JP2002530134A - Ｘ線フィルタを含むｘ線検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 Ｘ線検査装置は、Ｘ線源、Ｘ線検出器及びこれらＸ線源とＸ線検査装置との間に置かれるＸ線フィルタを含んでいる。このＸ線フィルタは、素子、特に導管を含み、別々のフィルタ素子のＸ線吸収率は、各々のフィルタ素子内のＸ線吸収液の量を調節することで調節可能である。個々のフィルタ素子内のＸ線吸収液の量は、個々のフィルタ素子に印加される電圧を介して調節される。制御システムは、個々のフィルタ素子に電圧を選択して印加するために設けられる。この制御システムは、電圧ラインと、フィルタ素子を電圧源と電気的に結合したスイッチング素子を含んでいる。このフィルタ素子は、例えばプレートの横方向に延在する突出物のような分離部材を具備する波形プレート又は平行プレート間の空間によって形成される。電圧ラインはこのプレート上に置かれる。好ましくは、このプレートは、延在可能な壁フォイルのスタックから形成され、分離フォイルは、電圧ラインの空間をスイッチング素子の空間に適合させるために、壁フォイル間に空間的に供給される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】

本発明は、 −Ｘ線源、 −Ｘ線検出器、 −複数のフィルタ素子を含み、Ｘ線源とＸ線検出器との間に配されるＸ線フィル
タ、 −個々のフィルタ素子に電圧を選択して印加するための電圧源及び制御システム
、 を含み、 −前記制御システムは、電圧ラインを含み、 −フィルタ素子は、電圧ラインを介して電圧源に接続され、及び −個々のフィルタ素子のＸ線吸収率は、個々のフィルタ素子に印加される電圧に
基づいて、このフィルタ素子内のＸ線吸収液の量を調節することにより調節可能
である、 Ｘ線検査装置に関する。

【０００２】 この種類のＸ線検査装置は、国際特許出願ＷＯ９７／０３４４９から公知であ
る。

【０００３】 Ｘ線検査装置は、検査すべき対象物、例えば放射線で検査すべき患者のＸ線画
像を形成するのに使用される。このＸ線源は、Ｘ線ビームによって対象物に照射
し、この対象物内のＸ線吸収率の局部的な差によって、Ｘ線画像がＸ線検出器上
に形成される。Ｘ線フィルタは、Ｘ線画像の輝度値の領域が制限されたままでい
ることを保証する。Ｘ線フィルタは、一方では対象物によってわずかしか減衰し
ないＸ線ビームの部分は、Ｘ線フィルタにより少ししか減衰せず、他方では対象
物によってかなり減衰するＸ線ビームの部分は、実質的に減衰することなくＸ線
フィルタにより通過されるやり方で調節される。Ｘ線画像の輝度値が制限された
領域内にあるので、このＸ線画像は、低コントラストの細部さえも良好な表現を
達成するために、更なる処理がとても容易にできる。

【０００４】 公知のＸ線検査装置のＸ線フィルタは、非常に多くの導管からなる束を具備し
、この導管の各々は、一方の端を介してＸ線吸収液と通じている。個々の導管内
に存在するＸ線吸収液の量は、導管の壁部に印加される電圧に影響される。導管
の壁部とＸ線吸収液との間の接着は、このような導管の壁部とＸ線吸収液との間
の電位差に依存することがわかっている。

【０００５】 電圧ラインは、公知のＸ線検査装置のＸ線フィルタ内の導管の間に延在してい
る。これら導管は、各々の電界効果トランジスタを介して電圧ラインの１つに接
続されている。これら電界効果トランジスタは、導管の間に配されている。電圧
ラインが導管の間に延在するために更に多くの空間が必要とされることが、公知
のＸ線検査装置のＸ線フィルタの欠点である。結果的に、公知のＸ線フィルタの
活性表面区域は、Ｘ線フィルタの全表面区域よりもかなり小さくなる。その上、
電界効果トランジスタは、Ｘ線検査装置の動作中にＸ線に曝される領域内に配さ
れる。このＸ線が電界効果トランジスタに影響を及ぼすので、公知のＸ線フィル
タの運用寿命は、制限される。

【０００６】 本発明の目的は、個々のフィルタ素子内にある各々のＸ線吸収液の量に基づい
て調節可能であり、公知のＸ線フィルタの活性表面区域よりも大きい活性表面区
域を持つＸ線フィルタを含むＸ線検査装置を提供することである。

【０００７】 本発明の更なる目的は、運用寿命が公知のＸ線フィルタの運用寿命よりもかな
り長いＸ線フィルタを提供することである。

【０００８】 本目的は、フィルタ素子が互いに局部的に付着されたプレート間の空間により
形成され、電圧ラインが１つ以上のプレート上に少なくとも部分的に設けられる
ことを特徴とする本発明に係るＸ線検査装置によって達成される。

【０００９】 フィルタ素子は、前記プレート間の空間により形成される導管の形状を有する
。好ましくは、これらプレートは、分離部材(separating member)を具備する。
この分離部材は、隣接するプレート間において隣接するフィルタ素子を互いに分
離する。この分離部材は、例えばこのプレートを横切る方向に形成される突出部
により形成される。代わりに、波形のプレートを使用することも可能であり、こ
のプレートの波形が分離部材を構成する。個々のフィルタ素子は、平行なプレー
ト上、例えば関連するフィルタ素子の内側に面している平行なプレートの側部に
配される個々の電極を具備する。所望ならば、電極は、電気的に絶縁する絶縁層
及び／又は疎水性被膜層で覆われることも可能である。これら電極が電圧を入力
し、これにより、各々のフィルタ素子内に存在するＸ線吸収液の量が影響される
。電圧は、電圧ラインを介して電極に印加される。

【００１０】 電圧ラインは、前記プレート間に延在するので、フィルタ素子間において、電
圧ラインに対するどんな余分な空間も必要とされない。結果的に、電圧ラインは
、如何なるＸ線フィルタの活性空間も占めることがないので、Ｘ線フィルタの活
性表面区域は、公知のＸ線検査装置の活性表面区域よりも大きくなる。Ｘ線フィ
ルタの活性表面区域は、Ｘ線の吸収率を制御可能であるＸ線フィルタの表面区域
である。

【００１１】 Ｘ線検査装置の動作中に、Ｘ線ビームによって横断されない領域に到達するた
めに、電圧ラインは、平行なプレート間に容易に延ばすことができる。スイッチ
ング素子は、Ｘ線ビームによって横断されない上記領域内に位置決めされ、電極
は、平行なプレート間に延在する電圧ラインを介してスイッチング素子に接続さ
れる。この場合、スイッチング素子がＸ線検査装置の動作中にＸ線ビームに曝さ
れることはない。従ってＸ線によるスイッチング素子の劣化が避けられ、故にＸ
線フィルタの運用寿命が延長される。このスイッチング素子は、制御ユニットの
一部を形成し、電圧ラインは、このスイッチング素子を介して電圧源に接続され
る。個々のフィルタ素子の各々の電極は、このように各々の電圧ライン及びスイ
ッチング素子を介して電圧源に接続される。この電圧は、要求されるときにスイ
ッチング素子を閉じることで、関連するフィルタ素子、特にこのフィルタ素子の
電極に印加される。好ましくは、スイッチング素子は、薄膜トランジスタのゲー
ト接点にゲート電圧を印加することによりスイッチされる薄膜トランジスタによ
って形成される。さらに、個々の薄膜トランジスタは、例えばこのトランジスタ
の各々のドレイン接点を介してフィルタ素子の電極と、このトランジスタの各々
のソース接点を介して電圧ラインとに接続される。このスイッチング素子が、半
導体技術例えばシリコンにおける集積回路として構成されてもよい。

【００１２】 本発明のこれら及び他の特徴を従属請求項に規定される後続する実施例に基づ
いて以下に詳細に説明する。

【００１３】 波形プレートは、好ましくは柔軟性のある壁フォイルによって形成される。こ
の場合、フィルタ素子は、壁フォイルのスタックにおいて壁フォイルを互いに局
部的に付着させ、次いで壁フォイルのスタックを壁フォイルの表面を本質的に横
切る方向に増大させること、例えば伸ばすこと(stretching)により好ましくは形
成される。隣接し、本質的に平行な壁フォイルの間において、空間は隣接する壁
フォイルが互いに付着しない区域によって形成され、この空間がフィルタ素子と
して作用する。隣接する壁フォイルが細く、連続する接合シーム(bonding seam)
に沿って互いに局部的に付着されるとき、空間は導管として形成される。この導
管の大きさ、特にそれの断面は、接合シームの空間及び幅と壁フォイルのスタッ
クの増大する度合いとによって決定される。

【００１４】 電極と同様に、電圧ラインは、壁フォイルがスタックされ、このスタックが増
大する前に既に壁フォイルに好ましくは設けられる。これが、壁フォイル上に金
属被膜パターンとして電圧ライン及び電極を設けることを可能にする一方、これ
ら壁フォイルはいまだ互いに自由であり、まだ平坦な形状を有する。このような
状況において、金属被膜パターンは、簡単かつ単純なやり方で供給可能である。
例えば、この金属被膜パターンは、レーザ除去工程によって簡単に形成される。
既にフィルタ素子が形成された後、フィルタ素子間に電圧ラインを導入すること
は特に必要ない。その代わりに、電圧ラインは、フィルタ素子の形成前に既に設
けられ、フィルタ素子が壁フォイルのスタックを伸ばすことで形成されるとき、
壁フォイル上の電圧ラインは壁フォイルと一緒に歪むので、電圧ラインはフィル
タ素子を構成する壁フォイル間の空間の間を自動的に延在するであろう。

【００１５】 好ましくは、フォイルのスタック部分において、多くの中間フォイルが前記壁
フォイル間に挿入される。これら中間フォイルは、好ましくはフィルタ素子と電
圧ラインがこのフォイルのスタックから現れる領域との間に供給される。これら
中間フォイルは、好ましくは電圧ラインがフォイルスタックに現れる領域内に延
在する。中間フォイルは、好ましくはこのフォイルスタックの角まで続いてもよ
い。中間フォイルは、別個の壁フォイル上の電圧ライン間の距離を変える。電圧
ラインがフォイルのスタックから現れる領域において、別個の壁フォイル上の電
圧ライン間の距離が中間フォイルによって分離されない隣接するフォイル上の電
圧ライン間の距離とは異なることを保証するために、中間フォイルは、特に壁フ
ォイルのスタックの端部に供給される。フィルタ素子の大きさ、すなわち壁フォ
イル間の距離と、中間フォイルの厚さ及び数とに依存することは、電圧ラインが
フォイルのスタックから現れる領域において、別個の壁フォイル間の距離が、そ
れらが中間フォイルによって分離されず、フィルタ素子を形成する壁フォイル間
の距離よりも大きいか又は小さいかである。中間フォイルは、電圧ラインが壁フ
ォイルのスタックから現れる領域において別個の壁フォイル上の電圧ライン間の
距離を増大させるので、この電圧ラインはＸ線フィルタの外側にある電子制御回
路に容易に接続可能である。つまり、この電子制御回路は、とりわけスイッチン
グ素子を含み、これによって、電圧がフィルタ素子の電極に選択して印加される
。中間フォイルは、電圧ラインが壁フォイルのスタックから現れる領域のみで、
フィルタ素子が壁フォイル間に導管として形成される壁フォイルのスタックの領
域には供給されないとき、隣接する壁フォイルがフィルタ素子を形成する隣接す
る壁フォイル間の距離は、電圧ラインが壁フォイルのスタックから現れる領域に
おける壁フォイル間の距離よりもかなり小さくなる。よって、互いに非常に近接
して配される多数の小さな導管を含み、電圧ラインがＸ線フィルタの外側に配さ
れる電子制御回路に簡単に接続できるＸ線フィルタが達成される。有利なことに
、別個の壁フォイル上の電圧ライン間の距離は、Ｘ線フィルタの外側の電子制御
回路の接続点間の距離に正確に適合される。さらに、同じ壁フォイル上の電圧ラ
インは、好ましくは電圧ラインがフォイルのスタックから現れる領域においてわ
ずかにファンアウト(fan out)する。関連する壁フォイルの平面におけるフォイ
ル間の距離がスイッチング素子を備える電子制御回路の接続点と正確に一致する
ことがよって達成される。

【００１６】 中間フォイルは、好ましくは壁フォイルと同じ材料で作られるが、電圧ライン
及び電極はその上に設けられない。同じフォイルの材料が中間フォイル及び壁フ
ォイルに使用されるので、中間フォイルは、壁フォイルが互いに局部的に接合さ
れるのと同じ状況で、互いに及び壁フォイルに接合される。これは、局部的に挿
入された中間フォイルで壁フォイルのスタックを処理するために、例えば温度及
び圧力のような状況が周期的に変化しなければならない複雑な工程の必要性を避
ける。特にこの壁フォイルは互いに局部的に接合され、中間フォイルは互いに及
び同じ状況においては壁フォイルに接合される。好ましくは、挿入された中間フ
ォイルを備える壁フォイルのスタックは、一つの処理段階、例えば圧力下で組立
体を加熱することで接合される。好ましくは、構成された分離層は、壁フォイル
間に供給される。開口は前記構成された分離層に埋め込まれるので、隣接する壁
フォイルは、圧力がフォイルのスタックに及ぼされるとき、この分離層における
開口の区域で互いに接触可能である。フォイルのスタックが圧力下で加熱される
とき、隣接する壁フォイルは、これらが分離層の開口を介して互いに接触する区
域で局部的に融着される。この壁フォイルは、これらが分離層の材料によって離
される区域で分離されたままとなる。中間フォイルを備える壁フォイルの接合さ
れたスタックが次にこのフォイルを横切る方向に伸ばされるので、導管がこれら
壁フォイル間に形成される。好ましくは、この分離層は、好ましくは相互に平行
な多数の金属トラックとして形成される。この金属トラックは、導管内のＸ線吸
収液の量を制御するために、この電極を介して電圧が個々の導管に印加される電
極としても作用する。

【００１７】 好ましくは、電圧ラインは、フォイル間を導管の長軸をほぼ横切る方向又は導
管の長軸に垂直な方向へ延在する。この電圧ラインは、壁フォイルのスタックに
おける個々の導管と、Ｘ線検査装置の動作中に曝される領域とからの最短の経路
に続いていく。この最短である可能な電圧ラインを介して、導管はスイッチング
素子に電気的に接続され、Ｘ線検査装置が動作中であるとき、導管はＸ線ビーム
内に位置するが、スイッチング素子はＸ線ビームの外側に残っている。他の実施
例における電圧ラインは、これらがＸ線ビームの到達外になるまで導管の横方向
に部分的に延在し、Ｘ線ビームの到達外では、電圧ラインは、Ｘ線ビームに近接
し、壁フォイルにスタックの上部にある領域へ、導管の長軸に大体平行に又は斜
めに延在する。スイッチング素子を備える電子制御回路は、Ｘ線ビームに近接す
る前記領域と、Ｘ線に曝される危険がない壁フォイルのスタックの上部に配され
ることが可能である。

【００１８】 好ましくは、壁フォイルのスタックは、壁フォイルの面を横切るように延在す
る少なくとも１つの端部で機械的に補強される。これは、機械的に補強された端
部でフォイルのスタックから現れる電圧ラインがスイッチング素子を備える電子
制御回路に接続することを容易にする。この機械的補強は、電圧ラインが前記電
子制御回路の接続点に接続されるために壁フォイルのスタックから現れると、互
いに正確な距離で正しく留まることを保証する。壁フォイルのスタックが離れる
と、電圧ライン間の正確な距離は、接続端子間の対応する距離とちょうど等しく
なる。好ましくは、導管の長軸に本質的に平行に延在する壁フォイルの端部が補
強される。

【００１９】 導電な供給ラインは、本発明に係るＸ線検査装置のＸ線フィルタの実施例にお
いて、中間フォイル上に設けられている。この供給ラインは、壁フォイル上の電
圧ラインに電気的に接続されている。電圧はスイッチング素子の制御下で供給ラ
イン及び電圧ラインを介して別個のフィルタ素子に印加される。好ましくは、供
給ラインを備える中間フォイルの複数のグループが供給され、電圧ラインは、関
連するフィルタ素子に最も近くに位置する中間フォイルのグループの供給ライン
に接続される。別個のフィルタ素子から壁フォイルのスタックの外側への電気路
の一部が供給ラインを介して延在するので、この電圧ラインの要求される長さは
さらに短くなる。適当な電気接触に関し、電圧ラインは電圧接触パッドを具備し
、供給ラインは供給接触パッドを具備する。この電圧接触パッドは、電圧ライン
が壁フォイル間を中間フォイルに到達する電圧ラインの端部に供給される。供給
接触パッドは、供給ラインが中間フォイル間に壁フォイル上の電圧ラインの端部
に到達する供給ラインの端部に供給される。中間フォイル及び壁フォイル上の分
離した供給ライン及び電圧ラインを使用する結果として、それぞれ供給ライン及
び電圧ラインを異なる方向に延在させることも可能である。これは、供給ライン
がＸ線検査装置が動作中にＸ線に曝されない領域における壁フォイルのスタック
から現れる場所を任意に選択することが可能となる。供給接触パッド及び電圧接
触パッドをクランピング(clamping)接触を介して互いに接続することによって、
適当な導電接続が供給ラインと電圧ラインとの間に容易に達成されることがわか
る。

【００２０】 例えば、供給ラインを備える中間フォイルが、挿入中にこの供給ラインが壁フ
ォイル上の電圧ラインと本質的に平行である方向へ壁フォイルのスタック内に挿
入される。故に、供給ラインは、簡単に電圧ラインと一致させることができる。

【００２１】 さらに、１つの供給ラインが幾つかの電圧ラインと接続されてもよいので、様
々なフィルタ素子が一緒に活性化される。幾つかの供給ラインが信号電圧に接続
されてもよいので、電圧ラインと作動すべき電圧ラインの選択を制御する制御回
路（ドライバＩＣ）との間に低い電気抵抗が達成される。

【００２２】 本発明のこれら及び他の特徴を添付する図面と以下に記載される実施例を参照
して説明する。

【００２３】

【発明の実施の形態】

図１は、本発明に係るＸ線検査装置１を概略的に示している。Ｘ線源２は、対
象物４に照射するためのＸ線ビーム３を放射する。放射線により検査すべき患者
のような対象物４内のＸ線吸収率の差によって、Ｘ線画像がＸ線源とは反対側に
配されたＸ線検出器５の感応面１５上に形成される。高電圧源５１は、電気的に
高い電圧をＸ線源２に供給する。本実施例のＸ線検出器５は、出口窓１７上にて
Ｘ線画像を光学画像に変換するＸ線画像増強装置１６と、この光学画像をピック
アップするビデオカメラ１８とを含んでいる画像増強装置／ピックアップチェー
ンにより形成されている。入口スクリーン１９は、入射するＸ線を電子光学シス
テム２０によって出口窓上に像を作る電子ビームに変換するＸ線画像増強装置の
Ｘ線感応面として作用する。入射電子は、出口窓１７の蛍光層２１上に光学画像
を生成する。ビデオカメラ１８は、例えばレンズシステム又は光ファイバ結合の
ような光学結合２２を介してＸ線画像増強装置１６に結合されている。ビデオカ
メラ１８は、この光学画像から電子画像信号を抽出される。つまりこの画像信号
がＸ線画像における画像情報を視覚化するためにモニタ２３に与えられる。この
電子画像信号は、更なる処理をするための画像処理ユニット２４に与えられても
よい。

【００２４】 Ｘ線源２と対象物４との間に、Ｘ線ビームを局部的に減衰させるためのＸ線フ
ィルタ６が配されている。このＸ線フィルタの個々のフィルタ素子７のＸ線吸収
率は、調節ユニット５０により調節される。個々のフィルタ素子のＸ線吸収率は
、これら個々のフィルタ素子内に存在するＸ線吸収液１４の量を調節することで
制御される。このようなフィルタ素子内のＸ線吸収液１４の量は、関連するフィ
ルタ素子に印加される電圧に基づいて調節される。この調節ユニット５０が高電
圧源５１に結合されているので、Ｘ線フィルタ６は、Ｘ線源により放射されるＸ
線ビーム３の強度に基づいて調節される。この調節ユニット５０は、ビデオカメ
ラにも接続されている。結果的に、このＸ線フィルタは、電子画像信号、つまり
Ｘ線画像における画像情報に基づいて調節可能である。

【００２５】 図２は、本発明に係るＸ線検査装置のＸ線フィルタの第１実施例の概略的な斜
視図である。図２に示される実施例のフィルタ素子８は、導管として構成されて
いる。この導管８は、接合シーム１０に沿って互いに局部的に付着された壁フォ
イル９間の空間として形成される。これら壁フォイル９は、好ましくはプラスチ
ックフォイル、ポリエステルフォイル又はポリエチレンテレフタラートフォイル
(PETP foil)である。この種類のＰＥＴＰフォイルは、熱圧縮により容易に局部
的に融着することが可能なので、接合シームは、隣接するＰＥＴＰフォイルがこ
れに沿って融着する細いストリップによって簡単に形成される。この種類の接合
シームはとても強固であるから、ＰＥＴＰフォイルは、ＰＥＴＰフォイルのスタ
ックが伸びているときには自由にならないことも分かっていた。導管８の各々は
、関連する導管８の壁部間に例えばアルミニウムトラックの形式である導電電極
１１を具備している。さらにＸ線フィルタは、個々の導管８に印加される電圧を
制御するための電子制御ユニット１２を含んでいる。このために、この電子制御
ユニット１２は、薄膜トランジスタを備える電子スイッチングシステムを含んで
いる。導管８の電極１１は、電圧ライン１３を介して電子制御ユニット１２に接
続されている。電圧ライン１３は、壁フォイル９の面上に置かれた、例えばアル
ミニウムトラックのような導電トラックである。電圧ライン１３は、この電子ス
イッチングシステムを導管８から空間的に離してある。電子制御ユニット１２は
、Ｘ線検査装置の動作中にＸ線ビーム３がこの制御ユニット１２を通過しないよ
うな導管８からの距離をあけて配される。電圧ライン１３が壁フォイル９間に延
在するので、これらラインが導管８の間のどんな余分な空間も占めることはない
。

【００２６】 その上、壁フォイル９は、中間フォイル３１によって互いに部分的に分離され
ている。この中間フォイル３１は、制御ユニット１２と導管８が形成される壁フ
ォイル９の部分との間の部分における壁フォイル９の間に配される。複数の中間
フォイルが隣接する壁フォイル９の間に供給されるので、導管８の長軸を横切る
方向において、関連する別々の壁フォイル９上の電圧ライン１３間の距離は、本
実施例では隣接する導管８間の距離よりもかなり大きい。その上、同一壁フォイ
ル９上の電圧ライン１３は、関連する壁フォイル９が中間フォイル３１によって
隣接する壁フォイル９から分離される領域において互いにファンアウトされる。
これら電圧ライン１３のファンアウトにより、導管８に平行な方向において、同
じ壁フォイル上の電圧ライン間の距離は、導管の区域での電圧ライン１３間の距
離よりも、電圧ラインが壁フォイル９のスタックから現れる区域での距離の方が
大きくなる。中間フォイル３１及びファンアウトの結果として、電圧ラインが前
記スタックから離れる区域での電圧ライン１３間の距離は、電子制御ユニット１
２上の接点４０間の距離とちょうど等しくなる。電圧ライン１３は、よって電子
制御ユニット１２の接点４０に容易に接続することができる。この電子制御ユニ
ット１２は調節ユニット５０の一部を形成する。中間フォイル３１を備える壁フ
ォイル９のスタックは、この制御ユニット１２の区域において機械的な補強材４
１を具備している。例えば、この補強材４１は、フォイル間に供給される硬化エ
ポキシ樹脂により形成される。

【００２７】 図３は、本発明に係るＸ線検査装置のＸ線フィルタの第２実施例を示している
。

【００２８】 図３に示されるＸ線フィルタにおいて、中間フォイル３１は壁フォイル９の間
に挿入されている。中間フォイル３１は、導管が形成されない壁フォイル９のス
タックの一部に供給される。さらに、導管の長軸に平行な方向において、幾つか
の若しくは全ての中間フォイル３１が壁フォイル９のスタックの外側まで延在す
る。図２に示される実施例と同様に、電圧ライン１３は、壁フォイル間を導管８
の電極１１へと延在する。図２の実施例において、さらに供給ライン３２は、中
間フォイル上に設けられている。これら供給ラインは、電圧ライン１３のように
導電性であり、例えば供給ラインはアルミニウムトラックとして形成される。各
々の供給ライン３２は、供給ライン３２の供給接触パッド３４と電圧ライン１３
の電圧接触パッド３５とを介して各々の電圧ライン１３に接続される。個々の供
給ラインは、供給ライン３２が関連する個々の電圧ライン１３に到達する端部に
供給接触パッド３４を具備する。さらに、個々の電圧ラインは、関連する電圧ラ
イン１３が接続される導管８から離れた端部に電圧接触パッド３５を具備する。
供給接触パッド３４及び電圧接触パッド３５は、関連する供給ライン３２と関連
する電圧ライン１３との間に各々電気接続をその都度形成する。例えば、個々の
導管８の各々がそれの電極１１を介して単一の電圧ライン１３に接続され、その
都度、電圧ライン１３の１つが供給ライン３３の各々１つに接続される。他の実
施例における個々の導管８は、２つの電極１１を個々に具備し、導管毎に２つの
電極１１が２つの個々の電圧ライン３３に接続されている。好ましくは、この場
合、２つの電極ラインは向かい合って置かれる壁フォイルに設けられる。さらに
、個々の導管８に対する電圧ライン１３の組は、１つの供給ライン３２に接続さ
れる。よって、２つの電圧ラインと１つの供給ラインとが各導管８に用いられて
いる。

【００２９】 電気接触は、各々の供給接触パッド３４と電圧接触パッド３５とを互いに機械
的に押しつけ(pressing)又はクランピングすることによって特に確立される。中
間フォイル３１が供給される区域において、挿入された中間フォイル３１を備え
る壁フォイルのスタックを押しつけ又はクランピングすることにより一緒に電圧
接触パッド３５と供給接触パッド３４とを押しつけ又はクランピングすることが
特に容易になる。多くの供給接触パッド３４と電圧接触パッドとを組にして一緒
に押しつけることを特に可能にする。つまり、上記各組は、互いに接続される関
連する供給ライン及び電圧ラインの供給接触パッドと電圧接触パッドとからなる
。これら供給及び電圧パッド３５は、好ましくは関連する供給又は電圧ラインの
端部において導電パッドとして構成される。このような供給又は電圧接触パッド
は、実際には関連する供給又は電圧ラインの広げられた部分からなる。

【００３０】 多くの供給接触パッド３４と電圧接触パッド３５とを組にして一緒に押しつけ
ることを特に可能にする。つまり、上記各組は、互いに接続される関連する供給
及び電圧ライン１３の供給接触パッド３４と電圧接触パッド３５とからなる。本
発明に係るＸ線フィルタが１２８×１２８個の導管を有し、これら導管のすべて
は制御ユニット１２に接続されなければならないとき、必要である１６，０００
以上の接続を確立することを容易に可能にする。供給接触パッド３４及び電圧接
触パッド３５は、好ましくは関連する供給又は電圧ライン１３の端部において導
電パッドとして構成される。供給及び電圧ラインは、例えば１０μｍ又は５０μ
ｍから１５０μｍまでの幅を持っている。供給及び電圧接触パッドの幅は、例え
ば供給及び電圧ラインの幅の１．５倍から２倍に達する。このような供給又は電
圧接触パッドは、実際には上記供給電圧ラインの関連する端部において、関連す
る供給又は電圧ラインの広げられた部分を構成する。図３に示される実施例の中
間フォイル３１のスタックは、壁フォイル９のスタックから突出している。制御
ユニット１２は、壁フォイルのスタックの外側にある中間フォイルのスタックの
端部に配されている。所望するなら、供給ライン３２を支える中間フォイル３１
の間に、付加フォイルが中間フォイル３１の平面を横切る方向における供給ライ
ン３２間の距離に適合させるために供給されてもよい。さらに、関連する中間フ
ォイル３１の平面における供給ライン３２の間の距離に適合させるために、中間
フォイル３１上の供給ライン３２は、この供給ライン３２が中間フォイル３１の
スタックから現れる領域内でファンアウトしてもよい。供給ライン３２が中間フ
ォイル３１のスタックから現れる区域において、供給ライン３２の空間は、よっ
て制御ユニット１２の接点４０の空間と正確に適合する。

【００３１】 図４は、本発明に係るＸ線検査装置のＸ線フィルタの他の実施例を示す。図３
に示される実施例において、集積制御回路（ドライバＩＣ）が中間フォイル３１
上に設けられている。この制御回路は、電圧を入力する電圧ラインと電子電圧を
入力しない電圧ラインとの選択を供給する。この集積制御回路は多くの出力部を
有し、この出力部に供給ラインが接続されている。この集積制御回路の入力部は
、電子画像信号又はＸ線ビームの強度にそれぞれ基づいてＸ線フィルタを調節す
るために、例えばビデオカメラ１８又は高電圧源５１に接続される。

【図面の簡単な説明】

【図１】 図１は、本発明に係るＸ線検査装置の概略図である。

【図２】 図２は、本発明に係るＸ線検査装置のＸ線フィルタの実施例の概
略的斜視図である。

【図３】 図３は、本発明に係るＸ線検査装置のＸ線フィルタの実施例の概
略的斜視図である。

【図４】 図４は、本発明に係るＸ線検査装置のＸ線フィルタの実施例の概
略的斜視図である。

【符号の説明】

８ 導管 ９ 壁フォイル １０ 接合シーム １１ 電極 １２ 電子制御ユニット １３ 電圧ライン ３１ 中間フォイル ４０ 接点 ４１ 補強材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 Ｇｒｏｅｎｅｗｏｕｄｓｅｗｅｇ １， 5621 ＢＡ Ｅｉｎｄｈｏｖｅｎ， Ｔｈ ｅ Ｎｅｔｈｅｒｌａｎｄｓ (72)発明者 ウィーカンプ ヨハネス ダブリュー オランダ国 5656 アーアー アインドー フェン プロフ ホルストラーン ６ (72)発明者 ジースベルス ヤコブス ビー オランダ国 5656 アーアー アインドー フェン プロフ ホルストラーン ６ (72)発明者 リンダース ペトラス ダブリュー ジェ イ オランダ国 5656 アーアー アインドー フェン プロフ ホルストラーン ６ (72)発明者 ヴァネス アンドレアス シー エム オランダ国 5656 アーアー アインドー フェン プロフ ホルストラーン ６ Ｆターム(参考） 4C093 AA01 AA07 CA04 CA06 CA12 EA02 EA11 EB02 FA15

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 −Ｘ線源、 −Ｘ線検出器、 −複数のフィルタ素子を含み、前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出器との間に配されるＸ
   線フィルタ、 −個々のフィルタ素子に電圧を選択して印加するための電圧源及び制御システム
   、 を含むＸ線検査装置であって、前記制御システムは電圧ラインを含み、前記フィ
   ルタ素子は、前記電圧ラインを介して前記電源に接続され、及び前記個々のフィ
   ルタ素子のＸ線吸収率は、前記個々のフィルタ素子に印加される電圧に基づいて
   前記個々のフィルタ素子内のＸ線吸収液の量を調節することで調節可能であるＸ
   線検査装置において、前記フィルタ素子は互いに局部的に付着されるプレート間
   にある空間によって形成され、前記電圧ラインは１つ以上の前記プレート上に少
   なくとも部分的に具備されることを特徴とするＸ線検査装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のＸ線検査装置において、前記プレートは少
   なくとも部分的に歪められた壁フォイルにより形成されることを特徴とするＸ線
   検査装置。
3. 【請求項３】 請求項２に記載のＸ線検査装置において、前記壁フォイルは
   、当該壁フォイル間に挿入された中間フォイルにより互いに少なくとも部分的に
   分離されていることを特徴とするＸ線検査装置。
4. 【請求項４】 請求項３に記載のＸ線検査装置において、前記壁フォイルは
   、隣接する壁フォイル間に存在するフィルタ素子を形成する空間を、壁フォイル
   のスタックの形式で局部的に設けられ、及び前記中間フォイルは、前記フィルタ
   素子と前記電圧ラインが前記フォイルのスタックから現れる領域との間に位置す
   る前記Ｘ線フィルタの一部に設けられることを特徴とするＸ線検査装置。
5. 【請求項５】 前記フィルタ素子が導管として形成される請求項１に記載の
   Ｘ線検査装置において、前記電圧ラインは、前記導管の長軸のプレート間に本質
   的に横断的に延在することを特徴とするＸ線検査装置。
6. 【請求項６】 前記フィルタ素子が導管として形成される請求項２に記載の
   Ｘ線検査装置において、１つ以上の壁フォイルの端部が機械的に補強されること
   を特徴とするＸ線検査装置。
7. 【請求項７】 請求項３に記載のＸ線検査装置において、供給ラインが１つ
   以上の中間フォイル上に設けられ、及び１つ以上の個々の供給ラインが前記壁フ
   ォイル上の１つ以上の個々の電圧ラインに電気的に接続されることを特徴とする
   Ｘ線検査装置。
8. 【請求項８】 請求項７に記載のＸ線検査装置において、前記供給ラインが
   供給接触パッドを具備し、前記電圧ラインが電圧接触パッドを具備し、及び前記
   供給接触パッドと前記電圧接触パッドとがクランピング接触によって互いに接続
   されることを特徴とするＸ線検査装置。