JP2002508058A - クリーンルーム濾過装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 クリーンルームの天井の枠組みに気密装着する濾過装置６は、フィルタ８と、前記フィルタを囲んでいる周壁７と、前記枠組みに形成されたシール剤を入れた溝に受け入れられるように下方に突出したシールナイフ１１とを含む。シールナイフ１１は溶接によって相互に接続され、気密装着手段１０、１２によって周壁に装着された垂直の溶接可能壁要素１４を含む。

Description

【発明の詳細な説明】 クリーンルーム濾過装置 発明の分野 本発明はフィルタと、該フィルタを囲み下側縁部を有する垂直の周壁と、前記 周壁の下側縁部から下方に突出し、クリーンルームの天井の枠組みに形成された シール材を入れた溝に受け入れられるシールナイフ(sealing knife)とを含む、 クリーンルームの天井の枠組みに気密に取り付けられるクルーンルーム用濾過装 置(filter unit)に関する。 関連技術の説明 従来技術のクリーンルームの適用には、空気は一般にクリーンルームの天井の 枠組みに配置された所謂ＨＥＰＡフィルタ(HEPA filters)を介して供給される。 この点に関して、フィルタと前記枠組みとの間に何ら漏れが無いことが不可欠で ある。 従来技術による濾過装置は、最終の濾過装置が隅部を糊で接合した長方形の箱 の形状となるように、フィルタを囲む周方向の壁を形成する個々の真直の壁部分 を相互に糊付けること(gluing)によって作られている。シールナイフが前記の真 直の壁部分の垂直方向の延長部分を構成する。シールナイフがクリーンルームの 天井の枠組みに形成された溝においてシール剤すなわちワセリンの中へ下方へ延 びているという事実のため、濾過装置と前記枠組みとの間で信頼できるシールが 簡単かつ極めて効率的に達成される。 しかしながら、この周知の構成に関わる問題は糊付けされた隅部の接合が信頼 できないことである。事実、使用中の濾過装置の全ての隅部の接合の大雑把にい って２５％までが完全な気密性ではない。糊付け面が小さく、通常周壁の壁要素 の厚さは約１．５ミリであるので、糊付け精度に対して極めて強い要求がされな ければならない。更に、濾過装置の前述の組み立てには極めて大規模の作業を実 行する必要がある。漏れのない隅部接合を提供するために個別の壁要素を相互に 溶接することは、溶接作業の間に発生する熱が、糊付けしたガラス繊維の紙から 作られた熱に弱いフィルタを損傷させるので、前述の問題に対する良好な方法で はない。 発明の要約 本発明の目的は、信頼できる気密性があり、濾過装置の安価での製造を可能と する簡単な構成を有する、クリーンルームの天井に取り付ける濾過装置を提供す ることである。 この目的は最初に述べた種類の濾過装置であって、シールナイフが溶接によっ て相互に接続され、気密性の装着手段によって周壁に装着される垂直の溶接可能 な壁要素を含むことを特徴とする濾過装置によって達成される。その結果、濾過 装置のシールナイフは信頼性のある気密の隅部接合を有する。 本発明の好適実施例によれば、気密性の装着手段は周壁の下側縁部に接続され 、シールナイフの垂直の壁要素がその中へ延びる下方に開放したＵ字形の通路を 形成している形枠組み(profiled frame)と、シールナイフを前記の形枠組みに固 定するために前記のU字形通路に成形される成形塊(molding mass)とを含む。 本発明の代替実施例によれば、気密の装着手段は周壁の下側縁部に接続され、 そこから下方へ延びているフランジを含む。シールナイフの壁要素は前記フラン ジと垂直方向で重なり、糊付け(gluing)によって該フランジに接着される。 図面の簡単な説明 本発明を添付図面を参照して以下詳細に説明する。 図１は一方の側を部分的に破断した、従来技術によるＨＥＰＡフィルタ濾過装 置(HEPA filter unit)の概略図、 図２は従来のＨＥＰＡフィルタの下側の隅部を拡大して示す部分図、 図３は本発明による濾過装置の概略断面図、 図４は本発明による濾過装置の構成要素であるシールナイフを示す図、 図５は本発明による濾過装置の代替実施例の概略図である。 好適実施例の説明 図１において、フィルタ３を囲む壁２を備えた周知のＨＥＰＡフィルタ濾過装 置１の概略斜視図が示されている。前記壁２はシールナイフ５を形成する下方に 向いた壁延長部を備えた滑らかなアルミニウム製の壁部分４を含む。 図２に示すように、シールナイフの隣接壁延長部５、５’が相互に糊付けされ て気密性を達成する。隣接壁延長部５、５’が相互に当接している糊付け面５” の横方向延長部分は１．５ミリ程度であって、一方シールナイフの高さは少なく とも５０ミリに達しうる。その結果、漏れの危険性が顕著であり、従って、この 構成は清浄性に対する要求が厳格であるクリーンルーム設備において使用するの に適していない。 図３においては、本発明の好適実施例による濾過装置６の断面図が示されてい る。濾過装置６はガラス繊維の紙の形態のフィルタ８がその中に配置されている 長方形のボックスの形状を採っている４個の垂直の相互に接続された壁部分７か ら構成された周壁を含む。図４に個別に示しているシールナイフ１１が、溶接に よって相互に接続されたアルミニウム製の４個の別個の垂直で滑らかな壁要素１ ４を含んでいる。このシールナイフ１１は、壁部分７の下縁部に取り付けられた 、好ましくはアルミニウム製の形枠組み１０からなる気密装着手段によって壁部 分７に装着されている。また、壁部分７の上縁部に装着された類似の形枠組み９ もある。下側の形枠組み１０は、シールナイフの壁要素１４がその中に延びる下 方に開放した周方向のU字形の通路を形成する。前記の装着手段は更に、シール ナイフ１１を形枠組み１０に固定する形枠組み１０のU字形の通路に成形された 成形塊(moulding mass)１２を含む。形枠組み１０へシールナイフ１１を成形す る作業は簡単で、かつ迅速であり、信頼できるシールに対する要求を満足させる 。 図５に示す本発明の代替的実施例によれば、気密の装着手段は壁部分７の下側 縁部に接続され、そこから下方に延びているフランジ１５を含む。シールナイフ １１の壁要素１４はフランジ１５と垂直方向に重なりうるようにする寸法とされ 、シールナイフ１１はフランジに糊付けによって接合されている。また、この方 法は信頼できる気密性をもたらすが、濾過装置の組み立ては若干より複雑になる 。 本発明による濾過装置を適用する場合、濾過装置は、例えばワセリンのような 適当なシール剤を包含している枠組みの溝の１個にシールナイフを装嵌させてク リーンルームの天井の枠組みに位置される。その結果、シールナイフがシール剤 中へ入るにつれて、満足するシールが直ちに達成可能である。

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項 【提出日】平成１１年８月５日（１９９９．８．５） 【補正内容】 請求の範囲 １． クリーンルームの天井の枠組みに気密装着するクリーンルーム用濾過装 置であって、フィルタと、前記フィルタを囲み、下縁部を有する垂直の周壁（７ ）と、クリーンルームの天井の枠組みに形成されたシール剤を入れた溝に受け入 れられるよう周壁の下縁から下方に突出しているシールナイフとを含むクリーン ルーム用濾過装置において、前記シールナイフ（１１）は、溶接により相互に接 続された、垂直の溶接可能な壁要素（１４）から別個に作られ、その別個のシー ルナイフは気密装着手段（１０、１２）によって周壁（７）に装着されているこ とを特徴とするクリーンルーム用濾過装置。 ２． 気密装着手段が周壁（７）の下縁に接続され、シールナイフ（１１）の 垂直の壁要素（１４）が延びる下方に開放した通路を形成している形枠組み（１ ０）と、前記Ｕ字形通路に成形され前記シールナイフを前記の形枠組みに固定す る成形塊（１２）とを含むことを特徴とする請求の範囲第１項に記載の濾過装置 。 ３． 前記気密装着手段が周壁（７）の下縁に接続され、そこから下方に延び るフランジ（１５）を含み、シールナイフ（１１）の垂直の壁要素（１４）が前 記フランジと垂直方向に重なり、該フランジに糊付けすることによって接合され ることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の濾過装置。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ， ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＺ，ＵＧ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ) ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ， ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，Ｄ Ｋ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ， ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，Ｌ Ｖ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ， ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，Ｕ Ｓ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＷ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １． クリーンルームの天井の枠組みに気密装着するクリーンルーム用濾過装 置であって、フィルタと、前記フィルタを囲み、下縁部を有する垂直の周壁（７ ）と、クリーンルームの天井の枠組みに形成されたシール剤を入れた溝に受け入 れられるよう周壁の下縁から下方に突出しているシールナイフとを含むクリーン ルーム用濾過装置において、前記シールナイフ（１１）は溶接により相互に接続 され気密装着手段（１０、１２）によって周壁（７）に装着されている垂直の溶 接可能な壁要素（１４）を含むことを特徴とするクリーンルーム用濾過装置。 ２． 気密装着手段が、周壁（７）の下縁に接続され、シールナイフ（１１） の垂直の壁要素（１４）がその中に延びる下方に開放したＵ字形通路を形成して いる形枠組み（１０）と、前記Ｕ字形通路に成形され前記シールナイフを前記の 形枠組みに固定する成形塊（１２）とを含むことを特徴とする請求の範囲第１項 に記載の濾過装置。 ３． 前記気密装着手段が、周壁（７）の下縁に接続され、そこから下方に延 びるフランジ（１５）を含み、シールナイフ（１１）の垂直の壁要素（１４）が 前記フランジと垂直方向に重なり、該フランジに糊付けすることによって接合さ れることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の濾過装置。