JP4127008B2

JP4127008B2 - Droplet ejection apparatus and method, device manufacturing apparatus, device manufacturing method, and electronic apparatus

Info

Publication number: JP4127008B2
Application number: JP2002291144A
Authority: JP
Inventors: 秀範臼田; 真一中村; 豊高野
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2002-10-03
Filing date: 2002-10-03
Publication date: 2008-07-30
Anticipated expiration: 2022-10-03
Also published as: JP2004122021A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板等のワークに対して液滴吐出ヘッドにより機能液の吐出を行う液滴吐出装置及び方法、デバイスの製造装置、デバイス製造方法、並びに電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
カラー印刷が可能なインクジェットプリンタ等の液滴吐出装置は、キャリッジに複数の液滴吐出ヘッドが設けられており、この液滴吐出ヘッド各々に異なる色のインク（液滴）が導入される。かかる構成の液滴吐出装置においては、印刷データに従って各々のヘッドを個別に駆動し、各色の液滴吐出を制御することによりカラー印刷が行われる。このように、複数の液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置が案出されているが、かかる構成の液滴吐出装置に設けられる液滴吐出ヘッドは仕様が同じものが搭載される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、機能液の吐出対象となるワークによっては、複数種の機能膜等を形成するために、粘性の異なる複数種の機能液を吐出する必要がある場合がある。例えば、プレパラート上の検体に染色剤を塗布し、これをコーティング材で封止固着させて、カバーグラスを省略するプレパラートの作成技術等である。この技術においては、液滴吐出ヘッドにより低粘性の検体染色剤（機能液）の吐出と、高粘性のコーティング材（機能液）の吐出とを行う必要がある。
【０００４】
低粘性の検体染色剤を吐出する場合と高粘性のコーティング材を吐出する場合とでは、仕様の異なる液滴吐出ヘッドを用いる必要が生じる。このために、単純に考えると、各々が仕様の異なる液滴吐出ヘッドを搭載した２台の液滴吐出装置を用いるか、又は１台の液滴吐出装置に対して液滴吐出ヘッド（機能液供給系を含む）を適宜交換して用いる必要がある。
【０００５】
しかしながら、前者の液滴吐出装置を用いるとワークの他の液滴吐出装置への搬送に時間を要し、後者の液滴吐出装置を用いると液滴吐出ヘッド等の付け替え（交換）に時間を要するため、全体として各ワークに対する液滴吐出処理が極めて煩雑になる。この問題は、粘性の異なる機能液を吐出するために複数の液滴吐出ヘッドを設けた場合のみならず、酸性度（ｐＨ）の異なる複数種類の機能液を吐出するために仕様の異なる複数の液滴吐出ヘッドを設けた場合、更には吐出量が異なる液滴吐出ヘッドを複数設けた場合にも生ずる問題である。
【０００６】
また、仕様の異なる複数の液滴吐出ヘッドを用いる場合には、液滴吐出ヘッドの種類毎に駆動信号が異なるため、液滴吐出ヘッドの種類毎に専用の駆動回路（ドライバ）を備える必要があるとともに、駆動信号を生成するソフトウェアを液滴吐出ヘッドの種類毎に用意しなければならない。このため、装置の構成が複雑化するとともに装置の高コスト化を招き、更には駆動信号を生成する際のユーザの操作性が悪く、作業効率を低下させる原因になるという問題があった。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、装置構成の簡略化及びコスト低減を図ることができ、更には駆動信号生成時におけるユーザの作業効率を向上させることができる液滴吐出装置及び方法、デバイスの製造装置、デバイス製造方法、並びに電子機器を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の第１の観点による液滴吐出装置は、ワークに対して液滴を吐出する液滴吐出装置において、複数種の液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッド各々を駆動するための駆動装置と、前記駆動装置に対して、前記液滴吐出ヘッドを駆動する駆動信号及び前記液滴吐出ヘッドを制御する液滴吐出データを供給する制御装置とを備え、前記制御装置は、前記複数種の液滴吐出ヘッドのそれぞれに対応した駆動信号を記憶する記憶装置を備えることを特徴としている。
この発明によれば、複数種の液滴吐出ヘッド各々を駆動するための駆動装置を設けるとともに、液滴吐出ヘッドのそれぞれに対応した駆動信号を用いて液滴吐出ヘッドを駆動しているため、装置構成の簡略化及びコスト低減を図ることができる。
また、本発明の第１の観点による液滴吐出装置は、記記憶装置が、前記液滴吐出ヘッドのそれぞれに対応した液滴吐出データを略共通の形式で記憶することを特徴としている。
この発明によれば、液滴吐出データが略共通化されているため、複数の液滴吐出ヘッドを共通の駆動装置で駆動する上で極めて好適であるという効果がある。
また、本発明の第１の観点による液滴吐出装置は、前記制御装置が、前記記憶装置に記憶された共通形式の駆動信号を表示する表示手段と、ユーザの操作内容に応じた操作信号を出力する操作手段と、前記操作手段から出力される操作信号に応じて前記駆動信号を編集する編集手段とを備えることが好ましい。
また、本発明の第１の観点による液滴吐出装置は、前記表示手段が、時間軸方向の尺度を可変して前記駆動信号を表示することが好ましく、前記駆動信号の時間的な変化率に応じて前記駆動信号の部分毎に前記時間軸方向の尺度を可変して前記駆動信号を表示することが好適であり、或いは、前記操作手段から出力される操作信号に応じて前記駆動信号の時間軸方向の尺度を可変して表示することが好ましい。
また、本発明の第１の観点による液滴吐出装置は、前記表示手段が、前記液滴吐出ヘッドを切り替えるためのヘッド切り替え画面を表示し、前記制御装置は、前記操作手段の操作に応じて駆動すべき液滴吐出ヘッドを選択することを特徴としている。
また、本発明の第１の観点による液滴吐出装置は、前記液滴吐出ヘッドが、各々の区別するための識別部を有しており、前記制御装置は、前記識別部の識別子を読み取ることにより前記液滴吐出ヘッドを識別することが好適である。
上記課題を解決するために、本発明の第２の観点による液滴吐出装置は、ワークに対して液滴を吐出する液滴吐出装置において、識別部と前記識別部の情報に対応した複数種の液滴吐出ヘッドとを備えたヘッドユニットと、前記液滴吐出ヘッドを駆動する駆動装置と、前記駆動装置に対して、前記液滴吐出ヘッドを駆動する駆動信号及び前記液滴吐出ヘッドを制御する液滴吐出データを供給する制御装置とを備え、前記制御装置は、前記複数種の液滴吐出ヘッドにそれぞれ対応した駆動信号を共通の形式で記憶する記憶装置と前記識別部を読み取る読み取り装置を備え、前記読み取り装置は前記識別部を読み取り、前記制御装置は、前記読み取り装置が読み取った情報に基づいて前記記憶装置に記憶された駆動信号及び液滴吐出データを前記駆動装置へ供給することを特徴としている。
本発明の液滴吐出方法は、ワークに対して液滴を吐出する液滴吐出方法において、複数種の液滴吐出ヘッドから特定の液滴吐出ヘッドを選択するヘッド選択工程と、少なくとも制御信号情報および波形線分情報とに基づいて形成され、前記複数種の液滴吐出ヘッドに対応した駆動信号の内、前記ヘッド選択工程で選択された液滴吐出ヘッドに対応する駆動信号を、選択された液滴吐出ヘッドに対して供給する駆動信号供給工程とを有することを特徴としている。
また、本発明の第１の観点による液滴吐出方法は、前記ヘッド選択工程で選択された液滴吐出ヘッドに対し、当該液滴吐出ヘッドの仕様に応じた形式で形成され、前記液滴吐出ヘッドを制御する液滴吐出データを供給する液滴吐出データ供給工程を有することを特徴としている。
本発明のデバイスの製造装置は、上記の何れかに記載の液滴吐出装置を備えることを特徴としている。
本発明のデバイス製造方法は、上記の何れかに記載の液滴吐出装置又は上記の液滴吐出方法を用いて、前記液滴を吐出する工程をデバイス製造工程の１つとして含むことを特徴としている。
本発明の電子機器は、上記の何れかに記載の液滴吐出装置又はデバイスの製造装置を用いて製造される。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施形態による液滴吐出装置及び方法、デバイスの製造装置、デバイス製造方法、並びに電子機器について詳細に説明する。
【００１０】
図１は、本発明の一実施形態による液滴吐出装置の概略構成を示すブロック図である。図１に示すように、本実施形態の液滴吐出装置１は、機台２上に設置されたＸ軸テーブル３及びＹ軸テーブル４を備える。Ｘ軸テーブル３上には、移動自在にメインキャリッジ５が取り付けられており、このメインキャリッジ５にはヘッドユニット６が設けられている。尚、詳細は後述するが、ヘッドユニット６には、サブキャリッジ７を介して、仕様の異なる複数種（本実施形態では、３種類）の液滴吐出ヘッド８（８ａ，８ｂ，８ｃ）が搭載されている。また、ヘッドユニット６には、不図示のヘッド駆動回路が設けられている。尚、このヘッド駆動回路の詳細については後述する。更に、ワークとしての基板Ｗは、Ｙ軸テーブル４に搭載されている。
【００１１】
また、液滴吐出装置１は、複数種の液滴吐出ヘッド８の各々に機能液を供給する機能液供給装置９を備えるとともに、Ｘ軸テーブル３及びＹ軸テーブル４並びに複数種の液滴吐出ヘッド８等の駆動を制御する駆動制御装置１０を備えている。この駆動制御装置１０には、複数種の液滴吐出ヘッド８の吐出パターンデータを生成するためのパーソナルコンピュータ１１が接続されている。尚、パーソナルコンピュータ１１は本発明にいう制御装置及び編集手段に相当する。また、上記吐出パターンデータは本発明にいう液滴吐出データに相当する。
【００１２】
パーソナルコンピュータ１１は、コンピュータ本体１１ａ、ディスプレイ１１ｂ、キーボード１１ｃ、及びマウス１１ｄを含んで構成されている。コンピュータ本体１１ａは、各種制御プログラム、液滴吐出ヘッド８を駆動するための駆動信号を生成するためのデータ、及び吐出パターンデータを記憶するハードディスク１１ｅを含んで構成される。尚、コンピュータ本体１１ａ内に設けられるハードディスク１１ｅは、本発明にいう記憶装置に相当するものである。ここで、記憶装置としては、ハードディスク１１ｅ以外に、半導体メモリ、光記録媒体、又は光磁気記録媒体等の記録媒体を用いることができる。ディスプレイ１１ｂは、本発明にいう表示手段に相当するものであり、ＣＲＴ（Cathod Ray Tube）、液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置、その他の表示装置で実現される。また、上記キーボード１１ｃ及びマウス１１ｄは、本発明にいう操作手段に相当する。
【００１３】
尚、図１においては図示を省略しているが、液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッド８の定期的なフラッシング（全吐出ノズルからの機能液の捨て吐出）を受けるフラッシングユニット、液滴吐出ヘッド８のノズル面をワイピングするワイピングユニット、及び液滴吐出ヘッド８の機能液吸引及び保管を行うクリーニングユニット等のユニットを備えている。
【００１４】
Ｘ軸テーブル３は、モータ１２と、モータ１２によって駆動されるＸ軸スライダ１３とを含んで構成されるＸ軸方向の駆動系を備え、これに上記のメインキャリッジ５を移動自在に搭載して構成されている。また、Ｙ軸テーブル４は、モータ１４と、モータ１４によって駆動されるＹ軸スライダ１５とを含んで構成されるＹ軸方向の駆動系を備え、これに吸着テーブル等からなるセットテーブル１６を移動自在に搭載して構成されている。そして、セットテーブル１６上に基板Ｗが位置決めされた状態で保持される。
【００１５】
本実施形態の液滴吐出装置１は、Ｘ軸テーブル３の駆動による液滴吐出ヘッド８の移動に同期して各液滴吐出ヘッド８を駆動（機能液滴の選択的吐出）するように構成されている。つまり、液滴吐出ヘッド８のいわゆる主走査は、Ｘ軸テーブル３のＸ方向への往復運動により行われる。また、これに対応して、いわゆる副走査は、Ｙ軸テーブル４による基板ＷのＹ軸方向への往復運動により行われる。そして、上記走査に同期した各液滴吐出ヘッド８の駆動は、上記のパーソナルコンピュータ１１で作成された吐出パターンデータに基づいて行われる。
【００１６】
機能液供給装置９は、液滴吐出ヘッド８の各々に対応した３種類のサブタンク１７（１７ａ，１７ｂ，１７ｃ）と、サブタンク１７に接続された３種類のメインタンク及び各メインタンクの機能液を対応するサブタンク１７に送液する圧力送液装置（何れも図示省略）とを備えている。各メインタンクの機能液は、対応する第１サブタンク１７ａ、第２サブタンク１７ｂ、及び第３サブタンク１７ｃにそれぞれ圧力液送される。各サブタンク１７で圧力的に縁切りされた機能液は、それぞれ対応する各液滴吐出ヘッド８のポンプ作用により、各液滴吐出ヘッド８に送液される。尚、図示では省略しているが、上記の圧力送液装置も上記の駆動制御装置１０により制御される。
【００１７】
ここで、本実施形態の液滴吐出装置が備えるヘッドユニット６の構成について説明する。図２は、本発明の一実施形態による液滴吐出装置が備えるヘッドユニット６の構成を示す図である。図２に示すように、ヘッドユニット６は、ステンレス等の厚板で構成したサブキャリッジ７と、サブキャリッジ７に精度良く位置決め固定し３種類の液滴吐出ヘッド８とを含んで構成される。
【００１８】
図２に示すように、液滴吐出ヘッド８は、第１吐出ヘッド８ａ、第２吐出ヘッド８ｂ、及び第３吐出ヘッド８ｃからなる。第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃ各々の最外端に位置する吐出ノズルを基準ノズルＮ１〜Ｎ３とすると、第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃの各々に設けられる吐出ノズルは、基準ノズルＮ１〜Ｎ３が主走査方向（Ｘ方向）に平行な仮想線Ｌ上に並ぶように、副操作方向（Ｙ方向）に整列配置されている。また、Ｘ方向におけるサブキャリッジ７の中間位置であって、Ｙ方向における両端部には、位置決め用の一対の基準ピンＰ１，Ｐ２が設けられている。
【００１９】
上述した基準ノズルＮ１〜Ｎ３は、例えば、第１吐出ヘッド８ａの両ノズル列間の着弾位置の補正や、第１吐出ヘッド８ａ、第２吐出ヘッド８ｂ、及び第３吐出ヘッド８ｃの相互間における着弾位置の補正等における位置決め基準として用いられる。また、各吐出ヘッド８ａ，８ｂ，８ｃのサブキャリッジ７への固定も、基準ノズルＮ１〜Ｎ３を基準として位置決めされる。一方、上述した一対の基準ピンＰ１，Ｐ２は、ヘッドユニット６の位置決め基準として用いられる。
【００２０】
上述した３種類の液滴吐出ヘッド８（第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃ）は、相互に仕様の異なるものである。例えば、第１吐出ヘッド８ａは、１８０個の吐出ノズルを列設した２本のノズル列を有する仕様であり、第２吐出ヘッド８ｂは、９６個の吐出ノズルを列設した３本のノズル列を有する仕様であり、第３吐出ヘッド８ｃは、３個の吐出ノズルを列設した１本のノズル列を有する仕様である。
【００２１】
このように、仕様の異なる液滴吐出ヘッド８を複数備えるのは、例えば種類の異なる液滴を、液滴の量（重量、体積）を変えて基板Ｗに吐出するためである。ここで、液滴吐出装置を用いた基板処理例について説明する。図３は、本発明の一実施形態による液滴吐出装置を用いた第１の基板処理例を示す図である。
【００２２】
図３に示すように、バンクＢ１が形成されたマトリクス状の描画エリアＲ１が設定されたワークとしての基板Ｗの各凹部Ｋ１に、揮発性の第１機能液Ｄ１を吐出するとともに、各凹部Ｋ１に第１機能液Ｄ１を封止すべく描画エリアＲ１全体にオーバーコート用の第２機能液Ｄ２を吐出し、更に第１機能液Ｄ１及び第２機能液Ｄ２に吐出不良が生じた場合、不良品として基板ＷのマーキングエリアＲ２に第３機能液Ｄ３による不良マークを描画する場合を考える。
【００２３】
この場合、例えば第１吐出ヘッド８ａに上記した揮発性の第１機能液Ｄ１が導入され、第２吐出ヘッド８ｂにオーバーコート用の第２機能液Ｄ２が導入され、第３吐出ヘッド８ｃにマーキング用の第３機能液Ｄ３が導入され、基板Ｗと液滴吐出ヘッド８との相対位置を変えつつ、第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃから液滴を吐出させる。尚、第１機能液Ｄ１は比較的粘度が低く、第２機能液Ｄ２は比較的粘度が高いものを用い、更にマーキング用の第３機能液Ｄ３は、第２機能液Ｄ２と略同一の粘性を有するものが用いられる。
【００２４】
図４は、本発明の一実施形態による液滴吐出装置を用いた第２の基板処理例を示す図である。図４に示すように、バンクＢ１が形成されたマトリクス状の描画エリアＲ１が設定されたワークとしての基板Ｗの各凹部Ｋ１に、２液タイプの発光機能液（或いはカラーフィルタのフィルタ機能液）であるＡ機能液（発光剤）Ｄ１１とＢ機能液（硬化剤）Ｄ１２とを順次吐出するとともに、上記と同様に、マーキングエリアＲ２に第３機能液Ｄ３による不良マークを描画する場合を考える。
【００２５】
この場合には、例えば第１吐出ヘッド８ａにＡ機能液Ｄ１１が導入され、第２吐出ヘッド８ｂにＢ機能液Ｄ１２が導入され、第３吐出ヘッド８ｃに第３機能液Ｄ３が導入され、基板Ｗと液滴吐出ヘッド８との相対位置を変えつつ、第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃから液滴を吐出させる。このように、複数の液滴ヘッドを備えることにより、微小な異なる種類の液滴をドット状に精度良く吐出することができるため、例えば機能液（吐出対象液）に特殊なインク、発光性又は感光性の樹脂等を用いれば、各種部品、デバイス、及び装置等の製造分野へ応用することが可能である。
【００２６】
尚、図３及び図４で示した基板処理例においては、第１機能液Ｄ１〜第３機能液Ｄ３の種類と、その吐出形態とを考慮し、第１吐出ヘッド８ａは、単位ノズル当たりの機能液滴吐出量が少なく、第２吐出ヘッド８ｂは、単位ノズル当たりの機能液滴吐出量が多く、第３吐出ヘッド８ｃは、単位ノズル当たりの機能液滴吐出量が極端に多い仕様になっている。
【００２７】
次に、駆動制御装置１０及びヘッドユニット６に設けられるヘッド駆動回路について説明する。図５は、駆動制御装置１０及びヘッドユニット６に設けられるヘッド駆動回路の構成を示すブロック図である。図５に示すように、駆動制御装置１０は、コンピュータ本体１１ａから吐出条件等を受信するインターフェイス２１と、各種データの記録を行うＲＡＭ２２と、各種データ処理を行うためのルーチン等を記録したＲＯＭ２３と、ＣＰＵ等からなる制御部２４と、発振回路２５と、液滴吐出ヘッド８に供給する駆動信号ＣＯＭを発生させる駆動信号生成部２６と、インターフェイス２７とを備えている。インタ−フェイス２７は、ドットパターンデータに展開された吐出データを液滴吐出ヘッド８に出力するとともに、駆動信号をモータ１２及びモータ１４に出力する。
【００２８】
以上の構成において、コンピュータ本体１１ａから送られた吐出条件は、インターフェイス２１を介して受信バッファ２２ａに保持される。受信バッファ２２ａに保持されたデータは、コマンド解析が行われてから中間バッファ２２ｂへ送られる。中間バッファ２２ｂ内では、制御部２４によって中間コードに変換された中間形式としてのデータが保持され、液滴の吐出位置等の情報を付加する処理が制御部２４によって実行される。次に、制御部２４は、中間バッファ２２ｂ内のデータを解析してデコード化した後、ドットパターンデータを出力バッファ２２ｃに展開し、記録させる。
【００２９】
液滴吐出ヘッド８の１スキャン分に相当するドットパターンデータが得られると、このドットパターンデータは、インターフェイス２７を介して駆動装置としてのヘッド駆動回路３０にシリアル転送される。出力バッファ２２ｃから１スキャン分に相当するドットパターンデータが出力されると、中間バッファ２２ｂの内容が消去されて、次の中間コード変換が行われる。
【００３０】
ドットパターンデータに展開された吐出データＳＩは、発振回路２５からのクロック信号ＣＬＫに同期してインターフェイス２７を介して液滴吐出ヘッド８（第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃ）に対して共通に設けられたヘッド駆動回路３０にシリアル出力される。ここで、ドットパターンデータに展開された吐出データＳＩには、第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃの何れを駆動するか（選択するか）を示すヘッド選択データと、選択された液滴吐出ヘッド８に形成されている何れのノズルから液滴を吐出するかを規定するノズル選択データとが含まれているとともに、各ノズルから液滴を吐出するのに何れの駆動信号を用いるかを規定する波形選択データも含まれている。尚、詳細は後述するが、上記の波形選択データは、第１吐出ヘッド８ａの液滴吐出量を高い精度で制御するために、波形の異なる複数のパルスを含む駆動信号ＣＯＭから、特定波形のパルス（駆動信号）を選択するために用いられる。尚、第２吐出ヘッド８ｂ及び第３吐出ヘッド８ｃを用いて液滴を吐出させる場合には、波形選択データは用いられない。
【００３１】
ヘッド駆動回路３０は、第１シフトレジスタ３１ａ、第２シフトレジスタ３１ｂ、第１ラッチ回路３２ａ、第２ラッチ回路３２ｂ、デコーダ３３、レベルシフタ３４、スイッチ回路３５（スイッチ素子３５−１，３５−２，…，３５−Ｎ）、及び制御ロジック３６を含んで構成されている。このヘッド駆動回路３０には、液滴吐出ヘッド８（第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃ）が接続されている。
【００３２】
尚、液滴吐出ヘッド８（第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃ）は、設けられている吐出ノズルの数と同数のピエゾ素子等の圧力発生素子（図示省略）を備えており、この圧力発生素子の各々にスイッチ回路３５に設けられたスイッチ素子３５−１，３５−２，…，３５−Ｎがそれぞれ接続されている。但し、第２吐出ヘッド８ｂ及び第３吐出ヘッド８ｃに設けられる吐出ノズルの数は第１吐出ヘッド８ａに設けられる吐出ノズルの数よりも少ないため、スイッチ素子３５−１，３５−２，…，３５−Ｎの内、第２吐出ヘッド８ｂ及び第３吐出ヘッド８ｃに設けられた圧力発生素子に接続されてないものがある点に注意されたい。
【００３３】
このヘッド駆動回路３０において、駆動制御装置１０から出力されてきた第１吐出ヘッド８ａ用の吐出データＳＩは、まず、第１シフトレジスタ３１ａ、及び第２シフトレジスタ３１ｂにシリアル伝送される。ここで、吐出データの上位ビットのデータが第２シフトレジスタ３１ｂに入力され、下位ビットのデータが第１シフトレジスタ３１ａに入力される。
【００３４】
シフトレジスタ３１ａ，３１ｂには、第１ラッチ回路３２ａ及び第２ラッチ回路３２ｂがそれぞれ接続されている。駆動制御装置１０からのラッチ信号ＬＡＴが各ラッチ回路３２ａ，３２ｂに入力されると、ラッチ回路３２ａ，３２ｂは、シフトレジスタ３１ａ，３１ｂ各々によってパラレル変換された吐出データＳＩをそれぞれラッチする。従って、第１ラッチ回路３２ａには吐出データＳＩの下位ビットのデータがラッチされ、第２ラッチ回路３２ｂには吐出データＳＩの上位ビットがラッチされる。
【００３５】
各ラッチ回路３２ａ，３２ｂでラッチされた吐出データＳＩは、デコーダ３３に入力される。このデコーダ３３は、制御ロジック３６からの信号によって、２ビットの吐出データＳＩを４ビットの吐出データＳＩに翻訳する。デコーダ３３等によって翻訳された吐出データＳＩは、電圧増幅器たるレベルシフタ３４によって、スイッチ回路３５を駆動できる電圧、例えば数十ボルト程度の所定の電圧値まで昇圧される。所定の電圧値まで昇圧された吐出データＳＩは、スイッチ回路３５に与えられる。また、スイッチ回路３５に設けられた各スイッチ素子３５−１，３５−２，…，３５−Ｎの入力側には、駆動信号生成部２６からの駆動信号ＣＯＭが印加される。
【００３６】
吐出データＳＩは、スイッチ回路３５の動作を各スイッチ素子３５−１，３５−２，…，３５−Ｎ毎に制御する。例えば、各スイッチ素子３５−１，３５−２，…，３５−Ｎに加わる吐出データＳＩが「１」である期間中は、駆動信号ＣＯＭが圧力発生素子のそれぞれに印加され、この駆動信号ＣＯＭ応じて圧力発生素子は伸縮する。一方、各スイッチ素子３５−１，３５−２，…，３５−Ｎに加わる吐出データＳＩが「０」の期間中は、圧力発生素子への駆動信号ＣＯＭの供給が遮断される。
【００３７】
ここで、駆動制御装置１０からの吐出データＳＩは、例えば（１０）、（０１）等の如く、第１吐出ヘッド８ａに設けられた各ノズル毎に、上位のビット１及び下位のビット０の合計２ビットデータで構成されている。そして、全てのノズルについてのビット０のデータが第１シフトレジスタ３１ａに入力され、全てのノズルについてのビット１のデータが第２シフトレジスタ３１ｂに入力される。
【００３８】
各シフトレジスタ３１ａ，３１ｂに入力された各ノズル毎の吐出データＳＩは、各ラッチ回路３２ａ，３２ｂにラッチされて、デコーダ３３に入力される。デコーダ３３は、制御ロジック３６からの信号に基づいて、２ビットの吐出データＳＩを４ビットの吐出データＳＩに翻訳する。そして、スイッチ回路３５の各スイッチ素子３５−１，３５−２，…，３５−Ｎに加わるビットデータが「１」の場合は、駆動信号ＣＯＭが各圧力発生素子に直接印加され、各圧力発生素子は駆動信号ＣＯＭの信号波形に応じて変位する。逆に、各スイッチ素子３５−１，３５−２，…，３５−Ｎに加わるビットデータが「０」の場合は、各圧力発生素子への駆動信号ＣＯＭが遮断され、各圧力発生素子は直前の電荷を保持する。
【００３９】
以上、第１吐出ヘッド８ａ用の吐出データＳＩが駆動制御装置１０から出力された場合の動作について説明した。第２吐出ヘッド８ｂ用の吐出データＳＩ又は第３吐出ヘッド８ｃ用の吐出データＳＩが駆動制御装置１０から出力されてきた場合には、吐出データＳＩは、第１シフトレジスタ３１ａ及び第１ラッチ回路３２ａのみを介して（即ち、第２シフトレジスタ３１ｂ及び第１ラッチ回路３２ｂは用いられずに）デコーダ３３へ出力される。尚、駆動制御装置１０から出力される吐出データＳＩの種類に応じたヘッド駆動回路３０の動作の切り替え制御は、制御部２４からの制御信号に基づいて制御ロジック３６が行う。
【００４０】
次に、駆動信号生成部２６について図６〜図８を参照して説明する。図６は、駆動信号生成部２６の構成を示すブロック図である。図７は、駆動信号生成部２６において駆動信号ＣＯＭに含まれる駆動信号を生成していく過程を示す説明図である。図８は、駆動信号生成部２６においてデータ信号を用いてメモリに電位差（ΔＶ）を設定する場合の各信号のタイミングを示すタイミングチャートである。
【００４１】
図６に示すように、駆動信号生成部２６は、制御部２４からの信号を受け取って記録するメモリ４１、このメモリ４１の内容を読み出して一時的に保持する第１のラッチ４２、この第１のラッチ４２の出力と後述するもう一つの第２のラッチ４４の出力とを加算する加算器４３、第２のラッチ４４の出力をアナログデータに変換するＤ／Ａ変換器４５、及び変換されたアナログ信号を駆動信号の電圧まで増幅する電圧増幅部４６を備えるとともに、電圧増幅部４６から出力された駆動信号に対する電流増幅器４７をそれぞれ備えている。
【００４２】
メモリ４１は、駆動信号ＣＯＭの波形を決める所定のパラメータを記録しておく波形データ記録部である。駆動信号ＣＯＭの波形は、予め制御部２４から受け取った所定のパラメータにより決定される。即ち、駆動信号生成部２６は、クロック信号８０１，８０２，８０３、データ信号８３０、アドレス信号８１０，８１１，８１２，８１３、リセット信号８２０、及びイネーブル信号８４０を受け取る。尚、制御部２４から駆動信号生成部２６に出力されるパラメータは、ユーザがコンピュータ１１を操作して作成され、予めハードディスク１１ｅに記録されている。
【００４３】
上記のように構成した駆動信号生成部２６においては、図７に示すように、駆動信号ＣＯＭの生成に先立って、制御部２４の電圧変化量を示すいくつかのデータ信号と、そのデータ信号のアドレスとがクロック信号８０１に同期して、駆動信号生成部２６のメモリ４１に出力される。データ信号８３０は、図８に示すように、クロック信号８０１を同期信号とするシリアル転送により、データをやり取りする構成になっている。
【００４４】
即ち、制御部２４から所定の電圧変化量を転送する場合には、まず、クロック信号８０１に同期して複数ビットのデータ信号を出力し、その後、このデータを格納するアドレスをイネーブル信号８４０に同期してアドレス信号８１０〜８１３として出力する。メモリ４１は、このイネーブル信号８４０が出力されたタイミングでアドレス信号を読み取り、受け取ったデータをそのアドレスに書き込む。アドレス信号８１０〜８１３は４ビットの信号であるため、最大１６種類の電圧変化量をメモリ４１に記録することができる。尚、データの上位のビットは符号として用いられている。
【００４５】
各アドレスＡ，Ｂ，…への電圧変化量の設定が終了した後、例えばアドレスＢがアドレス信号８１０〜８１３に出力されると、最初のクロック信号８０２により、このアドレスＢに対応した電圧変化量ΔＶ１が第１のラッチ４２により保持される。この状態で、次にクロック信号８０３が出力されると、第２のラッチ４４の出力に第１のラッチ４２の出力が加算された値が、第２のラッチ４４に保持される。即ち、図７に示すように、一旦、アドレス信号に対応した電圧変化量が選択されると、その後、クロック信号８０３を受けるたびに、第２のラッチ４４の出力は、その電圧変化量に従って増減する。メモリ４１のアドレスＢに格納された電圧変化量ΔＶ１とクロック信号８０３の単位時間ΔＴにより駆動波形のスルーレートが決まる。尚、増加か減少かは、各アドレスに格納されたデータの符号により決定される。
【００４６】
図７に示した例では、アドレスＡには、電圧変化量として値０、即ち、電圧を維持する場合の値が格納されている。従って、クロック信号８０２によりアドレスＡが有効となると、駆動信号の波形は増減のないフラットな状態に保たれる。また、アドレスＣには、駆動波形のスルーレートを決定するために、単位時間ΔＴ当たりの電圧変化量ΔＶ２が格納されている。従って、クロック信号８０２によりアドレスＣが有効になった後は、この電圧ΔＶ２ずつ電圧が低下していくことになる。このように制御部２４からアドレス信号とクロック信号とを出力するだけで、駆動信号ＣＯＭの波形を自由に制御できる。
【００４７】
また、本実施形態においては、制御部２４がインターフェイス２７を介して制御ロジック３６に制御信号ＣＨを出力することによって、図９に示すように、１吐出周期内に４つの駆動信号を含んでなる駆動信号ＣＯＭを生成することができるように構成されている。尚、ここにいう１吐出周期は、駆動制御装置１０からのラッチ信号ＬＡＴの時間間隔をいう。
【００４８】
図９は、本発明の一実施形態による液滴吐出装置で用いられる駆動信号ＣＯＭの波形、この駆動信号ＣＯＭに含まれる各駆動信号を液滴吐出ヘッド８の何れかに設けられた圧力発生素子に印加したときに吐出される液滴のドットの大小関係、及び吐出データＳＩに基づいて駆動信号ＣＯＭから駆動信号を１つ選択して第１吐出ヘッド８ａが備える圧力発生素子に印加する方法を示す説明図である。
【００４９】
図９に示すように、駆動信号ＣＯＭには１吐出周期内に４つの駆動信号ＣＯＭ１，ＣＯＭ２，ＣＯＭ３，ＣＯＭ４を含めることができ、第１駆動信号ＣＯＭ１、第２駆動信号ＣＯＭ２、及び第３駆動信号ＣＯＭ３は、最大電位ＶＰＳが第１駆動信号ＣＯＭ１、第２駆動信号ＣＯＭ２、及び第３駆動信号ＣＯＭ３の順に低くなっている。このため、第１駆動信号ＣＯＭ１、第２駆動信号ＣＯＭ２、及び第３駆動信号ＣＯＭ３を同一の圧力発生素子に印加した場合、ノズルから吐出される液滴の１ドット当たりの重量は、「大」、「中」、「小」となる。
【００５０】
従って、第１駆動信号ＣＯＭ１、第２駆動信号ＣＯＭ２、第３駆動信号ＣＯＭ３についてはそれぞれ、大ドットパルス、中ドットパルス、小ドットパルスとして表現することもできる。ここで、重量は「大」、「中」、「小」で例えば数％程度の差がある。尚、第４駆動信号ＣＯＭ４は、液滴吐出ヘッド８のそれぞれに設けられたノズル付近の液滴を微振動させて液滴の粘度の増大や硬化を防止するためのものであり、この第４駆動信号ＣＯＭ４によっては液滴が吐出されることはない。従って、第４駆動信号ＣＯＭ４は「微振動パルス」として表現可能である。
【００５１】
図２を参照して説明したように、本実施形態では、デコーダ３３からスイッチ回路３５に加わる吐出データＳＩのビットが「１」の期間中には、駆動信号ＣＯＭが第１吐出ヘッド８ａに設けられた圧力発生素子に印加され、圧力発生素子は駆動信号ＣＯＭの波形に応じて伸縮する。一方、吐出データＳＩのビットが「０」の期間中には、圧力発生素子への駆動信号ＣＯＭの供給が遮断され、圧力発生素子は直前の状態を保持する。従って、吐出データＳＩのビットを第１〜第４駆動信号ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４の発生タイミングに同期させれば、第１〜第４駆動信号ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４のうちいずれか１つを選択して圧力発生素子に印加することができる。
【００５２】
ここで、第１吐出ヘッド８ａを駆動する際の動作について説明する。コンピュータ本体１１ａにおいて、基板Ｗに対する液滴の吐出パターンＳＩが指定されると、この吐出パターンＳＩはヘッド選択データ、ノズル選択データ、及び波形選択データとともに吐出条件として駆動制御装置１０に出力される。そして、駆動制御装置１０において、制御部２４により吐出パターンがドットパターンデータに展開される際、吐出データＳＩには、ノズル選択データに対応して、駆動信号ＣＯＭに含まれる駆動信号ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４から何れの駆動信号を印加するかを規定する波形選択データが付加される。
【００５３】
ここで、波形選択データは、２ビットの吐出データ（００）、（０１）、（１０）、（１１）として表され、この２ビットの吐出データは、デコーダ３３によって４ビットデータに翻訳され、この４ビットのデータは、駆動信号ＣＯＭに含まれる駆動信号ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４の発生と同期させてある。
【００５４】
例えば、２ビットのデータ（００）は、デコーダ３３によって４ビットデータ（１０００）にデコードされる結果、このデータに対応するノズルを駆動する圧力発生素子には、第１駆動信号ＣＯＭ１のみが印加される。また、２ビットのデータ（０１）は、デコーダ３３によって４ビットデータ（０１００）に翻訳（デコード）される結果、このデータに対応するノズルを駆動する圧力発生素子には、第２駆動信号ＣＯＭ２のみが印加される。
【００５５】
更に、２ビットのデータ（１０）は、デコーダ３３によって４ビットデータ（００１０）にデコードされる結果、このデータに対応するノズルを駆動する圧力発生素子には、第３駆動信号ＣＯＭ３のみが印加される。更にまた、２ビットのデータ（１１）は、デコーダ３３によって４ビットデータ（０００１）に翻訳（デコード）される結果、このデータに対応するノズルを駆動する圧力発生素子には、第４駆動信号ＣＯＭ４のみが印加される。このようにして第１吐出ヘッド８ａが駆動される。尚、第２吐出ヘッド８ｂ及び第３吐出ヘッド８ｂを駆動する場合には、コンピュータ本体１１ａからは波形選択データが出力されない点、及び、駆動制御装置１０においてノズル選択データに対応して波形選択データが付加されない点を除いて、上記と同様の動作を行う。
【００５６】
次に、パーソナルコンピュータ１１が備えるハードディスク１１ｅに記憶される各種データの内、駆動信号ＣＯＭを生成するためのデータと吐出パターンデータのデータ形式について説明する。まず、駆動信号ＣＯＭを生成するためのデータ（以下、駆動信号生成データという）のデータ形式について説明する。本実施形態においては、液滴吐出ヘッド８の種類毎の駆動信号生成データは、略共通の形式でハードディスク１１ｅに記憶される。
【００５７】
図１０は、駆動信号生成データの基本形式を示す図である。図１０に示すように、駆動信号生成データは、波形線分情報を格納するフィールドＦ１、制御信号情報を格納するフィールドＦ２、ＵＰ・ＤＯＷＮ情報を格納するフィールドＦ３、及びその他の情報を格納するフィールドＦ４からなる。
【００５８】
ここで、波形線分情報は、駆動信号ＣＯＭの時間的変化率に応じて駆動信号ＣＯＭを複数の線分で表したときに、その線分の増減率を示す情報である。例えば、図７に示した駆動信号ＣＯＭは、電圧値が電圧変化量ΔＶ１づつ増大する線分、電圧Ｖを維持する線分、及び電圧変化量ΔＶ２づつ減少する線分の３つの線分で表すことができる。各線分を表す波形線分情報は、線分の開始時点におけるレベル（最大電位を１００としたパーセント表記）と、その線分が持続する時間とからなる。
【００５９】
制御信号情報は、液滴吐出ヘッド８を駆動するための制御信号を示す情報であり、例えば前述したラッチ信号ＬＡＴ、制御信号ＣＨ等である。この制御信号は上述した１つの線分又は複数の線分に対応付けられる。ＵＰ・ＤＯＷＮ情報は、上記の線分が増大するものであるか又は減少するものであるかを示す情報である。その他の情報は、クロック信号８０３の周波数、駆動信号ＣＯＭの最大電圧、最小電圧等を示す情報である。駆動信号生成データの内、液滴吐出ヘッド８の種類に大きく依存するのは制御信号情報であるが、本実施形態においては制御信号情報をフィールドＦ２にまとめた形式としており、これにより液滴吐出ヘッド８の種類にほぼ依存せず、略共通の形式で駆動信号生成データを記憶することができる。
【００６０】
次に吐出パターンデータのデータ形式について説明する。図１１は、吐出パターンデータのデータ形式を示す図である。本実施形態においては、吐出パターンデータは略共通の形式でハードディスク１１ｅに記憶される。図１１に示すように、吐出パターンデータは、複数の領域Ａ１〜Ａ７，…からなる形式であり、各領域Ａ１〜Ａ７，…には基本的に液滴吐出ヘッド８に設けられた吐出ノズルの数の分のデータが記憶される。
【００６１】
第１吐出ヘッド８ａ用の吐出パターンデータ（吐出データＳＩ）は、前述したように上位ビットのデータと下位ビットのデータとからなるため、各領域Ａ１〜Ａ７，…には上位ビットを記憶する領域ＵＢと下位ビットを記憶する領域ＬＢとが設けられる。第２吐出ヘッド８ｂ及び第３吐出ヘッド８ｃ用の吐出パターンデータは、第１吐出ヘッド８ａ用の吐出パターンデータの如く上位、下位ビットが設けられていないため、液滴吐出ヘッド８に設けられた吐出ノズルの数の分のデータが各領域Ａ１〜Ａ７，…に記憶される。
【００６２】
但し、第３吐出ヘッド８ｂに設けられる吐出ヘッドの数は、第２吐出ヘッド８ｂに設けられるヘッドの数よりも少ないが、第３吐出ヘッド８ｃ用の吐出パターンデータの各領域Ａ１〜Ａ７，…のデータ量は、ダミーデータを設けて第３吐出ヘッド８ｃ用の駆動信号生成データの各領域Ａ１〜Ａ７，…のデータ量と同じに設定される。これは、第２吐出ヘッド８ｂ用の吐出パターンデータの形式と第３吐出ヘッド８ｃ用の吐出パターンデータの形式とを極力同一にすることで、ヘッド駆動回路３０の構成を簡単化するためである。尚、上述した駆動信号生成データ及び吐出パターンデータは、ユーザがコンピュータ１１を用い、エディタ等のプログラムを起動させて予め作成しておく。
【００６３】
以上説明した液滴吐出装置の動作は、基本的にユーザがパーソナルコンピュータ１１を操作して制御プログラムに指示を与え、この指示に基づいて制御プログラムが制御する。次に、パーソナルコンピュータ１１が備えるディスプレイ１１ｂの表示内容について説明する。図１２は、液滴吐出装置の動作を制御する制御プログラムのメイン画面の一例を示す図である。図１２に示すように、ディスプレイ１１ｂには、ヘッド選択画面ＷＤ１、現在位置表示画面ＷＤ２、相対値移動画面ＷＤ３、絶対位置登録画面ＷＤ４、液滴重量設定画面ＷＤ５、非印字時定期捨て位置画面ＷＤ６、及び非印字時微振動設定画面ＷＤ７、並びに、波形設定ボタンＢＴ１、印刷設定ボタンＢＴ２、設定保存ボタンＢＴ３、設定読込ボタンＢＴ４、ヘルプボタンＢＴ５、及び終了ボタンＢＴ６が１つのウィンドウ内に表示される。
【００６４】
ヘッド選択画面ＷＤ１は、ユーザが液滴吐出ヘッド８（第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃ）を選択するための画面であり、画面内に設けられた３つのラジオボタンの何れかを択一的にチェックすることにより液滴吐出ヘッドの選択を行う。但し、吐出データＳＩにヘッド選択データを用いた場合、このラジオボタンは自動で切り替わるようになっており、ヘッド選択データを用いない場合のみラジオボタンは有効となる。尚、ラジオボタンのチェックは、ユーザがマウス１１ｄを操作して行う。現在位置表示画面ＷＤ２は、選択されている液滴吐出ヘッド８の現在位置が表示される画面である。相対値移動画面ＷＤ３は、選択されている液滴吐出ヘッド８を手動で移動させるための画面である。尚、液滴吐出ヘッド８の移動は、ユーザがマウス１１ｄを用いて画面内に表示された４つの矢印ボタンを押下することで移動方向を決定し、キーボード１１ｃを用いて移動距離を入力することで行う。
【００６５】
絶対位置登録画面ＷＤ４は、液滴吐出ヘッド８を駆動する上で必要となる各種部材の絶対位置を登録するための画面である。具体的な項目には、基板Ｗの供給位置、位置合わせのためのアライメントマーク位置、描画開始位置、定期的に液滴を捨て打ちするための位置、液滴吐出ヘッド８から吐出される液滴の重量を測定する位置、液滴の重量測定のために液滴吐出ヘッド８を退避させる位置、予備のための任意移動位置、及びフラッシングを行う位置がある。
【００６６】
また、マウス１１ｄを操作して絶対位置登録画面ＷＤ４内に設けられている原点復帰ボタンを押下すると、予め定められている原点に液滴吐出ヘッド８を移動させることができ、また、位置を設定する項目に対応して設けられたラジオボタンの何れか１つをチェックして移動ボタンを押下すれば、そのラジオボタンに対応する項目で設定した位置に液滴吐出ヘッド８を移動させることができる。
【００６７】
液滴重量設定画面ＷＤ５は、液滴吐出ヘッド８から吐出される液滴の重量を測定する時及び測定直前に行う捨て打ちの時に使用される吐出周波数、液滴の重量を測定する直前に行う捨て打ちショット数（吐出回数）、及び液滴の吐出量を測定する際のショット数を設定するための画面である。これらの設定はユーザがキーボード１１ｃを用いて各々の値を入力することで行う。また、非印字時定期捨て位置画面ＷＤ６は、非印字時において機能液の粘性の向上を防止するために定期的に捨て打ちするときの吐出周波数等を設定する画面である。更に、非印字時微振動設定画面ＷＤ７は、非印字時において機能液の粘性を安定（ほぼ、同じ粘性）にするために、液滴が吐出しない程度に液滴吐出ヘッド８を微振動させる周波数を設定する画面である。
【００６８】
また、波形設定ボタンＢＴ１は、予め作成してハードディスク１１ｅに記憶されている駆動信号ＣＯＭの編集等を行うためのボタンであり、印刷設定ボタンＢＴ２は、ハードディスク１１ｅに記憶されている吐出パターンデータから、使用する吐出パターンデータを選択するボタンである。また、設定保存ボタンＢＴ３は、ヘッド選択画面ＷＤ１〜非印字時微振動設定画面ＷＤ７で設定した内容をハードディスク１１ｅに保存し、設定読込ボタンＢＴ４は設定保存ボタンＢＴ３で保存した内容を読み込むためのボタンである。更に、ヘルプボタンＢＴ５は、ヘッド選択画面ＷＤ１〜非印字時微振動設定画面ＷＤ７の操作する上でのヘルプ（補助的な説明）を表示させるためのボタンであり、終了ボタンＢＴ６は図１２に示したウィンドウを閉じて液滴吐出装置を制御するプログラムを終了させるボタンである。
【００６９】
以上制御プログラムのメイン画面について説明したが、次に、駆動信号ＣＯＭ（駆動信号生成データ）の編集方法（設定方法）について説明する。駆動信号ＣＯＭの編集を行う場合には、ユーザはマウス１１ｄを操作して、図１２に示したメイン画面中の波形設定ボタンＢＴ１を押下し、波形設定画面を表示させる。図１３は、波形設定画面の一例を示す図である。
【００７０】
ディスプレイ１１ｂに波形設定画面が表示されている状態で、ユーザがマウス１１ｄを操作して図１３中のデータ読込ボタンＢＴ１１を押下すると、ハードディスク１１ｅに記憶されている予め作成した駆動信号生成データから編集対象となる駆動信号生成データが読み出され、駆動信号ＣＯＭの波形が波形表示画面ＷＤ１６に表示される。
【００７１】
尚、駆動信号ＣＯＭは、液滴の吐出時点において急激に圧力発生素子を変形させることにより液滴を吐出させてる。このため、図１３において、符号Ｑを付して指し示したように、液滴吐出時点における駆動信号ＣＯＭが急激に変化し、計時変化を視認することができない箇所がある。このような箇所の計時変化を確認するためには、ユーザがキーボード１１ｃを操作して縮尺画面ＷＤ１４に縮尺率（尺度）を設定することで、波形表示画面ＷＤ１６の時間方向（横軸）の縮尺を変更して駆動信号ＣＯＭを表示することができるように構成されている。
【００７２】
尚、ユーザがマウス１１ｄを操作して縮尺の変更を行う箇所を指定し、その指定された箇所の縮尺が変更されるように構成することが好ましい。かかる構成とすることで、ユーザが駆動信号ＣＯＭの任意の箇所の縮尺を変更することが可能となる。また、データ読込ボタンＢＴ１１を操作して駆動信号生成データを読み込んで駆動信号ＣＯＭを波形表示画面ＷＤ１６に表示する際に、駆動信号ＣＯＭの変化率（傾き）に応じて時間軸方向の縮尺を自動的に変更して表示するように構成することも好適である。
【００７３】
駆動信号ＣＯＭの編集を行う場合には、波形編集画面ＷＤ１３を用いる。波形編集画面ＷＤ１３においては、駆動信号ＣＯＭの最大電位ＶＨを設定することができるとともに、駆動信号ＣＯＭをなす線分毎のレベル（最大電位を１００としたパーセント表記）の設定、及び線分毎の継続時間を設定することができるよう構成されている。よって、ユーザは駆動信号ＣＯＭの最大値を変更する場合には、キーボード１１ｃを用いてその値を入力する。また、駆動信号ＣＯＭをなす線分毎の編集を行う場合には、編集対象の線分を選択した後で、その線分の初期のレベル及び継続時間をキーボード１１ｃを操作して入力する。
【００７４】
ここで、図９を用いて説明したように、第１吐出ヘッド８ａはラッチ信号ＬＡＴの時間間隔で規定される１吐出周期内に複数の駆動信号を含めることができ、これらの駆動信号から制御信号ＣＨにより第１吐出ヘッド８ａに印加する駆動信号を選択することができるように構成されている。図１３に示した波形設定画面においては、第１吐出ヘッド８ａに対して印加する駆動信号の設定が可能となっている。かかる設定を行う場合には、ユーザがマウス１１ｄを操作して、画面ＷＤ１２内に設けられた項目「ＳＰ編集」に対応したラジオボタンをチェックする。この操作を行うと、波形表示画面ＷＤ１６の表示が図１４に示すように変化する。
【００７５】
図１４は、第１吐出ヘッド８ａに対する制御信号ＣＨ等の設定を行う画面の一例を示す図である。図１４に示すように、波形表示画面ＷＤ１６には４行８列からなる３２ビットのマトリクスが表示される。このマトリクスの各行は波形選択データに相当し、上の行から順に、図９に示す２ビットの吐出データ（００）、（０１）、（１０）、（１１）にそれぞれ相当する。また、マトリクスの各列は駆動信号ＣＯＭの時系列の状態を表している。ユーザがマウス１１ｄを操作してマトリクス内をクリックするとクリックした部分が反転表示され、これによりその部分が「１」に設定される。尚、反転表示されていない箇所の値は「０」である。このように、ユーザは視覚的に制御信号ＣＨの設定を行うことができるため、操作が容易になりとともに、設定ミスも低減することができる。
【００７６】
以上説明した手順によって駆動信号生成データ（ここでは、制御信号ＣＨの設定を含む）の編集が終了すると、図１３及び図１４に示した波形選択画面ＷＤ１１において、編集した波形が「微振動」時の波形であるのか、「印字」時の波形であるのか、又は「捨て打ち」時の波形であるのかを選択する。そして、最後データ転送ボタンＢＴ１２を押下すれば、編集した駆動信号生成データがコンピュータ本体１１ａから駆動制御装置１０に転送されて保持される。
【００７７】
次に、上記構成における本発明の一実施形態による液滴吐出装置の液滴吐出時の動作について説明する。基板Ｗに対する液滴の吐出動作を開始する前に、制御装置１０からヘッド駆動回路３０へ滴吐出ヘッド８を選択する制御信号が出力される。この制御信号に基づいて、ヘッド駆動回路３０は液滴吐出ヘッド８（第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃの何れか）を選択する（ヘッド選択工程）。ここでは、第１吐出ヘッド８ａが選択されたとする。
【００７８】
液滴吐出ヘッドが選択されると、例えば、図３に示した基板処理においては、モータ１２を駆動してヘッドユニット６をＸ方向に走査し、共通の形式で作成された駆動波形の内、第１吐出ヘッド８ａ用の駆動波形が第１吐出ヘッド８ａに供給され（駆動波形供給工程）、各凹部Ｋ１に第１機能液Ｄ１が吐出される。続いて、上記と同様に駆動制御装置１０から出力される制御信号に従って、液滴吐出ヘッド８の選択が行われる。ここでは、第２吐出ヘッド８ｂが選択されたとする。選択が終了すると、続いて第２吐出ヘッド８ｂにより描画エリアＲ１に第２機能液Ｄ２をべた塗り様に吐出する。
【００７９】
また、図４に示した基板処理においては、ヘッドユニット６の走査において、第１吐出ヘッド８ａを第２吐出ヘッド８ｂに先行させ（一方向のみの走査）、第１吐出ヘッド８ａにより各凹部Ｋ１にＡ機能液Ｄ１１を吐出し、その直後に第２吐出ヘッド８ｂによりＡ機能液Ｄ１１上にＢ機能液Ｄ１２を吐出する。尚、マーキング用の第３吐出ヘッド８ｃは、上記の基板処理の後、不図示の基板認識カメラによりドット抜けを画像認識し、その認識結果により適宜駆動するようにしている。第３吐出ヘッド８ｃによるマーキングは、不良品を仕分けするための画像認識用であり、機能液の滴吐出量が極端に多い第３吐出ヘッド８ｃにより、短時間で描画可能である。
【００８０】
以上説明したように、本発明の一実施形態においては、複数の液滴吐出ヘッド８に対して１つのヘッド駆動回路３０を設けた構成とし、更には、駆動信号ＣＯＭを略共通化してヘッド駆動回路３０で各々の液滴吐出ヘッド８を駆動しているため、装置構成の簡略化及びコスト低減を図ることができる。また、駆動信号ＣＯＭ（駆動信号生成データ）の形式を略共通化しているため、駆動信号生成データ作成時の効率を向上させることができる。更には、図１２に示したように、複数の液滴吐出ヘッド８を操作するプログラムのインターフェイスを共通化しているため、ユーザの操作性も向上させることができる。
【００８１】
以上、本発明の一実施形態による液滴吐出装置について説明した。上述した実施形態では、液滴吐出ヘッド８（第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃ）が固定された構成であったため、ヘッド駆動回路３０は予め第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃの搭載位置が分かっている状況であった。しかしながら、第１吐出ヘッド８ａ〜第３吐出ヘッド８ｃが交換可能に構成された場合には、どの液滴吐出ヘッドがどの位置に搭載されているかが不明になることが考えられる。
【００８２】
このため、液滴吐出ヘッド８に各々を識別するための識別部を設け、ヘッド駆動回路３０がこの識別部の識別子を読み取り、ヘッド駆動回路３０及びパーソナルコンピュータ１１が液滴吐出ヘッド８各々の搭載位置を識別できるように構成することが望ましい。尚、上記識別部は、例えば液滴吐出ヘッド毎に一意に割り当てられたディジタル情報を読み出すための電気的な端子等の電気的な手段、又は、液滴吐出ヘッド毎に取り付け位置が異なる突起部等の機械的な手段が考えられる。
【００８３】
以上、本発明の実施形態による液滴吐出装置について説明したが、この液滴吐出装置は膜を形成する成膜装置又はマイクロレンズアレイ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置等の発光装置等のデバイス製造装置として用いることができる。図１５及び図１６は、それぞれ、本発明の実施形態による液滴吐出装置を用いて製造した光インタコネクション装置用のマイクロレンズアレイの説明図である。液滴吐出装置において、図１５及び図１６に示す透明基板からなる基板Ｗ１の所定の位置に液滴吐出ヘッドから感光性の透明樹脂（液滴）を吐出した後、紫外線硬化させて、透明基板上の所定位置に所定の大きさのマイクロレンズＬを形成すれば、光インタコネクション装置用のマイクロレンズアレイ５０ａ，５０ｂを製造することができる。
【００８４】
ここで、図１５に示すマイクロレンズアレイ５０ａでは、マイクロレンズＬがＸ方向及びＹ方向にマトリクス状に配列されている。また、図１６に示すマイクロレンズアレイ５０ｂでは、マイクロレンズＬがＸ方向及びＹ方向に不規則に分散して形成されている。尚、マクロレンズアレイは、光インタコネクション装置の他、液晶パネルにも用いられているが、この液晶装置用のマイクロレンズを製造するにあたっても、本発明を適用したインクジェット式装置を用いれば、フォトリソグラフィ技術を用いる必要がないので、マイクロレンズアレイの生産効率を向上することができる。
【００８５】
図１７は、本発明の実施形態による液滴吐出装置を用いて製造したカラーフィルタ基板を用いた液晶装置の構成を模式的に示す断面図であり、図１７（ａ），（ｂ）はそれぞれ、カラーフィルタ基板における各色の配置を示す説明図である。図１７において、液晶装置６０では、例えば、カラーフィルタ基板６１とＴＦＴアレイ基板６２とが所定の間隙を介して貼り合わされ、かつ、これらの基板間には電気光学物質としての液晶６３が封入されている。ＴＦＴアレイ基板６２において、透明基板６４の内側の面には、画素スイッチング用のＴＦＴ（図示せず）及び画素電極６５がマトリクス状に配置され、その表面に配向膜６６が形成されている。これに対して、カラーフィルタ基板６１において、透明基板６７には、画素電極６５に対向する位置にＲ、Ｇ、Ｂのカラーフィルタ層７２Ｒ、７２Ｇ、７２Ｂが形成され、その表面に平坦化膜６８、対向電極７０、及び配向膜７１が形成されている。
【００８６】
カラーフィルタ基板６１において、カラーフィルタ層７２Ｒ、７２Ｇ、７２Ｂは、周りが１段又は段付きのバンク６８で囲まれ、このバンク６８の内側に形成されている。図１８は、カラーフィルタ層７２Ｒ、７２Ｇ、７２Ｂの配列例を示す図であり、カラーフィルタ層７２Ｒ、７２Ｇ、７２Ｂは、図１８（ａ）に示すデルタ配列、又は図１８（ｂ）に示すストライプ配列等、所定のレイアウトに配置される。
【００８７】
このような構成のカラーフィルタ基板６１を製造するにあたっては、まず、透明基板６７の表面にバンク６８を形成した後、上述した一実施形態〜第３実施形態で説明した液滴吐出装置を用いて、各バンク６８の内側に所定色の樹脂（液滴）を供給した後、紫外線硬化又は熱硬化させて、カラーフィルタ層７２Ｒ、７２Ｇ、７２Ｂを形成する。従って、フォトリソグラフィ技術を用いずにカラーフィルタ層７２Ｒ、７２Ｇ、７２Ｂを形成できるので、カラーフィルタ基板６１の生産性を向上することができる。
【００８８】
図１９は、有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）を利用した表示装置において、各画素を構成する有機ＥＬ素子の構成を模式的に示す断面図である。ＥＬ表示デバイスは、蛍光性の無機および有機化合物を含む薄膜を、陰極と陽極とで挟んだ構成を有し、前記薄膜に電子および正孔（ホール）を注入して再結合させることにより励起子（エキシトン）を生成させ、このエキシトンが失活する際の光の放出（蛍光・燐光）を利用して発光させる素子である。こうしたＥＬ表示素子に用いられる蛍光性材料のうち、赤、緑および青色の発光色を呈する材料を本発明のデバイス製造装置を用いて、例えばＴＦＴ等の素子基板上に液滴吐出パターニングすることで、自発光フルカラーＥＬ表示デバイスを製造することができる。
【００８９】
本発明におけるデバイスの範囲にはこのようなＥＬ表示デバイスの基板をも含むものである。図に示すようにこの有機ＥＬ装置３０１は、基板３１１、回路素子部３２１、画素電極３３１、バンク部３４１、発光素子３５１、陰極３６１（対向電極）、および封止基板３７１から構成された有機ＥＬ素子３０２に、フレキシブル基板（図示略）の配線および駆動ＩＣ（図示略）を接続したものである。回路素子部３２１は基板３１１上に形成され、複数の画素電極３３１が回路素子部３２１上に整列している。そして、各画素電極３３１間にはバンク部３４１が格子状に形成されており、バンク部３４１により生じた凹部開口３４４に、発光素子３５１が形成されている。陰極３６１は、バンク部３４１および発光素子３５１の上部全面に形成され、陰極３６１の上には、封止用基板３７１が積層されている。
【００９０】
有機ＥＬ素子を含む有機ＥＬ装置３０１の製造プロセスは、バンク部３４１を形成するバンク部形成工程と、発光素子３５１を適切に形成するためのプラズマ処理工程と、発光素子３５１を形成する発光素子形成工程と、陰極３６１を形成する対向電極形成工程と、封止用基板３７１を陰極３６１上に積層して封止する封止工程とを備えている。
【００９１】
発光素子形成工程は、凹部開口３４４、すなわち画素電極３３１上に正孔注入／輸送層３５２および発光層３５３を形成することにより発光素子３５１を形成するもので、正孔注入／輸送層形成工程と発光層形成工程とを具備している。そして、正孔注入／輸送層形成工程は、正孔注入／輸送層３５２を形成するための第１組成物（機能液）を各画素電極３３１上に吐出する第１液滴吐出工程と、吐出された第１組成物を乾燥させて正孔注入／輸送層３５２を形成する第１乾燥工程とを有し、発光層形成工程は、発光層３５３を形成するための第２組成物（機能液）を正孔注入／輸送層３５２の上に吐出する第２液滴吐出工程と、吐出された第２組成物を乾燥させて発光層３５３を形成する第２乾燥工程とを有している。
【００９２】
この発光層形成工程では、上記の液滴吐出装置を用いて上記発光素子を形成している。従って、メタルマスクを介しての部分蒸着によって蛍光性有機化合物層を所定領域に形成する必要がないため、有機エレクトロルミネッセンス表示装置の高精細化、大面積化、生産効率の向上を図ることができる。
【００９３】
上記の液晶装置、有機エレクトロルミネッセンス素子は、ノート型コンピュータ及び携帯電話等の電子機器に設けられる。だだし、本発明にいう電子機器は、上記のノート型コンピュータ及び携帯電話に限られる訳ではなく、種々の電子機器に適用することができる。例えば、液晶プロジェクタ、マルチメディア対応のパーソナルコンピュータ（ＰＣ）及びエンジニアリング・ワークステーション（ＥＷＳ）、ページャ、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子手帳、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた装置等の電子機器に適用することが可能である。
【００９４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、複数の液滴吐出ヘッドに対して共通の駆動装置を設けるとともに、駆動信号を略共通化して各々の液滴吐出ヘッドを駆動しているため、装置構成の簡略化及びコスト低減を図ることができるという効果がある。また、駆動信号の形式を略共通化しているため、駆動信号の生成時における効率を向上させることができるという効果がある。更には、液滴吐出データも略共通化されているため、複数の液滴吐出ヘッドを共通の駆動装置で駆動する上で、極めて好適であるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態による液滴吐出装置の概略構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の一実施形態による液滴吐出装置が備えるヘッドユニット６の構成を示す図である。
【図３】本発明の一実施形態による液滴吐出装置を用いた第１の基板処理例を示す図である。
【図４】本発明の一実施形態による液滴吐出装置を用いた第２の基板処理例を示す図である。
【図５】駆動制御装置１０及びヘッドユニット６に設けられるヘッド駆動回路の構成を示すブロック図である。
【図６】駆動信号生成部２６の構成を示すブロック図である。
【図７】駆動信号生成部２６において駆動信号ＣＯＭに含まれる駆動信号を生成していく過程を示す説明図である。
【図８】駆動信号生成部２６においてデータ信号を用いてメモリに電位差（ΔＶ）を設定する場合の各信号のタイミングを示すタイミングチャートである。
【図９】本発明の一実施形態による液滴吐出装置で用いられる駆動信号ＣＯＭの波形等を示す図である。
【図１０】駆動信号生成データの基本形式を示す図である。
【図１１】吐出パターンデータのデータ形式を示す図である。
【図１２】液滴吐出装置の動作を制御する制御プログラムのメイン画面の一例を示す図である。
【図１３】波形設定画面の一例を示す図である。
【図１４】第１吐出ヘッド８ａに対する制御信号ＣＨ等の設定を行う画面の一例を示す図である。
【図１５】本発明の実施形態による液滴吐出装置を用いて製造した光インタコネクション装置用のマイクロレンズアレイの説明図である。
【図１６】本発明の実施形態による液滴吐出装置を用いて製造した光インタコネクション装置用のマイクロレンズアレイの説明図である。
【図１７】本発明の実施形態による液滴吐出装置を用いて製造したカラーフィルタ基板を用いた液晶装置の構成を模式的に示す断面図である。
【図１８】カラーフィルタ層７２Ｒ、７２Ｇ、７２Ｂの配列例を示す図であり、図１８（ａ），（ｂ）はそれぞれ、カラーフィルタ基板における各色の配置を示す説明図である。
【図１９】有機エレクトロルミネッセンスを利用した表示装置において、各画素を構成する有機エレクトロルミネッセンス素子の構成を模式的に示す断面図である。
【符号の説明】
８……液滴吐出ヘッド
８ａ……第１吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）
８ｂ……第２吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）
８ｃ……第３吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）
１１……パーソナルコンピュータ（制御装置、編集手段）
１１ｂ……ディスプレイ（表示手段）
１１ｃ……キーボード（操作手段）
１１ｄ……マウス（操作手段）
１１ｅ……ハードディスク（記憶装置）
３０……ヘッド駆動回路（駆動装置）
ＣＯＭ……駆動信号
Ｗ……基板（ワーク）[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a droplet discharge apparatus and method, a device manufacturing apparatus, a device manufacturing method, and an electronic apparatus that discharge a functional liquid to a workpiece such as a substrate using a droplet discharge head.
[0002]
[Prior art]
In a droplet discharge device such as an ink jet printer capable of color printing, a plurality of droplet discharge heads are provided on a carriage, and different color inks (droplets) are introduced into each of the droplet discharge heads. In the droplet discharge device having such a configuration, color printing is performed by individually driving each head in accordance with print data and controlling droplet discharge of each color. As described above, a liquid droplet ejection apparatus including a plurality of liquid droplet ejection heads has been devised, but the liquid droplet ejection heads provided in the liquid droplet ejection apparatus having such a configuration are mounted with the same specifications.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, depending on the workpiece to which the functional liquid is to be discharged, it may be necessary to discharge a plurality of types of functional liquids having different viscosities in order to form a plurality of types of functional films. For example, a preparation technique for preparing a preparation in which a staining agent is applied to a specimen on a preparation, which is sealed and fixed with a coating material, and a cover glass is omitted. In this technique, it is necessary to discharge a low-viscosity specimen stain (functional liquid) and a high-viscosity coating material (functional liquid) with a droplet discharge head.
[0004]
It is necessary to use droplet discharge heads with different specifications when discharging a low-viscosity specimen stain and when discharging a highly viscous coating material. For this reason, when considered simply, two droplet ejection devices each equipped with droplet ejection heads having different specifications are used, or a droplet ejection head (functional liquid) is used for one droplet ejection device. (Including the supply system) must be replaced as appropriate.
[0005]
However, when the former droplet discharge device is used, it takes time to transport the workpiece to another droplet discharge device, and when the latter droplet discharge device is used, it takes time to replace (exchange) the droplet discharge head. Therefore, the droplet discharge process for each work as a whole becomes extremely complicated. This problem occurs not only when a plurality of droplet discharge heads are provided for discharging functional liquids having different viscosities, but also for discharging a plurality of types of functional liquids having different acidities (pH). This is a problem that occurs when a droplet discharge head is provided, and also when a plurality of droplet discharge heads with different discharge amounts are provided.
[0006]
In addition, when a plurality of droplet discharge heads having different specifications are used, the drive signal is different for each type of droplet discharge head, and therefore it is necessary to provide a dedicated drive circuit (driver) for each type of droplet discharge head. In addition, software for generating drive signals must be prepared for each type of droplet discharge head. For this reason, there has been a problem that the configuration of the apparatus is complicated and the cost of the apparatus is increased, and further, the operability of the user when generating the drive signal is poor, which causes a reduction in work efficiency.
[0007]
The present invention has been made in view of the above circumstances, and can simplify the apparatus configuration and reduce the cost, and can further improve the user's work efficiency when generating a drive signal. And a method, a device manufacturing apparatus, a device manufacturing method, and an electronic apparatus.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problems, a droplet discharge device according to a first aspect of the present invention is a droplet discharge device that discharges droplets onto a workpiece. A drive device for driving each head; and a control device for supplying the drive device with a drive signal for driving the droplet discharge head and droplet discharge data for controlling the droplet discharge head. The control device includes a storage device that stores a drive signal corresponding to each of the plurality of types of droplet discharge heads.
According to this invention, the drive device for driving each of the plurality of types of droplet discharge heads is provided, and the droplet discharge head is driven using a drive signal corresponding to each of the droplet discharge heads. The apparatus configuration can be simplified and the cost can be reduced.
In the droplet discharge device according to the first aspect of the present invention, the storage device stores droplet discharge data corresponding to each of the droplet discharge heads in a substantially common format.
According to the present invention, since the droplet discharge data is made substantially common, there is an effect that it is extremely suitable for driving a plurality of droplet discharge heads with a common driving device.
Further, in the droplet discharge device according to the first aspect of the present invention, the control device displays display means for displaying a drive signal in a common format stored in the storage device, and an operation signal corresponding to the operation content of the user. It is preferable that an operation means for outputting and an editing means for editing the drive signal in accordance with an operation signal output from the operation means are provided.
In the droplet discharge device according to the first aspect of the present invention, it is preferable that the display means displays the drive signal by changing a scale in a time axis direction, and the temporal change rate of the drive signal is increased. Accordingly, it is preferable to display the drive signal by varying the scale in the time axis direction for each portion of the drive signal, or the time of the drive signal according to the operation signal output from the operation means It is preferable to display the scale in the axial direction in a variable manner.
In the liquid droplet ejection apparatus according to the first aspect of the present invention, the display unit displays a head switching screen for switching the liquid droplet ejection head, and the control unit is responsive to an operation of the operation unit. It is characterized by selecting a droplet discharge head to be driven.
In the droplet discharge device according to the first aspect of the present invention, the droplet discharge head has an identification unit for distinguishing each, and the control device reads an identifier of the identification unit. It is preferable to identify the droplet discharge head by
In order to solve the above-described problem, a droplet discharge device according to a second aspect of the present invention is a droplet discharge device that discharges droplets onto a workpiece, and includes a plurality of types corresponding to an identification unit and information of the identification unit. A droplet discharge head, a drive device for driving the droplet discharge head, a drive signal for driving the droplet discharge head, and a control of the droplet discharge head for the drive device A control device for supplying droplet ejection data to be stored, and the control device stores a drive signal corresponding to each of the plurality of types of droplet ejection heads in a common format and a reading device for reading the identification unit The reading device reads the identification unit, and the control device reads the drive signal and droplet discharge data stored in the storage device based on information read by the reading device. It is characterized by supplying to the braking system.
The droplet discharge method of the present invention is a droplet discharge method for discharging droplets onto a workpiece, a head selection step for selecting a specific droplet discharge head from a plurality of types of droplet discharge heads, and at least control signal information And a drive signal corresponding to the droplet discharge head selected in the head selection step is selected from among the drive signals corresponding to the plurality of types of droplet discharge heads. And a drive signal supply step for supplying the droplet discharge head.
The droplet discharge method according to the first aspect of the present invention is formed on the droplet discharge head selected in the head selection step in a format according to the specification of the droplet discharge head. It is characterized by having a droplet discharge data supply step for supplying droplet discharge data for controlling the head.
A device manufacturing apparatus according to the present invention includes any one of the above-described droplet discharge devices.
The device manufacturing method of the present invention includes a step of discharging the droplets as one of the device manufacturing steps using any one of the above-described droplet discharge apparatus or the droplet discharge method. Yes.
The electronic apparatus of the present invention is manufactured using the droplet discharge apparatus or the device manufacturing apparatus described above.
[0009]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, a droplet discharge apparatus and method, a device manufacturing apparatus, a device manufacturing method, and an electronic apparatus according to embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[0010]
FIG. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of a droplet discharge device according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the droplet discharge device 1 of this embodiment includes an X-axis table 3 and a Y-axis table 4 installed on a machine base 2. A main carriage 5 is movably mounted on the X-axis table 3, and a head unit 6 is provided on the main carriage 5. Although details will be described later, a plurality of types (three types in the present embodiment) of droplet discharge heads 8 (8a, 8b, 8c) having different specifications are mounted on the head unit 6 via the sub-carriage 7. Has been. The head unit 6 is provided with a head drive circuit (not shown). Details of the head drive circuit will be described later. Further, the substrate W as a workpiece is mounted on the Y-axis table 4.
[0011]
In addition, the droplet discharge device 1 includes a functional liquid supply device 9 that supplies a functional liquid to each of a plurality of types of droplet discharge heads 8, and also includes an X-axis table 3, a Y-axis table 4, and a plurality of types of droplet discharge. A drive control device 10 that controls the drive of the head 8 and the like is provided. A personal computer 11 for generating ejection pattern data of a plurality of types of droplet ejection heads 8 is connected to the drive control device 10. The personal computer 11 corresponds to the control device and editing means referred to in the present invention. The ejection pattern data corresponds to the droplet ejection data referred to in the present invention.
[0012]
The personal computer 11 includes a computer main body 11a, a display 11b, a keyboard 11c, and a mouse 11d. The computer main body 11a includes a hard disk 11e that stores various control programs, data for generating a drive signal for driving the droplet discharge head 8, and discharge pattern data. The hard disk 11e provided in the computer main body 11a corresponds to a storage device according to the present invention. Here, in addition to the hard disk 11e, a recording medium such as a semiconductor memory, an optical recording medium, or a magneto-optical recording medium can be used as the storage device. The display 11b corresponds to the display means referred to in the present invention, and is realized by a CRT (Cathod Ray Tube), a liquid crystal display device, an organic EL display device, or other display devices. The keyboard 11c and the mouse 11d correspond to the operation means referred to in the present invention.
[0013]
Although not shown in FIG. 1, the droplet discharge device 1 is a flushing unit that receives periodic flushing of the droplet discharge head 8 (discarding and discharging functional liquid from all discharge nozzles), droplets A wiping unit for wiping the nozzle surface of the discharge head 8 and a cleaning unit for sucking and storing the functional liquid of the droplet discharge head 8 are provided.
[0014]
The X-axis table 3 includes an X-axis direction drive system including a motor 12 and an X-axis slider 13 driven by the motor 12, and the main carriage 5 is movably mounted thereon. It is configured. The Y-axis table 4 is provided with a drive system in the Y-axis direction that includes a motor 14 and a Y-axis slider 15 driven by the motor 14, and a set table 16 composed of a suction table or the like is moved to the drive system. It is freely mounted and configured. Then, the substrate W is held in a state of being positioned on the set table 16.
[0015]
The droplet discharge device 1 of this embodiment is configured to drive each droplet discharge head 8 (selective discharge of functional droplets) in synchronization with the movement of the droplet discharge head 8 driven by the X-axis table 3. Has been. That is, so-called main scanning of the droplet discharge head 8 is performed by reciprocating movement of the X-axis table 3 in the X direction. Correspondingly, so-called sub-scanning is performed by reciprocating movement of the substrate W in the Y-axis direction by the Y-axis table 4. The driving of each droplet discharge head 8 in synchronization with the scanning is performed based on the discharge pattern data created by the personal computer 11.
[0016]
The functional liquid supply device 9 includes three types of sub tanks 17 (17a, 17b, 17c) corresponding to each of the droplet discharge heads 8, three types of main tanks connected to the sub tank 17, and functional liquids of the respective main tanks. A pressure liquid feeding device (both not shown) for feeding liquid to the corresponding sub tank 17 is provided. The functional fluid in each main tank is sent to the corresponding first sub-tank 17a, second sub-tank 17b, and third sub-tank 17c. The functional liquid pressure-cut in each sub tank 17 is sent to each droplet discharge head 8 by the pump action of each corresponding droplet discharge head 8. Although not shown in the drawing, the pressure feeding device is also controlled by the drive control device 10.
[0017]
Here, the configuration of the head unit 6 provided in the droplet discharge device of the present embodiment will be described. FIG. 2 is a diagram showing a configuration of the head unit 6 provided in the droplet discharge device according to the embodiment of the present invention. As shown in FIG. 2, the head unit 6 includes a sub-carriage 7 made of a thick plate such as stainless steel, and three types of droplet discharge heads 8 that are positioned and fixed to the sub-carriage 7 with high accuracy.
[0018]
As shown in FIG. 2, the droplet discharge head 8 includes a first discharge head 8a, a second discharge head 8b, and a third discharge head 8c. Assuming that the discharge nozzles located at the outermost ends of the first discharge head 8a to the third discharge head 8c are the reference nozzles N1 to N3, the discharge nozzles provided in each of the first discharge head 8a to the third discharge head 8c are: The reference nozzles N1 to N3 are arranged in the sub-operation direction (Y direction) so as to be aligned on a virtual line L parallel to the main scanning direction (X direction). A pair of reference pins P1 and P2 for positioning are provided at the intermediate positions of the sub-carriage 7 in the X direction and at both ends in the Y direction.
[0019]
The reference nozzles N1 to N3 described above are, for example, correction of landing positions between both nozzle rows of the first ejection head 8a, and between the first ejection head 8a, the second ejection head 8b, and the third ejection head 8c. It is used as a positioning reference for correcting the landing position. The ejection heads 8a, 8b, and 8c are also fixed to the sub-carriage 7 with reference to the reference nozzles N1 to N3. On the other hand, the pair of reference pins P 1 and P 2 described above is used as a positioning reference for the head unit 6.
[0020]
The above-described three types of droplet discharge heads 8 (first discharge head 8a to third discharge head 8c) have different specifications. For example, the first ejection head 8a has a specification having two nozzle rows in which 180 ejection nozzles are arranged, and the second ejection head 8b has three nozzle rows in which 96 ejection nozzles are arranged. The third discharge head 8c is a specification having one nozzle row in which three discharge nozzles are arranged.
[0021]
The reason why a plurality of droplet discharge heads 8 having different specifications is provided is to discharge, for example, different types of droplets onto the substrate W while changing the amount (weight, volume) of the droplets. Here, an example of substrate processing using a droplet discharge device will be described. FIG. 3 is a diagram showing a first substrate processing example using the droplet discharge device according to the embodiment of the present invention.
[0022]
As shown in FIG. 3, a volatile first functional liquid D1 is discharged to each concave portion K1 of a substrate W as a work on which a matrix-shaped drawing area R1 in which a bank B1 is formed is set, and each concave portion K1. If the second functional liquid D2 for overcoat is discharged over the entire drawing area R1 to seal the first functional liquid D1, and the discharge failure occurs in the first functional liquid D1 and the second functional liquid D2, Consider a case where a defective mark is drawn by the third functional liquid D3 in the marking area R2 of the substrate W as a non-defective product.
[0023]
In this case, for example, the volatile first functional liquid D1 described above is introduced into the first ejection head 8a, the second functional liquid D2 for overcoat is introduced into the second ejection head 8b, and marking is performed on the third ejection head 8c. The third functional liquid D3 is introduced, and droplets are ejected from the first ejection head 8a to the third ejection head 8c while changing the relative position between the substrate W and the droplet ejection head 8. The first functional liquid D1 has a relatively low viscosity, the second functional liquid D2 has a relatively high viscosity, and the marking third functional liquid D3 has substantially the same viscosity as the second functional liquid D2. What has is used.
[0024]
FIG. 4 is a diagram illustrating a second substrate processing example using the droplet discharge device according to the embodiment of the present invention. As shown in FIG. 4, a two-liquid type light emitting functional liquid (or a filter functional liquid for a color filter) is provided in each concave portion K1 of a substrate W as a work on which a matrix-shaped drawing area R1 in which a bank B1 is formed is set. Let us consider a case in which the A functional liquid (light emitting agent) D11 and the B functional liquid (curing agent) D12 are sequentially discharged and a defective mark is drawn in the marking area R2 by the third functional liquid D3 as described above.
[0025]
In this case, for example, the A functional liquid D11 is introduced into the first ejection head 8a, the B functional liquid D12 is introduced into the second ejection head 8b, the third functional liquid D3 is introduced into the third ejection head 8c, and the substrate While changing the relative position of W and the droplet discharge head 8, droplets are discharged from the first discharge head 8a to the third discharge head 8c. In this way, by providing a plurality of droplet heads, it is possible to accurately eject minute different types of droplets in the form of dots. If a photosensitive resin or the like is used, it can be applied to the field of manufacturing various parts, devices, and apparatuses.
[0026]
In the substrate processing examples shown in FIGS. 3 and 4, the first discharge head 8a is disposed per unit nozzle in consideration of the types of the first functional liquid D1 to the third functional liquid D3 and their discharge forms. The functional droplet ejection amount is small, the second ejection head 8b has a large functional droplet ejection amount per unit nozzle, and the third ejection head 8c has a specification in which the functional droplet ejection amount per unit nozzle is extremely large. ing.
[0027]
Next, a head drive circuit provided in the drive control device 10 and the head unit 6 will be described. FIG. 5 is a block diagram illustrating a configuration of a head drive circuit provided in the drive control device 10 and the head unit 6. As shown in FIG. 5, the drive control device 10 includes an interface 21 that receives discharge conditions and the like from the computer main body 11a, a RAM 22 that records various data, and a ROM 23 that records routines for performing various data processing. A control unit 24 including a CPU, an oscillation circuit 25, a drive signal generation unit 26 that generates a drive signal COM to be supplied to the droplet discharge head 8, and an interface 27. The interface 27 outputs the ejection data developed into the dot pattern data to the droplet ejection head 8 and outputs drive signals to the motor 12 and the motor 14.
[0028]
In the above configuration, the ejection conditions sent from the computer main body 11 a are held in the reception buffer 22 a via the interface 21. The data held in the reception buffer 22a is sent to the intermediate buffer 22b after command analysis is performed. In the intermediate buffer 22b, data in an intermediate format converted into an intermediate code by the control unit 24 is held, and processing for adding information such as a droplet ejection position is executed by the control unit 24. Next, the control unit 24 analyzes and decodes the data in the intermediate buffer 22b, and then develops and records the dot pattern data in the output buffer 22c.
[0029]
When dot pattern data corresponding to one scan of the droplet discharge head 8 is obtained, this dot pattern data is serially transferred to the head drive circuit 30 as a drive device via the interface 27. When dot pattern data corresponding to one scan is output from the output buffer 22c, the contents of the intermediate buffer 22b are deleted, and the next intermediate code conversion is performed.
[0030]
The ejection data SI developed into the dot pattern data is supplied to the droplet ejection head 8 (first ejection head 8a to third ejection head 8c) via the interface 27 in synchronization with the clock signal CLK from the oscillation circuit 25. Serially output to the head drive circuit 30 provided in common. Here, in the ejection data SI developed in the dot pattern data, head selection data indicating which one of the first ejection head 8a to the third ejection head 8c is to be driven (selected), and the selected droplet. It includes nozzle selection data that defines from which nozzles formed on the ejection head 8 droplets are ejected, and which drive signal is used to eject droplets from each nozzle. The specified waveform selection data is also included. Although the details will be described later, the waveform selection data is obtained from a drive signal COM including a plurality of pulses having different waveforms in order to control the droplet discharge amount of the first discharge head 8a with high accuracy. Used to select a pulse (drive signal). Note that the waveform selection data is not used when droplets are ejected using the second ejection head 8b and the third ejection head 8c.
[0031]
The head drive circuit 30 includes a first shift register 31a, a second shift register 31b, a first latch circuit 32a, a second latch circuit 32b, a decoder 33, a level shifter 34, a switch circuit 35 (switch elements 35-1, 35-2, .., 35 -N), and the control logic 36. The head driving circuit 30 is connected to a droplet discharge head 8 (first discharge head 8a to third discharge head 8c).
[0032]
The droplet discharge head 8 (the first discharge head 8a to the third discharge head 8c) includes the same number of pressure generating elements (not shown) as piezo elements as the number of discharge nozzles provided. Switch elements 35-1, 35-2,..., 35-N provided in the switch circuit 35 are respectively connected to the pressure generating elements. However, since the number of ejection nozzles provided in the second ejection head 8b and the third ejection head 8c is smaller than the number of ejection nozzles provided in the first ejection head 8a, the switch elements 35-1, 35-2,. It should be noted that some of 35-N are not connected to the pressure generating elements provided in the second ejection head 8b and the third ejection head 8c.
[0033]
In the head drive circuit 30, the ejection data SI for the first ejection head 8a output from the drive control device 10 is first serially transmitted to the first shift register 31a and the second shift register 31b. Here, the upper bit data of the ejection data is input to the second shift register 31b, and the lower bit data is input to the first shift register 31a.
[0034]
A first latch circuit 32a and a second latch circuit 32b are connected to the shift registers 31a and 31b, respectively. When the latch signal LAT from the drive control device 10 is input to the latch circuits 32a and 32b, the latch circuits 32a and 32b respectively latch the ejection data SI converted in parallel by the shift registers 31a and 31b. Therefore, the lower bit data of the ejection data SI is latched in the first latch circuit 32a, and the upper bit of the ejection data SI is latched in the second latch circuit 32b.
[0035]
The ejection data SI latched by the latch circuits 32 a and 32 b is input to the decoder 33. The decoder 33 translates 2-bit ejection data SI into 4-bit ejection data SI according to a signal from the control logic 36. The ejection data SI translated by the decoder 33 or the like is boosted by a level shifter 34 as a voltage amplifier to a voltage that can drive the switch circuit 35, for example, a predetermined voltage value of about several tens of volts. The ejection data SI boosted to a predetermined voltage value is given to the switch circuit 35. In addition, the drive signal COM from the drive signal generation unit 26 is applied to the input side of each switch element 35-1, 35-2,..., 35-N provided in the switch circuit 35.
[0036]
The ejection data SI controls the operation of the switch circuit 35 for each switch element 35-1, 35-2,..., 35-N. For example, during a period in which the ejection data SI applied to each of the switch elements 35-1, 35-2,..., 35-N is “1”, the drive signal COM is applied to each of the pressure generating elements. Accordingly, the pressure generating element expands and contracts. On the other hand, during the period in which the discharge data SI applied to each of the switch elements 35-1, 35-2,..., 35-N is “0”, the supply of the drive signal COM to the pressure generating element is interrupted.
[0037]
Here, the ejection data SI from the drive control device 10 includes upper bit 1 and lower bit 0 for each nozzle provided in the first ejection head 8a, such as (10), (01), for example. It consists of a total of 2-bit data. Then, bit 0 data for all nozzles is input to the first shift register 31a, and bit 1 data for all nozzles is input to the second shift register 31b.
[0038]
The ejection data SI for each nozzle input to the shift registers 31 a and 31 b is latched by the latch circuits 32 a and 32 b and input to the decoder 33. The decoder 33 translates the 2-bit ejection data SI into 4-bit ejection data SI based on the signal from the control logic 36. When the bit data applied to each switch element 35-1, 35-2,..., 35-N of the switch circuit 35 is “1”, the drive signal COM is directly applied to each pressure generating element to generate each pressure. The element is displaced according to the signal waveform of the drive signal COM. Conversely, when the bit data applied to each switch element 35-1, 35-2,..., 35-N is “0”, the drive signal COM to each pressure generating element is cut off, and each pressure generating element is immediately before. Hold the charge.
[0039]
The operation when the ejection data SI for the first ejection head 8a is output from the drive control device 10 has been described above. When the ejection data SI for the second ejection head 8b or the ejection data SI for the third ejection head 8c is output from the drive control device 10, the ejection data SI is stored in the first shift register 31a and the first latch circuit. The signal is output to the decoder 33 via only the signal 32a (that is, the second shift register 31b and the first latch circuit 32b are not used). The control logic 36 performs switching control of the operation of the head drive circuit 30 according to the type of ejection data SI output from the drive control device 10 based on a control signal from the control unit 24.
[0040]
Next, the drive signal generation unit 26 will be described with reference to FIGS. FIG. 6 is a block diagram illustrating a configuration of the drive signal generation unit 26. FIG. 7 is an explanatory diagram showing a process of generating a drive signal included in the drive signal COM in the drive signal generation unit 26. FIG. 8 is a timing chart showing the timing of each signal when the drive signal generator 26 sets the potential difference (ΔV) in the memory using the data signal.
[0041]
As shown in FIG. 6, the drive signal generation unit 26 receives a memory 41 from the control unit 24 and records it, a first latch 42 that reads and temporarily holds the contents of the memory 41, and the first An adder 43 for adding the output of the latch 42 and the output of another second latch 44 described later, a D / A converter 45 for converting the output of the second latch 44 to analog data, and A voltage amplifying unit 46 that amplifies the analog signal to the voltage of the driving signal is provided, and a current amplifier 47 for the driving signal output from the voltage amplifying unit 46 is provided.
[0042]
The memory 41 is a waveform data recording unit that records predetermined parameters that determine the waveform of the drive signal COM. The waveform of the drive signal COM is determined by a predetermined parameter received from the control unit 24 in advance. That is, the drive signal generation unit 26 receives the clock signals 801, 802, 803, the data signal 830, the address signals 810, 811, 812, 813, the reset signal 820, and the enable signal 840. The parameters output from the control unit 24 to the drive signal generation unit 26 are created by the user operating the computer 11 and recorded in the hard disk 11e in advance.
[0043]
In the drive signal generation unit 26 configured as described above, as shown in FIG. 7, prior to the generation of the drive signal COM, several data signals indicating the voltage change amount of the control unit 24, and the data signal The address is output to the memory 41 of the drive signal generator 26 in synchronization with the clock signal 801. As shown in FIG. 8, the data signal 830 is configured to exchange data by serial transfer using the clock signal 801 as a synchronization signal.
[0044]
That is, when transferring a predetermined voltage change amount from the control unit 24, first, a multi-bit data signal is output in synchronization with the clock signal 801, and then an address for storing this data is synchronized with the enable signal 840. And output as address signals 810-813. The memory 41 reads the address signal at the timing when the enable signal 840 is output, and writes the received data to the address. Since the address signals 810 to 813 are 4-bit signals, a maximum of 16 types of voltage change amounts can be recorded in the memory 41. The upper bits of the data are used as codes.
[0045]
After the setting of the voltage change amount to each address A, B,... Is completed, for example, when the address B is output to the address signals 810 to 813, the voltage change amount corresponding to this address B is obtained by the first clock signal 802. ΔV 1 is held by the first latch 42. When the clock signal 803 is next output in this state, a value obtained by adding the output of the first latch 42 to the output of the second latch 44 is held in the second latch 44. That is, as shown in FIG. 7, once the voltage change amount corresponding to the address signal is selected, every time the clock signal 803 is received thereafter, the output of the second latch 44 increases or decreases according to the voltage change amount. To do. The slew rate of the drive waveform is determined by the voltage change amount ΔV1 stored at the address B of the memory 41 and the unit time ΔT of the clock signal 803. The increase or decrease is determined by the sign of the data stored at each address.
[0046]
In the example shown in FIG. 7, the address A stores a value 0 as a voltage change amount, that is, a value when the voltage is maintained. Therefore, when the address A is validated by the clock signal 802, the waveform of the drive signal is kept flat without any increase or decrease. The address C stores a voltage change amount ΔV2 per unit time ΔT in order to determine the slew rate of the drive waveform. Therefore, after the address C is validated by the clock signal 802, the voltage decreases by this voltage ΔV2. In this way, the waveform of the drive signal COM can be freely controlled simply by outputting the address signal and the clock signal from the control unit 24.
[0047]
In the present embodiment, the control unit 24 outputs the control signal CH to the control logic 36 via the interface 27, so that four drive signals are included in one ejection cycle as shown in FIG. The drive signal COM can be generated. Note that the one discharge cycle here refers to the time interval of the latch signal LAT from the drive control device 10.
[0048]
FIG. 9 shows a waveform of the drive signal COM used in the droplet discharge device according to the embodiment of the present invention, and a pressure generating element in which each drive signal included in the drive signal COM is provided in any one of the droplet discharge heads 8. A method of selecting one drive signal from the drive signal COM based on the size relationship of the dots of the droplets discharged when applied to and the discharge data SI and applying the selected drive signal to the pressure generating element included in the first discharge head 8a. It is explanatory drawing shown.
[0049]
As shown in FIG. 9, the drive signal COM can include four drive signals COM1, COM2, COM3, and COM4 within one ejection cycle, and the first drive signal COM1, the second drive signal COM2, and the third drive. The signal COM3 has a maximum potential VPS that decreases in the order of the first drive signal COM1, the second drive signal COM2, and the third drive signal COM3. For this reason, when the first drive signal COM1, the second drive signal COM2, and the third drive signal COM3 are applied to the same pressure generating element, the weight of the droplets discharged from the nozzle per dot is “large”. , “Medium” and “Small”.
[0050]
Therefore, the first drive signal COM1, the second drive signal COM2, and the third drive signal COM3 can also be expressed as a large dot pulse, a medium dot pulse, and a small dot pulse, respectively. Here, the weight is “large”, “medium”, and “small”, and there is a difference of about several percent, for example. Note that the fourth drive signal COM4 is used to finely vibrate the droplets near the nozzles provided in each of the droplet discharge heads 8 to prevent the increase in viscosity and curing of the droplets. A droplet is not ejected depending on the drive signal COM4. Therefore, the fourth drive signal COM4 can be expressed as a “fine vibration pulse”.
[0051]
As described with reference to FIG. 2, in the present embodiment, the drive signal COM is provided to the first ejection head 8a during the period when the bit of the ejection data SI applied from the decoder 33 to the switch circuit 35 is “1”. The pressure generating element is expanded and contracted according to the waveform of the drive signal COM. On the other hand, during the period when the bit of the ejection data SI is “0”, the supply of the drive signal COM to the pressure generating element is cut off, and the pressure generating element maintains the immediately previous state. Therefore, if the bit of the ejection data SI is synchronized with the generation timing of the first to fourth drive signals COM1 to COM4, any one of the first to fourth drive signals COM1 to COM4 is selected and the pressure generating element. Can be applied.
[0052]
Here, an operation when driving the first ejection head 8a will be described. In the computer main body 11a, when a droplet discharge pattern SI for the substrate W is designated, this discharge pattern SI is output to the drive control apparatus 10 as a discharge condition together with head selection data, nozzle selection data, and waveform selection data. In the drive control device 10, when the control unit 24 develops the discharge pattern into dot pattern data, the discharge data SI includes the drive signals COM1 to COM4 included in the drive signal COM corresponding to the nozzle selection data. Waveform selection data that defines which drive signal is applied is added.
[0053]
Here, the waveform selection data is expressed as 2-bit ejection data (00), (01), (10), (11), and the 2-bit ejection data is translated into 4-bit data by the decoder 33, This 4-bit data is synchronized with the generation of the drive signals COM1 to COM4 included in the drive signal COM.
[0054]
For example, 2-bit data (00) is decoded into 4-bit data (1000) by the decoder 33. As a result, only the first drive signal COM1 is applied to the pressure generating element that drives the nozzle corresponding to this data. The The 2-bit data (01) is translated (decoded) into 4-bit data (0100) by the decoder 33. As a result, only the second drive signal COM2 is supplied to the pressure generating element that drives the nozzle corresponding to this data. Is applied.
[0055]
Further, the 2-bit data (10) is decoded into 4-bit data (0010) by the decoder 33. As a result, only the third drive signal COM3 is applied to the pressure generating element that drives the nozzle corresponding to this data. The Further, the 2-bit data (11) is translated (decoded) into 4-bit data (0001) by the decoder 33. As a result, the fourth drive signal COM4 is supplied to the pressure generating element that drives the nozzle corresponding to this data. Only is applied. In this way, the first ejection head 8a is driven. Note that when the second ejection head 8b and the third ejection head 8b are driven, the waveform selection data is not output from the computer main body 11a, and the waveform selection data corresponding to the nozzle selection data in the drive control device 10. The same operation as above is performed except that is not added.
[0056]
Next, the data format for generating the drive signal COM and the data format of the ejection pattern data among various data stored in the hard disk 11e included in the personal computer 11 will be described. First, a data format of data for generating the drive signal COM (hereinafter referred to as drive signal generation data) will be described. In the present embodiment, drive signal generation data for each type of droplet discharge head 8 is stored in the hard disk 11e in a substantially common format.
[0057]
FIG. 10 is a diagram illustrating a basic format of the drive signal generation data. As shown in FIG. 10, the drive signal generation data includes a field F1 for storing waveform line segment information, a field F2 for storing control signal information, a field F3 for storing UP / DOWN information, and a field for storing other information. It consists of F4.
[0058]
Here, the waveform line segment information is information indicating an increase / decrease rate of the line segment when the drive signal COM is represented by a plurality of line segments in accordance with the temporal change rate of the drive signal COM. For example, the drive signal COM shown in FIG. 7 is represented by three line segments in which the voltage value increases by a voltage change amount ΔV1, a line segment that maintains the voltage V, and a line segment that decreases by a voltage change amount ΔV2. be able to. The waveform line segment information representing each line segment includes a level at the start of the line segment (in percentage notation where the maximum potential is 100) and a time during which the line segment lasts.
[0059]
The control signal information is information indicating a control signal for driving the droplet discharge head 8, and is, for example, the above-described latch signal LAT, control signal CH, or the like. This control signal is associated with one line segment or a plurality of line segments described above. The UP / DOWN information is information indicating whether the line segment is increasing or decreasing. The other information is information indicating the frequency of the clock signal 803, the maximum voltage, the minimum voltage, etc. of the drive signal COM. Of the drive signal generation data, the control signal information largely depends on the type of the droplet discharge head 8, but in the present embodiment, the control signal information is combined in the field F 2. The drive signal generation data can be stored in a substantially common format almost independent of the type of the head 8.
[0060]
Next, the data format of the ejection pattern data will be described. FIG. 11 is a diagram illustrating a data format of the ejection pattern data. In the present embodiment, the ejection pattern data is stored in the hard disk 11e in a substantially common format. As shown in FIG. 11, the ejection pattern data is in the form of a plurality of areas A1 to A7,..., And each area A1 to A7,. A number of data is stored.
[0061]
Since the ejection pattern data (ejection data SI) for the first ejection head 8a is composed of upper bit data and lower bit data as described above, each of the areas A1 to A7,... A UB and a region LB for storing lower bits are provided. The ejection pattern data for the second ejection head 8b and the third ejection head 8c are provided in the droplet ejection head 8 because the upper and lower bits are not provided unlike the ejection pattern data for the first ejection head 8a. Data corresponding to the number of discharge nozzles is stored in each of the areas A1 to A7,.
[0062]
However, the number of ejection heads provided in the third ejection head 8b is smaller than the number of heads provided in the second ejection head 8b, but the areas A1 to A7 of the ejection pattern data for the third ejection head 8c. Is set to be equal to the data amount of each of the areas A1 to A7 of the drive signal generation data for the third ejection head 8c by providing dummy data. This is for simplifying the configuration of the head drive circuit 30 by making the format of the ejection pattern data for the second ejection head 8b and the format of the ejection pattern data for the third ejection head 8c as much as possible. . The drive signal generation data and the discharge pattern data described above are created in advance by a user using a computer 11 to start a program such as an editor.
[0063]
The operation of the droplet discharge apparatus described above is basically controlled by the control program based on this instruction by the user operating the personal computer 11 to give an instruction to the control program. Next, display contents of the display 11b included in the personal computer 11 will be described. FIG. 12 is a diagram illustrating an example of a main screen of a control program for controlling the operation of the droplet discharge device. As shown in FIG. 12, the display 11b includes a head selection screen WD1, a current position display screen WD2, a relative value movement screen WD3, an absolute position registration screen WD4, a droplet weight setting screen WD5, and a non-printing periodic discard position screen WD6. , And a non-printing fine vibration setting screen WD7, and a waveform setting button BT1, a print setting button BT2, a setting save button BT3, a setting read button BT4, a help button BT5, and an end button BT6 are displayed in one window. .
[0064]
The head selection screen WD1 is a screen for the user to select the droplet discharge head 8 (the first discharge head 8a to the third discharge head 8c), and selects one of the three radio buttons provided in the screen. The droplet discharge head is selected by checking it at once. However, when the head selection data is used for the ejection data SI, this radio button is automatically switched, and the radio button is effective only when the head selection data is not used. The radio button is checked by the user operating the mouse 11d. The current position display screen WD2 is a screen on which the current position of the selected droplet discharge head 8 is displayed. The relative value movement screen WD3 is a screen for manually moving the selected droplet discharge head 8. In addition, the movement of the droplet discharge head 8 is determined by the user pressing the four arrow buttons displayed in the screen using the mouse 11d and determining the moving direction, and inputting the moving distance using the keyboard 11c. To do.
[0065]
The absolute position registration screen WD4 is a screen for registering absolute positions of various members necessary for driving the droplet discharge head 8. Specific items include the supply position of the substrate W, the alignment mark position for alignment, the drawing start position, the position for periodically discarding the droplets, and the droplets ejected from the droplet ejection head 8 There are a position for measuring the weight of the liquid droplets, a position for retracting the liquid droplet ejection head 8 for measuring the weight of the liquid droplets, an arbitrary moving position for backup, and a position for performing flushing.
[0066]
Further, when the origin return button provided in the absolute position registration screen WD4 is pressed by operating the mouse 11d, the droplet discharge head 8 can be moved to a predetermined origin, and the position is set. If any one of the radio buttons provided corresponding to the item to be checked is checked and the move button is pressed, the droplet discharge head 8 can be moved to the position set by the item corresponding to the radio button. .
[0067]
The droplet weight setting screen WD5 is performed immediately before measuring the ejection frequency and droplet weight used when measuring the weight of the droplet ejected from the droplet ejection head 8 and at the time of discarding performed just before the measurement. It is a screen for setting the number of shots when discarding shots (number of discharges) and the number of shots when measuring the discharge amount of droplets. These settings are made by the user inputting each value using the keyboard 11c. Further, the non-printing periodic discard position screen WD6 is a screen for setting a discharge frequency and the like when periodically discarding in order to prevent the viscosity of the functional liquid from being improved during non-printing. Further, the fine vibration setting screen WD7 during non-printing is a frequency for causing the liquid droplet ejection head 8 to vibrate slightly to the extent that liquid droplets are not ejected in order to stabilize the viscosity of the functional liquid during non-printing (approximately the same viscosity). It is a screen to set.
[0068]
The waveform setting button BT1 is a button for editing the drive signal COM created in advance and stored in the hard disk 11e. The print setting button BT2 is obtained from the ejection pattern data stored in the hard disk 11e. A button for selecting ejection pattern data to be used. The setting save button BT3 saves the contents set on the head selection screen WD1 to the non-printing fine vibration setting screen WD7 in the hard disk 11e, and the setting read button BT4 is a button for reading the contents saved by the setting save button BT3. It is. Further, the help button BT5 is a button for displaying help (auxiliary explanation) for operating the head selection screen WD1 to the non-printing fine vibration setting screen WD7, and the end button BT6 is shown in FIG. This button closes the window and terminates the program for controlling the droplet discharge device.
[0069]
The main screen of the control program has been described above. Next, an editing method (setting method) of the drive signal COM (drive signal generation data) will be described. When editing the drive signal COM, the user operates the mouse 11d and presses the waveform setting button BT1 in the main screen shown in FIG. 12 to display the waveform setting screen. FIG. 13 is a diagram illustrating an example of a waveform setting screen.
[0070]
When the user operates the mouse 11d and presses the data read button BT11 in FIG. 13 while the waveform setting screen is displayed on the display 11b, editing is performed from the drive signal generation data created in advance stored in the hard disk 11e. The target drive signal generation data is read, and the waveform of the drive signal COM is displayed on the waveform display screen WD16.
[0071]
The drive signal COM causes the droplet to be ejected by abruptly deforming the pressure generating element at the time of ejecting the droplet. For this reason, in FIG. 13, as indicated by the reference sign Q, there is a portion where the drive signal COM at the time of droplet discharge changes abruptly and the time change cannot be visually recognized. In order to check the time change of such a place, the user operates the keyboard 11c to set the scale ratio (scale) on the scale screen WD14, thereby reducing the scale in the time direction (horizontal axis) of the waveform display screen WD16. The drive signal COM can be displayed by changing.
[0072]
In addition, it is preferable that the user designates a place where the scale is changed by operating the mouse 11d, and the scale of the designated place is changed. With this configuration, the user can change the scale of an arbitrary portion of the drive signal COM. Further, when the drive signal generation data is read by operating the data read button BT11 and the drive signal COM is displayed on the waveform display screen WD16, the scale in the time axis direction is automatically set according to the change rate (slope) of the drive signal COM. It is also preferable that the display is changed and displayed.
[0073]
When editing the drive signal COM, the waveform editing screen WD13 is used. On the waveform editing screen WD13, the maximum potential VH of the drive signal COM can be set, the level for each line segment (percentage notation with the maximum potential being 100) forming the drive signal COM, and the line segment It is configured so that the duration can be set. Therefore, when changing the maximum value of the drive signal COM, the user inputs the value using the keyboard 11c. In addition, when editing for each line segment forming the drive signal COM, after selecting a line segment to be edited, the initial level and duration of the line segment are input by operating the keyboard 11c.
[0074]
Here, as described with reference to FIG. 9, the first ejection head 8 a can include a plurality of drive signals within one ejection cycle defined by the time interval of the latch signal LAT, and control is performed from these drive signals. The drive signal applied to the first ejection head 8a can be selected by the signal CH. In the waveform setting screen shown in FIG. 13, the drive signal applied to the first ejection head 8a can be set. When performing such setting, the user operates the mouse 11d to check a radio button corresponding to the item “SP edit” provided in the screen WD12. When this operation is performed, the display on the waveform display screen WD16 changes as shown in FIG.
[0075]
FIG. 14 is a diagram illustrating an example of a screen for setting the control signal CH and the like for the first ejection head 8a. As shown in FIG. 14, a 32-bit matrix of 4 rows and 8 columns is displayed on the waveform display screen WD16. Each row of this matrix corresponds to waveform selection data, and in order from the upper row, corresponds to 2-bit ejection data (00), (01), (10), and (11) shown in FIG. Each column of the matrix represents a time-series state of the drive signal COM. When the user operates the mouse 11d and clicks in the matrix, the clicked part is highlighted, and this part is set to “1”. Note that the value of the part not highlighted is “0”. Thus, since the user can visually set the control signal CH, the operation is facilitated and setting errors can be reduced.
[0076]
When the editing of the drive signal generation data (here, including the setting of the control signal CH) is completed by the above-described procedure, the edited waveform is “fine vibration” on the waveform selection screen WD11 shown in FIGS. Whether it is a waveform at the time of “printing” or a waveform at the time of “discarding”. When the last data transfer button BT12 is pressed, the edited drive signal generation data is transferred from the computer main body 11a to the drive control device 10 and held.
[0077]
Next, an operation at the time of droplet discharge of the droplet discharge device according to the embodiment of the present invention having the above-described configuration will be described. Before starting the droplet discharge operation on the substrate W, a control signal for selecting the droplet discharge head 8 is output from the control device 10 to the head drive circuit 30. Based on this control signal, the head drive circuit 30 selects the droplet discharge head 8 (any one of the first discharge head 8a to the third discharge head 8c) (head selection step). Here, it is assumed that the first ejection head 8a is selected.
[0078]
When the droplet discharge head is selected, for example, in the substrate processing shown in FIG. 3, the motor 12 is driven to scan the head unit 6 in the X direction, and among the drive waveforms generated in a common format, A drive waveform for the first discharge head 8a is supplied to the first discharge head 8a (drive waveform supply step), and the first functional liquid D1 is discharged to each recess K1. Subsequently, the droplet discharge head 8 is selected in accordance with the control signal output from the drive control device 10 as described above. Here, it is assumed that the second ejection head 8b is selected. When the selection is completed, the second functional liquid D2 is discharged in a solid coating manner onto the drawing area R1 by the second discharge head 8b.
[0079]
In the substrate processing shown in FIG. 4, in the scanning of the head unit 6, the first ejection head 8a is preceded by the second ejection head 8b (scanning in only one direction), and each recess K1 is caused by the first ejection head 8a. The A function liquid D11 is discharged immediately, and immediately thereafter, the B function liquid D12 is discharged onto the A function liquid D11 by the second discharge head 8b. Note that the third ejection head 8c for marking is configured to recognize a dot missing image by a substrate recognition camera (not shown) after the above substrate processing, and to drive appropriately according to the recognition result. The marking by the third ejection head 8c is for image recognition for sorting defective products, and can be drawn in a short time by the third ejection head 8c, which has an extremely large amount of functional liquid droplet ejection.
[0080]
As described above, in one embodiment of the present invention, one head drive circuit 30 is provided for a plurality of droplet discharge heads 8, and the drive signal COM is made substantially common to drive the head. Since each droplet discharge head 8 is driven by the circuit 30, the configuration of the apparatus can be simplified and the cost can be reduced. Further, since the format of the drive signal COM (drive signal generation data) is made substantially common, the efficiency at the time of creating the drive signal generation data can be improved. Furthermore, as shown in FIG. 12, since the interface of the program for operating the plurality of droplet discharge heads 8 is shared, the operability for the user can be improved.
[0081]
The liquid droplet ejection apparatus according to the embodiment of the present invention has been described above. In the above-described embodiment, since the droplet discharge head 8 (the first discharge head 8a to the third discharge head 8c) is fixed, the head drive circuit 30 has the first discharge head 8a to the third discharge head 8c in advance. The situation where the mounting position of was known. However, when the first discharge head 8a to the third discharge head 8c are configured to be replaceable, it may be unclear which droplet discharge head is mounted at which position.
[0082]
For this reason, an identification unit for identifying each of the droplet discharge heads 8 is provided, the head drive circuit 30 reads the identifier of the identification unit, and the head drive circuit 30 and the personal computer 11 are mounted on each of the droplet discharge heads 8. It is desirable to configure so that the position can be identified. The identification unit is, for example, an electric means such as an electrical terminal for reading digital information uniquely assigned to each droplet discharge head, or a protrusion having a different mounting position for each droplet discharge head. Such mechanical means can be considered.
[0083]
The liquid droplet ejection apparatus according to the embodiment of the present invention has been described above. This liquid droplet ejection apparatus is a film forming apparatus for forming a film or a device manufacturing device such as a light emitting device such as a microlens array, a liquid crystal display device, and an organic EL device. It can be used as a device. FIG. 15 and FIG. 16 are explanatory diagrams of a microlens array for an optical interconnection device manufactured using a droplet discharge device according to an embodiment of the present invention. In the droplet discharge apparatus, a photosensitive transparent resin (droplet) is discharged from a droplet discharge head to a predetermined position of the substrate W1 made of the transparent substrate shown in FIGS. If microlenses L having a predetermined size are formed at predetermined positions above, microlens arrays 50a and 50b for optical interconnection devices can be manufactured.
[0084]
Here, in the microlens array 50a shown in FIG. 15, the microlenses L are arranged in a matrix in the X direction and the Y direction. Further, in the microlens array 50b shown in FIG. 16, the microlenses L are formed to be irregularly dispersed in the X direction and the Y direction. The macro lens array is used in a liquid crystal panel in addition to the optical interconnection device. However, when manufacturing the micro lens for the liquid crystal device, if the ink jet device to which the present invention is applied is used, the photo lens Since it is not necessary to use a lithography technique, the production efficiency of the microlens array can be improved.
[0085]
FIG. 17 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of a liquid crystal device using a color filter substrate manufactured using a droplet discharge device according to an embodiment of the present invention, and FIGS. FIG. 4 is an explanatory diagram showing an arrangement of each color on the color filter substrate. In FIG. 17, in the liquid crystal device 60, for example, a color filter substrate 61 and a TFT array substrate 62 are bonded together with a predetermined gap, and a liquid crystal 63 as an electro-optical material is sealed between these substrates. Yes. In the TFT array substrate 62, pixel switching TFTs (not shown) and pixel electrodes 65 are arranged in a matrix on the inner surface of the transparent substrate 64, and an alignment film 66 is formed on the surface. On the other hand, in the color filter substrate 61, R, G, and B color filter layers 72R, 72G, and 72B are formed on the transparent substrate 67 at positions facing the pixel electrodes 65, and a planarizing film 68 is formed on the surface thereof. A counter electrode 70 and an alignment film 71 are formed.
[0086]
In the color filter substrate 61, the color filter layers 72 R, 72 G, and 72 B are surrounded by a single-step or stepped bank 68 and formed inside the bank 68. FIG. 18 is a diagram illustrating an arrangement example of the color filter layers 72R, 72G, and 72B. The color filter layers 72R, 72G, and 72B are the delta arrangement illustrated in FIG. 18A or the stripe illustrated in FIG. Arranged in a predetermined layout such as an array.
[0087]
In manufacturing the color filter substrate 61 having such a configuration, first, after forming the bank 68 on the surface of the transparent substrate 67, the liquid droplet ejection apparatus described in the above-described first to third embodiments is used. After supplying resin (droplets) of a predetermined color to the inside of each bank 68, the color filter layers 72R, 72G, 72B are formed by ultraviolet curing or heat curing. Accordingly, since the color filter layers 72R, 72G, and 72B can be formed without using a photolithography technique, the productivity of the color filter substrate 61 can be improved.
[0088]
FIG. 19 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of an organic EL element constituting each pixel in a display device using organic electroluminescence (EL). The EL display device has a structure in which a thin film containing a fluorescent inorganic and organic compound is sandwiched between a cathode and an anode, and excitons are injected by recombining the thin film by injecting electrons and holes. It is an element that generates (exciton) and emits light by utilizing light emission (fluorescence / phosphorescence) when the exciton is deactivated. Among the fluorescent materials used in such EL display elements, a material exhibiting red, green and blue emission colors is subjected to droplet discharge patterning on an element substrate such as a TFT using the device manufacturing apparatus of the present invention. A self-luminous full color EL display device can be manufactured.
[0089]
The range of the device in the present invention includes such an EL display device substrate. As shown in the figure, this organic EL device 301 is composed of a substrate 311, a circuit element portion 321, a pixel electrode 331, a bank portion 341, a light emitting element 351, a cathode 361 (counter electrode), and a sealing substrate 371. A wiring of a flexible substrate (not shown) and a driving IC (not shown) are connected to the element 302. The circuit element portion 321 is formed on the substrate 311, and a plurality of pixel electrodes 331 are aligned on the circuit element portion 321. Bank portions 341 are formed in a lattice shape between the pixel electrodes 331, and light emitting elements 351 are formed in the recess openings 344 generated by the bank portions 341. The cathode 361 is formed on the entire upper surface of the bank portion 341 and the light emitting element 351, and a sealing substrate 371 is laminated on the cathode 361.
[0090]
The manufacturing process of the organic EL device 301 including the organic EL element includes a bank part forming step for forming the bank part 341, a plasma processing step for appropriately forming the light emitting element 351, and a light emitting element formation for forming the light emitting element 351. A process, a counter electrode forming process for forming the cathode 361, and a sealing process for stacking and sealing the sealing substrate 371 on the cathode 361.
[0091]
In the light emitting element forming step, the light emitting element 351 is formed by forming the hole injection / transport layer 352 and the light emitting layer 353 on the concave opening 344, that is, the pixel electrode 331. And a light emitting layer forming step. The hole injection / transport layer forming step includes a first droplet discharge step of discharging a first composition (functional liquid) for forming the hole injection / transport layer 352 onto each pixel electrode 331, a discharge A first drying step of forming the hole injection / transport layer 352 by drying the first composition, and the light emitting layer forming step includes a second composition (functional liquid for forming the light emitting layer 353). ) On the hole injection / transport layer 352 and a second drying step of forming the light emitting layer 353 by drying the discharged second composition.
[0092]
In the light emitting layer forming step, the light emitting element is formed using the droplet discharge device. Accordingly, since it is not necessary to form the fluorescent organic compound layer in a predetermined region by partial vapor deposition through a metal mask, it is possible to increase the definition, increase the area, and improve the production efficiency of the organic electroluminescence display device. .
[0093]
The liquid crystal device and the organic electroluminescence element are provided in electronic devices such as notebook computers and mobile phones. However, the electronic device according to the present invention is not limited to the above-described notebook computer and mobile phone, and can be applied to various electronic devices. For example, LCD projectors, multimedia-compatible personal computers (PCs) and engineering workstations (EWS), pagers, word processors, TVs, viewfinder type or monitor direct view type video tape recorders, electronic notebooks, electronic desk calculators, car navigation systems The present invention can be applied to electronic devices such as a device, a POS terminal, and a device provided with a touch panel.
[0094]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, a common drive device is provided for a plurality of droplet discharge heads, and each droplet discharge head is driven by substantially common drive signals. There is an effect that the configuration can be simplified and the cost can be reduced. Further, since the drive signal formats are made substantially common, there is an effect that the efficiency at the time of generating the drive signal can be improved. Furthermore, since the droplet discharge data is also made substantially common, there is an effect that it is extremely suitable for driving a plurality of droplet discharge heads with a common driving device.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of a droplet discharge device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of a head unit 6 included in a droplet discharge device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a view showing a first substrate processing example using a droplet discharge device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a diagram illustrating a second substrate processing example using the droplet discharge device according to the embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a block diagram illustrating a configuration of a head drive circuit provided in the drive control device 10 and the head unit 6;
6 is a block diagram showing a configuration of a drive signal generation unit 26. FIG.
FIG. 7 is an explanatory diagram illustrating a process of generating a drive signal included in the drive signal COM in the drive signal generation unit;
FIG. 8 is a timing chart showing the timing of each signal when a drive signal generator 26 sets a potential difference (ΔV) in a memory using a data signal.
FIG. 9 is a diagram illustrating a waveform of a drive signal COM used in the droplet discharge device according to the embodiment of the present invention.
FIG. 10 is a diagram showing a basic format of drive signal generation data.
FIG. 11 is a diagram illustrating a data format of ejection pattern data.
FIG. 12 is a diagram illustrating an example of a main screen of a control program for controlling the operation of the droplet discharge device.
FIG. 13 is a diagram illustrating an example of a waveform setting screen.
FIG. 14 is a diagram showing an example of a screen for setting a control signal CH and the like for the first ejection head 8a.
FIG. 15 is an explanatory diagram of a microlens array for an optical interconnection device manufactured using a droplet discharge device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 16 is an explanatory diagram of a microlens array for an optical interconnection device manufactured using a droplet discharge device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 17 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of a liquid crystal device using a color filter substrate manufactured using a droplet discharge device according to an embodiment of the present invention.
FIGS. 18A and 18B are diagrams showing examples of arrangement of color filter layers 72R, 72G, and 72B, and FIGS. 18A and 18B are explanatory diagrams showing the arrangement of each color on the color filter substrate.
FIG. 19 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of an organic electroluminescence element constituting each pixel in a display device using organic electroluminescence.
[Explanation of symbols]
8 …… Droplet discharge head
8a …… First discharge head (droplet discharge head)
8b ...... Second ejection head (droplet ejection head)
8c: Third ejection head (droplet ejection head)
11: Personal computer (control device, editing means)
11b …… Display (display means)
11c: Keyboard (operating means)
11d …… Mouse (operating means)
11e: Hard disk (storage device)
30 …… Head drive circuit (drive device)
COM …… Drive signal
W …… Substrate (work)

Claims

In a droplet discharge device that discharges droplets to a workpiece,
A plurality of types of droplet discharge heads;
A driving device for driving each of the droplet discharge heads;
A controller for supplying a driving signal for driving the droplet discharge head and droplet discharge data for controlling the droplet discharge head to the driving device;
The control device includes a storage device that stores a drive signal corresponding to each of the plurality of types of droplet discharge heads,
The storage device stores droplet discharge data corresponding to each of the droplet discharge heads in a substantially common format .

The control device includes display means for displaying a drive signal of a common format stored in the storage device;
An operation means for outputting an operation signal corresponding to a user's operation content;
The droplet discharge device according to claim 1, further comprising: an editing unit that edits the drive signal in accordance with an operation signal output from the operation unit.

The droplet discharge device according to claim 2 , wherein the display unit displays the drive signal by changing a scale in a time axis direction.

4. The display unit according to claim 3 , wherein the display means displays the drive signal by varying a scale in the time axis direction for each portion of the drive signal in accordance with a temporal change rate of the drive signal. Droplet discharge device.

The display means, to any one of the preceding claims 2, characterized in that display by varying the scale of the time axis direction of the drive signal in response to an operation signal outputted from said operation means The liquid droplet ejection apparatus described.

The display means displays a head switching screen for switching the droplet discharge head;
The droplet discharge device according to any one of claims 2 to 5 , wherein the control device selects a droplet discharge head to be driven in accordance with an operation of the operation means.

The droplet discharge head has an identification part for distinguishing each,
Wherein the control device, The apparatus according to any one of claims 1 to 6, characterized in that identifying the liquid drop ejecting head by reading the identifier of the identification unit.

In a droplet discharge device that discharges droplets to a workpiece,
A head unit comprising an identification unit and a plurality of types of liquid droplet ejection heads corresponding to the information of the identification unit;
A driving device for driving the droplet discharge head;
A controller for supplying a driving signal for driving the droplet discharge head and droplet discharge data for controlling the droplet discharge head to the driving device;
The control device includes a storage device that stores drive signals corresponding to the plurality of types of droplet discharge heads in a common format and a reading device that reads the identification unit,
The reading device reads the identification unit;
The control device supplies a drive signal and droplet discharge data stored in the storage device to the drive device based on information read by the reading device.

In a droplet discharge method for discharging droplets to a workpiece,
A head selection step of selecting a specific droplet discharge head from a plurality of types of droplet discharge heads;
A drive signal corresponding to the droplet discharge head selected in the head selection step is selected from among the drive signals corresponding to the plurality of types of droplet discharge heads formed based on at least control signal information and waveform line segment information. A drive signal supply step for supplying the selected droplet discharge head;
Droplet ejection data supply that supplies droplet ejection data that is formed in a format according to the specifications of the droplet ejection head to the droplet ejection head selected in the head selection step and controls the droplet ejection head A droplet discharge method comprising a step .

A device manufacturing apparatus comprising the droplet discharge device according to any one of claims 1 to 8 .

Claims 1 using either droplet discharge method of the droplet discharge device or claim 9, wherein according to one of claims 8, further comprising the step of ejecting the droplets as one of the device manufacturing process A device manufacturing method.

Electronic device manufactured by using the manufacturing apparatus of a device according to claim 8, wherein the droplet ejection apparatus or claim 10, wherein the claim 1.