JP2002541444A5 - - Google Patents

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【特許請求の範囲】
【請求項１】 ベース部材、スタイラスが連結された又は連結され得るスタイラスホルダ、および、該スタイラスホルダのための懸架システムを備える測定プローブであって、
該懸架システムは、スタイラスホルダとベース部材との間に連結された少なくとも一対のほぼ平坦な弾性装置を備え、前記平坦な弾性装置の両者はそれらの面から外れる方向へのスタイラスホルダの制限された移動を許容し、且つ、前記平坦な弾性装置の少なくとも一つは前記少なくとも一つの平坦な弾性装置の面内においてスタイラスホルダの制限された横方向移動を許容することを特徴とする測定プローブ。
【請求項２】 弾性装置がダイアフラムであることを特徴とする請求項１の測定プローブ。
【請求項３】 プローブは二つのダイアフラムを有し、その第一のものはスタイラスホルダの前記横方向移動を与えるためにその面内で十分に柔軟であり、その第二のものは第二のダイアフラムの面内でのスタイラスホルダの並進を防止すべくその面内で比較的堅いことを特徴とする請求項２の測定プローブ。
【請求項４】 プローブは二つのダイアフラムを有し、その両方は、両ダイアフラムの面内でのスタイラスホルダの制限された横方向移動を許すべくそのそれぞれの面内で十分に柔軟であることを特徴とする請求項２の測定プローブ。
【請求項５】 少なくとも一つの前記ダイアフラムの柔軟性は、各々のダイアフラムを貫通する複数のチャンネルを設けることによって得られることを特徴とする請求項２または３の測定プローブ。
【請求項６】 該チャンネルはほぼ螺旋形態のものであることを特徴とする請求項５の測定プローブ。
【請求項７】 スタイラスホルダは、ハウジングの軸に直角で弾性装置の面間に存する第三の面内の点を通る軸の回りに旋回し、そして第三の弾性装置がスタイラスホルダとハウジングとに第三の面内で連結されていることを特徴とする請求項１の測定プローブ。
【請求項８】 懸架システムが懸架モジュール内に収容され、プローブはさらに、スタイラスホルダの変位を測定するトランスデューサを包含するトランスデューサモジュールを備え、懸架モジュールおよびトランスデューサモジュールの両者は互いに係合可能な配置要素および着脱可能な保持手段を有し、これにより、懸架モジュールがトランスデューサモジュールに着脱自在で反復的に連結可能であることを特徴とする請求項１の測定プローブ。
【請求項９】 トランスデューサモジュール内のトランスデューサは光学的トランスデューサであることを特徴とする請求項８の測定プローブ。
【請求項１０】 トランスデューサの各々は、スタイラスと共に動き得る光学要素に光ビームを向けるべく軸の近くに位置された光源と、光学要素から戻る光を受取るべく位置され、スタイラスの変位を示す信号を派生させる位置感知ディテクタとを備えることを特徴とする請求項８の測定プローブ。
【請求項１１】 保持手段は磁石要素を備えることを特徴とする請求項８の測定プローブ。
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