 2003028717 A JP2003028717 A JP 2003028717A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- wavelength
- window
- optical wavelength
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 干渉計により光源の波長を測定する際の分解
能を、光路長差を著しく長くさせることなく向上させ
る。 【解決手段】 光源１０の光をマイケルソン干渉計２０
により干渉させ、干渉信号をＰＤＣ４０により間引きす
る。間引きされた干渉信号は、窓処理部５２により窓関
数（ガウス関数）が乗じられ、ＦＦＴ部５４によりＦＦ
Ｔがなされる。ＦＦＴ部５４の出力を中心値算出部５６
が加重平均して分布の中心値を求めて光の波長とする。
よって、単にＦＦＴ部５４の出力の極大値をサーチする
場合に比べて正確に光の波長を測定できる。
能を、光路長差を著しく長くさせることなく向上させ
る。 【解決手段】 光源１０の光をマイケルソン干渉計２０
により干渉させ、干渉信号をＰＤＣ４０により間引きす
る。間引きされた干渉信号は、窓処理部５２により窓関
数（ガウス関数）が乗じられ、ＦＦＴ部５４によりＦＦ
Ｔがなされる。ＦＦＴ部５４の出力を中心値算出部５６
が加重平均して分布の中心値を求めて光の波長とする。
よって、単にＦＦＴ部５４の出力の極大値をサーチする
場合に比べて正確に光の波長を測定できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は光の波長測定に関
し、特に多重化光信号の波長測定に関する。
し、特に多重化光信号の波長測定に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、光の波長を測定するためにマ
イケルソン干渉計を利用することが行なわれている。
イケルソン干渉計を利用することが行なわれている。
【０００３】図６に、従来技術であるマイケルソン干渉
計の構成を示す。マイケルソン干渉計のビームスプリッ
タ１１０には、波長測定の対象であるレーザ等の光が入
射される。入射された光は、ビームスプリッタ１１０の
ハーフミラー１１２により分光されて、固定ミラー１２
０および移動ミラー１３０に向けて出射される。固定ミ
ラー１２０および移動ミラー１３０に向けて出力された
光は、反射されてハーフミラー１１２に向かう。ハーフ
ミラー１１２に向かった反射光は一つの光となってフォ
トダイオード１４０に入力される。
計の構成を示す。マイケルソン干渉計のビームスプリッ
タ１１０には、波長測定の対象であるレーザ等の光が入
射される。入射された光は、ビームスプリッタ１１０の
ハーフミラー１１２により分光されて、固定ミラー１２
０および移動ミラー１３０に向けて出射される。固定ミ
ラー１２０および移動ミラー１３０に向けて出力された
光は、反射されてハーフミラー１１２に向かう。ハーフ
ミラー１１２に向かった反射光は一つの光となってフォ
トダイオード１４０に入力される。
【０００４】移動ミラー１３０は、レーザ等の光の入射
方向に移動する。これにより、固定ミラー１２０から反
射された光および移動ミラー１３０から反射された光と
の間に光路長差Ｌが生じる。
方向に移動する。これにより、固定ミラー１２０から反
射された光および移動ミラー１３０から反射された光と
の間に光路長差Ｌが生じる。
【０００５】フォトダイオード１４０からは、固定ミラ
ー１２０から反射された光および移動ミラー１３０から
反射された光とが干渉することにより生ずる干渉信号が
得られる。光源の波長λが単一である場合の干渉信号を
図７に示す。図７に示すように、干渉信号は波長λの周
期の強弱信号となる。
ー１２０から反射された光および移動ミラー１３０から
反射された光とが干渉することにより生ずる干渉信号が
得られる。光源の波長λが単一である場合の干渉信号を
図７に示す。図７に示すように、干渉信号は波長λの周
期の強弱信号となる。
【０００６】しかしながら、光源の波長が複数種類（λ
１、λ２、λ３…）あるような多重化光信号の場合は、
干渉信号の周期を求めるだけでは、光源の波長を求めら
れない。そこで、干渉信号をＦＦＴ（高速フーリエ変
換：Fast Fourier Transform）して、光源の複数種類の
波長を求める。ＦＦＴの結果の一例を図８に示す。干渉
信号をＦＦＴすることにより、光源の各種波長（λ１、
λ２、λ３）に対応した位置で光強度が極大値をとる。
そこで、極大値をとる部分をサーチして、光源の各種波
長とする。
１、λ２、λ３…）あるような多重化光信号の場合は、
干渉信号の周期を求めるだけでは、光源の波長を求めら
れない。そこで、干渉信号をＦＦＴ（高速フーリエ変
換：Fast Fourier Transform）して、光源の複数種類の
波長を求める。ＦＦＴの結果の一例を図８に示す。干渉
信号をＦＦＴすることにより、光源の各種波長（λ１、
λ２、λ３）に対応した位置で光強度が極大値をとる。
そこで、極大値をとる部分をサーチして、光源の各種波
長とする。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、極大値
のサーチは離散的にしか行なえず、正確な波長を測定で
きない場合がある。図９は、光強度が極大値をとる部分
の拡大図である。図９に示すように、×印の部分が極大
値のサーチがなされている部分である。×印の部分が、
真の極大値をとる部分から外れてしまうため、正確な波
長を測定できない場合がある。
のサーチは離散的にしか行なえず、正確な波長を測定で
きない場合がある。図９は、光強度が極大値をとる部分
の拡大図である。図９に示すように、×印の部分が極大
値のサーチがなされている部分である。×印の部分が、
真の極大値をとる部分から外れてしまうため、正確な波
長を測定できない場合がある。
【０００８】ここで、ＦＦＴによる波長の分解能は、波
長2／光路長差Ｌに比例するので、光路長差Ｌを長くす
れば極大値のサーチを細かく行なえる。しかし、光路長
差Ｌを長くすれば、マイケルソン干渉計が大きくなって
しまう。
長2／光路長差Ｌに比例するので、光路長差Ｌを長くす
れば極大値のサーチを細かく行なえる。しかし、光路長
差Ｌを長くすれば、マイケルソン干渉計が大きくなって
しまう。
【０００９】そこで、本発明は、干渉計により光源の波
長を測定する際の分解能を、光路長差を著しく長くさせ
ることなく向上させることを課題とする。
長を測定する際の分解能を、光路長差を著しく長くさせ
ることなく向上させることを課題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、光の波長を測定する光波長測定装置であって、光の
分光の干渉に基づく干渉信号に窓関数を乗じて出力する
窓処理手段と、窓処理手段の出力を光波長に対応付けて
出力する光波長対応処理手段と、光波長対応処理手段の
出力の加重平均に基づき光波長対応処理手段の出力の中
心値を求める中心値算出手段と、を備えるように構成さ
れる。
は、光の波長を測定する光波長測定装置であって、光の
分光の干渉に基づく干渉信号に窓関数を乗じて出力する
窓処理手段と、窓処理手段の出力を光波長に対応付けて
出力する光波長対応処理手段と、光波長対応処理手段の
出力の加重平均に基づき光波長対応処理手段の出力の中
心値を求める中心値算出手段と、を備えるように構成さ
れる。
【００１１】上記のように構成された光波長測定装置に
よれば、光波長対応処理手段の出力の加重平均に基づき
光波長対応処理手段の出力の中心値を求めるため、単に
光波長対応処理手段の出力の極大値をサーチする場合に
比べて正確に光の波長を測定できる。
よれば、光波長対応処理手段の出力の加重平均に基づき
光波長対応処理手段の出力の中心値を求めるため、単に
光波長対応処理手段の出力の極大値をサーチする場合に
比べて正確に光の波長を測定できる。
【００１２】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明であって、窓関数はガウス窓であるように構成さ
れる。
の発明であって、窓関数はガウス窓であるように構成さ
れる。
【００１３】請求項３に記載の発明は、請求項１に記載
の発明であって、光波長対応処理手段はＦＦＴを行なう
ように構成される。
の発明であって、光波長対応処理手段はＦＦＴを行なう
ように構成される。
【００１４】請求項４に記載の発明は、光の波長を測定
する光波長測定方法であって、光の分光の干渉に基づく
干渉信号に窓関数を乗じて出力する窓処理工程と、窓処
理工程の出力を光波長に対応付けて出力する光波長対応
処理工程と、光波長対応処理工程の出力の加重平均に基
づき光波長対応処理工程の出力の中心値を求める中心値
算出工程と、を備えるように構成される。
する光波長測定方法であって、光の分光の干渉に基づく
干渉信号に窓関数を乗じて出力する窓処理工程と、窓処
理工程の出力を光波長に対応付けて出力する光波長対応
処理工程と、光波長対応処理工程の出力の加重平均に基
づき光波長対応処理工程の出力の中心値を求める中心値
算出工程と、を備えるように構成される。
【００１５】請求項５に記載の発明は、光の波長を測定
する光波長測定処理をコンピュータに実行させるための
プログラムであって、光の分光の干渉に基づく干渉信号
に窓関数を乗じて出力する窓処理と、窓処理の出力を光
波長に対応付けて出力する光波長対応処理と、光波長対
応処理の出力の加重平均に基づき光波長対応処理の出力
の中心値を求める中心値算出処理と、をコンピュータに
実行させるためのプログラムである。
する光波長測定処理をコンピュータに実行させるための
プログラムであって、光の分光の干渉に基づく干渉信号
に窓関数を乗じて出力する窓処理と、窓処理の出力を光
波長に対応付けて出力する光波長対応処理と、光波長対
応処理の出力の加重平均に基づき光波長対応処理の出力
の中心値を求める中心値算出処理と、をコンピュータに
実行させるためのプログラムである。
【００１６】請求項６に記載の発明は、光の波長を測定
する光波長測定処理をコンピュータに実行させるための
プログラムを記録したコンピュータによって読み取り可
能な記録媒体であって、光の分光の干渉に基づく干渉信
号に窓関数を乗じて出力する窓処理と、窓処理の出力を
光波長に対応付けて出力する光波長対応処理と、光波長
対応処理の出力の加重平均に基づき光波長対応処理の出
力の中心値を求める中心値算出処理と、をコンピュータ
に実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ
によって読み取り可能な記録媒体である。
する光波長測定処理をコンピュータに実行させるための
プログラムを記録したコンピュータによって読み取り可
能な記録媒体であって、光の分光の干渉に基づく干渉信
号に窓関数を乗じて出力する窓処理と、窓処理の出力を
光波長に対応付けて出力する光波長対応処理と、光波長
対応処理の出力の加重平均に基づき光波長対応処理の出
力の中心値を求める中心値算出処理と、をコンピュータ
に実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ
によって読み取り可能な記録媒体である。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面を
参照しながら説明する。
参照しながら説明する。
【００１８】図1は、本発明の実施形態にかかる光波長
測定装置の構成を示すブロック図である。
測定装置の構成を示すブロック図である。
【００１９】光波長測定装置は、光源１０、マイケルソ
ン干渉計２０、光電変換部３０、周波数逓倍器３２、Ｐ
ＤＣ（Programable Down Converter）4０および解析部
５０を備える。
ン干渉計２０、光電変換部３０、周波数逓倍器３２、Ｐ
ＤＣ（Programable Down Converter）4０および解析部
５０を備える。
【００２０】光源１０は、波長測定の対象となる光を生
成し、マイケルソン干渉計２０に入射する。ここでは、
波長λ１、λ２、λ３の光が混合された光が光源１０の
生成する光であるとする。
成し、マイケルソン干渉計２０に入射する。ここでは、
波長λ１、λ２、λ３の光が混合された光が光源１０の
生成する光であるとする。
【００２１】マイケルソン干渉計２０は、光源１０から
入射された光（光１０ａ）を分光（分光１０ｂ、１０
ｃ）し、かかる分光を干渉させて出射（光１０ｆ）させ
る。マイケルソン干渉計２０の構成を図２に示す。マイ
ケルソン干渉計２０は、ハーフミラー２４、固定ミラー
２６、移動ミラー２８を備える。
入射された光（光１０ａ）を分光（分光１０ｂ、１０
ｃ）し、かかる分光を干渉させて出射（光１０ｆ）させ
る。マイケルソン干渉計２０の構成を図２に示す。マイ
ケルソン干渉計２０は、ハーフミラー２４、固定ミラー
２６、移動ミラー２８を備える。
【００２２】ハーフミラー２４は、光源１０から入射さ
れた光１０ａを分光して、固定ミラー２６に分光１０ｂ
を出射し、移動ミラー２８に分光１０ｃを出射する。ハ
ーフミラー２４は、さらに固定ミラー２６から反射され
た分光１０ｄおよび移動ミラー２８から反射された分光
１０ｅを一つにし、干渉させて光１０ｆを出射する。固
定ミラー２６は固定されたミラーであり、ハーフミラー
２４からの分光１０ｂを反射してハーフミラー２４に分
光１０ｄを出射する。移動ミラー２８は光源１０が光を
入射する方向に沿って移動するミラーであり、ハーフミ
ラー２４からの分光１０ｃを反射してハーフミラー２４
に分光１０ｅを出射する。
れた光１０ａを分光して、固定ミラー２６に分光１０ｂ
を出射し、移動ミラー２８に分光１０ｃを出射する。ハ
ーフミラー２４は、さらに固定ミラー２６から反射され
た分光１０ｄおよび移動ミラー２８から反射された分光
１０ｅを一つにし、干渉させて光１０ｆを出射する。固
定ミラー２６は固定されたミラーであり、ハーフミラー
２４からの分光１０ｂを反射してハーフミラー２４に分
光１０ｄを出射する。移動ミラー２８は光源１０が光を
入射する方向に沿って移動するミラーであり、ハーフミ
ラー２４からの分光１０ｃを反射してハーフミラー２４
に分光１０ｅを出射する。
【００２３】光電変換部３０は、マイケルソン干渉計２
０から出射された光１０ｆを電気信号である干渉信号に
変換して出力する。干渉信号のデータ数は、例えば２５
６ｋである。光電変換部３０は、例えばフォトダイオー
ドである。
０から出射された光１０ｆを電気信号である干渉信号に
変換して出力する。干渉信号のデータ数は、例えば２５
６ｋである。光電変換部３０は、例えばフォトダイオー
ドである。
【００２４】周波数逓倍器３２は、REF信号（参照信
号）の周波数を２倍にしてＰＤＣ4０に与える。する
と、REF信号のデータ数は１２８ｋから２５６ｋにな
る。
号）の周波数を２倍にしてＰＤＣ4０に与える。する
と、REF信号のデータ数は１２８ｋから２５６ｋにな
る。
【００２５】ＰＤＣ（Programable Down Converter）4
０は、図３に示すように、Ａ／Ｄ変換器４２、ローカル
発振器４４、混合器４６、デシメーション（間引き：de
cimation）フィルタ４８を備える。
０は、図３に示すように、Ａ／Ｄ変換器４２、ローカル
発振器４４、混合器４６、デシメーション（間引き：de
cimation）フィルタ４８を備える。
【００２６】Ａ／Ｄ変換器４２は、REF信号により与え
られたサンプリングクロックに基づき干渉信号をアナロ
グからデジタルに変換する。ローカル発振器４４は、デ
ータ数が３２ｋに相当する周波数のローカル信号を発振
する。混合器４６は、デジタルに変換された干渉信号と
ローカル信号とを混合して出力する。デシメーション
（間引き：decimation）フィルタ４８は、混合器４６の
出力をデジタルフィルタでフィルタ後に、デシメーショ
ン（間引き）して、データ数を３２ｋとした干渉信号を
出力する。
られたサンプリングクロックに基づき干渉信号をアナロ
グからデジタルに変換する。ローカル発振器４４は、デ
ータ数が３２ｋに相当する周波数のローカル信号を発振
する。混合器４６は、デジタルに変換された干渉信号と
ローカル信号とを混合して出力する。デシメーション
（間引き：decimation）フィルタ４８は、混合器４６の
出力をデジタルフィルタでフィルタ後に、デシメーショ
ン（間引き）して、データ数を３２ｋとした干渉信号を
出力する。
【００２７】解析部５０は、ＰＤＣ4０の出力した干渉
信号を解析し、光源１０の生成する光の波長を測定す
る。解析部５０は、窓処理部５２、ＦＦＴ（高速フーリ
エ変換：Fast Fourier Transform）部５４、中心値算出
部５６を備える。
信号を解析し、光源１０の生成する光の波長を測定す
る。解析部５０は、窓処理部５２、ＦＦＴ（高速フーリ
エ変換：Fast Fourier Transform）部５４、中心値算出
部５６を備える。
【００２８】窓処理部５２は、干渉信号に窓関数を乗じ
て出力する。窓関数としてはガウス窓が好適である。窓
処理部５２の処理内容を図４を参照して説明する。ガウ
ス窓は、およそ図４（ａ）に示す形状をしている。な
お、ガウス窓のパラメータσは、窓関数の分解能を決め
るパラメータであり状況に応じ定める。また、ＰＤＣ4
０の出力した干渉信号が例えば図４（ｂ）に示すような
形状をしているとする。なお、光強度は電力（Power）
として表現される。窓処理部５２は、ＰＤＣ4０の出力
した干渉信号に窓関数を乗じて図４（ｃ）に示すような
信号を出力する。
て出力する。窓関数としてはガウス窓が好適である。窓
処理部５２の処理内容を図４を参照して説明する。ガウ
ス窓は、およそ図４（ａ）に示す形状をしている。な
お、ガウス窓のパラメータσは、窓関数の分解能を決め
るパラメータであり状況に応じ定める。また、ＰＤＣ4
０の出力した干渉信号が例えば図４（ｂ）に示すような
形状をしているとする。なお、光強度は電力（Power）
として表現される。窓処理部５２は、ＰＤＣ4０の出力
した干渉信号に窓関数を乗じて図４（ｃ）に示すような
信号を出力する。
【００２９】ＦＦＴ（高速フーリエ変換：Fast Fourier
Transform）部５４は、窓処理部５２の出力のＦＦＴを
行ない、光の周波数に対応付けて出力する。光の周波数
と光の波長とは一定の関係にあるため、ＦＦＴ部５４の
出力は光の波長に対応づけられているといえる。ＦＦＴ
部５４は、光波長対応処理手段に相当する。ＦＦＴ部５
４の出力の概観を図５（ａ）に示す。光源１０の生成す
る光の周波数ｆ１、ｆ２、ｆ３において、光強度が極大
値をとる。ＦＦＴ部５４の出力の周波数ｆ１付近の部分
拡大図を図５（ｂ）に示す。周波数ｆ１の位置を中心と
した正規分布を形成する。
Transform）部５４は、窓処理部５２の出力のＦＦＴを
行ない、光の周波数に対応付けて出力する。光の周波数
と光の波長とは一定の関係にあるため、ＦＦＴ部５４の
出力は光の波長に対応づけられているといえる。ＦＦＴ
部５４は、光波長対応処理手段に相当する。ＦＦＴ部５
４の出力の概観を図５（ａ）に示す。光源１０の生成す
る光の周波数ｆ１、ｆ２、ｆ３において、光強度が極大
値をとる。ＦＦＴ部５４の出力の周波数ｆ１付近の部分
拡大図を図５（ｂ）に示す。周波数ｆ１の位置を中心と
した正規分布を形成する。
【００３０】中心値算出部５６は、ＦＦＴ部５４の出力
を加重平均し、この加重平均値に基づきＦＦＴ部５４の
出力の中心値を求める。図５（ｂ）に示すようにＦＦＴ
部５４の出力は、光源１０が生成する光の周波数を中心
値とした正規分布を形成するので、ＦＦＴ部５４の出力
の中心値を求めることが光の周波数の測定となる。周波
数の逆数に基づき波長を求めることができるため、ＦＦ
Ｔ部５４の出力の中心値を求めることが光の波長の測定
となる。
を加重平均し、この加重平均値に基づきＦＦＴ部５４の
出力の中心値を求める。図５（ｂ）に示すようにＦＦＴ
部５４の出力は、光源１０が生成する光の周波数を中心
値とした正規分布を形成するので、ＦＦＴ部５４の出力
の中心値を求めることが光の周波数の測定となる。周波
数の逆数に基づき波長を求めることができるため、ＦＦ
Ｔ部５４の出力の中心値を求めることが光の波長の測定
となる。
【００３１】加重平均の算出法について図５（ｃ）を参
照して説明する。まず、ＦＦＴ部５４の出力の極大値Pm
axに所定の係数Ｘ（０＜Ｘ＜１とする）を乗じてしきい
値とする。そして、しきい値を超えた光強度Ｐおよびそ
れに対応する周波数ｆに基づき、下記の式のように加重
平均をもとめ、中心周波数ｆｃを求める。この中心周波
数ｆｃが、光の周波数ｆ１、ｆ２、ｆ３である。
照して説明する。まず、ＦＦＴ部５４の出力の極大値Pm
axに所定の係数Ｘ（０＜Ｘ＜１とする）を乗じてしきい
値とする。そして、しきい値を超えた光強度Ｐおよびそ
れに対応する周波数ｆに基づき、下記の式のように加重
平均をもとめ、中心周波数ｆｃを求める。この中心周波
数ｆｃが、光の周波数ｆ１、ｆ２、ｆ３である。
【００３２】
【数１】
なお、図５（ｃ）において、○印を付した部分が、（f
i、Pi）に相当する。
i、Pi）に相当する。
【００３３】次に、本発明の実施形態の動作を説明す
る。
る。
【００３４】光源１０が生成した光は、マイケルソン干
渉計２０に入射される。マイケルソン干渉計２０におい
て、光源１０が生成した光１０ａは、ハーフミラー２４
により分光されて、分光１０ｂが固定ミラー２６に、分
光１０ｃが移動ミラー２８に出射される。分光１０ｂは
固定ミラー２６により反射され分光１０ｄとなり、分光
１０ｃは移動ミラー２８により反射され分光１０ｅとな
る。分光１０ｄおよび分光１０ｅはハーフミラー２４に
より干渉させられ、一つの光１０ｆとしてマイケルソン
干渉計２０から光電変換部３０に入射される。
渉計２０に入射される。マイケルソン干渉計２０におい
て、光源１０が生成した光１０ａは、ハーフミラー２４
により分光されて、分光１０ｂが固定ミラー２６に、分
光１０ｃが移動ミラー２８に出射される。分光１０ｂは
固定ミラー２６により反射され分光１０ｄとなり、分光
１０ｃは移動ミラー２８により反射され分光１０ｅとな
る。分光１０ｄおよび分光１０ｅはハーフミラー２４に
より干渉させられ、一つの光１０ｆとしてマイケルソン
干渉計２０から光電変換部３０に入射される。
【００３５】光電変換部３０に入射された光は電気信号
である干渉信号に変換される。干渉信号は、ＰＤＣ4０
のＡ／Ｄ変換器４２によりREF信号により与えられたサ
ンプリングクロックに基づきアナログからデジタルに変
換される。デジタルに変換された干渉信号は、混合器４
６によりローカル信号と混合される。そして、デシメー
ションフィルタ４８によりデジタルフィルタでフィルタ
後に、データ数が２５６ｋから３２ｋに間引きされて、
解析部５０に出力される。
である干渉信号に変換される。干渉信号は、ＰＤＣ4０
のＡ／Ｄ変換器４２によりREF信号により与えられたサ
ンプリングクロックに基づきアナログからデジタルに変
換される。デジタルに変換された干渉信号は、混合器４
６によりローカル信号と混合される。そして、デシメー
ションフィルタ４８によりデジタルフィルタでフィルタ
後に、データ数が２５６ｋから３２ｋに間引きされて、
解析部５０に出力される。
【００３６】解析部５０に出力された干渉信号には、窓
処理部５２により窓処理が施される。すなわち、干渉信
号にガウス窓が乗じられる（図４（ｃ）参照）。ガウス
窓が乗じられた干渉信号は、ＦＦＴ部５４によりＦＦＴ
され、光波長に対応付けられる（図５参照）。光波長に
対応付けられた干渉信号は、中心値算出部５６により加
重平均され、中心値が求められるので、その中心値から
波長が求められる。
処理部５２により窓処理が施される。すなわち、干渉信
号にガウス窓が乗じられる（図４（ｃ）参照）。ガウス
窓が乗じられた干渉信号は、ＦＦＴ部５４によりＦＦＴ
され、光波長に対応付けられる（図５参照）。光波長に
対応付けられた干渉信号は、中心値算出部５６により加
重平均され、中心値が求められるので、その中心値から
波長が求められる。
【００３７】本発明の実施形態によれば、ＦＦＴ部（光
波長対応処理手段）５４の出力の加重平均に基づきＦＦ
Ｔ部５４の出力の中心値を求めるため、単にＦＦＴ部５
４の出力の極大値をサーチする場合に比べて正確に光の
波長を測定できる。
波長対応処理手段）５４の出力の加重平均に基づきＦＦ
Ｔ部５４の出力の中心値を求めるため、単にＦＦＴ部５
４の出力の極大値をサーチする場合に比べて正確に光の
波長を測定できる。
【００３８】ＣＰＵ、ハードディスク、メディア（フロ
ッピー（登録商標）ディスク、ＣＤ−ＲＯＭなど）読み
取り装置を備えたコンピュータのメディア読み取り装置
に、上記の各部分を実現するプログラムを記録したメデ
ィアを読み取らせて、ハードディスクにインストールす
る。このような方法でも、測定データ表示装置を実現で
きる。
ッピー（登録商標）ディスク、ＣＤ−ＲＯＭなど）読み
取り装置を備えたコンピュータのメディア読み取り装置
に、上記の各部分を実現するプログラムを記録したメデ
ィアを読み取らせて、ハードディスクにインストールす
る。このような方法でも、測定データ表示装置を実現で
きる。
【００３９】
【発明の効果】本発明によれば、光波長対応処理手段の
出力の加重平均に基づき光波長対応処理手段の出力の中
心値を求めるため、単に光波長対応処理手段の出力の極
大値をサーチする場合に比べて正確に光の波長を測定で
きる。
出力の加重平均に基づき光波長対応処理手段の出力の中
心値を求めるため、単に光波長対応処理手段の出力の極
大値をサーチする場合に比べて正確に光の波長を測定で
きる。
【図１】本発明の実施形態にかかる光波長測定装置の構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
【図２】マイケルソン干渉計２０の構成を示す図であ
る。
る。
【図３】ＰＤＣ4０の構成を示す図である。
【図４】窓処理部５２の処理内容を示す図であり、窓関
数（ガウス関数）（図４（ａ））、ＰＤＣ4０の出力
（図４（ｂ））、窓処理の結果（図４（ｃ））を示す。
数（ガウス関数）（図４（ａ））、ＰＤＣ4０の出力
（図４（ｂ））、窓処理の結果（図４（ｃ））を示す。
【図５】ＦＦＴ部５４の出力を示す図であり、出力の概
観（図５（ａ））、出力の波長λ１付近の部分拡大図
（図５（ｂ））、加重平均の算出法を示す図（図５
（ｃ））である。
観（図５（ａ））、出力の波長λ１付近の部分拡大図
（図５（ｂ））、加重平均の算出法を示す図（図５
（ｃ））である。
【図６】従来技術であるマイケルソン干渉計の構成を示
す図である。
す図である。
【図７】従来技術における光源の波長λが単一である場
合の干渉信号を示す図である。
合の干渉信号を示す図である。
【図８】従来技術における干渉信号のＦＦＴの結果の一
例を示す図である。
例を示す図である。
【図９】従来技術における光強度が極大値をとる部分の
拡大図である。
拡大図である。
５０ 解析部
５２ 窓処理部
５４ ＦＦＴ部（光波長対応処理手段）
５６ 中心値算出部
Claims (6)
- 【請求項１】光の波長を測定する光波長測定装置であっ
て、 前記光の分光の干渉に基づく干渉信号に窓関数を乗じて
出力する窓処理手段と、 前記窓処理手段の出力を光波長に対応付けて出力する光
波長対応処理手段と、 前記光波長対応処理手段の出力の加重平均に基づき前記
光波長対応処理手段の出力の中心値を求める中心値算出
手段と、 を備えた光波長測定装置。 - 【請求項２】請求項１に記載の光波長測定装置であっ
て、 前記窓関数はガウス窓である光波長測定装置。 - 【請求項３】請求項１に記載の光波長測定装置であっ
て、 前記光波長対応処理手段はＦＦＴを行なう光波長測定装
置。 - 【請求項４】光の波長を測定する光波長測定方法であっ
て、 前記光の分光の干渉に基づく干渉信号に窓関数を乗じて
出力する窓処理工程と、 前記窓処理工程の出力を光波長に対応付けて出力する光
波長対応処理工程と、 前記光波長対応処理工程の出力の加重平均に基づき前記
光波長対応処理工程の出力の中心値を求める中心値算出
工程と、 を備えた光波長測定方法。 - 【請求項５】光の波長を測定する光波長測定処理をコン
ピュータに実行させるためのプログラムであって、 前記光の分光の干渉に基づく干渉信号に窓関数を乗じて
出力する窓処理と、 前記窓処理の出力を光波長に対応付けて出力する光波長
対応処理と、 前記光波長対応処理の出力の加重平均に基づき前記光波
長対応処理の出力の中心値を求める中心値算出処理と、 をコンピュータに実行させるためのプログラム。 - 【請求項６】光の波長を測定する光波長測定処理をコン
ピュータに実行させるためのプログラムを記録したコン
ピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、 前記光の分光の干渉に基づく干渉信号に窓関数を乗じて
出力する窓処理と、 前記窓処理の出力を光波長に対応付けて出力する光波長
対応処理と、 前記光波長対応処理の出力の加重平均に基づき前記光波
長対応処理の出力の中心値を求める中心値算出処理と、 をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録し
たコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001213566A JP2003028717A (ja) | 2001-07-13 | 2001-07-13 | 光波長測定装置、方法、プログラムおよび該プログラムを記録した記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001213566A JP2003028717A (ja) | 2001-07-13 | 2001-07-13 | 光波長測定装置、方法、プログラムおよび該プログラムを記録した記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003028717A true JP2003028717A (ja) | 2003-01-29 |
Family
ID=19048517
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001213566A Pending JP2003028717A (ja) | 2001-07-13 | 2001-07-13 | 光波長測定装置、方法、プログラムおよび該プログラムを記録した記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003028717A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009156749A (ja) * | 2007-12-27 | 2009-07-16 | Fujifilm Corp | 光断層画像化方法およびシステム |
| JP2013002921A (ja) * | 2011-06-15 | 2013-01-07 | Canon Inc | 測定装置 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05281353A (ja) * | 1992-03-30 | 1993-10-29 | Tokimec Inc | 作業用警報装置 |
| JPH08233520A (ja) * | 1995-02-24 | 1996-09-13 | Nikon Corp | 三次元形状測定装置 |
| JPH09159526A (ja) * | 1995-12-07 | 1997-06-20 | Fujitsu Ltd | 重心波長モニタ方法及び装置、光増幅器並びに光通信システム |
| WO1999009370A1 (en) * | 1997-08-19 | 1999-02-25 | University Of Maryland | Large scale high speed multiplexed optical fiber sensor network |
| JP2001099718A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-04-13 | Ando Electric Co Ltd | 波長計のデータ処理装置、及びそのデータ処理方法 |
-
2001
- 2001-07-13 JP JP2001213566A patent/JP2003028717A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05281353A (ja) * | 1992-03-30 | 1993-10-29 | Tokimec Inc | 作業用警報装置 |
| JPH08233520A (ja) * | 1995-02-24 | 1996-09-13 | Nikon Corp | 三次元形状測定装置 |
| JPH09159526A (ja) * | 1995-12-07 | 1997-06-20 | Fujitsu Ltd | 重心波長モニタ方法及び装置、光増幅器並びに光通信システム |
| WO1999009370A1 (en) * | 1997-08-19 | 1999-02-25 | University Of Maryland | Large scale high speed multiplexed optical fiber sensor network |
| JP2001099718A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-04-13 | Ando Electric Co Ltd | 波長計のデータ処理装置、及びそのデータ処理方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009156749A (ja) * | 2007-12-27 | 2009-07-16 | Fujifilm Corp | 光断層画像化方法およびシステム |
| JP2013002921A (ja) * | 2011-06-15 | 2013-01-07 | Canon Inc | 測定装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2400715C2 (ru) | Способ градуировки спектрометра | |
| JP3491337B2 (ja) | 半導体厚非接触測定装置 | |
| WO2013115018A1 (ja) | 光干渉断層撮像装置及び光干渉断層撮像方法 | |
| JP2015536467A (ja) | コヒーレント反ストークスラマン分光法を用いる検出システム及び方法 | |
| WO1999018520A1 (en) | Nonuniform sampling for spectral and related applications | |
| JP2007170941A (ja) | 歪み測定装置、方法、プログラムおよび記録媒体 | |
| Amin | Implementation of hilbert transform based high-resolution phase unwrapping method for displacement retrieval using laser self mixing interferometry sensor | |
| RU2377497C1 (ru) | Устройство для измерения деформаций на основе квазираспределенных волоконно-оптических датчиков на брэгговских решетках | |
| JP2003028717A (ja) | 光波長測定装置、方法、プログラムおよび該プログラムを記録した記録媒体 | |
| JP6533632B1 (ja) | 円二色性測定装置および円二色性測定方法 | |
| JPH0829255A (ja) | 波形解析装置 | |
| JP4819466B2 (ja) | 伝達特性測定装置、方法、プログラムおよび記録媒体 | |
| CN107407601A (zh) | 用于补偿由光谱仪系统产生的干涉图的时间周期扰动的光谱仪系统和方法 | |
| JP5891955B2 (ja) | フーリエ変換型分光計用タイミング生成装置および該生成方法ならびにフーリエ変換型分光計および該分光方法 | |
| JP2001272335A (ja) | 分光学的断面画像測定装置 | |
| JP2021517254A (ja) | 光干渉断層撮影装置用のディジタイザ | |
| JPS5940133A (ja) | フ−リエ変換分光光度計 | |
| US8223339B1 (en) | Scanning spectroscopy modulation for frequency domain spectral analysis | |
| JP2818042B2 (ja) | パルス光源を用いたフーリエ変換分光法 | |
| JPS60202329A (ja) | 波長可変レーザを用いた吸収分光分析装置 | |
| JP2970700B2 (ja) | パルス光源を用いたフーリエ変換分光法 | |
| CN111678610B (zh) | 一种基于标准具和干涉仪的扫描光源波长测量装置 | |
| JP2818043B2 (ja) | パルス光源を用いたフーリエ変換分光法 | |
| WO2024024767A1 (en) | Optical tomography system and method of using | |
| JP3820065B2 (ja) | 動的光散乱式粒径分布測定装置および動的光散乱式粒径分布測定方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080626 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101102 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101220 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110330 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110524 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111021 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120528 |