JPS6190862A - 硬脆材料の研磨方法 - Google Patents
硬脆材料の研磨方法Info
- Publication number
- JPS6190862A JPS6190862A JP20817584A JP20817584A JPS6190862A JP S6190862 A JPS6190862 A JP S6190862A JP 20817584 A JP20817584 A JP 20817584A JP 20817584 A JP20817584 A JP 20817584A JP S6190862 A JPS6190862 A JP S6190862A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- glass
- hard
- surface roughness
- holding plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は硬脆材料の研磨方法に係り、特に、硬脆材料を
効率よく研磨するに好適な、レジンボンドのダイヤモン
ドペレットによる硬脆材料の研磨方法に関するものであ
る。
効率よく研磨するに好適な、レジンボンドのダイヤモン
ドペレットによる硬脆材料の研磨方法に関するものであ
る。
従来、硬脆材料たとえばガラスは、レジンボンドのダイ
ヤモンドペレットによって研磨(あるいは精研削とも称
する)が行なわれている。
ヤモンドペレットによって研磨(あるいは精研削とも称
する)が行なわれている。
これは、ガラスのセルフドレッシング効果によってガラ
スを加工して行くものである(光学第11巻第5号、1
982年10月 p459〜447゜中野智光 光学素
子加工の最近の技術)。
スを加工して行くものである(光学第11巻第5号、1
982年10月 p459〜447゜中野智光 光学素
子加工の最近の技術)。
しかし、この研磨方法によれば、ワークであるガラスの
表面粗さが所定値に近づくとセルフドレッシング効果が
小さくなり、加工の進行が遅くなる0したがって、加工
量を大きくとるためには、ダイヤモンドペレットをドレ
ッシングし直すか、あるいは長時間加工するなどの対策
が必要となり、硬脆材料を効率よく研磨することができ
ないという改善すべき問題点があった。
表面粗さが所定値に近づくとセルフドレッシング効果が
小さくなり、加工の進行が遅くなる0したがって、加工
量を大きくとるためには、ダイヤモンドペレットをドレ
ッシングし直すか、あるいは長時間加工するなどの対策
が必要となり、硬脆材料を効率よく研磨することができ
ないという改善すべき問題点があった。
本発明は、上記した従来技術の問題点を改善して、効率
よく硬脆材料を研磨すること示できる、レジンボンドの
ダイヤモンドペレットによる、硬脆材料の研磨方法の提
供を、その目的とするものである。
よく硬脆材料を研磨すること示できる、レジンボンドの
ダイヤモンドペレットによる、硬脆材料の研磨方法の提
供を、その目的とするものである。
本発明に係る硬脆材料の研磨方法の構成は、レジンボン
ドのダイヤモンドペレットを使用して硬脆材料を研磨す
る方法において、1の硬脆材料を研磨している途中で、
前加工面の表面粗さが、前記1の硬脆材料のみを研磨し
て加工量がほぼ収束したときの該1の硬脆材料の表面粗
さよりも粗い他の硬脆材料を、ダイヤモンドペレットの
前記1の硬脆材料と相対摺動する部分で研磨開始するよ
うにしたものである。
ドのダイヤモンドペレットを使用して硬脆材料を研磨す
る方法において、1の硬脆材料を研磨している途中で、
前加工面の表面粗さが、前記1の硬脆材料のみを研磨し
て加工量がほぼ収束したときの該1の硬脆材料の表面粗
さよりも粗い他の硬脆材料を、ダイヤモンドペレットの
前記1の硬脆材料と相対摺動する部分で研磨開始するよ
うにしたものである。
〔発明の実施例)
実施例の説明に入るまえに、本発明に係る基本的事項を
説明する。
説明する。
レジンボンドのダイヤモンドペレットによりガラスを研
磨する際、セルフドレッシング効果により加工が進行す
るが、ガラスの表面粗さが所定値ζこ達すると、ダイヤ
モンドペレットの砥粒の表面もすり減り、該ダイヤモン
ドペレットの表面も平坦(こなる。この時点で加工量は
飽和状態となり、加工量は収束傾向を示す。そこで本発
明においては、この時点で、別のガラスと一緒に加工し
、2枚目のガラスの加工におけるセルフドレッシング効
果により、前記ダイヤモンドペレットのボンドを堀り起
こし、新しい砥粒を突出させ、1枚目のガラスの加工を
再度進行させ、加工量の増大を可能としたものである。
磨する際、セルフドレッシング効果により加工が進行す
るが、ガラスの表面粗さが所定値ζこ達すると、ダイヤ
モンドペレットの砥粒の表面もすり減り、該ダイヤモン
ドペレットの表面も平坦(こなる。この時点で加工量は
飽和状態となり、加工量は収束傾向を示す。そこで本発
明においては、この時点で、別のガラスと一緒に加工し
、2枚目のガラスの加工におけるセルフドレッシング効
果により、前記ダイヤモンドペレットのボンドを堀り起
こし、新しい砥粒を突出させ、1枚目のガラスの加工を
再度進行させ、加工量の増大を可能としたものである。
以下、実施例によって説明する。
第1図は、本発明の一実施例に係る硬脆材料の研磨方法
の実施ζこ使用される研磨装置の略示正面図、第2図は
、第1図に係る研磨装置で研磨したガラスの加工量を示
す特性曲線図、第3図は、従来の、硬脆材料の研磨方法
の実施に使用される研磨装置の略示正面図、第4図は、
第3図に係る研磨装置で研磨したガラスの加工量を示す
特性曲線図である。
の実施ζこ使用される研磨装置の略示正面図、第2図は
、第1図に係る研磨装置で研磨したガラスの加工量を示
す特性曲線図、第3図は、従来の、硬脆材料の研磨方法
の実施に使用される研磨装置の略示正面図、第4図は、
第3図に係る研磨装置で研磨したガラスの加工量を示す
特性曲線図である。
まず、従来の研磨方法とこれによる加工量を第3.4図
を用いて説明する。
を用いて説明する。
第3図において、2は、レジンボンドのダイヤモンドペ
レット(直径10inφ、厚さ2龍)であり、このダイ
ヤモンドペレット2は、駆動軸3aを有する下定盤6上
に、占有率約50%で貼りつけられている。そして、こ
のダイヤモンドペレット2の表面には、GC砥粒# 1
000をラップ油に溶いたものを塗布し、鋳鉄定盤上で
共すりしラッピングして、砥粒が突出するまで初期ドレ
ッシングが行なわれる。4は、駆動軸4aを有する、上
下動可能なワーク保持板で、このワーク保持板4に、ワ
ークである1の硬脆材料に係るガラス1(BK7)が接
着剤で固定されている。、10は新書液供給ノズルであ
る。
レット(直径10inφ、厚さ2龍)であり、このダイ
ヤモンドペレット2は、駆動軸3aを有する下定盤6上
に、占有率約50%で貼りつけられている。そして、こ
のダイヤモンドペレット2の表面には、GC砥粒# 1
000をラップ油に溶いたものを塗布し、鋳鉄定盤上で
共すりしラッピングして、砥粒が突出するまで初期ドレ
ッシングが行なわれる。4は、駆動軸4aを有する、上
下動可能なワーク保持板で、このワーク保持板4に、ワ
ークである1の硬脆材料に係るガラス1(BK7)が接
着剤で固定されている。、10は新書液供給ノズルであ
る。
このように構成した研磨装置をONにすると、下定盤6
.ワーク保持板4が、それぞれ7駆動軸gB、4aの周
りに回転し、研磨液供給ノズル10から新暦液が供給さ
れた状態(加工速度10m/min +加工圧500−
91crd ) テ、ガラス1のセルフドレッシング効
果により研磨が進行する。
.ワーク保持板4が、それぞれ7駆動軸gB、4aの周
りに回転し、研磨液供給ノズル10から新暦液が供給さ
れた状態(加工速度10m/min +加工圧500−
91crd ) テ、ガラス1のセルフドレッシング効
果により研磨が進行する。
その加工特性は、県4図に示すように、加工時間の経過
とともにセルフドレッシング効果が小さくなるために、
ガラス10ノ刀工量が次第に収束してしまう。この場合
には、加工量が約5μmでほぼ収束する。
とともにセルフドレッシング効果が小さくなるために、
ガラス10ノ刀工量が次第に収束してしまう。この場合
には、加工量が約5μmでほぼ収束する。
これに対して、本実施例の研磨方法とこれによる加工量
を、第1,2図を用いて説明する。
を、第1,2図を用いて説明する。
第1図において、第3図と同一番号を付し7ンものは同
一部分である。そして、Δ′は、ワーク保持板4と同じ
構成の、駆動軸4a′を有する上下動可能なワーク保持
板であり、このワーク保持板4′は、下定盤6のダイヤ
モンドペレット2と対向して、ワーク保持板4と180
°離れた位置に配設されている。また、1′は、このワ
ーク保持板4′に固定された、ガラス1と同じ前加工面
の表面粗さを有する、他の硬脆材料に係るガラス(BK
7)である。
一部分である。そして、Δ′は、ワーク保持板4と同じ
構成の、駆動軸4a′を有する上下動可能なワーク保持
板であり、このワーク保持板4′は、下定盤6のダイヤ
モンドペレット2と対向して、ワーク保持板4と180
°離れた位置に配設されている。また、1′は、このワ
ーク保持板4′に固定された、ガラス1と同じ前加工面
の表面粗さを有する、他の硬脆材料に係るガラス(BK
7)である。
このように構成した研磨装置において、制御装置(図示
すず)に、ガラス1のみを研磨して加工量がほぼ収束す
るーまでの時間(以下、設定時間Tという)を予め設定
しておく。この時点では、ワーク保持板4.4′は、い
ずれも下定盤乙の上方にあって、この下定盤6から離間
している。
すず)に、ガラス1のみを研磨して加工量がほぼ収束す
るーまでの時間(以下、設定時間Tという)を予め設定
しておく。この時点では、ワーク保持板4.4′は、い
ずれも下定盤乙の上方にあって、この下定盤6から離間
している。
ここで研磨銀PをONにすると、ワーク保持2汲4のみ
が下降し、所定の加工圧が負荷されて下足M3Hワーク
保持板4が、それぞれ駆動軸5a、4aの周りに回転[
7、セルフドレッシング効ツ、により研磨が進行する。
が下降し、所定の加工圧が負荷されて下足M3Hワーク
保持板4が、それぞれ駆動軸5a、4aの周りに回転[
7、セルフドレッシング効ツ、により研磨が進行する。
この加工特性は第2図の特注曲線5のようになり、前述
した第S図に係る研磨製置による特性曲線(第4図)と
同じで、次第に加工量が収束する。そして、設定時間T
が経過すると、ワーク保持板4′が下降して、他のガラ
ス1′の研磨が開始される。このガラス1′のrO工時
特性、耐2図の特性曲m6(この特性曲線6は、特性曲
線5と同じ)のようをこなる。ガラス1′の研;踏開、
始時2点tから、ガラス1′のセルフドレッシング効果
により、しニシンボンドのダイヤモンドペレット2がト
レッシングされ、ガラス1の研磨が再び進行し、特性曲
線5は、前記時点tから立上がる。このよう、にして加
工量がさらに約4μm増加する。
した第S図に係る研磨製置による特性曲線(第4図)と
同じで、次第に加工量が収束する。そして、設定時間T
が経過すると、ワーク保持板4′が下降して、他のガラ
ス1′の研磨が開始される。このガラス1′のrO工時
特性、耐2図の特性曲m6(この特性曲線6は、特性曲
線5と同じ)のようをこなる。ガラス1′の研;踏開、
始時2点tから、ガラス1′のセルフドレッシング効果
により、しニシンボンドのダイヤモンドペレット2がト
レッシングされ、ガラス1の研磨が再び進行し、特性曲
線5は、前記時点tから立上がる。このよう、にして加
工量がさらに約4μm増加する。
以上説明した実施例によれば、レジンボンド。
のダイヤモンドペレット2は、設定時間Tに至るまでは
ガラス1により、また設定時間Tを、経過したのちはガ
ラス1′、により、それぞれセルフドレッシングされる
ので、ガラス1の加工時間が短縮し、加工量が増大する
。また、特別なドーレツサを月いてドレッシングし、直
す必要もないので、ガラス1を効率よく研磨することが
できるという効果かあ、る。
ガラス1により、また設定時間Tを、経過したのちはガ
ラス1′、により、それぞれセルフドレッシングされる
ので、ガラス1の加工時間が短縮し、加工量が増大する
。また、特別なドーレツサを月いてドレッシングし、直
す必要もないので、ガラス1を効率よく研磨することが
できるという効果かあ、る。
なお、本実施例においては、ガラス1′、の前加工面の
表面粗さを、ガラス1の前加工面の表面粗さと同じにし
たが、必ずしも同じにする必要はなく、ガラス1のみを
ダイヤモンドペレット2で研磨して加工量がほぼ収束し
、たとき、のガラス1の表面粗さよりも粗くしておけば
、本実施例と同様の効果を奏するものである。
表面粗さを、ガラス1の前加工面の表面粗さと同じにし
たが、必ずしも同じにする必要はなく、ガラス1のみを
ダイヤモンドペレット2で研磨して加工量がほぼ収束し
、たとき、のガラス1の表面粗さよりも粗くしておけば
、本実施例と同様の効果を奏するものである。
さらに、本実施例においては、ガラス1の研磨の途−中
でガラス1′の研磨を開始して、ガラス1の加工量を増
加させるものであるが、続けて加工の終了し存ガラス1
の代v、lC新しいガラス(このガラスの前加工面の表
面粗さは、ガラス1(7)ゎヵ。エヨ。アラ□。6っ、
2つヶはキ。
でガラス1′の研磨を開始して、ガラス1の加工量を増
加させるものであるが、続けて加工の終了し存ガラス1
の代v、lC新しいガラス(このガラスの前加工面の表
面粗さは、ガラス1(7)ゎヵ。エヨ。アラ□。6っ、
2つヶはキ。
れを研磨するようにすれば、ガラス1′の加工量も増加
し、以降順次これを繰返えすことにより単独で各ガラス
を研磨するよりも加工量が増加し、加工時間も短縮する
。
し、以降順次これを繰返えすことにより単独で各ガラス
を研磨するよりも加工量が増加し、加工時間も短縮する
。
次に、他の実施例を説明する。
第5図は、本発明の他の実施例に係る硬脆材料の研磨方
法による、スクラッチやホールを有するガラスの研磨過
程を示す断面図である。
法による、スクラッチやホールを有するガラスの研磨過
程を示す断面図である。
この実施例は、前加工面に部分的に深いスクラッチ7(
もしくはホール)を有するガラス8を研磨するものであ
る。
もしくはホール)を有するガラス8を研磨するものであ
る。
この研磨に使用される研磨装置は、前記第1図に示した
研磨装置と同じものである。そしてワーク保持板4には
、ガラス10代りに、ガラス8を固定する。ワーク保持
板4′には、ガラス、1′の代りに、前加工面の表面粗
さがガラス8の前加工面の表面粗さと、ガラス8のみを
ダイヤモンドペレット2で研磨して加工量がほぼ収束、
したときのガラス8の表面粗さとの間の表−面粗さのガ
ラス9を固定する。
研磨装置と同じものである。そしてワーク保持板4には
、ガラス10代りに、ガラス8を固定する。ワーク保持
板4′には、ガラス、1′の代りに、前加工面の表面粗
さがガラス8の前加工面の表面粗さと、ガラス8のみを
ダイヤモンドペレット2で研磨して加工量がほぼ収束、
したときのガラス8の表面粗さとの間の表−面粗さのガ
ラス9を固定する。
このように、ワーク保持板4.4′にガラス89をそれ
ぞれ固定した研磨装置において、前記制御装置に、予め
設定時間T(ガラス8のみを研磨して加工量がほぼ収束
するまでの時間)を設定してこれをQNにする。
ぞれ固定した研磨装置において、前記制御装置に、予め
設定時間T(ガラス8のみを研磨して加工量がほぼ収束
するまでの時間)を設定してこれをQNにする。
ガラス8は、第5図(イ)の表面粗さから研磨され、加
工初期には、ガラス8の前加工面の突出部カタイヤモン
ドペレット2のボンドを堀り起こし、新しい砥粒を突出
させる。この間にガラス8の突出部は減耗し表面が滑ら
かになる。このガラス表面を砥粒が研削しガラス8を平
滑な表面状態にする。このとき、砥粒表面もすり減り、
やや平坦になる0ガラス8には、第5図(ロ)のように
、゛スクラッチ7が残つ、ていても、他の部分が所定の
表面粗さまで加工された時点でセルフドレッシングが行
なわれず、次第に加工量が収束する。設定時間Tが経過
すると、ワーク保持板4′が下降し、ガラス9(この表
面粗さは第5図(イ)′)の研磨が開始される。ダイヤ
モンドベレット2は、ガラス9によりセルフドレッシン
グが行なわれ、ガラス8の加工が、第5図(ロ)の表面
粗さの状態から再度進行し、前加工面のスクラッチ7が
取り除かれ、全面均一な表面粗さの加工面(第5図ei
)になると同時に、ガラス9も所定の表面粗さに近づ
く(第5図(ロ)′の状態)。
工初期には、ガラス8の前加工面の突出部カタイヤモン
ドペレット2のボンドを堀り起こし、新しい砥粒を突出
させる。この間にガラス8の突出部は減耗し表面が滑ら
かになる。このガラス表面を砥粒が研削しガラス8を平
滑な表面状態にする。このとき、砥粒表面もすり減り、
やや平坦になる0ガラス8には、第5図(ロ)のように
、゛スクラッチ7が残つ、ていても、他の部分が所定の
表面粗さまで加工された時点でセルフドレッシングが行
なわれず、次第に加工量が収束する。設定時間Tが経過
すると、ワーク保持板4′が下降し、ガラス9(この表
面粗さは第5図(イ)′)の研磨が開始される。ダイヤ
モンドベレット2は、ガラス9によりセルフドレッシン
グが行なわれ、ガラス8の加工が、第5図(ロ)の表面
粗さの状態から再度進行し、前加工面のスクラッチ7が
取り除かれ、全面均一な表面粗さの加工面(第5図ei
)になると同時に、ガラス9も所定の表面粗さに近づ
く(第5図(ロ)′の状態)。
以上説明した第5図に係る実施例によれば、ガラス8の
研磨の途中で、ガラス9の研磨を開始するようにしたの
で、ガラス8の加工量が増加するとともに、部分的に残
っていたガラス8の前加工面のスクラッチ7が容易に且
つ確実に取り除かれ、全面均一な加工面を、ダイヤモン
ドペレット2以外の特別の工具を使用することなく、且
つ長時間を要することなく、得ることができるという効
果がある。
研磨の途中で、ガラス9の研磨を開始するようにしたの
で、ガラス8の加工量が増加するとともに、部分的に残
っていたガラス8の前加工面のスクラッチ7が容易に且
つ確実に取り除かれ、全面均一な加工面を、ダイヤモン
ドペレット2以外の特別の工具を使用することなく、且
つ長時間を要することなく、得ることができるという効
果がある。
なお、上記各実施例においては、ガラスを研磨する場合
について説明したが、本発明は、ガラスに限らず、方解
石、セラミックなどの硬脆材料の研磨にも適用して同等
の効果を奏するものである。
について説明したが、本発明は、ガラスに限らず、方解
石、セラミックなどの硬脆材料の研磨にも適用して同等
の効果を奏するものである。
さらに、他の硬脆材料の材質を、1の硬脆材料と閤じに
したが、両者の材質は必ずしも同一である必要はなく、
その組合わせは任意である。
したが、両者の材質は必ずしも同一である必要はなく、
その組合わせは任意である。
以上詳細に説明したように本発明tこよれば、効率よく
硬脆材料を研磨することができる、レジンボンドのダイ
ヤモンドベレットによる、硬脆材料の研磨方法を捺供す
ることができる。
硬脆材料を研磨することができる、レジンボンドのダイ
ヤモンドベレットによる、硬脆材料の研磨方法を捺供す
ることができる。
第1図は、本発明の一実施例に係る硬脆材料の研磨方法
の実施に使用される研磨装置の略示正面図、第2図は、
第1図に係る研磨装置で研磨したガラスの加工量を示す
特性曲線図、第3図は、従来の、硬脆材料の研磨方法の
実施に使用され、る研磨装置の略示正面図、第4図は、
第3図に係る研磨装置で研磨したガラスの加工量を示す
特性曲線、第5図は、本発明の他の実施例に係る硬脆材
料の研磨方法による、スクラッチやホールを有するガラ
スの研磨過程を示す断面図である。
の実施に使用される研磨装置の略示正面図、第2図は、
第1図に係る研磨装置で研磨したガラスの加工量を示す
特性曲線図、第3図は、従来の、硬脆材料の研磨方法の
実施に使用され、る研磨装置の略示正面図、第4図は、
第3図に係る研磨装置で研磨したガラスの加工量を示す
特性曲線、第5図は、本発明の他の実施例に係る硬脆材
料の研磨方法による、スクラッチやホールを有するガラ
スの研磨過程を示す断面図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、レジンボンドのダイヤモンドペレツトを使用して硬
脆材料を研磨する方法において、1の硬脆材料を研磨し
ている途中で、前加工面の表面粗さが、前記1の硬脆材
料のみを研磨して加工量がほぼ収束したときの該1の硬
脆材料の表面粗さよりも粗い他の硬脆材料を、ダイヤモ
ンドペレツトの前記1の硬脆材料と相対摺動する部分で
研磨開始するようにしたことを特徴とする硬脆材料の研
磨方法。 2、他の硬脆材料の前加工面の表面粗さを、1の硬脆材
料の前加工面の表面粗さと、前記1の硬脆材料のみを研
磨して加工量がほぼ収束したときの該1の硬脆材料の表
面粗さとの間の表面粗さにしたものである特許請求の範
囲第1項記載の硬脆材料の研磨方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20817584A JPS6190862A (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | 硬脆材料の研磨方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20817584A JPS6190862A (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | 硬脆材料の研磨方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6190862A true JPS6190862A (ja) | 1986-05-09 |
Family
ID=16551898
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20817584A Pending JPS6190862A (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | 硬脆材料の研磨方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6190862A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011224773A (ja) * | 1999-04-23 | 2011-11-10 | Three M Innovative Properties Co | ガラス研削方法 |
WO2013105341A1 (ja) * | 2012-01-13 | 2013-07-18 | 旭硝子株式会社 | ガラス基板の端面研削用砥石のドレッシング方法および該ドレッシング方法を用いたガラス基板の製造方法 |
-
1984
- 1984-10-05 JP JP20817584A patent/JPS6190862A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011224773A (ja) * | 1999-04-23 | 2011-11-10 | Three M Innovative Properties Co | ガラス研削方法 |
WO2013105341A1 (ja) * | 2012-01-13 | 2013-07-18 | 旭硝子株式会社 | ガラス基板の端面研削用砥石のドレッシング方法および該ドレッシング方法を用いたガラス基板の製造方法 |
JP5500313B2 (ja) * | 2012-01-13 | 2014-05-21 | 旭硝子株式会社 | ガラス基板の端面研削用砥石のドレッシング方法および該ドレッシング方法を用いたガラス基板の製造方法 |
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