JP2002510062A5 - - Google Patents

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【特許請求の範囲】
【請求項１】 多結晶シリコン、非晶質シリコン、リン化ガリウム、ヒ化アルミニウム、リン酸アルミニウム、炭化ケイ素、セレン化亜鉛、硫化亜鉛、およびテルル化亜鉛からなる群より選択される誘電材料の単一層により被覆された１つの表面を有する透明基板を含む無機可視光反射偏光子であって、全可視スペクトルにおいて偏光を示すことを特徴とする偏光子。
【請求項２】 高反射金属または誘電材料の単一層により被覆された第２の表面を含むことを特徴とする請求項１記載の偏光子。
【請求項３】 前記誘電材料が低光吸収および前記透明基板の屈折率よりも大きい屈折率を有し、前記誘電材料の屈折率および光吸収が、全可視波長スペクトルに亘り実質的に一定であることを特徴とする請求項１または２記載の偏光子。
【請求項４】 ２つの反対の縁を有し、該縁の平面が、被覆された表面の平面に対してブルースター角と等しい角度を形成することを特徴とする請求項１または２記載の偏光子。
【請求項５】 入射光が第１の縁を通って前記基板に進入し、被覆された表面に衝突する前に該基板を通って伝搬するような光路を有し、前記被覆された表面に衝突した後、前記光が該表面で反射して第２の表面に向かい、そこで、該光が該第２の表面により方向が変えられまたは向け直され、該光が前記基板に進入したときと同じ方向に第２の縁を通って前記偏光子から出ることを特徴とする請求項４記載の偏光子。
【請求項６】 前記被覆された表面が、銀、多結晶シリコン、非晶質シリコン、リン化ガリウム、ヒ化アルミニウム、リン酸アルミニウム、炭化ケイ素、セレン化亜鉛、硫化亜鉛、およびテルル化亜鉛からなる群より選択される膜または層を含み、前記基板の屈折率が空気の屈折率よりも大きく、前記光路が、前記透明基板の屈折率が前記誘電材料のより大きい屈折率と組み合わされたようなものであることを特徴とする請求項５記載の偏光子。
【請求項７】 前記被覆された表面の一方の頂面上に光吸収材料の膜を含み、前記光吸収材料が炭素または黒鉛であることを特徴とする請求項１または２記載の偏光子。
【請求項８】 前記基板が、前記被覆された表面の屈折率と組み合わせられたときに、偏光性能が最適化されるような屈折率を有することを特徴とする請求項１または２記載の偏光子。
【請求項９】 前記基板が紫外線吸収ガラスであることを特徴とする請求項８記載の偏光子。
【請求項１０】 請求項１から９いずれか１項記載の偏光子ユニットを複数含むことを特徴とする偏光子素子であって、各々の偏光子ユニットが２つの表面を有する透明基板を含み、一方の表面が、多結晶シリコン、非晶質シリコン、リン化ガリウム、ヒ化アルミニウム、リン酸アルミニウム、炭化ケイ素、セレン化亜鉛、硫化亜鉛、およびテルル化亜鉛からなる群より選択される誘電材料の層により被覆され、第２の表面が、高反射金属および誘電材料からなる群より選択される被覆層を有することを特徴とする偏光子素子。
【請求項１１】 前記偏光子ユニットが、ある偏光子ユニットの炭素膜または黒鉛膜が隣接する偏光子ユニットの光反射膜と接するように平行に組み立てられることを特徴とする請求項１０記載の偏光子素子。
【請求項１２】 請求項１１記載の偏光子素子を含むことを特徴とする装置。
【請求項１３】 ａ） ２つの反対の表面を有する複数の基板を、誘電材料の第１の層により前記基板の第１の表面を被覆し、この誘電層の上に炭素または黒鉛のコーティングを施し、高反射金属および誘電材料からなる群より選択される第２の層により前記基板の第２の表面を被覆することにより調製し；
ｂ） 各々の基板の前記炭素または黒鉛膜が、隣接する基板の第２の層に隣接して基板アセンブリを形成するように、前記基板を平行に積み重ね；
ｃ） それらの積み重ねられた基板を互いに結合させ、この結合された積重体を、金型の内側の壁と前記基板アセンブリとの間に環状の空間があるように金型内に配置し；
ｄ） 該金型中に封入化合物を注ぎ入れて、前記環状の空間を完全に満たし、該化合物を硬化させて、偏光子ブールを形成し；
ｅ） 該偏光子ブールを前記金型から取り出し、該ブールを切断して、複数の偏光子素子を形成する；
ことにより小型偏光子を形成することを特徴とする方法。
【請求項１４】 前記封入化合物が、エポキシ高分子、ソーレルセメント、および低融点合金からなる群より選択されることを特徴とする請求項１３記載の方法。