JP2003028311A - 磁性流体を利用した密封装置及び密封構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 パーティクルの発生を低減させた信頼性の高
い磁性流体を利用した密封装置及び密封構造を提供す
る。 【解決手段】 動力伝達軸３の外周側に設けられ、軸方
向に投影した場合に、隔壁２と重なる領域を有する環状
部材４と、環状部材４に設けられて対向面と環状隙間を
形成する磁石と、該磁石により発生された磁束により該
環状隙間に保持されて該環状隙間を封止する磁性流体
と、を有する磁性流体シール部５と、を備え、環状部材
４は、隔壁２の環状部材４に対向する径方向面２ａとの
環状隙間８ａ、及び動力伝達軸３の外周面３ａとの環状
隙間８ｂに、それぞれ磁性流体シール部５を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば各種装置
の軸封止部に用いられ、特に、清浄な環境で用いられる
磁性流体を利用した密封装置及び密封構造に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体や液晶等の製造において、
ワーク（ウエハ、又は、ガラス基板）等の物品を移動・
搬送する作業での精度、及び、これらをロボット間で受
け渡しをする際の位置決め作業での精度は、近年、微細
化の流れの中で、高精度化が要求されている。

【０００３】そして、これらの作業工程の中で、往復動
や回転の動きを行い、位置決めを行う装置が重要となっ
ている。

【０００４】また、半導体や液晶等の製造環境は、一般
的に、清浄な雰囲気に管理されたクリーンルームが使用
される。

【０００５】クリーンルームは、クラス１０００（２０
９Ｅ米国表示；ＪＩＳ Ｂ ９９２０ではクラス６；２
０９Ｅ ＳＩ表示ではＭ４．５）等、パーティクルの保
証値でそのレベルが表され、近年、より微細パターンの
製品に移行している背景から、クリーン度は高レベルが
要求されている。

【０００６】パーティクルの発生原因としては、人と装
置が考えられる。すなわち、パーティクルは、人体に付
着していた塵埃等や、クリーンルーム内で使用される装
置から発生するものである。

【０００７】装置から発生するパーティクルは、摺動部
分が主な要因となっており、装置内がパーティクルリッ
チとなるような場合においては、排気装置を内蔵し、か
つ、クリーンルームの外側にダクト等で排出する機構が
用いられていた。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来技術の場合には、排気装置を必要とするた
め、構成が複雑となりコスト高となっていた。そして、
排気装置自体がパーティクルの発生要因となることが懸
念されていた。

【０００９】また、排気装置を内蔵することにより、ク
リーンルーム内に排気装置を設置するスペースを確保す
る必要があり、クリーンルームの壁面にダクト用の穴を
設ける必要があった。

【００１０】また、排気装置を駆動させるためには駆動
装置を要する場合がある。

【００１１】したがって、排気装置を必要としない、す
なわち、摺動部分から発生するパーティクルを低減させ
ることが要求されている。

【００１２】本発明は上記の従来技術の課題を解決する
ためになされたもので、その目的とするところは、パー
ティクルの発生を低減させた信頼性の高い磁性流体を利
用した密封装置及び密封構造を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明にあっては、軸孔が設けられた壁面と、該壁面
の該軸孔に挿通される軸部材と、の環状隙間を封止する
磁性流体を利用した密封装置であって、前記軸部材の外
周側に設けられ、軸方向に投影した場合に、前記壁面と
重なる領域を有する環状部材と、前記環状部材に設けら
れて対向面と環状隙間を形成する磁力発生手段と、該磁
力発生手段により発生された磁束により該環状隙間に保
持されて該環状隙間を封止する磁性流体と、を有する磁
性流体シール部と、を備え、前記環状部材は、前記壁面
の該環状部材に対向する径方向面との環状隙間、及び前
記軸部材の外周面との環状隙間に、それぞれ前記磁性流
体シール部を設けたことを特徴とする。

【００１４】これにより、摺動部から発生するパーティ
クルが外部に出てしまうようなことがなく磁性流体で留
めることが可能となる。また、磁性流体が磁石に引き付
けられることにより、磁性流体による磁気浮揚力、すな
わち、対向面から浮く方向に力を発生させることができ
るので、対向面に対する密封装置の押付力を軽減させる
ことが可能となり、摺動抵抗の低減、及び摩擦量の低減
を図ることが可能となる。

【００１５】したがって、摺動部分から発生するパーテ
ィクルを低減させることができ、従来のような排気装置
を設ける必要はなくなる。

【００１６】前記環状部材の内周側端部に、軸方向に延
出する軸方向部を備え、前記軸方向部と前記軸部材との
環状隙間に、前記磁性流体シール部を複数設けたことも
好適である。

【００１７】これにより、安定した密封性を発揮させる
ことができる。

【００１８】前記磁性流体シール部は、前記磁力発生手
段と前記磁性流体との間に、対向面と摺動自在な摺動部
材を前記磁力発生手段に固定して設けたことも好適であ
る。

【００１９】これにより、耐荷重を大きくとることがで
きる。

【００２０】前記摺動部材は、樹脂部材であることも好
適である。

【００２１】これにより、対向面との摺動抵抗を小さく
することができる。

【００２２】前記軸部材は、前記壁面に対して、回転
動、軸方向の往復動、及び径方向の往復動のうち少なく
とも２つの相対運動を行うことも好適である。

【００２３】前記軸部材が、前記壁面に対して相対的に
径方向の往復運動を行う場合、前記磁性流体シール部
は、少なくとも径方向の相対移動距離分、前記環状部材
の外周側端部よりも内径側に設けられることも好適であ
る。

【００２４】これにより、直接磁性流体でぬれた面が、
剥き出しになるようなことはない。

【００２５】前記軸部材が、前記壁面に対して相対的に
軸方向の往復運動を行う場合、前記磁性流体シール部
は、少なくとも軸方向の相対移動距離分、前記環状部材
の前記軸方向部の前記壁面側とは反対側の端部よりも該
壁面側に設けられることも好適である。

【００２６】これにより、直接磁性流体でぬれた面が、
剥き出しになるようなことはない。

【００２７】軸孔が設けられた壁面と、該壁面の該軸孔
に挿通される軸部材と、の環状隙間を封止する磁性流体
を利用した密封構造であって、前記軸部材の外周側に設
けられ、軸方向に投影した場合に、前記壁面と重なる領
域を有する環状部材と、対向面と環状隙間を形成する磁
力発生手段と、該磁力発生手段により発生された磁束に
より該環状隙間に保持されて該環状隙間を封止する磁性
流体と、を有する磁性流体シール部と、を備え、前記環
状部材と前記壁面の該環状部材に対向する径方向面との
環状隙間、及び、該環状部材と前記軸部材の外周面との
環状隙間に、それぞれ前記磁性流体シール部を設けたこ
とを特徴とする。

【００２８】

【発明の実施の形態】以下に図面を参照して、この発明
の好適な実施の形態を例示的に詳しく説明する。ただ
し、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、
材質、形状それらの相対配置などは、発明が適用される
装置の構成や各種条件により適宜変更されるべきもので
あり、この発明の範囲を以下の実施の形態に限定する趣
旨のものではない。

【００２９】（実施の形態１）図１〜図３を参照して、
本発明の実施の形態１に係る磁性流体を利用した密封装
置について説明する。

【００３０】図１は本実施の形態に係る磁性流体を利用
した密封装置１を示す模式図であり、図２は密封装置１
が適用される状態を説明するための模式図である。

【００３１】まず、本発明の実施の形態１に係る磁性流
体を利用した密封装置１が適用される状態について説明
する。

【００３２】密封装置１は、クリーンルームＤ内におい
て、搬送装置等の装置側Ｅをクリーン環境から隔てる壁
面としての隔壁２と、隔壁２の軸孔に挿通されてクリー
ンルームＤ内の不図示の搬送台に動力を伝達する軸部材
としての動力伝達軸３と、の環状隙間を密封するもので
ある。

【００３３】動力伝達軸３は、隔壁２に対して、矢印Ａ
で示す回転動、矢印Ｂで示す軸方向の往復動、及び矢印
Ｃで示す径方向の往復動を行うものである。これによ
り、クリーンルーム内で可動台及び可動台上に置かれた
ワークを所定の位置に移動・搬送することができる。

【００３４】ここで、動力伝達軸３は、これら３つの運
動のうちの１つの運動のみを行うものでもよいが、３つ
の運動のうち少なくとも２つの相対運動を行うと好適で
ある。

【００３５】次に、本実施の形態に係る密封装置１につ
いて説明する。

【００３６】図に示すように、密封装置１は、動力伝達
軸３の外周側であって、隔壁２の反密封対象側となるク
リーンルームＤ側に設けられ、軸方向に隔壁２と重なる
領域を有する環状部材４と、環状部材４に設けられた磁
性流体シール部５と、から構成されるものである。

【００３７】図３に磁性流体シール部５の構成を説明す
るための模式図を示す。

【００３８】磁性流体シール部５は、環状部材４に設け
られた磁力発生手段としての磁石６と、磁石６により発
生される磁束により保持される磁性流体７と、から構成
されている。

【００３９】そして、密封装置１は、この磁性流体シー
ル部５を、環状部材４において、隔壁２の環状部材４に
対向する径方向面２ａとの環状隙間８ａ、及び、動力伝
達軸３の外周面３ａとの環状隙間８ｂに、径方向面２ａ
と外周面３ａとに磁性流体７が接触するように備えるも
のである。

【００４０】すなわち、環状隙間８ａには、図３（ａ）
に示す状態の磁性流体シール部５ａが設けられており、
環状隙間８ｂには、図３（ｂ）に示す状態の磁性流体シ
ール部５ｂが設けられている。

【００４１】ここで、環状隙間８ａに設けられた磁性流
体シール部５ａの磁石は、軸方向に異極が配されてお
り、環状隙間８ｂに設けられた磁性流体シール部５ｂの
磁石は、径方向に異極が配されていることが好適であ
る。

【００４２】本実施の形態に係る密封装置１は、このよ
うに構成されることにより、磁性流体でパーティクルを
シールすることができるので、装置側Ｅ内にパーティク
ルを封じ込めるダストシールとして作用させることが可
能となる。

【００４３】したがって、往復動及び回転動を行う軸部
材の軸封止を行うことが可能となる。

【００４４】また、磁性流体で摺動部を構成しているの
で、摺動部からパーティクルが発生することはなく、特
に、クリーンルームＤ内における軸封止に有効である。

【００４５】また、磁性流体シール部５においては、磁
石６が磁性流体７を引き付ける力に相当する分の反発力
を生じることとなり、すなわち、磁性流体７が接触する
対向面である隔壁２の径方向面２ａ、及び、動力伝達軸
３の外周面３ａから浮く方向に力が発生することとな
り、クリアランスの維持や摺動抵抗の低減といった軸受
機能を発揮させることが可能となる。

【００４６】（実施の形態２）図４，５を用いて、実施
の形態２に係る密封装置について説明する。本実施の形
態に係る密封装置は、実施の形態１に係る密封装置１に
対して、磁性流体シール部の構成が異なるものである。
なお、実施の形態１と同様の構成部分については同一の
符号を付して、その説明は省略する。

【００４７】図４は、本実施の形態に係る密封装置の磁
性流体シール部１５の構成を示す模式図である。

【００４８】磁性流体シール部１５は、環状部材４に設
けられた磁力発生手段としての磁石１６と、磁石１６に
固定される摺動部材１８と、摺動部材１８の表面（磁石
１６とは反対側）に充填される磁性流体１７と、から構
成されている。

【００４９】磁石１６には、環状部材４に固定される固
定部１６ａと、固定部１６ａの反対側である対向面側に
設けられて、摺動部材１８を嵌合させる嵌合部１６ｂ
と、が設けられている。

【００５０】また、摺動部材１８には、磁石１６の嵌合
部１６ｂに嵌合する嵌合部１８ａと、対向面（隔壁２の
径方向面２ａ、及び、動力伝達軸３の外周面３ａ）に摺
動自在とされ、磁性流体１７が充填される表面部１８ｂ
と、が設けられている。

【００５１】そして、摺動部材１８は、磁石１６の嵌合
部１６ｂに嵌合されることにより、表面部１８ｂに磁力
発生手段である磁石１６からの漏れ磁束が形成される。
そして、その漏れ磁束によって、摺動部材１８の表面部
１８ｂに磁性流体１７が保持されるものである。

【００５２】ここで、摺動部材１８の表面部１８ｂの好
適な形状について説明する。

【００５３】図５（ａ）は、摺動部材１８の表面部１８
ｂが円錐台状に形成された磁性流体シール部１５を示す
模式図である。

【００５４】摺動部材１８の表面部１８ｂにおいては、
対向面（隔壁２の径方向面２ａ、及び、動力伝達軸３の
外周面３ａ）との摺動面（当接面）端部から磁性流体シ
ール部１５が相対移動する方向に向かって傾斜する傾斜
部を有する側面を備えている。相対移動が往復動であれ
ば、往復動方向に対する側面がテーパ状となっている。
本実施の形態において図４，図５（ａ）に示すように、
球面状や、円錐台状に形成されていると好適である。

【００５５】なお、摺動部材１８は、摺動抵抗の小さい
樹脂部材であると好適であり、ＰＴＦＥ（四ふっ化エチ
レン樹脂）であることが好ましい。

【００５６】以下に、密封装置にかかる力について説明
する。

【００５７】密封装置には、往復動による慣性力、及
び、環状部材４の重力がかかるため、装置のサイズが大
きくなり環状部材４の重量が大きくなった場合や、高速
で往復動を行う場合などにおいては、実施の形態１に係
る密封装置１の磁性流体シール部５では、十分な軸受機
能を発揮しないことが懸念される。

【００５８】そこで、このように密封装置にかかる力が
大きい場合には、本実施の形態のように摺動部材１８を
備えた磁性流体シール部１５とすることにより、良好に
対応することが可能となる。

【００５９】すなわち、本実施の形態では、摺動部材１
８により摺動接触させているため、耐荷重を大きくとる
ことができる。

【００６０】そして、その摺動部においては、摺動部材
１８を介して磁石１６に磁性流体１７を保持させた構成
としているので、磁性流体１７が磁石１６に引き付けら
れることにより、磁性流体１７による磁気浮揚力、すな
わち、対向面（隔壁２の径方向面２ａ、及び、動力伝達
軸３の外周面３ａ）から浮く方向に力が発生するので、
対向面に対する押付力を軽減させることが可能となり、
摺動抵抗の低減を図ることが可能となる。

【００６１】さらに、表面部１８ｂを円錐台状にして、
移動方向に対してテーパ状とすることにより、移動時、
磁性流体１７が摺動部材１８の表面部１８ｂに潜り込む
ような状態となり、楔作用による動的な浮揚力が発生す
ることになる。

【００６２】この点について図５（ｂ）を用いて説明す
る。

【００６３】磁性流体シール部１５が相対的に矢印Ｆ方
向に移動した場合には、磁性流体１７は磁性流体シール
部１５に対して矢印Ｇ方向へ流れ、摺動部材１８の表面
部１８ｂの移動方向に設けられたテーパ状の部分に流れ
ることになる。

【００６４】ここで、楔作用とは、流体が楔形状の開い
た方向から、閉じた方向へ流れる時、動圧として、垂直
上側に圧力を発生する作用のことである。図５（ｂ）に
示すような場合においては、図中、矢印Ｈ方向に圧力が
発生することとなる。

【００６５】すなわち、対向面（隔壁２の径方向面２
ａ、及び、動力伝達軸３の外周面３ａ）から浮く方向
に、より大きな力を発生させることができるので、対向
面に対する磁性流体シール部１５の押付力をより軽減さ
せることが可能となり、さらなる摺動抵抗の低減、及び
摩擦量の低減を図ることが可能となる。

【００６６】ここで、摺動部材１８により摺動させるこ
とにより、摺動部からのパーティクルの発生が懸念され
るが、磁性流体１７で摺動部材１８を覆うことにより外
部に摩耗粉を出すことを防ぐことができ、また、磁性流
体１７による磁気浮揚力によって摺動抵抗の低減及び摩
擦量の低減を図ることができるので、パーティクルとな
る摩耗粉の発生をさらに低減させることが可能となる。

【００６７】（実施の形態３）図６を用いて実施の形態
３に係る磁性流体を利用した密封装置２１について説明
する。図６は本実施の形態に係る密封装置２１を示す模
式図である。なお、実施の形態１，２と同様の構成部分
については同一の符号を付して、その説明は省略する。

【００６８】本実施の形態においては、上述した実施の
形態の環状部材４に対して、その内周側端部を軸方向に
延出させた軸方向部を設け、その軸方向部に磁性流体シ
ール部を複数設けたものである。

【００６９】すなわち、密封装置２１は、動力伝達軸３
の外周側であって、隔壁２の反密封対象側となるクリー
ンルームＤ側に設けられ、軸方向に隔壁２と重なる領域
を有するとともに、その内周側端部から軸方向に延出し
た軸方向部２４ａを有する環状部材２４と、環状部材２
４に設けられた磁性流体シール部２５と、から構成され
るものである。

【００７０】本実施の形態の特徴的な構成としては、環
状部材２４の内周側端部から軸方向に延出して軸方向部
２４ａを設け、軸方向部２４ａに少なくとも２つの磁性
流体シール部２５を設けたものである。

【００７１】磁性流体シール部２５は、実施の形態１に
おける磁性流体シール部５であっても、実施の形態２に
おける磁性流体シール部１５であってもよい。

【００７２】このように構成することにより、上述した
実施の形態の効果に加えて、安定した密封性を発揮する
ことが可能となる。

【００７３】（実施の形態４）図７を用いて実施の形態
４に係る磁性流体を利用した密封装置について説明す
る。図７は本実施の形態に係る密封装置３１を示す模式
図である。

【００７４】なお、実施の形態１と同様の構成部分につ
いては同一の符号を付して、その説明は省略する。

【００７５】上述した実施の形態に係る密封装置３１
は、動力伝達軸３が隔壁２に対して相対的に往復動を行
う場合において、たとえば図６に示されるように、磁性
流体シール部２５が環状部材２４の端部に設けられた場
合には、磁性流体のぬれ性の良さから、直接磁性流体で
ぬれた面（隔壁２の径方向面２ａ、及び、動力伝達軸３
の外周面３ａ）がクリーンルーム側に剥き出し状態とな
ってしまう。

【００７６】そこで、本実施の形態では、動力伝達軸３
のストローク分だけ、磁性流体シール部を内側に寄せて
配設している。

【００７７】すなわち、動力伝達軸３が、隔壁２に対し
て相対的に径方向の往復運動を行う場合には、磁性流体
シール部３５は、少なくとも径方向の相対移動距離分、
環状部材３４の外周側端部３４ｃよりも内径側に設けら
れ、また、動力伝達軸３が、隔壁２に対して相対的に軸
方向の往復運動を行う場合には、磁性流体シール部は、
少なくとも軸方向の相対移動距離分、環状部材３４の軸
方向部３４ａの隔壁２側とは反対側、すなわちクリーン
ルームＤ側の端部３４ｂよりも隔壁２側に設けられてい
る。

【００７８】これにより、直接磁性流体でぬれた面が、
クリーンルーム側に剥き出しになるようなことはなくな
る。

【００７９】（他の実施の形態）上述した実施の形態で
は、環状部材と、環状部材に設けられた磁性流体シール
部とを有する密封装置について説明したが、磁性流体が
環状部材に接触するように磁性流体シール部を構成して
もよい。

【００８０】すなわち、図３及び図４を用いて説明した
ような磁性流体シール部の磁石を隔壁２の径方向面２ａ
や、動力伝達軸３の外周面３ａに固定させて、磁性流体
を環状部材に接触させる密封構造としてもよい。

【００８１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
壁面の環状部材に対向する径方向面との環状隙間、及び
軸部材の外周面との環状隙間に、それぞれ磁性流体シー
ル部を設けたことにより、摺動部から発生するパーティ
クルが外部に出てしまうようなことがなく磁性流体で留
めることが可能となる。

【００８２】また、磁性流体が磁石に引き付けられるこ
とにより、磁性流体による磁気浮揚力、すなわち、対向
面から浮く方向に力を発生させることができるので、対
向面に対する密封装置の押付力を軽減させることが可能
となり、摺動抵抗の低減、及び摩擦量の低減を図ること
が可能となる。

【００８３】したがって、摺動部分から発生するパーテ
ィクルを低減させることができ、従来のような排気装置
を設ける必要はなくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明の実施の形態１に係る磁性流体を
利用した密封装置を示す模式図である。

【図２】図２は実施の形態１に係る密封装置が適用され
る状態を説明するための模式図である。

【図３】図３は実施の形態１に係る密封装置の磁性流体
シール部の構成を説明するための模式図である。

【図４】図４は実施の形態２に係る密封装置の磁性流体
シール部の構成を説明するための模式図である。

【図５】図５（ａ）は実施の形態２に係る密封装置の磁
性流体シール部の構成を示す図であり、（ｂ）は相対移
動により発生する楔作用を説明するための図である。

【図６】図６は実施の形態３に係る磁性流体を利用した
密封装置を示す模式図である。

【図７】図７は実施の形態４に係る磁性流体を利用した
密封装置を示す模式図である。

【符号の説明】

１，２１，３１ 密封装置 ２ 隔壁 ２ａ 径方向面 ３ 動力伝達軸 ３ａ 外周面 ４ 環状部材 ５，５ａ，５ｂ 磁性流体シール部 ６ 磁石 ７ 磁性流体 ８ａ，８ｂ 環状隙間 １５，１５ａ，１５ｂ 磁性流体シール部 １６ 磁石 １６ａ 固定部 １６ｂ 嵌合部 １７ 磁性流体 １８ 摺動部材 １８ａ 嵌合部 １８ｂ 表面部 ２４ 環状部材 ２４ａ 軸方向部 ２５ 磁性流体シール部 ３４ 環状部材 ３４ａ 軸方向部 ３４ｂ 端部 ３４ｃ 外周側端部 ３５ 磁性流体シール部 Ｄ クリーンルーム Ｅ 装置側

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】軸孔が設けられた壁面と、該壁面の該軸孔
   に挿通される軸部材と、の環状隙間を封止する密封装置
   であって、 前記軸部材の外周側に設けられ、軸方向に投影した場合
   に、前記壁面と重なる領域を有する環状部材と、 前記環状部材に設けられて対向面と環状隙間を形成する
   磁力発生手段と、該磁力発生手段により発生された磁束
   により該環状隙間に保持されて該環状隙間を封止する磁
   性流体と、を有する磁性流体シール部と、 を備え、 前記環状部材は、前記壁面の該環状部材に対向する径方
   向面との環状隙間、及び前記軸部材の外周面との環状隙
   間に、それぞれ前記磁性流体シール部を設けたことを特
   徴とする磁性流体を利用した密封装置。
2. 【請求項２】前記環状部材の内周側端部に、軸方向に延
   出する軸方向部を備え、 前記軸方向部と前記軸部材との環状隙間に、前記磁性流
   体シール部を複数設けたことを特徴とする請求項１に記
   載の磁性流体を利用した密封装置。
3. 【請求項３】前記磁性流体シール部は、前記磁力発生手
   段と前記磁性流体との間に、対向面と摺動自在な摺動部
   材を前記磁力発生手段に固定して設けたことを特徴とす
   る請求項１または２に記載の磁性流体を利用した密封装
   置。
4. 【請求項４】前記摺動部材は、樹脂部材であることを特
   徴とする請求項１，２または３に記載の磁性流体を利用
   した密封装置。
5. 【請求項５】前記軸部材は、前記壁面に対して、回転
   動、軸方向の往復動、及び径方向の往復動のうち少なく
   とも２つの相対運動を行うことを特徴とする請求項１乃
   至４のいずれか１項に記載の磁性流体を利用した密封装
   置。
6. 【請求項６】前記軸部材が、前記壁面に対して相対的に
   径方向の往復運動を行う場合、 前記磁性流体シール部は、少なくとも径方向の相対移動
   距離分、前記環状部材の外周側端部よりも内径側に設け
   られることを特徴とする請求項５に記載の磁性流体を利
   用した密封装置。
7. 【請求項７】前記軸部材が、前記壁面に対して相対的に
   軸方向の往復運動を行う場合、 前記磁性流体シール部は、少なくとも軸方向の相対移動
   距離分、前記環状部材の前記軸方向部の前記壁面側とは
   反対側の端部よりも該壁面側に設けられることを特徴と
   する請求項５または６に記載の磁性流体を利用した密封
   装置。
8. 【請求項８】軸孔が設けられた壁面と、該壁面の該軸孔
   に挿通される軸部材と、の環状隙間を封止する密封構造
   であって、 前記軸部材の外周側に設けられ、軸方向に投影した場合
   に、前記壁面と重なる領域を有する環状部材と、 対向面と環状隙間を形成する磁力発生手段と、該磁力発
   生手段により発生された磁束により該環状隙間に保持さ
   れて該環状隙間を封止する磁性流体と、を有する磁性流
   体シール部と、 を備え、 前記環状部材と前記壁面の該環状部材に対向する径方向
   面との環状隙間、及び、該環状部材と前記軸部材の外周
   面との環状隙間に、それぞれ前記磁性流体シール部を設
   けたことを特徴とする磁性流体を利用した密封構造。