JP2003013357A

JP2003013357A - 不織布の表面処理方法およびこの方法を用いたゴム系複合材料の製造方法

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Publication number: JP2003013357A
Application number: JP2001200989A
Authority: JP
Inventors: Yukihiro Kusano; 行弘草野; Kenji Sato; 研二佐藤; Yugo Zuiko; 裕吾随行
Original assignee: Bridgestone Corp
Current assignee: Bridgestone Corp
Priority date: 2001-07-02
Filing date: 2001-07-02
Publication date: 2003-01-15
Anticipated expiration: 2021-07-02
Also published as: JP4086221B2

Abstract

(57)【要約】【課題】不織布とゴムとの間の接着材としての被膜形
成において、良好に被膜との間の接着性を高めることの
できる不織布の表面処理方法、およびこの方法を用いる
ことにより、タイヤやベルト等のゴム物品の補強材とし
て有用な、耐久性に優れたゴム系複合材料を得ることの
できるゴム系複合材料の製造方法を提供する。【解決手段】不織布を低圧プラズマ法にて表面処理す
る不織布の表面処理方法において、ガス圧を１×１０^-2
Ｐａ〜２×１０¹Ｐａの範囲内または２×１０²Ｐａ〜５
×１０³Ｐａの範囲内として不織布にプラズマ処理を施
す。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は不織布の表面処理方
法およびこの方法を用いたゴム系複合材料の製造方法に
関し、詳しくは、良好に被膜との間の接着性を高めるこ
とのできる不織布の表面処理方法、およびこの方法を用
いることにより、タイヤやベルト等のゴム物品の補強材
として有用な、耐久性に優れたゴム系複合材料を得るこ
とのできるゴム系複合材料の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】タイヤやベルト等に適用されるゴム系複
合材料の補強材としては、従来より有機繊維コードやス
チールコードが広く用いられている。この場合、ゴムと
補強材とが強固に接着していることは、その製品の耐久
性の面から重要なことである。従って、従来、有機繊維
コードとゴムとの複合材においては、両者の接着性を高
めるために、レゾルシン・ホルムアルデヒド縮合物／ラ
テックス（ＲＦＬ）接着剤中への有機繊維コードのディ
ップ処理が行われていた。また、スチールコードとゴム
との複合材においては、両者の接着性を高めるために、
スチールコードに各種メッキ処理を施すことが一般に行
われていた。

【０００３】また、タイヤやベルト等に適用されるゴム
系複合材料の補強材として、有機繊維コードやスチール
コードの他に、不織布を用いることも知られている。例
えば、特開平１０−５３０１０号公報においては、乗り
心地性能や耐久性といったラジアルタイヤ本来の性能を
損なうことなく、また製法を複雑化することなく、タイ
ヤサイドウォール部の剛性を高めてタイヤの操縦安定性
を向上させるために、カーカス層とサイドウォール部と
の間に、不織布を用いたゴム−フィラメント繊維複合体
を適用することが提案されている。

【０００４】さらに、補強材としての不織布の性能向上
が注目され、最近では、タイヤ以外の剛性や耐久性が求
められるゴム物品への不織布の適用が検討されてきてい
る。また、従来補強材を含まない構造のゴム系複合材料
においても、不織布を伴う補強材を用いることにより、
設計の自由度が広がるとともに、高い耐久性が得られる
ことが期待される。

【０００５】しかし、不織布をゴム系複合材料の補強材
として用いる場合、従来の有機繊維コードにおいて適用
されていたＲＦＬ接着剤中への有機繊維コードのディッ
プ処理や、スチールコードにおいて適用されていたメッ
キ処理を適用して接着性を高めることはできなかった。
これは、これらの処理を不織布に施すと、不織布が目詰
りを起こしてフィルム状になってしまい、ゴムと合わせ
たときの不織布とゴムとの接触面積が小さくなって、所
望の効果を得ることができなくなるためである。このた
め、不織布とゴムとの接着性を向上するための方法とし
て、不織布表面上にゴムとの接着性を有する金属膜等の
被膜を形成する技術が提案されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
不織布上への被膜形成処理では、ゴム系複合材料をゴム
物品として実使用する際の耐久性において十分なもので
はなく、不織布とゴムとの間の接着性をより高めるため
に、不織布表面上への被膜の形成において、両者のより
良好な接着性を得るための技術が求められていた。

【０００７】そこで本発明の目的は、上記問題点を解消
して、不織布とゴムとの間の接着材としての被膜形成に
おいて、良好に被膜との間の接着性を高めることのでき
る不織布の表面処理方法、およびこの方法を用いること
により、タイヤやベルト等のゴム物品の補強材として有
用な、耐久性に優れたゴム系複合材料を得ることのでき
るゴム系複合材料の製造方法を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決するために鋭意検討した結果、不織布表面への被
膜形成のための処理として低圧プラズマ法を採用し、か
つその処理の際のガス圧を所定の範囲内とすることが被
膜との間の接着性を良好に高める上で極めて効果的であ
ることを見出し、本発明を完成するに至った。

【０００９】即ち、本発明の不織布の表面処理方法は、
不織布を低圧プラズマ法にて表面処理する不織布の表面
処理方法において、ガス圧を１×１０^-2Ｐａ〜２×１０
¹Ｐａの範囲内として不織布にプラズマ処理を施すこと
を特徴とするものである。

【００１０】本発明の他の、不織布の表面処理方法は、
不織布を低圧プラズマ法にて表面処理する不織布の表面
処理方法において、ガス圧を２×１０²Ｐａ〜５×１０³
Ｐａの範囲内として不織布にプラズマ処理を施すことを
特徴とするものである。

【００１１】また、本発明のゴム系複合材料の製造方法
は、不織布に前記本発明の表面処理を施した後、物理的
気相成長法（ＰＶＤ）または化学的気相成長法（ＣＶ
Ｄ）により被膜を形成し、次いで未加硫ゴムを加熱圧着
することを特徴とするものである。

【００１２】本発明は以下の知見に基づくものである。
即ち、被膜と不織布との接着性向上のための処理法とし
て低圧プラズマ法による処理が有効であることを見い出
したが、かかる処理を行った場合、不織布の目が粗い部
分に放電が集中するなどしてその部分に穴あきなどの損
傷を受けることがあることが分かった。そこで、このよ
うな損傷を回避すべく処理中のガス圧に着目して更に鋭
意研究を重ねた結果、プラズマ発生可能なガス圧におい
て低圧領域と高圧領域の２種類のガス圧領域において上
記損傷を回避できることが分かった。これは以下のよう
な理由によると考えられる。即ち、ガス圧が低い１×１
０ ^-2Ｐａ〜２×１０¹Ｐａの範囲内（以下「低圧領域」
と略記する）だと、電子の平均自由行程が長くなり、狭
い隙間では放電しにくくなると考えられ、一方、ガス圧
が高い２×１０²Ｐａ〜５×１０³Ｐａの範囲内（以下
「高圧領域」と略記する）だと、放電が入り込む隙間の
サイズが十分小さくなるため、この小さな隙間に放電が
入り込んでもエネルギー密度の増加は少ないものと考え
られる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につき
具体的に説明する。まず、本発明において適用し得る不
織布は、カーディング法、抄紙法、エアレイ法、メルト
ブロー、スパンボンド法などにより作製されたウェブで
ある。メルトブロー、スパンボンド法以外のウェブにお
ける繊維の結合方法として、熱融着法、バインダによる
方法、水流または針の力で繊維を交絡させる水流絡合
法、ニードルパンチ法を好適に利用することができる。
とりわけ水流または針で繊維を交絡させる水流絡合法、
ニードルパンチ法およびメルトブロー、スパンボンド法
により得られた不織布が好適である。

【００１４】不織布の材質としては、綿、レーヨン、セ
ルロースなどの天然高分子繊維、脂肪族ポリアミド、ポ
リエステル、ポリビニルアルコール、ポリイミド、芳香
族ポリアミドなどの合成高分子繊維、およびカーボン繊
維、ガラス繊維、スチールワイヤのうちから選択される
一種又は複数種の繊維を混合することができる。また、
隣接層と素材が異なる多層構造のフィラメント繊維でも
よい。更に、異なる材質を内層と外層に配置した芯鞘構
造、あるいは米字型、花弁型、層状型等の複合繊維も用
いることができる。

【００１５】本発明においては、かかる不織布は、繊維
フィラメントの間までゴムが含浸する構造を有している
こと、そして比較的長い距離、広い範囲でフィラメント
繊維とゴムが相互に連続層を形成できる構造を有してい
ることが重要な基本的要件である。このため、フィラメ
ント繊維の直径または最大径は、好ましくは０．１〜１
００μｍ、より好ましくは０．１〜５０μｍの範囲内で
ある。但し、その断面形状は円状のもの、または円と異
なる断面形状のもの、中空部を有するもの等を用いるこ
とができる。

【００１６】また、フィラメント繊維の長さは、好まし
くは８ｍｍ以上、より好ましくは１０ｍｍ以上である。
かかるフィラメント繊維の長さが８ｍｍ未満では、繊維
フィラメント−繊維フィラメント間のからみ合いが十分
でなく、補強層としての強度を保持できなくなる。

【００１７】不織布の目付質量（１ｍ²当たりの質量）
は、好ましくは１０〜３００ｇ、より好ましくは１０〜
１００ｇの範囲内である。不織布の目付質量が１０ｇ未
満では不織布自体の均一性を維持することが困難となっ
てムラの多い不織布となり、加硫後の不織布／ゴム複合
体とした時の強度、剛性、破断伸度のバラツキが大きく
なるため、好ましくない。一方、３００ｇを超えるとゴ
ムの流動性にもよるが、不織布内部の空隙にゴムが浸透
しなくなり、例えば、タイヤ部材として考えた場合、ゴ
ム−不織布複合体の耐剥離性の観点から好ましくない。

【００１８】本発明においては、かかる不織布表面に対
し、低圧プラズマ法による表面処理を行う。この処理を
施すにあたり、ガス圧を１×１０^-2Ｐａ〜２×１０¹Ｐ
ａ、好ましくは１×１０^-2Ｐａ〜１．５×１０¹Ｐａの
低圧領域内とするか、２×１０²Ｐａ〜５×１０³Ｐａ、
好ましくは３×１０²Ｐａ〜５×１０²Ｐａの高圧領域内
とすることが、放電の集中などによる穴あきなどの損傷
を回避する上で重要である。また、この際、不織布に対
し連続的に投入するエネルギー密度は、好ましくは１０
００Ｊ／ｍ²〜５００００Ｊ／ｍ²の範囲内とする。この
範囲を超えるエネルギー密度では局所的な強い放電の発
現により、不織布への穴あき等の損傷が懸念される。一
方、この範囲に達しないとプラズマ処理をするのに不十
分である。時間は１秒〜１０００秒の範囲で、必要に応
じて適宜選択する。

【００１９】プラズマの発生に関しては、直流と交流と
のいずれを用いることもできる。電源周波数（電極へ供
給）は、公知の直流、交流のいずれを用いてもよく、一
般に、直流電源、低周波（ＬＦ）電源、高周波（ＲＦ）
電源、マイクロ波（ＭＷ）電源などが用いられるが、パ
ルス電源を用いてもよい。高周波未満の周波数では電極
が必要であるが、高周波放電では、内部電極型、外部電
極型、誘導電場型（コイル）を用いることができる。

【００２０】また、必要に応じて基材である不織布付近
にバイアス電圧を印加してもよい。その場合、直流、交
流いずれのバイアスも可能である。交流の場合、パル
ス、または高周波が好ましい。直流の場合、好ましくは
−１ｋＶ〜＋１ｋＶの電圧範囲である。

【００２１】雰囲気ガスとしては、例えば、Ａｒ、Ｈ
ｅ、Ｎｅ、Ｋｒ、Ｏ₂、Ｈ₂Ｏ、Ｎ₂、ＮＨ₃、ＣＨ₄等の
有機物、空気、ＣＯ₂、ＣＦ₄、ＳＦ₆等を挙げることが
でき、これらのうち２種類以上を混合して用いてもよ
い。特に好ましいのは、Ａｒ、Ｏ ₂である。

【００２２】尚、本発明の処理は、電極や処理の非対称
性のために不織布両面を十分に処理しがたい場合には、
必要に応じて両面に行うことも可能である。

【００２３】次に、本発明のゴム系複合材料の製造方法
について説明する。上述の本発明の表面処理を行った
後、処理後の不織布表面、即ち、不織布を構成するフィ
ラメント表面に、被膜を形成する。被膜の形成は、物理
的気相成長法（ＰＶＤ）または化学的気相成長法（ＣＶ
Ｄ）により行うことが好ましく、この場合、無溶剤であ
るために環境への汚染が少ないという利点がある。ま
た、気相での成膜であるために、従来のディップ処理や
メッキ処理のように、不織布を目詰りさせることがな
い。

【００２４】本発明に適用し得るＰＶＤ法としては、真
空蒸着法、例えば、抵抗加熱蒸着、電子ビーム加熱蒸
着、分子線エピタキシー法、レーザーアブレーション
法、スパッタ法（例えば、直流スパッタ、高周波スパッ
タ、マグネトロンスパッタ、ＥＣＲスパッタ）、イオン
ビーム、イオンプレーティング法、例えば、高周波イオ
ンプレーティング、イオン化クラスタビーム成膜法、ま
たはイオンビーム法等が挙げられ、また、ＣＶＤ法とし
ては、熱ＣＶＤ法、例えば、常圧ＣＶＤ、減圧ＣＶＤ、
有機金属ＣＶＤ、光ＣＶＤ法、またはプラズマＣＶＤ
法、例えば、直流プラズマＣＶＤ、高周波プラズマＣＶ
Ｄ、マイクロ波プラズマＣＶＤ若しくはＥＣＲプラズマ
ＣＶＤ等が挙げられる。これらのうち、スパッタ法が好
適に用いられ、特に好適には、マグネトロンスパッタ法
である。

【００２５】スパッタ法が好ましい理由としては、第１
に、基材である不織布表面の温度が低温での成膜が可能
であることが挙げられる。第２には、通常は成膜時の動
作圧力が５×１０^-2Ｐａ〜１×１０¹Ｐａと比較的高
く、不織布からのアウトガスによる影響が少ないことで
ある。第３には、ターゲットからスパッタした粒子が直
進して基材である不織布表面に到達する前にアルゴン
（Ａｒ）等の雰囲気ガスにより散乱される可能性が高い
ために、「回り込み」が起きやすいことが挙げられる。
即ち、この「回り込み」の効果により、不織布が極めて
複雑な形状をしているにもかかわらず、不織布のターゲ
ットに面していない部分や陰になっている部分にも良好
に成膜を行うことができる。

【００２６】スパッタ条件、特には、マグネトロンスパ
ッタ条件としては、例えば、雰囲気ガスは、不活性ガ
ス、例えば、Ａｒ、Ｈｅ、Ｎｅ、Ｋｒ、特にはＡｒに対
し、必要に応じて反応ガス、例えば、酸化系の場合はＯ
₂、Ｈ₂Ｏ等、窒化系の場合はＮ ₂、ＮＨ₃等、また炭化系
の場合はＣＨ₄等を混ぜてもよい。反応ガスと不活性ガ
スとの混合比（供給ガスの体積比）は、１００／０〜０
／１００（不活性ガス／反応ガス）、好ましくは１０
０／０〜２０／８０である。

【００２７】また、この場合にも、必要に応じて、基材
である不織布付近にバイアス電圧を印加してもよい。そ
の場合、直流、交流いずれのバイアスも可能である。交
流の場合、パルス、または高周波が好ましい。直流の場
合、好ましくは−１ｋＶ〜＋１ｋＶの電圧範囲である。

【００２８】ガス圧は、スパッタできる圧力であればい
かなる値でもよいが、好ましくは１×１０^-2Ｐａ〜５×
１０²Ｐａ、より好ましくは５×１０^-2Ｐａ〜５×１０¹
Ｐａである。また、電源周波数（ターゲットへ供給）は
公知の直流、交流のいずれを用いてもよい。一般に、直
流電源、高周波電源などが用いられるが、パルス電源を
用いてもよい。ターゲットと基材の間に誘導性プラズマ
を発生させてスパッタ中の粒子を活性化する、いわゆる
イオン化マグネトロンスパッタ（ｉｏｎｉｚｅｄｍａ
ｇｎｅｔｒｏｎｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ）や、直流高周
波重畳型電源でのスパッタも可能である。

【００２９】このような気相成長により形成される被膜
の平均膜厚は、好ましくは５×１０ ^-10ｍ〜１×１０^-5
ｍ、より好ましくは１×１０^-9ｍ〜５×１０^-7ｍであ
る。この膜厚が薄すぎると接着性が不十分となり、一
方、厚すぎると被膜の内部応力により基材から剥離する
傾向がある。かかる被膜は、不織布の繊維表面に硫化反
応に必要なだけ形成されていればよく、必ずしも均一形
成されている必要はない。成膜中、あるいは成膜後に、
大気中にさらした際に空気中の酸素や水蒸気と反応し
て、被膜中に酸素や水素などの不純物が混入することが
ある。また、必要に応じて、成膜後にさらに、プラズマ
処理、イオンインプランテーション、イオン照射、熱処
理などを施して、被膜の表面状態、反応性、内部応力等
を向上させてもよい。

【００３０】本発明において使用し得る被膜の材料は、
硫黄と反応可能な金属または金属化合物であり、合金、
酸化物、窒化物も含まれ、ゴム加硫時にゴム中の硫黄と
硫化反応する材料であればいかなるものでもよい。例え
ば、Ｃｏ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｃｒ、Ａｌ、Ａｇ、Ｎｉ、Ｐ
ｂ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｗやこれらのうち２種類またはそれ以
上からなる合金、さらにはこれらの酸化物、窒化物、炭
化物、硫化物、硫酸化合物などの化合物を用いることが
できる。特に、Ｃｏ、Ｃｏ／Ｃｒ合金、Ｃｕ／Ｚｎ合
金、Ｃｕ／Ａｌ合金等の金属、合金、またはこれらの酸
化物を好適に用いることができる。より好ましくは、Ｃ
ｏまたはＣｏの酸化物である（特開昭６２−８７３１１
号、６２−２４６２７８号、特開平１−２９０３４２号
公報参照）。ここで、酸化物、窒化物、炭化物等の化合
物は、化学量論的な値により得られたものであってもそ
うでなくてもよい。好ましくは、化学量論的な値に比べ
金属元素の比率が大きいものとする。

【００３１】不織布表面に成膜後、未加硫ゴムを被覆し
て加熱圧着する。この際、ゴム加硫時に上述の被膜とゴ
ムとの硫化反応により接着が生ずると考えられる。ここ
で、加硫と硫化は競合反応であり、両者が好適に行われ
るためには反応性のマッチングが必要である。スパッタ
成膜では、成膜時に、Ａｒ等の不活性ガスに加えて、酸
素、窒素等の反応ガスを適量加えて適度な硫化反応性を
持つ化合物薄膜を形成することが容易である。

【００３２】本発明において使用する不織布とゴムとの
複合化は、プレスまたはロールなどによりシート状未加
硫ゴム組成物を上下両面または片面から圧着して、不織
布内部の空気をゴムと置換することにより行うことがで
きる。

【００３３】尚、本発明において使用し得るゴム組成物
は、特に制限されるべきものではなく、例えば、タイヤ
やベルトにおいて慣用されているゴム組成物を好適に用
いることができる。よって、ゴム成分としては天然ゴム
および合成ゴムのいずれでもよく、また加硫剤、加硫促
進剤、補強材、老化防止剤、軟化剤等を適宜配合するこ
とができる。

【００３４】

【実施例】以下、本発明を実施例に基づき具体的に説明
する。不織布（繊維種：ポリエステル、繊維径：２５μ
ｍ、目付質量：４０ｇ／ｍ²、厚さ：５ｍｍ）の表面
（両面）を、下記の表１に示す条件にて内部電極型高周
波プラズマ（周波数：１３．５６ＭＨｚ）で処理した。
処理時間はいずれも６０秒とした。評価は、プラズマ処
理によってあいた穴の数とそのおよその直径を調べるこ
とによって行った。穴の数が多いほど、また、その穴の
直径が大きいほど不織布は損傷を受けたものと考えられ
る。

【００３５】

【表１】

【００３６】上記表１から分かるように、いずれの実施
例も比較例に比べ不織布へのダメージはほとんど見られ
なかった。

【００３７】次に、上記表１に示す各条件にて高周波プ
ラズマ処理した不織布表面に、Ｃｏターゲット（純度３
Ｎ）をスパッタしてＣｏを成膜した。成膜条件は、スパ
ッタガスとしてＡｒ１００％、圧力０．７Ｐａ、平均膜
厚が２０ｎｍ程度になるようにした。

【００３８】上述のようにしてＣｏの被膜形成がなされ
た不織布を未加硫ゴムで両面から挟んで被覆一体化した
ゴム系複合材料（フィラメント繊維−ゴム複合体）を補
強部材層として、カーカス層とサイドウォールとの間に
てビードフィラーの上端から５０ｍｍにわたり貼付けし
た。このようにして得られた、未加硫ゴム複合材料を繊
維補強部材層として適用した生タイヤを成型し、続いて
加硫成型を施し、タイヤサイズ１９５／６０Ｒ１５、カ
ーカスプライＰＥＴ１６７０ｄｔｅｘ／２のラジアルタ
イヤを夫々試作した。また、従来例として、不織布では
なく繊維コードの簾織りを補強部材層として適用した以
外は同様にしてラジアルタイヤを試作した。これらタイ
ヤについて、操縦安定性試験および高荷重ドラム耐久性
試験を以下のようにして実施した。

【００３９】＜操縦安定性＞試作タイヤを車輌（国産Ｆ
Ｆ２０００ｃｃ）に装着し、速度４０〜１２０ｋｍ／ｈ
で直進、レーンチェンジの条件にて実車走行を行い、ド
ライバーのフィーリングにより操縦安定性を評価した。
評価はコントロールとしての従来例との対比で以下に示
すように区分し、その合計点数をコントロールを１００
とした指数で表示した。０：変わらない＋２：やや良いと思われる＋４：やや良い＋８：良い

【００４０】＜高荷重ドラム耐久性＞試作タイヤを、２
５℃±２℃の室内中でＪＡＴＭＡ規格の最大空気圧に調
整後、２４時間放置し、空気圧の再調整を行い、ＪＡＴ
ＭＡ規格の最大荷重の２倍荷重をタイヤに付加し、直径
１．７ｍのドラム上で速度６０ｋｍ／ｈで走行させ、故
障発生までの走行距離を測定した。結果は、従来例のタ
イヤの故障に至るまでの走行距離を１００として指数表
示した。数値が大なる程結果が良好である。得られた結
果を下記の表２に示す。

【００４１】

【表２】

【００４２】上記表２より、いずれの比較例も接着性付
与のため特性は向上するが、不織布自身のダメージの少
ない実施例では操縦安定性、耐久性ともにさらに向上し
ていることが分かる。

【００４３】

【発明の効果】以上説明してきたように、本発明の不織
布の表面処理方法によれば、不織布に穴あきなどの損傷
を与えることなく良好に被膜との間の接着性を高めるこ
とができる。また、この方法を用いた本発明のゴム系複
合材料の製造方法によれば、タイヤやベルト等のゴム物
品の補強材として有用な、耐久性に優れたゴム系複合材
料を得ることがきる。よって、例えば、これをタイヤの
サイドウォール部の補強材として使用した場合には、走
行耐久性とともに、操縦安定性が大幅に改善される。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 4F100 AA17B AK41 AN00C BA03 BA07 BA10A BA10C DG01 DG15A EH662 EJ202 EJ422 EJ602 EJ612 GB32 JB20C JD20 JL00 JL11 JM02B 4L031 BA04 BA09 CB05 CB13 CB14 DA21

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】不織布を低圧プラズマ法にて表面処理す
る不織布の表面処理方法において、ガス圧を１×１０^-2
Ｐａ〜２×１０¹Ｐａの範囲内として不織布にプラズマ
処理を施すことを特徴とする不織布の表面処理方法。
【請求項２】前記ガス圧を１×１０^-2Ｐａ〜１．５×
１０¹Ｐａの範囲内とする請求項１記載の不織布の表面
処理方法。
【請求項３】不織布を低圧プラズマ法にて表面処理す
る不織布の表面処理方法において、ガス圧を２×１０²
Ｐａ〜５×１０³Ｐａの範囲内として不織布にプラズマ
処理を施すことを特徴とする不織布の表面処理方法。
【請求項４】前記ガス圧を３×１０²Ｐａ〜５×１０²
Ｐａの範囲内とする請求項３記載の不織布の表面処理方
法。
【請求項５】連続的に投入するエネルギー密度を１０
００Ｊ／ｍ²〜５００００Ｊ／ｍ²の範囲内とする請求項
１〜４のうちいずれか一項記載の不織布の表面処理方
法。
【請求項６】プラズマ中の雰囲気ガスとしてアルゴン
を用いる請求項１〜５のうちいずれか一項記載の不織布
の表面処理方法。
【請求項７】プラズマ処理として高周波プラズマ処理
を用いる請求項１〜６のうちいずれか一項記載の不織布
の表面処理方法。
【請求項８】不織布に請求項１〜７のうちいずれか一
項記載の表面処理を施した後、物理的気相成長法（ＰＶ
Ｄ）または化学的気相成長法（ＣＶＤ）により被膜を形
成し、次いで未加硫ゴムを加熱圧着することを特徴とす
るゴム系複合材料の製造方法。
【請求項９】前記物理的気相成長法（ＰＶＤ）として
スパッタ法を用いる請求項８記載のゴム系複合材料の製
造方法。
【請求項１０】前記被膜が、コバルトまたはコバルト
酸化物からなる請求項８または９記載のゴム系複合材料
の製造方法。