JP2003022414A - バーコードリーダ - Google Patents
バーコードリーダInfo
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06K—GRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
- G06K7/00—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns
- G06K7/10—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns by electromagnetic radiation, e.g. optical sensing; by corpuscular radiation
- G06K7/10544—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns by electromagnetic radiation, e.g. optical sensing; by corpuscular radiation by scanning of the records by radiation in the optical part of the electromagnetic spectrum
- G06K7/10554—Moving beam scanning
- G06K7/10594—Beam path
- G06K7/10603—Basic scanning using moving elements
- G06K7/10633—Basic scanning using moving elements by oscillation
- G06K7/10643—Activating means
- G06K7/10653—Activating means using flexible or piezoelectric means
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 バンドパスフィルタを廃止することができ、
増反射が可能となるバーコードリーダを提供し、バーコ
ードリーダの小型化・軽量化、コストの低減、読み取り
信頼性を向上させる。 【解決手段】 発光素子３３と、この発光素子３３から
出射した光線を反射させ揺動によって光線を走査させる
とともに被照射対象４７に照射した光線の戻り光を反射
させる可動ミラー３７と、この可動ミラー３７によって
反射した戻り光を受光して電気信号に変換する受光素子
４５とを備えたバーコードリーダ３１であって、可動ミ
ラー３７を、ガラス基板と、高屈折率材料及び低屈折率
材料を光学的な厚さでそれぞれ光線の波長λのλ／４ず
つ交互に重ねてガラス基板に積層した誘電体多層膜５７
とにより構成した。
増反射が可能となるバーコードリーダを提供し、バーコ
ードリーダの小型化・軽量化、コストの低減、読み取り
信頼性を向上させる。 【解決手段】 発光素子３３と、この発光素子３３から
出射した光線を反射させ揺動によって光線を走査させる
とともに被照射対象４７に照射した光線の戻り光を反射
させる可動ミラー３７と、この可動ミラー３７によって
反射した戻り光を受光して電気信号に変換する受光素子
４５とを備えたバーコードリーダ３１であって、可動ミ
ラー３７を、ガラス基板と、高屈折率材料及び低屈折率
材料を光学的な厚さでそれぞれ光線の波長λのλ／４ず
つ交互に重ねてガラス基板に積層した誘電体多層膜５７
とにより構成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、発光素子からの光
線を走査させるとともに被照射対象からの戻り光を受光
素子に受光させる可動ミラーを備えたバーコードリーダ
に関し、特に、可動ミラーの機能を高めることでバーコ
ードリーダを小型化、軽量化、安価にする改良技術に関
する。
線を走査させるとともに被照射対象からの戻り光を受光
素子に受光させる可動ミラーを備えたバーコードリーダ
に関し、特に、可動ミラーの機能を高めることでバーコ
ードリーダを小型化、軽量化、安価にする改良技術に関
する。
【０００２】
【従来の技術】近年、店舗や工場等の多くでは、デジタ
ル情報を表すバーコードを物品に付し、これを光学的に
走査して情報を読み取ることで、商品の販売管理や製品
の生産管理等を行っている。一般にこの種のバーコード
は、バーコードに光を照射し、その反射光の強弱を光電
変換することで、その検出信号の組み合わせから情報を
読み取る。
ル情報を表すバーコードを物品に付し、これを光学的に
走査して情報を読み取ることで、商品の販売管理や製品
の生産管理等を行っている。一般にこの種のバーコード
は、バーコードに光を照射し、その反射光の強弱を光電
変換することで、その検出信号の組み合わせから情報を
読み取る。
【０００３】すなわち、図７の概念図に示すように、発
光素子１からの光を発光レンズ３で絞り、この光をスキ
ャンミラー（可動ミラー）５のミラー７で反射し、被照
射対象であるバーコード９に照射する。バーコード９の
全域に亘って光を照射する為、ミラー７を揺動させる。
揺動は、ミラー７に取り付けたマグネット１１を駆動コ
イル１３内に嵌挿し、駆動コイル１３に例えば一定周期
で正負の電流を流すことで、駆動コイル１３に対しマグ
ネット１１を吸着・反発させ、揺動支点１５を支軸にし
てミラー７を揺動させる。
光素子１からの光を発光レンズ３で絞り、この光をスキ
ャンミラー（可動ミラー）５のミラー７で反射し、被照
射対象であるバーコード９に照射する。バーコード９の
全域に亘って光を照射する為、ミラー７を揺動させる。
揺動は、ミラー７に取り付けたマグネット１１を駆動コ
イル１３内に嵌挿し、駆動コイル１３に例えば一定周期
で正負の電流を流すことで、駆動コイル１３に対しマグ
ネット１１を吸着・反発させ、揺動支点１５を支軸にし
てミラー７を揺動させる。
【０００４】一方、バーコード９面に照射した光は、乱
反射しながらもバーコードの白黒による光量変化をもっ
て再びミラー７に戻り、そこで反射された光は集光レン
ズ１７により集光され、受光素子１９により光量変化を
電気的に変換して出力する。そして、読み取り精度向上
のため、受光素子１９の前面にはバンドパスフィルタ
（ＢＰＦ）２１を設けて発光光周波数以外の不要な光の
採光を防止している。
反射しながらもバーコードの白黒による光量変化をもっ
て再びミラー７に戻り、そこで反射された光は集光レン
ズ１７により集光され、受光素子１９により光量変化を
電気的に変換して出力する。そして、読み取り精度向上
のため、受光素子１９の前面にはバンドパスフィルタ
（ＢＰＦ）２１を設けて発光光周波数以外の不要な光の
採光を防止している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記した可動ミラーを
揺動させることでバーコードの読み取りを行う従来のバ
ーコードリーダは、その可動ミラーとして、一般的にガ
ラス基板にアルミなどの金属反射膜を蒸着したものを用
いていた。この種の可動ミラーを用いたバーコードリー
ダでは、バーコードからの戻り光の他に周辺の例えば室
内照明からの光や太陽光などの外光（外乱光）も戻り光
と一緒に受光してしまう。戻り光以外の外乱光は、ノイ
ズとなり、そのレベルによっては全体の受信光からバー
コードからの戻り光の抽出を困難にして、読み取り精度
を低下させる。そこで、従来のバーコードリーダは、受
光素子の受光側に図７に示したバンドパスフィルタ２１
を設けてノイズとなる外乱光を遮断して必要な波長の光
のみを通過させたり、或いはバーコード走査のために揺
動させる可動ミラーを戻り光の受光用にも使用すること
で照射した瞬間のミラー角度のみでの戻り光を受光する
ようにして、可能な限り外乱光のレベルを下げる対策を
採っていた。しかしながら、バンドパスフィルタを光路
内に設ければ、そのためのスペースを確保しなければな
らず、光路長に制約が生じ小型化の妨げになった。ま
た、専用の機能部品であるバンドパスフィルタを独立し
て設ければ、部材コスト、組立コストが増大した。さら
に、バンドパスフィルタは、不要な波長の光を遮断し、
必要な波長の光を通過させるのみの機能のため、必要な
波長の光を強める所謂、増反射の機能はなく、バーコー
ド読み取りの信頼性を積極的に向上させることはできな
かった。また、ミラー基材にガラス基板を用いた可動ミ
ラーは、薄厚（軽量）とした場合、特殊なガラス材が必
要で高価になるとともに、反射膜の収縮による影響で、
平坦度が得難く、しかも、強度低下が著しい（割れ易
い）問題があった。本発明は上記状況に鑑みてなされた
もので、バンドパスフィルタを廃止することができ、し
かも、増反射が可能となるバーコードリーダを提供し、
もって、小型化・軽量化、コストの低減、バーコード読
み取り信頼性の向上を図ることを目的とする。
揺動させることでバーコードの読み取りを行う従来のバ
ーコードリーダは、その可動ミラーとして、一般的にガ
ラス基板にアルミなどの金属反射膜を蒸着したものを用
いていた。この種の可動ミラーを用いたバーコードリー
ダでは、バーコードからの戻り光の他に周辺の例えば室
内照明からの光や太陽光などの外光（外乱光）も戻り光
と一緒に受光してしまう。戻り光以外の外乱光は、ノイ
ズとなり、そのレベルによっては全体の受信光からバー
コードからの戻り光の抽出を困難にして、読み取り精度
を低下させる。そこで、従来のバーコードリーダは、受
光素子の受光側に図７に示したバンドパスフィルタ２１
を設けてノイズとなる外乱光を遮断して必要な波長の光
のみを通過させたり、或いはバーコード走査のために揺
動させる可動ミラーを戻り光の受光用にも使用すること
で照射した瞬間のミラー角度のみでの戻り光を受光する
ようにして、可能な限り外乱光のレベルを下げる対策を
採っていた。しかしながら、バンドパスフィルタを光路
内に設ければ、そのためのスペースを確保しなければな
らず、光路長に制約が生じ小型化の妨げになった。ま
た、専用の機能部品であるバンドパスフィルタを独立し
て設ければ、部材コスト、組立コストが増大した。さら
に、バンドパスフィルタは、不要な波長の光を遮断し、
必要な波長の光を通過させるのみの機能のため、必要な
波長の光を強める所謂、増反射の機能はなく、バーコー
ド読み取りの信頼性を積極的に向上させることはできな
かった。また、ミラー基材にガラス基板を用いた可動ミ
ラーは、薄厚（軽量）とした場合、特殊なガラス材が必
要で高価になるとともに、反射膜の収縮による影響で、
平坦度が得難く、しかも、強度低下が著しい（割れ易
い）問題があった。本発明は上記状況に鑑みてなされた
もので、バンドパスフィルタを廃止することができ、し
かも、増反射が可能となるバーコードリーダを提供し、
もって、小型化・軽量化、コストの低減、バーコード読
み取り信頼性の向上を図ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係る請求項１記載のバーコードリーダは、発
光素子と、該発光素子から出射した光線を反射させ揺動
によって該光線を走査させるとともに被照射対象に照射
した該光線の戻り光を反射させる可動ミラーと、該可動
ミラーによって反射した前記戻り光を受光して電気信号
に変換する受光素子とを備えたバーコードリーダであっ
て、前記可動ミラーが、ガラス基板と、高屈折率材料及
び低屈折率材料を光学的な厚さでそれぞれ前記光線の波
長λのλ／４ずつ交互に重ねて該ガラス基板に積層した
誘電体多層膜とを有することを特徴とする。
の本発明に係る請求項１記載のバーコードリーダは、発
光素子と、該発光素子から出射した光線を反射させ揺動
によって該光線を走査させるとともに被照射対象に照射
した該光線の戻り光を反射させる可動ミラーと、該可動
ミラーによって反射した前記戻り光を受光して電気信号
に変換する受光素子とを備えたバーコードリーダであっ
て、前記可動ミラーが、ガラス基板と、高屈折率材料及
び低屈折率材料を光学的な厚さでそれぞれ前記光線の波
長λのλ／４ずつ交互に重ねて該ガラス基板に積層した
誘電体多層膜とを有することを特徴とする。
【０００７】このバーコードリーダでは、可動ミラー
が、ガラス基板と、このガラス基板に積層した誘電体多
層膜とを有するので、発光素子から出射した光線の戻り
光を、誘電体多層膜における高屈折率材料と低屈折率材
料との全ての境界で反射させ、且つ同相で強め合い高反
射率を得ることができる。つまり、発光素子の出射光の
みを強めて高反射率で反射させる一方、それ以外の光
（外乱光）を反射し難くする（透過する）。これによ
り、従来、所望の波長域のみの光を透過させるために用
いていたバンドパスフィルタが不要になり、その分バー
コードリーダの小型化、軽量化、低コスト化が可能にな
る。また、従来の金属反射膜に比較して高い反射率を得
ることができ、受光素子に低感度で安価なものを採用し
てコストの削減が可能になる一方、従来と同じ感度の受
光素子を使用すれば受光感度の向上が可能となる。さら
に、所望波長域の光のみを積極的に増反射するので、従
来以上に外乱光の影響を受け難くでき、バーコード読み
取りの信頼性が向上する。
が、ガラス基板と、このガラス基板に積層した誘電体多
層膜とを有するので、発光素子から出射した光線の戻り
光を、誘電体多層膜における高屈折率材料と低屈折率材
料との全ての境界で反射させ、且つ同相で強め合い高反
射率を得ることができる。つまり、発光素子の出射光の
みを強めて高反射率で反射させる一方、それ以外の光
（外乱光）を反射し難くする（透過する）。これによ
り、従来、所望の波長域のみの光を透過させるために用
いていたバンドパスフィルタが不要になり、その分バー
コードリーダの小型化、軽量化、低コスト化が可能にな
る。また、従来の金属反射膜に比較して高い反射率を得
ることができ、受光素子に低感度で安価なものを採用し
てコストの削減が可能になる一方、従来と同じ感度の受
光素子を使用すれば受光感度の向上が可能となる。さら
に、所望波長域の光のみを積極的に増反射するので、従
来以上に外乱光の影響を受け難くでき、バーコード読み
取りの信頼性が向上する。
【０００８】請求項２記載のバーコードリーダは、発光
素子と、該発光素子から出射した光線を反射させ揺動に
よって該光線を走査させるとともに被照射対象に照射し
た該光線の戻り光を反射させる可動ミラーと、該可動ミ
ラーによって反射した前記戻り光を受光して電気信号に
変換する受光素子とを備えたバーコードリーダであっ
て、前記可動ミラーが、シリコン基板と、該シリコン基
板に蒸着した金属反射膜とを有することを特徴とする。
素子と、該発光素子から出射した光線を反射させ揺動に
よって該光線を走査させるとともに被照射対象に照射し
た該光線の戻り光を反射させる可動ミラーと、該可動ミ
ラーによって反射した前記戻り光を受光して電気信号に
変換する受光素子とを備えたバーコードリーダであっ
て、前記可動ミラーが、シリコン基板と、該シリコン基
板に蒸着した金属反射膜とを有することを特徴とする。
【０００９】このバーコードリーダでは、可動ミラー
が、シリコン基板と、このシリコン基板に蒸着した金属
反射膜とを有するので、ガラスを使用した場合に比較し
てミラー基材を軽量・高強度にできる。すなわち、シリ
コンは、一般的に使用されるクラウンガラスに比較して
密度が小さく軽い。また、シリコンは、ガラスと比較し
て強度（ヤング率）が高く、同じ強度なら厚みを薄くす
ることが可能となる。したがって、ミラー基材にシリコ
ンを使用した可動ミラーは、軽量化が可能になり、駆動
のための消費電力を小さくでき、小型の駆動手段を実現
可能にしてバーコードリーダの小型化・軽量化が可能に
なる。そして、可動ミラーが軽量となることで、高速駆
動が可能となり、高応答性を得ることができる。また、
ミラー基材が高強度となるので、耐衝撃性も高めること
ができる。さらに、シリコン製ミラー基材は、既存設備
を用いて、ウェーハ状態で研削を行い、厚さ調整が容易
に行えるので、平坦且つ薄厚の特殊ガラスを使用しなけ
ればならないガラス製ミラー基材に比較して、容易且つ
安価に得ることができる。
が、シリコン基板と、このシリコン基板に蒸着した金属
反射膜とを有するので、ガラスを使用した場合に比較し
てミラー基材を軽量・高強度にできる。すなわち、シリ
コンは、一般的に使用されるクラウンガラスに比較して
密度が小さく軽い。また、シリコンは、ガラスと比較し
て強度（ヤング率）が高く、同じ強度なら厚みを薄くす
ることが可能となる。したがって、ミラー基材にシリコ
ンを使用した可動ミラーは、軽量化が可能になり、駆動
のための消費電力を小さくでき、小型の駆動手段を実現
可能にしてバーコードリーダの小型化・軽量化が可能に
なる。そして、可動ミラーが軽量となることで、高速駆
動が可能となり、高応答性を得ることができる。また、
ミラー基材が高強度となるので、耐衝撃性も高めること
ができる。さらに、シリコン製ミラー基材は、既存設備
を用いて、ウェーハ状態で研削を行い、厚さ調整が容易
に行えるので、平坦且つ薄厚の特殊ガラスを使用しなけ
ればならないガラス製ミラー基材に比較して、容易且つ
安価に得ることができる。
【００１０】請求項３記載のバーコードリーダは、発光
素子と、該発光素子から出射した光線を反射させ揺動に
よって該光線を走査させるとともに被照射対象に照射し
た該光線の戻り光を反射させる可動ミラーと、該可動ミ
ラーによって反射した前記戻り光を受光して電気信号に
変換する受光素子とを備えたバーコードリーダであっ
て、前記可動ミラーが、シリコン基板と、高屈折率材料
及び低屈折率材料を光学的な厚さでそれぞれ前記光線の
波長λのλ／４ずつ交互に重ねて該シリコン基板に積層
した誘電体多層膜とを有することを特徴とする。
素子と、該発光素子から出射した光線を反射させ揺動に
よって該光線を走査させるとともに被照射対象に照射し
た該光線の戻り光を反射させる可動ミラーと、該可動ミ
ラーによって反射した前記戻り光を受光して電気信号に
変換する受光素子とを備えたバーコードリーダであっ
て、前記可動ミラーが、シリコン基板と、高屈折率材料
及び低屈折率材料を光学的な厚さでそれぞれ前記光線の
波長λのλ／４ずつ交互に重ねて該シリコン基板に積層
した誘電体多層膜とを有することを特徴とする。
【００１１】このバーコードリーダでは、可動ミラー
が、シリコン基板と、このシリコン基板に積層した誘電
体多層膜とを有するので、請求項１に記載の構成により
得られる作用と同様の作用を得ることができる。すなわ
ち、高反射率を得ることができ、バーコードリーダの小
型化、軽量化、低コスト化が可能になる。また、受光素
子に低感度で安価なものを採用してコストの削減が可能
になる一方、従来と同じ感度の受光素子を使用すれば受
光感度の向上が可能となる。さらに、所望波長域の光の
みを積極的に増反射するので、従来以上に外乱光の影響
を受け難くでき、バーコード読み取りの信頼性が向上す
る。また、ミラー基材にシリコンを用いるので、請求項
２に記載の構成により得られる作用と同様の作用を得る
ことができる。すなわち、ガラスを使用した場合に比較
して軽量・高強度にできる。また、ミラー基材にシリコ
ンを使用した可動ミラーは、軽量化が可能になり、駆動
のための消費電力を小さくでき、小型の駆動手段を実現
可能にしてバーコードリーダの小型化・軽量化が可能に
なる。そして、可動ミラーが軽量となることで、高速駆
動が可能となり、高応答性を得ることができる。また、
ミラー基材が高強度となるので、耐衝撃性も高めること
ができる。さらに、シリコン製ミラー基材は、既存設備
を用いて厚さ調整が容易に行えるので、特殊ガラスを使
用しなければならないガラス製ミラー基材に比較して、
容易且つ安価に得ることができる。以上の作用に加え
て、このバーコードリーダでは、さらに次の作用を有す
る。すなわち、ガラスがミラー基材である場合、反射膜
がアルミ膜などのように光を透過し難いものであればさ
ほど問題とならないが、誘電体多層膜などの反射膜を用
いた場合には反射されない光が誘電体多層膜を透過して
ミラー基材であるガラス内に入り、ガラス裏面に反射し
て不要な光となり、信号光に対するノイズとなる場合が
ある。これに対し、シリコンをミラー基材とした場合に
は、ガラス基板に比較して光が透過し難いため、ガラス
基板で発生するような不要な光が発生しなくなる。これ
により、可動ミラーにおけるノイズをも低減させて、バ
ーコード読み取りの信頼性が大幅に向上する。
が、シリコン基板と、このシリコン基板に積層した誘電
体多層膜とを有するので、請求項１に記載の構成により
得られる作用と同様の作用を得ることができる。すなわ
ち、高反射率を得ることができ、バーコードリーダの小
型化、軽量化、低コスト化が可能になる。また、受光素
子に低感度で安価なものを採用してコストの削減が可能
になる一方、従来と同じ感度の受光素子を使用すれば受
光感度の向上が可能となる。さらに、所望波長域の光の
みを積極的に増反射するので、従来以上に外乱光の影響
を受け難くでき、バーコード読み取りの信頼性が向上す
る。また、ミラー基材にシリコンを用いるので、請求項
２に記載の構成により得られる作用と同様の作用を得る
ことができる。すなわち、ガラスを使用した場合に比較
して軽量・高強度にできる。また、ミラー基材にシリコ
ンを使用した可動ミラーは、軽量化が可能になり、駆動
のための消費電力を小さくでき、小型の駆動手段を実現
可能にしてバーコードリーダの小型化・軽量化が可能に
なる。そして、可動ミラーが軽量となることで、高速駆
動が可能となり、高応答性を得ることができる。また、
ミラー基材が高強度となるので、耐衝撃性も高めること
ができる。さらに、シリコン製ミラー基材は、既存設備
を用いて厚さ調整が容易に行えるので、特殊ガラスを使
用しなければならないガラス製ミラー基材に比較して、
容易且つ安価に得ることができる。以上の作用に加え
て、このバーコードリーダでは、さらに次の作用を有す
る。すなわち、ガラスがミラー基材である場合、反射膜
がアルミ膜などのように光を透過し難いものであればさ
ほど問題とならないが、誘電体多層膜などの反射膜を用
いた場合には反射されない光が誘電体多層膜を透過して
ミラー基材であるガラス内に入り、ガラス裏面に反射し
て不要な光となり、信号光に対するノイズとなる場合が
ある。これに対し、シリコンをミラー基材とした場合に
は、ガラス基板に比較して光が透過し難いため、ガラス
基板で発生するような不要な光が発生しなくなる。これ
により、可動ミラーにおけるノイズをも低減させて、バ
ーコード読み取りの信頼性が大幅に向上する。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るバーコードリ
ーダの好適な実施の形態を図面を参照して詳細に説明す
る。図１は本発明に係るバーコードリーダの第一の実施
の形態の概念図、図２は可動ミラーの要部断面図、図３
は干渉による反射原理説明図、図４は本発明に用いられ
る可動ミラーの波長帯域別透過率のグラフである。
ーダの好適な実施の形態を図面を参照して詳細に説明す
る。図１は本発明に係るバーコードリーダの第一の実施
の形態の概念図、図２は可動ミラーの要部断面図、図３
は干渉による反射原理説明図、図４は本発明に用いられ
る可動ミラーの波長帯域別透過率のグラフである。
【００１３】本実施の形態によるバーコードリーダ３１
は、発光素子３３と、発光レンズ３５と、可動ミラー３
７と、マグネット３９と、駆動コイル４１と、集光レン
ズ４３と、受光素子４５とを主要部として有している。
は、発光素子３３と、発光レンズ３５と、可動ミラー３
７と、マグネット３９と、駆動コイル４１と、集光レン
ズ４３と、受光素子４５とを主要部として有している。
【００１４】バーコードリーダ３１は、発光素子３３か
らの光を発光レンズ３５で絞り、この光を可動ミラー３
７のミラー３７ａで反射し、被照射対象であるバーコー
ド４７に照射する。バーコード４７の全域に亘って光を
照射する為、ミラー３７ａを揺動させる。揺動は、ミラ
ー３７ａに取り付けたマグネット３９を駆動コイル４１
内に嵌挿し、駆動コイル４１に例えば一定周期で正負の
電流を流すことで、駆動コイル４１に対しマグネット３
９を吸着・反発させ、揺動支点４９を支軸にしてミラー
３７ａを揺動させる。
らの光を発光レンズ３５で絞り、この光を可動ミラー３
７のミラー３７ａで反射し、被照射対象であるバーコー
ド４７に照射する。バーコード４７の全域に亘って光を
照射する為、ミラー３７ａを揺動させる。揺動は、ミラ
ー３７ａに取り付けたマグネット３９を駆動コイル４１
内に嵌挿し、駆動コイル４１に例えば一定周期で正負の
電流を流すことで、駆動コイル４１に対しマグネット３
９を吸着・反発させ、揺動支点４９を支軸にしてミラー
３７ａを揺動させる。
【００１５】一方、バーコード４７面に照射した光は、
乱反射しながらもバーコードの白黒による光量変化をも
って再びミラー３７ａに戻り、そこで反射された光は集
光レンズ４３により集光され、受光素子４５により光量
変化を電気的に変換して出力する。
乱反射しながらもバーコードの白黒による光量変化をも
って再びミラー３７ａに戻り、そこで反射された光は集
光レンズ４３により集光され、受光素子４５により光量
変化を電気的に変換して出力する。
【００１６】このように動作するバーコードリーダ３１
において、可動ミラー３７のミラー３７ａは、図２に示
すように、ガラス基板５１と、高屈折率材料５３及び低
屈折率材料５５を光学的な厚さでそれぞれ出射光線Ｌｂ
の波長λのλ／４ずつ交互に重ねてガラス基板５１に積
層した誘電体多層膜５７とからなっている。なお、図示
した誘電体多層膜５７の層数は例示であり、層数は反射
率（透過率）によって適宜調整されるものである。
において、可動ミラー３７のミラー３７ａは、図２に示
すように、ガラス基板５１と、高屈折率材料５３及び低
屈折率材料５５を光学的な厚さでそれぞれ出射光線Ｌｂ
の波長λのλ／４ずつ交互に重ねてガラス基板５１に積
層した誘電体多層膜５７とからなっている。なお、図示
した誘電体多層膜５７の層数は例示であり、層数は反射
率（透過率）によって適宜調整されるものである。
【００１７】高屈折率材料５３としては、ＴｉＯ2、Ｚ
ｒＯ2、ＺｎＳなどを用いることができ、低屈折率材料
５５としては、ＳｉＯ2、ＴｈＦ4などを用いることがで
きる。本実施の形態では、高屈折率材料５３に酸化チタ
ン（ＴｉＯ2）、低屈折率材料５５に酸化ケイ素（Ｓｉ
Ｏ2）を用いて交互に（約０．１６２５μｍの膜厚で）
蒸着させ、使用する発光素子３３の出力波長（本実施の
形態では６５０ｎｍ）に合わせ、積層する総膜厚を調整
（本実施の形態では２μｍ）した誘電体多層膜５７を、
ガラス基板５１（本実施の形態では厚さ０．５ｍｍ）に
形成している。
ｒＯ2、ＺｎＳなどを用いることができ、低屈折率材料
５５としては、ＳｉＯ2、ＴｈＦ4などを用いることがで
きる。本実施の形態では、高屈折率材料５３に酸化チタ
ン（ＴｉＯ2）、低屈折率材料５５に酸化ケイ素（Ｓｉ
Ｏ2）を用いて交互に（約０．１６２５μｍの膜厚で）
蒸着させ、使用する発光素子３３の出力波長（本実施の
形態では６５０ｎｍ）に合わせ、積層する総膜厚を調整
（本実施の形態では２μｍ）した誘電体多層膜５７を、
ガラス基板５１（本実施の形態では厚さ０．５ｍｍ）に
形成している。
【００１８】誘電体多層膜５７は、光の干渉を利用して
高反射率を得る。すなわち、図２に示すように、空気の
屈折率ｎ０＝１、誘電体膜の屈折率ｎ１、ガラス基板の
屈折率ｎ２とした場合、ｎ０＜ｎ１＞ｎ２の関係となっ
ている。したがって、波長λの光Ｌ１のうち誘電体膜の
表面で反射した光Ｌｒ１は、１８０度位相が反転する。
また、誘電体膜とガラス基板との境界で反射した光Ｌｒ
２は、１／４λを往復することにより１／２λ位相とな
って、誘電体膜の表面から出射する。この光Ｌｒ１と光
Ｌｒ２とが強調し合うことで、高反射率が得られる。し
たがって、誘電体多層膜５７では、全ての境界面で反射
する光は同相で強め合い高反射率が得られる。なお、誘
電体多層膜５７は、中心波長を層の厚さで、反射率（透
過率）を層数で制御することができる。
高反射率を得る。すなわち、図２に示すように、空気の
屈折率ｎ０＝１、誘電体膜の屈折率ｎ１、ガラス基板の
屈折率ｎ２とした場合、ｎ０＜ｎ１＞ｎ２の関係となっ
ている。したがって、波長λの光Ｌ１のうち誘電体膜の
表面で反射した光Ｌｒ１は、１８０度位相が反転する。
また、誘電体膜とガラス基板との境界で反射した光Ｌｒ
２は、１／４λを往復することにより１／２λ位相とな
って、誘電体膜の表面から出射する。この光Ｌｒ１と光
Ｌｒ２とが強調し合うことで、高反射率が得られる。し
たがって、誘電体多層膜５７では、全ての境界面で反射
する光は同相で強め合い高反射率が得られる。なお、誘
電体多層膜５７は、中心波長を層の厚さで、反射率（透
過率）を層数で制御することができる。
【００１９】図４に示すように、試作した誘電体多層膜
５７の場合、６５０ｎｍを中心波長とする帯域のみをよ
く反射することが分かる。なお、図３の縦軸は、透過率
（ｔｒａｎｓｍｉｔｔａｎｃｅ）で単位は［％］、横軸
は波長で単位は［ｎｍ］であり、６５０ｎｍ付近が透過
阻止帯、すなわち、高反射帯となっている。誘電体多層
膜５７は、このように反射率に優れ、従来のアルミに増
反射膜を施した反射率（約９６．５％）より高い反射率
（９８．５％以上）を得ることができる。
５７の場合、６５０ｎｍを中心波長とする帯域のみをよ
く反射することが分かる。なお、図３の縦軸は、透過率
（ｔｒａｎｓｍｉｔｔａｎｃｅ）で単位は［％］、横軸
は波長で単位は［ｎｍ］であり、６５０ｎｍ付近が透過
阻止帯、すなわち、高反射帯となっている。誘電体多層
膜５７は、このように反射率に優れ、従来のアルミに増
反射膜を施した反射率（約９６．５％）より高い反射率
（９８．５％以上）を得ることができる。
【００２０】したがって、ガラス基板５１と誘電体多層
膜５７とからなる可動ミラー３７を使用することによ
り、効率のよい反射が可能となり、しかも所望の波長以
外の光を遮断できるので、バンドパスフィルタを不要に
することができる。
膜５７とからなる可動ミラー３７を使用することによ
り、効率のよい反射が可能となり、しかも所望の波長以
外の光を遮断できるので、バンドパスフィルタを不要に
することができる。
【００２１】このバーコードリーダ３１によれば、可動
ミラー３７を、ガラス基板５１と誘電体多層膜５７とに
より構成したので、発光素子３３から出射した光線の戻
り光Ｌ１を、誘電体多層膜５７における高屈折率材料５
３と低屈折率材料５５との全ての境界で反射させ、且つ
同相で強め合い高反射率を得ることができる。したがっ
て、発光素子３３の出射光のみを強めて高反射率で反射
させる一方、それ以外の光（外乱光）を反射し難くする
（透過する）。これにより、従来、所望の波長域のみの
光を透過させるために用いていたバンドパスフィルタが
不要になり、その分バーコードリーダ３１の小型化、軽
量化、低コスト化を達成することができる。また、金属
反射膜に比較して高い反射率を得ることができるので、
受光素子４５に低感度で安価なものを採用してコストの
削減が可能になる一方、従来と同じ感度の受光素子４５
を使用すれば受光感度を向上させることができる。さら
に、所望波長域の光のみを積極的に増反射するので、従
来以上に外乱光の影響を受け難くでき、バーコード読み
取りの信頼性を向上させることができる。
ミラー３７を、ガラス基板５１と誘電体多層膜５７とに
より構成したので、発光素子３３から出射した光線の戻
り光Ｌ１を、誘電体多層膜５７における高屈折率材料５
３と低屈折率材料５５との全ての境界で反射させ、且つ
同相で強め合い高反射率を得ることができる。したがっ
て、発光素子３３の出射光のみを強めて高反射率で反射
させる一方、それ以外の光（外乱光）を反射し難くする
（透過する）。これにより、従来、所望の波長域のみの
光を透過させるために用いていたバンドパスフィルタが
不要になり、その分バーコードリーダ３１の小型化、軽
量化、低コスト化を達成することができる。また、金属
反射膜に比較して高い反射率を得ることができるので、
受光素子４５に低感度で安価なものを採用してコストの
削減が可能になる一方、従来と同じ感度の受光素子４５
を使用すれば受光感度を向上させることができる。さら
に、所望波長域の光のみを積極的に増反射するので、従
来以上に外乱光の影響を受け難くでき、バーコード読み
取りの信頼性を向上させることができる。
【００２２】次に、本発明に係るバーコードリーダの第
二の実施の形態を説明する。図５は本発明に係るバーコ
ードリーダの第二の実施の形態に用いる可動ミラーの要
部断面図である。この実施の形態によるバーコードリー
ダは、可動ミラーのミラー６１を、図５に示すように、
シリコン基板６３と、このシリコン基板６３に蒸着した
金属反射膜（アルミ蒸着反射膜）６５とにより構成して
いる。従来より一般的に使用されているクラウンガラス
（ＢＫ７相当品）の密度は２．５５ｇ／ｃｍ3であるの
に対し、シリコンの密度は２．３３ｇ／ｃｍ3と小さ
い。すなわち、同サイズのミラーであれば、シリコン基
板６３を用いることにより、軽量化が可能となり、可動
ミラー駆動用アクチュエータの消費電力を小さくするこ
とができる。
二の実施の形態を説明する。図５は本発明に係るバーコ
ードリーダの第二の実施の形態に用いる可動ミラーの要
部断面図である。この実施の形態によるバーコードリー
ダは、可動ミラーのミラー６１を、図５に示すように、
シリコン基板６３と、このシリコン基板６３に蒸着した
金属反射膜（アルミ蒸着反射膜）６５とにより構成して
いる。従来より一般的に使用されているクラウンガラス
（ＢＫ７相当品）の密度は２．５５ｇ／ｃｍ3であるの
に対し、シリコンの密度は２．３３ｇ／ｃｍ3と小さ
い。すなわち、同サイズのミラーであれば、シリコン基
板６３を用いることにより、軽量化が可能となり、可動
ミラー駆動用アクチュエータの消費電力を小さくするこ
とができる。
【００２３】また、従来より一般に使用されるクラウン
ガラスの強度（ヤング率）は、７１．５ＫＮ／ｍｍ2で
あるのに対し、シリコンの強度（ヤング率）は、１９０
ＫＮ／ｍｍ2である。したがって、シリコンは、ガラス
と比較して強度も高く、同じ強度であれば、厚みを薄く
することが可能になる。
ガラスの強度（ヤング率）は、７１．５ＫＮ／ｍｍ2で
あるのに対し、シリコンの強度（ヤング率）は、１９０
ＫＮ／ｍｍ2である。したがって、シリコンは、ガラス
と比較して強度も高く、同じ強度であれば、厚みを薄く
することが可能になる。
【００２４】ここで、ガラスと、シリコンとをミラー基
材に使用し、各種の鏡面処理を施したミラーサンプルに
おいて、平坦度を調べた結果を表１を参照して説明す
る。なお、各ミラーサンプルの寸法は、６ｍｍ×９ｍｍ
とした。鏡面処理は、アルミ増反射膜、誘電体多層膜と
した。平坦度は、Ｐ−Ｖ値により評価した。
材に使用し、各種の鏡面処理を施したミラーサンプルに
おいて、平坦度を調べた結果を表１を参照して説明す
る。なお、各ミラーサンプルの寸法は、６ｍｍ×９ｍｍ
とした。鏡面処理は、アルミ増反射膜、誘電体多層膜と
した。平坦度は、Ｐ−Ｖ値により評価した。
【００２５】
【表１】
【００２６】ミラーサンプルは、一般的にＰ−Ｖ値が小
さいほど平坦となる。また、薄いもの程変形が大きい傾
向にある。本実施例において、収縮強度の高いアルミ膜
を反射面としたサンプルでは、ミラー基材にガラスとシ
リコンとを用いたもので差異は生じなかったが、誘電体
膜を反射面としたサンプルでは、ミラー基材にシリコン
を用いたものが、ガラスを用いたものに比較して変形の
小さいことが知見できた。つまり、反射面を誘電体膜と
することにより、ミラー基材にシリコンを用いることに
よる効果が顕著に発揮されることが分かった。
さいほど平坦となる。また、薄いもの程変形が大きい傾
向にある。本実施例において、収縮強度の高いアルミ膜
を反射面としたサンプルでは、ミラー基材にガラスとシ
リコンとを用いたもので差異は生じなかったが、誘電体
膜を反射面としたサンプルでは、ミラー基材にシリコン
を用いたものが、ガラスを用いたものに比較して変形の
小さいことが知見できた。つまり、反射面を誘電体膜と
することにより、ミラー基材にシリコンを用いることに
よる効果が顕著に発揮されることが分かった。
【００２７】このバーコードリーダによれば、可動ミラ
ーを、シリコン基板６３と、このシリコン基板６３に蒸
着した金属反射膜６５とにより構成したので、ミラー基
材に、ガラスを使用した場合に比較して軽量・高強度に
できる。したがって、ミラー基材にシリコンを使用した
可動ミラーは、軽量化が可能になり、駆動のための消費
電力を小さくでき、小型の駆動手段を実現可能にしてバ
ーコードリーダの小型化・軽量化が可能になる。そし
て、可動ミラーが軽量となることで、高速駆動が可能と
なり、高応答性を得ることができる。また、ミラー基材
が高強度となるので、耐衝撃性も高めることができる。
さらに、シリコン製ミラー基材は、既存設備を用いて、
ウェーハ状態で研削を行い、厚さ調整が容易に行えるの
で、平坦且つ薄厚の特殊ガラスを使用しなければならな
いガラス製ミラー基材に比較して、容易且つ安価に得る
ことができる。
ーを、シリコン基板６３と、このシリコン基板６３に蒸
着した金属反射膜６５とにより構成したので、ミラー基
材に、ガラスを使用した場合に比較して軽量・高強度に
できる。したがって、ミラー基材にシリコンを使用した
可動ミラーは、軽量化が可能になり、駆動のための消費
電力を小さくでき、小型の駆動手段を実現可能にしてバ
ーコードリーダの小型化・軽量化が可能になる。そし
て、可動ミラーが軽量となることで、高速駆動が可能と
なり、高応答性を得ることができる。また、ミラー基材
が高強度となるので、耐衝撃性も高めることができる。
さらに、シリコン製ミラー基材は、既存設備を用いて、
ウェーハ状態で研削を行い、厚さ調整が容易に行えるの
で、平坦且つ薄厚の特殊ガラスを使用しなければならな
いガラス製ミラー基材に比較して、容易且つ安価に得る
ことができる。
【００２８】次に、本発明に係るバーコードリーダの第
三の実施の形態を説明する。図６は本発明に係るバーコ
ードリーダの第三の実施の形態に用いる可動ミラーの要
部断面図である。なお、図２に示した部材と同一の部材
には同一の符号を付し、重複する説明は省略するものと
する。この実施の形態によるバーコードリーダは、可動
ミラーのミラー７１を、図６に示すように、シリコン基
板６３と、このシリコン基板６３に蒸着した誘電体多層
膜５７とにより構成している。
三の実施の形態を説明する。図６は本発明に係るバーコ
ードリーダの第三の実施の形態に用いる可動ミラーの要
部断面図である。なお、図２に示した部材と同一の部材
には同一の符号を付し、重複する説明は省略するものと
する。この実施の形態によるバーコードリーダは、可動
ミラーのミラー７１を、図６に示すように、シリコン基
板６３と、このシリコン基板６３に蒸着した誘電体多層
膜５７とにより構成している。
【００２９】このバーコードリーダによれば、誘電体多
層膜５７を設けたことにより、高反射率を得ることがで
き、小型化、軽量化、低コスト化が可能になる。また、
受光素子４５に低感度で安価なものを採用してコストの
削減が可能になる一方、従来と同じ感度の受光素子４５
を使用すれば受光感度の向上が可能となる。さらに、所
望波長域の光のみを積極的に増反射するので、従来以上
に外乱光の影響を受け難くでき、バーコード読み取りの
信頼性が向上する。また、ミラー基材にシリコンを用い
るので、ガラスを使用した場合に比較して軽量・高強度
にできる。また、軽量化が可能になり、駆動のための消
費電力を小さくでき、小型の駆動手段を実現可能にして
バーコードリーダの小型化・軽量化が可能になる。そし
て、可動ミラーが軽量となることで、高速駆動が可能と
なり、高応答性を得ることができる。また、ミラー基材
が高強度となるので、耐衝撃性も高めることができる。
さらに、シリコン製ミラー基材は、既存設備を用いて厚
さ調整が容易に行えるので、特殊ガラスを使用しなけれ
ばならないガラス製ミラー基材に比較して、容易且つ安
価に得ることができる。
層膜５７を設けたことにより、高反射率を得ることがで
き、小型化、軽量化、低コスト化が可能になる。また、
受光素子４５に低感度で安価なものを採用してコストの
削減が可能になる一方、従来と同じ感度の受光素子４５
を使用すれば受光感度の向上が可能となる。さらに、所
望波長域の光のみを積極的に増反射するので、従来以上
に外乱光の影響を受け難くでき、バーコード読み取りの
信頼性が向上する。また、ミラー基材にシリコンを用い
るので、ガラスを使用した場合に比較して軽量・高強度
にできる。また、軽量化が可能になり、駆動のための消
費電力を小さくでき、小型の駆動手段を実現可能にして
バーコードリーダの小型化・軽量化が可能になる。そし
て、可動ミラーが軽量となることで、高速駆動が可能と
なり、高応答性を得ることができる。また、ミラー基材
が高強度となるので、耐衝撃性も高めることができる。
さらに、シリコン製ミラー基材は、既存設備を用いて厚
さ調整が容易に行えるので、特殊ガラスを使用しなけれ
ばならないガラス製ミラー基材に比較して、容易且つ安
価に得ることができる。
【００３０】これらの効果に加えて、このバーコードリ
ーダによれば、さらに以下の効果を奏する。すなわち、
ガラスをミラー基材とした場合、反射膜がアルミ膜など
のように光を透過し難いものであればさほど問題となら
ないが、誘電体多層膜５７などの反射膜を用いた場合に
は反射されない光が誘電体多層膜５７を透過してミラー
基材であるガラス内に入り、ガラス裏面に反射して不要
な光となり、信号光に対するノイズとなる。これに対
し、シリコンをミラー基材とした場合には、ガラス基板
に比較して光が透過し難いため、ガラス基板で発生する
ような不要な光が発生しなくなる。これにより、可動ミ
ラーにおけるノイズを低減させて、バーコード読み取り
の信頼性を向上させることができる。
ーダによれば、さらに以下の効果を奏する。すなわち、
ガラスをミラー基材とした場合、反射膜がアルミ膜など
のように光を透過し難いものであればさほど問題となら
ないが、誘電体多層膜５７などの反射膜を用いた場合に
は反射されない光が誘電体多層膜５７を透過してミラー
基材であるガラス内に入り、ガラス裏面に反射して不要
な光となり、信号光に対するノイズとなる。これに対
し、シリコンをミラー基材とした場合には、ガラス基板
に比較して光が透過し難いため、ガラス基板で発生する
ような不要な光が発生しなくなる。これにより、可動ミ
ラーにおけるノイズを低減させて、バーコード読み取り
の信頼性を向上させることができる。
【００３１】なお、上記の各実施の形態では、バーコー
ドリーダを例に説明したが、本発明は、ＭＥＭＳ（Ｍｉ
ｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙ
ｓｔｅｍ）で代表される半導体製造プロセスを用い、シ
リコンを使用する微小構造のシリコン系ベース材で同様
なスキャン動作を行うミラーに対しても適用できるもの
である。
ドリーダを例に説明したが、本発明は、ＭＥＭＳ（Ｍｉ
ｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙ
ｓｔｅｍ）で代表される半導体製造プロセスを用い、シ
リコンを使用する微小構造のシリコン系ベース材で同様
なスキャン動作を行うミラーに対しても適用できるもの
である。
【００３２】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
るバーコードリーダによれば、可動ミラーが、ガラス基
板と、高屈折率材料及び低屈折率材料を光学的な厚さで
それぞれλ／４ずつ交互に重ねてガラス基板に積層した
誘電体多層膜とを有するので、発光素子からの出射光の
みを強めて高反射率で反射させることができる。これに
より、バンドパスフィルタが不要になり、その分バーコ
ードリーダを小型化、軽量化でき、且つ製造コストを削
減することができる。また、金属反射膜に比較して高い
反射率を得ることができるので、受光素子に低感度な安
価なものを採用してコストの削減が可能になる一方、従
来と同じ感度の受光素子を使用すれば受光感度を向上さ
せることができる。さらに、所望波長域の光のみを積極
的に増反射するので、従来以上に外乱光の影響を受け難
くすることができ、バーコード読み取りの信頼性を向上
させることができる。
るバーコードリーダによれば、可動ミラーが、ガラス基
板と、高屈折率材料及び低屈折率材料を光学的な厚さで
それぞれλ／４ずつ交互に重ねてガラス基板に積層した
誘電体多層膜とを有するので、発光素子からの出射光の
みを強めて高反射率で反射させることができる。これに
より、バンドパスフィルタが不要になり、その分バーコ
ードリーダを小型化、軽量化でき、且つ製造コストを削
減することができる。また、金属反射膜に比較して高い
反射率を得ることができるので、受光素子に低感度な安
価なものを採用してコストの削減が可能になる一方、従
来と同じ感度の受光素子を使用すれば受光感度を向上さ
せることができる。さらに、所望波長域の光のみを積極
的に増反射するので、従来以上に外乱光の影響を受け難
くすることができ、バーコード読み取りの信頼性を向上
させることができる。
【図１】本発明に係るバーコードリーダの第一の実施の
形態の概念図である。
形態の概念図である。
【図２】可動ミラーの要部断面図である。
【図３】干渉による反射原理説明図である。
【図４】本発明に用いられる可動ミラーの波長帯域別透
過率のグラフである。
過率のグラフである。
【図５】本発明に係るバーコードリーダの第二の実施の
形態に用いる可動ミラーの要部断面図である。
形態に用いる可動ミラーの要部断面図である。
【図６】本発明に係るバーコードリーダの第三の実施の
形態に用いる可動ミラーの要部断面図である。
形態に用いる可動ミラーの要部断面図である。
【図７】従来の光読み取り方式を説明する概念図であ
る。
る。
３１…バーコードリーダ、３３…発光素子、３７…可動
ミラー、４５…受光素子、４７…バーコード（被照射対
象）、５１…ガラス基板、５３…高屈折率材料、５５…
低屈折率材料、５７…誘電体多層膜、６３…シリコン基
板、６５…金属反射膜
ミラー、４５…受光素子、４７…バーコード（被照射対
象）、５１…ガラス基板、５３…高屈折率材料、５５…
低屈折率材料、５７…誘電体多層膜、６３…シリコン基
板、６５…金属反射膜
Claims (3)
- 【請求項１】 発光素子と、該発光素子から出射した光
線を反射させ揺動によって該光線を走査させるとともに
被照射対象に照射した該光線の戻り光を反射させる可動
ミラーと、該可動ミラーによって反射した前記戻り光を
受光して電気信号に変換する受光素子とを備えたバーコ
ードリーダであって、 前記可動ミラーが、 ガラス基板と、高屈折率材料及び低屈折率材料を光学的
な厚さでそれぞれ前記光線の波長λのλ／４ずつ交互に
重ねて該ガラス基板に積層した誘電体多層膜とを有する
ことを特徴とするバーコードリーダ。 - 【請求項２】 発光素子と、該発光素子から出射した光
線を反射させ揺動によって該光線を走査させるとともに
被照射対象に照射した該光線の戻り光を反射させる可動
ミラーと、該可動ミラーによって反射した前記戻り光を
受光して電気信号に変換する受光素子とを備えたバーコ
ードリーダであって、 前記可動ミラーが、 シリコン基板と、該シリコン基板に蒸着した金属反射膜
とを有することを特徴とするバーコードリーダ。 - 【請求項３】 発光素子と、該発光素子から出射した光
線を反射させ揺動によって該光線を走査させるとともに
被照射対象に照射した該光線の戻り光を反射させる可動
ミラーと、該可動ミラーによって反射した前記戻り光を
受光して電気信号に変換する受光素子とを備えたバーコ
ードリーダであって、 前記可動ミラーが、 シリコン基板と、高屈折率材料及び低屈折率材料を光学
的な厚さでそれぞれ前記光線の波長λのλ／４ずつ交互
に重ねて該シリコン基板に積層した誘電体多層膜とを有
することを特徴とするバーコードリーダ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001205978A JP2003022414A (ja) | 2001-07-06 | 2001-07-06 | バーコードリーダ |
| US10/187,500 US20030024989A1 (en) | 2001-07-06 | 2002-07-02 | Bar code reader |
| CN02141142A CN1396553A (zh) | 2001-07-06 | 2002-07-05 | 条形码读取器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001205978A JP2003022414A (ja) | 2001-07-06 | 2001-07-06 | バーコードリーダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003022414A true JP2003022414A (ja) | 2003-01-24 |
Family
ID=19042191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001205978A Withdrawn JP2003022414A (ja) | 2001-07-06 | 2001-07-06 | バーコードリーダ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20030024989A1 (ja) |
| JP (1) | JP2003022414A (ja) |
| CN (1) | CN1396553A (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4098008B2 (ja) * | 2002-07-03 | 2008-06-11 | オリンパス株式会社 | 光学的ゲイン補正フィルタ及びそれを有するバーコードリーダ |
| US7281662B2 (en) * | 2004-12-30 | 2007-10-16 | Symbol Technologies, Inc. | Methods and apparatus for information capture illumination |
| US7451933B2 (en) * | 2005-04-19 | 2008-11-18 | Intermec Ip Corp. | Optoelectronic device, process and article for acquiring machine-readable symbols, such as bar codes |
| CN102982303B (zh) * | 2011-09-02 | 2015-04-08 | 深圳光启高等理工研究院 | 基于照明灯的货物识别系统 |
| FR3017477B1 (fr) * | 2014-02-11 | 2016-02-19 | Saint Gobain | Dispositif de lecture d'un code d'identification sur une feuille de verre en defilement |
| JP6363903B2 (ja) | 2014-07-31 | 2018-07-25 | 株式会社キーエンス | 光学的情報読取装置 |
| US11209641B2 (en) * | 2018-12-31 | 2021-12-28 | Beijing Voyager Technology Co., Ltd. | Micromachined mirror assembly having reflective layers on both sides |
Family Cites Families (22)
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2001
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2002
- 2002-07-02 US US10/187,500 patent/US20030024989A1/en not_active Abandoned
- 2002-07-05 CN CN02141142A patent/CN1396553A/zh active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20030024989A1 (en) | 2003-02-06 |
| CN1396553A (zh) | 2003-02-12 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050524 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20050722 |