JP2003016623A - 磁気記録媒体および磁気記録媒体の初期化方法 - Google Patents
磁気記録媒体および磁気記録媒体の初期化方法Info
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 垂直磁気記録層に覆われてパターニングされ
たトラックの位置やサーボ信号を光学的または磁気的に
検出することができるように初期化された磁気記録媒体
および初期化方法を提供する。 【解決手段】 非磁性基板２上に、軟磁性裏打ち層１０
と、垂直磁気記録層２０とを備える磁気記録媒体であっ
て、軟磁性裏打ち層は、記録再生が行われるデータトラ
ックとデータトラックの間に位置する領域、またはサー
ボ信号が記録される領域にディスクリート作用を発揮さ
せるための欠如凹部を有し、その凹部には非磁性材１５
が充填され、前記垂直磁気記録層２０は、少なくとも基
板の鉛直方向に磁気異方性を有するとともに、欠如凹部
が存在しない平面膜であり、非磁性層が存在する位置に
おける垂直磁気記録層の磁化方向と、非磁性層が存在し
ない位置における垂直磁気記録層の磁化方向とが反対と
なるように初期化されてなる。
たトラックの位置やサーボ信号を光学的または磁気的に
検出することができるように初期化された磁気記録媒体
および初期化方法を提供する。 【解決手段】 非磁性基板２上に、軟磁性裏打ち層１０
と、垂直磁気記録層２０とを備える磁気記録媒体であっ
て、軟磁性裏打ち層は、記録再生が行われるデータトラ
ックとデータトラックの間に位置する領域、またはサー
ボ信号が記録される領域にディスクリート作用を発揮さ
せるための欠如凹部を有し、その凹部には非磁性材１５
が充填され、前記垂直磁気記録層２０は、少なくとも基
板の鉛直方向に磁気異方性を有するとともに、欠如凹部
が存在しない平面膜であり、非磁性層が存在する位置に
おける垂直磁気記録層の磁化方向と、非磁性層が存在し
ない位置における垂直磁気記録層の磁化方向とが反対と
なるように初期化されてなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、コンピュータのハ
ードディスク等の磁気記録媒体、特に磁気記録媒体面に
対して垂直な方向に磁化を記録するいわゆる垂直磁気記
録媒体であって、初期化された媒体およびその初期化方
法に関する。
ードディスク等の磁気記録媒体、特に磁気記録媒体面に
対して垂直な方向に磁化を記録するいわゆる垂直磁気記
録媒体であって、初期化された媒体およびその初期化方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】計算機の記録容量の増大に伴い、磁気記
録装置の記録容量はますます大容量化される傾向にあ
る。面記録密度を向上させるためには、磁気ヘッドから
発生する信号磁界によって形成される磁気記録層中の記
録磁区列をいかに微細化できるかがポイントとなる。
録装置の記録容量はますます大容量化される傾向にあ
る。面記録密度を向上させるためには、磁気ヘッドから
発生する信号磁界によって形成される磁気記録層中の記
録磁区列をいかに微細化できるかがポイントとなる。
【０００３】従来より用いられている、いわゆる長手記
録方式においては、磁気ヘッドの走行方向に磁化を安定
して存在させるために、記録がなされる磁気記録層とし
ては、走行方向に高い保磁力、大きな角型比を持つこと
が要求される。記録磁区列の微細化に伴い、この要求は
一段と大きくなっている。
録方式においては、磁気ヘッドの走行方向に磁化を安定
して存在させるために、記録がなされる磁気記録層とし
ては、走行方向に高い保磁力、大きな角型比を持つこと
が要求される。記録磁区列の微細化に伴い、この要求は
一段と大きくなっている。
【０００４】しかしながら、ハードディスクの面記録密
度の上昇が年率２００％以上といわれる現在、線記録密
度の上昇に伴い、記録磁化の減磁が顕著になるととも
に、１つの磁気粒子（磁気クラスター）の大きさの微細
化に伴う活性化体積の低下により、熱揺らぎによる磁化
反転の影響が無視できなくなり、これまで以上の超記録
密度においては、長手方式の記録は不可能と言われてい
る。
度の上昇が年率２００％以上といわれる現在、線記録密
度の上昇に伴い、記録磁化の減磁が顕著になるととも
に、１つの磁気粒子（磁気クラスター）の大きさの微細
化に伴う活性化体積の低下により、熱揺らぎによる磁化
反転の影響が無視できなくなり、これまで以上の超記録
密度においては、長手方式の記録は不可能と言われてい
る。
【０００５】そこで、このような長手記録方式に替わ
り、より高密度記録に適用可能な方式として、いわゆる
垂直記録方式が提案されている。この方式は、記録層面
内に記録磁化を書き込む長手方式に対し、記録層面に対
して垂直方向に磁化させることによって記録することを
特徴とする方式である。
り、より高密度記録に適用可能な方式として、いわゆる
垂直記録方式が提案されている。この方式は、記録層面
内に記録磁化を書き込む長手方式に対し、記録層面に対
して垂直方向に磁化させることによって記録することを
特徴とする方式である。
【０００６】この垂直記録方式により、上述したような
線記録密度の上昇に伴う記録磁化の減磁を抑えることが
できるだけでなく、密度が高くなるほど反磁界が減り、
記録磁化をより安定化させることができる。また、記録
層の膜厚を小さくしなければ面内方向に磁化させること
が困難である長手方式に対し、垂直記録方式ではある程
度膜厚を持たせた方が、形状異方性の効果で記録に有利
となる。さらに、垂直記録方式は、熱揺らぎによる磁化
反転の影響も大幅に低減できるという利点がある。
線記録密度の上昇に伴う記録磁化の減磁を抑えることが
できるだけでなく、密度が高くなるほど反磁界が減り、
記録磁化をより安定化させることができる。また、記録
層の膜厚を小さくしなければ面内方向に磁化させること
が困難である長手方式に対し、垂直記録方式ではある程
度膜厚を持たせた方が、形状異方性の効果で記録に有利
となる。さらに、垂直記録方式は、熱揺らぎによる磁化
反転の影響も大幅に低減できるという利点がある。
【０００７】しかしながらそれでも、１００Gbit／in2
以上の超記録密度となると、ヘッド側面から発生するサ
イドフリンジングによって、隣接トラックへの書き込み
の問題が生じてしまう。そのため、現行の連続膜（単な
るベタ膜）への記録では、それ以上の記録密度の実現は
不可能となってしまう。
以上の超記録密度となると、ヘッド側面から発生するサ
イドフリンジングによって、隣接トラックへの書き込み
の問題が生じてしまう。そのため、現行の連続膜（単な
るベタ膜）への記録では、それ以上の記録密度の実現は
不可能となってしまう。
【０００８】そこで、提唱されているのが、記録層の円
周方向に非磁性体の列を形成し、磁性体部分のみ記録し
ていく、いわゆるディスクリートトラック媒体である。
非磁性体部分の存在により、上述した隣接したトラック
への書き込みの問題を回避でき、良好な記録再生特性を
得ることができる。
周方向に非磁性体の列を形成し、磁性体部分のみ記録し
ていく、いわゆるディスクリートトラック媒体である。
非磁性体部分の存在により、上述した隣接したトラック
への書き込みの問題を回避でき、良好な記録再生特性を
得ることができる。
【０００９】このようなディスクリートトラック媒体の
従来例として、例えば、特開平４−３１０６２１号公
報、特開平７―１２９９５３号公報には、記録層を直接
エッチングすることにより凹部を設け、この凹部にガー
ドバンドとなる非磁性体を埋め込み、しかる後、平滑化
処理をすることによりトラック方向に並んだ磁性体列を
形成してなる媒体を提案している。しかしながら、これ
らの媒体は、記録層そのものを直接エッチングしてお
り、エッチング時の熱履歴による記録層（磁性体）への
ダメージが発生し、磁気記録層の磁気特性が劣化するお
それがある。
従来例として、例えば、特開平４−３１０６２１号公
報、特開平７―１２９９５３号公報には、記録層を直接
エッチングすることにより凹部を設け、この凹部にガー
ドバンドとなる非磁性体を埋め込み、しかる後、平滑化
処理をすることによりトラック方向に並んだ磁性体列を
形成してなる媒体を提案している。しかしながら、これ
らの媒体は、記録層そのものを直接エッチングしてお
り、エッチング時の熱履歴による記録層（磁性体）への
ダメージが発生し、磁気記録層の磁気特性が劣化するお
それがある。
【００１０】また、特開昭５６−１１９９３４号公報や
特開平２−２０１７３０号公報では、非磁性体（基板）
表面にエッッチングにより凹部を形成し、その凹部に磁
性体を埋め込んだ後、平坦化処理をすることによりトラ
ック方向に並んだ磁性体列を形成してなる媒体を提案し
ている。しかしながら、これらの媒体において、微細な
溝の中に良好な結晶配向性および垂直異方性を保持した
まま磁性体を形成させることは不可能に近いと言える。
特開平２−２０１７３０号公報では、非磁性体（基板）
表面にエッッチングにより凹部を形成し、その凹部に磁
性体を埋め込んだ後、平坦化処理をすることによりトラ
ック方向に並んだ磁性体列を形成してなる媒体を提案し
ている。しかしながら、これらの媒体において、微細な
溝の中に良好な結晶配向性および垂直異方性を保持した
まま磁性体を形成させることは不可能に近いと言える。
【００１１】また、上記いずれの方法においても、ＣＭ
Ｐ（chemical mechanical polishing）等による表面平
滑化処理過程における磁性層（記録層）表面の研磨によ
って、磁気記録層の磁気特性が劣化するおそれがある。
Ｐ（chemical mechanical polishing）等による表面平
滑化処理過程における磁性層（記録層）表面の研磨によ
って、磁気記録層の磁気特性が劣化するおそれがある。
【００１２】また、平滑・平坦化処理を行っても、記録
層あるいは非磁性層のディッシング等により、媒体表面
に凹凸が残り表面が均一でないために、安定したヘッド
ディスクインターフェイス（ＨＤＩ）を実現することが
困難である。
層あるいは非磁性層のディッシング等により、媒体表面
に凹凸が残り表面が均一でないために、安定したヘッド
ディスクインターフェイス（ＨＤＩ）を実現することが
困難である。
【００１３】このような問題を解決するために本出願に
係る発明者らは、すでに、特願２００１−２００３８０
号として、新規な磁気記録媒体の構造を提案している。
本発明は、すでに提案した特願２００１−２００３８０
号の媒体のいわゆる初期化に関する技術提案であり、本
発明の目的は、磁性層に覆われてその下に位置するパタ
ーニングされたトラックの位置等を光学的または磁気的
に検出することができるように初期化された磁気記録媒
体および初期化方法を提供することにある。
係る発明者らは、すでに、特願２００１−２００３８０
号として、新規な磁気記録媒体の構造を提案している。
本発明は、すでに提案した特願２００１−２００３８０
号の媒体のいわゆる初期化に関する技術提案であり、本
発明の目的は、磁性層に覆われてその下に位置するパタ
ーニングされたトラックの位置等を光学的または磁気的
に検出することができるように初期化された磁気記録媒
体および初期化方法を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るために、本発明は、非磁性基板上に、軟磁性裏打ち層
と、垂直磁気記録層とを備える磁気記録媒体であって、
該媒体の軟磁性裏打ち層は、記録再生が行われるデータ
トラックとデータトラックの間に位置する領域、または
サーボ信号が記録される領域にディスクリート作用を発
揮させるための欠如凹部を有するとともに、その凹部に
は非磁性材が充填されて非磁性層が形成されており、前
記垂直磁気記録層は、少なくとも基板の鉛直方向に磁気
異方性を有するとともに、意図的に形成された欠如凹部
が存在しない平面膜であり、前記非磁性層が存在する位
置における垂直磁気記録層の磁化方向と、前記非磁性層
が存在しない位置における垂直磁気記録層の磁化方向と
が反対となるように初期化されてなるように構成され
る。
るために、本発明は、非磁性基板上に、軟磁性裏打ち層
と、垂直磁気記録層とを備える磁気記録媒体であって、
該媒体の軟磁性裏打ち層は、記録再生が行われるデータ
トラックとデータトラックの間に位置する領域、または
サーボ信号が記録される領域にディスクリート作用を発
揮させるための欠如凹部を有するとともに、その凹部に
は非磁性材が充填されて非磁性層が形成されており、前
記垂直磁気記録層は、少なくとも基板の鉛直方向に磁気
異方性を有するとともに、意図的に形成された欠如凹部
が存在しない平面膜であり、前記非磁性層が存在する位
置における垂直磁気記録層の磁化方向と、前記非磁性層
が存在しない位置における垂直磁気記録層の磁化方向と
が反対となるように初期化されてなるように構成され
る。
【００１５】また、本発明は、非磁性基板上に、軟磁性
裏打ち層と、垂直磁気記録層とを備え、該媒体の軟磁性
裏打ち層は、記録再生が行われるデータトラックとデー
タトラックの間に位置する領域、またはサーボ信号が記
録される領域にディスクリート作用を発揮させるための
欠如凹部を有するとともに、その凹部には非磁性材が充
填されて非磁性層が形成されており、前記垂直磁気記録
層は、少なくとも基板の鉛直方向に磁気異方性を有する
とともに、意図的に形成された欠如凹部が存在しない平
面膜から構成される磁気記録媒体の初期化方法であり、
該方法は、垂直磁気記録層面に対して垂直方向の磁界で
かつ垂直磁気記録層の保磁力よりも大きい磁界を垂直磁
気記録層に印加して、垂直磁気記録層全体を一様に一方
向に予め磁化させ、しかる後、前記予め磁化された磁化
方向と反対方向の磁界でかつ前記非磁性層が存在しない
位置における垂直磁気記録層の磁化のみを反転できる大
きさの磁界を垂直磁気記録層に印加して、データトラッ
クまたはサーボ信号が記録される領域のサーボマークに
相当する垂直磁気記録層の磁化を反転させてなるように
構成される。
裏打ち層と、垂直磁気記録層とを備え、該媒体の軟磁性
裏打ち層は、記録再生が行われるデータトラックとデー
タトラックの間に位置する領域、またはサーボ信号が記
録される領域にディスクリート作用を発揮させるための
欠如凹部を有するとともに、その凹部には非磁性材が充
填されて非磁性層が形成されており、前記垂直磁気記録
層は、少なくとも基板の鉛直方向に磁気異方性を有する
とともに、意図的に形成された欠如凹部が存在しない平
面膜から構成される磁気記録媒体の初期化方法であり、
該方法は、垂直磁気記録層面に対して垂直方向の磁界で
かつ垂直磁気記録層の保磁力よりも大きい磁界を垂直磁
気記録層に印加して、垂直磁気記録層全体を一様に一方
向に予め磁化させ、しかる後、前記予め磁化された磁化
方向と反対方向の磁界でかつ前記非磁性層が存在しない
位置における垂直磁気記録層の磁化のみを反転できる大
きさの磁界を垂直磁気記録層に印加して、データトラッ
クまたはサーボ信号が記録される領域のサーボマークに
相当する垂直磁気記録層の磁化を反転させてなるように
構成される。
【００１６】また、本発明は、非磁性基板上に、軟磁性
裏打ち層と、垂直磁気記録層とを備える磁気記録媒体で
あって、該媒体の軟磁性裏打ち層は、記録再生が行われ
るデータトラックとデータトラックの間に位置する領
域、およびサーボ信号が記録される領域にディスクリー
ト作用を発揮させるための欠如凹部を有するとともに、
その凹部には非磁性材が充填されて非磁性層が形成され
ており、前記垂直磁気記録層は、少なくとも基板の鉛直
方向に磁気異方性を有するとともに、意図的に形成され
た欠如凹部が存在しない平面膜であり、前記非磁性層が
存在する位置における垂直磁気記録層の磁化方向と、前
記非磁性層が存在しない位置における垂直磁気記録層の
磁化方向とが反対となるように初期化されてなるように
構成される。
裏打ち層と、垂直磁気記録層とを備える磁気記録媒体で
あって、該媒体の軟磁性裏打ち層は、記録再生が行われ
るデータトラックとデータトラックの間に位置する領
域、およびサーボ信号が記録される領域にディスクリー
ト作用を発揮させるための欠如凹部を有するとともに、
その凹部には非磁性材が充填されて非磁性層が形成され
ており、前記垂直磁気記録層は、少なくとも基板の鉛直
方向に磁気異方性を有するとともに、意図的に形成され
た欠如凹部が存在しない平面膜であり、前記非磁性層が
存在する位置における垂直磁気記録層の磁化方向と、前
記非磁性層が存在しない位置における垂直磁気記録層の
磁化方向とが反対となるように初期化されてなるように
構成される。
【００１７】また、本発明は、非磁性基板上に、軟磁性
裏打ち層と、垂直磁気記録層とを備え、該媒体の軟磁性
裏打ち層は、記録再生が行われるデータトラックとデー
タトラックの間に位置する領域、およびサーボ信号が記
録される領域にディスクリート作用を発揮させるための
欠如凹部を有するとともに、その凹部には非磁性材が充
填されて非磁性層が形成されており、前記垂直磁気記録
層は、少なくとも基板の鉛直方向に磁気異方性を有する
とともに、意図的に形成された欠如凹部が存在しない平
面膜から構成される磁気記録媒体の初期化方法であり、
該方法は、垂直磁気記録層面に対して垂直方向の磁界で
かつ垂直磁気記録層の保磁力よりも大きい磁界を垂直磁
気記録層に印加して、垂直磁気記録層全体を一様に一方
向に予め磁化させ、しかる後、前記予め磁化された磁化
方向と反対方向の磁界でかつ前記非磁性層が存在しない
位置における垂直磁気記録層の磁化のみを反転できる大
きさの磁界を垂直磁気記録層に印加して、データトラッ
クおよびサーボ信号が記録される領域のサーボマークに
相当する垂直磁気記録層の磁化を反転させてなるように
構成される。
裏打ち層と、垂直磁気記録層とを備え、該媒体の軟磁性
裏打ち層は、記録再生が行われるデータトラックとデー
タトラックの間に位置する領域、およびサーボ信号が記
録される領域にディスクリート作用を発揮させるための
欠如凹部を有するとともに、その凹部には非磁性材が充
填されて非磁性層が形成されており、前記垂直磁気記録
層は、少なくとも基板の鉛直方向に磁気異方性を有する
とともに、意図的に形成された欠如凹部が存在しない平
面膜から構成される磁気記録媒体の初期化方法であり、
該方法は、垂直磁気記録層面に対して垂直方向の磁界で
かつ垂直磁気記録層の保磁力よりも大きい磁界を垂直磁
気記録層に印加して、垂直磁気記録層全体を一様に一方
向に予め磁化させ、しかる後、前記予め磁化された磁化
方向と反対方向の磁界でかつ前記非磁性層が存在しない
位置における垂直磁気記録層の磁化のみを反転できる大
きさの磁界を垂直磁気記録層に印加して、データトラッ
クおよびサーボ信号が記録される領域のサーボマークに
相当する垂直磁気記録層の磁化を反転させてなるように
構成される。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的実施の形態
について詳細に説明する。
について詳細に説明する。
【００１９】図１（Ａ）には本発明のディスク状の磁気
記録媒体１の全体形状を表す概略平面図が示され、図１
（Ｂ）には、図１（Ａ）の四角で囲まれた微小部分１０
０の部分拡大概略図が示される。特に、図１（Ｂ）にお
いては、サーボ信号領域９０およびデータ領域８０（記
録再生のためのデータトラック群）の位置を概念的に現
すために、本発明において、これらの上に被着されてい
る垂直磁気記録層は除かれた状態で描かれている。図２
（Ａ）および（Ｂ）には、それぞれ、本発明の磁気記録
媒体の好適な実施の形態を概念的に示す断面図が示さ
れ、これらの図は、図１（Ｂ）のα−α矢視断面図に実
質的に相当する。図３（Ａ）〜（Ｈ）は、本発明のいや
ゆる初期化の操作が行われる前段階における磁気記録媒
体の好適な製造プロセスの一例を経時的に説明するため
の概略断面図である。図４（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の
初期化の方法を経時的に説明するための概略断面図であ
る。図１（Ａ）において、図示されてはいないがディス
ク基板上には記録再生のための複数のデータトラック群
が同心円状に配置・形成されている。また、ディスクの
中心から外方に向けて、放射状にサーボ信号領域（図面
で線状に描かれている箇所）が形成されている。
記録媒体１の全体形状を表す概略平面図が示され、図１
（Ｂ）には、図１（Ａ）の四角で囲まれた微小部分１０
０の部分拡大概略図が示される。特に、図１（Ｂ）にお
いては、サーボ信号領域９０およびデータ領域８０（記
録再生のためのデータトラック群）の位置を概念的に現
すために、本発明において、これらの上に被着されてい
る垂直磁気記録層は除かれた状態で描かれている。図２
（Ａ）および（Ｂ）には、それぞれ、本発明の磁気記録
媒体の好適な実施の形態を概念的に示す断面図が示さ
れ、これらの図は、図１（Ｂ）のα−α矢視断面図に実
質的に相当する。図３（Ａ）〜（Ｈ）は、本発明のいや
ゆる初期化の操作が行われる前段階における磁気記録媒
体の好適な製造プロセスの一例を経時的に説明するため
の概略断面図である。図４（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の
初期化の方法を経時的に説明するための概略断面図であ
る。図１（Ａ）において、図示されてはいないがディス
ク基板上には記録再生のための複数のデータトラック群
が同心円状に配置・形成されている。また、ディスクの
中心から外方に向けて、放射状にサーボ信号領域（図面
で線状に描かれている箇所）が形成されている。
【００２０】図２（Ａ）、（Ｂ）に示されるように、本
発明の磁気記録媒体１は、非磁性基板２上に、軟磁性裏
打ち層１０と、垂直磁気記録層２０とを備える磁気記録
媒体であり、垂直磁気記録層２０には後述するようにパ
ターニングされたトラックの位置等を光学的または磁気
的に検出することができるように初期化の操作が施され
ている。
発明の磁気記録媒体１は、非磁性基板２上に、軟磁性裏
打ち層１０と、垂直磁気記録層２０とを備える磁気記録
媒体であり、垂直磁気記録層２０には後述するようにパ
ターニングされたトラックの位置等を光学的または磁気
的に検出することができるように初期化の操作が施され
ている。
【００２１】本発明における軟磁性裏打ち層１０は、記
録再生が行われるデータトラック２２とデータトラック
２２の間に位置する箇所（いわゆるガードバンド部）
に、隣接するデータトラックが磁気的に分離されるごと
くディスクリート作用を発揮させるための欠如凹部１０
ａを備えるとともに、その凹部１０ａには非磁性材が充
填され非磁性層１５が形成されている。
録再生が行われるデータトラック２２とデータトラック
２２の間に位置する箇所（いわゆるガードバンド部）
に、隣接するデータトラックが磁気的に分離されるごと
くディスクリート作用を発揮させるための欠如凹部１０
ａを備えるとともに、その凹部１０ａには非磁性材が充
填され非磁性層１５が形成されている。
【００２２】なお、ディスクリート作用を発揮させるた
めの欠如凹部１０ａは、上記のデータトラック間のみな
らず、さらに、サーボ信号が記録される領域（図１のサ
ーボ信号領域９０）において、その信号が機能する形態
に設けてもよい。すなわち、サーボ信号領域９０におい
てサーボ信号パターンに応じた欠如凹が形成されるよう
にしてもよい。
めの欠如凹部１０ａは、上記のデータトラック間のみな
らず、さらに、サーボ信号が記録される領域（図１のサ
ーボ信号領域９０）において、その信号が機能する形態
に設けてもよい。すなわち、サーボ信号領域９０におい
てサーボ信号パターンに応じた欠如凹が形成されるよう
にしてもよい。
【００２３】図２（Ａ）、（Ｂ）に示されるように、本
発明における軟磁性裏打ち層１０および非磁性層１５の
上に形成される垂直磁気記録層２０は、少なくとも基板
２の鉛直方向に磁気異方性を有するとともに、意図的に
形成された欠如凹部が存在しない平面膜として構成され
る。ここで、「意図的に形成された欠如凹部が存在しな
い」とは、従来公知の技術である特開平７−１２９９５
３号公報に開示されているごとく、例えば、リソグラフ
ィー法等によって、意識的に磁性層を欠いて凹部を形成
したものを排除する趣旨である。それゆえ、垂直磁気記
録層２０の成膜により生じる、例えば、ナノメートル
（ｎｍ）単位の表面凹凸部は意図的に形成されたもので
はない。
発明における軟磁性裏打ち層１０および非磁性層１５の
上に形成される垂直磁気記録層２０は、少なくとも基板
２の鉛直方向に磁気異方性を有するとともに、意図的に
形成された欠如凹部が存在しない平面膜として構成され
る。ここで、「意図的に形成された欠如凹部が存在しな
い」とは、従来公知の技術である特開平７−１２９９５
３号公報に開示されているごとく、例えば、リソグラフ
ィー法等によって、意識的に磁性層を欠いて凹部を形成
したものを排除する趣旨である。それゆえ、垂直磁気記
録層２０の成膜により生じる、例えば、ナノメートル
（ｎｍ）単位の表面凹凸部は意図的に形成されたもので
はない。
【００２４】図２（Ａ）における欠如凹部１０ａは、そ
れが形成される場所において、軟磁性裏打ち層１０の厚
さ方向（図面の上下方向）の一部を欠如させるように形
成されている。この態様に限定されることなく、前記欠
如凹部１０ａは、図２（Ｂ）に示されるようにそれが形
成される場所において、軟磁性裏打ち層１０の厚さ方向
の実質的全部を欠如させるように形成してもよい。ここ
で、「実質的全部」とは、本発明の作用効果を逸脱しな
い範囲で、基板２の一部までをわずかにエッチングして
基板の一部に非磁性材が充填されている態様をも含む趣
旨である。厳密に軟磁性裏打ち層１０のみを完全に除去
することは極めて困難といえるからである。
れが形成される場所において、軟磁性裏打ち層１０の厚
さ方向（図面の上下方向）の一部を欠如させるように形
成されている。この態様に限定されることなく、前記欠
如凹部１０ａは、図２（Ｂ）に示されるようにそれが形
成される場所において、軟磁性裏打ち層１０の厚さ方向
の実質的全部を欠如させるように形成してもよい。ここ
で、「実質的全部」とは、本発明の作用効果を逸脱しな
い範囲で、基板２の一部までをわずかにエッチングして
基板の一部に非磁性材が充填されている態様をも含む趣
旨である。厳密に軟磁性裏打ち層１０のみを完全に除去
することは極めて困難といえるからである。
【００２５】図２（Ａ）の態様において、実質的なディ
スクリート作用を働かせるための欠如凹部１０ａの深さ
（非磁性材１５の厚さ）Ｄは、媒体を構成する各部材の
材料選定によっても異なるが、軟磁性裏打ち層１０の厚
さをＤsとした場合、Ｄ＝０．２〜０．９Ｄs程度とする
ことが望ましい。また、図２（Ａ）の態様のごとく軟磁
性裏打ち層１０は下部で繋がっていることが望ましい。
使用する単磁極ヘッドと、垂直磁気記録層２０、軟磁性
裏打ち層１０との間で磁束が閉ループを形成しやすく磁
束密度の高い良好な記録ができるからである。
スクリート作用を働かせるための欠如凹部１０ａの深さ
（非磁性材１５の厚さ）Ｄは、媒体を構成する各部材の
材料選定によっても異なるが、軟磁性裏打ち層１０の厚
さをＤsとした場合、Ｄ＝０．２〜０．９Ｄs程度とする
ことが望ましい。また、図２（Ａ）の態様のごとく軟磁
性裏打ち層１０は下部で繋がっていることが望ましい。
使用する単磁極ヘッドと、垂直磁気記録層２０、軟磁性
裏打ち層１０との間で磁束が閉ループを形成しやすく磁
束密度の高い良好な記録ができるからである。
【００２６】一方、図２（Ｂ）の態様の場合、軟磁性裏
打ち層内に磁壁を形成することが困難となり、軟磁性裏
打ち層の磁区に起因するノイズを抑制することができる
というメリットがある。
打ち層内に磁壁を形成することが困難となり、軟磁性裏
打ち層の磁区に起因するノイズを抑制することができる
というメリットがある。
【００２７】本発明における非磁性基板２としては、ア
ルミニウム、強化ガラス、結晶化ガラス、カーボンプラ
スチック等、通常この種の磁気記録媒体に使用されるも
のを用いれば良い。
ルミニウム、強化ガラス、結晶化ガラス、カーボンプラ
スチック等、通常この種の磁気記録媒体に使用されるも
のを用いれば良い。
【００２８】本発明における軟磁性裏打ち層１０として
は、ＮｉＦｅ，ＮｉＦｅＮｂ，ＮｉＦｅＭｏ，ＦｅＡｌ
Ｓｉ，ＦｅＴａＣ等が好適に用いられる。データトラッ
クにおける軟磁性裏打ち層１０の厚さは、０．１〜１０
μｍ程度とされる。この厚さが０．１μｍ未満となる
と、使用する単磁極ヘッドと、垂直磁気記録層２０、軟
磁性裏打ち層１０との間で磁束が閉ループを形成しにく
くなり、良好な再生出力を得ることができなくなってし
まう。また、１０μｍを超えると膜の内部応力が増大し
て、膜にクラックが発生し易くなる傾向が生じてしま
う。
は、ＮｉＦｅ，ＮｉＦｅＮｂ，ＮｉＦｅＭｏ，ＦｅＡｌ
Ｓｉ，ＦｅＴａＣ等が好適に用いられる。データトラッ
クにおける軟磁性裏打ち層１０の厚さは、０．１〜１０
μｍ程度とされる。この厚さが０．１μｍ未満となる
と、使用する単磁極ヘッドと、垂直磁気記録層２０、軟
磁性裏打ち層１０との間で磁束が閉ループを形成しにく
くなり、良好な再生出力を得ることができなくなってし
まう。また、１０μｍを超えると膜の内部応力が増大し
て、膜にクラックが発生し易くなる傾向が生じてしま
う。
【００２９】本発明における垂直磁気記録層２０として
は、ＣｏＣｒ，ＣｏＣｒＴａ，ＣｏＰｔ，ＣｏＣｒＰ
ｔ，ＣｏＰｔＣｒＯ，ＴｂＦｅＣｏ等、通常この種の磁
気記録媒体の垂直磁気記録層に使用されるものであれば
いかなるものであっても良い。このような垂直磁気記録
層２０の厚さは、使用するヘッドや用いられる記録波長
等を考慮しつつ適宜選定すれば良い。通常は、１０〜１
００ｎｍ程度とされる。厚さが１０ｎｍ未満となると垂
直磁気記録層２０に信号が記録された際の残留磁化量が
非常に小さくなるために、信号の再生出力が著しく劣化
してしまう傾向が生じる。
は、ＣｏＣｒ，ＣｏＣｒＴａ，ＣｏＰｔ，ＣｏＣｒＰ
ｔ，ＣｏＰｔＣｒＯ，ＴｂＦｅＣｏ等、通常この種の磁
気記録媒体の垂直磁気記録層に使用されるものであれば
いかなるものであっても良い。このような垂直磁気記録
層２０の厚さは、使用するヘッドや用いられる記録波長
等を考慮しつつ適宜選定すれば良い。通常は、１０〜１
００ｎｍ程度とされる。厚さが１０ｎｍ未満となると垂
直磁気記録層２０に信号が記録された際の残留磁化量が
非常に小さくなるために、信号の再生出力が著しく劣化
してしまう傾向が生じる。
【００３０】本発明の欠如凹部１０ａに充填される非磁
性材（非磁性層１５を構成する材料）としては、ＳｉＯ
2、Ａｌ2Ｏ3、Ｃ等が好適に用いられる。
性材（非磁性層１５を構成する材料）としては、ＳｉＯ
2、Ａｌ2Ｏ3、Ｃ等が好適に用いられる。
【００３１】また、垂直磁気記録層２０の上には、磁性
層を保護する目的でＣ、ＺｒＯ2、ＳｉＯ2等を主体とす
る保護膜を１〜１０ｎｍ程度の厚さに形成することが望
ましい。あまり厚く形成し過ぎるとすると、スペーシン
グロスの問題が生じる傾向にあり、また、あまりに薄く
形成し過ぎると、耐久性等の問題が生じる傾向にある。
さらにこの保護膜の上に公知の種々の有機潤滑剤を含有
させた潤滑膜を形成してもよい。
層を保護する目的でＣ、ＺｒＯ2、ＳｉＯ2等を主体とす
る保護膜を１〜１０ｎｍ程度の厚さに形成することが望
ましい。あまり厚く形成し過ぎるとすると、スペーシン
グロスの問題が生じる傾向にあり、また、あまりに薄く
形成し過ぎると、耐久性等の問題が生じる傾向にある。
さらにこの保護膜の上に公知の種々の有機潤滑剤を含有
させた潤滑膜を形成してもよい。
【００３２】本発明の磁気記録媒体の製造方法
本発明の磁気記録媒体の製造方法の好適な一例を図３
（Ａ）〜（Ｈ）および図４（Ａ）〜（Ｃ）に基づいて説
明する。
（Ａ）〜（Ｈ）および図４（Ａ）〜（Ｃ）に基づいて説
明する。
【００３３】まず、最初に図３（Ａ）に示されるように
非磁性基板２の上に軟磁性裏打ち層１０をスパッタ法等
により形成する。
非磁性基板２の上に軟磁性裏打ち層１０をスパッタ法等
により形成する。
【００３４】次いで、図３（Ｂ）に示されるように軟磁
性裏打ち層１０の上にレジスト層５０を形成する。
性裏打ち層１０の上にレジスト層５０を形成する。
【００３５】次いで、図３（Ｃ）に示されるようにトラ
ック間隙、サーボ信号等の凹凸形状が微細加工された成
形金型６０を準備して、このものを、レジスト層５０の
表面に加熱しつつ加圧してインプリント（imprint）す
る。成形金型６０を外す（remove）ことによって図３
（Ｄ）のインプリント形状（レジストパターン）が形成
される。なお、レジストパターンは、電子ビームリソグ
ラフィ等で形成してもよい。
ック間隙、サーボ信号等の凹凸形状が微細加工された成
形金型６０を準備して、このものを、レジスト層５０の
表面に加熱しつつ加圧してインプリント（imprint）す
る。成形金型６０を外す（remove）ことによって図３
（Ｄ）のインプリント形状（レジストパターン）が形成
される。なお、レジストパターンは、電子ビームリソグ
ラフィ等で形成してもよい。
【００３６】次いで、リアクティブイオンエッチング
（ＲＩＥ）等により、軟磁性裏打ち層１０をレジストパ
ターンに沿ってエッチングしていき、図３（Ｅ）に示さ
れるごとく複数の欠如凹部１０ａを形成する。この時、
軟磁性裏打ち層１０のエッチング箇所において、深さ方
向に一部の軟磁性裏打ち層１０を残せば、前述した図２
（Ａ）に示される形態となり、また、深さ方向に実質的
に全ての軟磁性裏打ち層１０を除去すれば、前述の図２
（Ｂ）に示される形態となる。
（ＲＩＥ）等により、軟磁性裏打ち層１０をレジストパ
ターンに沿ってエッチングしていき、図３（Ｅ）に示さ
れるごとく複数の欠如凹部１０ａを形成する。この時、
軟磁性裏打ち層１０のエッチング箇所において、深さ方
向に一部の軟磁性裏打ち層１０を残せば、前述した図２
（Ａ）に示される形態となり、また、深さ方向に実質的
に全ての軟磁性裏打ち層１０を除去すれば、前述の図２
（Ｂ）に示される形態となる。
【００３７】軟磁性裏打ち層１０の上の残余のレジスト
を除去した後、図３（Ｆ）に示されるように非磁性材を
スパッタ堆積させ、軟磁性裏打ち層１０の欠如凹部１０
ａに非磁性層１５を形成させる。
を除去した後、図３（Ｆ）に示されるように非磁性材を
スパッタ堆積させ、軟磁性裏打ち層１０の欠如凹部１０
ａに非磁性層１５を形成させる。
【００３８】次いで、ＣＭＰ（chemical mechanical po
lishing）等の手法で軟磁性裏打ち層１０および非磁性
層１５の平坦化処理（planarization）をすることによ
り、表面の平坦化が図られるとともに不要な非磁性層１
５（非磁性材）が除去され、図３（Ｇ）の状態に至る。
lishing）等の手法で軟磁性裏打ち層１０および非磁性
層１５の平坦化処理（planarization）をすることによ
り、表面の平坦化が図られるとともに不要な非磁性層１
５（非磁性材）が除去され、図３（Ｇ）の状態に至る。
【００３９】次いで、図３（Ｈ）に示されるように垂直
磁気記録層２０がスパッタ等で堆積形成される。なお、
図面には示されていないが垂直磁気記録層２０の形成前
に、良好な垂直磁気記録層２０を得るために予め、結晶
配向層を下地層として設けるようにすることが好まし
い。特に、軟磁性裏打ち層の欠如凹部が存在しない箇所
（非磁性層が存在しない箇所）のみに結晶配向層を形成
するようにすることは、本来良好な磁気特性が要望され
るデータトラック部の垂直磁気記録層と良好な磁気特性
が要望されないディスクリート部の垂直磁気記録層と
で、本来の要求を満たすような磁気特性の差別化を図れ
るという点で特に好ましい。
磁気記録層２０がスパッタ等で堆積形成される。なお、
図面には示されていないが垂直磁気記録層２０の形成前
に、良好な垂直磁気記録層２０を得るために予め、結晶
配向層を下地層として設けるようにすることが好まし
い。特に、軟磁性裏打ち層の欠如凹部が存在しない箇所
（非磁性層が存在しない箇所）のみに結晶配向層を形成
するようにすることは、本来良好な磁気特性が要望され
るデータトラック部の垂直磁気記録層と良好な磁気特性
が要望されないディスクリート部の垂直磁気記録層と
で、本来の要求を満たすような磁気特性の差別化を図れ
るという点で特に好ましい。
【００４０】上記図３（Ａ）〜（Ｈ）に基づき製造され
た磁気記録媒体は、従来技術の問題点、すなわち、磁気
記録層の磁気特性の劣化のおそれや、表面の不均一性の
発生のおそれを改善することができるなどの極めて優れ
た効果を発現する。しかしながら、上記図３（Ａ）〜
（Ｈ）に基づき製造された磁気記録媒体は、そのままで
は、その表面が垂直磁気記録層２０で一様に覆われてい
るためにその下に位置するパターニングされたトラック
やサーボ信号等を光学的または磁気的に検出することが
困難である。そのため、図４（Ａ）〜（Ｃ）に示される
ような本発明の初期化方法（着磁方法）が採られる。な
お、図４にはいわゆる両面記録型媒体の例示、すなわ
ち、非磁性基板２の両面にそれぞれ本願発明の軟磁性裏
打ち層１０と、軟磁性裏打ち層１０の欠如凹部に形成さ
れた非磁性層１５と、垂直磁気記録層２０とを備える媒
体が例示されている。
た磁気記録媒体は、従来技術の問題点、すなわち、磁気
記録層の磁気特性の劣化のおそれや、表面の不均一性の
発生のおそれを改善することができるなどの極めて優れ
た効果を発現する。しかしながら、上記図３（Ａ）〜
（Ｈ）に基づき製造された磁気記録媒体は、そのままで
は、その表面が垂直磁気記録層２０で一様に覆われてい
るためにその下に位置するパターニングされたトラック
やサーボ信号等を光学的または磁気的に検出することが
困難である。そのため、図４（Ａ）〜（Ｃ）に示される
ような本発明の初期化方法（着磁方法）が採られる。な
お、図４にはいわゆる両面記録型媒体の例示、すなわ
ち、非磁性基板２の両面にそれぞれ本願発明の軟磁性裏
打ち層１０と、軟磁性裏打ち層１０の欠如凹部に形成さ
れた非磁性層１５と、垂直磁気記録層２０とを備える媒
体が例示されている。
【００４１】最初に、図４（Ａ）に示されるように、垂
直磁気記録層２０面に対して垂直方向の磁界（図４の場
合、上から下方向の矢印（α１）で示される磁界）でか
つ垂直磁気記録層２０の保磁力Ｈｃよりも大きい外部磁
界Ｈ1（Ｈ1＞＞Ｈｃ）を垂直磁気記録層２０の全面に印
加して、垂直磁気記録層２０の全体を一様に一方向（図
４の場合、上から下方向）に予め磁化させる。垂直磁気
記録層２０中に模式的に記載された矢印が磁化方向を示
している。
直磁気記録層２０面に対して垂直方向の磁界（図４の場
合、上から下方向の矢印（α１）で示される磁界）でか
つ垂直磁気記録層２０の保磁力Ｈｃよりも大きい外部磁
界Ｈ1（Ｈ1＞＞Ｈｃ）を垂直磁気記録層２０の全面に印
加して、垂直磁気記録層２０の全体を一様に一方向（図
４の場合、上から下方向）に予め磁化させる。垂直磁気
記録層２０中に模式的に記載された矢印が磁化方向を示
している。
【００４２】次いで、図４（Ｂ）に示されるように、前
記予め磁化された磁化方向と反対方向の磁界（図４の場
合、下から上方向の矢印（β）で示される磁界）で、か
つ、前記非磁性層１５が存在しない位置における垂直磁
気記録層２０の磁化のみを反転できる程度大きさの外部
磁界Ｈ2を印加する。この場合の外部磁界Ｈ2の大きさ
は、外部磁界を発生させる、例えば幅広の記録ヘッド
（永久磁石や電磁石）４０と軟磁性裏打ち層１５との磁
気的結合（模式的に表示すれば、矢印（β）と矢印
（γ）との磁気的結合）により、軟磁性裏打ち層１５が
下方に位置する垂直磁気記録層２０のみの磁化を反転さ
せることができる大きさとされる。この外部磁界Ｈ
2は、例えば、垂直磁気記録層２０の保磁力Ｈｃと同等
あるいはそれよりもやや小さめの磁界に設定される。
記予め磁化された磁化方向と反対方向の磁界（図４の場
合、下から上方向の矢印（β）で示される磁界）で、か
つ、前記非磁性層１５が存在しない位置における垂直磁
気記録層２０の磁化のみを反転できる程度大きさの外部
磁界Ｈ2を印加する。この場合の外部磁界Ｈ2の大きさ
は、外部磁界を発生させる、例えば幅広の記録ヘッド
（永久磁石や電磁石）４０と軟磁性裏打ち層１５との磁
気的結合（模式的に表示すれば、矢印（β）と矢印
（γ）との磁気的結合）により、軟磁性裏打ち層１５が
下方に位置する垂直磁気記録層２０のみの磁化を反転さ
せることができる大きさとされる。この外部磁界Ｈ
2は、例えば、垂直磁気記録層２０の保磁力Ｈｃと同等
あるいはそれよりもやや小さめの磁界に設定される。
【００４３】図４（Ｂ）に示されるような磁化反転操作
を、例えば、媒体表面に沿って矢印４１方向に続けるこ
とにより、図４（Ｃ）に示されるように軟磁性裏打ち層
１５と垂直磁気記録層２０とが磁気的に結合することが
できる所定位置（非磁性層１５が存在しない位置）の垂
直磁気記録層２０の磁化反転が完了する。
を、例えば、媒体表面に沿って矢印４１方向に続けるこ
とにより、図４（Ｃ）に示されるように軟磁性裏打ち層
１５と垂直磁気記録層２０とが磁気的に結合することが
できる所定位置（非磁性層１５が存在しない位置）の垂
直磁気記録層２０の磁化反転が完了する。
【００４４】このようにして前記非磁性層１５が下方に
存在する位置における垂直磁気記録層２０の磁化方向
と、前記非磁性層１５が存在しない位置における垂直磁
気記録層の磁化方向とが反対となるように初期化される
ことになる。このような初期化処理をすることにより、
垂直磁気記録層２０に覆われてその下に位置するパター
ニングされたトラック位置やサーボ信号（サーボ信号が
記録される領域のサーボマーク）を光学的または磁気的
に検出することができるようになる。
存在する位置における垂直磁気記録層２０の磁化方向
と、前記非磁性層１５が存在しない位置における垂直磁
気記録層の磁化方向とが反対となるように初期化される
ことになる。このような初期化処理をすることにより、
垂直磁気記録層２０に覆われてその下に位置するパター
ニングされたトラック位置やサーボ信号（サーボ信号が
記録される領域のサーボマーク）を光学的または磁気的
に検出することができるようになる。
【００４５】なお、図示していないが、引き続き、基板
の裏面側も図４（Ｂ）と同じ操作をすることにより、基
板裏面側の垂直磁気記録層２０（図面の下側に位置する
記録層）の初期化（磁化反転）が行われる。
の裏面側も図４（Ｂ）と同じ操作をすることにより、基
板裏面側の垂直磁気記録層２０（図面の下側に位置する
記録層）の初期化（磁化反転）が行われる。
【００４６】なお、「非磁性層１５が存在する位置にお
ける垂直磁気記録層２０」とは、非磁性層１５の上に形
成された垂直磁気記録層２０の部分をいい、この逆に、
「非磁性層１５が存在しない位置における垂直磁気記録
層２０」とは、非磁性層１５の上に形成された垂直磁気
記録層２０の部分を排除する趣旨であり、換言すれば、
軟磁性裏打ち層１５の上に垂直磁気記録層２０が磁気的
に結合することができるような位置における垂直磁気記
録層２０の部分ということになる。
ける垂直磁気記録層２０」とは、非磁性層１５の上に形
成された垂直磁気記録層２０の部分をいい、この逆に、
「非磁性層１５が存在しない位置における垂直磁気記録
層２０」とは、非磁性層１５の上に形成された垂直磁気
記録層２０の部分を排除する趣旨であり、換言すれば、
軟磁性裏打ち層１５の上に垂直磁気記録層２０が磁気的
に結合することができるような位置における垂直磁気記
録層２０の部分ということになる。
【００４７】
【実施例】以下に具体的実施例を示し、本発明をさらに
詳細に説明する。
詳細に説明する。
【００４８】図３（Ａ）〜（Ｈ）に示される製造プロセ
スに準じて本発明の磁気記録媒体サンプルを作製した。
非磁性基板２として、外径６５ｍｍ、内径２０ｍｍ、厚
さ０．６３ｍｍのハードディスク用の結晶化ガラスを用
いた。軟磁性裏打ち層１０として、ＮｉＦｅパーマロイ
を用いてスパッタ成膜し、平坦部の厚さを５００ｎｍ、
欠如凹部１０ａの深さを２５０ｎｍとした。欠如凹部１
０ａに充填する非磁性材としてはＳｉＯ2を用いた。垂
直磁気記録層２０として、ＣｏＣｒＰｔを厚さ５０ｎｍ
にスパッタ成膜した。
スに準じて本発明の磁気記録媒体サンプルを作製した。
非磁性基板２として、外径６５ｍｍ、内径２０ｍｍ、厚
さ０．６３ｍｍのハードディスク用の結晶化ガラスを用
いた。軟磁性裏打ち層１０として、ＮｉＦｅパーマロイ
を用いてスパッタ成膜し、平坦部の厚さを５００ｎｍ、
欠如凹部１０ａの深さを２５０ｎｍとした。欠如凹部１
０ａに充填する非磁性材としてはＳｉＯ2を用いた。垂
直磁気記録層２０として、ＣｏＣｒＰｔを厚さ５０ｎｍ
にスパッタ成膜した。
【００４９】このようにして作製した本発明サンプルを
図４（Ａ）〜（Ｃ）に示される方法で初期化した。初期
化の際に用いた外部磁界Ｈ1は、８００ｋＡ／ｍ（１０
０００Ｏｅ）、外部磁界Ｈ2は、４００ｋＡ／ｍ（５０
００Ｏｅ）とした。
図４（Ａ）〜（Ｃ）に示される方法で初期化した。初期
化の際に用いた外部磁界Ｈ1は、８００ｋＡ／ｍ（１０
０００Ｏｅ）、外部磁界Ｈ2は、４００ｋＡ／ｍ（５０
００Ｏｅ）とした。
【００５０】このようにして作製した本発明サンプルに
ついて、トラック位置およびサーボ信号を磁気的に検出
する実験を試みたところ、これらの磁気的信号は確かに
検出できることが確認できた。カー効果を用いた光学的
検出もできることが確認できた。
ついて、トラック位置およびサーボ信号を磁気的に検出
する実験を試みたところ、これらの磁気的信号は確かに
検出できることが確認できた。カー効果を用いた光学的
検出もできることが確認できた。
【００５１】加えて、本発明サンプルは、垂直磁気記録
層２０には成膜後、エッチング処理を施さない構造を採
択しているので、垂直磁気記録層２０の磁気特性の劣化
を防止することができる。
層２０には成膜後、エッチング処理を施さない構造を採
択しているので、垂直磁気記録層２０の磁気特性の劣化
を防止することができる。
【００５２】さらに、本発明のサンプルは、軟磁性裏打
ち層１０の欠如凹部１０ａのみに非磁性材を埋め込み、
ＣＭＰ等により平滑・平坦化処理を行ってから垂直磁気
記録層を形成する構造を備えている。そのため、従来技
術のように例えば垂直磁気記録層に形成した欠如部に非
磁性材を埋め込んでから平滑・平坦化を行うことにより
発生し得る垂直磁気記録層へのダメージを回避すること
ができ、この観点からも垂直磁気記録層２０の磁気特性
の劣化を防止することができる。さらに、本発明のサン
プルは、従来技術の媒体構成より必然的に発生していた
垂直磁気記録層および非磁性層のディッシング等による
媒体表面の凹凸を無くすことができる。
ち層１０の欠如凹部１０ａのみに非磁性材を埋め込み、
ＣＭＰ等により平滑・平坦化処理を行ってから垂直磁気
記録層を形成する構造を備えている。そのため、従来技
術のように例えば垂直磁気記録層に形成した欠如部に非
磁性材を埋め込んでから平滑・平坦化を行うことにより
発生し得る垂直磁気記録層へのダメージを回避すること
ができ、この観点からも垂直磁気記録層２０の磁気特性
の劣化を防止することができる。さらに、本発明のサン
プルは、従来技術の媒体構成より必然的に発生していた
垂直磁気記録層および非磁性層のディッシング等による
媒体表面の凹凸を無くすことができる。
【００５３】もちろん、上記の構成よりなる本発明サン
プルは、いわゆるサイドクロストークの低減化（cross
write/cross read の低減化）、およびトラッキング精
度の向上を図り面記録密度の向上を図ることができるこ
とも実験的に確認された。
プルは、いわゆるサイドクロストークの低減化（cross
write/cross read の低減化）、およびトラッキング精
度の向上を図り面記録密度の向上を図ることができるこ
とも実験的に確認された。
【００５４】
【発明の効果】上記の結果より本発明の効果は明らかで
ある。すなわち、本発明は、非磁性基板上に、軟磁性裏
打ち層と、垂直磁気記録層とを備える磁気記録媒体であ
って、該媒体の軟磁性裏打ち層は、記録再生が行われる
データトラックとデータトラックの間に位置する領域、
またはサーボ信号が記録される領域にディスクリート作
用を発揮させるための欠如凹部を有するとともに、その
凹部には非磁性材が充填されて非磁性層が形成されてお
り、前記垂直磁気記録層は、少なくとも基板の鉛直方向
に磁気異方性を有するとともに、意図的に形成された欠
如凹部が存在しない平面膜であり、前記非磁性層が存在
する位置における垂直磁気記録層の磁化方向と、前記非
磁性層が存在しない位置における垂直磁気記録層の磁化
方向とが反対となるように初期化されてなるので、垂直
磁気記録層に覆われてその下に位置するパターニングさ
れたトラックの位置やサーボ信号を光学的または磁気的
に検出することができる。
ある。すなわち、本発明は、非磁性基板上に、軟磁性裏
打ち層と、垂直磁気記録層とを備える磁気記録媒体であ
って、該媒体の軟磁性裏打ち層は、記録再生が行われる
データトラックとデータトラックの間に位置する領域、
またはサーボ信号が記録される領域にディスクリート作
用を発揮させるための欠如凹部を有するとともに、その
凹部には非磁性材が充填されて非磁性層が形成されてお
り、前記垂直磁気記録層は、少なくとも基板の鉛直方向
に磁気異方性を有するとともに、意図的に形成された欠
如凹部が存在しない平面膜であり、前記非磁性層が存在
する位置における垂直磁気記録層の磁化方向と、前記非
磁性層が存在しない位置における垂直磁気記録層の磁化
方向とが反対となるように初期化されてなるので、垂直
磁気記録層に覆われてその下に位置するパターニングさ
れたトラックの位置やサーボ信号を光学的または磁気的
に検出することができる。
【図１】図１（Ａ）は本発明のディスク状の磁気記録媒
体の全体形状を表す概略平面図であり、図１（Ｂ）は図
１（Ａ）の四角で囲まれた微小部分の部分拡大概略図で
ある。
体の全体形状を表す概略平面図であり、図１（Ｂ）は図
１（Ａ）の四角で囲まれた微小部分の部分拡大概略図で
ある。
【図２】図２（Ａ）および（Ｂ）は、それぞれ、本発明
の磁気記録媒体の好適な実施の形態を概念的に示す断面
図である。
の磁気記録媒体の好適な実施の形態を概念的に示す断面
図である。
【図３】図３（Ａ）〜（Ｈ）は、本発明の磁気記録媒体
の好適な製造プロセスの一例を経時的に説明するための
概略断面図である。
の好適な製造プロセスの一例を経時的に説明するための
概略断面図である。
【図４】図４（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の初期化の方法
を経時的に説明するための概略断面図である。
を経時的に説明するための概略断面図である。
１…磁気記録媒体
２…非磁性基板
１０…軟磁性裏打ち層
１０ａ…欠如凹部
１５…非磁性層
２０…垂直磁気記録層
─────────────────────────────────────────────────────
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(72)発明者 大川 秀一
東京都中央区日本橋一丁目13番１号 ティ
ーディーケイ株式会社内
(72)発明者 江▲崎▼ 城一朗
東京都中央区日本橋一丁目13番１号 ティ
ーディーケイ株式会社内
Ｆターム(参考） 5D006 BB06 BB08 DA03 EA03 EA05
FA09
5D112 AA04 AA05 BB05 BB06 BD05
DD03 DD09
Claims (4)
- 【請求項１】 非磁性基板上に、軟磁性裏打ち層と、垂
直磁気記録層とを備える磁気記録媒体であって、 該媒体の軟磁性裏打ち層は、記録再生が行われるデータ
トラックとデータトラックの間に位置する領域、または
サーボ信号が記録される領域にディスクリート作用を発
揮させるための欠如凹部を有するとともに、その凹部に
は非磁性材が充填されて非磁性層が形成されており、 前記垂直磁気記録層は、少なくとも基板の鉛直方向に磁
気異方性を有するとともに、意図的に形成された欠如凹
部が存在しない平面膜であり、 前記非磁性層が存在する位置における垂直磁気記録層の
磁化方向と、前記非磁性層が存在しない位置における垂
直磁気記録層の磁化方向とが反対となるように初期化さ
れてなることを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】 非磁性基板上に、軟磁性裏打ち層と、垂
直磁気記録層とを備え、 該媒体の軟磁性裏打ち層は、記録再生が行われるデータ
トラックとデータトラックの間に位置する領域、または
サーボ信号が記録される領域にディスクリート作用を発
揮させるための欠如凹部を有するとともに、その凹部に
は非磁性材が充填されて非磁性層が形成されており、 前記垂直磁気記録層は、少なくとも基板の鉛直方向に磁
気異方性を有するとともに、意図的に形成された欠如凹
部が存在しない平面膜から構成される磁気記録媒体の初
期化方法であり、 該方法は、垂直磁気記録層面に対して垂直方向の磁界で
かつ垂直磁気記録層の保磁力よりも大きい磁界を垂直磁
気記録層に印加して、垂直磁気記録層全体を一様に一方
向に予め磁化させ、 しかる後、前記予め磁化された磁化方向と反対方向の磁
界でかつ前記非磁性層が存在しない位置における垂直磁
気記録層の磁化のみを反転できる大きさの磁界を垂直磁
気記録層に印加して、データトラックまたはサーボ信号
が記録される領域のサーボマークに相当する垂直磁気記
録層の磁化を反転させてなることを特徴とする磁気記録
媒体の初期化方法。 - 【請求項３】 非磁性基板上に、軟磁性裏打ち層と、垂
直磁気記録層とを備える磁気記録媒体であって、 該媒体の軟磁性裏打ち層は、記録再生が行われるデータ
トラックとデータトラックの間に位置する領域、および
サーボ信号が記録される領域にディスクリート作用を発
揮させるための欠如凹部を有するとともに、その凹部に
は非磁性材が充填されて非磁性層が形成されており、 前記垂直磁気記録層は、少なくとも基板の鉛直方向に磁
気異方性を有するとともに、意図的に形成された欠如凹
部が存在しない平面膜であり、 前記非磁性層が存在する位置における垂直磁気記録層の
磁化方向と、前記非磁性層が存在しない位置における垂
直磁気記録層の磁化方向とが反対となるように初期化さ
れてなることを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項４】 非磁性基板上に、軟磁性裏打ち層と、垂
直磁気記録層とを備え、 該媒体の軟磁性裏打ち層は、記録再生が行われるデータ
トラックとデータトラックの間に位置する領域、および
サーボ信号が記録される領域にディスクリート作用を発
揮させるための欠如凹部を有するとともに、その凹部に
は非磁性材が充填されて非磁性層が形成されており、 前記垂直磁気記録層は、少なくとも基板の鉛直方向に磁
気異方性を有するとともに、意図的に形成された欠如凹
部が存在しない平面膜から構成される磁気記録媒体の初
期化方法であり、 該方法は、垂直磁気記録層面に対して垂直方向の磁界で
かつ垂直磁気記録層の保磁力よりも大きい磁界を垂直磁
気記録層に印加して、垂直磁気記録層全体を一様に一方
向に予め磁化させ、 しかる後、前記予め磁化された磁化方向と反対方向の磁
界でかつ前記非磁性層が存在しない位置における垂直磁
気記録層の磁化のみを反転できる大きさの磁界を垂直磁
気記録層に印加して、データトラックおよびサーボ信号
が記録される領域のサーボマークに相当する垂直磁気記
録層の磁化を反転させてなることを特徴とする磁気記録
媒体の初期化方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001200547A JP3934890B2 (ja) | 2001-07-02 | 2001-07-02 | 磁気記録媒体の初期化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001200547A JP3934890B2 (ja) | 2001-07-02 | 2001-07-02 | 磁気記録媒体の初期化方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003016623A true JP2003016623A (ja) | 2003-01-17 |
| JP3934890B2 JP3934890B2 (ja) | 2007-06-20 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001200547A Expired - Fee Related JP3934890B2 (ja) | 2001-07-02 | 2001-07-02 | 磁気記録媒体の初期化方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3934890B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100354935C (zh) * | 2004-07-16 | 2007-12-12 | 株式会社东芝 | 用于垂直磁记录的图形化盘介质和具有其的磁盘驱动器 |
| US7672075B2 (en) | 2005-03-10 | 2010-03-02 | Tdk Corporation | Magnetic recording medium, recording/reproducing apparatus, and stamper |
| US7894152B2 (en) | 2007-01-10 | 2011-02-22 | Fuji Electric Device Technology Co., Ltd. | Perpendicular recording discrete track medium and servo pattern magnetization method for same |
| US9177589B2 (en) | 2006-03-15 | 2015-11-03 | Fuji Electric Co., Ltd. | Magnetic recording medium and a method of manufacturing the same |
-
2001
- 2001-07-02 JP JP2001200547A patent/JP3934890B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100354935C (zh) * | 2004-07-16 | 2007-12-12 | 株式会社东芝 | 用于垂直磁记录的图形化盘介质和具有其的磁盘驱动器 |
| US7672075B2 (en) | 2005-03-10 | 2010-03-02 | Tdk Corporation | Magnetic recording medium, recording/reproducing apparatus, and stamper |
| US9177589B2 (en) | 2006-03-15 | 2015-11-03 | Fuji Electric Co., Ltd. | Magnetic recording medium and a method of manufacturing the same |
| US7894152B2 (en) | 2007-01-10 | 2011-02-22 | Fuji Electric Device Technology Co., Ltd. | Perpendicular recording discrete track medium and servo pattern magnetization method for same |
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|---|---|
| JP3934890B2 (ja) | 2007-06-20 |
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