JP2002543472A - 直線性を測定するための方法と装置 - Google Patents
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Abstract
Description
テップで走行可能な作業キャリッジを備えた再生機器における直線性を測定する
ための方法と装置に関する。
スキャナ、彫刻機又は版板、フィルム、箔膜、紙等のための露光器である。作業
キャリッジの駆動は概ね、形状噛合い式に連結される動力伝達エレメント、例え
ばスピンドル、ラック、歯付きベルト及び/又は歯車を介して行われる。このよ
うな動力伝達エレメントは、製作に起因した誤差を有し、該誤差は、送り行程の
直線性を害なうので、再生機器に高い解像能が要求される場合、考慮されねばな
らない。
少ない直線性が要求される。つまり1メートルに関して直線性偏差値は+/−5
0μm以下でなくてはならない。作業キャリッジの送り方向でのこの精度を得る
ためには、例えば球循環原理に基づいて作業しかつ1回転当り1μm以下のリー
ド誤差を有する搬送スピンドルのような高精度の動力伝達エレメントが必要であ
る。例えば精密工作機械において動力を伝達するために存在している、このよう
な駆動エレメントは著しくコスト高になる。更に該駆動エレメントは、再生機器
において使用するためには、再生機器において伝達すべき動力が比較的小さいた
めに、オーバーサイズに設計されている。露光器におけるトルクの弱い駆動モー
タの場合、該駆動モータは、構造に起因したトルク変動を伴うので、更に顕著な
欠点を有している。
る場合には、比較的単純な、従って精度の比較的低い駆動エレメントを使用する
こと自体は可能であるかもしれない。所要の精度を与える長さ測定法としては、
例えばインターフェロメータ又はガラススケールによる測定値検出法がある。し
かしながら該測定値検出法の分解能は、この検出法が、理論的に達成可能な分解
能を数倍上回るところの重畳したシステマティックな誤差を有しているので、要
求される測定精度よりも著しく高く選ばれねばならない。更にまた、このような
高分解能の長さ測定システムは、製造コスト及び使用コストの点で極めて高くつ
く。
ように、直線性を測定するための方法と装置を改良することである。
れ、かつ装置に関しては請求項16の特徴部に記載した手段によって解決される
。有利な構成及び実施形態は、従属請求項に記載した通りである。
って、本発明の方法は、完全に機械内的に実施することができる。これとは択一
的に又、データを記録して貯えた後に再び取り外される適当な測定工具を機械内
へ挿入することも可能である。データの評価は再生機器内又は再生機器外で、例
えばパソコンで実施することができる。
再生機器では、非連続ステップの計数が何れにしても行われるので、機械内部の
測定増分を本発明の方法を実施するために付加的に活用することが可能である。
さもなければ、例えば駆動装置に接続されたインクレメンタル発生器によって計
数値は電子的に容易に得ることができる。従って例えばステップモータのステッ
プ又は回転発生器タクトのような、既存の機械内部の測定増分を、本発明の方法
を実施するために付加的に使用することが可能である。
とその駆動装置である。しかしながらこの精密度に対する要求は、大した経費を
かけることなしに満たすことができる。それというのは付加キャリッジによって
確定される長さが、作業キャリッジの全走行距離よりも著しく短いからである。
から走行発進させられ、かつ付加キャリッジが、前記の作業キャリッジと付加キ
ャリッジとの間の第1の相対位置へもたらされる。それに続いて前記付加キャリ
ッジは、前記の作業キャリッジと付加キャリッジとの間の第2の相対位置へもた
らされ、しかもその場合、前記の第1と第2の相対位置間の距離は1つの部分軌
道区間の長さに相当している。次に作業キャリッジがシフトされ、その間、非連
続ステップが計数される一方、付加キャリッジはその場に留まっている。前記作
業キャリッジと前記付加キャリッジとの間に第1の相対位置が再現されると即座
に前記作業キャリッジは停止される。次いで付加キャリッジは、作業キャリッジ
がその場に留まっている間に、第2の相対位置へ再び移動させられ、かつ、作業
キャリッジと付加キャリッジとの互い違いのシフトが、全軌道区間を測定し終わ
るまで反復される。
利である。これによって、正確に規定された長さの確定並びに測定結果の評価が
容易になる。特にこの場合、作業キャリッジと付加キャリッジとの間の両相対位
置は、機械的なストッパ、電気機械的な駆動装置及び/又は光学センサのような
極めて単純な手段によって確定もしくは形成することができる。この第1の相対
位置は例えばストッパによって確定されるが、第2の相対位置を確定するために
は、むしろ例えば差動光センサのような光学手段の方が適している。
まらせるために自縛機構を有している。これとは択一的に付加キャリッジのため
には、能動的なブレーキ又はその他のブロッキング装置を設けておくことも可能
である。
イドに沿って案内されるのが有利であるが、独自の案内路を有することもできる
。付加キャリッジ用の独自の案内路を設ける方が場合によっては有利になるのは
、例えば付加キャリッジが、本方法を実施するために再生機器内に挿入され次い
で再び取り外される測定工具を成している場合である。この場合、前記測定工具
は、別の機器において直線性を測定するために使用することもできる。
便に実施することができる。これによって再生機器の接続オン時に及び/又は再
生機器の操作員による要望に応じて自己補正が実施され、その際に、部分軌道区
間をベースとして生じる作業キャリッジの走行距離値と、ステップ計数によって
生じる作業キャリッジの走行距離値との間の算出偏差値が、再生機器のその後の
運転における前記作業キャリッジの駆動装置の補正のために使用される。
って走行させられ、該ねじスピンドルは駆動モータによって回転駆動される。部
分軌道区間をベースとして生じる作業キャリッジの走行距離値と、ステップ計数
によって生じる作業キャリッジの走行距離値との間の偏差値はこの場合、スピン
ドルリードの目標値からのスピンドルリードの実際値の偏差値に相当する。
の走行は、歯ピッチの目標値からの歯ピッチの実際値の偏差値を供給する。
ような噛合い連結された動力伝達エレメントによって駆動される作業キャリッジ
を備えた再生機器のために適しており、これらの動力伝達エレメントは、スリッ
プはしないが、製作に起因した再現可能なかつ(周期的であれ非周期的であれ)
反復性の(リード誤差又はピッチ誤差を含めた)直線性誤差を有している。
て補償されるので、動力伝達エレメントは本発明の方法を実施する場合、ただ反
復性誤差を発生するという要求だけを満たせばよい。例えば単純な転造スピンド
ルを使用することが可能である。
レメントによるのとは異なった何らかの方式で駆動される作業キャリッジを備え
た再生機器のためにも適している。駆動装置の1例としては、作業キャリッジに
ロータを取り付けた電磁式リニアモータが挙げられる。
ルはステップモータによって回転駆動されるのが有利である。ステップモータは
低廉であり、かつ極めて高分解性の回転増分化並びに無視できるシステマティッ
クな誤差(質的には回転信号発生器及びタクト円板と比較可能な誤差)をもって
入手可能である。
区間の長さが、予め規定された少なくとも2つの異なった設定値の中から選択可
能であり、しかも少なくとも1つの設定値がスピンドルリードよりも著しく小さ
く、かつ少なくとも1つの設定値がスピンドルリードよりも著しく大きいのが有
利である。このようにすれば、所望に応じて、短周期のリード誤差、つまりスピ
ンドルの1回転中の誤差及び/又は複数回のスピンドル回転にわたる長周期のリ
ード誤差を、できるだけ正確に検出することが可能になる。歯噛合い式駆動装置
の場合には、歯ピッチについても同等のことが該当する。
線案内)2を有し、該リニアガイドは、光学的に走査されようとする或いは光学
的情報に記録されようとする媒体(図示せず)の全幅又は全長にわたって横方向
に延在している。該リニアガイド2に対して平行に1本の長く延びたスピンドル
4が延在し、該スピンドルは外周にねじ山を有している。スピンドル4は一方の
端部でステップモータ6と結合されており、このステップモータ6は、該ステッ
プモータに電気的な制御パルスが供給されるとステップ・バイ・ステップ式にス
ピンドル4を回動する。各ステップはスピンドル4の定回転角、例えば1/10
000回転に相当する。スピンドル4の回転速度は、ステップモータ6に供給さ
れる制御パルスの周波数に相当する。
業キャリッジ10が支承されており、該作業キャリッジはリニアガイド2の方向
にシフト可能である。作業キャリッジ10は、略示したロックエレメント12、
例えば遊びのない緊締ナットを介してスピンドル4のねじ山と係合している。従
って作業キャリッジ10は、ステップモータ6がスピンドル4を一方向又は他方
向に回動すると、図面で見て右手又は左手へ向かって緩動する。
学的に検出(スキャンニング)するためのセンサ又はセンサアレー、彫刻ヘッド
、露光ヘッド又はプリントヘッドを保持している。
保持し、該測定インターバルシフターは、リニアガイド2に対して平行に延在し
てケーシング16内に支承されているので、該測定インターバルシフターは、リ
ニアガイド2に対して平行に作業キャリッジ10に対してシフト可能である。前
進方向、つまり図面で見て右手方向での測定インターバルシフター14の運動空
隙は正確に規定されている。しかも該測定インターバルシフター14は、作業キ
ャリッジ10に固着されたストッパ18に当接するまで前進することができる。
測定インターバルシフター14はその場合、作業キャリッジ10に対して、図2
に破線で示した位置を占める。図1は、測定インターバルシフター14の後退位
置を示し、該後退位置は正確に規定する必要はない。測定インターバルシフター
14のための適当な電磁駆動装置の図示は省かれているが、該電磁駆動装置によ
って測定インターバルシフター14は前進させられ、また必要に応じて後退させ
られる。このような駆動装置は例えば、ケーシング16内に組込まれた電磁石又
は電動機であってもよい。
ドに付加キャリッジ20が、滑り軸受22によってシフト可能に支承されている
。リニアガイド2における付加キャリッジ20の支承装置は、スリップダンパー
のような何らかの形式の自縛機構を有しているので、付加キャリッジ20は常態
ではその位置に留まり、かつ自縛作用を克服してのみシフトすることができる。
業キャリッジ10にではなく、付加キャリッジ20に装着されている。
するための装置の一部分が装着されている。本実施例では付加キャリッジ20に
光源24が固着されており、かつ作業キャリッジ10には差動ダイオード26が
固着されている。光源24は、作業キャリッジ10と付加キャリッジ20が、図
1に示した第1の相対位置に在る場合に、差動ダイオード26に小さな照光スポ
ットを発生する。極めて近接した2つの感光面を有し、その出力信号が互いに比
較されるところの差動ダイオード26によって、第1の相対位置を極めて正確に
確定することが可能である。
明する。この測定法は、例えばマイクロプロセッサによる制御によって自動的に
実施することができる。
ート位置へもたらされて其処で確保される(図4のS1)。付加キャリッジ20
は作業キャリッジ10に対する第1の相対位置(図1)へもたらされ、この第1
の相対位置は、差動ダイオード26が光源24の照光スポットの正しい位置を記
録することによって確定される(S2)。
ー14がストッパ18に達するまで発進される。これによって付加キャリッジ2
0は、正確に規定された測定インターバルL分だけ第2の相対位置(図2)へシ
フとされ、其処で付加キャリッジは自縛作用に基づいて停止する(S3)。ここ
で測定インターバルシフター14は後退することができ、或いは測定インターバ
ルシフター14の駆動装置は作業原理に応じて非働化され又は連結を断たれるの
で、測定インターバルシフター14はそれに続いて易動的に滑り戻ることができ
る。
リッジ10はステップずつゆっくり前進させられる。各送りステップ毎に(S4
)、作業キャリッジ10と付加キャリッジ20との間に第1の相対位置(図1)
が再び得られたかどうかが検査される(S5)。差動ダイオード26が第1の相
対位置に達したことを記録すると即座に、作業キャリッジ10の駆動装置は停止
される(S6)。
が第1の相対位置を超えて走行することなく事実上即座に停止するように、ゆっ
くり行われねばならない。例えば、第1の相対位置に達する直前に、測定速度を
低下させる信号を発生するために別の光源又は別の差動ダイオードを使用する場
合には、より大きな測定速度を得ることができる。
否かが検査される(S7)。まだ到達していない場合には、作業キャリッジ10
を停止させたままで付加キャリッジ20が再び第1の相対位置へもたらされ(S
2)、かつ走行はスピンドル終端に達するまで続行される。
測定インターバルの通し番号n(S2)並びにi回目の測定インターバルLを通
過するのに必要とされた非連続的なステップ数miが記憶される(S6)。作業
キャリッジ10がステップモータ6によって前進させられる場合に該作業キャリ
ッジ10が行う非連続的なステップの一定長をxとする。次の数式値
10の走行距離nLのための数値と、全体的に必要とするステップの計数によっ
て生じる作業キャリッジ10の走行距離のための数値との間の差値である。
ド実際値が算定される。図3ではスピンドル4のリード実際値が曲線30によっ
て表わされている。リード目標値は直線32によって表されている。垂直二重矢
印34は若干な部位において、前記数式のf(n)値に相当する、リード目標値
とリード実際値との間の偏差値を表わしている。
テップモータ6のための制御パルスの周波数を各測定インターバルL毎に修正し
て作業キャリッジ10を正確に直線運動させるようにするために、再生機器の後
続運転において使用される。リード実際値がリード目標値よりも小さい測定イン
ターバルLでは制御パルスの周波数は幾分上げられ、リード実際値がリード目標
値よりも大きい測定インターバルLでは制御パルスの周波数は幾分下げられる。
この修正はマイクロプロセッサによって同じく自動的に実施される。
能及び測定もしくは補正すべきエラーに適合させて選択される。例えばスピンド
ル4は2mmのリードを有し、かつステップモータ6は、毎回転当り10000
非連続ステップの角度分解能を有している。ステップモータ6によって前進させ
られる場合に作業キャリッジ10が実施する非連続ステップの長さxはその場合
0.2μmである。測定インターバルLがリードと同じ大きさ、つまり2mmに
されると、直線性測定は測定インターバル当り0.2μmの精度を有している。
しかしながら、更なる測定インターバル毎に、長さLの確定時に入念な注意を払
ったにも拘わらず誤差が加算される。従ってスピンドル長さの増大に伴って誤差
は大きくなる。
ンドル全長にわたって正確に検出できるようにするためには、測定インターバル
の長さLは、より大きく、例えばスピンドルリードの10倍以上に選ばれる。短
周期的(高周波数的)なリード誤差、つまりスピンドル1回転中の誤差を正確に
検出するためには、測定インターバルの長さLは、より小さく、例えばスピンド
ルリードの1/10に選ばれる。より小さな、もしくは、より大きな測定インタ
ーバルを伴う測定は、諸種のリード誤差を正確に検出するために、個別的にか又
は相前後して選択的に実施することができる。
には、差動ダイオード26は、この精度をもって光源24の位置を認識できねば
ならない。このような精度は差動ダイオードによって問題なく達成される。しか
し原理的には、個々の事例で生じる精度要求が満たされる限り、位置検知のため
に別のセンサ、例えば二又ライトバリア(Gabellichtschranke)も考えられる。
ターとして説明した。このような装置の場合、送り行程の正確な再現性を保証す
ることは恐らく困難である。軸受遊び及び摩耗を伴う問題を回避するために、測
定インターバルシフター14を、例えば循環球を備えた角柱ガイドに沿って滑動
させることが可能である。
の差動ダイオードのようなセンサを使用することも可能であり、該センサを介し
て測定インターバルシフター14の駆動装置は、該測定インターバルシフター1
4がその走行距離を完全に走行し終わると、即座に停止される。この場合測定イ
ンターバルシフター14は、やはり高分解能を有するステップモータによって駆
動されるのが有利である。該ステップモータが、機械全長にわたる精密スピンド
ルよりも遥かに低廉になる精密ねじスピンドルを介して測定インターバルシフタ
ー14と連結される場合には、測定インターバルシフター14の終端位置を検出
するためのセンサを省くことが可能になる。更にまた測定インターバルシフター
14の送り距離、つまり測定インターバルLを完全に自由選択することが可能に
なる。この場合1回の測定動作中に測定インターバルLを種々の長さに選択する
ことができ、すなわちスピンドル4を区分別に異なった分解能で測定することが
可能になる。
案内する必要はなく、むしろ独自のガイド、例えば循環球を備えた角柱ガイドを
有することもできる。
なブロッキング装置、或いは付加キャリッジ20をそのガイド上に確保できる電
磁石を設けることも可能である。
た差動ダイオード26を配置変換することもできる。更に光源24及び/又は差
動ダイオード26を付加キャリッジ20もしくは作業キャリッジ10に装着する
必要はなく、再生機器内の別の部位に配置しておくことも可能である。このよう
な場合、付加キャリッジ20もしくは作業キャリッジ10は、何らかの光変向装
置、例えば単数又は複数のレフレクタを支持しており、該レフレクタは光源から
受光し、もしくはその光を差動ダイオード又はその他のセンサ装置へ移送する。
このような外部ユニットは付加キャリッジ20の場合に特に有利である。それと
いうのは付加キャリッジ20へのフレキシブルな導電線が省けるからである。
このような増分の使用を設計的に可能にする場合、或いは、相応の距離増分又は
時間増分を発生させる何らかの測定センサが駆動装置に設けられる場合には、回
転角増分に代えて、充分正確な距離増分又は時間増分を使用することも可能であ
る。
略的な原理図である。
略的な原理図である。
滑り軸受、 10 作業キャリッジ、 12 緊締ナットのようなロック
エレメント、 14 測定インターバルシフター、 16 ケーシング、
18 ストッパ、 20 付加キャリッジ、 22 滑り軸受、 24
光源、 26 差動ダイオード、 30 スピンドルのリード実際値を表
わす曲線、 32 スピンドルのリード目標値を表わす直線、 34 リー
ド偏差値を表わす垂直二重矢印、 L 測定インターバルの長さを表わす水平
二重矢印
Claims (26)
- 【請求項1】 走査装置又は記録装置を支持しかつ直線軌道区間に沿って非
連続ステップで走行可能な作業キャリッジを備えた再生機器における直線性を測
定するための方法において、 −その都度1ステップ分に相当する走行距離よりも著しく長いが全軌道区間より
も著しく短く、かつ作業キャリッジ(10)と同一方向に走行可能な付加キャリ
ッジ(20)によってその都度正確に規定された長さ(L)を有する部分軌道区
間分ずつ順次に前記作業キャリッジ(10)を走行させ、 −各部分軌道区間のために必要とされるステップ数を計数し、 −前記部分軌道区間をベースとして生じる作業キャリッジの走行距離値と、ステ
ップの計数によって生じる作業キャリッジの走行距離値との間の偏差値を算定す
ることを特徴とする、直線性を測定するための方法。 - 【請求項2】 a)作業キャリッジ(10)を軌道区間の始端から走行発進
させ、かつ付加キャリッジ(20)を、前記の作業キャリッジと付加キャリッジ
との間の第1の相対位置(図1)へもたらし、 b)前記付加キャリッジを、前記の作業キャリッジと付加キャリッジとの間の第
2の相対位置(図2)へもたらし、しかも第1と第2の相対位置間の距離を1つ
の部分軌道区間の長さに等しくし、 c)作業キャリッジをシフトし、その間、非連続ステップを計数する一方、付加
キャリッジはその場に留まり、 d)前記作業キャリッジと前記付加キャリッジとの間に第1の相対位置(図1)
が再現されると即座に前記作業キャリッジを停止させ、かつ e)前記操作ステップb)〜d)を、測定すべき軌道区間にわたって反復する、
請求項1記載の方法。 - 【請求項3】 順次に通過させられる部分軌道区間がすべて、等しい長さ(
L)を有している、請求項1又は2記載の方法。 - 【請求項4】 作業キャリッジ(10)と付加キャリッジ(20)との間の
第1の相対位置(図1)を、機械的な手段(14,16,18)によって確定す
る、請求項2又は3記載の方法。 - 【請求項5】 作業キャリッジ(10)と付加キャリッジ(20)との間の
第1の相対位置(図1)を確定するための機械的な手段がストッパ(18)を含
んでいる、請求項4記載の方法。 - 【請求項6】 各部分軌道区間を発走する前に付加キャリッジ(20)を、
電気機械式手段(16)によって第1の相対位置(図1)へ移動させる、請求項
2から5までのいずれか1項記載の方法。 - 【請求項7】 付加キャリッジ(20)を第1の相対位置(図1)に自縛式
又は自己保持式に停止させておく間に、作業キャリッジ(10)をシフトさせる
、請求項2から5までのいずれか1項記載の方法。 - 【請求項8】 作業キャリッジ(10)と付加キャリッジ(20)との間の
第2の相対位置(図2)を光学手段(24,26)によって確定する、請求項2
から5までのいずれか1項記載の方法。 - 【請求項9】 光学手段が、作業キャリッジ及び付加キャリッジの一方に固
定装着された光源(24)及び/又はレフレクタ、及び前記の両キャリッジの他
方に固定装着された差動光センサ(26)及び/又はレフレクタから成る、請求
項8記載の方法。 - 【請求項10】 再生機器の接続オン時に及び/又は再生機器の操作員によ
る要望に応じて自己補正を実施し、かつその際に、部分軌道区間をベースとして
生じる作業キャリッジ(10)の走行距離値と、ステップ計数によって生じる作
業キャリッジの走行距離値との間の算出偏差値を、再生機器のその後の運転にお
ける前記作業キャリッジの駆動装置(6)の補正のために使用する、請求項1か
ら9までのいずれか1項記載の方法。 - 【請求項11】 作業キャリッジ(10)を、長く延在したねじスピンドル
(4)によって直線軌道区間に沿って走行可能にし、しかも、部分軌道区間をベ
ースとして生じる作業キャリッジ(10)の走行距離値と、ステップの計数によ
って生じる作業キャリッジの走行距離値との間の偏差値が、スピンドルリードの
目標値からのスピンドルリードの実際値の偏差値に相当する、請求項1から10
までのいずれか1項記載の方法。 - 【請求項12】 スピンドル(4)が、転造されたスピンドルである、請求
項11記載の方法。 - 【請求項13】 スピンドル(4)を、該スピンドルの定回転角に相当する
非連続なステップで回動可能にする、請求項11又は請求項12記載の方法。 - 【請求項14】 スピンドル(4)をステップモータ(6)によって駆動す
る、請求項13記載の方法。 - 【請求項15】 1つの測定動作中に順次に通過させられる部分軌道区間の
長さを、予め規定された少なくとも2つの異なった設定値の中から選択可能であ
り、しかも少なくとも1つの設定値がスピンドルリードよりも著しく小さく、か
つ少なくとも1つの設定値がスピンドルリードよりも著しく大きい、請求項11
から14までのいずれか1項記載の方法。 - 【請求項16】 走査装置又は記録装置を支持しかつ非連続ステップで1つ
の直線軌道区間に沿って走行可能である1つの作業キャリッジを備えた再生機器
における直線性を測定するための装置において、作業キャリッジ(10)と同一
の方向で第1の相対位置(図1)と第2の相対位置(図2)との間を走行可能な
付加キャリッジ(20)が設けられており、前記の両相対位置間の距離が正確に
規定された長さ(L)の部分軌道区分に相当しており、該部分軌道区分がその都
度、1ステップに相当する走行距離よりも著しく長くかつ全軌道区間よりも著し
く短くなっており、かつ、該部分軌道区分をベースとして生じる前記作業キャリ
ッジの走行距離値と、ステップの計数によって生じる前記作業キャリッジの走行
距離値との間の偏差値を算定するための装置が設けられていることを特徴とする
、再生機器における直線性を測定するための装置。 - 【請求項17】 順次に通過させられる部分軌道区間が全て、等しい長さ(
L)を有している、請求項16記載の装置。 - 【請求項18】 作業キャリッジ(10)と付加キャリッジ(20)との間
の第1の相対位置(図1)を確定するために、機械的手段(14,16,18)
が設けられている、請求項16又は17記載の装置。 - 【請求項19】 作業キャリッジ(10)と付加キャリッジ(20)との間
の第1の相対位置(図1)を確定するための機械的手段がストッパから成ってい
る、請求項18記載の装置。 - 【請求項20】 各部分軌道区間を発走する前に付加キャリッジ(20)を
第1の相対位置(図1)へもたらすために電気機械式手段(16)が設けられて
いる、請求項16から19までのいずれか1項記載の装置。 - 【請求項21】 付加キャリッジ(20)が自縛機構を有している、請求項
16から20までのいずれか1項記載の装置。 - 【請求項22】 作業キャリッジ(10)と付加キャリッジ(20)との間
の第2の相対位置(図2)を確定するために光学手段(24,26)が設けられ
れている、請求項16から21までのいずれか1項記載の装置。 - 【請求項23】 光学手段が、作業キャリッジ及び付加キャリッジの一方に
固着された1つの光源(24)及び/又は1つのレフレクタと、前記の両キャリ
ッジの他方に固着された1つの差動光センサ(26)及び/又は1つのレフレク
タから成っている、請求項22記載の装置。 - 【請求項24】 作業キャリッジ(10)のための駆動装置が、1本の長く
延びたねじスピンドル(4)を含み、しかも部分軌道区間をベースとして生じる
作業キャリッジの走行距離値と、ステップの計数によって生じる作業キャリッジ
の走行距離値との間の偏差値が、スピンドルリードの目標値からのスピンドルリ
ードの実際値の偏差値である、請求項16から23までのいずれか1項記載の装
置。 - 【請求項25】 スピンドル(4)が、転造されたスピンドルである、請求
項24記載の装置。 - 【請求項26】 スピンドル(4)が、該スピンドルを回転駆動するステッ
プモータ(6)と結合されている、請求項24又は25記載の装置。
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