JP2002148422A - Filter, method for manufacturing the same, and optoelectronic device using the same - Google Patents

Filter, method for manufacturing the same, and optoelectronic device using the same

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JP2002148422A
JP2002148422A JP2000340783A JP2000340783A JP2002148422A JP 2002148422 A JP2002148422 A JP 2002148422A JP 2000340783 A JP2000340783 A JP 2000340783A JP 2000340783 A JP2000340783 A JP 2000340783A JP 2002148422 A JP2002148422 A JP 2002148422A
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JP
Japan
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nozzles
pixels
substrate
filter
ink
Prior art date
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JP2000340783A
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Japanese (ja)
Inventor
Hideo Nakada
英男 中田
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a filter which suppresses the color irregularity of a plurality of pixels formed on the substrate by a plurality of ink drops, respectively, and can be stably produced even when some errors are in the amount of a plurality of ink drops discharged from a plurality of nozzles of a recording head, and to provide a method for manufacturing the filter, and an optoelectronic device using the filter. SOLUTION: The method for manufacturing the filter consists of a measuring step to measure whether or not the amounts of ink drops discharged from a plurality of nozzles 91 are within the limits of a specified value, a plotting pattern generation step to generate a plotting pattern for forming a plurality of pixels P by using a plurality of normal nozzles 91 having the amounts of ink drops within the limits of the specified value, and a pixel formation step to form the plurality of pixels P on a substrate 13 by driving only the plurality of normal nozzles 91 on the basis of the plotting pattern.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、記録ヘッドによっ
てノズルからインク滴を基板に対して吐出することによ
り基板に画素を形成するフィルタ及びフィルタの製造方
法並びにこのフィルタを用いた電気光学装置に関するも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a filter for forming pixels on a substrate by ejecting ink droplets from a nozzle to a substrate by a recording head, a method of manufacturing the filter, and an electro-optical device using the filter. It is.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年の情報産業の発達により、情報端末
や携帯電話等に使用される液晶ディスプレイの需要が増
大している。例えば携帯電話における最近の液晶ディス
プレイではカラー化が進んでおり、液晶ディスプレイの
カラーフィルタの需要が大幅に増大し、カラーフィルタ
を安く大量に供給する要請が多くなっている。この要請
に応ずるべく、従来から用いられているインクジェット
方式を採用する記録ヘッドによってインク滴をカラーフ
ィルタとなるべき基板に対して吐出し、基板にそのイン
ク滴でなる画素を形成する技術が用いられている。この
インクジェット方式を用いて基板に画素を形成するカラ
ーフィルタの製造方法は、安価であるという特徴を有す
る。
2. Description of the Related Art With the recent development of the information industry, the demand for liquid crystal displays used for information terminals, mobile phones and the like is increasing. For example, the colorization of recent liquid crystal displays in mobile phones has been progressing, and the demand for color filters for liquid crystal displays has greatly increased. In order to respond to this demand, a technique has been used in which a recording head employing a conventionally used ink jet system ejects ink droplets onto a substrate to be a color filter and forms pixels formed of the ink droplets on the substrate. ing. The method of manufacturing a color filter for forming pixels on a substrate by using the inkjet method has a feature of being inexpensive.

【0003】また、カラーフィルタの製造方法の具体例
としては、例えばR(赤)、G(緑)、B(青)の色の
三原色に対応する色のインク滴を、それぞれ所定のパタ
ーンでその基板に着弾させることで、そのインク滴でな
る画素を形成している。この基板にインク滴を吐出する
記録ヘッドは、画素を形成する際に基板上を走査してい
る。
Further, as a specific example of a method of manufacturing a color filter, for example, ink drops of colors corresponding to the three primary colors of R (red), G (green), and B (blue) are formed in a predetermined pattern, respectively. By landing on the substrate, pixels formed by the ink droplets are formed. A recording head that ejects ink droplets onto the substrate scans over the substrate when forming pixels.

【0004】図12は、従来のカラーフィルタの製造方
法によってカラーフィルタを製造している様子の一例を
示す平面図である。
FIG. 12 is a plan view showing an example of how a color filter is manufactured by a conventional color filter manufacturing method.

【0005】図13は、図12の記録ヘッド7及びその
周囲を拡大した様子の一例を示す平面図であり、図14
(A)は、図13の基板13にインク滴Iが着弾した様
子の一例を示すA−A’断面図であり、図14(B)
は、図14(A)の基板13のインク滴が乾燥された様
子の一例を示すA−A’断面図である。
FIG. 13 is a plan view showing an example of a state in which the recording head 7 of FIG. 12 and its periphery are enlarged.
FIG. 14A is a cross-sectional view taken along the line AA ′ showing an example of a state in which the ink droplet I lands on the substrate 13 in FIG. 13, and FIG.
FIG. 15 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ showing an example of a state in which ink droplets on the substrate 13 in FIG. 14A are dried.

【0006】図12に示すように基板13上を記録ヘッ
ド7が走査する際には、図13に示す記録ヘッド7に設
けられたインク滴を吐出するノズル91が、形成すべき
画素Pと重なるタイミングでインク滴を吐出し、また画
素Pが連続する部分では吐出を繰り返す。従って、記録
ヘッド7のヘッド走査方向HDにおける基板上の同列の
複数の画素Pは、それぞれ記録ヘッド7における同一の
ノズルN1(91)からのインク滴で形成されることに
なる。次に、図12に示すように、記録ヘッド7は、位
置がずらされ、続きの画素列となるべき部分に画素Pの
形成(描画)を行うことを繰り返す。このようにして、
図14(A)に示すように、記録ヘッド7は、基板13
上に画素Pとなるべきインク滴Iを着弾させていく。そ
して、図14(B)に示すように、基板13上に着弾し
たインク滴Iは、乾燥を行うことでインク滴に含まれる
溶剤を蒸発させ、インク滴の顔料成分のみを定着させて
いる。
When the print head 7 scans the substrate 13 as shown in FIG. 12, the nozzles 91 provided on the print head 7 shown in FIG. 13 for ejecting ink droplets overlap the pixels P to be formed. Ink droplets are ejected at the timing, and ejection is repeated in a portion where the pixels P are continuous. Therefore, a plurality of pixels P in the same row on the substrate in the head scanning direction HD of the recording head 7 are formed by ink droplets from the same nozzle N1 (91) in the recording head 7, respectively. Next, as shown in FIG. 12, the recording head 7 repeats the formation (drawing) of the pixel P in a portion where the position is shifted and a continuous pixel row is to be formed. In this way,
As shown in FIG. 14A, the recording head 7
An ink droplet I to be a pixel P is landed thereon. Then, as shown in FIG. 14B, the ink droplet I that has landed on the substrate 13 is dried to evaporate the solvent contained in the ink droplet and fix only the pigment component of the ink droplet.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところが、図13の記
録ヘッド7における複数のノズル91毎に吐出される複
数のインク滴の液滴量にばらつきが生じていると、図1
4(B)に示すように乾燥後にインク滴Iでなる顔料膜
の膜厚の違いによって画素Pの色の濃淡が発生する。こ
のような画素Pの色むらは、各画素Pを構成するインク
滴の液滴量の誤差が±2.5%以内であれば画素Pの色
むらとして視認されないが、実際にはその誤差が5〜1
0%あるため筋状の画素Pの色むらとして視認されてし
まう問題点があった。
However, if the amount of the plurality of ink droplets ejected for each of the plurality of nozzles 91 in the recording head 7 shown in FIG.
As shown in FIG. 4B, the color of the pixel P varies depending on the thickness of the pigment film formed of the ink droplet I after drying. Such color unevenness of the pixel P is not visually recognized as the color unevenness of the pixel P if the error of the droplet amount of the ink droplet constituting the pixel P is within ± 2.5%. 5-1
Since it is 0%, there is a problem that the stripe-shaped pixel P is visually recognized as color unevenness.

【0008】本発明の目的は、上記課題を解消して、記
録ヘッドの複数のノズルからそれぞれ吐出される複数の
インク滴の液滴量に多少の誤差があっても、それら複数
のインク滴によって基板にそれぞれ形成される複数の画
素の色むらを抑えて安定して生産することができるフィ
ルタ及びフィルタの製造方法並びにこのフィルタを用い
た電気光学装置を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve the above-mentioned problems and to provide a method for controlling a plurality of ink droplets ejected from a plurality of nozzles of a recording head by using the plurality of ink droplets. An object of the present invention is to provide a filter capable of stably producing a plurality of pixels formed on a substrate while suppressing color unevenness, a method of manufacturing the filter, and an electro-optical device using the filter.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、イン
ク滴を吐出する複数のノズルを備える記録ヘッドによっ
て、前記複数のノズルから前記インク滴を基板に対して
相対的に走査しながら吐出することにより前記基板に複
数の画素を形成することでフィルタを製造するフィルタ
の製造方法であって、前記複数のノズルから吐出される
前記インク滴の液滴量が規定値の範囲内であるか否かを
計測する計測ステップと、前記インク滴の液滴量が前記
規定値の範囲内である正常な前記複数のノズルによって
前記複数の画素を形成するための描画パターンを生成す
る描画パターン生成ステップと、前記描画パターンに基
づいて、正常な前記複数のノズルのみを駆動して前記基
板に前記複数の画素を形成する第1の画素形成ステップ
とを有することを特徴とするフィルタの製造方法であ
る。
According to a first aspect of the present invention, a recording head having a plurality of nozzles for ejecting ink droplets discharges the ink droplets from the plurality of nozzles while scanning the ink droplets relative to a substrate. A method of manufacturing a filter by forming a plurality of pixels on the substrate by performing the method, wherein a droplet amount of the ink droplet ejected from the plurality of nozzles is within a specified value range. A measuring step of measuring whether or not the drawing is performed, and a drawing pattern generating step of generating a drawing pattern for forming the plurality of pixels by the plurality of normal nozzles having a droplet amount of the ink droplet within the range of the specified value. And a first pixel forming step of driving only the plurality of normal nozzles based on the drawing pattern to form the plurality of pixels on the substrate. A method for producing a filter according to symptoms.

【0010】この請求項1の構成によれば、計測ステッ
プでは、ノズルから吐出されるインク滴の液滴量が規定
値の範囲内であるか否かを計測する。次に、描画パター
ン生成ステップでは、インク滴の液滴量がその規定値の
範囲内である正常な複数のノズルによって複数の画素を
形成するための描画パターンを生成する。次に、画素形
成ステップでは、描画パターンに基づいて、正常な複数
のノズルのみを駆動して基板に複数の画素をそれぞれ形
成する。このようにすると、フィルタは、吐出するイン
ク滴の液滴量が正常な複数のノズルのみによって基板に
複数の画素が形成されることになるので、形成された複
数の画素の色むらが視覚上無いものとすることができ
る。
According to the configuration of the first aspect, in the measuring step, it is measured whether or not the amount of the ink droplet ejected from the nozzle is within a specified value range. Next, in a drawing pattern generation step, a drawing pattern for forming a plurality of pixels by a plurality of normal nozzles whose ink droplet amount is within a specified value range is generated. Next, in a pixel forming step, based on the drawing pattern, only a plurality of normal nozzles are driven to form a plurality of pixels on the substrate, respectively. With this configuration, the filter forms a plurality of pixels on the substrate using only a plurality of nozzles that discharge ink droplets of a normal amount. Therefore, color unevenness of the formed plurality of pixels is visually recognized. There can be none.

【0011】請求項2の発明は、請求項1の構成におい
て、前記インク滴の液滴量が前記規定値の範囲外である
異常な前記複数のノズルによって本来形成されるべきで
あった前記複数の画素を、正常な前記複数のノズルで形
成するための補完パターンを生成する補完パターン生成
ステップと、前記補完パターンに基づいて、正常な前記
複数のノズルのみを駆動して前記基板に前記複数の画素
を形成する他の画素形成ステップとを有することを特徴
とする。
According to a second aspect of the present invention, in the configuration of the first aspect, the plurality of ink droplets which should be originally formed by the plurality of abnormal nozzles whose droplet amount is outside the specified value range A pixel, a complementary pattern generating step of generating a complementary pattern for forming the normal plurality of nozzles, and based on the complementary pattern, driving only the normal plurality of nozzles and driving the plurality of normal nozzles on the substrate. And forming another pixel.

【0012】この請求項2の構成によれば、請求項1の
作用に加えて、補完パターン生成ステップでは、インク
滴の液滴量がその規定値の範囲外である異常な複数のノ
ズルによって本来形成されるべきであった複数の画素
を、正常な複数のノズルでそれぞれ形成するための補完
パターンを生成する。次に、他の画素形成ステップで
は、補完パターンに基づいて、正常な複数のノズルのみ
を駆動して基板に複数の画素をそれぞれ形成する。
According to the second aspect of the present invention, in addition to the operation of the first aspect, in the complementary pattern generating step, the plurality of abnormal nozzles whose ink droplet amount is outside the specified value range are originally used. A complementary pattern for forming a plurality of pixels to be formed by a plurality of normal nozzles is generated. Next, in another pixel forming step, based on the complementary pattern, only a plurality of normal nozzles are driven to form a plurality of pixels on the substrate, respectively.

【0013】請求項3の発明は、請求項1又は請求項2
のいずれかの構成において、前記インク滴の液滴量の規
定値の範囲とは、本来あるべき前記インク滴の液滴量を
中心とした±2.5%の誤差の範囲であることを特徴と
する。
[0013] The invention of claim 3 is claim 1 or claim 2.
In any one of the above configurations, the range of the prescribed value of the droplet amount of the ink droplet is a range of an error of ± 2.5% centering on the droplet amount of the ink droplet which should be originally. And

【0014】この請求項3の構成によれば、請求項1又
は請求項2のいずれかの作用と同様に、フィルタは、吐
出するインク滴の液滴量が一定の範囲内の量である正常
な複数のノズルのみによって基板に複数の画素が形成さ
れることになるので、形成された複数の画素の色むらが
視覚上無いものとすることができる。
According to the third aspect of the present invention, similar to the operation of the first aspect or the second aspect, the filter is configured such that the amount of the ejected ink droplet is within a predetermined range. Since a plurality of pixels are formed on the substrate by only a plurality of nozzles, color unevenness of the formed pixels can be visually suppressed.

【0015】請求項4の発明は、請求項1から請求項3
のいずれかの構成において、前記複数の画素は、同色の
前記画素同士が隣接しないようにデルタ状に配置されて
いることを特徴とする。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the first to third aspects.
Wherein the plurality of pixels are arranged in a delta so that the pixels of the same color are not adjacent to each other.

【0016】請求項5の発明は、インク滴を吐出する複
数のノズルを備える記録ヘッドによって、前記複数のノ
ズルから前記インク滴を基板に対して相対的に走査しな
がら吐出することにより前記基板に複数の画素を形成す
ることでフィルタを製造するフィルタの製造方法によっ
て製造されるフィルタであって、前記複数のノズルから
吐出される前記インク滴の液滴量が規定値の範囲内であ
るか否かを計測する計測ステップと、前記インク滴の液
滴量が前記規定値の範囲内である正常な前記複数のノズ
ルによって前記複数の画素を形成するための描画パター
ンを生成する描画パターン生成ステップと、前記インク
滴の液滴量が前記規定値の範囲外である異常な前記複数
のノズルによって本来形成されるべきであった前記複数
の画素を、正常な前記複数のノズルで形成するための補
完パターンを生成する補完パターン生成ステップと、前
記描画パターンに基づいて、正常な前記複数のノズルの
みを駆動して前記基板に前記複数の画素を形成する第1
の画素形成ステップと、前記補完パターンに基づいて、
正常な前記複数のノズルのみを駆動して前記基板に前記
複数の画素を形成する第2の画素形成ステップとを有す
るフィルタの製造方法により製造されることを特徴とす
るフィルタである。
According to a fifth aspect of the present invention, a recording head having a plurality of nozzles for discharging ink droplets discharges the ink droplets from the plurality of nozzles while scanning the substrate relative to the substrate, thereby discharging the ink droplets onto the substrate. A filter manufactured by a filter manufacturing method of manufacturing a filter by forming a plurality of pixels, wherein a droplet amount of the ink droplet ejected from the plurality of nozzles is within a specified value range. A measurement step of measuring whether or not, and a drawing pattern generating step of generating a drawing pattern for forming the plurality of pixels by the plurality of normal nozzles in which the droplet amount of the ink droplet is within the range of the specified value. The plurality of pixels that should have been originally formed by the plurality of abnormal nozzles whose droplet amount is outside the range of the specified value, A complementary pattern generation step of generating a complementary pattern to form at serial plurality of nozzles, the first based on said drawing pattern, forming the plurality of pixels on the substrate by driving only normal the plurality of nozzles
Pixel forming step, based on the complementary pattern,
A second pixel forming step of forming only the plurality of pixels on the substrate by driving only the plurality of normal nozzles.

【0017】この請求項5の構成によれば、計測ステッ
プでは、ノズルから吐出されるインク滴の液滴量が規定
値の範囲内であるか否かを計測する。次に、描画パター
ン生成ステップでは、インク滴の液滴量がその規定値の
範囲内である正常な複数のノズルによって複数の画素を
形成するための描画パターンを生成する。次に、補完パ
ターン生成ステップでは、インク滴の液滴量がその規定
値の範囲外である異常な複数のノズルによって本来形成
されるべきであった複数の画素を、正常な複数のノズル
で形成するための補完パターンを生成する。次に、第1
の画素形成ステップでは、描画パターンに基づいて、正
常な複数のノズルのみを駆動して基板に複数の画素を形
成する。最後に、第2の画素形成ステップでは、補完パ
ターンに基づいて、正常な複数のノズルのみを駆動して
基板に複数の画素を形成する。このようにすると、フィ
ルタは、吐出するインク滴の液滴量が正常な複数のノズ
ルのみによって基板に複数の画素が形成されることにな
るので、形成された複数の画素の色むらが視覚上無いも
のとすることができる。
According to the configuration of the fifth aspect, in the measuring step, it is measured whether or not the amount of the ink droplet ejected from the nozzle is within a specified value range. Next, in a drawing pattern generation step, a drawing pattern for forming a plurality of pixels by a plurality of normal nozzles whose ink droplet amount is within a specified value range is generated. Next, in the complementary pattern generation step, a plurality of pixels that should have been formed by abnormal nozzles whose ink droplet amount is outside the specified value range are formed by normal nozzles. Generate a complementary pattern to perform Next, the first
In the pixel forming step, only a plurality of normal nozzles are driven based on the drawing pattern to form a plurality of pixels on the substrate. Finally, in the second pixel forming step, based on the complementary pattern, only a plurality of normal nozzles are driven to form a plurality of pixels on the substrate. With this configuration, the filter forms a plurality of pixels on the substrate using only a plurality of nozzles that discharge ink droplets of a normal amount. Therefore, color unevenness of the formed plurality of pixels is visually recognized. There can be none.

【0018】請求項6の発明は、インク滴を吐出する複
数のノズルを備える記録ヘッドによって、前記複数のノ
ズルから前記インク滴を基板に対して相対的に走査しな
がら吐出することにより前記基板に複数の画素を形成す
ることでフィルタを製造するフィルタの製造方法によっ
て製造されるフィルタを用いた電気光学装置であって、
前記複数のノズルから吐出される前記インク滴の液滴量
が規定値の範囲内であるか否かを計測する計測ステップ
と、前記インク滴の液滴量が前記規定値の範囲内である
正常な前記複数のノズルによって前記複数の画素を形成
するための描画パターンを生成する描画パターン生成ス
テップと、前記インク滴の液滴量が前記規定値の範囲外
である異常な前記複数のノズルによって本来形成される
べきであった前記複数の画素を、正常な前記複数のノズ
ルで形成するための補完パターンを生成する補完パター
ン生成ステップと、前記描画パターンに基づいて、正常
な前記複数のノズルのみを駆動して前記基板に前記複数
の画素を形成する第1の画素形成ステップと、前記補完
パターンに基づいて、正常な前記複数のノズルのみを駆
動して前記基板に前記複数の画素を形成する第2の画素
形成ステップとを有するフィルタの製造方法により製造
されることを特徴とするフィルタを用いた電気光学装置
である。
According to a sixth aspect of the present invention, a recording head having a plurality of nozzles for discharging ink droplets discharges the ink droplets from the plurality of nozzles while scanning the substrate relative to the substrate, thereby discharging the ink droplets onto the substrate. An electro-optical device using a filter manufactured by a filter manufacturing method for manufacturing a filter by forming a plurality of pixels,
A measuring step of measuring whether or not a droplet amount of the ink droplet ejected from the plurality of nozzles is within a prescribed value range; and a normal step in which the droplet amount of the ink droplet is within the prescribed value range. A drawing pattern generating step of generating a drawing pattern for forming the plurality of pixels by the plurality of nozzles; and a plurality of abnormal nozzles in which the amount of the ink droplet is outside the range of the specified value. A complementary pattern generating step of generating a complementary pattern for forming the plurality of pixels that should have been formed by the normal plurality of nozzles; and based on the drawing pattern, only the normal plurality of nozzles. A first pixel forming step of driving to form the plurality of pixels on the substrate; and driving only the normal plurality of nozzles to the substrate based on the complementary pattern. An electro-optical device using a filter, characterized in that it is manufactured by the manufacturing method of the filter and a second pixel formation step of forming a serial plurality of pixels.

【0019】この請求項6の構成によれば、計測ステッ
プでは、ノズルから吐出されるインク滴の液滴量が規定
値の範囲内であるか否かを計測する。次に、描画パター
ン生成ステップでは、インク滴の液滴量がその規定値の
範囲内である正常な複数のノズルによって複数の画素を
形成するための描画パターンを生成する。次に、補完パ
ターン生成ステップでは、インク滴の液滴量がその規定
値の範囲外である異常な複数のノズルによって本来形成
されるべきであった複数の画素を、正常な複数のノズル
で形成するための補完パターンを生成する。次に、第1
の画素形成ステップでは、描画パターンに基づいて、正
常な複数のノズルのみを駆動して基板に複数の画素を形
成する。最後に、第2の画素形成ステップでは、補完パ
ターンに基づいて、正常な複数のノズルのみを駆動して
基板に複数の画素を形成する。このようにすると、フィ
ルタは、吐出するインク滴の液滴量が正常な複数のノズ
ルのみによって基板に複数の画素が形成されることにな
るので、形成された複数の画素の色むらが視覚上無いも
のとすることができる。このようなフィルタを用いた電
気光学装置は、高輝度で応答特性に優れたものとするこ
とができる。
According to the configuration of the sixth aspect, in the measuring step, it is measured whether or not the amount of the ink droplet ejected from the nozzle is within a specified value range. Next, in a drawing pattern generation step, a drawing pattern for forming a plurality of pixels by a plurality of normal nozzles whose ink droplet amount is within the specified value range is generated. Next, in the complementary pattern generation step, a plurality of pixels that should have been formed by a plurality of abnormal nozzles whose droplet amount is outside the range of the specified value are formed by a plurality of normal nozzles. Generate a complementary pattern to perform Next, the first
In the pixel forming step, only a plurality of normal nozzles are driven based on the drawing pattern to form a plurality of pixels on the substrate. Finally, in the second pixel forming step, based on the complementary pattern, only a plurality of normal nozzles are driven to form a plurality of pixels on the substrate. With this configuration, the filter forms a plurality of pixels on the substrate using only a plurality of nozzles that discharge ink droplets of a normal amount. Therefore, color unevenness of the formed plurality of pixels is visually recognized. There can be none. An electro-optical device using such a filter can have high luminance and excellent response characteristics.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を図面に基づいて説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0021】図1は、フィルタ11が配列する基板13
の構成例を示す平面図であり、図2は、図1の基板13
上に形成されたフィルタ11の一部の構成例を示す平面
図である。
FIG. 1 shows a substrate 13 on which filters 11 are arranged.
FIG. 2 is a plan view showing a configuration example of FIG.
FIG. 3 is a plan view showing a configuration example of a part of a filter 11 formed above.

【0022】この基板13は、フィルタ11の基材であ
り、長手方向の一辺が例えば470mmであり、もう一
辺が例えば370mmである。基板13は、透明基板で
あり適度の機械的強度と共に光透過性の高いものを用い
る。この基板13としては、例えば透明ガラス基板、ア
クリルガラス、プラスチック基板、プラスチックフィル
ム及びこれらの表面処理品等が適用できる。
The substrate 13 is a base material of the filter 11, and one side in the longitudinal direction is, for example, 470 mm, and the other side is, for example, 370 mm. The substrate 13 is a transparent substrate that has high mechanical transparency and high light transmittance. As the substrate 13, for example, a transparent glass substrate, an acrylic glass, a plastic substrate, a plastic film, and a surface-treated product thereof can be used.

【0023】このフィルタ11は、例えば少なくとも1
色、好ましくは複数色の画素が形成されている。つま
り、フィルタ11は、例えば複数色の画素が形成された
カラーフィルタである。以下の説明では、フィルタ11
をカラーフィルタ11という。図2に示すように、カラ
ーフィルタ11には、例えば赤色の画素PR、青色の画
素PB及び緑色の画素PGが形成されている。以下の説
明では、これらの画素PR、PB及びPGを総称して画
素Pとも呼ぶ。
The filter 11 has, for example, at least one
Pixels of a color, preferably a plurality of colors, are formed. That is, the filter 11 is, for example, a color filter in which pixels of a plurality of colors are formed. In the following description, the filter 11
Is called a color filter 11. As shown in FIG. 2, for example, a red pixel PR, a blue pixel PB, and a green pixel PG are formed in the color filter 11. In the following description, these pixels PR, PB, and PG are also collectively referred to as a pixel P.

【0024】カラーフィルタ11は、例えば液晶ディス
プレイに使用されるフィルタであり、画素PR、PB及
びPGが例えばデルタ状に配置されており、同色の画素
同士が隣接しないデルタタイプである。尚、カラーフィ
ルタ11は、画素PR、PB及びPGがストライプタイ
プやモザイクタイプに配置されていても良いことはいう
までもない。このデルタタイプのカラーフィルタ11
は、基板13の表面上に形成された画素PR、PB及び
PGすべてがデルタ状に配置されていることから、この
ように呼ばれている。デルタタイプのカラーフィルタ1
1を採用する図示しない液晶ディスプレイは、一般的に
動画を表示するのに適している。
The color filter 11 is, for example, a filter used for a liquid crystal display, and is of a delta type in which pixels PR, PB and PG are arranged in, for example, a delta shape, and pixels of the same color are not adjacent to each other. Needless to say, in the color filter 11, the pixels PR, PB, and PG may be arranged in a stripe type or a mosaic type. This delta type color filter 11
Is so called because all of the pixels PR, PB and PG formed on the surface of the substrate 13 are arranged in a delta shape. Delta type color filter 1
A liquid crystal display (not shown) adopting No. 1 is generally suitable for displaying a moving image.

【0025】図3は、本発明の好ましい実施形態として
のフィルタの製造方法によりフィルタが製造される様子
の一例を示す平面図である。
FIG. 3 is a plan view showing an example of how a filter is manufactured by a filter manufacturing method according to a preferred embodiment of the present invention.

【0026】図3の紙面は、基板13を示しており、紙
面垂直方向にて基板13と多少の間隔を保持してヘッド
7が設けられている。このヘッド7(記録ヘッド)は、
基板13との対面に、インク滴をそれぞれ吐出する例え
ば180個のノズルN1〜N180(91)が設けられ
ている。以下の説明では、一例として記録ヘッド7に1
80個のノズルN1〜N180が設けられているものと
して説明する。従って、このヘッド7は、いわゆるイン
クジェット方式を採用する記録ヘッドである。また、ヘ
ッド7は、基板13に対してヘッド走査方向HDに相対
的に走査できるようになっている。
The paper surface of FIG. 3 shows the substrate 13, and the head 7 is provided at a certain distance from the substrate 13 in the direction perpendicular to the paper surface. This head 7 (recording head)
For example, 180 nozzles N <b> 1 to N <b> 180 (91) for ejecting ink droplets are provided on the surface facing the substrate 13. In the following description, as an example, 1
The description will be made assuming that 80 nozzles N1 to N180 are provided. Therefore, the head 7 is a recording head employing a so-called ink jet system. Further, the head 7 can scan relative to the substrate 13 in the head scanning direction HD.

【0027】従って、このヘッド7は、基板13に対し
てヘッド走査方向HDに相対的に走査しつつ基板13に
インク滴を吐出し、基板13にそのインク滴でなる画素
PRを形成することができる。また、記録ヘッド7は、
画素切替方向PDに移動することができ、画素PRと同
様に基板13に画素PB及び画素PGをそれぞれ形成す
ることができる。
Therefore, the head 7 discharges ink droplets to the substrate 13 while relatively scanning the substrate 13 in the head scanning direction HD, and forms a pixel PR composed of the ink droplets on the substrate 13. it can. Also, the recording head 7
The pixel PB can be moved in the pixel switching direction PD, and the pixel PB and the pixel PG can be formed on the substrate 13 similarly to the pixel PR.

【0028】カラーフィルタ11の構成例は以上のよう
であり、次にカラーフィルタ11の製造方法を使用する
製造装置2000の構成例について図1〜図3を参照し
つつ説明する。
The configuration example of the color filter 11 is as described above. Next, a configuration example of the manufacturing apparatus 2000 using the method of manufacturing the color filter 11 will be described with reference to FIGS.

【0029】図4は、製造装置2000の構成例を示し
ている。
FIG. 4 shows a configuration example of the manufacturing apparatus 2000.

【0030】コンピュータ34は、制御盤80に接続さ
れている。その制御盤80に対しては、第1移動手段1
4(リニアモータ)、第2移動手段16(リニアモー
タ)及びθ軸用のモータ44が接続されている。また、
記録ヘッド7の移動に関連するモータ62,64,6
6,68が制御盤80に接続されている。第1移動手段
14と、θ軸モータ44は、制御盤80からの指令によ
り作動して、例えばカラーフィルター製造用の基板13
を搭載したテーブル46を記録ヘッド7に対して相対的
にY軸方向に移動し、かつθ方向にインデックスする。
The computer 34 is connected to the control panel 80. For the control panel 80, the first moving means 1
4 (linear motor), the second moving means 16 (linear motor) and a motor 44 for the θ axis are connected. Also,
Motors 62, 64, 6 related to the movement of the recording head 7
6 and 68 are connected to the control panel 80. The first moving means 14 and the θ-axis motor 44 are operated according to a command from the control panel 80, for example, the substrate 13 for producing a color filter.
Is moved in the Y-axis direction relative to the recording head 7 and indexed in the θ direction.

【0031】第2移動手段16及び4つのモータ62,
64,66,68は、制御盤80からの指令により作動
して、例えば記録ヘッド7をテーブル46の上の基板1
3に対して姿勢制御したり移動させるようになってい
る。また、基板給排出手段であるロボット74は、コン
ピュータ34の指令により動作の制御ができる。
The second moving means 16 and the four motors 62,
64, 66, 68 operate according to a command from the control panel 80, for example, to move the recording head 7 to the substrate 1 on the table 46.
3 is controlled and moved. The operation of the robot 74 serving as a substrate supply / discharge unit can be controlled by a command from the computer 34.

【0032】次に、記録ヘッド7の構造例について、図
4と図5を参照して説明する。
Next, an example of the structure of the recording head 7 will be described with reference to FIGS.

【0033】記録ヘッド7は、たとえば、ピエゾ素子
(圧電素子)を用いたヘッドであり、図5(A)に示す
ように本体90のインク吐出面20Pには、複数のノズ
ル91が形成されている。これらのノズル91に対して
それぞれピエゾ素子PZTが設けられている。
The recording head 7 is, for example, a head using a piezo element (piezoelectric element). As shown in FIG. 5A, a plurality of nozzles 91 are formed on the ink ejection surface 20P of the main body 90. I have. Each of these nozzles 91 is provided with a piezo element PZT.

【0034】図5(B)に示すようにピエゾ素子PZT
は、ノズル91とインク室93に対応して配置されてい
る。そして、このピエゾ素子PZTに対して図5(C)
に示すように印加電圧Vhを印加し、図5(D),図5
(F)及び図5(E)に示すようにして、ピエゾ素子P
ZTを矢印Q方向に伸縮させることで、インクを加圧し
て所定量のインク滴をノズル91から吐出させるように
なっている。
As shown in FIG. 5B, a piezo element PZT
Are arranged corresponding to the nozzles 91 and the ink chambers 93. FIG. 5C shows the relationship between the piezo element PZT and FIG.
5D and FIG. 5D.
As shown in FIG. 5F and FIG.
By expanding and contracting ZT in the direction of arrow Q, the ink is pressurized and a predetermined amount of ink droplet is ejected from the nozzle 91.

【0035】図4の記録ヘッド7は、インク供給部97
に接続されており、このインク供給部97からインクが
図5(B)のインク室93に供給される。インク供給部
97には、温度計96と粘度計95が接続されている。
温度計96と粘度計95は、インク供給部97内に収容
されているインクの温度および粘度を計測して、そのイ
ンクの状態のフィードバック信号S1,S2としてイン
ク管理コントローラ98に供給する。
The recording head 7 shown in FIG.
The ink is supplied from the ink supply unit 97 to the ink chamber 93 shown in FIG. 5B. A thermometer 96 and a viscometer 95 are connected to the ink supply unit 97.
The thermometer 96 and the viscometer 95 measure the temperature and viscosity of the ink contained in the ink supply unit 97, and supply them to the ink management controller 98 as feedback signals S1 and S2 of the state of the ink.

【0036】インク管理コントローラ98は、インクの
状態のフィードバック信号S1,S2に基づいて、コン
ピュータ34に対してインクの温度や粘度の状態を制御
用の情報として与える。コンピュータ34は、制御盤8
0を通して、ピエゾ素子駆動回路101に対してピエゾ
素子駆動信号S3を送る。ピエゾ素子駆動回路101
は、このピエゾ素子駆動信号S3に基づいて、図5
(B)のピエゾ素子PZTに対してその時のインクの温
度や粘度に応じた印加電圧Vhを供給することで、イン
クの温度や粘度に応じてノズル91から所定量のインク
滴を吐出することができる。
The ink management controller 98 gives the temperature and viscosity of the ink to the computer 34 as control information based on the feedback signals S1 and S2 of the ink state. The computer 34 controls the control panel 8
A piezo element drive signal S3 is sent to the piezo element drive circuit 101 through “0”. Piezo element drive circuit 101
FIG. 5 is based on the piezo element drive signal S3.
By supplying an applied voltage Vh corresponding to the temperature and viscosity of the ink to the piezo element PZT in (B), a predetermined amount of ink droplets can be ejected from the nozzle 91 in accordance with the temperature and viscosity of the ink. it can.

【0037】カラーフィルタ11及びその製造装置20
00は以上のような構成であり、次に図1〜図5を参照
しつつカラーフィルタの製造方法の一例について説明す
る。
Color filter 11 and its manufacturing apparatus 20
Reference numeral 00 denotes the above configuration. Next, an example of a method for manufacturing a color filter will be described with reference to FIGS.

【0038】図6は、フィルタの製造方法の一例を示す
フローチャートである。
FIG. 6 is a flowchart showing an example of a method for manufacturing a filter.

【0039】図7は、インク量計測システム100の構
成例を示すブロック図であり、図8は、図7のインク量
計測システム100によって計測された各ノズル毎のイ
ンク滴の重量の一例それぞれ示す図である。
FIG. 7 is a block diagram showing a configuration example of the ink amount measurement system 100, and FIG. 8 shows an example of the weight of the ink droplet for each nozzle measured by the ink amount measurement system 100 of FIG. FIG.

【0040】図10(A)〜図10(D)及び図11
(A)〜図11(D)は、それぞれカラーフィルタ11
の製造工程の一例を示す断面図である。図10(A)〜
図10(D)及び図11(A)〜図11(D)の説明で
は、それぞれ代表として記録ヘッド7のノズルN1から
のインク滴によって1つの画素を基板13に形成する一
例を説明する。
FIGS. 10A to 10D and FIG.
(A) to FIG. 11 (D) show color filters 11 respectively.
It is sectional drawing which shows an example of the manufacturing process of. FIG.
In the description of FIGS. 10D and 11A to 11D, an example in which one pixel is formed on the substrate 13 by ink droplets from the nozzle N1 of the recording head 7 will be described as a representative.

【0041】計測ステップ(インク量計測ステップ) 図6の計測ステップST1では、記録ヘッド7の各ノズ
ルからそれぞれ吐出されるインク滴の液滴量(インク
量)が予め設定された規格値の範囲(適正量範囲)内に
あるか否かを計測する。以下の説明では、この予め設定
された規格値を例えば10ngと設定する。また、予め
設定された規格値の範囲内とは、本来あるべきインク滴
の液滴量(例えば10ng)を中心とした±2.5%の
誤差の範囲をいうものとする。
Measurement step (ink amount measurement step) In measurement step ST1 of FIG. 6, the droplet amount (ink amount) of each ink droplet ejected from each nozzle of the recording head 7 is within a preset standard value range (ink amount). It is measured whether it is within the appropriate amount range). In the following description, the preset standard value is set to, for example, 10 ng. In addition, the range of the preset standard value refers to a range of an error of ± 2.5% centered on the original amount of ink droplets (for example, 10 ng).

【0042】具体的には、図7に示すように記録ヘッド
7は、コンピュータ34の制御を受けるピエゾ駆動回路
101によって与えられる所定のピエゾ駆動信号S3に
よって、全てのノズルが駆動される。そして、各ノズル
がそれぞれ吐出するインク滴Iの液滴量(例えば重量)
は、それぞれ電子天秤18によって計測される。計測さ
れたインク滴の重量は、コンピュータ34によって予め
設定された規格値の範囲内に入るか否かが判断される。
図8に示すように、各ノズル毎からのインク滴の重量
は、予め設定された規格値の範囲内に入らない規格外領
域50〜52が存在する。この規格外領域51,52
は、それぞれ図3の記録ヘッド7において直線的に配列
した両端付近のノズルN1等やノズルN180等の特性
を示している。また、図8の規格外領域50は、図3の
記録ヘッド7の中央付近のノズルの特性を示している。
More specifically, as shown in FIG. 7, all nozzles of the recording head 7 are driven by a predetermined piezo drive signal S3 provided by a piezo drive circuit 101 controlled by a computer 34. Then, the amount (for example, the weight) of the ink droplet I ejected by each nozzle
Are respectively measured by the electronic balance 18. The computer 34 determines whether the measured weight of the ink droplet falls within a range of a standard value set in advance by the computer 34.
As shown in FIG. 8, there are non-standard regions 50 to 52 in which the weight of the ink droplet from each nozzle does not fall within the range of a predetermined standard value. The non-standard areas 51 and 52
Indicates the characteristics of the nozzles N1 and the like and the nozzles N180 and the like near both ends arranged linearly in the recording head 7 in FIG. The non-standard area 50 in FIG. 8 shows the characteristics of the nozzle near the center of the recording head 7 in FIG.

【0043】描画パターン生成ステップ 次に、図6の描画パターン生成ステップST2では、図
7の記録ヘッド7の各ノズルから吐出されるインク滴の
液滴量が規格値の範囲内である正常な複数のノズルによ
って複数の画素をそれぞれ形成するための描画パターン
を生成する。つまり、描画パターン生成ステップST2
では、計測結果に基づいてインク滴の重量が規格値の範
囲(10ng±2.5%)から外れているノズルは使用
しない様な描画パターンを生成する。
Drawing Pattern Generation Step Next, in the drawing pattern generation step ST2 in FIG. 6, the normal plurality of ink droplets ejected from each nozzle of the recording head 7 in FIG. A drawing pattern for forming a plurality of pixels by the nozzles is generated. That is, the drawing pattern generation step ST2
Then, based on the measurement result, a drawing pattern is generated that does not use a nozzle whose ink droplet weight is out of the standard value range (10 ng ± 2.5%).

【0044】補完パターン生成ステップ 次に、図6の補完パターン生成ステップST3では、図
7の記録ヘッド7の各ノズルから吐出されるインク滴の
液滴量が規格値の範囲外である異常な複数のノズルによ
って複数の画素をそれぞれ形成するための補完パターン
を生成する。つまり、図6の補完パターン生成ステップ
ST3では、使用しないノズル部分の画素列を補完する
ための補完パターンを生成する。
Complementary Pattern Generation Step Next, in a complementation pattern generation step ST3 in FIG. 6, abnormal plural ink droplets ejected from each nozzle of the recording head 7 in FIG. A complementary pattern for forming a plurality of pixels by the nozzles is generated. That is, in the complementary pattern generation step ST3 of FIG. 6, a complementary pattern for complementing a pixel row of an unused nozzle portion is generated.

【0045】第1の画素形成ステップ(描画パターン描
画,画素形成ステップ) 次に、図6の第1の画素形成ステップST4では、上記
描画パターンに基づいて、記録ヘッド7における正常な
複数のノズルのみを駆動して基板13に画素Pをそれぞ
れ形成する。具体的には、図9に示すように記録ヘッド
7が、基板13に対して相対的にヘッド走査方向HDに
走査しつつ描画パターンに基づいて以下のように形成す
る。
First pixel forming step (drawing pattern drawing
Image, pixels forming step) Next, the first pixel forming step ST4 in FIG. 6, based on the drawing pattern, respectively a pixel P on the substrate 13 only by driving normal plurality of nozzles in the recording head 7 I do. Specifically, as shown in FIG. 9, the recording head 7 forms the following based on the drawing pattern while scanning in the head scanning direction HD relative to the substrate 13.

【0046】図10(A)に示すように、基板13には
バンク39等によって受容層31が形成されている。記
録ヘッド7は、基板13に対して相対的にヘッド走査方
向HDに走査しながら、図10(A)〜図10(D)に
示すように受容層31に、上述のようにそれぞれ設定し
た例えば8滴のインク滴を吐出する。
As shown in FIG. 10A, a receiving layer 31 is formed on a substrate 13 by a bank 39 or the like. While the recording head 7 scans in the head scanning direction HD relative to the substrate 13, for example, the recording head 7 is set on the receiving layer 31 as described above, as shown in FIGS. Ejects eight ink drops.

【0047】第2の画素形成ステップ(補完パターン描
画,他の画素形成ステップ) 次に、図6の第2の画素形成ステップST5では、上記
補完パターンに基づいて、記録ヘッド7における正常な
複数のノズルのみを駆動して基板13に画素Pをそれぞ
れ形成する。具体的には、図9に示すように記録ヘッド
7が、基板13に対して相対的にヘッド走査方向HDに
走査しつつ補完パターンに基づいて上述の図10(A)
〜図10(D)に示すように形成する。従って、1枚の
基板13における全ての画素Pは、描画パターン及び補
完パターンに基づいて描画されることになる。
Second pixel forming step (complementary pattern drawing
Image, the other pixels forming step) Next, the second pixel formation step ST5 of FIG. 6, based on the complementary pattern, the pixel P only the driving substrate 13 normal plurality of nozzles in the recording head 7 Form each. Specifically, as shown in FIG. 9, the recording head 7 scans in the head scanning direction HD relative to the substrate 13 and based on the complementary pattern described above in FIG.
10D). Therefore, all the pixels P on one substrate 13 are drawn based on the drawing pattern and the complementary pattern.

【0048】その他の工程 基板13に着弾したインク滴Iは、図10(D)に示す
ように中央部がややふくらんで受容層31に収容されて
いる。このインク滴Iは、例えば図11(A)に示すよ
うに乾燥工程によって乾燥され、ほぼ一定の厚みとな
る。そして、基板13には、画素Pを覆うように保護膜
35が成膜される。
Other ink droplets I landed on the substrate 13 are accommodated in the receiving layer 31 with the center part slightly bulging as shown in FIG. The ink droplet I is dried in a drying step, for example, as shown in FIG. Then, a protective film 35 is formed on the substrate 13 so as to cover the pixels P.

【0049】次に、保護膜35上には、図11(C)に
示すように透明電極37が形成される。そして、この透
明電極37は、図11(D)に示すように画素Pの上部
に位置する場所を残して除去される。このようにして、
図2のカラーフィルタ11が完成する。
Next, a transparent electrode 37 is formed on the protective film 35 as shown in FIG. Then, the transparent electrode 37 is removed except for a place located above the pixel P as shown in FIG. In this way,
The color filter 11 of FIG. 2 is completed.

【0050】本発明の好ましい実施形態によれば、記録
ヘッド7の複数のノズル91からそれぞれ吐出される複
数のインク滴の液滴量に多少の誤差があっても、吐出す
るインク滴の液滴量が予め設定された規格値の範囲外の
ノズル91を使用しないで全ての画素Pを形成するの
で、それら複数のインク滴によって基板にそれぞれ形成
される複数の画素Pの色むらを抑えたカラーフィルタ1
1を安定して生産することができる。
According to the preferred embodiment of the present invention, even if there are some errors in the droplet amounts of the plurality of ink droplets respectively ejected from the plurality of nozzles 91 of the recording head 7, the ejected ink droplets Since all the pixels P are formed without using the nozzles 91 whose amounts are out of the range of the preset standard value, the color in which the color unevenness of the plurality of pixels P formed on the substrate by the plurality of ink droplets is suppressed. Filter 1
1 can be produced stably.

【0051】本発明は、上記実施の形態に限定されず、
特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うこ
とができる。
The present invention is not limited to the above embodiment,
Various changes can be made without departing from the scope of the claims.

【0052】例えば、上記実施形態の各構成は、その一
部を省略したり、上記とは異なるように任意に組み合わ
せることができる。
For example, the components of the above embodiment can be partially omitted or arbitrarily combined in a manner different from the above.

【0053】また、上記実施形態では、三原色を用いた
が、これに限定されるだけでなく、例えば白黒や青一色
など、様々な色の組み合わせが考えられる。
In the above-described embodiment, the three primary colors are used. However, the present invention is not limited to this, and various color combinations such as black and white and blue are considered.

【0054】また、本発明の好ましい実施形態としての
フィルタの製造方法は、液晶表示用のフィルタの製造に
限定されるものではなく、例えばEL(エレクトロルミ
ネッサンス)表示素子などを用いた電気光学装置にも応
用が可能である。EL表示素子は、蛍光性の無機及び有
機化合物を含む薄膜を、陽極と陰極とで挟んだ構成を有
し、前記薄膜に電子及び正孔(ホール)を注入して再結
合させることにより励起子(エキシトン)を生成させ、
このエキシトンが失活する際の光の放出(蛍光・燐光)
を利用して発光させる素子である。こうしたEL表示素
子に用いられる蛍光性材料のうち、赤・緑及び青色の発
光色を呈する材料を本発明のフィルタの製造方法を用い
て、TFT等の素子基板上にインクジェットパターニン
グすることで、自発光フルカラーEL表示素子を製造す
ることができる。本発明におけるフィルタの範囲には、
このようなEL表示素子の基板を含むものである。
The method of manufacturing a filter according to a preferred embodiment of the present invention is not limited to the manufacture of a filter for a liquid crystal display, and for example, an electro-optical device using an EL (electroluminescence) display element or the like. Application is also possible. An EL display element has a structure in which a thin film containing a fluorescent inorganic or organic compound is sandwiched between an anode and a cathode. Electrons and holes are injected into the thin film and recombined to form excitons. (Exciton),
Light emission when this exciton is deactivated (fluorescence / phosphorescence)
This is an element that emits light by utilizing. Of the fluorescent materials used in such EL display elements, materials that emit red, green, and blue light are inkjet-patterned on an element substrate such as a TFT using the method of manufacturing a filter of the present invention, so that they can be self-contained. A light-emitting full-color EL display element can be manufactured. The range of the filter in the present invention includes:
It includes a substrate for such an EL display element.

【0055】そして、本発明のフィルタの製造方法を用
いて製造したEL表示素子は、セグメント表示や全面同
時発光の静止画表示、例えば絵、文字、ラベル等といっ
たローインフォメーション分野への応用、または、点、
線、面形状を持った光源としても使用することができ
る。さらにパッシブ駆動の表示素子をはじめ、TFT素
子等のアクティブ素子を駆動に用いることで、高輝度で
応答性に優れたフルカラー表示素子を得ることが可能で
ある。
The EL display element manufactured by using the filter manufacturing method of the present invention can be applied to a low-information field such as a segment display and a still image display of simultaneous simultaneous light emission, for example, pictures, characters, labels, or the like. point,
It can also be used as a light source having a line or surface shape. Further, a full-color display element having high luminance and excellent responsiveness can be obtained by using an active element such as a TFT element as well as a passive drive display element for driving.

【0056】[0056]

【発明の効果】この発明によれば、記録ヘッドの複数の
ノズルからそれぞれ吐出される複数のインク滴の液滴量
に多少の誤差があっても、それら複数のインク滴によっ
て基板にそれぞれ形成される複数の画素の色むらを抑え
て安定して生産することができるフィルタ及びフィルタ
の製造方法並びにこのフィルタを用いた電気光学装置を
提供することができる。
According to the present invention, even if there are some errors in the amounts of the plurality of ink droplets respectively ejected from the plurality of nozzles of the recording head, the plurality of ink droplets are formed on the substrate by the plurality of ink droplets. It is possible to provide a filter capable of suppressing color unevenness of a plurality of pixels and stably producing the same, a method of manufacturing the filter, and an electro-optical device using the filter.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】フィルタが配列する基板の構成例を示す平面
図。
FIG. 1 is a plan view showing a configuration example of a substrate on which filters are arranged.

【図2】図1の基板上に形成されたフィルタの一部の構
成例を示す平面図。
FIG. 2 is a plan view showing a configuration example of a part of a filter formed on the substrate of FIG. 1;

【図3】本発明の好ましい実施形態としてのフィルタの
製造方法によりフィルタが製造される様子の一例を示す
平面図。
FIG. 3 is a plan view showing an example of how a filter is manufactured by a method for manufacturing a filter according to a preferred embodiment of the present invention.

【図4】コンピュータと制御盤及び各種制御対象等を示
す図。
FIG. 4 is a diagram showing a computer, a control panel, various control objects, and the like.

【図5】記録ヘッドの構成例を示す図。FIG. 5 is a diagram illustrating a configuration example of a recording head.

【図6】フィルタの製造方法の一例を示すフローチャー
ト。
FIG. 6 is a flowchart illustrating an example of a method for manufacturing a filter.

【図7】インク量計測システムの構成例を示すブロック
図。
FIG. 7 is a block diagram illustrating a configuration example of an ink amount measurement system.

【図8】図7のインク量計測システムによって計測され
た各ノズル毎のインク滴の重量の一例それぞれ示す図。
FIG. 8 is a diagram illustrating an example of the weight of an ink droplet for each nozzle measured by the ink amount measurement system in FIG. 7;

【図9】記録ヘッドが基板に対して相対的にヘッド走査
方向に走査しつつ画素を形成する様子の一例を示す平面
図。
FIG. 9 is a plan view showing an example of a state in which a recording head forms pixels while scanning in a head scanning direction relative to a substrate.

【図10】カラーフィルタの製造工程の一例を示す断面
図。
FIG. 10 is a cross-sectional view illustrating an example of a manufacturing process of a color filter.

【図11】カラーフィルタの製造工程の一例を示す断面
図。
FIG. 11 is a cross-sectional view illustrating an example of a manufacturing process of a color filter.

【図12】従来のカラーフィルタの製造方法によってカ
ラーフィルタを製造している様子の一例を示す平面図。
FIG. 12 is a plan view showing an example of how a color filter is manufactured by a conventional color filter manufacturing method.

【図13】図12の記録ヘッド及びその周囲を拡大した
様子の一例を示す平面図。
13 is a plan view showing an example of a state in which the recording head of FIG. 12 and its periphery are enlarged.

【図14】図13の基板にインク滴が着弾した様子及び
インク滴が乾燥された様子の一例を示すA−A’断面
図。
14 is a cross-sectional view taken along the line AA 'showing an example of a state where ink droplets land on the substrate of FIG. 13 and a state where ink droplets are dried.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

7 ヘッド(記録ヘッド) 11 フィルタ 13 基板 91 ノズル I インク滴 P 画素 PB 画素 PG 画素 PR 画素 7 Head (Recording Head) 11 Filter 13 Substrate 91 Nozzle I Ink Drop P Pixel PB Pixel PG Pixel PR Pixel

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 インク滴を吐出する複数のノズルを備え
る記録ヘッドによって、前記複数のノズルから前記イン
ク滴を基板に対して相対的に走査しながら吐出すること
により前記基板に複数の画素を形成することでフィルタ
を製造するフィルタの製造方法であって、 前記複数のノズルから吐出される前記インク滴の液滴量
が規定値の範囲内であるか否かを計測する計測ステップ
と、 前記インク滴の液滴量が前記規定値の範囲内である正常
な前記複数のノズルによって前記複数の画素を形成する
ための描画パターンを生成する描画パターン生成ステッ
プと、 前記描画パターンに基づいて、正常な前記複数のノズル
のみを駆動して前記基板に前記複数の画素を形成する画
素形成ステップとを有することを特徴とするフィルタの
製造方法。
A plurality of pixels are formed on the substrate by ejecting the ink droplets from the plurality of nozzles while scanning the substrate relative to the substrate by a recording head including a plurality of nozzles for ejecting the ink droplets. A method for manufacturing a filter by manufacturing a filter, wherein a measurement step of measuring whether or not a droplet amount of the ink droplet ejected from the plurality of nozzles is within a specified value range; A drawing pattern generating step of generating a drawing pattern for forming the plurality of pixels by the plurality of normal nozzles whose droplet volume is within the range of the specified value; based on the drawing pattern, A pixel forming step of forming the plurality of pixels on the substrate by driving only the plurality of nozzles.
【請求項2】 前記インク滴の液滴量が前記規定値の範
囲外である異常な前記複数のノズルによって本来形成さ
れるべきであった前記複数の画素を、正常な前記複数の
ノズルで形成するための補完パターンを生成する補完パ
ターン生成ステップと、 前記補完パターンに基づいて、正常な前記複数のノズル
のみを駆動して前記基板に前記複数の画素を形成する他
の画素形成ステップとを有することを特徴とする請求項
1に記載のフィルタの製造方法。
2. A method according to claim 1, wherein the plurality of pixels, which should have been formed by the abnormal plurality of nozzles, in which the amount of the ink droplets is out of the specified range, are formed by the normal plurality of nozzles. A complementary pattern generation step of generating a complementary pattern for performing the operation, and another pixel forming step of driving only the plurality of normal nozzles based on the complementary pattern to form the plurality of pixels on the substrate. The method for manufacturing a filter according to claim 1, wherein:
【請求項3】 前記インク滴の液滴量の規定値の範囲と
は、本来あるべき前記インク滴の液滴量を中心とした±
2.5%の誤差の範囲であることを特徴とする請求項1
又は請求項2のいずれかに記載のフィルタの製造方法。
3. The range of the prescribed value of the droplet amount of the ink droplet is defined by ±± the center of the original droplet amount of the ink droplet.
2. An error range of 2.5%.
A method for manufacturing a filter according to claim 2.
【請求項4】 前記複数の画素は、同色の前記画素同士
が隣接しないようにデルタ状に配置されていることを特
徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載のフィ
ルタの製造方法。
4. The filter manufacturing method according to claim 1, wherein the plurality of pixels are arranged in a delta so that the pixels of the same color are not adjacent to each other. .
【請求項5】 インク滴を吐出する複数のノズルを備え
る記録ヘッドによって、前記複数のノズルから前記イン
ク滴を基板に対して相対的に走査しながら吐出すること
により前記基板に複数の画素を形成することでフィルタ
を製造するフィルタの製造方法によって製造されるフィ
ルタであって、 前記複数のノズルから吐出される前記インク滴の液滴量
が規定値の範囲内であるか否かを計測する計測ステップ
と、 前記インク滴の液滴量が前記規定値の範囲内である正常
な前記複数のノズルによって前記複数の画素を形成する
ための描画パターンを生成する描画パターン生成ステッ
プと、 前記インク滴の液滴量が前記規定値の範囲外である異常
な前記複数のノズルによって本来形成されるべきであっ
た前記複数の画素を、正常な前記複数のノズルで形成す
るための補完パターンを生成する補完パターン生成ステ
ップと、 前記描画パターンに基づいて、正常な前記複数のノズル
のみを駆動して前記基板に前記複数の画素を形成する第
1の画素形成ステップと、 前記補完パターンに基づいて、正常な前記複数のノズル
のみを駆動して前記基板に前記複数の画素を形成する第
2の画素形成ステップとを有するフィルタの製造方法に
より製造されることを特徴とするフィルタ。
5. A plurality of pixels are formed on the substrate by ejecting the ink droplets from the plurality of nozzles while scanning the substrate relative to the substrate by a recording head having a plurality of nozzles for ejecting the ink droplets. A filter manufactured by a method of manufacturing a filter by manufacturing the filter, wherein a measurement is performed to determine whether a droplet amount of the ink droplet ejected from the plurality of nozzles is within a specified value range. A drawing pattern generating step of generating a drawing pattern for forming the plurality of pixels by the plurality of normal nozzles in which a droplet amount of the ink droplet is within the range of the specified value; The plurality of pixels that should have been originally formed by the abnormal plurality of nozzles whose droplet volume is outside the specified value range are replaced with the normal plurality of nozzles. A complementary pattern generating step of generating a complementary pattern to be formed by: a first pixel forming step of driving only the plurality of normal nozzles based on the drawing pattern to form the plurality of pixels on the substrate And a second pixel forming step of forming only the plurality of pixels on the substrate by driving only the plurality of normal nozzles based on the complementary pattern. And filter.
【請求項6】 インク滴を吐出する複数のノズルを備え
る記録ヘッドによって、前記複数のノズルから前記イン
ク滴を基板に対して相対的に走査しながら吐出すること
により前記基板に複数の画素を形成することでフィルタ
を製造するフィルタの製造方法によって製造されるフィ
ルタを用いた電気光学装置であって、 前記複数のノズルから吐出される前記インク滴の液滴量
が規定値の範囲内であるか否かを計測する計測ステップ
と、 前記インク滴の液滴量が前記規定値の範囲内である正常
な前記複数のノズルによって前記複数の画素を形成する
ための描画パターンを生成する描画パターン生成ステッ
プと、 前記インク滴の液滴量が前記規定値の範囲外である異常
な前記複数のノズルによって本来形成されるべきであっ
た前記複数の画素を、正常な前記複数のノズルで形成す
るための補完パターンを生成する補完パターン生成ステ
ップと、 前記描画パターンに基づいて、正常な前記複数のノズル
のみを駆動して前記基板に前記複数の画素を形成する第
1の画素形成ステップと、 前記補完パターンに基づいて、正常な前記複数のノズル
のみを駆動して前記基板に前記複数の画素を形成する第
2の画素形成ステップとを有するフィルタの製造方法に
より製造されることを特徴とするフィルタを用いた電気
光学装置。
6. A plurality of pixels are formed on the substrate by ejecting the ink droplets from the plurality of nozzles while scanning the substrate relative to the substrate by a recording head having a plurality of nozzles for ejecting the ink droplets. An electro-optical device using a filter manufactured by a method of manufacturing a filter by manufacturing a filter, wherein a droplet amount of the ink droplet ejected from the plurality of nozzles is within a specified value range. A measuring step of measuring whether or not the drawing is performed; and a drawing pattern generating step of generating a drawing pattern for forming the plurality of pixels by the plurality of normal nozzles in which a droplet amount of the ink droplet is within the range of the specified value. The plurality of pixels that should have been formed by the plurality of abnormal nozzles whose droplet amount of the ink droplet is outside the range of the specified value are corrected. A complementary pattern generating step of generating a complementary pattern for forming with the normal plurality of nozzles; and driving only the normal plurality of nozzles based on the drawing pattern to form the plurality of pixels on the substrate. A first pixel forming step; and a second pixel forming step of forming only the plurality of pixels on the substrate by driving only the plurality of normal nozzles based on the complementary pattern. An electro-optical device using a filter characterized by being manufactured.
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6948533B2 (en) 2002-01-11 2005-09-27 Seiko Epson Corporation Manufacturing method for display device, display device, manufacturing method for electronic apparatus, and electronic apparatus
JP2007319857A (en) * 2007-08-03 2007-12-13 Seiko Epson Corp Film forming apparatus
JP2008091296A (en) * 2006-10-05 2008-04-17 Seiko Epson Corp Liquid body arrangement method, color filter manufacturing method, and manufacturing method of organic el display device
US7413765B2 (en) 2003-03-06 2008-08-19 Seiko Epson Corporation Film forming method for manufacturing planar periodic structure having predetermined periodicity
JP2008249781A (en) * 2007-03-29 2008-10-16 Toppan Printing Co Ltd Pattern forming method and manufacturing method of optical device
JP2010152404A (en) * 2010-04-01 2010-07-08 Seiko Epson Corp Liquid object arrangement method, method for manufacturing color filter, method for manufacturing organic el display
US7923057B2 (en) * 2006-02-07 2011-04-12 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for reducing irregularities in color filters
US8247021B2 (en) 2006-08-11 2012-08-21 Seiko Epson Corporation Liquid material arrangement method, color filter manufacturing method, and organic EL display device manufacturing method

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6948533B2 (en) 2002-01-11 2005-09-27 Seiko Epson Corporation Manufacturing method for display device, display device, manufacturing method for electronic apparatus, and electronic apparatus
US7413765B2 (en) 2003-03-06 2008-08-19 Seiko Epson Corporation Film forming method for manufacturing planar periodic structure having predetermined periodicity
US7923057B2 (en) * 2006-02-07 2011-04-12 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for reducing irregularities in color filters
US8247021B2 (en) 2006-08-11 2012-08-21 Seiko Epson Corporation Liquid material arrangement method, color filter manufacturing method, and organic EL display device manufacturing method
JP2008091296A (en) * 2006-10-05 2008-04-17 Seiko Epson Corp Liquid body arrangement method, color filter manufacturing method, and manufacturing method of organic el display device
KR100928672B1 (en) * 2006-10-05 2009-11-27 세이코 엡슨 가부시키가이샤 Liquid phase arrangement method, color filter manufacturing method, organic EL display device manufacturing method
JP4605134B2 (en) * 2006-10-05 2011-01-05 セイコーエプソン株式会社 Liquid arrangement method, color filter manufacturing method, organic EL display device manufacturing method
US8389046B2 (en) 2006-10-05 2013-03-05 Seiko Epson Corporation Liquid material arrangement method, color filter manufacturing method, and organic EL display device manufacturing method
US8668951B2 (en) 2006-10-05 2014-03-11 Seiko Epson Corporation Liquid material arrangement method, color filter manufacturing method, and organic EL display device manufacturing method
JP2008249781A (en) * 2007-03-29 2008-10-16 Toppan Printing Co Ltd Pattern forming method and manufacturing method of optical device
JP2007319857A (en) * 2007-08-03 2007-12-13 Seiko Epson Corp Film forming apparatus
JP2010152404A (en) * 2010-04-01 2010-07-08 Seiko Epson Corp Liquid object arrangement method, method for manufacturing color filter, method for manufacturing organic el display

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