JP2002542055A5 - - Google Patents
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Description
【特許請求の範囲】
【請求項１】 ガラスワークピース表面を研削する方法であって、
研磨物品の研削層と前記ガラスワークピース表面とを接触させるステップであって、前記研削層が複数の研磨複合材を含み、前記複合材が、有機樹脂と、アルカリ金属塩、アルカリ性金属塩およびそれらの組合せから選択された金属塩と、前記研磨複合材全体にわたって均質に分散された単一ダイヤモンド研磨粒子とを含む、ステップと、
前記研磨物品の研削層と前記ガラスワークピース表面との間に潤滑剤を導入するステップと、
前記研磨物品の研削層と前記ガラスワークピース表面とを相対移動するステップと、
を含む方法。
【請求項２】 ガラスワークピース表面を研削する方法であって、
研磨物品の研削層と前記ガラスワークピース表面とを接触させるステップであって、前記研削層が複数の研磨複合材を含み、前記複合材が有機樹脂と凝集研磨粒子とを含み、前記凝集物が、永久結合剤に分散されたダイヤモンド粒子を含む、ステップと、
前記研磨物品の研削層と前記ガラスワークピース表面との間に潤滑剤を導入するステップと、
前記研磨物品の研削層と前記ガラスワークピース表面とを相対移動するステップと、
を含む方法。
【請求項３】 ガラスワークピース表面を研磨する方法であって、
研磨物品の研磨層と、約０．０７μｍの初期表面粗さＲａを有する前記ガラスワークピース表面とを接触させるステップであって、前記研磨層が、繊維を含む裏材に一体成形された複数の研磨複合材を含み、前記研磨複合材が、有機樹脂と、セリア粒子と、アルカリ金属塩、アルカリ性金属塩およびそれらの組合せから選択された金属塩とを含む、ステップと、
前記研磨物品の研磨層と前記ガラスワークピース表面との間に潤滑剤を導入するステップと、
前記研磨物品の研磨層と前記ガラスワークピース表面とを相対移動するステップと、
を含む方法。
【請求項１】 ガラスワークピース表面を研削する方法であって、
研磨物品の研削層と前記ガラスワークピース表面とを接触させるステップであって、前記研削層が複数の研磨複合材を含み、前記複合材が、有機樹脂と、アルカリ金属塩、アルカリ性金属塩およびそれらの組合せから選択された金属塩と、前記研磨複合材全体にわたって均質に分散された単一ダイヤモンド研磨粒子とを含む、ステップと、
前記研磨物品の研削層と前記ガラスワークピース表面との間に潤滑剤を導入するステップと、
前記研磨物品の研削層と前記ガラスワークピース表面とを相対移動するステップと、
を含む方法。
【請求項２】 ガラスワークピース表面を研削する方法であって、
研磨物品の研削層と前記ガラスワークピース表面とを接触させるステップであって、前記研削層が複数の研磨複合材を含み、前記複合材が有機樹脂と凝集研磨粒子とを含み、前記凝集物が、永久結合剤に分散されたダイヤモンド粒子を含む、ステップと、
前記研磨物品の研削層と前記ガラスワークピース表面との間に潤滑剤を導入するステップと、
前記研磨物品の研削層と前記ガラスワークピース表面とを相対移動するステップと、
を含む方法。
【請求項３】 ガラスワークピース表面を研磨する方法であって、
研磨物品の研磨層と、約０．０７μｍの初期表面粗さＲａを有する前記ガラスワークピース表面とを接触させるステップであって、前記研磨層が、繊維を含む裏材に一体成形された複数の研磨複合材を含み、前記研磨複合材が、有機樹脂と、セリア粒子と、アルカリ金属塩、アルカリ性金属塩およびそれらの組合せから選択された金属塩とを含む、ステップと、
前記研磨物品の研磨層と前記ガラスワークピース表面との間に潤滑剤を導入するステップと、
前記研磨物品の研磨層と前記ガラスワークピース表面とを相対移動するステップと、
を含む方法。
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