JP2003004372A - 空気液化分離方法及び装置 - Google Patents

空気液化分離方法及び装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 負荷変化時に原料空気の圧力変化を伴う場合
でも、製品酸素及び製品窒素の純度仕様を満足させるこ
とができ、特に、ガス化複合発電設備と部分統合又は完
全統合したことによって原料空気の圧力が変化する空気
液化分離装置に有効な空気液化分離方法及び装置を提供
する。 【解決手段】 圧縮、精製、冷却した原料空気を、高圧
部精留と低圧部精留とを有する複式精留によって酸素及
び窒素を製造する空気液化分離方法において、前記原料
空気の圧力変化を伴う減量時又は増量時に、前記低圧部
精留の上昇ガスの一部を流量調節して抜き出す。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、空気液化分離方法
及び装置に関し、詳しくは、原料空気の圧力変化に対応
して減量運転や増量運転を行う空気液化分離方法及び装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、埋蔵量や産出地等に問題がある石
油から、他のエネルギー資源への依存度が高まりつつあ
る。また、発電所から排出される二酸化炭素の削減策の
一つとして、火力発電における熱効率の向上が急務とな
っている。これらの解決策の1つとして、高い熱効率を
期待できるガス化複合発電(IGCC:Integrated Gas
ification Combined Cycle)が注目されている。
【0003】ガス化複合発電では、石炭残渣や石油残渣
を部分酸化し、その時に発生する一酸化炭素と水素とを
燃料としてガスタービン発電を行うとともに、ガスター
ビンからの高温の排ガスを廃熱回収ボイラに導入し、ス
チームタービン発電を行うようにしている。この石炭残
渣や石油残渣の部分酸化工程は、大量の酸素を消費する
ことから、ガス化複合発電の実施には大規模な酸素製造
装置の併設が必要となる。
【0004】さらに、ガス化複合発電では、総合的な発
電効率向上のために、発電設備と酸素製造装置とを統合
する方式が多く採用されている。すなわち、ガスタービ
ンと同軸上に設置した空気圧縮機で圧縮した空気の一部
を酸素製造装置に供給しれ、酸素製造装置で発生した酸
素ガスをガスタービンの燃焼器に供給している。この場
合、発電設備から供給される空気の圧力が、従来の酸素
製造装置で必要な圧力と比較し高いため、エネルギー有
効利用の観点から蒸留塔(精留塔)の操作圧力を通常よ
り高くする必要がある。
【0005】また、発電設備の負荷変化幅は大きく、負
荷変化速度も速い。さらに、発電設備の負荷に応じてガ
スタービンと同軸上に設置された空気圧縮機の吐出圧力
も変化することから、酸素製造装置の原料空気圧力も変
化し、負荷変化時における酸素製造装置の挙動は、従来
の酸素製造装置とは異なるものとなる。
【0006】図4は、ガス化複合発電設備に併設されて
いる深冷空気分離法による酸素製造装置(空気液化分離
装置)の一例を示す系統図である。この空気液化分離装
置は、高圧塔11及び低圧塔12を有する複式精留塔1
0と、圧縮、精製された原料空気を分離ガスによって冷
却する熱交換器13とを備えるもので、図示しないガス
化複合発電のガスタービンと同軸上に設置した空気圧縮
機で圧縮され、吸着器で水分や二酸化炭素等の不純物を
除去されて精製された原料空気は、管路21に設けられ
た制御弁21Vで流量制御されて熱交換器13に流入
し、ここで酸素や窒素等の分離ガスと熱交換を行って所
定温度に冷却される。
【0007】熱交換機13で冷却された原料空気は、管
路22と管路23とに分岐し、管路22の原料空気はそ
のまま高圧塔11の下部に導入され、管路23の原料空
気は、膨張タービン14で減圧された後、管路24を通
って低圧塔12の中部に導入される。高圧塔11に導入
された原料空気は塔内を上昇し、凝縮蒸発器15で凝縮
して塔内を下降する流体と気液接触し、高圧部精留が行
われて塔上部の中圧窒素ガス及び液化窒素と塔底部の液
化空気とに分離する。
【0008】高圧塔11の上部から管路25に抜き出さ
れた液化窒素は、制御弁25Vで低圧塔12の圧力に減
圧された後、低圧塔12の上部に導入されて還流液化窒
素となる。また、高圧塔11の底部から管路26に抜き
出された液化空気は、制御弁26Vで低圧塔12の圧力
に減圧された後、低圧塔12の中部に導入されて還流液
化空気となる。さらに、高圧塔11の上部からは、管路
27に中圧窒素ガスが抜き出され、熱交換器13で昇温
してから中圧窒素圧縮機16で所定圧力に圧縮され、製
品窒素ガスとして回収される。
【0009】低圧塔12に管路24から導入された原料
空気及び管路26から導入された液化空気は、該低圧塔
12内での低圧部精留によって更に蒸留され、塔頂部の
窒素と塔底部の酸素とに分離する。低圧塔12の頂部か
ら管路28に抜き出された低圧窒素ガスは、熱交換器1
3で昇温してから低圧窒素圧縮機17で所定圧力に圧縮
され、製品窒素ガスとして回収される。また、低圧塔1
2の下部から管路29に抜き出された酸素ガスは、熱交
換器13で昇温してから酸素圧縮機18で所定圧力に圧
縮され、製品低酸素ガスとして回収される。
【0010】このような従来の空気液化分離装置に設け
られた制御器19は、ガス化複合発電設備からの信号に
より、管路29を通る製品酸素ガスの流量29F、管路
28を通る低圧窒素ガスの圧力28P、管路25を通る
還流液化窒素の流量25F、管路26を通る液化空気の
流量26F、管路21を通る原料空気の流量21Fを、
負荷変化の発生と同時にランプ状に変化させる制御を行
っている。
【0011】次に、このモデルを用いて圧力変化を伴う
負荷変化シミュレーションを行った結果を説明する。図
5に示すように、ガス化複合発電の減量時の負荷変化に
合わせて製品酸素の流量設定値GOFと製品窒素の圧力
設定値GNPとをランプ状に低下させた。同時に、制御
器19からの指令によって還流液化窒素流量、還流液化
空気流量、原料空気流量もランプ状に減少させている。
なお、本シミュレーションでは、製品窒素の圧力変化に
伴って精留塔の圧力が変化するため、これによって原料
空気の圧力変化を模擬している。
【0012】図6は、このときの製品窒素ガスの流量変
化を示すもので、GNF1は圧力変化がない場合、GN
F2は圧力変化がある場合の製品窒素流量の変化を示し
ている。図7は、同じく製品酸素中の酸素濃度変化を示
すもので、GOC1は圧力変化がない場合、GOC2は
圧力変化がある場合の製品酸素中の酸素濃度の変化を示
している。さらに図8は、製品窒素中の酸素濃度変化を
示すもので、NOC1は圧力変化がない場合、NOC2
は圧力変化がある場合の製品窒素中の酸素濃度変化を示
している。
【0013】図6乃至図8から明らかなように、減量時
に原料空気の圧力変化がある場合、製品酸素中の酸素濃
度(GOC2)は上昇するので問題ないが、製品窒素中
の酸素濃度(NOC2)は、15%以上にまで上昇する
ので、ガス化複合発電設備における仕様を満足できない
ことがわかる。
【0014】また、図9に示すように、ガス化複合発電
の増量時の負荷変化に合わせて製品酸素の流量設定値G
OFと製品窒素の圧力設定値GNPをランプ状に上昇さ
せた。同時に、還流液化窒素流量、還流液化空気流量、
原料空気流量もランプ状に増加させている。
【0015】図10は、このときの製品窒素の流量変化
を示すもので、GNF1は圧力変化がない場合、GNF
2は圧力変化がある場合の製品窒素流量の変化を示して
いる。図11は、同じく製品酸素ガス中の酸素濃度変化
を示すもので、GOC1は圧力変化がない場合、GOC
2は圧力変化がある場合の製品酸素中の酸素濃度の変化
を示している。図12は、製品窒素中の酸素濃度変化を
示すもので、NOC1は圧力変化がない場合、NOC2
は圧力変化がある場合の製品窒素中の酸素濃度変化を示
している。
【0016】図10乃至図12から明らかなように、増
量時に原料空気の圧力変化がある場合、製品酸素中の酸
素濃度(GOC2)は約75%まで低下し、さらに、製
品窒素中の酸素濃度(NOC2)も約2%まで上昇する
ので、ガス化複合発電設備における仕様を満足できない
ことがわかる。
【0017】このように、負荷変化時に仕様を満足でき
なくなるのは以下の理由によるものである。まず、減量
時には、原料空気の圧力が低下して精留塔の圧力も低下
するため、蒸留設備のマスバランスから得られる窒素ガ
ス流量よりも膨張による分だけ窒素ガスを多く抜き出す
必要がある。さらに、圧力低下によって液のホールドア
ップが蒸発するため、特に低圧塔においては、圧力変化
がない場合よりも上昇ガス量が増加し、L/V、即ち上
昇ガスに対する下降液の比が小さくなる。この結果、定
常状態に比べて製品窒素ガスの純度が低下(酸素濃度の
上昇)する。
【0018】逆に、増量時には、原料空気の圧力が上昇
して精留塔の圧力も上昇するため、マスバランスから得
られる窒素ガス流量よりも加圧に要する分だけ窒素ガス
の抜き出し量を少なくする必要がある。さらに、圧力上
昇によるガスのホールドアップの凝縮により、特に、低
圧塔においては、圧力変化がない場合よりも上昇ガス量
が減少してL/Vが大きくなる。この結果、定常状態に
比べて製品酸素中の酸素濃度(純度)が低下することに
なる。
【0019】このような問題を解決する方法の一つとし
て、米国特許第5224336号明細書に記載された方
法が知られている。この方法は、高圧塔(下部塔)から
低圧塔(上部塔)に供給される還流液化窒素のラインに
液化窒素タンクを設置し、L/Vが小さくなる減量時に
はこのタンクから液化窒素を供給し、L/Vが大きくな
る増量時にはこのタンクに液化窒素を貯蔵するようにし
ている。
【0020】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この方
法では、還流液化窒素を貯蔵するタンクが必要となるた
め、設備コストが増加するという問題があった。また、
一般に、液体の流量を制御する弁は応答性が悪く、この
方法のように還流液化窒素のラインに設置された複数の
バルブを確実に制御することも困難であった。
【0021】そこで本発明は、深冷空気分離法により酸
素及び窒素を製造するプロセスにおいて、負荷変化時に
原料空気の圧力変化を伴う場合でも、製品酸素及び製品
窒素の純度仕様を満足させることができ、特に、ガス化
複合発電設備と部分統合又は完全統合したことによって
原料空気の圧力が変化する空気液化分離装置に有効な空
気液化分離方法及び装置を提供することを目的としてい
る。
【0022】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の空気液化分離方法は、圧縮、精製、冷却し
た原料空気を、高圧部精留と低圧部精留とを有する複式
精留によって酸素及び窒素を製造する空気液化分離方法
において、前記原料空気の圧力変化を伴う減量時又は増
量時に、前記低圧部精留の上昇ガスの一部を流量調節し
て抜き出すことを特徴としている。さらに、前記上昇ガ
スの抜き出し量は、分離した前記窒素中の酸素濃度に応
じて調節することを特徴とし、前記減量時又は増量時の
際に、前記低圧部精留における還流液化窒素の流量を調
節することを特徴としている。
【0023】また、本発明の空気液化分離装置は、圧
縮、精製、冷却した原料空気を酸素及び窒素に分離する
ための高圧塔及び低圧塔を有する複式精留塔と、熱交換
器で冷却された前記原料空気を熱交換器から前記高圧塔
に導入する管路と、該高圧塔の下部に分離した液化空気
を減圧弁を介して前記低圧塔の中部に導入する管路と、
高圧塔の上部から製品窒素を導出する管路と、高圧塔の
上部から液化窒素を減圧弁を介して低圧塔の頂部に導入
する管路と、低圧塔の下部から酸素ガスを導出する管路
とを備えるとともに、低圧塔の中部から排ガスを導出す
る管路と、該管路に導出する排ガスの流量を調節する手
段とを備えていることを特徴としている。
【0024】さらに、前記排ガスの流量を調節する手段
は、前記製品窒素中の酸素濃度を測定する手段と、該手
段で測定した酸素濃度に応じて排ガスの流量を調節する
手段を制御する手段とを備えていることを特徴とし、前
記高圧塔の上部から低圧塔の頂部に導入する液化窒素の
流量を調節する手段と、前記製品窒素中の酸素濃度を測
定する手段と、該手段で測定した酸素濃度に応じて前記
液化窒素の流量を調節する手段を制御する手段とを備え
ていることを特徴としている。
【0025】
【発明の実施の形態】図1は、本発明を適用した空気液
化分離装置の一形態例を示す系統図である。なお、図4
に記載した空気液化分離装置の構成要素と同一の構成要
素には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【0026】この空気液化分離装置において、圧縮、精
製された原料空気は、制御弁21Vを通り、熱交換器1
3で冷却された後に分岐し、一方は管路22を通って高
圧塔11の下部に導入され、他方の原料空気は、膨張タ
ービン14で寒冷を発生した後、管路24を通って低圧
塔12の中部に導入される。
【0027】高圧塔11に導入された原料空気は、高圧
部精留によって塔上部の中圧窒素ガス及び液化窒素と塔
底部の液化空気とに分離する。高圧塔11から管路25
に抜き出された液化窒素は、制御弁25Vを通って低圧
塔12の上部に還流液化窒素として導入される。高圧塔
11から管路26に抜き出された液化空気は、制御弁2
6Vを通って低圧塔12の中部に還流液化空気として導
入される。高圧塔11から管路27に抜き出された中圧
窒素ガスは、熱交換器13、第1窒素圧縮機16を経て
製品窒素ガスとなる。
【0028】低圧塔12での低圧部精留により分離した
塔頂部の低圧窒素ガスは、管路28に抜き出されて熱交
換器13、第2窒素圧縮機17を経て製品窒素ガスとな
る。低圧塔12の下部に生成した酸素ガスは、管路29
に抜き出されて熱交換器13、酸素圧縮機18を経て製
品酸素ガスとなる。
【0029】さらに、前記低圧塔12の中部には上昇ガ
ス抜き出し用の管路31が設けられており、熱交換器1
3、制御弁31Vを通して所定量の上昇ガスを排ガスと
して抜き出せるようにしている。また、還流液化窒素が
通る管路25には、液化窒素中の酸素濃度を測定する液
化窒素中酸素濃度計25Cが、低圧窒素ガスが通る管路
28には、低圧窒素ガス中の酸素濃度を測定する低圧窒
素ガス中酸素濃度計28Cが、酸素ガスが通る管路29
には酸素ガス中の酸素濃度を測定する酸素ガス中酸素濃
度計29Cがそれぞれ設けられている。前記管路31か
らの排ガスの抜き出し量は、低圧窒素ガス中酸素濃度計
28Cで計測した製品窒素ガス中の酸素濃度が負荷変化
時においても仕様値を満足できるように、前記酸素濃度
に応じて制御弁31Vの流量設定が制御される。
【0030】このように形成された空気液化分離装置に
おいて、前記同様に、ガス化複合発電の減量時の負荷変
化に合わせて、前記図5に示したように、製品酸素ガス
の流量設定値GOFと製品窒素ガスの圧力設定値GNP
とをランプ状に低下させたシミュレーションを行った。
なお、この場合も、還流液化窒素流量、還流液化空気流
量、原料空気流量を同時にランプ状に減少させている。
【0031】前述のように、このような減量時には、原
料空気の圧力が低下するため、精留設備のマスバランス
から得られる窒素ガス流量よりも窒素ガスを多く抜き出
す必要があり、塔内の圧力低下による液のホールドアッ
プの蒸発によって低圧塔12における上昇ガスが増加す
るため、L/Vが小さくなって製品窒素中の酸素濃度が
上昇する。このようなときに、負荷変化と同時に低圧塔
12の中部から管路31を通して上昇ガスの一部を、製
品窒素中の酸素濃度に応じて所定量抜き出すことによ
り、負荷変化時においても塔内のL/Vを定常状態と略
同じにすることができる。これにより、図2に示すよう
に、負荷減少時においても、製品酸素濃度GOC及び製
品窒素濃度GNCを仕様値を満足する範囲内に維持する
ことができる。
【0032】また、前記図9に示したように、ガス化複
合発電の増量時の負荷変化に合わせて、製品酸素ガス流
量GOFと製品窒素ガス圧力GNPとをランプ状に上昇
させた。なお、この場合も、同時に、原料空気流量、還
流液化窒素流量、還流液化空気流量をランプ状に増加さ
せている。
【0033】このような増量時には、前述のように、原
料空気の圧力が上昇するため、精留設備のマスバランス
から得られる窒素ガス流量よりも抜き出す窒素ガス量を
減少させる必要があり、塔内の圧力上昇によるガスのホ
ールドアップの凝縮によって各塔内の上昇ガスが減少す
る。このとき、高圧塔11においては、上昇ガスの減少
量が低圧塔12と比較して小さく、増量による下降液の
増加速度が上昇ガスの増加速度と比較して遅いことによ
って塔内のL/Vが小さくなり、この結果、還流液化窒
素中の酸素濃度が上昇することになる。
【0034】還流液化窒素中の酸素濃度が上昇すると前
記液化窒素中酸素濃度計25Cの計測結果によって還流
液化窒素の流量25Fが減少するように制御弁25Vが
操作され、酸素濃度の上昇に伴って還流液化窒素流量を
減少させる。これにより、還流液化窒素に同伴されて低
圧塔12内に流入する酸素量の上昇を抑えることができ
るので、製品窒素の酸素濃度上昇を防止できる。
【0035】また、還流液化窒素流量の減少に伴い、低
圧塔12の上部、すなわち、管路26の接続部より上の
部分における還流液量が減少し、この部分におけるL/
Vが小さくなるので、負荷変化と同時に低圧塔12の中
部から管路31を通して抜き出す上昇ガス量を適正に設
定することにより、負荷変化時においても塔上部のL/
Vを定常状態と略同じにすることができる。これによ
り、図3に示すように、負荷増加時においても、製品酸
素濃度GOC及び製品窒素濃度GNCを仕様値を満足す
る範囲内に維持することができる。
【0036】このシミュレーションは、原料空気の定常
時の圧力を約11barAに設定したものであり、ガス
化複合発電設備から抽気される原料空気の圧力としては
比較的低い圧力となっているため、製品の仕様を十分に
満足することができる。
【0037】しかし、ガス化複合発電設備によっては、
より高い圧力で原料空気が抽気される場合がある。ま
た、ガス化複合発電設備のガスタービンにおける燃焼温
度は、発電効率向上のために今後さらに高くなることが
予想され、この場合には、抽気される原料空気の圧力は
さらに高くなる。
【0038】このような高圧の原料空気を直接精留塔に
供給すると、圧力の増加に伴って精留塔での酸素に対す
る窒素の比揮発度の値が小さくなり、蒸留分離が困難と
なる。この場合、管路28を通って前記第2窒素圧縮機
17で圧縮された低圧窒素ガスの一部を、図1に破線で
示す管路32に分岐し、熱交換器13で冷却後に制御弁
32Vを通して高圧塔11の上部に供給することによ
り、高圧塔11における還流液を増加させて蒸留分離を
促進させることもできる。この場合、低圧窒素ガス中酸
素濃度計28Cで計測した低圧窒素ガスの酸素濃度に応
じて制御弁32Vを操作することにより、導管32を通
る分岐窒素ガスの流量を適当に調節することができる。
【0039】また、低圧塔12において、膨張タービン
14で減圧した原料空気が通る管路24の位置と、排ガ
スを抜き出す管路31の位置とが同一乃至近接している
場合は、管路24を通る原料空気の一部又は全部を低圧
塔12に導入せずに管路31から抜き出しても実質的に
同様の効果が得られる。例えば、低圧塔12に接続する
管路を1本とし、該管路に管路24と管路31とを合流
させることにより、低圧塔12に接続する管路数を減少
させて設備費の削減を図れる。なお、定常時は、管路3
1からの排ガスの抜き出しは行わないようにしている
が、排ガスの用途があれば適当量を抜き出すようにして
もよい。
【0040】このように、負荷変化時に原料空気の圧力
の変化を伴う空気液化分離装置において、減量時に供給
される原料空気の圧力が低下することによる製品窒素ガ
ス中の酸素濃度の上昇を抑えるために、低圧塔上部にお
けるL/Vを定常状態と略同じになるように低圧塔の中
部から上昇ガスの一部を抜き出したり、増量時に供給さ
れる原料空気の圧力が上昇することによる製品窒素ガス
中の酸素濃度の上昇を抑えるために、低圧塔上部におけ
るL/Vを定常状態と略同じになるように、低圧塔の中
部から上昇ガスの一部を抜き出したりすることにより、
製品窒素ガス中の酸素濃度を仕様の範囲内に維持するこ
とができる。
【0041】なお、前記シミュレーションにおいて、製
品酸素ガスは、流量18700Nm /h、酸素濃度9
5%、負荷変化時の酸素濃度低下幅−1%、負荷変化時
の流量変動幅100〜60%、負荷変化時の流量変化速
度3%/minとし、中圧窒素ガスは、流量200Nm
/h、酸素濃度1%未満とし、残りのガスを酸素濃度
1%未満の低圧窒素ガスとして回収するにあたり、原料
空気圧力の変化幅を11〜7barAとした。
【0042】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
低圧塔上部におけるL/Vを定常状態と略同じになるよ
うに低圧塔の中部から上昇ガスの一部を抜き出すことに
よって製品窒素ガス中の酸素濃度を仕様の範囲内に維持
することができる。また、ガスの流量を制御しているの
で、還流液化窒素等の液流量を制御する場合と比較して
制御性にも優れている。さらに、ガスを抜き出すので、
液及びガスを貯蔵する必要が無く、追加の設備も不要で
ある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明を適用した空気液化分離装置の一形態
例を示す系統図である。
【図2】 減量時に本発明を適用したときの製品酸素中
の酸素濃度及び製品窒素中の酸素濃度の変化を示す図で
ある。
【図3】 増量時に本発明を適用したときの製品酸素中
の酸素濃度及び製品窒素中の酸素濃度の変化を示す図で
ある。
【図4】 従来の空気液化分離装置の一形態例を示す系
統図である。
【図5】 減量時における製品酸素流量の設定値と製品
窒素ガス圧力の設定値の変化を示す図である。
【図6】 減量時における製品窒素流量の変化を示す図
である。
【図7】 減量時における製品酸素中の酸素濃度の変化
を示す図である。
【図8】 減量時における製品窒素中の酸素濃度の変化
を示す図である。
【図9】 増量時における製品酸素流量の設定値と製品
窒素圧力の設定値の変化を示す図である。
【図10】 増量時における製品窒素流量の変化を示す
図である。
【図11】 増量時における製品酸素中の酸素濃度の変
化を示す図である。
【図12】 増量時における製品窒素中の酸素濃度の変
化を示す図である。
【符号の説明】
10…複式精留塔、11…高圧塔、12…低圧塔、13
…熱交換器、14…膨張タービン、15…凝縮蒸発器、
16…中圧窒素圧縮機、17…低圧窒素圧縮機、18…
酸素圧縮機、19…制御器、25C…液化窒素中酸素濃
度計、28C…低圧窒素ガス中酸素濃度計、29C…酸
素ガス中酸素濃度計、31…上昇ガス抜き出し用の管
路、31V…制御弁

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 圧縮、精製、冷却した原料空気を、高圧
    部精留と低圧部精留とを有する複式精留によって酸素及
    び窒素を製造する空気液化分離方法において、前記原料
    空気の圧力変化を伴う減量時又は増量時に、前記低圧部
    精留の上昇ガスの一部を流量調節して抜き出すことを特
    徴とする空気液化分離方法。
  2. 【請求項2】 前記上昇ガスの抜き出し量は、分離した
    前記窒素中の酸素濃度に応じて調節することを特徴とす
    る請求項1記載の空気液化分離方法。
  3. 【請求項3】 前記減量時又は増量時に、前記低圧部精
    留における還流液化窒素の流量を調節することを特徴と
    する請求項1記載の空気液化分離方法。
  4. 【請求項4】 圧縮、精製、冷却した原料空気を酸素及
    び窒素に分離するための高圧塔及び低圧塔を有する複式
    精留塔と、熱交換器で冷却された前記原料空気を熱交換
    器から前記高圧塔に導入する管路と、該高圧塔の下部に
    分離した液化空気を減圧弁を介して前記低圧塔の中部に
    導入する管路と、高圧塔の上部から製品窒素を導出する
    管路と、高圧塔の上部から液化窒素を減圧弁を介して低
    圧塔の頂部に導入する管路と、低圧塔の下部から酸素ガ
    スを導出する管路とを備えるとともに、低圧塔の中部か
    ら排ガスを導出する管路と、該管路に導出する排ガスの
    流量を調節する手段とを備えていることを特徴とする空
    気液化分離装置。
  5. 【請求項5】 前記排ガスの流量を調節する手段は、前
    記製品窒素中の酸素濃度を測定する手段と、該手段で測
    定した酸素濃度に応じて排ガスの流量を調節する手段を
    制御する手段とを備えていることを特徴とする請求項4
    記載の空気液化分離装置。
  6. 【請求項6】 前記高圧塔の上部から低圧塔の頂部に導
    入する液化窒素の流量を調節する手段と、前記製品窒素
    中の酸素濃度を測定する手段と、該手段で測定した酸素
    濃度に応じて前記液化窒素の流量を調節する手段を制御
    する手段とを備えていることを特徴とする請求項4記載
    の空気液化分離装置。
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