JP2002532626A5 - - Google Patents

Description

【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空処理装置のための真空処理遊星システム工作物キャリヤであって、
駆動装置（１）と連結可能な、真空処理装置に対して太陽システム軸（７）の周りを回転可能な、太陽車（９）を有する太陽システムと、
遊星軸（１１）の周りを回転するよう太陽システムに載置された少なくとも一つの遊星システム（１７，１７′）とを含み、前記少なくとも一つの遊星システム（１７，１７′）は、遊星システムを駆動するための駆動連結部（１５，１３）を有し、前記キャリヤはさらに、
太陽システム（７，９）への駆動接続を有し、少なくとも一つの工作物のための受容部が設けられ、月軸（１９）の周りを回転するよう遊星システム（１７）に載置された、少なくとも一つの月システム（２９，３１）を含むキャリヤであって、前記駆動接続は少なくとも操作中は中断されることなく、太陽システムと月システムとの間で成立し、
遊星システムは、太陽車（９）に解除可能なように回転載置された伝動軸（７８）を駆動する遊星車（１７′）を有し、前記伝動軸（７８）は、もう一つの伝動車（８０）と、遊星軸（１１）の周りを回転するリング（８６）とを介して、月システムの伝動車（２９）と回転係合している、キャリヤ。
【請求項２】
前記駆動接続が少なくとも一つの破損予定箇所（５１）を有することを特徴とする、請求項１に記載のキャリヤ。
【請求項３】
真空処理装置のための真空処理遊星システム工作物キャリヤであって、
駆動装置（１）と連結可能な、真空処理装置に対して太陽システム軸（７）の周りを回転可能な太陽システム（９，９′）と、
遊星軸（１１）の周りを回転するよう太陽システム（９）に載置された少なくとも一つの遊星システム（１７，１７′）とを含み、前記少なくとも一つの遊星システム（１７，１７′）は、遊星駆動車（１３′）を含み遊星システムを駆動するための駆動連結部（１５，１３）を有し、前記キャリヤはさらに、
太陽システム（７，９）への駆動接続を有し、少なくとも一つの工作物のための受容部が設けられ、月軸（１９）の周りを回転するよう遊星システム（１７）に載置された、少
なくとも一つの月システム（２９，３１）を含むキャリヤであって、前記駆動接続は少なくとも操作中は中断されることなく、太陽システムと月システムとの間で成立し、
太陽システム軸（７）が、固定された駆動車（８８）を通り、かつ駆動ベルト（９０）が、固定された駆動車（８８）と、遊星軸に設けられた遊星駆動車（１３′）とに巻きつく、キャリヤ。
【請求項４】
月システムと太陽システムとの間の駆動接続が、遊星軸（１１）の周りを自由に回転可能で、かつ太陽システム（２７）と月システム（２９）と伝動係合している伝動配置（２１；６０，６６，６８；７６，８０，８６）を含むことを特徴とする、請求項３に記載のキャリヤ。
【請求項５】
前記駆動接続が、遊星軸（１１）の周りを自由に回転可能で、かつ月システムの伝動車（２９）と係合し、回転停止装置（２５）によって太陽システム（９）のストッパーに作用するさらなる伝動車（２１）を有することを特徴とする、請求項３に記載のキャリヤ。
【請求項６】
太陽軸（７）と同軸で太陽システム（９）に配置され、かつ伝動車（２９）がそれに接して月システム（１９）上の回転運動を実行する伝動リング表面（７２）を含む駆動伝達装置を含む、請求項３に記載のキャリヤ。
【請求項７】
真空処理装置のための真空処理遊星システム工作物キャリヤであって、
駆動装置（１）と連結可能な、前記装置に対して太陽システム軸（７）の周りを回転可能な、太陽車（９）を有する太陽システム（９，９′）と、
前記太陽システム軸（７）の周りを回転するよう前記太陽システムに回転可能に連結され、遊星軸（１１）の周りを回転可能な少なくとも一つの遊星システム（１７，１７′）とを含み、前記少なくとも一つの遊星システム（１７，１７′）は、前記遊星軸を中心として遊星システムを駆動するための駆動連結部（１５，１３）を有し、前記キャリヤはさらに、
太陽システム（７，９，９′）への駆動接続を有し、月軸（１９）の周りを回転するよう遊星システム（１７）に載置された、少なくとも一つの月システム（２９，３１）を含むキャリヤであって、
前記月システムは、前記月軸（１９）に沿って重なって互い違いに配置され互いに離れている少なくとも２つの月車（２９）を有し、前記月車（２９）の各々は少なくとも１つの工作物のための受容部を有し、前記太陽システムへの前記月システムの駆動接続は、少なくとも操作中は中断されることなく成立する、キャリヤ。
【請求項８】
前記太陽システムへの前記駆動接続は強制駆動接続である、請求項７に記載のシステム。
【請求項９】
前記太陽システムへの前記駆動接続は、かみ合い駆動接続である、請求項８に記載のシステム。
【請求項１０】
前記太陽システムへの前記駆動接続が、前記遊星軸（１１）の周りを自由に回転可能で、かつ一方では前記太陽システム（２７；６４；７２；７６）と、他方では前記月システム（２９）と伝動係合している伝動配置（２１；６０，６６，６８；７６，８０，８６）を含む、請求項７に記載のシステム。
【請求項１１】
前記太陽システムへの前記駆動接続が、前記遊星軸（１１）の周りを自由に回転可能で、かつ月システムの伝動車（２９）と係合し、さらに太陽システム（９）のストッパー（２７）に作用する回転停止装置（２５）を有する伝動車（２１）を含む、請求項７に記載のシステム。
【請求項１２】
前記太陽システムへの前記駆動接続が、太陽軸（６４，７２）と同軸で太陽システム（９）に配置され、かつ月システムの伝動車（６０，２９）と係合する伝動リング表面を含む、請求項７に記載のシステム。
【請求項１３】
前記太陽システムへの前記駆動接続が、前記遊星システム（９）に回転載置される伝動車（６０，７６）を含み、この伝動車（６０，７６）はもう一つの伝動車（６６，８０）と、遊星軸（１１）の周りを回転する伝動リング（６８，８６）とを介して、月システムの伝動車（２９）と回転係合している、請求項７に記載のシステム。
【請求項１４】
太陽車（９）に回転載置された伝動軸（７８）を遊星車（１７′）が駆動し、かつ前記伝動軸（７８）が、もう一つの伝動車（８０）と、遊星軸（１１）の周りを回転する伝動リング（８６）とを介して、月システムの伝動車（２９）と回転係合している、請求項７に記載のシステム。
【請求項１５】
前記太陽システムの前記駆動装置、前記遊星システムの前記駆動連結部、および前記駆動接続のうちの少なくとも一つが、少なくとも一つの破損予定箇所（５１）を有する、請求項７に記載のシステム。
【請求項１６】
前記太陽システム軸（７）が、固定された駆動車（８８）を通り、かつ駆動ベルト（９０）が駆動車（８８）と、遊星システム上の駆動車（１３′）とに巻きつく、請求項７に記載のシステム。