JP3397533B2 - 無偏光反射鏡 - Google Patents
無偏光反射鏡Info
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
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- G02B5/0816—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers
- G02B5/085—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers at least one of the reflecting layers comprising metal
- G02B5/0858—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers at least one of the reflecting layers comprising metal the reflecting layers comprising a single metallic layer with one or more dielectric layers
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
- G02B1/14—Protective coatings, e.g. hard coatings
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- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、近紫外線から近赤
外線までの波長を対象とした光学系に使用される銀蒸着
層に保護膜を施した無偏光反射鏡に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】従来から、光学系の反射鏡として金、
銀、アルミニウム等の金属蒸着膜が広く使用されてい
る。特に、銀反射鏡は短波長側の反射率が低い金や１μ
ｍ付近の長波長側の反射率が低いアルミニウム等に比
べ、反射率が全ての波長で均等に高く分光反射率特性に
優れている。 【０００３】しかし、銀反射膜は膜強度の耐久性に関し
て問題があるので、一般に銀蒸着膜の上に酸化アルミニ
ウムや酸化ジルコン等の保護膜を蒸着して使用されてお
り、この保護膜によって良好な反射率を維持しながら耐
環境性の向上が図られている。 【０００４】実際に、光学系の反射鏡として使用される
場合には、入射角が小さいと影響は少ないが、入射角が
大きくなるにつれて偏光反射率特性が問題になることが
ある。これは、入射角の変化によりＰ偏光反射率とＳ偏
光反射率の比である偏光比が変化するためで、入射角が
大きくなる程又は波長が短い程その偏光比は大きくなる
傾向がある。 【０００５】偏光比は一般的に次の式で表される。 偏光比＝（偏光反射率−Ｓ偏光反射率）／（Ｐ偏光反射
率＋Ｓ偏光反射率）×１００ 【０００６】例えば、測光光学系等のような光強度を測
定する光学系では、測定値の正確さを保証するために
は、偏光比を±１％以内とすることが好適である。 【０００７】このように、偏光反射率特性を小さくする
ために、偏光が生ずる光学素子の前方に、物体からの光
束の直線偏光成分を円偏光成分に変換するための偏光解
消光学素子を配置し、反射鏡などによる偏光の影響を解
消している。 【０００８】また、偏光が発生する光学素子への入射角
が決まっている場合には、特開平５−２９７２０７号公
報に示すように、銀蒸着膜上に複数の誘電体膜を積層し
て蒸着し、各層の厚みを調節することによって、任意の
入射角度における偏光比を小さくした反射鏡が使用され
ている。 【０００９】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述の従
来例の場合には、光学系が大きくなると偏光解消光学素
子も大きくなり、特に結晶の複屈折を利用した偏光解消
光学素子では製造上に問題が生じ、総合透過率が低下
し、重量が重くなるという問題が生ずる。 【００１０】また、多層蒸着膜で構成する無偏光反射鏡
の場合には、反射鏡の回転又は往復運動によって、光学
系の物点位置を移動して像を形成する走査光学系におい
て、反射鏡に入射する光線の入射角が時間と共に変化す
ることにより偏光比が変化してしまうので、反射鏡に入
射する全ての入射角で偏光反射率特性を良好に保つこと
が困難になる。 【００１１】本発明の目的は、上述の問題点を解消し、
入射角が変化しても広い波長範囲で偏光反射率特性を良
好に保つことができる無偏光反射鏡を提供することにあ
る。 【００１２】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係る無偏光反射鏡は、基板に銀蒸着膜層及び
保護蒸着膜層を積層した無偏光反射鏡であって、前記銀
蒸着膜層に対し２種類の異なる偏光特性を有する前記保
護蒸着膜層を分割して蒸着したことを特徴とする。 【００１３】上述の構成を有する無偏光反射鏡は、基板
に銀蒸着膜を蒸着し、銀蒸着膜に対し２種類の異なる偏
光特性を有する保護蒸着膜を分割して、反射面を形成す
る。 【００１４】 【発明の実施の形態】本発明を図示の実施例に基づいて
詳細に説明する。図１は実施例の光学系の構成図を示
し、物体Ｓの前方に銀蒸着された反射面１を有する基板
２が配置され、基板２は紙面に垂直な回転軸３を中心に
回転するようになっている。そして、基板２の反射面１
の反射方向には、結像レンズ４、撮像素子の結像面５が
配列されている。 【００１５】基板２の反射面１の銀蒸着面上には、図２
に示すように２つに分割された２種類の保護膜１ａ、１
ｂが蒸着されており、保護膜１ａ、１ｂの蒸着範囲は、
結像レンズ４により撮像素子の結像面５に結像する光束
の内、それぞれ５０％ずつを反射するような構成になっ
ている。ここで、保護膜１ａは厚さ７０ｎｍのＭｇＦ2
であり、保護膜１ｂは厚さ１８０ｎｍのＳｉＯ2 で、同
一の銀蒸着膜上に半分ずつ蒸着されている。 【００１６】物体Ｓからの光束は基板２の反射面１に入
射し、それぞれ偏光反射率特性の異なる２つの保護膜１
ａ、１ｂ部分により５０％ずつが反射される。この反射
面１で反射された光束は、結像レンズ４に入射し、撮像
素子の結像面５に結像する。撮影に際しては、撮像しな
がら回転軸３を中心にして反射面１を回転させることに
より、物体Ｓの全体像を走査し、図示しない画像処理に
より平面像として撮像する。 【００１７】保護膜１ａの部分で反射されるＳ偏光反射
率をSa、Ｐ偏光反射率をPaとし、同様に保護膜１ｂの部
分で反射されるＳ偏光反射率をSb、Ｐ偏光反射率をPbと
すると、２の結像レンズ４に向かう全光束の偏光反射率
Pt、Stは次式で表される。 Pt＝Pa×０．５＋Pb×０．５ ・・・(1) St＝Sa×０．５＋Sb×０．５ ・・・(2) 【００１８】図３は厚さ７０ｎｍのＭｇF2保護膜を施し
た銀蒸着膜の入射角４５度の場合の偏光反射率特性及び
偏光比を表すグラフ図であり、使用波長は３８０ｎｍか
ら１０００ｎｍで計算している。波長が４８０ｎｍ以上
では偏光比が±１％以内に収まっているが、短波長側で
はＰ偏光反射率に比較してＳ偏光反射率が低下し、偏光
比が大きくなっている。 【００１９】図４は厚さ１８０ｎｍのＳｉＯ2 保護膜を
施した銀蒸着膜の入射角４５度の場合の偏光反射率特性
及び偏光比を表すグラフ図であり、波長が４８０ｎｍ以
上では偏光比が±１％以内に収まっているが、短波長側
ではＳ偏光反射率に比較してＰ偏光反射率が低下し、偏
光比が大きくなっている。 【００２０】図５は厚さ７０ｎｍのＭｇＦ2 保護膜を施
した銀蒸着膜の保護膜１ａ部分と、厚さ１８０ｎｍのＳ
ｉＯ2 保護膜を施した銀蒸着膜の保護膜１ｂ部分とで、
それぞれ５０％ずつ反射された光束の偏光反射率特性及
び偏光比を表すグラフ図であり、入射角は４５度であ
る。式(1) 及び(2) から得られるＰ偏光及びＳ偏光反射
率から計算される偏光比は、波長３８０ｎｍから１００
０ｎｍの範囲で±１％以内に収まっている。 【００２１】図６は厚さ７０ｎｍのＭｇＦ2 保護膜を施
した銀蒸着膜の入射角６０度の場合の偏光反射率特性及
び偏光比を表すグラフ図である。長波長側では偏光比が
±１％以内に収まっているが、短波長側でＰ偏光反射率
に比較してＳ偏光反射率が低下し偏光比が大きくなって
おり、入射角が大きくなるに従って偏光比の値が急激に
大きくなっている。 【００２２】図７は厚さ１８０ｎｍのＳｉＯ2 保護膜を
施した銀蒸着膜の入射角６０度の場合の偏光反射率特性
及び偏光比を表すグラフ図である。長波長側では偏光比
が±１％以内に収まっているが、短波長側でＳ偏光反射
率に比較してＰ偏光反射率が低下し、偏光比が大きくな
っている。 【００２３】図８は厚さ７０ｎｍのＭｇＦ2 保護膜を施
した銀蒸着膜の保護膜１ａ部分と、厚さ１８０ｎｍのＳ
ｉＯ2 保護膜を施した銀蒸着膜の保護膜１ｂ部分とで、
それぞれ５０％ずつ反射された光束の偏光反射率特性及
び偏光比を表すグラフ図であり、入射角は６０度であ
る。偏光比は波長３８０ｎｍから１０００ｎｍの範囲で
±１％以内に収まっている。 【００２４】図９は入射角７５度の場合の厚さ７０ｎｍ
のＭｇＦ2 保護膜を施した銀蒸着膜の偏光反射率特性及
び偏光比を表すグラフ図であり、図６と同様に短波長側
で入射角と共に偏光比が大きくなっている。 【００２５】図１０は入射角７５度の場合の厚さ１８０
ｎｍのＳｉＯ2 保護膜を施した銀蒸着膜の偏光反射率及
び偏光比を表すグラフ図であり、図７と同様に短波長側
で偏光比が大きくなっている。 【００２６】図１１は入射角７５度の場合の厚さ７０ｎ
ｍのＭｇＦ2 保護膜１ａと厚さ１８０ｎｍのＳｉＯ2 保
護膜１ｂで、５０％ずつ反射された光束の偏光反射率及
び偏光比を表すグラフ図であり、図８と同様に偏光比は
±１％以内に収まっている。 【００２７】なお、上述の実施例の説明に用いた図１の
光学系構成においては、物体Ｓはほぼ無限遠方にあると
仮定している。即ち、無偏光反射膜の反射面１には略平
行な光束が入射する。しかし、本発明はこのような構成
に限定されるわけではなく、有限距離にある物体から発
する光束、つまり反射面１に発散又は収斂する光束が入
射する場合にも適用できる。 【００２８】この場合に、偏光反射率特性の異なる２つ
の保護膜１ａ、１ｂ部分の境界線の向きは、反射面１と
光の入射平面との交線に平行になるように配置すること
が好ましい。こうすることによって、非平行な光束のよ
うに光の入射角度が反射面１内の場所によって異なる場
合でも、境界線に関して対称な任意の位置で偏光の影響
が平均化されるので、結果として全体の偏光比が小さく
保たれる。 【００２９】また、１つの反射面内に形成する偏光反射
率特性の異なる保護膜の数及び配置は、本発明の趣旨を
損わない範囲で、任意に設定できることは勿論である。 【００３０】 【発明の効果】以上説明したように本発明に係る無偏光
反射鏡は、入射角が変化しても短波長域を含む広い波長
帯域において偏光反射率特性が良好に保たれ、偏光解消
光学素子を使用する方法に比較して、反射率の損失が少
なく全体として高い反射率特性が得られる。また、光学
系の大きさが偏光解消光学素子に依存しないので、軽量
化が可能となり、より大きな光学系の製造も可能であ
る。
外線までの波長を対象とした光学系に使用される銀蒸着
層に保護膜を施した無偏光反射鏡に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】従来から、光学系の反射鏡として金、
銀、アルミニウム等の金属蒸着膜が広く使用されてい
る。特に、銀反射鏡は短波長側の反射率が低い金や１μ
ｍ付近の長波長側の反射率が低いアルミニウム等に比
べ、反射率が全ての波長で均等に高く分光反射率特性に
優れている。 【０００３】しかし、銀反射膜は膜強度の耐久性に関し
て問題があるので、一般に銀蒸着膜の上に酸化アルミニ
ウムや酸化ジルコン等の保護膜を蒸着して使用されてお
り、この保護膜によって良好な反射率を維持しながら耐
環境性の向上が図られている。 【０００４】実際に、光学系の反射鏡として使用される
場合には、入射角が小さいと影響は少ないが、入射角が
大きくなるにつれて偏光反射率特性が問題になることが
ある。これは、入射角の変化によりＰ偏光反射率とＳ偏
光反射率の比である偏光比が変化するためで、入射角が
大きくなる程又は波長が短い程その偏光比は大きくなる
傾向がある。 【０００５】偏光比は一般的に次の式で表される。 偏光比＝（偏光反射率−Ｓ偏光反射率）／（Ｐ偏光反射
率＋Ｓ偏光反射率）×１００ 【０００６】例えば、測光光学系等のような光強度を測
定する光学系では、測定値の正確さを保証するために
は、偏光比を±１％以内とすることが好適である。 【０００７】このように、偏光反射率特性を小さくする
ために、偏光が生ずる光学素子の前方に、物体からの光
束の直線偏光成分を円偏光成分に変換するための偏光解
消光学素子を配置し、反射鏡などによる偏光の影響を解
消している。 【０００８】また、偏光が発生する光学素子への入射角
が決まっている場合には、特開平５−２９７２０７号公
報に示すように、銀蒸着膜上に複数の誘電体膜を積層し
て蒸着し、各層の厚みを調節することによって、任意の
入射角度における偏光比を小さくした反射鏡が使用され
ている。 【０００９】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述の従
来例の場合には、光学系が大きくなると偏光解消光学素
子も大きくなり、特に結晶の複屈折を利用した偏光解消
光学素子では製造上に問題が生じ、総合透過率が低下
し、重量が重くなるという問題が生ずる。 【００１０】また、多層蒸着膜で構成する無偏光反射鏡
の場合には、反射鏡の回転又は往復運動によって、光学
系の物点位置を移動して像を形成する走査光学系におい
て、反射鏡に入射する光線の入射角が時間と共に変化す
ることにより偏光比が変化してしまうので、反射鏡に入
射する全ての入射角で偏光反射率特性を良好に保つこと
が困難になる。 【００１１】本発明の目的は、上述の問題点を解消し、
入射角が変化しても広い波長範囲で偏光反射率特性を良
好に保つことができる無偏光反射鏡を提供することにあ
る。 【００１２】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係る無偏光反射鏡は、基板に銀蒸着膜層及び
保護蒸着膜層を積層した無偏光反射鏡であって、前記銀
蒸着膜層に対し２種類の異なる偏光特性を有する前記保
護蒸着膜層を分割して蒸着したことを特徴とする。 【００１３】上述の構成を有する無偏光反射鏡は、基板
に銀蒸着膜を蒸着し、銀蒸着膜に対し２種類の異なる偏
光特性を有する保護蒸着膜を分割して、反射面を形成す
る。 【００１４】 【発明の実施の形態】本発明を図示の実施例に基づいて
詳細に説明する。図１は実施例の光学系の構成図を示
し、物体Ｓの前方に銀蒸着された反射面１を有する基板
２が配置され、基板２は紙面に垂直な回転軸３を中心に
回転するようになっている。そして、基板２の反射面１
の反射方向には、結像レンズ４、撮像素子の結像面５が
配列されている。 【００１５】基板２の反射面１の銀蒸着面上には、図２
に示すように２つに分割された２種類の保護膜１ａ、１
ｂが蒸着されており、保護膜１ａ、１ｂの蒸着範囲は、
結像レンズ４により撮像素子の結像面５に結像する光束
の内、それぞれ５０％ずつを反射するような構成になっ
ている。ここで、保護膜１ａは厚さ７０ｎｍのＭｇＦ2
であり、保護膜１ｂは厚さ１８０ｎｍのＳｉＯ2 で、同
一の銀蒸着膜上に半分ずつ蒸着されている。 【００１６】物体Ｓからの光束は基板２の反射面１に入
射し、それぞれ偏光反射率特性の異なる２つの保護膜１
ａ、１ｂ部分により５０％ずつが反射される。この反射
面１で反射された光束は、結像レンズ４に入射し、撮像
素子の結像面５に結像する。撮影に際しては、撮像しな
がら回転軸３を中心にして反射面１を回転させることに
より、物体Ｓの全体像を走査し、図示しない画像処理に
より平面像として撮像する。 【００１７】保護膜１ａの部分で反射されるＳ偏光反射
率をSa、Ｐ偏光反射率をPaとし、同様に保護膜１ｂの部
分で反射されるＳ偏光反射率をSb、Ｐ偏光反射率をPbと
すると、２の結像レンズ４に向かう全光束の偏光反射率
Pt、Stは次式で表される。 Pt＝Pa×０．５＋Pb×０．５ ・・・(1) St＝Sa×０．５＋Sb×０．５ ・・・(2) 【００１８】図３は厚さ７０ｎｍのＭｇF2保護膜を施し
た銀蒸着膜の入射角４５度の場合の偏光反射率特性及び
偏光比を表すグラフ図であり、使用波長は３８０ｎｍか
ら１０００ｎｍで計算している。波長が４８０ｎｍ以上
では偏光比が±１％以内に収まっているが、短波長側で
はＰ偏光反射率に比較してＳ偏光反射率が低下し、偏光
比が大きくなっている。 【００１９】図４は厚さ１８０ｎｍのＳｉＯ2 保護膜を
施した銀蒸着膜の入射角４５度の場合の偏光反射率特性
及び偏光比を表すグラフ図であり、波長が４８０ｎｍ以
上では偏光比が±１％以内に収まっているが、短波長側
ではＳ偏光反射率に比較してＰ偏光反射率が低下し、偏
光比が大きくなっている。 【００２０】図５は厚さ７０ｎｍのＭｇＦ2 保護膜を施
した銀蒸着膜の保護膜１ａ部分と、厚さ１８０ｎｍのＳ
ｉＯ2 保護膜を施した銀蒸着膜の保護膜１ｂ部分とで、
それぞれ５０％ずつ反射された光束の偏光反射率特性及
び偏光比を表すグラフ図であり、入射角は４５度であ
る。式(1) 及び(2) から得られるＰ偏光及びＳ偏光反射
率から計算される偏光比は、波長３８０ｎｍから１００
０ｎｍの範囲で±１％以内に収まっている。 【００２１】図６は厚さ７０ｎｍのＭｇＦ2 保護膜を施
した銀蒸着膜の入射角６０度の場合の偏光反射率特性及
び偏光比を表すグラフ図である。長波長側では偏光比が
±１％以内に収まっているが、短波長側でＰ偏光反射率
に比較してＳ偏光反射率が低下し偏光比が大きくなって
おり、入射角が大きくなるに従って偏光比の値が急激に
大きくなっている。 【００２２】図７は厚さ１８０ｎｍのＳｉＯ2 保護膜を
施した銀蒸着膜の入射角６０度の場合の偏光反射率特性
及び偏光比を表すグラフ図である。長波長側では偏光比
が±１％以内に収まっているが、短波長側でＳ偏光反射
率に比較してＰ偏光反射率が低下し、偏光比が大きくな
っている。 【００２３】図８は厚さ７０ｎｍのＭｇＦ2 保護膜を施
した銀蒸着膜の保護膜１ａ部分と、厚さ１８０ｎｍのＳ
ｉＯ2 保護膜を施した銀蒸着膜の保護膜１ｂ部分とで、
それぞれ５０％ずつ反射された光束の偏光反射率特性及
び偏光比を表すグラフ図であり、入射角は６０度であ
る。偏光比は波長３８０ｎｍから１０００ｎｍの範囲で
±１％以内に収まっている。 【００２４】図９は入射角７５度の場合の厚さ７０ｎｍ
のＭｇＦ2 保護膜を施した銀蒸着膜の偏光反射率特性及
び偏光比を表すグラフ図であり、図６と同様に短波長側
で入射角と共に偏光比が大きくなっている。 【００２５】図１０は入射角７５度の場合の厚さ１８０
ｎｍのＳｉＯ2 保護膜を施した銀蒸着膜の偏光反射率及
び偏光比を表すグラフ図であり、図７と同様に短波長側
で偏光比が大きくなっている。 【００２６】図１１は入射角７５度の場合の厚さ７０ｎ
ｍのＭｇＦ2 保護膜１ａと厚さ１８０ｎｍのＳｉＯ2 保
護膜１ｂで、５０％ずつ反射された光束の偏光反射率及
び偏光比を表すグラフ図であり、図８と同様に偏光比は
±１％以内に収まっている。 【００２７】なお、上述の実施例の説明に用いた図１の
光学系構成においては、物体Ｓはほぼ無限遠方にあると
仮定している。即ち、無偏光反射膜の反射面１には略平
行な光束が入射する。しかし、本発明はこのような構成
に限定されるわけではなく、有限距離にある物体から発
する光束、つまり反射面１に発散又は収斂する光束が入
射する場合にも適用できる。 【００２８】この場合に、偏光反射率特性の異なる２つ
の保護膜１ａ、１ｂ部分の境界線の向きは、反射面１と
光の入射平面との交線に平行になるように配置すること
が好ましい。こうすることによって、非平行な光束のよ
うに光の入射角度が反射面１内の場所によって異なる場
合でも、境界線に関して対称な任意の位置で偏光の影響
が平均化されるので、結果として全体の偏光比が小さく
保たれる。 【００２９】また、１つの反射面内に形成する偏光反射
率特性の異なる保護膜の数及び配置は、本発明の趣旨を
損わない範囲で、任意に設定できることは勿論である。 【００３０】 【発明の効果】以上説明したように本発明に係る無偏光
反射鏡は、入射角が変化しても短波長域を含む広い波長
帯域において偏光反射率特性が良好に保たれ、偏光解消
光学素子を使用する方法に比較して、反射率の損失が少
なく全体として高い反射率特性が得られる。また、光学
系の大きさが偏光解消光学素子に依存しないので、軽量
化が可能となり、より大きな光学系の製造も可能であ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例の光学系の構成図である。
【図２】反射鏡の正面図である。
【図３】ＭｇＦ2 保護膜による入射角４５度の偏光反射
率特性及び偏光比特性のグラフ図である。 【図４】ＳｉＯ2 保護膜による入射角４５度の偏光反射
率特性及び偏光比特性のグラフ図である。 【図５】２つの範囲に異なる保護膜を施した入射角４５
度の偏光反射率特性及び偏光比特性のグラフ図である。 【図６】ＭｇＦ2 保護膜による入射角６０度の偏光反射
率特性及び偏光比特性のグラフ図である。 【図７】ＳｉＯ2 保護膜による入射角６０度の偏光反射
率特性及び偏光比特性のグラフ図である。 【図８】２つの範囲に異なる保護膜を施した入射角６０
度の偏光反射率特性及び偏光比特性のグラフ図である。 【図９】ＭｇＦ2 保護膜による入射角７５度の偏光反射
率特性及び偏光比特性のグラフ図である。 【図１０】ＳｉＯ2 保護膜による入射角７５度の偏光反
射率特性及び偏光比特性のグラフ図である。 【図１１】２つの範囲に異なる保護膜を施した入射角７
５度の偏光反射率特性及び偏光比特性のグラフ図であ
る。 【符号の説明】 １ 反射面 ２ 基板 ４ 結像レンズ ５ 撮像素子の結像面
率特性及び偏光比特性のグラフ図である。 【図４】ＳｉＯ2 保護膜による入射角４５度の偏光反射
率特性及び偏光比特性のグラフ図である。 【図５】２つの範囲に異なる保護膜を施した入射角４５
度の偏光反射率特性及び偏光比特性のグラフ図である。 【図６】ＭｇＦ2 保護膜による入射角６０度の偏光反射
率特性及び偏光比特性のグラフ図である。 【図７】ＳｉＯ2 保護膜による入射角６０度の偏光反射
率特性及び偏光比特性のグラフ図である。 【図８】２つの範囲に異なる保護膜を施した入射角６０
度の偏光反射率特性及び偏光比特性のグラフ図である。 【図９】ＭｇＦ2 保護膜による入射角７５度の偏光反射
率特性及び偏光比特性のグラフ図である。 【図１０】ＳｉＯ2 保護膜による入射角７５度の偏光反
射率特性及び偏光比特性のグラフ図である。 【図１１】２つの範囲に異なる保護膜を施した入射角７
５度の偏光反射率特性及び偏光比特性のグラフ図であ
る。 【符号の説明】 １ 反射面 ２ 基板 ４ 結像レンズ ５ 撮像素子の結像面
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 基板に銀蒸着膜層及び保護蒸着膜層を積
層した無偏光反射鏡であって、前記銀蒸着膜層に対し２
種類の異なる偏光特性を有する前記保護蒸着膜層を分割
して蒸着したことを特徴とする無偏光反射鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21816795A JP3397533B2 (ja) | 1995-08-03 | 1995-08-03 | 無偏光反射鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21816795A JP3397533B2 (ja) | 1995-08-03 | 1995-08-03 | 無偏光反射鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0943408A JPH0943408A (ja) | 1997-02-14 |
| JP3397533B2 true JP3397533B2 (ja) | 2003-04-14 |
Family
ID=16715684
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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1995
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