JP2003002674A - ガラス板の分割方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 反射防止膜のみが設けられたガラス板を分割
する際に、アライメントマークを設けずにガラス板の両
面から正確に分割できるガラス板の分割方法を提供す
る。 【解決手段】 ガラス板１０の反射防止膜１２が設けら
れている面に第１ダイシング溝３１を形成し、第１ダイ
シング溝３１を形成した面に粘着テープ２２を貼着し、
粘着テープ２２が貼着されているガラス板１０に光を照
射し、ガラス板１０からの反射光又は透過光により第１
ダイシング溝３１の位置を検出し、ガラス板１０の第１
ダイシング溝３１を形成した反対側の面に第１ダイシン
グ溝３１に沿って第２ダイシング溝３２を形成して分割
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス板の分割方
法に関し、特に、反射防止膜が設けられているガラス板
をチッピングを発生させずに分割できるガラス板の分割
方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、パーソナルコンピュータの画面を
壁面に拡大投射するための液晶プロジェクターが汎用さ
れている。図４に示すように、液晶プロジェクター４０
０は、光源４１０の光を赤Ｒ、緑Ｇ、青Ｂの三原色に分
光し、それぞれの光を同じ液晶画面が表示されるライト
バルブ４２０と呼ばれる液晶表示装置に通し、ライトバ
ルブ４２０を通ったそれぞれの光を合成し、投射レンズ
４３０で投射するものである。

【０００３】液晶プロジェクターに用いられるライトバ
ルブ４２０の構造の一例を図５に示す。このライトバル
ブ４２０は、四角筒状のケース４２１内に、液晶表示装
置として、入射側に対向基板４２２、出射側にＴＦＴ液
晶基板４２３が配置され、フレキシブル配線４２４がケ
ース外と液晶表示装置を接続している。対向基板４２２
の入射側表面に防塵カバーガラス４２５が接着され、Ｔ
ＦＴ液晶基板４２３の出射側の面にも防塵カバーガラス
４２５が接着されている。ケース４２１には入射側の開
口部をやや狭める見切り４２６が設けられている。見切
り４２６は、外周部のコントラストの向上、配線部の光
漏れを防止のために設けられている。

【０００４】防塵カバーガラス４２５は、ゴミが対向基
板４２２とＴＦＴ基板４２３の外面に付着するとゴミが
拡大投影表示されてしまうのを防止するため、ゴミを液
晶表示面から離間させてアウトフォーカスとすることに
よって、ゴミの付着を目立たなくする機能を有する。そ
のため、防塵カバーガラス４２５は、厚みが１．１ｍｍ
程度と厚くなっており、ＴＦＴ液晶基板４２３や対向基
板４２２に用いられているガラスと同じ材質の石英ガラ
スやネオセラムのようなガラスが用いられる。また、光
線透過量を良好にするために、外面に反射防止膜が設け
られている。

【０００５】防塵カバーガラス４２５の製造工程は、ベ
ースとなるガラス基板に反射防止膜を真空蒸着で形成し
た後、ガラス基板の一方の面に粘着テープを貼着し、ダ
イシングブレードで所定のカッティングラインに沿って
ガラス基板を粘着テープに達するように切断し、複数の
区画に分割して、所定の形状の防塵カバーガラスを切り
出して得るものである。

【０００６】ところが、ガラス基板をダイシングブレー
ドで１回で切断する方法は、ガラス基板の切断面にチッ
ピングが発生し、切断面に欠けが生じ、不良になってし
まうという問題がある。

【０００７】このような欠けの発生を回避するため、Ｌ
ＣＤ用のガラス板のカットをする際に、１回目のダイシ
ングでガラス基板にある程度溝を形成し、溝を形成した
面に粘着テープを貼り、反対側から２回目のダイシング
で１回目で形成した溝に達する溝を形成して両面からガ
ラス板を切断する方法が提案されている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、防塵カ
バーガラスは、ＬＣＤ用のガラス基板と異なり、単に反
射防止膜が形成されたガラス板であり、ガラス板自体に
位置合わせ用の目印となるものが形成されていないた
め、２回目のダイシングを行う際に、１回目のダイシン
グで形成した溝の位置を検出することが困難で、正確な
ダイシングが困難であるという問題がある。

【０００９】この場合、ガラス板の周縁部近傍に複数の
位置合わせ用のアライメントマークを設け、このアライ
メントマークを基準として１回目と２回目のダイシング
を行うことも可能であるが、アライメントマークを設け
た部分のガラスは製品として使えないため、歩留まりが
悪くなるという問題がある。

【００１０】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、反射防止膜のみが設けられたガラス板を分割する際
に、アライメントマークを設けずにガラス板の両面から
正確に分割できるガラス板の分割方法を提供することを
目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明者は、上記目的を
達成するため、鋭意検討を重ねた結果、反射防止膜に粘
着テープを貼着すると、反射防止膜はその機能を失って
かえって増反射膜となり、反射防止膜がある部分とない
部分との差が明確になることを知見した。そして、１回
目のダイシングで反射防止膜が設けられている側に溝を
設け、ダイシングを行った反射防止膜が設けられている
面に粘着テープを貼着し、ガラス板に光を照射し、その
反射光又は透過光から１回目のダイシングで設けた溝に
よって反射防止膜が削られているためにこの溝を明瞭に
検出でき、反対面から正確に２回目のダイシングを行う
ことができることを見い出した。

【００１２】このガラスの分割方法では、１回目のダイ
シングで設けた溝を光学的に検出してアライメントマー
クとして利用するため、位置合わせ用のアライメントマ
ークは特に必要がなく、製造の歩留まりを向上させるこ
とができる。

【００１３】また、一方の面にのみ反射防止膜が設けら
れているガラス板を分割して得られた分割ガラス板は、
ガラス板に反射防止膜が設けられているだけであるた
め、一見しただけではどちらの面に反射防止膜が設けら
れているかの判定が困難である。そのため、ライトバル
ブを組み立てるときの目印として、ダイシングブレード
で表裏識別標識を設けることが有効である。

【００１４】従って、請求項１記載の発明は、ガラス基
板の少なくとも一面側に反射防止膜が設けられたガラス
板の前記反射防止膜が設けられている面に所定のカッテ
ィングラインに沿って前記ガラス基板の厚さ未満の深さ
の第１ダイシング溝を形成する第１ダイシング工程と、
前記ガラス板の前記第１ダイシング溝を形成した面に粘
着テープを貼着する貼着工程と、前記ガラス板の前記第
１ダイシング溝を形成した反対側の面に前記第１ダイシ
ング溝に沿って第２ダイシング溝を形成し、前記ガラス
板を前記カッティングラインに沿って分割する第２ダイ
シング工程とを有することを特徴とするガラス板の分割
方法を提供する。

【００１５】請求項２記載の発明は、請求項１記載のガ
ラス板の分割方法において、前記第２ダイシング工程前
に、前記粘着テープが貼着されているガラス板に光を照
射し、ガラス板からの反射光又は透過光により前記第１
ダイシング溝の位置を検出する検出工程を有することを
特徴とするガラス板の分割方法を提供する。

【００１６】請求項３記載の発明は、請求項１記載のガ
ラス板の分割方法において、前記ガラス板に位置合わせ
の基準となるアライメントマークが設けられていないこ
とを特徴とするガラス板の分割方法を提供する。

【００１７】請求項４記載の発明は、請求項１記載のガ
ラス板の分割方法において、前記ガラス基板の一方の面
にのみ反射防止膜が設けられたガラス板を分割する際
に、前記第１ダイシング溝又は第２ダイシング溝を形成
したダイシングブレードを用いてガラス板表面に反射防
止膜が設けられている面を示す表裏識別標識を形成する
ことを特徴とするガラス板の分割方法を提供する。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明のガラス板の分割方
法の実施の形態について説明するが、本発明は以下の実
施の形態に限定されるものではない。

【００１９】本発明のガラス板の分割方法は、例えばガ
ラス基板の少なくとも一面側に反射防止膜が設けられた
ガラス板の反射防止膜が設けられている面に第１ダイシ
ング溝を形成する第１ダイシング工程、第１ダイシング
溝を形成した面に粘着テープを貼着する貼着工程、粘着
テープが貼着されているガラス板に光を照射し、ガラス
板からの反射光又は透過光により第１ダイシング溝の位
置を検出する検出工程、ガラス板の第１ダイシング溝を
形成した反対側の面に第１ダイシング溝に沿って第２ダ
イシング溝を形成し、ガラス板をカッティングラインに
沿って分割する第２ダイシング工程を有する。

【００２０】本発明のガラス板の分割方法に用いられる
ベースとなるガラス板としては、ガラス基板の少なくと
も一面側に反射防止膜が形成されている必要がある。典
型的には、液晶プロジェクターのライトバルブに用いら
れている防塵カバーガラスを製造するためのガラス板で
あり、ガラス基板の一方の面にのみ反射防止膜が設けら
れているガラス板を例示することができる。その他に、
ＣＲＴや液晶表示装置の前面板などを例示することがで
きる。この場合、反射防止膜はガラス基板の両面に設け
られていてもよく、また、ハードコート膜等が反射防止
膜とガラス基板との間に介在していてもよい。ガラス基
板は、ライトバルブなどに用いる場合は熱膨張率が小さ
い石英ガラスやホウケイ酸ガラスを用いるが、通常のソ
ーダ石灰ガラスや無アルカリガラス等でもよい。反射防
止膜は、単層又は多層の有機膜又は無機膜で構成される
が、特に限定されるものではない。防塵カバーガラスを
得るためのガラス板には、反射防止膜が設けられている
他は、位置合わせの基準となるアライメントマークは設
けられていない。

【００２１】図１は、本発明のガラス板の分割方法の一
実施形態を示すフローチャートである。このフローチャ
ートでは、ガラス板１０として、ガラス基板１１の一面
側にのみ反射防止膜１２が設けられているものを用いて
いる。

【００２２】まず、図１（ａ）に示すように、ガラス基
板１１の反射防止膜１２が設けられている面と反対面に
第１粘着テープ２１を粘着剤層２１１を介して貼着する
第１貼着工程を行う。この第１粘着テープ２１として
は、粘着剤層２１１が通常は強力な粘着力を有するが、
例えば紫外線、電子線等を照射することにより、硬化し
て粘着力が大幅に低下し、剥離し易くできる特性を有す
るものを用いることが好ましい。

【００２３】次に、図１（ｂ）に示すように、所定のカ
ッティングラインに沿って反射防止膜１２が設けられて
いる面に対して図示しないダイシングブレードを用いて
第１ダイシング溝３１を設ける第１ダイシング工程を行
う。この第１ダイシング溝３１の深さは、ガラス板１０
を切断しないように、ガラス板１０の厚さ未満とする。

【００２４】次に、図１（ｃ）に示すように、第１粘着
テープ２１に紫外線等を照射し、粘着剤層２１１を硬化
させて粘着力を低下させる。そして、第１粘着テープ２
１と同様の特性を有する第２粘着テープ２２を反射防止
膜１２の上に粘着剤層２２１を介して貼着した後、第１
粘着テープ２１を剥離する第２貼着工程を行う。

【００２５】次に、検出工程を行う。図１（ｃ）は検出
工程を行う時のガラス板１０を示している。図１（ｃ）
に示すように、ガラス板１０には、第１ダイシング溝３
１が設けられ、その部分で反射防止膜１２が消失してい
る。反射防止膜１２には、第２粘着テープ２２が粘着剤
層２２１を介して貼着されている。

【００２６】反射防止膜１２は、空気との界面での反射
を抑制して透過光量を多くするように設計されている。
反射防止膜１２は、空気側からガラス基板１１に光が入
射するときに空気側への反射を抑制する場合と、ガラス
基板１１を通過した光が空気側に抜けていくときに、ガ
ラス基板１１側への反射を抑制する場合の両方に有効で
ある。ところが、反射防止膜１２の表面に第２粘着テー
プ２２の粘着剤層２２１が密着していると、粘着剤層２
２１は空気より屈折率が高いために、反射防止膜１２は
反射防止膜としての機能が失われ、かえって反射防止膜
がない場合よりも反射が増加し、増反射膜として機能す
る。

【００２７】図２は、４層の多層膜で構成される反射防
止膜の反射率の分光スペクトルを示すグラフである。実
線は粘着テープが貼着されていない空気との界面を有す
る場合の反射率（％）を示し、破線は粘着テープを貼着
した場合の反射率を示している。粘着テープを貼着する
ことによって反射率が顕著に増加している。４００ｎｍ
から７００ｎｍの分光反射率の平均値は、空気に対して
０．６２％であるが、粘着テープを貼着した場合は３．
１７％と増加する。

【００２８】図１（ｃ）に示したガラス基板１１に形成
した第１ダイシング溝３１の検出を行うには、第２粘着
テープ２２を反射防止膜１２の上に貼着したガラス基板
１１に対して、第２ダイシング溝を設けるアンカット面
側から又は粘着テープ２２側からガラス基板１２に対し
て垂直方向の光を照射し、その反射光又は透過光を例え
ばＣＣＤカメラ等の撮像手段で撮像する。

【００２９】反射光が撮像された画像は、反射防止膜１
２での反射量が第１ダイシング溝３１の部分より多く、
第１ダイシング溝３１の部分で暗くなるため、第１ダイ
シング溝３１を暗部として検出することができる。ま
た、透過光が撮像された画像は、反射防止膜１２が存在
する部分で反射が大きく、透過光量が少なくなってお
り、一方第１ダイシング溝３１の部分で反射量が少な
く、透過光量が多いため、第１ダイシング溝３１の部分
で周囲より明るくなり、第１ダイシング溝３１を明部と
して検出することができる。このようなＣＣＤ画像を例
えば２値化処理して第１ダイシング溝３１の位置をコン
ピュータで演算することができる。

【００３０】そして、図１（ｄ）に示すように、位置を
検出した第１ダイシング溝３１に対応するガラス基板１
１の対向面をダイシングブレードで第１ダイシング溝３
１と正確に重なる第２ダイシング溝３２を形成し、第１
ダイシング溝３１と第２ダイシング溝３２とを連通させ
て、ガラス基板１１を分割する第２ダイシング工程を行
う。

【００３１】その後、第２粘着テープ２２に紫外線等を
照射し、粘着剤層２２１を硬化させて粘着剤層２２１の
粘着力を弱め、粘着テープ２２から分割した各分割ガラ
ス板１００を剥離する。その後、分割ガラス板１００の
寸法検査、洗浄等を行って製品として出荷する。

【００３２】このようなガラス板の分割方法は、ガラス
板１０を両面から溝を形成して切断しているため、切断
面に欠けが生じ難く、不良品の発生を抑制し、歩留まり
を向上させることができる。

【００３３】また、粘着テープ２１、２２にはダイシン
グを行っていないため、粘着テープの粘着剤がダイシン
グブレードに付着し、ガラスの切削片の付着によるガラ
ス基板１１への損傷及び汚れ等の不都合が生じない。

【００３４】更に、第１ダイシング溝３１の位置を光学
的に読み取り、第１ダイシング溝３１をアライメントマ
ークとして利用するので、ガラス基板１１には正確に位
置合わせするためのアライメントマークを形成しなくて
もよい。そのため、アライメントマークを形成した部分
の無駄がなく、ベースとなったガラス板１０の全体を分
割して製品化することが可能であり、歩留まりが良く、
生産コストを低減することができる。

【００３５】上記説明では、第１ダイシング溝３１と第
２ダイシング溝３２とも断面矩形のダイシングブレード
で形成し、切断面を垂直方向に形成しているが、ダイシ
ング溝の形状は問わず、例えばＶ字状の溝であってもよ
く、第１ダイシング溝３１の幅と第２ダイシング溝３２
の幅とが異なっていてもよい。

【００３６】なお、反射防止膜がガラス基板の両面に設
けられていても、第１ダイシング溝を光学的に検出する
方法には影響がないため、反射防止膜はガラス基板の両
面に設けられていてもよい。

【００３７】次に、防塵カバーガラスを製造する際にガ
ラス板に形成する表裏識別標識について説明する。

【００３８】液晶プロジェクター４００のライトバルブ
４２０に用いられる防塵カバーガラス４２５には、一方
の面にのみ反射防止膜が設けられており、ライトバルブ
４２０を組み立てる際にガラス基板１１の反射防止膜１
２が設けられていない方の面を液晶表示装置の対向電極
４２２又はＴＦＴ液晶基板４２３面に接着剤で貼り付け
る。防塵カバーガラスを貼り付ける際に、平らな矩形状
の透明ガラス板である防塵カバーガラスのどちらの面に
反射防止膜が形成されているかを目視で判定することは
困難である。そのため、本実施形態のガラス板の分割方
法では、ガラス板に表裏識別標識を形成し、反射防止膜
が設けられている面を識別できるようにしている。

【００３９】図３は、ガラス基板にカッティングライン
に沿って第１ダイシング溝を設けると共に、表裏識別標
識を設けた例を示しており、（ａ）は平面図、（ｂ）は
一部の断面図である。

【００４０】このガラス板１０には、図３（ｂ）に示す
ように、ガラス板１０の反射防止膜１２を設けた面と反
対面に第１粘着テープ２１が貼着され、図１（ｂ）に示
したと同じ方法でガラス板１０にダイシングブレードを
用いて第１ダイシング溝３１が形成され、更に、同じダ
イシングブレードを用いて、表裏識別標識として、ガラ
ス板１０表面を削った浅い表裏識別溝４１が形成されて
いる。

【００４１】表裏識別溝４１は、図３（ａ）に示すよう
に、ガラス板１０の縦方向に延伸する第１ダイシング溝
３１ａ及び右側縁をそのままわずかに図面左側に平行移
動した位置に設けられた縦方向表裏識別溝４１ａと、ガ
ラス基板１１の幅方向に延伸する第１ダイシング溝３１
ｂ及び下縁をそのままわずか図面上側に平行移動させた
位置に形成されている横方向表裏識別溝４１ｂとの２本
の溝を有する。

【００４２】そのため、第２ダイシング溝３２を形成し
て第１ダイシング溝３１にそってガラス板１０を分割し
た分割ガラス板１００には、分割ガラス板１００の右側
面に接近した縦方向表裏識別溝４１ａと下側面に接近し
た横方向表裏識別溝４１ｂの２本の表面溝が形成されて
いる。分割ガラス板１００の反射防止膜１２が設けられ
ている面を識別するには、縦方向表裏識別溝４１ａを右
側に、横方向表裏識別溝４１ｂを下側に配置すると、反
射防止膜１２が設けられている面が上になっていること
になり、反射防止膜１２が設けられている面を識別する
ことができる。

【００４３】表裏識別溝４１は、図５に示したライトバ
ルブ４２０に入射側の開口部をやや狭める見切り４２６
が設けられているため、ライトバルブ４２０に装着した
ときには、光学系に影響を与えることはない。図３で
は、分かり易くするため表裏識別溝４１を第１ダイシン
グ溝３１と離れているようになっているが、実際にはか
なり接近して形成される。

【００４４】このような表裏識別溝４１をダイシングブ
レードで設ける方法は、第１ダイシング溝３１を設けた
位置からややずれた位置に同じ間隔で同じダイシングブ
レードを用いて、第１ダイシング溝３１を設ける条件を
わずかに変えるだけで形成できるため、特別な装置が不
要であり、容易に形成できる。

【００４５】表裏識別標識は、図示のものに限られず、
ガラス板の表裏を判別できれば足り、例えば反射防止膜
が設けられていない面に、第２ダイシング溝３２と共に
設けてもよく、形状も溝に限定されるものではない。

【００４６】

【発明の効果】本発明のガラス板の分割方法によれば、
アライメントマークが設けられていなくても、反射防止
膜が設けられた面に形成されたダイシング溝に沿って反
対面に正確にダイシング溝を形成してガラス板を両面ダ
イシングによって分割することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のガラス板の分割方法の工程を示すフロ
ーチャートである。

【図２】反射防止膜の界面に粘着テープが貼着されてい
る場合といない場合の反射率の違いを示すグラフであ
る。

【図３】（ａ）は表裏識別溝を設けた例を示す平面図で
あり、（ｂ）は一部の断面図である。

【図４】液晶プロジェクターの概略構成を示す構成図で
ある。

【図５】液晶プロジェクターに用いられているライトバ
ルブの構造を示す断面図である。

【符号の説明】

１０ ガラス板 １１ ガラス基板 １２ 反射防止膜 ２１ 第１粘着テープ ２２ 第２粘着テープ ３１ 第１ダイシング溝 ３２ 第２ダイシング溝 １００ 分割ガラス板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松田 岳男 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ ーエプソン株式会社内 Ｆターム(参考） 4G015 FA01 FB01 FC02 FC10 FC14

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガラス基板の少なくとも一面側に反射防
   止膜が設けられたガラス板の前記反射防止膜が設けられ
   ている面に所定のカッティングラインに沿って前記ガラ
   ス基板の厚さ未満の深さの第１ダイシング溝を形成する
   第１ダイシング工程と、 前記ガラス板の前記第１ダイシング溝を形成した面に粘
   着テープを貼着する貼着工程と、 前記ガラス板の前記第１ダイシング溝を形成した反対側
   の面に前記第１ダイシング溝に沿って第２ダイシング溝
   を形成し、前記ガラス板を前記カッティングラインに沿
   って分割する第２ダイシング工程とを有することを特徴
   とするガラス板の分割方法。
2. 【請求項２】 請求項１記載のガラス板の分割方法にお
   いて、 前記第２ダイシング工程前に、前記粘着テープが貼着さ
   れているガラス板に光を照射し、ガラス板からの反射光
   又は透過光により前記第１ダイシング溝の位置を検出す
   る検出工程を有することを特徴とするガラス板の分割方
   法。
3. 【請求項３】 請求項１記載のガラス板の分割方法にお
   いて、 前記ガラス板に位置合わせの基準となるアライメントマ
   ークが設けられていないことを特徴とするガラス板の分
   割方法。
4. 【請求項４】 請求項１記載のガラス板の分割方法にお
   いて、 前記ガラス基板の一方の面にのみ反射防止膜が設けられ
   たガラス板を分割する際に、前記第１ダイシング溝又は
   第２ダイシング溝を形成したダイシングブレードを用い
   てガラス板表面に反射防止膜が設けられている面を示す
   表裏識別標識を形成することを特徴とするガラス板の分
   割方法。