JP2002519286A - 熱状態調節プロセス - Google Patents
熱状態調節プロセスInfo
- Publication number
- JP2002519286A JP2002519286A JP2000557206A JP2000557206A JP2002519286A JP 2002519286 A JP2002519286 A JP 2002519286A JP 2000557206 A JP2000557206 A JP 2000557206A JP 2000557206 A JP2000557206 A JP 2000557206A JP 2002519286 A JP2002519286 A JP 2002519286A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- substrate
- lamp
- reflector
- absorption
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 49
- 230000008569 process Effects 0.000 title claims description 38
- 230000003750 conditioning effect Effects 0.000 title claims description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 95
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 32
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 27
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims abstract description 19
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 30
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 18
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 14
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 14
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 10
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 10
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 9
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 9
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 8
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 claims description 7
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 7
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 6
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 claims description 6
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims description 4
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 2
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 claims 1
- 241000196324 Embryophyta Species 0.000 description 8
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 230000005457 Black-body radiation Effects 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 3
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 2
- 241000208199 Buxus sempervirens Species 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000002329 infrared spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001429 visible spectrum Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/001—General methods for coating; Devices therefor
- C03C17/002—General methods for coating; Devices therefor for flat glass, e.g. float glass
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
- C03C23/007—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by thermal treatment
Abstract
Description
調節するための技術に関する。この発明は、300cm2から1m2およびそれ以
上の、表示パネル生産物のための大きなガラス基板の熱状態を調節しなければな
らないときに直面する要求に基づく。
の表面を真空コーティングするためには、予め基板の表面から水分子を取除いて
おく必要がある。これは慣習的には加熱と、付加的な脱気およびさらなる表面の
汚れに対する表面の洗浄とによって行なわれる。
の中に多数の基板を運搬することが公知である。このオーブンは真空雰囲気にて
動作する。この手法では、基板が最終的な所望の温度に達するまでにかなりの時
間が経過する。このような低速プロセスによって真空処理プラント全体の高スル
ープットを低下させないために、多数の基板を同時に熱状態調節する必要がある
が、処理プラント全体の他のプロセスは単一基板モードで行なわれる。したがっ
て単一の処理された基板が加熱のために回収されることになる。プラントの他の
プロセスがバッチモードで動作するとき、各バッチは1つの製品を表わし、した
がって前述のアプローチは多数のバッチの加熱を必要とする。
善を達成できる熱状態調節プロセスおよび熱状態調節チャンバを提供することに
よって、特にクラスタ型処理真空プラントにおいて、プラント全体のスループッ
トを制限することなく単一基板の動作によって熱状態調節を行なえるようにする
ことである。したがってこの発明の技術は、単一製品の処理、すなわち単一基板
の処理または単一バッチの処理における時間消費に完全に従うものとなり、ここ
で「バッチ」は熱処理に関する「1つの製品」とみなされる。この目的は、続い
て行なわれる真空コーティングなど、少なくとも1つの真空表面処理プロセスに
よる表面処理の前に、少なくとも1つのガラス基板を熱状態調節するためのこの
発明のプロセスによって実現され、この発明のプロセスは、 ・前記基板をチャンバに導入するステップと、 ・導入前に前記チャンバを真空にするか、または導入後に前記チャンバを真空
にするステップと、 ・赤外スペクトルバンドにおける、波長の増加とともに吸収が上がるようなス
ペクトル吸収特性の下側の勾配を含む基板のスペクトル吸収特性を予め定めるス
テップと、 ・前記基板の前記吸収スペクトルと、少なくともその勾配の主な部分に沿って
、および/またはより長い波長に向かって重なる放射スペクトルバンドを有する
少なくとも1つのランプを選択するステップと、 ・真空にしたチャンバ中の基板を、前記チャンバの真空雰囲気を介して直接的
にランプからの放射に露出するステップとを含む。
λrは 1500nm≦λr 好ましくは 1500nm≦λr≦6000nm 特に 2000nm≦λr≦6000nm 特に好ましくは 2500nm≦λr≦4500nm であるよう、ランプが選択される。
よって、熱の損失を最小限にすることが提案される。
らに好ましい形においては、フォイル様またはシート様の反射体によって反射を
行なうことにより熱容量および反射構造体の慣性を最小化し、さらには熱の損失
を最小化する。反射面の材料は、ランプの放射スペクトルバンド中の光を少なく
とも50%まで、または少なくとも80%まで反射し、吸収するエネルギが最小
限であるよう選択されることが好ましい。反射面の材料として、好ましくはアル
ミニウムが選択される。ランプの放射の吸収を最小化し、システムの慣性を最小
化するためには、こうしたアルミニウムと組合わせて1500nm以上のλrを
選択すべきである。
クトルバンドの放射の99%以上を反射でき、可視スペクトル範囲の放射の約9
0%を反射できる。
とも可能であるが、基板の加熱はその一方側からのランプの放射に対する直接的
な露出と、他方側から基板に向けて反射される放射とによって行なわれる。この
ことは、基板の両側から実質的に同等に、およびより効果的に熱がかけられるた
め、不均一に熱がかけられることによる基板の熱ストレス性の反りおよび劣化を
防げるという利点を有する。
ガラスが曲がり、最終的に破壊されるおそれがあることを強調する必要がある。
これは明らかに避けるべきである。
射体装置、特にフォイル様またはシート様の反射体装置は、ランプの放射に露出
されていない側から冷却される。これは、反射体装置から距離をおかれて隣り合
った、好ましくはステンレス鋼でできた剛性のチャンバの壁を流体が冷却するこ
とによって行なわれることが好ましい。この冷却効果は、反射体装置の、ランプ
の放射に露出されていない側に黒体放射コーティングを設けることによってさら
に改善されることが好ましい。
ンプを設け、好ましくはこうしたランプをそれぞれ選択された異なる相互距離、
好ましくは調整可能な距離をもって設けることが提案される。
理サイクル全体を考慮すると、加熱効率と同様に冷却効率も重要であり得る。冷
却効率を最適化するために、熱転換機構は冷却のため全く異なる物理的特性に、
すなわち放射加熱から伝導性の冷却へと変換される。冷却サイクルにおける好ま
しい動作モードにおいて、特にヘリウムなど、好ましくは不活性のガスなどの熱
伝導性のガスが処理チャンバに導入される。特にチャンバの外側の壁が冷却され
るため、熱伝導によって基板の温度が迅速に下げられる。
質的に熱伝導がなくなる真空になるまでポンピングすることが推奨される。これ
は周囲環境への熱の損失を防ぎ、加熱効率を上げるためである。さらに、基板の
粒子混入を防ぐため、ランプは基板の下側に位置決めされることが好ましい。好
ましくは基板に向けられた高温計センサを用いて、その実際の温度状態を検出し
、所望の温度状態値と比較することによって、負のフィードバック制御ループの
手段によって加熱速度を制御できる。得られる比較の結果は制御差としてランプ
制御に作用し、その電力を調整したり、および/またはそれによって特にその放
射スペクトルをシフトしたり、および/または吸気制御バルブに作用して熱の伝
導すなわち熱の損失を制御したり、および/または真空ポンプの制御に作用する
。なお、ランプの電気供給を制御することによってその放射スペクトルをシフト
させてもよく、これによっても基板の温度状態を調整できる。
ス(Heraeus)社から入手可能なカーボンラジエータランプの使用を推奨する。
ンプが好ましい。このことによって、可視スペクトル範囲または近赤外線範囲の
エネルギが赤外スペクトルバンドのエネルギに転換される。
ニウムは800nm付近に吸収極大を有するが、2000nmを超えると99%
までの反射率を有することであり、ガラスは2500nm付近において吸収を始
めるため、このことは好適である。前述の「黒型」ランプの有する放射スペクト
ルバンドの極大はその表面温度に依存して約4000nmであり、カーボンラジ
エータランプは約2000nmであり、これはコーニング(登録商標)ガラスな
ど、平パネルに用いられるガラスの吸収特性によく一致する。さらにカーボンラ
ジエータランプは反応時間がより短いという利点を有し、その振舞いは粒子の発
生が少ないためにより良い。
に対する温度安定基準ができる。
00cm2から1m2までのホウケイ酸ガラス基板を、室温から200℃まで50
秒間で繰返し確実に加熱することができた。温度の大幅な行きすぎはなく、基板
表面の温度の分布は優良であった。温度の行きすぎ量は最大10%で、通常はそ
れよりもかなり低かった。
において脱着し始めるため、前述の高い加熱速度により、非常に短時間で少なく
とも非常に高程度まで表面を脱気でき、その時間は、クラスタ型平パネル製造プ
ラントにおいて先行または後続して行なわれる処理プロセスよりもむしろ短い。
なくとも1つの出入ロック、または少なくとも1つの入ロックおよび少なくとも
1つの出ロックを有する剛性外壁と、チャンバ中の製品ホルダ装置と、チャンバ
に動作可能に接続された真空ポンプ装置と、前記製品ホルダ装置に対向し前記製
品ホルダから自由にアクセス可能な少なくとも1つのランプとを含み、前記ラン
プの有する放射スペクトルバンドは、波長の増加とともに、および/またはより
長い波長において吸収が増加するようなガラスの吸収スペクトルバンドの吸収勾
配の少なくとも主な部分にわたって、前記ガラスの前記バンドと重なっている。
る。
のチャンバとして示されるような、好ましい形を定める周囲の剛性壁3を含む。
チャンバ1の内部は、たとえばスロットバルブによって実現される出入ロックを
介してガラス基板5を供給および除去するためにアクセス可能である。
によって形成されたホルダ装置上に置かれる。このピンは、高分子材料など耐熱
性で断熱性のある材料でできている。後ほど説明するとおり、ホルダ装置および
特にピン7には反射する外側層が設けられ、特にアルミニウムと同様のこの反射
層の特徴は、前述の反射装置の特徴と実質的に同じである。
ランプ11を有するランプホルダ9が設置されており、ランプはこの説明の導入
部分で定めたとおり、その石英管上に黒いコーティングを有するハロゲン型ラン
プ、いわゆる「黒型」ランプまたはカーボンラジエータランプであることが好ま
しい。ランプ間の距離は、たとえば約2から4cmである。
よい。概略的に示されるとおり、ランプ11は電源ユニット13によって電気的
に駆動される。
壁とたとえば5から10mm距離をおいて隣り合うよう、薄い金属シート材料す
なわちフォイル様材料でできた反射体装置15が設けられる。15aに示される
とおり、反射体15によって形成された「内部」チャンバは、必要であれば出入
ロック2に向けて、閉鎖可能な反射するドア15aを含んでもよい。
水であることが好ましい冷媒のための、流路17の装置を含む。さらに反射体1
5はその裏側15rに、たとえばグラファイトまたは黒色の陽極酸化処理したア
ルミニウムなどを含む黒体放射コーティングを含むことが好ましい。
、またはロック2に動作可能に接続されてチャンバ中に設けられてもよいポンピ
ング装置19によって真空にされる。さらに、熱伝導ガス、好ましくはヘリウム
を有するガスタンク装置23からチャンバ1の内部に、流量制御バルブ25が設
けられた吸気口21が設けられる。
伝導ガスはランプが消された後にチャンバ1に入れられることが好ましい。
を付加的に説明する。図2におけるカーブ(a)は、たとえばコーニングガラス
など、平パネル製造に用いられるガラスの吸収スペクトル特性を例示する。この
吸収スペクトル(a)はa1において勾配を示し、ここで吸収は波長λの増加に
依存して上昇する。この特定の場合において、勾配a1は2000nmから50
00nmのバンドにおいて、より正確にはバンドBによって示されるとおり25
00nmから4500nmで起こるように見える。
ンプの放射スペクトルを示す。こうしたランプの有し得る放射スペクトルのピー
クPbは約2500nmであることが見られ(カーボンランプのピークは約18
00nm)、したがってそのランプの放射スペクトルは、吸収スペクトル(a)
と少なくとも勾配a1の主な部分にわたって重なる。特性(c)は上述において
定められたような別のランプの放射特性であり、その放射のピークPcは約40
00nmである。このランプは、ガラスが50%以上、ここに示すものでは80
%以上を吸収する波長において放射極大を示す。どちらの種類のランプも、場合
によっては組合せて、図1に示すこの発明のチャンバにおけるランプ11として
設けることが好ましい。ガラス基板の吸収/透過の所望の関係に従って、ランプ
の所望の特性を前述の範囲から選択できる。
影響され得る。
クトルにおけるできる限り多くの光、すなわち有意的には50%以上、さらには
80%以上の光を反射するよう選択することによって吸収を最小化することが好
ましい。
ることによって、すなわち少なくとも主に放射加熱によって加熱される。特にラ
ンプ11に対向する反射体15の設備によって、基板5のガラスを透過した放射
は基板5に反射され、したがって基板は両側から放射加熱されることになるため
、熱のかかり方の均一性が大きく改善され、基板の熱ストレスおよび変形が最小
化する。
かつプロセス、特にその制御に対して安定な基準温度を提供する。
前述のとおり黒体放射コーティング15rを設けてもよい。
り方の均一性をさらに改善するために、ランプ11は双方向の矢印dによって示
されるとおり互いに異なる距離をもって配置されるか、または調整可能であって
、特に基板の境界領域の加熱を増加でき、または予め定められた温度プロファイ
ルを実現できるようにされる。
全体を一方では基板5に導き、他方では反射体および冷却された壁3に導く。し
たがってチャンバ1に設けられた真空の度合に依存して、それに従った異なる割
合の放射および伝導によって基板5の所望の熱平衡および最終温度が導かれるよ
うに見える。熱伝導は、バルブ25を制御し、タンク装置23からチャンバ1に
導入されるアルゴンまたは特にヘリウムなどの不活性ガスなどのイナートガスの
量を制御することによって影響される。
好ましくは高温計などの検出器を設けることが好ましい。その出力は比較ユニッ
ト32のX入力に導かれ、ユニット32の他方の入力Wは見積値信号を有する調
整可能な信号ソース34から与えられる。比較ユニット32の出力における負の
フィードバック制御偏差Δに従って、基板5の温度状態は以下のパラメータの少
なくとも1つを調整することによって、Wにおける見積値に従った値において制
御される。
よび/またはランプの放射スペクトルのシフトの調整による、基板5の吸収する
エネルギ量の調整。
基板の加熱サイクルにおける装置の熱の損失を変化させる。
御可能なポンピング装置19。
る。この温度は、図1に従ったチャンバにおいて、基板にこの発明の処理を行な
ったときに測定された。したがってこの曲線は、基板のたとえば中心点など、予
め定められた点における温度/時間の推移の結果を示す。ランプの点灯後、基板
の温度は均一に上昇し、迅速に安定な所望の温度、図3に従うと約180℃まで
上昇することが明らかに示される。ランプを点灯したまま保つことによって初期
のウォームアップ期間が省略されるとき、前記の寸法およびより大きな基板を均
一に加熱して、50秒以内に約200℃の安定な最終温度にすることも可能であ
った。これは、公知の先行技術の装置よりも3倍以上速いことを意味する。
入れられ、冷却された壁3への伝導によって基板から熱が取除かれる。ランプへ
の電気の供給を調整し、図1に従って少なくともその放射力を減少させるか、お
よび/またはそれらの放射スペクトルバンドをより低い波長にシフトすることに
よって、冷却サイクル中の放射加熱を減少させることが助言される。少なくとも
ランプに対する電力を低くすることが特に推奨される。
処理プラント全体における使用および適用に完全に適する。このことを図1中に
点線で示す。すなわち、平らな箱または引出し様の形のいくつかのチャンバ1が
互いにステープルで留められる。中央操作ロボット42を有する中央操作チャン
バ40は、それぞれのロック2aを介して、この発明の加熱チャンバの出入ロッ
ク2および、コーティングチャンバなどさらなる処理を行なう箱様または引出し
様のチャンバのステープルを取扱う。クラスタ型プラントの特徴として、所望の
製造プロセスに従い、中央操作チャンバ40の周囲に異なる型の処理チャンバが
配置され、同等のチャンバによってそれぞれのステープルが形成される。そこに
設けられる中央制御ユニット44は、図1に示すとおり、基板5に対する負のフ
ィードバックの温度制御ループの部品を組入れてもよく、さらにこのユニット4
4は中央操作器40のまわりに集まって設けられ実行される異なるプロセスの順
序およびプロセスのタイミングを制御する。このことから、異なる製造プロセス
順序を調整するための最大の柔軟性を得るため、処理順序および処理タイミング
はユニット44において自由にプログラム可能であることが好ましい。
によって既にコーティングされている可能性のある基板は、二重または多重に積
重ねられた態様で、すなわち互いに背中合わせの関係で配置されてもよく、こう
した積重ねは単一の基板に対して説明されたのと同様に処理される。
現可能である。
こうした利点が、軽く、かなり簡単に解釈され、かつ容易に制御可能なチャンバ
とともに得られる。このようなチャンバの手入れは容易かつ迅速に行なわれるた
め、処理プラント全体の効率が大きく改善される。
は、同一の出願人による以下の特許および特許出願に特に注意されたい。
明に従ったプロセスに従った動作を概略的に示す図である。
用されるガラスの吸収およびランプヒータの放射の挙動を示す図である。
ロセスに従って加熱される550x650cm2のガラス基板の温度応答の結果
を示す図である。
Claims (29)
- 【請求項1】 少なくとも1つの真空プロセスによって、引続き表面処理を
行なうために少なくとも1つのガラス基板を熱状態調節するためのプロセスであ
って、 ・前記基板をチャンバに導入するステップと、 ・前記導入前に前記チャンバを真空にするか、または前記導入後に前記チャン
バを真空にするステップと、 ・赤外スペクトルバンドにおける、波長の増加とともに吸収が上がるようなス
ペクトル吸収特性の下側の勾配を含む前記基板のスペクトル吸収特性を予め定め
るステップと、 ・前記基板の前記吸収スペクトルと、少なくとも前記勾配の主な部分に沿って
、および/またはより長い波長において重なる放射スペクトルバンドを有する少
なくとも1つのランプを選択するステップと、 ・前記真空にしたチャンバ中の前記基板を、前記チャンバの真空雰囲気を介し
て直接的に前記ランプからの放射に露出するステップとを含む、プロセス。 - 【請求項2】 前記少なくとも1つのランプが有する放射スペクトル極大が
前記勾配に近接するか、またはその中の波長であるよう前記ランプが選択され、
好ましくは前記吸収が少なくとも50%、さらに好ましくは少なくとも80%に
達する、請求項1に記載のプロセス。 - 【請求項3】 前記ランプの有する前記放射スペクトルのピークの波長λr
は 1500nm≦λr 好ましくは 1500nm≦λr≦6000nm より好ましくは 2000nm≦λr≦6000nm 特に 2500nm≦λr≦5000nm さらにおよそ2500nmまたは4500nmであるような前記ランプを選択
する、請求項1に記載のプロセス。 - 【請求項4】 前記基板を透過した放射を前記基板に向けて反射するステッ
プをさらに含む、請求項1に記載のプロセス。 - 【請求項5】 前記反射をフォイル様の反射体によって行なうことにより、
前記反射体の熱容量を最小化するステップを含む、請求項4に記載のプロセス。 - 【請求項6】 前記反射のための表面を与える材料を選択することによって
、前記放射スペクトルバンド中の光を50%以上、好ましくは80%以上、さら
には90%以上反射するステップをさらに含む、請求項3に記載のプロセス。 - 【請求項7】 前記反射をアルミニウム表面にて行ない、前記ランプの放射
が前記表面において実質的に反射されかつ吸収されないよう前記ランプを選択す
る、請求項4から6のいずれかに記載のプロセス。 - 【請求項8】 前記反射のための反射体を設け、前記反射体を前記ランプに
露出されていない側から冷却するステップをさらに含み、好ましくは前記反射体
は前記反射体と距離をおいて隣り合った、剛性かつ流体により冷却されたチャン
バの壁を介して冷却され、さらに好ましくは前記反射体の裏側に黒体放射コーテ
ィングが設けられる、請求項4に記載のプロセス。 - 【請求項9】 前記チャンバ中に熱伝導ガスを導入し、前記基板から前記チ
ャンバの壁への熱伝導を得ることによって、前記チャンバ内で製品を冷却するス
テップをさらに含む、請求項1に記載のプロセス。 - 【請求項10】 1つ以上の前記ランプを設け、前記ランプの互いの距離を
それぞれ選択することによって、前記少なくとも1つの基板に対する加熱の分布
を制御するステップをさらに含む、請求項1に記載のプロセス。 - 【請求項11】 前記ランプを前記基板の下側に設けるか、または少なくと
も1つのランプを前記基板の上および下の両側に設けるステップをさらに含む、
請求項1に記載のプロセス。 - 【請求項12】 前記ランプは、ウシオ電機(株)などによる「黒型」ラン
プか、またはヘレウス社などによるカーボンラジエータランプであるよう選択さ
れる、請求項1に記載のプロセス。 - 【請求項13】 前記基板は少なくとも300cm2、好ましくは少なくと
も500cm2の表面を有する、請求項1に記載のプロセス。 - 【請求項14】 選択的に組合せて前記基板に所望の全体の表面処理を行な
うことができ、かつ好ましくはプロセスのタイミングおよび/または順序に関し
て自由にプログラム可能である、クラスタに基づくプロセスのサブプロセスであ
る、請求項1に記載のプロセス。 - 【請求項15】 前記基板は表示パネルガラス基板である、請求項1に記載
のプロセス。 - 【請求項16】 少なくとも1つのガラス基板のための加熱チャンバであっ
て、少なくとも1つの出入ロック(2)または少なくとも1つの入ロックおよび
少なくとも1つの出ロックを有する剛性外壁(3)と、 前記チャンバ(1)中の基板配置面(E)を有する基板ホルダ(7)と、前記
チャンバ(1)に動作可能に接続された真空ポンプ装置(19)と、前記面(E
)に対向しかつ前記面(E)から自由にアクセス可能な少なくとも1つのランプ
(11)とを含み、前記ランプ(11)は前記ガラス基板(5)の吸収スペクト
ル(a)の、少なくともその下側の勾配(a1)の主な部分と重なる放射スペク
トルバンド(b、c)を有し、その下側の勾配においては波長の増加とともに、
および/またはより長い波長において吸収が増加する、チャンバ。 - 【請求項17】 前記ランプの放射スペクトル極大は、前記勾配に近接する
、またはその中にある波長であり、好ましくはそこでの前記ガラスの吸収は少な
くとも50%、好ましくは80%に達する、請求項16に記載のチャンバ。 - 【請求項18】 反射体装置(15)は、前記チャンバ中に、前記基板ホル
ダに関して前記少なくとも1つのランプに少なくとも対向して設けられ、前記反
射体装置の材料は前記放射バンド中の光を50%以上、好ましくは80%以上反
射し、その材料は好ましくはアルミニウムである、請求項16に記載のチャンバ
。 - 【請求項19】 前記反射体装置(15)は、前記チャンバ(1)の前記壁
(3)と距離をおいて隣り合ったフォイル様の反射部分を含み、好ましくはその
裏側に黒体放射コーティング(15r)が設けられる、請求項18に記載のチャ
ンバ。 - 【請求項20】 前記反射体装置は冷却される(17)、請求項18に記載
のチャンバ。 - 【請求項21】 前記チャンバ(1)の前記壁(3)は冷媒のための流路装
置を含む、請求項18に記載のチャンバ。 - 【請求項22】 1つ以上の前記ランプ(11)を含み、その互いの距離(
d)は異なるか、または調整可能である、請求項18に記載のチャンバ。 - 【請求項23】 前記少なくとも1つのランプ(11)が前記面(E)の下
に設けられる、請求項16に記載のチャンバ。 - 【請求項24】 制御可能なバルブ(21)装置を介して、熱伝導ガス、好
ましくは不活性のガスなどのイナートガス、好ましくはアルゴンまたはヘリウム
を有するガスタンクにさらに接続される、請求項16に記載のチャンバ。 - 【請求項25】 制御ユニット(44)をさらに含み、この制御ユニットが
前記バルブ装置(21)に動作可能に接続されることによって、前記基板が加熱
されるときには前記ガスが前記チャンバに入らないようにされ、かつ前記基板が
冷却されるときには前記ガスが前記チャンバに流れ込むようにされる、請求項2
4に記載のチャンバ。 - 【請求項26】 前記チャンバは前記少なくとも1つのロック(2)を介し
て中央操作器(40)に動作可能に接続され、前記中央操作器(40)は少なく
とも1つのさらなる真空処理プロセスチャンバ(2a)に動作可能に接続される
、請求項16に記載のチャンバ。 - 【請求項27】 前記中央操作器(40)、前記加熱チャンバ(1)および
前記少なくとも1つのさらなるプロセスチャンバに動作可能に接続された制御ユ
ニット(44)が設けられることによって、中央輸送チャンバ、さらなるプロセ
スチャンバおよび加熱チャンバの動作のタイミングおよび/または順序が、好ま
しくは自由にプログラム可能な態様で制御される、請求項26に記載のチャンバ
。 - 【請求項28】 前記基板ホルダは少なくとも300cm2の平らな表面、
好ましくは少なくとも500cm2の平らな表面を有する平らな基板を保持する
ためのホルダであり、前記ランプは好ましくはウシオ電機(株)などによる「黒
型」ランプ、またはヘレウス社などによるカーボンラジエータランプである、請
求項16に記載のチャンバ。 - 【請求項29】 背中合わせに積重ねた位置にある少なくとも2つのガラス
基板を状態調節する、請求項1に記載のプロセス。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10493298A | 1998-06-26 | 1998-06-26 | |
US09/104,932 | 1998-06-26 | ||
PCT/CH1999/000250 WO2000000445A1 (en) | 1998-06-26 | 1999-06-09 | Heat conditioning process |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002519286A true JP2002519286A (ja) | 2002-07-02 |
JP4461285B2 JP4461285B2 (ja) | 2010-05-12 |
Family
ID=22303203
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000557206A Expired - Fee Related JP4461285B2 (ja) | 1998-06-26 | 1999-06-09 | 熱状態調節プロセス |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6513347B1 (ja) |
EP (1) | EP1089949B1 (ja) |
JP (1) | JP4461285B2 (ja) |
KR (1) | KR100620444B1 (ja) |
DE (1) | DE69903035T2 (ja) |
WO (1) | WO2000000445A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10060987B4 (de) * | 2000-09-22 | 2006-08-03 | Schott Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Keramisieren des Ausgangsglases einer Glaskeramik sowie Verwendungen von Verfahren und Vorrichtung |
US7166168B1 (en) | 2002-10-18 | 2007-01-23 | Carl Zeiss Smt Ag | Substrate-coating system and an associated substrate-heating method |
US7946759B2 (en) * | 2007-02-16 | 2011-05-24 | Applied Materials, Inc. | Substrate temperature measurement by infrared transmission |
DE102007048564A1 (de) * | 2007-10-09 | 2009-04-23 | Heraeus Noblelight Gmbh | Vorrichtung für eine Bestrahlungseinheit |
CN112473019A (zh) * | 2020-12-16 | 2021-03-12 | 迈尔健康科技(深圳)有限公司 | 一种保持红外热疗辐射平衡的方法及装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3615317A (en) * | 1967-08-01 | 1971-10-26 | Owens Illinois Inc | Glass and glass-ceramic treating process |
US3793167A (en) * | 1972-06-01 | 1974-02-19 | Globe Amerada Glass Co | Apparatus for manufacturing metal-coated glass |
DE3821748A1 (de) * | 1988-06-28 | 1990-01-11 | Nokia Unterhaltungselektronik | Verfahren zum herstellen einer steueranordnung fuer flache bildwiedergabevorrichtungen |
US5500031A (en) * | 1992-05-05 | 1996-03-19 | At&T Corp. | Method for increasing the index of refraction of a glassy material |
US5427825A (en) * | 1993-02-09 | 1995-06-27 | Rutgers, The State University | Localized surface glazing of ceramic articles |
CH687987A5 (de) * | 1993-05-03 | 1997-04-15 | Balzers Hochvakuum | Verfahren zur Erhoehung der Beschichtungsrate in einem Plasmaentladungsraum und Plasmakammer. |
CH687986A5 (de) * | 1993-05-03 | 1997-04-15 | Balzers Hochvakuum | Plasmabehandlungsanlage und Verfahren zu deren Betrieb. |
JPH07109573A (ja) * | 1993-10-12 | 1995-04-25 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | ガラス基板および加熱処理方法 |
JPH09190981A (ja) * | 1996-01-11 | 1997-07-22 | Kokusai Electric Co Ltd | ウェーハの熱処理装置 |
KR100610556B1 (ko) * | 2005-03-09 | 2006-08-08 | 한국건설기술연구원 | 충진형 pc판넬 터널 라이닝 시스템 및 그 시공법 |
-
1999
- 1999-06-09 JP JP2000557206A patent/JP4461285B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1999-06-09 EP EP99923361A patent/EP1089949B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-06-09 WO PCT/CH1999/000250 patent/WO2000000445A1/en active IP Right Grant
- 1999-06-09 KR KR1020007014755A patent/KR100620444B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1999-06-09 DE DE69903035T patent/DE69903035T2/de not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-01-12 US US09/481,392 patent/US6513347B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20010071595A (ko) | 2001-07-28 |
DE69903035D1 (de) | 2002-10-24 |
EP1089949A1 (en) | 2001-04-11 |
US6513347B1 (en) | 2003-02-04 |
JP4461285B2 (ja) | 2010-05-12 |
EP1089949B1 (en) | 2002-09-18 |
DE69903035T2 (de) | 2003-04-30 |
WO2000000445A1 (en) | 2000-01-06 |
KR100620444B1 (ko) | 2006-09-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6414280B1 (en) | Heat treatment method and heat treatment apparatus | |
US8273670B1 (en) | Load lock design for rapid wafer heating | |
US7949237B2 (en) | Heating configuration for use in thermal processing chambers | |
JP3215155B2 (ja) | 照射による半導体ウェーハの急速熱処理方法 | |
US5861609A (en) | Method and apparatus for rapid thermal processing | |
KR100274753B1 (ko) | 열처리 장치 | |
US9640412B2 (en) | Apparatus and method for enhancing the cool down of radiatively heated substrates | |
US6393210B1 (en) | Rapid thermal processing method and apparatus | |
JPH01319934A (ja) | 電磁放射照射による半導体円板の急速熱処理方法 | |
JP2001308022A (ja) | 石英ウインドウ、リフレクタ及び熱処理装置 | |
US5239614A (en) | Substrate heating method utilizing heating element control to achieve horizontal temperature gradient | |
EP1155439A1 (en) | Single wafer annealing oven | |
JP4461285B2 (ja) | 熱状態調節プロセス | |
JPH08316154A (ja) | 疑似ホットウォール反応チャンバ | |
JP3195678B2 (ja) | エネルギー線加熱装置 | |
JP3382064B2 (ja) | 熱処理装置 | |
JP4525871B2 (ja) | ウエハ熱処理装置及びそれを用いたウエハの熱処理方法 | |
US11680338B2 (en) | Linear lamp array for improved thermal uniformity and profile control | |
JPH06220643A (ja) | 真空処理装置 | |
JPH01201482A (ja) | 減圧気相成長装置 | |
JPH03207861A (ja) | 加熱装置 | |
JPH0634244U (ja) | マイクロ波プラズマ処理装置 | |
KR20030085768A (ko) | 반도체 제조장치 및 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060523 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090519 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090818 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090825 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090918 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090930 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20091016 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20091023 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091117 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20091222 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100120 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100125 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20100127 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100129 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20100127 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130226 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4461285 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130226 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130226 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130226 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140226 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |