JP2003021714A - Manufacruting method for filter, and filter - Google Patents

Manufacruting method for filter, and filter

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JP2003021714A
JP2003021714A JP2001209379A JP2001209379A JP2003021714A JP 2003021714 A JP2003021714 A JP 2003021714A JP 2001209379 A JP2001209379 A JP 2001209379A JP 2001209379 A JP2001209379 A JP 2001209379A JP 2003021714 A JP2003021714 A JP 2003021714A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method for filter wherein the productivity can be enhanced by scanning a substrate once with a recoding head to form a plurality of pixels nearly free from unevenness at a high speed on the substrate and to provide a filter. SOLUTION: In the manufacturing method for filter wherein the filter is formed by ejecting ink drops from a plurality of nozzles several times respectively to the substrate by using the recording head provided with the plurality of nozzles for ejecting the ink drops to respectively form the plurality of pixels on the substrate, the quantity of liquid drops of the ink drops ejected from the respective nozzles can be set for every ejection timing of the plurality of nozzles.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、インク滴を吐出す
る複数のノズルを備える記録ヘッドによって、複数のノ
ズルからインク滴を基板に対してそれぞれ複数回吐出す
ることにより基板に複数の画素をそれぞれ形成すること
でフィルタを製造するフィルタの製造方法及びこの方法
により製造されたフィルタに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a recording head having a plurality of nozzles for ejecting ink droplets, and ejecting ink droplets from the plurality of nozzles onto the substrate a plurality of times to form a plurality of pixels on the substrate. The present invention relates to a filter manufacturing method for manufacturing a filter by forming the filter and a filter manufactured by this method.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年の情報産業の発達により、情報端末
や携帯電話等に使用される表示装置として液晶ディスプ
レイの需要が増大している。例えば携帯電話における最
近の液晶ディスプレイではカラー化が進んでおり、液晶
ディスプレイのカラーフィルタの需要が大幅に増大し、
カラーフィルタを安く大量に供給する要請が多くなって
いる。この要請に応ずるべく、従来から用いられている
インクジェット方式を採用する記録ヘッドによってイン
ク滴をカラーフィルタとなるべき基板に対して吐出し、
基板にそのインク滴でなる画素を形成する技術が用いら
れている。このインクジェット方式を用いて基板に画素
を形成するカラーフィルタの製造方法は、安価であると
いう特徴を有する。
2. Description of the Related Art With the recent development of the information industry, there is an increasing demand for liquid crystal displays as display devices used in information terminals, mobile phones and the like. For example, recent liquid crystal displays for mobile phones are becoming more and more colorized, and the demand for color filters for liquid crystal displays has increased significantly.
There is an increasing demand for supplying large quantities of color filters cheaply. In order to meet this demand, a recording head adopting a conventionally used ink jet method ejects ink droplets onto a substrate to be a color filter,
A technique of forming a pixel composed of the ink droplet on the substrate is used. The method of manufacturing a color filter in which pixels are formed on a substrate by using the inkjet method has a feature of being inexpensive.

【0003】また、カラーフィルタの製造方法の具体例
としては、例えばR(赤)、G(緑)、B(青)の光の
三原色に対応する色のインク滴を、それぞれ所定のパタ
ーンでその基板に着弾させることで、そのインク滴でな
る画素を形成している。このようなインクジェット方式
の記録ヘッドによるカラーフィルタの製造方法では、複
数のノズルの形状の誤差等によって吐出するインク滴の
液滴量に誤差を生じている場合がある。従って、このよ
うなインクジェット方式の記録ヘッドにより基板にイン
ク滴を吐出してカラーフィルタを製造する際には、各ノ
ズルから吐出されるインク滴の液滴量の誤差を補完する
ために、分散方式を採用している。この分散方式は、1
つの画素を、記録ヘッドにおける異なる複数のノズルに
よってそれぞれインク滴を吐出することで形成する方法
である。
Further, as a specific example of a method of manufacturing a color filter, for example, ink droplets of colors corresponding to the three primary colors of R (red), G (green) and B (blue) light are formed in predetermined patterns. By landing on the substrate, pixels formed by the ink droplets are formed. In such a method of manufacturing a color filter using an inkjet recording head, an error may occur in the amount of ink droplets ejected due to an error in the shape of a plurality of nozzles or the like. Therefore, when a color filter is manufactured by ejecting ink droplets onto a substrate by such an ink jet recording head, a dispersion method is used in order to compensate for an error in the amount of ink droplets ejected from each nozzle. Has been adopted. This distribution method is 1
In this method, one pixel is formed by ejecting an ink droplet from each of a plurality of different nozzles in the recording head.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
分散方式を採用するカラーフィルタの製造方法では、同
一画素を異なる複数のノズルから吐出される複数のイン
ク滴を重ねることで形成するために、インク滴を重ねる
回数分記録ヘッドが基板上を走査する必要がある。つま
り、このようなカラーフィルタの製造方法では、記録ヘ
ッドが走査する回数分のサイクルタイムが必要となり、
生産性が上がらないという問題点があった。
However, in the color filter manufacturing method employing such a dispersion method, since the same pixel is formed by overlapping a plurality of ink droplets ejected from a plurality of different nozzles, The recording head needs to scan the substrate by the number of times the ink drops are overlapped. In other words, such a color filter manufacturing method requires a cycle time for the number of times the print head scans,
There was a problem that productivity did not rise.

【0005】また、分散方式のカラーフィルタの製造方
法では、最後にインク滴が着弾する頃には最初に着弾し
たインク滴の乾燥が始まっている場合がある。このた
め、基板に形成される複数の画素に色ムラが生じてしま
うおそれがあった。
Further, in the method of manufacturing a color filter of the dispersion type, the ink droplets that have landed first may start to dry by the time when the ink droplets land last. Therefore, there is a possibility that color unevenness may occur in a plurality of pixels formed on the substrate.

【0006】本発明の目的は、上記課題を解消して、記
録ヘッドが1回基板を走査することで高速にムラの少な
い複数の画素を基板に形成することで生産性を向上する
ことができるフィルタの製造方法及びフィルタを提供す
ることである。
An object of the present invention is to solve the above problems and to improve productivity by forming a plurality of pixels on a substrate at a high speed with less unevenness by scanning the substrate once by the recording head. A filter manufacturing method and a filter are provided.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、イン
ク滴を吐出する複数のノズルを備える記録ヘッドによっ
て、前記複数のノズルから前記インク滴を基板に対して
それぞれ複数回吐出することにより前記基板に複数の画
素をそれぞれ形成することでフィルタを製造するフィル
タの製造方法であって、前記複数のノズルから吐出され
る前記インク滴の液滴量を、前記複数のノズルの吐出タ
イミング毎に設定可能としたことを特徴とするフィルタ
の製造方法である。
According to a first aspect of the present invention, a recording head having a plurality of nozzles for ejecting ink droplets ejects the ink droplets from the plurality of nozzles to a substrate a plurality of times. A filter manufacturing method for manufacturing a filter by respectively forming a plurality of pixels on the substrate, wherein a droplet amount of the ink droplets discharged from the plurality of nozzles is determined at each discharge timing of the plurality of nozzles. It is a method of manufacturing a filter characterized by being settable.

【0008】この請求項1の構成によれば、複数のノズ
ルから吐出されるインク滴の液滴量を、複数のノズルの
吐出タイミング毎に設定可能としたことにより、吐出タ
イミング毎に異なる液滴量のインク滴を吐出させること
ができる。したがって、各ノズルからそれぞれ吐出され
て基板に着弾するインク滴の合計液滴量を制御すること
ができ、基板にそれぞれ形成される各画素の合計液滴量
をほぼ同一とすることができるので、各画素がムラなく
ほぼ同一に形成される。
According to the first aspect of the present invention, the amount of ink droplets ejected from the plurality of nozzles can be set for each ejection timing of the plurality of nozzles. A quantity of ink droplets can be ejected. Therefore, it is possible to control the total droplet amount of the ink droplets ejected from each nozzle and land on the substrate, and the total droplet amount of each pixel formed on the substrate can be made substantially the same. Each pixel is formed substantially the same without unevenness.

【0009】また、記録ヘッドが1回基板を走査するこ
とで、基板にそれぞれ形成される各画素の合計液滴量を
ほぼ同一とすることができるので、ムラの少ない複数の
画素を高速で形成でき、フィルタ製造の生産性を向上す
ることができる。したがって、このようなフィルタの製
造方法によれば、画素ムラが少なく画質が良いフィルタ
を高速で製造することができる。
Further, since the recording head scans the substrate once, the total amount of droplets of each pixel formed on the substrate can be made substantially the same, so that a plurality of pixels with less unevenness can be formed at high speed. Therefore, the productivity of filter manufacturing can be improved. Therefore, according to such a filter manufacturing method, it is possible to manufacture at high speed a filter having less pixel unevenness and good image quality.

【0010】請求項2の発明は、請求項1の構成におい
て、前記複数の画素の各々の画素に対して吐出される複
数のインク滴の合計液滴量は、前記各々の画素において
ほぼ一定量となることを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, in the structure of the first aspect, the total droplet amount of the plurality of ink droplets ejected to each of the plurality of pixels is substantially constant in each of the pixels. It is characterized in that

【0011】請求項3の発明は、請求項1または請求項
2の構成において、前記吐出タイミング毎に設定される
前記液滴量は、前記複数のノズルを駆動する予め用意さ
れた複数の異なる駆動波形より選択することにより設定
されることを特徴とする。
According to a third aspect of the present invention, in the structure of the first or second aspect, the droplet amount set for each of the ejection timings is a plurality of different driving prepared in advance for driving the plurality of nozzles. It is characterized by being set by selecting from the waveform.

【0012】この請求項3の構成によれば、複数のノズ
ルを駆動する予め用意された複数の異なる駆動波形より
選択することにより、吐出タイミング毎に設定される液
滴量を設定するようにしたので、簡単かつ正確にインク
滴の液滴量を設定することができる。
According to the third aspect of the invention, by selecting from a plurality of different drive waveforms prepared in advance for driving a plurality of nozzles, the droplet amount set at each ejection timing is set. Therefore, it is possible to easily and accurately set the ink droplet amount.

【0013】請求項4の発明は、請求項3の構成におい
て、前記複数のノズルは、前記予め用意された複数の駆
動波形から各々のノズルに対して選択された同一の駆動
波形毎に異なるタイミングで駆動されることを特徴とす
る。
According to a fourth aspect of the present invention, in the configuration of the third aspect, the plurality of nozzles have different timings for each same drive waveform selected for each nozzle from the plurality of drive waveforms prepared in advance. It is characterized by being driven by.

【0014】この請求項4の構成によれば、簡単な回路
構成でインク滴の液滴量を制御することができる。
According to the structure of the fourth aspect, it is possible to control the amount of ink drops with a simple circuit structure.

【0015】請求項5の発明は、請求項3の構成におい
て、前記複数のノズルは、前記予め用意された複数の駆
動波形から各々のノズルに対して選択された駆動波形に
より同一のタイミングで駆動されることを特徴とする。
According to a fifth aspect of the present invention, in the configuration of the third aspect, the plurality of nozzles are driven at the same timing by a drive waveform selected for each nozzle from the plurality of drive waveforms prepared in advance. It is characterized by being done.

【0016】この請求項5の構成によれば、複数のノズ
ルを、予め用意された複数の駆動波形から各々のノズル
に対して選択された駆動波形により同一のタイミングで
駆動するようにしたので、インク滴を吐出する時間間隔
を短くすることができ、フィルタ製造の生産性を一層向
上させることができる。
According to the structure of claim 5, the plurality of nozzles are driven at the same timing by the drive waveform selected for each nozzle from the plurality of drive waveforms prepared in advance. The time interval for ejecting ink droplets can be shortened, and the productivity of filter manufacture can be further improved.

【0017】請求項6の発明は、インク滴を吐出する複
数のノズルを備える記録ヘッドによって、前記複数のノ
ズルから前記インク滴を基板に対してそれぞれ複数回吐
出することにより前記基板に複数の画素をそれぞれ形成
することでフィルタを製造するフィルタの製造方法であ
って、前記記録ヘッドの前記複数のノズルからそれぞれ
吐出されるインク滴の液滴量を計測する計測ステップ
と、各前記画素を形成する前記インク滴の合計液滴量が
ほぼ一定量となるように、各前記ノズルを複数回それぞ
れ駆動する前記ノズルの駆動波形を、予め用意した複数
の異なる前記ノズルの駆動波形から選択する選択ステッ
プと、選択した前記ノズルの駆動波形に基づいて前記記
録ヘッドの各前記ノズルをそれぞれ複数回駆動し、各前
記ノズルによって各前記画素をそれぞれ形成する画素形
成ステップと、を有することを特徴とするフィルタの製
造方法である。
According to a sixth aspect of the present invention, a recording head having a plurality of nozzles for ejecting ink droplets ejects the ink droplets from the plurality of nozzles onto the substrate a plurality of times to form a plurality of pixels on the substrate. A method of manufacturing a filter, wherein a filter is manufactured by forming each of a plurality of nozzles, a measuring step of measuring a droplet amount of an ink droplet ejected from each of the plurality of nozzles of the recording head, and forming each of the pixels. A selection step of selecting a drive waveform of the nozzle that drives each of the nozzles a plurality of times from a plurality of different drive waveforms of the nozzle prepared in advance, so that the total droplet amount of the ink droplets becomes substantially constant. , Each of the nozzles of the recording head is driven a plurality of times based on the selected drive waveform of the nozzle, and each of the nozzles drives the nozzle. A pixel-forming step of forming the serial pixel, respectively, is a method for producing a filter, comprising a.

【0018】この請求項6の構成によれば、まず、計測
ステップでは、記録ヘッドの複数のノズルからそれぞれ
吐出されるインク滴の液滴量を計測する。次に、選択ス
テップでは、各画素を形成するインク滴の合計液滴量が
適正となるように、予め用意した複数の異なるノズルの
駆動波形から各ノズルを複数回それぞれ駆動するノズル
の駆動波形を選択する。最後に、画素形成ステップで
は、選択したノズルの駆動波形に基づいて、前記記録ヘ
ッドの各ノズルを複数回それぞれ駆動し、各前記ノズル
がそれぞれ1つの画素を形成する。
According to the sixth aspect of the invention, first, in the measuring step, the amount of ink droplets ejected from each of the plurality of nozzles of the recording head is measured. Next, in the selection step, the drive waveforms of the nozzles that drive each nozzle a plurality of times are selected from the drive waveforms of the different nozzles that are prepared in advance so that the total droplet amount of the ink droplets that form each pixel becomes appropriate. select. Finally, in the pixel forming step, each nozzle of the recording head is driven a plurality of times based on the drive waveform of the selected nozzle, and each nozzle forms one pixel.

【0019】このようにすると、各画素を形成するため
に記録ヘッドの各ノズルからそれぞれ吐出されて基板に
着弾するインク滴の1画素当たりの合計液滴量がほぼ同
量となり、基板にそれぞれ形成される各画素はほぼ同一
となる。従って、このような画素を基板に形成すること
で製造されるフィルタは、各画素がムラなくほぼ同一に
形成される。従って、このようなフィルタの製造方法に
よれば、画素ムラが少なく画質が良いフィルタを製造す
ることができる。
With this arrangement, the total amount of ink droplets ejected from the nozzles of the recording head for forming each pixel and landing on the substrate becomes approximately the same amount, and is formed on the substrate. The pixels to be processed are substantially the same. Therefore, in a filter manufactured by forming such pixels on a substrate, each pixel is formed substantially the same without unevenness. Therefore, according to such a method of manufacturing a filter, it is possible to manufacture a filter with less pixel unevenness and good image quality.

【0020】請求項7の発明は、請求項6の構成におい
て、前記画素形成ステップでは、前記予め用意した複数
の異なる前記ノズルの駆動波形毎に異なるタイミングで
前記ノズルが駆動されることを特徴とする。
According to a seventh aspect of the present invention, in the configuration of the sixth aspect, the nozzle is driven at different timings for each of the drive waveforms of the plurality of different nozzles prepared in advance in the pixel forming step. To do.

【0021】この請求項7の構成によれば、簡単な回路
構成でインク滴の液滴量を制御することができる。
According to the seventh aspect of the invention, it is possible to control the amount of ink droplets with a simple circuit configuration.

【0022】請求項8の発明は、請求項6の構成におい
て、前記画素形成ステップでは、前記予め用意した複数
の異なる前記ノズルの駆動波形毎に基づいて、同一のタ
イミングで前記ノズルが駆動されることを特徴とする
According to an eighth aspect of the present invention, in the configuration of the sixth aspect, in the pixel forming step, the nozzles are driven at the same timing based on the drive waveforms of the plurality of different nozzles prepared in advance. Characterized by

【0023】この請求項8の構成によれば、複数のノズ
ルを、予め用意した複数の異なるノズルの駆動波形に基
づいて、同一のタイミングで駆動するようにしたので、
インク滴を吐出する時間間隔を短くすることができ、フ
ィルタ製造の生産性を一層向上させることができる。
According to the structure of claim 8, the plurality of nozzles are driven at the same timing based on the drive waveforms of a plurality of different nozzles prepared in advance.
The time interval for ejecting ink droplets can be shortened, and the productivity of filter manufacture can be further improved.

【0024】請求項9の発明は、請求項6ないし請求項
8のいずれかの構成において、複数の異なる前記ノズル
の駆動波形としては、前記ノズルの標準的な駆動電圧に
対して略110%の駆動電圧の第1の駆動波形と、前記
ノズルの標準的な駆動電圧の第2の駆動波形と、前記ノ
ズルの標準的な駆動電圧に対して略90%の駆動電圧の
第3の駆動波形と、が予め用意されていることを特徴と
する。
According to a ninth aspect of the present invention, in any one of the sixth to eighth aspects, the driving waveforms of the plurality of different nozzles are about 110% of the standard driving voltage of the nozzles. A first drive waveform of the drive voltage, a second drive waveform of the standard drive voltage of the nozzle, and a third drive waveform of a drive voltage of approximately 90% of the standard drive voltage of the nozzle. , Are prepared in advance.

【0025】この請求項9の構成によれば、請求項6な
いし請求項8のいずれかの作用に加えて、このような第
1の駆動波形、第2の駆動波形及び第3の駆動波形のい
ずれかを各インク滴の吐出毎に選択し、選択した駆動波
形に基づいて複数回各ノズルをそれぞれ駆動してインク
滴を基板に吐出する。すると、基板に形成される画素を
形成するインク滴の合計液滴量は、1.25〜2.5%
程度の誤差で目標とする合計液滴量とすることができ
る。従って、このようなフィルタの製造方法によれば、
画素を構成するインク滴の合計液滴量を正確にすること
ができるので、所望の画素を基板に形成することができ
る。
According to the structure of the ninth aspect, in addition to the operation of any of the sixth to eighth aspects, the first drive waveform, the second drive waveform and the third drive waveform as described above are provided. One of them is selected for each ejection of each ink droplet, and each nozzle is driven a plurality of times based on the selected drive waveform to eject the ink droplet onto the substrate. Then, the total amount of ink droplets forming the pixels formed on the substrate is 1.25 to 2.5%.
The target total droplet amount can be obtained with a margin of error. Therefore, according to such a filter manufacturing method,
Since the total droplet amount of the ink droplets forming the pixel can be made accurate, a desired pixel can be formed on the substrate.

【0026】請求項10の発明は、請求項6ないし請求
項9のいずれかの構成において、前記基板には、各前記
ノズルから複数回吐出される前記インク滴を収容する受
容層が設けられていることを特徴とする。
According to a tenth aspect of the present invention, in any one of the sixth to ninth aspects, the substrate is provided with a receiving layer for accommodating the ink droplets ejected from each of the nozzles a plurality of times. It is characterized by being

【0027】請求項11の発明は、請求項6ないし請求
項10のいずれかの構成において、前記記録ヘッドは、
前記基板に対して相対的に走査しながら前記基板に前記
インク滴を吐出することを特徴とする。
According to an eleventh aspect of the present invention, in the configuration according to any one of the sixth to tenth aspects, the recording head is
The ink droplets are ejected onto the substrate while scanning relative to the substrate.

【0028】請求項12の発明は、インク滴を吐出する
複数のノズルを備える記録ヘッドによって、前記複数の
ノズルから前記インク滴を基板に対してそれぞれ複数回
吐出することにより前記基板に複数の画素をそれぞれ形
成することで製造されるフィルタであって、前記複数の
ノズルから吐出される前記インク滴の液滴量を前記複数
のノズルの吐出タイミング毎に設定し、前記設定に基づ
いて前記複数のノズルからインク滴を吐出する事により
製造されることを特徴とするフィルタである。
According to a twelfth aspect of the present invention, a recording head having a plurality of nozzles for ejecting ink droplets ejects the ink droplets from the plurality of nozzles onto the substrate a plurality of times, thereby forming a plurality of pixels on the substrate. A filter manufactured by forming the plurality of nozzles, wherein the droplet amount of the ink droplets ejected from the plurality of nozzles is set for each ejection timing of the plurality of nozzles, and the plurality of nozzles are set based on the setting. A filter manufactured by ejecting ink droplets from a nozzle.

【0029】この請求項12の構成によれば、フィルタ
を、複数のノズルから吐出されるインク滴の液滴量を複
数のノズルの吐出タイミング毎に設定し、この設定に基
づいて複数のノズルからインク滴を吐出することにより
製造したので、各ノズルからそれぞれ吐出されて基板に
着弾するインク滴の合計液滴量を制御することができ、
基板にそれぞれ形成される各画素の合計液滴量をほぼ同
一とすることができるので、各画素がムラなくほぼ同一
に形成される。
According to the structure of the twelfth aspect, the filter sets the droplet amounts of the ink droplets ejected from the plurality of nozzles for each ejection timing of the plurality of nozzles, and based on this setting, the plurality of nozzles are ejected. Since it is manufactured by ejecting ink droplets, it is possible to control the total amount of ink droplets ejected from each nozzle and landing on the substrate.
Since the total amount of droplets of each pixel formed on the substrate can be made substantially the same, the pixels can be formed substantially the same without unevenness.

【0030】また、記録ヘッドが1回基板を走査するこ
とで、基板にそれぞれ形成される各画素の合計液滴量を
ほぼ同一とすることができるので、ムラの少ない複数の
画素を高速で形成でき、フィルタ製造の生産性を向上す
ることができる。したがって、生産性が高くかつ画素ム
ラが少なく画質が良いフィルタを提供することができ
る。
Further, since the recording head scans the substrate once, the total liquid droplet amount of each pixel formed on the substrate can be made substantially the same, so that a plurality of pixels with less unevenness can be formed at high speed. Therefore, the productivity of filter manufacturing can be improved. Therefore, it is possible to provide a filter having high productivity and less pixel unevenness and good image quality.

【0031】[0031]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を図面に基づいて説明する。図1は、フィルタ11が配
列する基板13の構成例を示す平面図であり、図2は、
図1の基板13から製造されたフィルタ11の一部の構
成例を示す平面図である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view showing a configuration example of a substrate 13 on which the filters 11 are arranged, and FIG.
It is a top view which shows the structural example of a part of filter 11 manufactured from the board | substrate 13 of FIG.

【0032】この基板13は、後述するフィルタ11の
基材であり、長手方向の一辺が例えば470mmであ
り、もう一辺が例えば370mmである。基板13は、
透明基板であり適度の機械的強度と共に光透過性の高い
ものを用いる。この基板13としては、例えば透明ガラ
ス基板、アクリルガラス、プラスチック基板、プラスチ
ックフィルム及びこれらの表面処理品等が適用できる。
The substrate 13 is a base material of the filter 11 described later, and one side in the longitudinal direction is, for example, 470 mm, and the other side is, for example, 370 mm. The substrate 13 is
A transparent substrate having a suitable mechanical strength and high light transmittance is used. As the substrate 13, for example, a transparent glass substrate, an acrylic glass, a plastic substrate, a plastic film, a surface-treated product thereof, or the like can be applied.

【0033】このフィルタ11は、例えば少なくとも1
色、好ましくは複数色の画素が形成されている。つま
り、フィルタ11は、例えば複数色の画素が形成された
カラーフィルタである。以下の説明では、フィルタ11
をカラーフィルタ11という。図2に示すように、カラ
ーフィルタ11には、例えば赤色の画素PR、青色の画
素PB及び緑色の画素PGが形成されている。以下の説
明では、これらの画素PR、PB及びPGを総称して画
素Pとも呼ぶ。
The filter 11 has, for example, at least 1
Pixels of different colors, preferably multiple colors, are formed. That is, the filter 11 is, for example, a color filter in which pixels of a plurality of colors are formed. In the following description, the filter 11
Is called a color filter 11. As shown in FIG. 2, for example, a red pixel PR, a blue pixel PB, and a green pixel PG are formed in the color filter 11. In the following description, these pixels PR, PB and PG are also collectively referred to as a pixel P.

【0034】カラーフィルタ11は、表示装置として例
えば液晶ディスプレイに使用されるフィルタであり、画
素PR、PB及びPGが例えばデルタ状に配置されたデ
ルタタイプである。尚、カラーフィルタ11は、画素P
R、PB及びPGがストライプタイプやモザイクタイプ
に配置されていても良いことはいうまでもない。このデ
ルタタイプのカラーフィルタ11は、基板13の表面上
に形成された画素PR、PB及びPGすべてがデルタ状
に配置されていることから、このように呼ばれている。
デルタタイプのカラーフィルタ11を採用する図示しな
い液晶ディスプレイは、一般的に動画を表示するのに適
している。
The color filter 11 is a filter used for a liquid crystal display as a display device, for example, and is a delta type in which pixels PR, PB and PG are arranged in a delta shape, for example. In addition, the color filter 11 includes the pixel P.
It goes without saying that R, PB and PG may be arranged in a stripe type or a mosaic type. The delta type color filter 11 is called in this way because all the pixels PR, PB and PG formed on the surface of the substrate 13 are arranged in a delta shape.
A liquid crystal display (not shown) that uses the delta type color filter 11 is generally suitable for displaying a moving image.

【0035】図3は、本発明の好ましい実施形態として
のフィルタの製造方法によりカラーフィルタ11が製造
される様子の一例を示す平面図である。図3の紙面は、
基板13を示しており、紙面垂直方向にて基板13と多
少の間隔を保持してヘッド7が設けられている。このヘ
ッド7(記録ヘッド)は、基板13との対面に、インク
滴をそれぞれ吐出する例えば180個のノズルN1〜N
180(91)が設けられている。以下の説明では、一
例として記録ヘッド7に180個のノズルN1〜N18
0が設けられているものとして説明する。
FIG. 3 is a plan view showing an example of how the color filter 11 is manufactured by the filter manufacturing method according to the preferred embodiment of the present invention. The page in Figure 3 is
The substrate 13 is shown, and the head 7 is provided at a slight distance from the substrate 13 in the direction perpendicular to the plane of the drawing. The head 7 (recording head) has, for example, 180 nozzles N1 to N that eject ink droplets on the surface facing the substrate 13.
180 (91) is provided. In the following description, as an example, the print head 7 has 180 nozzles N1 to N18.
The description will be made assuming that 0 is provided.

【0036】従って、このヘッド7は、いわゆるインク
ジェット方式を採用する記録ヘッドである。また、ヘッ
ド7は、基板13に対してヘッド走査方向HDに相対的
に走査できるようになっている。従って、このヘッド7
は、基板13に対してヘッド走査方向HDに相対的に走
査しつつ基板13にインク滴を吐出し、基板13にその
インク滴でなる画素PRを形成することができる。
Therefore, the head 7 is a recording head adopting the so-called ink jet system. Further, the head 7 can scan the substrate 13 relatively in the head scanning direction HD. Therefore, this head 7
Can eject ink droplets onto the substrate 13 while relatively scanning the substrate 13 in the head scanning direction HD, and form pixels PR formed of the ink droplets on the substrate 13.

【0037】また、記録ヘッド7は、画素配列方向GH
に移動することができ、画素PRと同様に基板13に画
素PB及び画素PGをそれぞれ形成することができる。
The recording head 7 has a pixel array direction GH.
The pixel PB and the pixel PG can be formed on the substrate 13 similarly to the pixel PR.

【0038】カラーフィルタ11の構成例は以上のよう
であり、次にカラーフィルタ11の製造方法を使用する
製造装置2000の構成例について図1〜図3を参照し
つつ説明する。
The structural example of the color filter 11 is as described above. Next, a structural example of the manufacturing apparatus 2000 using the manufacturing method of the color filter 11 will be described with reference to FIGS.

【0039】図4は、製造装置2000の構成例を示し
ている。コンピュータ34は、ベース12側の制御盤8
0に接続されている。制御盤80は、ベース12の中に
配置されており、その制御盤80に対して第1移動手段
14(リニアモータ)、第2移動手段16(リニアモー
タ)及びθ軸用のモータ44が接続されている。また、
記録ヘッド7の移動に関連するモータ62,64,6
6,68が制御盤80に接続されている。第1移動手段
14と、θ軸モータ44は、制御盤80からの指令によ
り作動してカラーフィルター製造用の基板13を搭載し
たテーブル46を記録ヘッド7に対して相対的にY軸方
向に移動し、かつ、θ方向にインデックスする。
FIG. 4 shows a configuration example of the manufacturing apparatus 2000. The computer 34 is a control panel 8 on the base 12 side.
It is connected to 0. The control board 80 is disposed in the base 12, and the first moving means 14 (linear motor), the second moving means 16 (linear motor), and the θ-axis motor 44 are connected to the control board 80. Has been done. Also,
Motors 62, 64, 6 related to the movement of the recording head 7
6, 68 are connected to the control panel 80. The first moving means 14 and the θ-axis motor 44 operate in response to a command from the control panel 80 to move the table 46 on which the color filter manufacturing substrate 13 is mounted in the Y-axis direction relative to the recording head 7. And index in the θ direction.

【0040】第2移動手段16及び4つのモータ62,
64,66,68は、制御盤80からの指令により作動
して、例えば記録ヘッド7をテーブル46の上の基板1
3に対して姿勢制御したり移動させるようになってい
る。また、基板給排出手段であるロボット74は、コン
ピュータ34の指令により動作の制御ができる。
The second moving means 16 and the four motors 62,
64, 66, 68 are operated by a command from the control panel 80 to move the recording head 7 to the substrate 1 on the table 46, for example.
The attitude is controlled or moved with respect to 3. Further, the operation of the robot 74, which is a substrate feeding / discharging means, can be controlled by a command from the computer 34.

【0041】次に、記録ヘッド7の構造例について、図
4と図5を参照して説明する。記録ヘッド7は、たとえ
ば、ピエゾ素子(圧電素子)を用いたヘッドであり、図
5(A)に示すように本体90のインク吐出面20Pに
は、複数のノズル91が形成されている。これらのノズ
ル91に対してそれぞれピエゾ素子PZTが設けられて
いる。
Next, an example of the structure of the recording head 7 will be described with reference to FIGS. The recording head 7 is, for example, a head using a piezoelectric element (piezoelectric element), and a plurality of nozzles 91 are formed on the ink ejection surface 20P of the main body 90 as shown in FIG. 5A. A piezo element PZT is provided for each of these nozzles 91.

【0042】図5(B)に示すようにピエゾ素子PZT
は、ノズル91とインク室93に対応して配置されてい
る。そして、このピエゾ素子PZTに対して図5(C)
に示すように印加電圧Vhを印加し、図5(D),図5
(E)及び図5(F)に示すようにして、ピエゾ素子P
ZTを矢印Q方向に伸縮させることで、インクを加圧し
て所定量のインク滴をノズル91から吐出させるように
なっている。
As shown in FIG. 5B, the piezo element PZT
Are arranged corresponding to the nozzles 91 and the ink chambers 93. And, for this piezo element PZT, FIG.
The applied voltage Vh is applied as shown in FIG.
As shown in (E) and FIG. 5 (F), the piezo element P
By expanding and contracting ZT in the direction of arrow Q, the ink is pressurized to eject a predetermined amount of ink droplets from the nozzle 91.

【0043】図4の記録ヘッド7は、インク供給部97
に接続されており、このインク供給部97からインクが
図5(B)のインク室93に供給される。インク供給部
97には、温度計96と粘度計95が接続されている。
温度計96と粘度計95は、インク供給部97内に収容
されているインクの温度および粘度を計測して、そのイ
ンクの状態のフィードバック信号S1,S2としてイン
ク管理コントローラ98に供給する。
The recording head 7 shown in FIG.
The ink is supplied from the ink supply section 97 to the ink chamber 93 of FIG. 5B. A thermometer 96 and a viscometer 95 are connected to the ink supply unit 97.
The thermometer 96 and the viscometer 95 measure the temperature and viscosity of the ink contained in the ink supply unit 97, and supply them to the ink management controller 98 as feedback signals S1 and S2 of the state of the ink.

【0044】インク管理コントローラ98は、インクの
状態のフィードバック信号S1,S2に基づいて、コン
ピュータ34に対してインクの温度や粘度の状態を制御
用の情報として与える。コンピュータ34は、制御盤8
0を通して、ピエゾ素子駆動回路101に対してピエゾ
素子駆動信号S3を送る。ピエゾ素子駆動回路101
は、このピエゾ素子駆動信号S3に基づいて、図5
(B)のピエゾ素子PZTに対してその時のインクの温
度や粘度に応じた印加電圧Vhを供給することで、イン
クの温度や粘度に応じてノズル91から所定量のインク
滴を吐出することができる。
The ink management controller 98 gives the state of the temperature and viscosity of the ink as control information to the computer 34 based on the feedback signals S1 and S2 of the state of the ink. The computer 34 is a control panel 8
Through 0, the piezo element drive signal S3 is sent to the piezo element drive circuit 101. Piezo element drive circuit 101
On the basis of this piezo element drive signal S3.
By supplying the applied voltage Vh according to the temperature and viscosity of the ink at that time to the piezo element PZT of (B), a predetermined amount of ink droplets can be ejected from the nozzle 91 according to the temperature and viscosity of the ink. it can.

【0045】図6は、図4のピエゾ素子駆動回路101
の電気的な構成例を示す回路図であり、図7は、図6の
ロジック27の電気的な構成例を示す回路図である。ピ
エゾ素子駆動回路101は、駆動波形生成回路15、ピ
エゾ素子PZT、アナログスイッチ・ドライバ29、ロ
ジック27、上位ラッチ23、下位ラッチ25、上位シ
フトレジスタ19及び下位シフトレジスタ21を有す
る。
FIG. 6 shows the piezoelectric element drive circuit 101 of FIG.
7 is a circuit diagram showing an example of the electrical configuration of FIG. 7, and FIG. 7 is a circuit diagram showing an example of the electrical configuration of the logic 27 of FIG. The piezo element drive circuit 101 has a drive waveform generation circuit 15, a piezo element PZT, an analog switch driver 29, a logic 27, an upper latch 23, a lower latch 25, an upper shift register 19 and a lower shift register 21.

【0046】駆動波形生成回路15は、所定のラッチ信
号LATCHが入力されている。このラッチ信号LAT
CHは、記録ヘッド7の例えば180個のノズルに対応
するピエゾ素子PZTを駆動するか否かを選択する後述
するゲート信号SIHおよびSILをラッチするため、
および、ピエゾ素子PZTに駆動波形COMを印加する
ためのトリガ信号である。また、駆動波形生成回路15
は、駆動波形COMをアナログスイッチ・ドライバ2
9、および駆動波形COMの一部を示す第1の選択信号
V1〜V3をそれぞれロジック27に出力している。
A predetermined latch signal LATCH is input to the drive waveform generation circuit 15. This latch signal LAT
CH latches gate signals SIH and SIL, which will be described later, for selecting whether or not to drive the piezo element PZT corresponding to, for example, 180 nozzles of the recording head 7.
And a trigger signal for applying the drive waveform COM to the piezo element PZT. In addition, the drive waveform generation circuit 15
Shows the drive waveform COM as the analog switch driver 2
9 and the first selection signals V1 to V3 indicating a part of the drive waveform COM are output to the logic 27, respectively.

【0047】また、上位シフトレジスタ19には、クロ
ック信号SCLKによって同期を取りつつ例えば180
個のノズルに接続されるピエゾ素子PZTを駆動するか
否かをそれぞれ選択するための180ビットの第2の選
択信号SIHが入力されている。一方、下位シフトレジ
スタ21には、クロック信号SCLKによって同期を取
りつつ例えば180個のノズルに接続されるピエゾ素子
PZTを駆動するか否かをそれぞれ選択するための18
0ビットの第3の選択信号SILが入力されている。
The upper shift register 19 is synchronized with the clock signal SCLK, for example, 180
A 180-bit second selection signal SIH for selecting whether or not to drive the piezo element PZT connected to each nozzle is input. On the other hand, the lower shift register 21 is provided with 18 for selecting whether or not to drive the piezo elements PZT connected to, for example, 180 nozzles in synchronization with the clock signal SCLK.
The 0-bit third selection signal SIL is input.

【0048】上位ラッチ23及び下位ラッチ25は、そ
れぞれ少なくとも180ビットのデータを記録する機能
を有する。これらの上位ラッチ23及び下位ラッチ25
には、それぞれ上記ラッチ信号LATCHが入力されて
いる。上位ラッチ23は、このラッチ信号LATCHに
同期して上位シフトレジスタ19からの第2の選択信号
SIHを第2の選択信号SHとしてラッチすることがで
きる。一方、下位ラッチ25は、このラッチ信号LAT
CHに同期して下位シフトレジスタ21からの第3の選
択信号SILを第3の選択信号SLとしてラッチするこ
とができる。
The upper latch 23 and the lower latch 25 each have a function of recording at least 180-bit data. These upper latch 23 and lower latch 25
The latch signal LATCH is input to each. The upper latch 23 can latch the second selection signal SIH from the upper shift register 19 as the second selection signal SH in synchronization with the latch signal LATCH. On the other hand, the lower latch 25 receives the latch signal LAT.
The third selection signal SIL from the lower shift register 21 can be latched as the third selection signal SL in synchronization with CH.

【0049】また、ロジック27は、所定のタイミング
で、上位ラッチ23の第2の選択信号SHを第2の選択
信号DHとして取得するとともに、下位ラッチ25の第
3の選択信号SLを第3の選択信号DLとして取得す
る。ロジック27は、例えば180個ある内の1つのピ
エゾ素子PZTあたり図7に示すような構成である。つ
まり、図7のロジック27は、1つのピエゾ素子PZT
に対し3ビットで構成される第1の選択信号V1〜V
3、それぞれ1ビットの第2の選択信号DH、およびそ
れぞれ1ビットの第3の選択信号DLをアナログスイッ
チ・ドライバ29のゲート信号として駆動波形COMの
印加により駆動するか否かを選択する機能を有する。従
って、例えば180個のピエゾ素子PZTは、例えば少
なくとも合計360ビットの選択信号DH,DLによっ
て適切に駆動される。
Further, the logic 27 acquires the second selection signal SH of the upper latch 23 as the second selection signal DH at a predetermined timing, and at the same time, outputs the third selection signal SL of the lower latch 25 to the third selection signal SL. It is acquired as the selection signal DL. The logic 27 has a structure as shown in FIG. 7 per one piezo element PZT out of 180 logic elements. In other words, the logic 27 of FIG. 7 has one piezo element PZT.
To the first selection signals V1 to V composed of 3 bits
3, a function of selecting whether or not to drive the second selection signal DH of 1 bit each and the third selection signal DL of 1 bit each as a gate signal of the analog switch driver 29 by applying the drive waveform COM. Have. Therefore, for example, 180 piezo elements PZT are appropriately driven by the selection signals DH and DL of at least 360 bits in total, for example.

【0050】図8(A)〜図8(B)は、それぞれ図7
のロジック27の動作例を示す図である。図8(A)
は、図7の駆動波形COMとしての第1の駆動波形CO
M1〜第3の駆動波形COM3により基板13にそれぞ
れ形成されるインク滴I1〜I3の一例を示している。
インク滴I1〜I3は、駆動電圧の大きさによって、径
の大きさが決まることがわかる。
8 (A) to 8 (B) are respectively shown in FIG.
It is a figure which shows the operation example of the logic 27 of FIG. FIG. 8 (A)
Is the first drive waveform CO as the drive waveform COM in FIG.
An example of the ink droplets I1 to I3 formed on the substrate 13 by the M1 to third drive waveforms COM3 is shown.
It can be seen that the size of the ink drops I1 to I3 is determined by the size of the drive voltage.

【0051】この実施形態では、一例としてインク滴が
最適な重量となるノズルの標準的な駆動電圧の第2の駆
動波形COM2に対して、第1の駆動波形COM1は、
ノズルの標準的な駆動電圧に対して例えば110%(+
10%)の駆動電圧に設定されており、第3の駆動波形
COM3は、ノズルの標準的な駆動電圧に対して例えば
90%(ー10%)の駆動電圧に設定されている。従っ
て、第1の駆動波形COM1は、第2の駆動波形COM
2により形成されるインク滴I2と比較して、径の大き
なインク滴I1を形成することができる。また、第3の
駆動波形COM3は、第2の駆動波形COM2により形
成されるインク滴I2と比較して、径の小さなインク滴
I3を形成することができる。
In this embodiment, as an example, the first drive waveform COM1 is different from the second drive waveform COM2 of the standard drive voltage of the nozzle in which the ink droplet has the optimum weight.
For example, 110% (+
The drive voltage is set to 10%), and the third drive waveform COM3 is set to, for example, 90% (-10%) of the standard drive voltage of the nozzle. Therefore, the first drive waveform COM1 changes to the second drive waveform COM.
It is possible to form the ink droplet I1 having a larger diameter than the ink droplet I2 formed by 2. Further, the third drive waveform COM3 can form an ink drop I3 having a smaller diameter than the ink drop I2 formed by the second drive waveform COM2.

【0052】また、記録ヘッドのノズルからインク滴I
1を基板13に吐出するための1つの条件としては、例
えば図8(B)に示すように第1の選択信号V1〜V3
がそれぞれ「0」、「0」及び「1」であり、且つ第2
の選択信号DHが「1」であり、第3の選択信号DLが
「1」であることである。
In addition, the ink droplet I is ejected from the nozzle of the recording head.
One condition for ejecting 1 onto the substrate 13 is, for example, as shown in FIG. 8B, first selection signals V1 to V3.
Are “0”, “0” and “1” respectively, and the second
Selection signal DH is “1” and the third selection signal DL is “1”.

【0053】すなわち、第1の選択信号V1〜V3およ
び第2、第3の選択信号DH、DLの組み合わせによ
り、図7に示す3入力1出力NOR回路28によってア
ナログスイッチ・ドライバ29のゲートが開閉し、選択
された駆動波形COMがピエゾ素子PZTに印加され
る。
That is, the gate of the analog switch driver 29 is opened / closed by the 3-input 1-output NOR circuit 28 shown in FIG. 7 according to the combination of the first selection signals V1 to V3 and the second and third selection signals DH and DL. Then, the selected drive waveform COM is applied to the piezo element PZT.

【0054】次に、駆動波形COMについて説明する。
図9は、図6の駆動波形COMの一例を示す図であり、
図10(A)は、図9の駆動電圧Vを変化させた場合に
おけるインク滴の重量等の一例を示す図であり、図10
(B)は、図10(A)の駆動電圧Vに対するインク滴
の重量の一例を示す図である。ここで、図10(A)
は、気温22.9℃の雰囲気中で50000ショットの
インク滴を基板13に着弾させ緑色の画素PGを基板1
3に形成した場合を例示している。
Next, the drive waveform COM will be described.
FIG. 9 is a diagram showing an example of the drive waveform COM of FIG.
FIG. 10A is a diagram showing an example of the weight of ink droplets and the like when the drive voltage V of FIG. 9 is changed.
FIG. 10B is a diagram showing an example of the weight of the ink droplet with respect to the drive voltage V of FIG. Here, FIG. 10 (A)
In the atmosphere at a temperature of 22.9 ° C., ink droplets of 50,000 shots are landed on the substrate 13 and the green pixel PG is printed on the substrate 1.
3 illustrates the case of being formed.

【0055】図9に示すように駆動波形COMの駆動波
形としては、第1の駆動波形COM1、第2の駆動波形
COM2及び第3の駆動波形COM3の3つを例示して
いる。尚、この駆動波形は、3種類に限られない。第1
の駆動波形COM1は最高電圧Vhmaxであり、第2
の駆動波形COM2は最高電圧Vhであり、第3の駆動
波形COM3は最高電圧Vhminである。ここで、第
2の駆動波形COM2は、標準的な駆動電圧の駆動波形
であるものと設定する。従って、上述のように、第1の
駆動波形COM1は、この標準的な駆動波形より高い電
圧で駆動し、第3の駆動波形COM3は、この標準的な
駆動波形より低い電圧で駆動することになる。第1の駆
動波形COM1は、インク滴の液滴量が標準的なインク
の液滴量より少ない場合に選択される。一方、第3の駆
動波形COM3は、インク滴の液滴量が標準的なインク
の液滴量より多い場合に選択される。
As shown in FIG. 9, as the drive waveforms of the drive waveform COM, the first drive waveform COM1, the second drive waveform COM2, and the third drive waveform COM3 are illustrated. The drive waveform is not limited to three types. First
The drive waveform COM1 of is the maximum voltage Vhmax,
The drive waveform COM2 of is the maximum voltage Vh, and the third drive waveform COM3 is the maximum voltage Vhmin. Here, the second drive waveform COM2 is set to be a drive waveform of a standard drive voltage. Therefore, as described above, the first drive waveform COM1 is driven at a voltage higher than the standard drive waveform, and the third drive waveform COM3 is driven at a voltage lower than the standard drive waveform. Become. The first drive waveform COM1 is selected when the ink droplet volume is less than the standard ink droplet volume. On the other hand, the third drive waveform COM3 is selected when the amount of ink droplets is larger than the standard amount of ink droplets.

【0056】図10(A)を参照すると、駆動電圧Vが
変化すると吐出されるインク滴の重量が変化しているこ
とがわかる。この特性を図示すると、図10(B)に示
すようになる。ノズルから吐出されるインク滴の重量
は、駆動電圧Vにほぼ比例している。
Referring to FIG. 10A, it can be seen that the weight of the ejected ink droplet changes as the driving voltage V changes. This characteristic is illustrated in FIG. 10 (B). The weight of the ink droplet ejected from the nozzle is almost proportional to the drive voltage V.

【0057】従って、各駆動波形を選択することにより
基板13に着弾するインクの液滴は、図11(A)に示
す各駆動波形のいずれかを選択してノズルを駆動するこ
とにより、基板13には、第1の駆動波形COM1選択
時の吐出滴I1〜第3の駆動波形COM3選択時の吐出
滴I3に示すようになる。尚、この説明では、一例とし
て第1の吐出タイミングTi1〜第8の吐出タイミング
Ti8にてそれぞれ8個のインク滴を基板13に吐出す
ることで1画素を形成するものとして説明している。
Therefore, the ink droplets landing on the substrate 13 by selecting each driving waveform can select any one of the driving waveforms shown in FIG. Are as shown in the ejection drop I1 when the first drive waveform COM1 is selected to the ejection drop I3 when the third drive waveform COM3 is selected. In this description, as an example, one pixel is formed by ejecting eight ink droplets onto the substrate 13 at the first ejection timing Ti1 to the eighth ejection timing Ti8.

【0058】次に、図1〜図11を参照しつつ、フィル
タの製造方法の一例について説明する。図12は、フィ
ルタの製造方法の一例を示すフローチャートである。
Next, an example of a method of manufacturing a filter will be described with reference to FIGS. FIG. 12 is a flowchart showing an example of a filter manufacturing method.

【0059】計測ステップ まず、ステップST1では、図3の記録ヘッド7の全て
のノズルN1〜N180からそれぞれ吐出されるインク
滴の重量(液滴量)を測定する。図13は、各ノズルか
ら吐出されるインク滴重量の測定値の一例を示したもの
である。図13に示すように、インク滴の吐出重量は、
概ね平均値に対し20%ほどのばらつきがあることが多
く、特にノズル両端部において吐出量が増加する傾向に
ある。
Measuring Step First, in step ST1, the weight (droplet amount) of ink droplets ejected from all the nozzles N1 to N180 of the recording head 7 of FIG. 3 is measured. FIG. 13 shows an example of measured values of the weight of ink droplets ejected from each nozzle. As shown in FIG. 13, the ejection weight of the ink droplet is
There is often a variation of about 20% with respect to the average value, and the ejection amount tends to increase particularly at both ends of the nozzle.

【0060】選択ステップ 次に、選択ステップでは、各画素Pを形成するインク滴
の合計液滴量がほぼ一定量となるように、各前記ノズル
N1〜N180を複数回それぞれ駆動するノズルの駆動
波形を、予め用意した複数の異なるノズルの駆動波形か
ら選択する。具体的には、図12のステップST2で
は、測定された全てのノズルN1〜N18からそれぞれ
吐出されるインク滴の重量から平均値を求める。
Selection Step Next, in the selection step, the drive waveforms of the nozzles that drive each of the nozzles N1 to N180 a plurality of times so that the total droplet amount of the ink droplets forming each pixel P becomes substantially constant. Is selected from the drive waveforms of a plurality of different nozzles prepared in advance. Specifically, in step ST2 of FIG. 12, an average value is obtained from the measured weights of the ink droplets ejected from all the nozzles N1 to N18.

【0061】また、ステップST2では、このインク滴
の重量の平均値の液滴量のインク滴を吐出するための図
9の駆動電圧Vhを求め、第2の駆動波形COM2を設
定する。そして、ステップST2では、図9の第2の駆
動波形COM2を考慮して第1の駆動波形COM1及び
第3の駆動波形COM3を設定する。そして、ステップ
ST2では、例えば8滴のインク滴の重量が本来あるべ
き重量となるように、各ノズル毎にインク滴の1滴ずつ
第1の駆動波形COM1〜第3の駆動波形COM3を図
14に示すように組み合わせる。
Further, in step ST2, the drive voltage Vh of FIG. 9 for ejecting the ink droplet of the average amount of the weight of the ink droplet is obtained, and the second drive waveform COM2 is set. Then, in step ST2, the first drive waveform COM1 and the third drive waveform COM3 are set in consideration of the second drive waveform COM2 of FIG. Then, in step ST2, for example, the first drive waveform COM1 to the third drive waveform COM3 are changed from the first drive waveform COM1 to the third drive waveform COM3 in FIG. Combine as shown in.

【0062】従って、記録ヘッド7の1つのノズルにお
ける8滴のインク滴の合計が108.9〜110.0%
の場合には、例えば1滴目〜7滴目がそれぞれー10%
(第3の駆動波形COM3)、8滴目が標準(第2の駆
動波形COM2)となるように各駆動波形を組み合わせ
る。このようにすると、記録ヘッド7のこのノズルから
吐出される8滴のインク滴の重量(調整予定量)は、9
1.3%となる。従って、記録ヘッド7は、選択した8
滴のインク滴を重ねることで、インク滴の合計液滴量の
目標量としての調整予定量を約1.25〜2.5%単位
で設定することができるようになる。
Therefore, the total of the eight ink drops in one nozzle of the recording head 7 is 108.9 to 110.0%.
In the case of, for example, the first to seventh drops are -10% each.
(3rd drive waveform COM3), each drive waveform is combined so that the 8th drop becomes a standard (2nd drive waveform COM2). By doing so, the weight (scheduled adjustment amount) of the eight ink droplets ejected from this nozzle of the recording head 7 is 9
It becomes 1.3%. Therefore, the recording head 7 is selected 8
By overlapping the ink droplets, it is possible to set the planned adjustment amount as the target amount of the total ink droplet amount in units of about 1.25 to 2.5%.

【0063】そして、図3の記録ヘッド7の全てのノズ
ルN1〜N180は、図15に示すようにそれぞれ補正
されず実際に吐出されてしまうインク滴の液滴量(測定
重量)が、補正後重量に示すように7.6ngに安定す
るように補正される。
Then, as shown in FIG. 15, all the nozzles N1 to N180 of the recording head 7 of FIG. 3 are not corrected and the amount of ink droplets actually ejected (measured weight) is corrected. Corrected to be stable at 7.6 ng as shown by weight.

【0064】画素形成ステップ 画素形成ステップでは、選択したノズルの駆動波形に基
づいて各ノズルをそれぞれ複数回駆動し、各ノズルによ
って各画素をそれぞれ形成する。以下具体的に、図1〜
図15を参照しつつ説明する。
Pixel Forming Step In the pixel forming step, each nozzle is driven a plurality of times based on the drive waveform of the selected nozzle, and each pixel is formed by each nozzle. Specifically, FIG.
This will be described with reference to FIG.

【0065】図16(A)〜図16(D)及び図17
(A)〜図17(D)は、それぞれカラーフィルタ11
の製造工程の一例を示す断面図である。以下の説明で
は、代表として記録ヘッド7のノズルN1からのインク
滴によって画素を基板13に形成する一例を説明する。
16A to 16D and FIG.
17A to 17D show color filters 11 respectively.
FIG. 6 is a cross-sectional view showing an example of the manufacturing process of. In the following description, as an example, an example will be described in which pixels are formed on the substrate 13 by ink droplets from the nozzle N1 of the recording head 7.

【0066】図16(A)に示すように、基板13には
バンク39等によって受容層31が形成されている。記
録ヘッド7は、基板13に対して相対的にヘッド走査方
向HDに移動しながら、図16(A)〜図16(D)に
示すように受容層31に、上述のようにそれぞれ設定し
た例えば8滴のインク滴を吐出する。基板13に着弾し
たインク滴Iは、図16(D)に示すように中央部がや
やふくらんで受容層31に収容されている。このインク
滴Iは、例えば図17(A)に示すように乾燥工程によ
って乾燥され、ほぼ一定の厚みとなる。そして、基板1
3には、画素Pを覆うように保護膜35が成膜される。
As shown in FIG. 16A, the receiving layer 31 is formed on the substrate 13 by the bank 39 and the like. The recording head 7 moves in the head scanning direction HD relative to the substrate 13 and is set in the receiving layer 31 as described above, for example, as shown in FIGS. 16A to 16D. Eject 8 ink drops. The ink droplet I that has landed on the substrate 13 is contained in the receiving layer 31 with a slightly bulged central portion as shown in FIG. The ink droplet I is dried in a drying process, for example, as shown in FIG. 17A, and has a substantially constant thickness. And the substrate 1
On 3, a protective film 35 is formed so as to cover the pixel P.

【0067】次に、保護膜35上には、図17(C)に
示すように透明電極37が形成される。そして、この透
明電極37は、図17(D)に示すように画素Pの上部
に位置する場所を残して除去される。このようにして、
図2のカラーフィルタ11が完成する。
Next, a transparent electrode 37 is formed on the protective film 35, as shown in FIG. Then, the transparent electrode 37 is removed except for the place located above the pixel P as shown in FIG. In this way
The color filter 11 of FIG. 2 is completed.

【0068】本発明の好ましい実施形態によれば、この
ように調整した記録ヘッド7を使用して基板13にイン
ク滴でなる画素Pを形成すると、製造されるカラーフィ
ルタ11は、画素ムラが少なくなる。従って、記録ヘッ
ド7の1回の走査により基板13にムラの少ない画素P
を容易且つ高速に形成することで生産性を向上すること
ができる。
According to the preferred embodiment of the present invention, when the recording head 7 thus adjusted is used to form the pixels P formed of ink droplets on the substrate 13, the manufactured color filter 11 has less pixel unevenness. Become. Therefore, the pixel P having less unevenness on the substrate 13 by one scan of the recording head 7
The productivity can be improved by forming the film easily and at high speed.

【0069】変形例 図18は、本発明の好ましい実施形態としてのフィルタ
の製造方法の変形例を示す平面図である。各インク滴I
の周囲に引かれた点線は、インク滴Iの広がる範囲の一
例を示している。
Modified Example FIG. 18 is a plan view showing a modified example of the method for manufacturing a filter as a preferred embodiment of the present invention. Each ink drop I
The dotted line drawn around the circle indicates an example of the range in which the ink droplet I spreads.

【0070】記録ヘッド7は、上記画素形成ステップに
て、予め用意した複数の異なるノズルの駆動波形毎にそ
れぞれ駆動波形生成回路を構成し、選択された駆動波形
に基づいて同一のタイミングでノズルが駆動されるよう
にしても良い。つまり、第1の吐出タイミングTi1〜
第8の吐出タイミングTi8において、例えば180個
のそれぞれのノズル毎に第1の駆動波形COM1〜第3
の駆動波形COM3のいずれかを選択して吐出するよう
にしても良い。
In the pixel forming step, the recording head 7 forms a driving waveform generating circuit for each of the driving waveforms of a plurality of different nozzles prepared in advance, and the nozzles are driven at the same timing based on the selected driving waveform. It may be driven. That is, the first ejection timing Ti1
At the eighth ejection timing Ti8, for example, the first drive waveforms COM1 to COM3 for each of 180 nozzles.
Alternatively, any one of the drive waveforms COM3 may be selected and ejected.

【0071】図19は、図4のピエゾ素子駆動回路10
1aの構成例を示す回路図であり、図20は、図19の
ロジック27aの構成例を示す回路図である。尚、図1
9は、図18に示すように記録ヘッド7を駆動するため
の回路図を示している。
FIG. 19 shows the piezoelectric element drive circuit 10 of FIG.
FIG. 20 is a circuit diagram showing a configuration example of 1a, and FIG. 20 is a circuit diagram showing a configuration example of the logic 27a of FIG. Incidentally, FIG.
9 shows a circuit diagram for driving the recording head 7 as shown in FIG.

【0072】図19のピエゾ素子駆動回路101aは、
図6のピエゾ素子駆動回路101とほぼ同様の構成及び
機能であるので、異なる点を中心として説明する。ピエ
ゾ素子駆動回路101aでは、予め用意した複数の異な
るノズルの駆動波形から選択された駆動波形により、同
一タイミングで各ノズルが駆動されるようにするため第
1の駆動波形生成回路15a〜第3の駆動波形生成回路
15cが設けられている。第1の駆動波形生成回路15
a〜第3の駆動波形生成回路15cは、それぞれ第1の
駆動波形COM1〜第3の駆動波形COM3を生成する
機能を有する。ロジック27aは、図20に示すように
選択信号DH,DLに基づいて、第1の駆動波形COM
1〜第3の駆動波形COM3から選択した駆動波形に基
づいてアナログスイッチ・ドライバ29a〜アナログス
イッチ・ドライバ29cのいずれかを選択し、駆動する
ようになっている。従って、記録ヘッド7は、図18に
示すように1つの吐出周期T毎に、例えば第1の駆動波
形COM1に基づいてインク滴Iを吐出タイミングTi
1にて吐出することができる。
The piezo element drive circuit 101a shown in FIG.
The structure and function are almost the same as those of the piezo element drive circuit 101 of FIG. 6, and therefore the different points will be mainly described. In the piezo element drive circuit 101a, in order to drive each nozzle at the same timing by the drive waveform selected from the drive waveforms of a plurality of different nozzles prepared in advance, the first drive waveform generation circuit 15a to the third drive waveform generation circuit 15a. A drive waveform generation circuit 15c is provided. First drive waveform generation circuit 15
The a to third drive waveform generation circuits 15c have a function of generating the first drive waveform COM1 to the third drive waveform COM3, respectively. The logic 27a uses the first drive waveform COM based on the selection signals DH and DL as shown in FIG.
Based on the drive waveform selected from the first to third drive waveforms COM3, any one of the analog switch driver 29a to the analog switch driver 29c is selected and driven. Therefore, as shown in FIG. 18, the recording head 7 ejects the ink droplets I for each ejection cycle T based on, for example, the first drive waveform COM1.
It is possible to discharge at 1.

【0073】この変形例によれば、例えば8滴のインク
滴により画素内にインクを吐出する場合において吐出タ
イミングを1/3回にすることが可能となり、同一駆動
周波数にて吐出を行った場合には記録ヘッド7の基板1
3に対する移動速度を3倍とすることができ、生産性を
更に向上させることができる。また、吐出タイミングを
同一とした場合には、1つの画素に吐出する間隔を狭く
することができ、より高精細なカラーフィルタに対応す
ることができる。
According to this modified example, when the ink is ejected into the pixel by, for example, 8 ink drops, the ejection timing can be set to 1/3 times, and when the ejection is performed at the same drive frequency. The substrate 1 of the recording head 7
The moving speed with respect to 3 can be tripled, and the productivity can be further improved. Further, when the discharge timings are the same, the discharge interval for one pixel can be narrowed, and a higher-definition color filter can be dealt with.

【0074】本発明は、上記実施の形態に限定されず、
特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うこ
とができる。
The present invention is not limited to the above embodiment,
Various modifications can be made without departing from the scope of the claims.

【0075】例えば、記録ヘッド7は、基板13に対し
て移動しても良いし、固定された記録ヘッド7に対して
基板13が移動するようにしても良いことはいうまでも
ない。つまり、記録ヘッド7は、基板13に対して相対
的に走査しながら基板13にインク滴を吐出する構成で
あれば良い。
For example, it goes without saying that the recording head 7 may move with respect to the substrate 13 or the substrate 13 may move with respect to the fixed recording head 7. That is, the recording head 7 may be configured to eject ink droplets onto the substrate 13 while scanning the substrate 13 relative to the substrate 13.

【0076】また、上記実施形態では、RGB3色から
なるカラーフィルタを例として説明したが、これに限ら
れず、モノカラー、または2色、あるいは他の複数色の
カラーフィルターに本発明を適用することもできる。
Further, in the above embodiment, the color filter composed of three colors of RGB has been described as an example, but the present invention is not limited to this, and the present invention can be applied to a color filter of monocolor, two colors, or other plural colors. You can also

【0077】上記実施形態の各構成は、その一部を省略
したり、上記とは異なるように任意に組み合わせること
ができる。
A part of each structure of the above-mentioned embodiment can be omitted or can be arbitrarily combined so as to be different from the above.

【0078】本発明のフィルタの製造方法は、液晶表示
用のカラーフィルタの製造に限定されるものではなく、
例えば、EL(エレクトロルミネッセンス)表示素子の
製造に適用することも可能である。EL表示素子は、蛍
光性の無機及び有機化合物を含む薄膜を、陽極と陰極と
で挟んだ構成を有し、この薄膜に電子及び正孔(ホー
ル)を注入して再結合させることにより励起子(エキシ
トン)を生成させ、このエキシトンが失活する際の光の
放出(蛍光・燐光)を利用して発光させる素子である。
このようなEL表示素子に用いられる蛍光性材料のう
ち、赤・緑および青色の発光色を呈する材料を、本発明
の製造方法を用いてTFT等の素子基板上にインクジェ
ットパターニングすることで、自発光フルカラーEL表
示素子を製造することができる。本発明におけるフィル
タの範囲には、このようなEL表示素子の基板を含むも
のである。
The method for producing a filter of the present invention is not limited to the production of a color filter for liquid crystal display,
For example, it can be applied to the manufacture of an EL (electroluminescence) display element. An EL display element has a structure in which a thin film containing a fluorescent inorganic or organic compound is sandwiched between an anode and a cathode, and electrons and holes are injected into this thin film to recombine to generate excitons. It is an element that produces (exciton) and emits light by utilizing the emission of light (fluorescence / phosphorescence) when the exciton is deactivated.
Of the fluorescent materials used for such EL display elements, materials exhibiting red, green, and blue emission colors are inkjet-patterned on an element substrate such as a TFT by using the manufacturing method of the present invention, thereby A light emitting full color EL display device can be manufactured. The range of the filter in the present invention includes such an EL display element substrate.

【0079】そして、本発明のフィルタの製造方法を用
いて製造したEL表示素子は、セグメント表示や全面同
時発光の静止画表示、例えば絵、文字、ラベル等といっ
たローインフォメーション分野への応用、または、点、
線、面形状をもった光源としても使用することができ
る。さらに、パッシブ駆動の表示素子をはじめ、TFT
素子等のアクティブ素子を駆動に用いることで、高輝度
で応答性に優れたフルカラー表示素子を得ることができ
る。
The EL display element manufactured by using the method for manufacturing a filter of the present invention is applied to the field of low information such as segment display and still image display of simultaneous light emission, for example, pictures, characters and labels, or point,
It can also be used as a light source having a line or surface shape. In addition, passively driven display elements and TFTs
By using an active element such as an element for driving, a full-color display element having high brightness and excellent responsiveness can be obtained.

【0080】また、上記実施形態の記録ヘッド7は、
R、G、Bの内の1つの種類のインクを吐出することが
できるようになっているが、この内の2種類或いは3種
類のインクを同時に吐出することも可能である。
The recording head 7 of the above embodiment is
Although one type of ink among R, G, and B can be ejected, it is also possible to eject two or three types of ink among these types of ink at the same time.

【0081】[0081]

【発明の効果】この発明によれば、記録ヘッドが1回基
板を走査することで高速にムラの少ない複数の画素を基
板に形成することで生産性を向上することができるフィ
ルタの製造方法および色ムラの少ないフィルタを提供す
ることができる。
According to the present invention, a method of manufacturing a filter which can improve productivity by forming a plurality of pixels on a substrate at a high speed with little unevenness by scanning the substrate once by the recording head, and It is possible to provide a filter with less color unevenness.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】フィルタが配列する基板の構成例を示す平面
図。
FIG. 1 is a plan view showing a configuration example of a substrate on which filters are arranged.

【図2】図1の基板から製造されたフィルタの一部の構
成例を示す平面図。
FIG. 2 is a plan view showing a configuration example of part of a filter manufactured from the substrate of FIG.

【図3】本発明の好ましい実施形態としてのフィルタの
製造方法によりカラーフィルタが製造される様子の一例
を示す平面図。
FIG. 3 is a plan view showing an example of how a color filter is manufactured by a filter manufacturing method according to a preferred embodiment of the present invention.

【図4】コンピュータと制御盤及び各種制御対象等を示
す図。
FIG. 4 is a diagram showing a computer, a control panel, various controlled objects, and the like.

【図5】記録ヘッドの構成例を示す図。FIG. 5 is a diagram showing a configuration example of a recording head.

【図6】図4のピエゾ素子駆動回路の電気的な構成例を
示す回路図。
6 is a circuit diagram showing an electrical configuration example of the piezo element drive circuit of FIG.

【図7】図6のロジックの電気的な構成例を示す回路
図。
7 is a circuit diagram showing an electrical configuration example of the logic of FIG.

【図8】図7のロジックの動作例を示す図。8 is a diagram showing an operation example of the logic of FIG. 7. FIG.

【図9】図6の駆動波形の一例を示す図。9 is a diagram showing an example of the drive waveforms of FIG.

【図10】図9の駆動電圧を変化させた場合におけるイ
ンク滴の重量等の一例を示す図及び、電圧に対するイン
ク滴の重量の一例を示す図。
FIG. 10 is a diagram showing an example of the weight of the ink droplet when the drive voltage in FIG. 9 is changed, and a diagram showing an example of the weight of the ink droplet with respect to the voltage.

【図11】駆動波形の一例を示す図。FIG. 11 is a diagram showing an example of a drive waveform.

【図12】フィルタの製造方法の一例を示すフローチャ
ート。
FIG. 12 is a flowchart showing an example of a filter manufacturing method.

【図13】記録ヘッドにおける各ノズル毎が吐出するイ
ンク滴の液滴量のバラツキの一例を示す図。
FIG. 13 is a diagram showing an example of variation in the amount of ink droplets ejected from each nozzle in the recording head.

【図14】選択した駆動波形によってノズルを駆動する
ことで複数回インク滴を吐出し、画素を形成した場合に
おけるインク滴の合計インク量の一例を示す図。
FIG. 14 is a diagram showing an example of a total ink amount of ink droplets when a pixel is formed by ejecting ink droplets a plurality of times by driving a nozzle according to a selected drive waveform.

【図15】記録ヘッドの各ノズル毎に吐出するインク滴
の液滴量の一例を示す図。
FIG. 15 is a diagram showing an example of the amount of ink droplets ejected from each nozzle of the recording head.

【図16】カラーフィルタの製造工程の一例を示す断面
図。
FIG. 16 is a sectional view showing an example of a manufacturing process of a color filter.

【図17】カラーフィルタの製造工程の一例を示す断面
図。
FIG. 17 is a cross-sectional view showing an example of a manufacturing process of a color filter.

【図18】本発明の好ましい実施形態としてのフィルタ
の製造方法の変形例を示す平面図。
FIG. 18 is a plan view showing a modified example of the filter manufacturing method according to the preferred embodiment of the present invention.

【図19】変形例のピエゾ素子駆動回路の電気的な構成
例を示す回路図。
FIG. 19 is a circuit diagram showing an electrical configuration example of a piezo element drive circuit of a modified example.

【図20】図19のロジックの電気的な構成例を示す回
路図。
20 is a circuit diagram showing an electrical configuration example of the logic of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

7 ヘッド(記録ヘッド) 11 カラーフィルタ(フィルタ) 13 基板 91 ノズル COM1 第1の駆動波形 COM2 第2の駆動波形 COM3 第3の駆動波形 I インク滴 P 画素 PB 画素 PG 画素 PR 画素 7 heads (recording heads) 11 Color filter (filter) 13 board 91 nozzles COM1 First drive waveform COM2 Second drive waveform COM3 Third drive waveform I ink drop P pixels PB pixel PG pixel PR pixel

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 インク滴を吐出する複数のノズルを備え
る記録ヘッドによって、前記複数のノズルから前記イン
ク滴を基板に対してそれぞれ複数回吐出することにより
前記基板に複数の画素をそれぞれ形成することでフィル
タを製造するフィルタの製造方法であって、 前記複数のノズルから吐出される前記インク滴の液滴量
を、前記複数のノズルの吐出タイミング毎に設定可能と
したことを特徴とするフィルタの製造方法。
1. A recording head having a plurality of nozzles for ejecting ink droplets, wherein the plurality of nozzles ejects the ink droplets onto the substrate a plurality of times to form a plurality of pixels on the substrate, respectively. A method of manufacturing a filter, wherein the droplet amount of the ink droplets ejected from the plurality of nozzles can be set for each ejection timing of the plurality of nozzles. Production method.
【請求項2】 前記複数の画素の各々の画素に対して吐
出される複数のインク滴の合計液滴量は、前記各々の画
素においてほぼ一定量となることを特徴とする請求項1
に記載のフィルタの製造方法。
2. The total droplet amount of a plurality of ink droplets ejected to each of the plurality of pixels is a substantially constant amount in each of the pixels.
A method for manufacturing the filter according to.
【請求項3】 前記吐出タイミング毎に設定される前記
液滴量は、前記複数のノズルを駆動する予め用意された
複数の異なる駆動波形より選択することにより設定され
ることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のフ
ィルタの製造方法。
3. The droplet amount set for each of the ejection timings is set by selecting from a plurality of different drive waveforms prepared in advance for driving the plurality of nozzles. The method for manufacturing the filter according to claim 1 or 2.
【請求項4】 前記複数のノズルは、前記予め用意され
た複数の駆動波形から各々のノズルに対して選択された
同一の駆動波形毎に異なるタイミングで駆動されること
を特徴とする請求項3に記載のフィルタの製造方法。
4. The plurality of nozzles are driven at different timings for each of the same drive waveforms selected for each nozzle from the plurality of drive waveforms prepared in advance. A method for manufacturing the filter according to.
【請求項5】 前記複数のノズルは、前記予め用意され
た複数の駆動波形から各々のノズルに対して選択された
駆動波形により同一のタイミングで駆動されることを特
徴とする請求項3に記載のフィルタの製造方法。
5. The plurality of nozzles are driven at the same timing by a drive waveform selected for each nozzle from the plurality of drive waveforms prepared in advance. Manufacturing method of filter.
【請求項6】 インク滴を吐出する複数のノズルを備え
る記録ヘッドによって、前記複数のノズルから前記イン
ク滴を基板に対してそれぞれ複数回吐出することにより
前記基板に複数の画素をそれぞれ形成することでフィル
タを製造するフィルタの製造方法であって、 前記記録ヘッドの前記複数のノズルからそれぞれ吐出さ
れるインク滴の液滴量を計測する計測ステップと、 各前記画素を形成する前記インク滴の合計液滴量がほぼ
一定量となるように、各前記ノズルを複数回それぞれ駆
動する前記ノズルの駆動波形を、予め用意した複数の異
なる前記ノズルの駆動波形から選択する選択ステップ
と、 選択した前記ノズルの駆動波形に基づいて、前記記録ヘ
ッドの各前記ノズルをそれぞれ複数回駆動し、各前記ノ
ズルによって各前記画素をそれぞれ形成する画素形成ス
テップと、 を有することを特徴とするフィルタの製造方法。
6. A plurality of pixels are formed on the substrate by ejecting the ink droplets from the plurality of nozzles onto the substrate a plurality of times by a recording head having a plurality of nozzles ejecting the ink droplets. A method of manufacturing a filter, comprising: a measuring step of measuring a droplet amount of ink droplets ejected from each of the plurality of nozzles of the recording head; and a total of the ink droplets forming each pixel. A selection step of selecting a drive waveform of the nozzle that drives each of the nozzles a plurality of times so that the droplet amount is substantially constant, from a plurality of different drive waveforms of the different nozzles prepared in advance; Drive each nozzle of the recording head a plurality of times based on the drive waveform of And a pixel forming step for forming each of the pixels.
【請求項7】 前記画素形成ステップでは、前記予め用
意した複数の異なる前記ノズルの駆動波形毎に異なるタ
イミングで前記ノズルが駆動されることを特徴とする請
求項6に記載のフィルタの製造方法。
7. The method of manufacturing a filter according to claim 6, wherein, in the pixel forming step, the nozzles are driven at different timings for respective drive waveforms of the different nozzles prepared in advance.
【請求項8】 前記画素形成ステップでは、前記予め用
意した複数の異なる前記ノズルの駆動波形毎に基づい
て、同一のタイミングで前記ノズルが駆動されることを
特徴とする請求項6に記載のフィルタの製造方法。
8. The filter according to claim 6, wherein in the pixel forming step, the nozzles are driven at the same timing based on the drive waveforms of the plurality of different nozzles prepared in advance. Manufacturing method.
【請求項9】 複数の異なる前記ノズルの駆動波形とし
ては、 前記ノズルの標準的な駆動電圧に対して略110%の駆
動電圧の第1の駆動波形と、 前記ノズルの標準的な駆動電圧の第2の駆動波形と、 前記ノズルの標準的な駆動電圧に対して略90%の駆動
電圧の第3の駆動波形と、 が予め用意されていることを特徴とする請求項6ないし
請求項8のいずれかに記載のフィルタの製造方法。
9. The drive waveforms of the plurality of different nozzles include a first drive waveform having a drive voltage of about 110% of a standard drive voltage of the nozzle and a standard drive voltage of the nozzle. The second drive waveform and the third drive waveform having a drive voltage of approximately 90% of the standard drive voltage of the nozzle are prepared in advance. A method for manufacturing the filter according to any one of 1.
【請求項10】 前記基板には、各前記ノズルから複数
回吐出される前記インク滴を収容する受容層が設けられ
ていることを特徴とする請求項6ないし請求項9のいず
れかに記載のフィルタの製造方法。
10. The substrate according to claim 6, wherein the substrate is provided with a receiving layer that accommodates the ink droplets ejected from each of the nozzles a plurality of times. Filter manufacturing method.
【請求項11】 前記記録ヘッドは、前記基板に対して
相対的に走査しながら前記基板に前記インク滴を吐出す
ることを特徴とする請求項6から請求項10のいずれか
に記載のフィルタの製造方法。
11. The filter according to claim 6, wherein the recording head ejects the ink droplets onto the substrate while scanning relative to the substrate. Production method.
【請求項12】 インク滴を吐出する複数のノズルを備
える記録ヘッドによって、前記複数のノズルから前記イ
ンク滴を基板に対してそれぞれ複数回吐出することによ
り前記基板に複数の画素をそれぞれ形成することで製造
されるフィルタであって、 前記複数のノズルから吐出される前記インク滴の液滴量
を前記複数のノズルの吐出タイミング毎に設定し、前記
設定に基づいて前記複数のノズルからインク滴を吐出す
ることにより製造されることを特徴とするフィルタ。
12. A recording head having a plurality of nozzles for ejecting ink droplets, wherein a plurality of pixels are formed on the substrate by ejecting the ink droplets from the plurality of nozzles onto the substrate a plurality of times, respectively. In the filter manufactured by, the droplet amount of the ink droplets ejected from the plurality of nozzles is set for each ejection timing of the plurality of nozzles, and the ink droplets are ejected from the plurality of nozzles based on the setting. A filter characterized by being manufactured by discharging.
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