JP2002532051A - 圧電駆動装置 - Google Patents
圧電駆動装置Info
- Publication number
- JP2002532051A JP2002532051A JP2000587117A JP2000587117A JP2002532051A JP 2002532051 A JP2002532051 A JP 2002532051A JP 2000587117 A JP2000587117 A JP 2000587117A JP 2000587117 A JP2000587117 A JP 2000587117A JP 2002532051 A JP2002532051 A JP 2002532051A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric actuator
- common electrode
- electrode terminal
- extension
- intermediate chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 35
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 35
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims abstract description 20
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 claims abstract description 3
- 239000002482 conductive additive Substances 0.000 claims abstract 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 2
- 239000000945 filler Substances 0.000 abstract 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 4
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011231 conductive filler Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 239000010705 motor oil Substances 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000295 fuel oil Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000004922 lacquer Substances 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000036316 preload Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000002470 thermal conductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02M—SUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
- F02M63/00—Other fuel-injection apparatus having pertinent characteristics not provided for in groups F02M39/00 - F02M57/00 or F02M67/00; Details, component parts, or accessories of fuel-injection apparatus, not provided for in, or of interest apart from, the apparatus of groups F02M39/00 - F02M61/00 or F02M67/00; Combination of fuel pump with other devices, e.g. lubricating oil pump
- F02M63/0012—Valves
- F02M63/0014—Valves characterised by the valve actuating means
- F02M63/0015—Valves characterised by the valve actuating means electrical, e.g. using solenoid
- F02M63/0026—Valves characterised by the valve actuating means electrical, e.g. using solenoid using piezoelectric or magnetostrictive actuators
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02M—SUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
- F02M47/00—Fuel-injection apparatus operated cyclically with fuel-injection valves actuated by fluid pressure
- F02M47/02—Fuel-injection apparatus operated cyclically with fuel-injection valves actuated by fluid pressure of accumulator-injector type, i.e. having fuel pressure of accumulator tending to open, and fuel pressure in other chamber tending to close, injection valves and having means for periodically releasing that closing pressure
- F02M47/027—Electrically actuated valves draining the chamber to release the closing pressure
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02M—SUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
- F02M51/00—Fuel-injection apparatus characterised by being operated electrically
- F02M51/06—Injectors peculiar thereto with means directly operating the valve needle
- F02M51/0603—Injectors peculiar thereto with means directly operating the valve needle using piezoelectric or magnetostrictive operating means
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/872—Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings
- H10N30/883—Additional insulation means preventing electrical, physical or chemical damage, e.g. protective coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings
- H10N30/886—Additional mechanical prestressing means, e.g. springs
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Fuel-Injection Apparatus (AREA)
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
本発明は、特に自動車の内燃機関に設けられた制御弁又は噴射弁を操作するための圧電アクチュエータであって、特に圧電材料の積み重ねられた層と、これらの層の間に位置する、電極として働く金属層若しくは導電層とから成る多層積層体の形の圧電アクチュエータ体（１）が設けられており、前記電極層が、導電性の共通の電極端子（３，３１，３２）によって接触接続されており、前記アクチュエータ体（１）が、前記の共通の電極端子を有する中間室（５）の保持下で金属のモジュール壁（２）によって取り囲まれている形式のものに関する。この圧電アクチュエータは、共通の電極端子（３）が、３次元で構造化された面又は３次元で構造化されたボディの形で形成されており、前記電極端子のアクチュエータ体（１）に直接に接触している区分が、前記アクチュエータ体（１）の熱導出のために、中間室（５）に突入している延長部（３１，３２）又は拡張部（９）及び熱伝導性の添加粒子を有するエラストマ充填材（７）を前記中間室（５）内に有していることを特徴とする。
Description
【０００１】 背景技術 本発明は、特に自動車の内燃機関に設けられた制御弁又は噴射弁を操作するた
めの圧電アクチュエータであって、特に圧電材料の積み重ねられた層と、これら
の層の間に位置する、電極として働く金属層若しくは導電層とから成る多層積層
体の形の圧電アクチュエータ体が設けられており、前記電極層が、導電性の共通
の電極端子によって接触接続されており、前記アクチュエータ体が、前記の共通
の電極端子を有する中間室の保持下で金属のモジュール壁によって取り囲まれて
いる形式のものから出発する。
めの圧電アクチュエータであって、特に圧電材料の積み重ねられた層と、これら
の層の間に位置する、電極として働く金属層若しくは導電層とから成る多層積層
体の形の圧電アクチュエータ体が設けられており、前記電極層が、導電性の共通
の電極端子によって接触接続されており、前記アクチュエータ体が、前記の共通
の電極端子を有する中間室の保持下で金属のモジュール壁によって取り囲まれて
いる形式のものから出発する。
【０００２】 このような形式の圧電アクチュエータは、例えばＲｏｂｅｒｔ Ｂｏｓｃｈ
ＧｍｂＨ社のドイツ連邦共和国特許出願公開第１９６５０９００号明細書に基づ
き公知である。
ＧｍｂＨ社のドイツ連邦共和国特許出願公開第１９６５０９００号明細書に基づ
き公知である。
【０００３】 一般に公知であるように、圧電アクチュエータは、例えば自動車エンジンの噴
射弁及びアンチロックシステムとトラクションコントロールとを備えたブレーキ
システムにおいて使用することができる。
射弁及びアンチロックシステムとトラクションコントロールとを備えたブレーキ
システムにおいて使用することができる。
【０００４】 圧電アクチュエータの装備された前記のような噴射弁は、プッシュロッド状の
閉鎖機構によって制御される噴射ノズルを有している。プッシュロッドにはノズ
ル側に作用面が配置されており、この作用面は、ノズルに供給される燃料の圧力
によって負荷され、この圧力の力がプッシュロッドを閉鎖機構の開放方向で押し
退けようとする。プッシュロッドは、横断面が前記作用面よりも大きな一方のプ
ランジャ状の端部を以て制御室に突入する。この制御室において有効な圧力は、
プッシュロッドを閉鎖機構の閉鎖方向で運動させようとする。制御室は、入口絞
りを介して高圧下にある燃料供給部と接続されており且つ一般に絞られた弁若し
くは出口絞りと組み合わされた流出弁を介して小さな圧力しか有していない燃料
戻し導管に接続されている。流出弁が閉鎖されると制御室内に高圧が滞留し、こ
の高圧によってプッシュロッドがノズル側の作用面における圧力に抗して閉鎖機
構の閉鎖方向で運動させられるか、若しくは閉鎖位置で保持される。流出弁が開
放されると制御室内の圧力は低下する。この場合、圧力低下の基準は、入口絞り
及び開かれた出口弁若しくはこの出口弁と組み合わされた出口絞りの絞り抵抗の
設定に基づいて規定される。その結果、制御室内の圧力は、流出弁の開放時に、
プッシュロッドがノズル側の作用面において有効な圧力の力に基づいて閉鎖機構
の開放方向で運動させられるか若しくは開放位置で保持されるように低下する。
閉鎖機構によって制御される噴射ノズルを有している。プッシュロッドにはノズ
ル側に作用面が配置されており、この作用面は、ノズルに供給される燃料の圧力
によって負荷され、この圧力の力がプッシュロッドを閉鎖機構の開放方向で押し
退けようとする。プッシュロッドは、横断面が前記作用面よりも大きな一方のプ
ランジャ状の端部を以て制御室に突入する。この制御室において有効な圧力は、
プッシュロッドを閉鎖機構の閉鎖方向で運動させようとする。制御室は、入口絞
りを介して高圧下にある燃料供給部と接続されており且つ一般に絞られた弁若し
くは出口絞りと組み合わされた流出弁を介して小さな圧力しか有していない燃料
戻し導管に接続されている。流出弁が閉鎖されると制御室内に高圧が滞留し、こ
の高圧によってプッシュロッドがノズル側の作用面における圧力に抗して閉鎖機
構の閉鎖方向で運動させられるか、若しくは閉鎖位置で保持される。流出弁が開
放されると制御室内の圧力は低下する。この場合、圧力低下の基準は、入口絞り
及び開かれた出口弁若しくはこの出口弁と組み合わされた出口絞りの絞り抵抗の
設定に基づいて規定される。その結果、制御室内の圧力は、流出弁の開放時に、
プッシュロッドがノズル側の作用面において有効な圧力の力に基づいて閉鎖機構
の開放方向で運動させられるか若しくは開放位置で保持されるように低下する。
【０００５】 電磁作動式の噴射弁と比べると、圧電アクチュエータはより迅速に切り換える
ことができる。但し、アクチュエータが過熱しないように導出されねばならない
損失熱が、内部損失に基づきアクチュエータの圧電体内に発生するということを
、圧電アクチュエータの構成において注意する必要がある。圧電セラミックのセ
ラミック材料の熱伝導率は劣悪なので、特に長さが幅よりも大きなロングアクチ
ュエータの場合は、主としてセラミック材料から成るアクチュエータ体の内部に
おける熱導出は不都合である。
ことができる。但し、アクチュエータが過熱しないように導出されねばならない
損失熱が、内部損失に基づきアクチュエータの圧電体内に発生するということを
、圧電アクチュエータの構成において注意する必要がある。圧電セラミックのセ
ラミック材料の熱伝導率は劣悪なので、特に長さが幅よりも大きなロングアクチ
ュエータの場合は、主としてセラミック材料から成るアクチュエータ体の内部に
おける熱導出は不都合である。
【０００６】 アクチュエータ体のアクティブ部分に位置する電極に基づき、アクチュエータ
体の熱伝導率は、電極層に対して横方向の方が、垂直方向の熱伝導率よりも３〜
５倍高い。それというのも、圧電セラミック材料は劣悪な熱伝導体であるからで
ある。前記の倍率はもちろん、セラミック層の厚さ、即ちアクチュエータ体の縁
部の電極層の厚さ等の、ジオメトリックな比率に関連している。上で述べたよう
に、電極層に対して垂直方向での熱伝導は劣悪なので、熱はアクチュエータ体の
アクティブ部分の電極を通って外側に位置する共通の電極端子に向かうコースを
とる。外側に位置する前記の共通の電極端子は、金属のアクチュエータフット及
びアクチュエータヘッドの領域の金属の保持プレートに接触してはならないので
、アクチュエータ体内で発生する熱も、別の手段無しでは前記の金属体に導出さ
れ得ない。特に、共通の電極端子に印加されている約２００ボルトの高圧に基づ
き、前記の共通の電極端子をアクチュエータモジュールの金属部分に対して絶縁
するための特別な手段が必要とされる。
体の熱伝導率は、電極層に対して横方向の方が、垂直方向の熱伝導率よりも３〜
５倍高い。それというのも、圧電セラミック材料は劣悪な熱伝導体であるからで
ある。前記の倍率はもちろん、セラミック層の厚さ、即ちアクチュエータ体の縁
部の電極層の厚さ等の、ジオメトリックな比率に関連している。上で述べたよう
に、電極層に対して垂直方向での熱伝導は劣悪なので、熱はアクチュエータ体の
アクティブ部分の電極を通って外側に位置する共通の電極端子に向かうコースを
とる。外側に位置する前記の共通の電極端子は、金属のアクチュエータフット及
びアクチュエータヘッドの領域の金属の保持プレートに接触してはならないので
、アクチュエータ体内で発生する熱も、別の手段無しでは前記の金属体に導出さ
れ得ない。特に、共通の電極端子に印加されている約２００ボルトの高圧に基づ
き、前記の共通の電極端子をアクチュエータモジュールの金属部分に対して絶縁
するための特別な手段が必要とされる。
【０００７】 一方では燃料及びエンジンオイルにも含まれる水分による短絡の危険、他方で
は特にアクチュエータの加熱時に使用される冷却媒体のアクチュエータモジュー
ルからの流出を排除せねばならない手間のかかるシーリングに基づくアクチュエ
ータモジュールの値上がりに基づき、理論的に可能な、例えば燃料、水、エンジ
ンオイル等の液状冷却媒体によるアクチュエータの冷却は不都合である。
は特にアクチュエータの加熱時に使用される冷却媒体のアクチュエータモジュー
ルからの流出を排除せねばならない手間のかかるシーリングに基づくアクチュエ
ータモジュールの値上がりに基づき、理論的に可能な、例えば燃料、水、エンジ
ンオイル等の液状冷却媒体によるアクチュエータの冷却は不都合である。
【０００８】 発明の課題と利点 従って本発明の課題は、冒頭で述べた形式の圧電アクチュエータを改良して、
作動することにより加熱されるアクチュエータ体の確実な冷却が液状の冷却媒体
を使用することなく可能であり、更に、圧電アクチュエータを簡単に組み込むこ
とができ且つ液体冷却の場合のような特別なシーリングを必要としない圧電アク
チュエータを提供することである。
作動することにより加熱されるアクチュエータ体の確実な冷却が液状の冷却媒体
を使用することなく可能であり、更に、圧電アクチュエータを簡単に組み込むこ
とができ且つ液体冷却の場合のような特別なシーリングを必要としない圧電アク
チュエータを提供することである。
【０００９】 この課題を解決するために本発明では、共通の電極端子が３次元で構造化され
た面又は３次元で構造化されたボディの形で形成されており、前記電極端子のア
クチュエータ体に接触している区分が、前記アクチュエータ体の熱導出のために
、中間室に突入している延長部又は拡張部を有しているようにした。
た面又は３次元で構造化されたボディの形で形成されており、前記電極端子のア
クチュエータ体に接触している区分が、前記アクチュエータ体の熱導出のために
、中間室に突入している延長部又は拡張部を有しているようにした。
【００１０】 有利な構成では、共通の電極端子の延長区分は、アクチュエータ体の側壁に対
して平行に位置する波形の帯材又は薄板の形で形成されている。
して平行に位置する波形の帯材又は薄板の形で形成されている。
【００１１】 別の有利な構成では、熱を導出するより大きな表面積を得るために、外側に位
置する共通の電極端子が、これらの電極端子が中間室においてアクチュエータ体
とモジュール壁との間で１回又は多重に折り畳まれていることによって延長され
ている。
置する共通の電極端子が、これらの電極端子が中間室においてアクチュエータ体
とモジュール壁との間で１回又は多重に折り畳まれていることによって延長され
ている。
【００１２】 有利には波形の帯材を共通の電極端子のために使用すると、冷却面も波の高さ
が形成されることに基づき拡大することができる。
が形成されることに基づき拡大することができる。
【００１３】 拡張又は延長された共通の電極端子によって供給される熱のモジュール壁への
伝導は、有利には中間室を満たし且つ延長された共通の電極端子を覆っている熱
伝導性のエラストマによって行われる。
伝導は、有利には中間室を満たし且つ延長された共通の電極端子を覆っている熱
伝導性のエラストマによって行われる。
【００１４】 拡張又は延長された共通の電極端子の冷却効果は、導電性の粒子及び高い充填
度を有するエラストマを使用することによって更に増大される。この場合、モジ
ュール壁の内側は、例えばラッカー層又は酸化層によって電気的に絶縁されねば
ならない。
度を有するエラストマを使用することによって更に増大される。この場合、モジ
ュール壁の内側は、例えばラッカー層又は酸化層によって電気的に絶縁されねば
ならない。
【００１５】 更に、共通の電極端子の熱を導出する表面積を拡大するためには、接続ワイヤ
の延長も問題になる。この場合も、ワイヤ長さ延いては熱供給する接続ワイヤの
表面積は、中間室内においてアクチュエータ体とモジュール壁との間で折り畳ま
れることによって増大され得る。
の延長も問題になる。この場合も、ワイヤ長さ延いては熱供給する接続ワイヤの
表面積は、中間室内においてアクチュエータ体とモジュール壁との間で折り畳ま
れることによって増大され得る。
【００１６】 同様に、場合によっては多重に折り畳まれる共通の電極端子の延長部と、各１
本の延長された接続ワイヤとの組合せも可能である。
本の延長された接続ワイヤとの組合せも可能である。
【００１７】 更に好適なのは、両側を延長された電極端子にろう接又は溶接された金属セグ
メントを中間室に挿入することである。これらの金属セグメントは、有利には銅
から成っており且つ電気的な絶縁層の設けられたモジュール壁に接着されている
。
メントを中間室に挿入することである。これらの金属セグメントは、有利には銅
から成っており且つ電気的な絶縁層の設けられたモジュール壁に接着されている
。
【００１８】 比較的廉価ではあるがあまり効果的でないのは、共通の電極端子と、内側を電
気的に絶縁されたモジュール壁との間に収納されており且つ弾性的な接着剤又は
エラストマの浸透された金属塊又は金属網を使用することである。
気的に絶縁されたモジュール壁との間に収納されており且つ弾性的な接着剤又は
エラストマの浸透された金属塊又は金属網を使用することである。
【００１９】 上で述べた本発明による圧電アクチュエータの全ての構成において、有利には
中間室は、熱伝導性粒子が混合されたエラストマによって満たされていてよい。
中間室は、熱伝導性粒子が混合されたエラストマによって満たされていてよい。
【００２０】 上で述べた特徴を以て構成された圧電アクチュエータは、良好な熱導出のため
に延長又は拡張された、外側に位置する共通の電極端子を、アクチュエータから
熱を導出するために使用する。従って、熱導出のためには専ら固体が使用される
ので、アクチュエータの液体冷却時に発生することのある漏れ問題が生じる恐れ
はない。エラストマ等によってアクチュエータ体を覆うことにより、水滴又は別
の汚染物質による短絡形成の危険は生じない。
に延長又は拡張された、外側に位置する共通の電極端子を、アクチュエータから
熱を導出するために使用する。従って、熱導出のためには専ら固体が使用される
ので、アクチュエータの液体冷却時に発生することのある漏れ問題が生じる恐れ
はない。エラストマ等によってアクチュエータ体を覆うことにより、水滴又は別
の汚染物質による短絡形成の危険は生じない。
【００２１】 本発明による圧電アクチュエータは、特に有利にはコモンレール式ディーゼル
エンジン用インジェクタシステム及びＰＤＥインジェクタシステムに使用され得
る。ガソリン直接噴射弁も、このような圧電アクチュエータによって有利に実現
することができる。
エンジン用インジェクタシステム及びＰＤＥインジェクタシステムに使用され得
る。ガソリン直接噴射弁も、このような圧電アクチュエータによって有利に実現
することができる。
【００２２】 以下に、本発明の実施例を図面につき詳しく説明する。
【００２３】 図１Ａに部分縦断面図として示した本発明による圧電アクチュエータの第１実
施例では、アクチュエータ体１は、圧電材料の積み重ねられた複数の層と、これ
らの層の間に位置する、電極として働く金属層若しくは導電層とから成る多層積
層体の形を有していてよく、端面を以て、左右２本の帯状ばね（図示せず）を介
して、下側の金属のアクチュエータフット６と、アクチュエータヘッドに位置す
る、分離壁として構成された軸方向で可動の上側のプレート４との間で弾性的に
プレロードをかけられている。アクチュエータモジュールは、金属のモジュール
壁２によって取り囲まれている。図１Ａには、左側の帯状ばね１１しか示されて
いないということが認められる。プレロードをかけるために働く帯状ばねは、可
動プレート４を押圧する圧縮ばねによって代替されてもよい。
施例では、アクチュエータ体１は、圧電材料の積み重ねられた複数の層と、これ
らの層の間に位置する、電極として働く金属層若しくは導電層とから成る多層積
層体の形を有していてよく、端面を以て、左右２本の帯状ばね（図示せず）を介
して、下側の金属のアクチュエータフット６と、アクチュエータヘッドに位置す
る、分離壁として構成された軸方向で可動の上側のプレート４との間で弾性的に
プレロードをかけられている。アクチュエータモジュールは、金属のモジュール
壁２によって取り囲まれている。図１Ａには、左側の帯状ばね１１しか示されて
いないということが認められる。プレロードをかけるために働く帯状ばねは、可
動プレート４を押圧する圧縮ばねによって代替されてもよい。
【００２４】 図１Ｂに示したアクチュエータ体１の外側の２つの長辺側には、それぞれこれ
らの長辺側に対して導出された個々の電極層と接触接続された導電性の共通の電
極端子３が位置している。上で述べたように、アクチュエータ体１内で発生する
熱は、主に側面に向かって案内される。側面において前記熱は共通の電極端子３
によって吸収されて、これらの電極端子の拡張又は延長部分を介して周囲、特に
モジュール壁２へと導出される。共通の電極端子３の延長部３１，３２は、それ
ぞれＵ字形であり且つアクチュエータ体１の側壁に対して平行に中間室５に突入
している（簡略化のために右側の電極延長部３１しか図示しない）。図１Ｂに示
した横断面図では、共通の電極端子３と接触しているアクチュエータ体１の側面
が認識される。矢印Ｚにより、電極ゾーンが示されている。モジュール壁２の内
部を電気的に絶縁する絶縁層１０も認識され、この絶縁層１０は、共通の電極端
子３の延長区分３１，３２がモジュール壁２において短絡を生ぜしめる恐れのな
いようにするために働く。帯状ばね１１は、図１Ｂでは（図１Ａに示した概略図
とは異なり）共通の導電性電極端子３によってカバーされていないアクチュエー
タ体１の側面に沿って位置している。
らの長辺側に対して導出された個々の電極層と接触接続された導電性の共通の電
極端子３が位置している。上で述べたように、アクチュエータ体１内で発生する
熱は、主に側面に向かって案内される。側面において前記熱は共通の電極端子３
によって吸収されて、これらの電極端子の拡張又は延長部分を介して周囲、特に
モジュール壁２へと導出される。共通の電極端子３の延長部３１，３２は、それ
ぞれＵ字形であり且つアクチュエータ体１の側壁に対して平行に中間室５に突入
している（簡略化のために右側の電極延長部３１しか図示しない）。図１Ｂに示
した横断面図では、共通の電極端子３と接触しているアクチュエータ体１の側面
が認識される。矢印Ｚにより、電極ゾーンが示されている。モジュール壁２の内
部を電気的に絶縁する絶縁層１０も認識され、この絶縁層１０は、共通の電極端
子３の延長区分３１，３２がモジュール壁２において短絡を生ぜしめる恐れのな
いようにするために働く。帯状ばね１１は、図１Ｂでは（図１Ａに示した概略図
とは異なり）共通の導電性電極端子３によってカバーされていないアクチュエー
タ体１の側面に沿って位置している。
【００２５】 図１Ｂでは、両電極端子３が延長区分３１，３２を有していることが認識可能
である。
である。
【００２６】 図２に示した変化実施例は図１に示した実施例とは異なり、波形の金属帯材又
は波形の金属薄板が、共通の電極端子３として使用される。この場合、共通の電
極端子３の延長区分３１も、やはり波形の金属帯材から成っている。更に、中間
室５は、良好に熱を伝導するエラストマ７によって満たされている。このエラス
トマ７は、延長された共通の電極端子３，３１によって供給される熱を吸収して
、特に金属のモジュール壁２に供給する。エラストマの熱伝導率を高めるために
は、このエラストマは熱伝導性の充填剤によって充填されていてよい。
は波形の金属薄板が、共通の電極端子３として使用される。この場合、共通の電
極端子３の延長区分３１も、やはり波形の金属帯材から成っている。更に、中間
室５は、良好に熱を伝導するエラストマ７によって満たされている。このエラス
トマ７は、延長された共通の電極端子３，３１によって供給される熱を吸収して
、特に金属のモジュール壁２に供給する。エラストマの熱伝導率を高めるために
は、このエラストマは熱伝導性の充填剤によって充填されていてよい。
【００２７】 図３に示した変化実施例では、共通の電極端子３は、共通の電極端子として働
く波形帯材の波山部分３１の内の少なくともいくつかが比較的高くなっているこ
とにより延長されており、これにより、冷却に有効な共通の電極端子３の表面積
が拡大されている。図３に示した変化実施例の場合も、中間室５は良好に熱を伝
導するエラストマ７によって、場合によっては熱伝導性の充填剤を付与されて満
たされていてよい。
く波形帯材の波山部分３１の内の少なくともいくつかが比較的高くなっているこ
とにより延長されており、これにより、冷却に有効な共通の電極端子３の表面積
が拡大されている。図３に示した変化実施例の場合も、中間室５は良好に熱を伝
導するエラストマ７によって、場合によっては熱伝導性の充填剤を付与されて満
たされていてよい。
【００２８】 図４に示した変化実施例では、共通の電極端子３として使用される波形帯材の
延長部３１が中間室５の内部で多重に折り畳まれているので、図２に示した実施
例と比較して著しく大きな、熱導出に有効な表面積が得られる。
延長部３１が中間室５の内部で多重に折り畳まれているので、図２に示した実施
例と比較して著しく大きな、熱導出に有効な表面積が得られる。
【００２９】 熱導出に有効な表面積を拡大するための、共通の電極端子３の折り畳み方の別
の形態が図５に示されている。この場合、中間室５に突入して折り曲げられた共
通の波形の電極端子３の両端区分３１は、波形ではなく直線的に延びている。
の形態が図５に示されている。この場合、中間室５に突入して折り曲げられた共
通の波形の電極端子３の両端区分３１は、波形ではなく直線的に延びている。
【００３０】 図６に示した変化実施例は、場合によっては多重に折り畳まれて波状に延びる
共通の電極端子３の端区分がモジュール壁に接触して、熱伝導性のエラストマ７
に添加された導電性の粒子１７がモジュール壁２において短絡を生ぜしめる恐れ
があることを回避するために、モジュール壁２の内側に電気的な絶縁層１８を有
している。更に、粒子等の導電性の充填材料は、アクチュエータ体１全体には回
らないので、これにより、向かい合って位置する両電極３，３１における短絡の
危険が回避されている。これに対して、導電性で良好に熱を伝導する添加粒子を
有する全ての変化実施例においては、エラストマ７はアクチュエータ全体をめぐ
って延在しているのが望ましい。
共通の電極端子３の端区分がモジュール壁に接触して、熱伝導性のエラストマ７
に添加された導電性の粒子１７がモジュール壁２において短絡を生ぜしめる恐れ
があることを回避するために、モジュール壁２の内側に電気的な絶縁層１８を有
している。更に、粒子等の導電性の充填材料は、アクチュエータ体１全体には回
らないので、これにより、向かい合って位置する両電極３，３１における短絡の
危険が回避されている。これに対して、導電性で良好に熱を伝導する添加粒子を
有する全ての変化実施例においては、エラストマ７はアクチュエータ全体をめぐ
って延在しているのが望ましい。
【００３１】 図７Ａ及び図７Ｂに示した本発明による圧電アクチュエータの変化実施例では
、接続ワイヤ１２が中間室５に突入して延長されており且つ共通の電極端子３の
延長部を、より良好な熱導出のために形成している。接続ワイヤ１２のワイヤ長
さは、この接続ワイヤ１２を中間室５の内部で折り畳むことによって更に増大さ
せることができる。
、接続ワイヤ１２が中間室５に突入して延長されており且つ共通の電極端子３の
延長部を、より良好な熱導出のために形成している。接続ワイヤ１２のワイヤ長
さは、この接続ワイヤ１２を中間室５の内部で折り畳むことによって更に増大さ
せることができる。
【００３２】 図７Ｂに示した変化実施例では、延長された波形帯材３と、図７Ａに示したよ
うな延長された接続ワイヤ１２とが組み合わされている。共通の電極端子３の延
長区分は、複数箇所で、延長された接続ワイヤ１２と接触接続されている。
うな延長された接続ワイヤ１２とが組み合わされている。共通の電極端子３の延
長区分は、複数箇所で、延長された接続ワイヤ１２と接触接続されている。
【００３３】 更に好適なのは、有利には銅から成る複数の金属セグメント９が中間室５に挿
入された、図８に示した変化実施例である。共通の電極端子３として使用される
波形帯材の両側は、前記金属セグメント９にろう接又は溶接されている。モジュ
ール壁２には電気的な絶縁層１８が設けられており、この絶縁層１８には金属セ
グメント９が接着剤１１１によって接着されている。
入された、図８に示した変化実施例である。共通の電極端子３として使用される
波形帯材の両側は、前記金属セグメント９にろう接又は溶接されている。モジュ
ール壁２には電気的な絶縁層１８が設けられており、この絶縁層１８には金属セ
グメント９が接着剤１１１によって接着されている。
【００３４】 比較的廉価ではあるが、あまり効果的でないのが図９に示した変化実施例であ
り、この実施例では、金属塊又は金属網１３が、共通の電極端子として使用され
る波形帯材３と、絶縁層１８によって電気的に絶縁されたモジュール壁２の内側
との間に収納されており、当該金属塊１３には、位置固定のために弾性的な接着
剤又はエラストマ２７が浸透されている。アクチュエータフット６は、エラスト
マプラスチックディスク又はセラミックディスク１９によって、金属塊又は金属
網１３に対して電気的に絶縁されている。
り、この実施例では、金属塊又は金属網１３が、共通の電極端子として使用され
る波形帯材３と、絶縁層１８によって電気的に絶縁されたモジュール壁２の内側
との間に収納されており、当該金属塊１３には、位置固定のために弾性的な接着
剤又はエラストマ２７が浸透されている。アクチュエータフット６は、エラスト
マプラスチックディスク又はセラミックディスク１９によって、金属塊又は金属
網１３に対して電気的に絶縁されている。
【００３５】 既に述べたように、共通の電極端子を延長又は拡張するための、図２〜９に示
した手段は、互いに組み合わせることができる。良好に熱を伝導する粉末又は粒
子の充填されたエラストマだけでも既に熱導出を著しく改善して、本発明の課題
の解決手段として働くことができる。
した手段は、互いに組み合わせることができる。良好に熱を伝導する粉末又は粒
子の充填されたエラストマだけでも既に熱導出を著しく改善して、本発明の課題
の解決手段として働くことができる。
【図１】 図１Ａは、本発明による圧電アクチュエータの原則的な１実施例の概略的な縦
断面図であり、図１Ｂは、本発明による圧電アクチュエータの別の原則的な１実
施例の横断面図である。
断面図であり、図１Ｂは、本発明による圧電アクチュエータの別の原則的な１実
施例の横断面図である。
【図２】 延長且つ／又は拡張された共通の電極端子の変化実施例を、本発明による圧電
アクチュエータを部分的に縦断して示した図である。
アクチュエータを部分的に縦断して示した図である。
【図３】 延長且つ／又は拡張された共通の電極端子の変化実施例を、本発明による圧電
アクチュエータを部分的に縦断して示した図である。
アクチュエータを部分的に縦断して示した図である。
【図４】 延長且つ／又は拡張された共通の電極端子の変化実施例を、本発明による圧電
アクチュエータを部分的に縦断して示した図である。
アクチュエータを部分的に縦断して示した図である。
【図５】 延長且つ／又は拡張された共通の電極端子の変化実施例を、本発明による圧電
アクチュエータを部分的に縦断して示した図である。
アクチュエータを部分的に縦断して示した図である。
【図６】 延長且つ／又は拡張された共通の電極端子の変化実施例を、本発明による圧電
アクチュエータを部分的に縦断して示した図である。
アクチュエータを部分的に縦断して示した図である。
【図７】 延長且つ／又は拡張された共通の電極端子の変化実施例を、本発明による圧電
アクチュエータを部分的に縦断して示した図である。
アクチュエータを部分的に縦断して示した図である。
【図８】 延長且つ／又は拡張された共通の電極端子の変化実施例を、本発明による圧電
アクチュエータを部分的に縦断して示した図である。
アクチュエータを部分的に縦断して示した図である。
【図９】 延長且つ／又は拡張された共通の電極端子の変化実施例を、本発明による圧電
アクチュエータを部分的に縦断して示した図である。
アクチュエータを部分的に縦断して示した図である。
１ アクチュエータ体、 ２ モジュール壁、 ３ 導電性の電極端子、 ４
可動プレート、 ５ 中間室、 ６ アクチュエータフット、 ７，２７ エ
ラストマ、 ９ 金属セグメント、 １０，１８ 絶縁層、 １１ 帯状ばね、
１２ 接続ワイヤ、 １３ 金属塊、 １７ 粒子、 １９ セラミックディ
スク、 ３１，３２ 延長区分
可動プレート、 ５ 中間室、 ６ アクチュエータフット、 ７，２７ エ
ラストマ、 ９ 金属セグメント、 １０，１８ 絶縁層、 １１ 帯状ばね、
１２ 接続ワイヤ、 １３ 金属塊、 １７ 粒子、 １９ セラミックディ
スク、 ３１，３２ 延長区分
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3G066 BA56 BA61 CC01 CC05 CE27 3H062 CC05 FF40 HH03 HH10
Claims (14)
- 【請求項１】 特に自動車の内燃機関に設けられた制御弁又は噴射弁を操作
するための圧電アクチュエータであって、特に圧電材料の積み重ねられた層と、
これらの層の間に位置する、電極として働く金属層若しくは導電層とから成る多
層積層体の形の圧電アクチュエータ体（１）が設けられており、前記電極層が、
導電性の共通の電極端子（３，３１，３２）によって接触接続されており、前記
アクチュエータ体（１）が、前記の共通の電極端子を有する中間室（５）の保持
下で金属のモジュール壁（２）によって取り囲まれている形式のものにおいて、 共通の電極端子（３）が、３次元で構造化された面又は３次元で構造化された
ボディの形で形成されており、前記電極端子のアクチュエータ体（１）に接触し
ている区分が、前記アクチュエータ体（１）の熱導出のために、中間室（５）に
突入している延長部（３１，３２）又は拡張部（９）を有しており、前記中間室
（５）が、熱伝導性の添加粒子を有するエラストマ（７，１７，２７）によって
満たされていることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 【請求項２】 共通の電極端子（３）が、それぞれアクチュエータ体（１）
の互いに向かい合う２つの側に設けられている、請求項１記載の圧電アクチュエ
ータ。 - 【請求項３】 共通の電極端子（３）の単数又は複数の延長部（３１，３２
）が、アクチュエータ体の側壁に対して平行に位置する波状の帯材又は波状の薄
板の形で形成されている、請求項１又は２記載の圧電アクチュエータ。 - 【請求項４】 共通の電極端子（３）の延長部（３１，３２）を形成してい
る薄板が、中間室（５）内で多重に折り畳まれている、請求項１から３までのい
ずれか１項記載の圧電アクチュエータ。 - 【請求項５】 共通の電極端子（３）の延長部（３１，３２）が、この共通
の電極端子を接触接続する接続ワイヤ（１２）の延長部／拡張部によって形成さ
れている、請求項１記載の圧電アクチュエータ。 - 【請求項６】 延長された接続ワイヤ（１２）が、それぞれ中間室（５）内
で多重に折り畳まれている、請求項５記載の圧電アクチュエータ。 - 【請求項７】 中間室（５）に突入している共通の電極端子（３）の延長区
分が、それぞれその長さの複数箇所において、中間室（５）に突入している各接
続ワイヤ（１２）の延長区分と接触接続されている、請求項１から６までのいず
れか１項記載の圧電アクチュエータ。 - 【請求項８】 共通の電極端子（３）が、それぞれ中間室（５）内でアクチ
ュエータモジュールの長手方向で位置する金属セグメント（９）によって拡張さ
れている、請求項１記載の圧電アクチュエータ。 - 【請求項９】 各金属セグメント（９）が、電気的な絶縁層（１０）によっ
てアクチュエータ壁（２）の内側に対して電気的に絶縁されている、請求項８記
載の圧電アクチュエータ。 - 【請求項１０】 各金属セグメント（９）が、接着剤（１１１）によって絶
縁層（１０）に接着されている、請求項９記載の圧電アクチュエータ。 - 【請求項１１】 共通の電極端子（３）の拡張部又は延長部（３１，３２）
が、それぞれ金属塊又は金属網（１３）等によって形成されている、請求項１記
載の圧電アクチュエータ。 - 【請求項１２】 アクチュエータ体（１）とモジュール壁（２）との間の中
間室（５）が、熱伝導性のエラストマ（７，２７）によって付加的に満たされて
いる、請求項１から１１までのいずれか１項記載の圧電アクチュエータ。 - 【請求項１３】 熱伝導性のエラストマ（７）が導電性の粒子（１７）で満
たされている、請求項１２記載の圧電アクチュエータ。 - 【請求項１４】 モジュール壁（２）の内側が、電気的に絶縁する層（１８
）によって電気的に絶縁されている、請求項１３記載の圧電アクチュエータ。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19856185.7 | 1998-12-05 | ||
| DE19856185A DE19856185A1 (de) | 1998-12-05 | 1998-12-05 | Piezoelektrischer Antrieb |
| PCT/DE1999/003532 WO2000034701A1 (de) | 1998-12-05 | 1999-11-05 | Piezoelektrischer antrieb |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002532051A true JP2002532051A (ja) | 2002-09-24 |
Family
ID=7890106
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000587117A Withdrawn JP2002532051A (ja) | 1998-12-05 | 1999-11-05 | 圧電駆動装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6452308B1 (ja) |
| EP (1) | EP1053425B1 (ja) |
| JP (1) | JP2002532051A (ja) |
| KR (1) | KR100778645B1 (ja) |
| DE (2) | DE19856185A1 (ja) |
| WO (1) | WO2000034701A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018524151A (ja) * | 2015-05-22 | 2018-08-30 | ノードソン コーポレーションＮｏｒｄｓｏｎ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | 増幅機構を有する圧電式の噴射システム及び噴射方法 |
Families Citing this family (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19928183A1 (de) * | 1999-06-19 | 2001-01-04 | Bosch Gmbh Robert | Piezoaktor |
| DE19928185B4 (de) * | 1999-06-19 | 2006-05-24 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor |
| DE10002437A1 (de) * | 2000-01-21 | 2001-08-16 | Bosch Gmbh Robert | Piezoaktor |
| US20010033125A1 (en) * | 2000-04-20 | 2001-10-25 | Tokin Corporation | Multilayer piezoelectric actuator device having a conductive member attached to an external electrode thereof |
| DE10039424A1 (de) * | 2000-08-11 | 2002-02-28 | Siemens Ag | Dosierventil mit einem hydraulischen Übertragungselement |
| DE10206115A1 (de) * | 2001-03-06 | 2002-09-19 | Ceramtec Ag | Piezokeramische Vielschichtaktoren sowie ein Verfahren zu ihrer Herstellung |
| DE10144919A1 (de) * | 2001-09-12 | 2003-05-22 | Siemens Ag | Vorrichtung umfassend einen piezoelektrischen Aktor |
| DE10230032A1 (de) * | 2002-07-04 | 2004-01-22 | Daimlerchrysler Ag | Piezoelektrischer Aktor für umströmende Medien sowie Verwendung eines entsprechenden piezoelektrischen Aktors |
| DE10360450A1 (de) * | 2003-02-27 | 2004-09-09 | Robert Bosch Gmbh | Brennstoffeinspritzventil |
| DE10328373B4 (de) * | 2003-06-24 | 2015-10-08 | Continental Automotive Gmbh | Piezoelektrisches Bauteil mit Temperiervorrichtung und Verwendung des Bauteils |
| DE102004050880B4 (de) * | 2004-10-19 | 2010-11-25 | Continental Automotive Gmbh | Kraftstoffinjektor mit Wärmetauscheinrichtung |
| KR100969361B1 (ko) * | 2004-11-24 | 2010-07-09 | 현대자동차주식회사 | 푸쉬 풀 케이블 연결 조인트 |
| DE102005014163B4 (de) * | 2005-03-29 | 2015-09-17 | Continental Automotive Gmbh | Piezoelektrische Aktoreinheit mit verbesserter Wärmeleitfähigkeit sowie Kraftstoffinjektor |
| EP1788232A1 (de) | 2005-11-16 | 2007-05-23 | Siemens Aktiengesellschaft | Aktorvorrichtung und Fluidinjektor |
| DE102006004289A1 (de) * | 2006-01-31 | 2007-08-02 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelektrischer Aktor mit integriertem Piezoelektrischem Transformator |
| DE102006006077B4 (de) | 2006-02-09 | 2009-04-09 | Continental Automotive Gmbh | Piezokeramischer Vielschicht-Aktor, Verfahren zum Herstellen eines piezokeramischen Vielschicht-Aktors und Einspritzsystem |
| US7679273B2 (en) | 2006-07-31 | 2010-03-16 | Delphi Technologies, Inc. | Strain tolerant metal electrode design |
| DE102006051325A1 (de) | 2006-10-31 | 2008-05-08 | Robert Bosch Gmbh | Anordnung eines Piezoaktors in einer Hülse eines Piezoaktormoduls |
| DE102007004559B4 (de) * | 2007-01-30 | 2020-02-27 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktormodul oder Piezoaktor mit einem ummantelnden Schutzschichtsystem und Verfahren zur Herstellung eines solchen Schutzschichtsystems |
| WO2010101056A1 (ja) * | 2009-03-04 | 2010-09-10 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子およびこれを備えた噴射装置ならびに燃料噴射システム |
| US8517284B2 (en) | 2009-05-13 | 2013-08-27 | Caterpillar Inc. | System and method for internal cooling of a fuel injector |
| DE102014221001A1 (de) * | 2014-10-16 | 2016-04-21 | Picofine GmbH | Antriebsvorrichtung und -verfahren zur linearen und/oder rotatorischen Positionierung |
| DE102019110736B4 (de) | 2019-04-25 | 2022-12-01 | Pi Ceramic Gmbh | Aktuator |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4011474A (en) * | 1974-10-03 | 1977-03-08 | Pz Technology, Inc. | Piezoelectric stack insulation |
| JPS60104762A (ja) * | 1983-11-10 | 1985-06-10 | Nippon Soken Inc | 電歪式アクチュエータ及びそれを用いた燃料噴射弁 |
| JP2567959B2 (ja) * | 1989-11-14 | 1996-12-25 | 日本タイラン株式会社 | 流体流量制御弁及びその製造方法並びに流体流量制御弁に使用される弁体 |
| US5148077A (en) * | 1990-09-28 | 1992-09-15 | Caterpillar Inc. | Coating surrounding a piezoelectric solid state motor stack |
| US5218259A (en) * | 1992-02-18 | 1993-06-08 | Caterpillar Inc. | Coating surrounding a piezoelectric solid state motor stack |
| JPH0897479A (ja) * | 1994-09-22 | 1996-04-12 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 積層型圧電アクチュエータ |
| DE19626671C1 (de) * | 1996-07-03 | 1997-10-16 | Fraunhofer Ges Forschung | Piezoelektrischer Leistungsaktor mit Kühlung und Verfahren zu seiner Herstellung |
| DE19648545B4 (de) * | 1996-11-25 | 2009-05-07 | Ceramtec Ag | Monolithischer Vielschichtaktor mit Außenelektroden |
| DE19650900A1 (de) * | 1996-12-07 | 1998-06-10 | Bosch Gmbh Robert | Piezoelektrischer Aktuator |
-
1998
- 1998-12-05 DE DE19856185A patent/DE19856185A1/de not_active Ceased
-
1999
- 1999-11-05 DE DE59908886T patent/DE59908886D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-11-05 WO PCT/DE1999/003532 patent/WO2000034701A1/de active IP Right Grant
- 1999-11-05 EP EP99963205A patent/EP1053425B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-11-05 KR KR1020007008528A patent/KR100778645B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1999-11-05 US US09/601,353 patent/US6452308B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1999-11-05 JP JP2000587117A patent/JP2002532051A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018524151A (ja) * | 2015-05-22 | 2018-08-30 | ノードソン コーポレーションＮｏｒｄｓｏｎ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | 増幅機構を有する圧電式の噴射システム及び噴射方法 |
| US11141755B2 (en) | 2015-05-22 | 2021-10-12 | Nordson Corporation | Piezoelectric jetting system and method with amplification mechanism |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100778645B1 (ko) | 2007-11-22 |
| DE19856185A1 (de) | 2000-06-15 |
| WO2000034701A1 (de) | 2000-06-15 |
| EP1053425A1 (de) | 2000-11-22 |
| EP1053425B1 (de) | 2004-03-17 |
| DE59908886D1 (de) | 2004-04-22 |
| KR20010040656A (ko) | 2001-05-15 |
| US6452308B1 (en) | 2002-09-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2002532051A (ja) | 圧電駆動装置 | |
| US6333587B1 (en) | Piezoelectric actuator | |
| JP2002533041A (ja) | 圧電式アクチュエータ | |
| US6552472B1 (en) | Piezoelectric actuator | |
| CZ20002798A3 (en) | Piezoelectric controller | |
| US6969009B2 (en) | Injector, especially fuel injection valve, with a piezoelectric actor | |
| KR100728511B1 (ko) | 압전 액추에이터 | |
| US4553059A (en) | Piezoelectric actuator and a piezoelectric pump injector incorporating the same | |
| JP4533404B2 (ja) | エンジン制御装置 | |
| KR101238542B1 (ko) | 전력 반도체 모듈 및 이에 대한 제조 방법 | |
| US4530317A (en) | Variable displacement free piston engine | |
| WO2003064830A1 (fr) | Thermoelement | |
| JP2003502873A (ja) | 圧電式アクチュエータ | |
| US6414418B1 (en) | Piezoelectric actuator | |
| CN105470379A (zh) | 热电发电机，尤其用于机动车辆 | |
| US6917141B2 (en) | Device with a piezoelectric actuator | |
| CN112867184B (zh) | Ptc加热单元 | |
| JP4048967B2 (ja) | 圧電アクチュエータおよび内燃機関の燃料噴射装置 | |
| US20170082071A1 (en) | Fuel filter heating device | |
| JP5583202B2 (ja) | 圧電式のアクチュエータおよび燃料噴射弁 | |
| JP5517437B2 (ja) | 保護層システムを備えたピエゾアクチエータ及びピエゾアクチエータモジュール | |
| JP2008053315A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| DE102005014163B4 (de) | Piezoelektrische Aktoreinheit mit verbesserter Wärmeleitfähigkeit sowie Kraftstoffinjektor | |
| JP2009509493A (ja) | ピエゾアクチュエータを備えたアッセンブリおよびピエゾアクチュエータを備えたアッセンブリを製作する方法 | |
| JP2006513363A (ja) | 燃料噴射弁 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061106 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20081128 |