TWI656590B - 空氣濾網模組 - Google Patents

Abstract

一種空氣濾網模組包含一支撐框以及複數個濾網單元。支撐框包含複數個濾氣通道。該些個濾網單元疊合於支撐框的上方，每一濾網單元之濾氣部對準對應的濾氣通道，其中支撐框之上表面具有一氣密接合介面，且每一濾網單元之濾網框的下表面具有互補於支撐框之上表面的氣密接合介面，使每一濾網單元之濾網框的下表面氣密接合於對應的支撐框之上表面。

Description

空氣濾網模組

本發明是關於一種空氣濾網模組，特別是關於一種無塵室系統的空氣濾網模組。

半導體與光電產業都需要大區域的無塵室空間，藉以將其生產線置於無塵室中，進而達到所需的製程要求。

當無塵室系統的廠區日益龐大，其對應需求的空氣過濾系統亦逐漸龐大，且對過濾效果的要求亦逐漸提高。

傳統無塵室系統的廠區頂端前段的空氣過濾系統大都以金屬框架為基礎，將濾氣部填入金屬框架中，再以膠體黏合確保氣密。當濾氣部使用一段時間失去效能後，再將金屬框架與濾氣部整體拆下，作後續的環保處理。

因金屬框架加上的濾氣部的重量往往已超出一個人能搬運的重量，且需從廠區頂端拆除及卸下亦有安全上的疑慮。

本發明提出一種創新的空氣濾網模組，解決先前技術的問題。

於本發明的一實施例中，一種空氣濾網模組包含一支撐框以及複數個濾網單元。支撐框包含複數個濾氣通道。該些個濾網單元疊合於支撐框的上方，每一濾網單元之濾氣部對準對應的濾氣通道，其中支撐框之上表面具有一氣密接合介面，且每一濾網單元之濾網框的下表面具有互補於支撐框之上表面的氣密接合介面，使每一濾網單元之濾網框的下表面氣密接合於對應的支撐框之上表面。

於本發明的一實施例中，每一濾網單元之濾網框的上表面具有相同於支撐框之上表面的氣密接合介面。

於本發明的一實施例中，該些個濾網單元以該些互補的氣密接合介面垂直的疊合於支撐框的上方。

於本發明的一實施例中，當每一濾網單元之濾網框的下表面氣密接合於對應的支撐框之上表面時，其截面具有一凸出部以及一凹陷部互補的接合。

於本發明的一實施例中，凸出部位於濾網單元之濾網框的下表面，且凹陷部位於支撐框之上表面。

於本發明的一實施例中，凸出部以及凹陷部位於氣密接合介面之中間。

於本發明的一實施例中，凹陷部位於濾網單元之濾網框的下表面，且凸出部位於支撐框之上表面。

於本發明的一實施例中，凸出部以及凹陷部位於氣密接合介面之中間。

於本發明的一實施例中，垂直疊合的該些濾網單元的濾氣部包含不同的濾料。

於本發明的一實施例中，每一該些濾網單元的長度為800毫米、寬度為485毫米。

綜上所述，本發明的空氣濾網模組利用其氣密接合介面，無需膠材即能垂直疊合濾網單元，並具有防止濾網單元左右偏移的定位作用。

以下將以實施方式對上述之說明作詳細的描述，並對本發明之技術方案提供更進一步的解釋。

為讓本發明之上述和其他目的、特徵、優點與實施例能更明顯易懂，所附符號之說明如下：

100‧‧‧空氣濾網模組

102‧‧‧部份

104‧‧‧濾氣通道

106‧‧‧支撐框

106’‧‧‧支撐框

107‧‧‧氣密接合框

107’‧‧‧氣密接合框

108‧‧‧凸出部

108’‧‧‧凹陷部

109‧‧‧氣密接合介面

110‧‧‧濾網單元

110a‧‧‧濾網框

110a’‧‧‧濾網框

110b‧‧‧濾氣部

110c‧‧‧凸出部

110c’‧‧‧凹陷部

110d‧‧‧凹陷部

110d’‧‧‧凸出部

為讓本發明之上述和其他目的、特徵、優點與實施例能更明顯易懂，所附圖式之說明如下：第1圖係繪示依照本發明一實施例之一種空氣濾網模組的立體圖；第2圖係繪示第1圖之部份102之放大圖；第3圖係繪示沿第1圖之3-3的剖面圖；第4圖係繪示依照本發明另一實施例之剖面圖；第5圖係繪示依照本發明再一實施例之剖面圖；以及第6圖係繪示依照本發明又一實施例之剖面圖。

為了使本發明之敘述更加詳盡與完備，可參照所附之圖式及以下所述各種實施例，圖式中相同之號碼代表相同或相似之元件。另一方面，眾所週知的元件與步驟並未描述於實施例中，以避免對本發明造成不必要的限制。

於實施方式與申請專利範圍中，除非內文中對於冠詞有所特別限定，否則『一』與『該』可泛指單一個或複數個。

本文中所使用之『約』、『大約』或『大致』係用以修飾任何可些微變化的數量，但這種些微變化並不會改變其本質。於實施方式中若無特別說明，則代表以『約』、『大約』或『大致』所修飾之數值的誤差範圍一般是容許在百分之二十以內，較佳地是於百分之十以內，而更佳地則是於百分五之以內。

本發明之技術態樣是一種空氣濾網模組，其適用於各種垂直疊合的空氣濾網模組。以下將搭配圖式來說明空氣濾網模組之具體實施方式。

請參照第1、2圖，第1圖係繪示依照本發明一實施例之一種空氣濾網模組的立體圖；第2圖係繪示第1圖之部份102之放大圖。空氣濾網模組100包含一支撐框106以及複數個濾網單元110。支撐框106包含複數個濾氣通道104。複數個濾網單元110疊合於支撐框106的上方以覆蓋所有的濾氣通道104(圖中僅繪示一個濾網單元110)，每一濾網單元110之濾氣部對準對應的濾氣通道104。單一濾氣通道104的上方可視需求疊合一個或二個以上的濾網單元110。濾網單元110垂直疊合於支撐框106時或複數個濾網單元110彼此垂直疊合時，其垂直的接合面需要氣密性良好，使得待過濾的氣體全部通過濾氣部過濾，而無法經接合面溢漏。

請參照第3圖，其繪示沿第1圖之3-3的剖面圖。支撐框106之上表面具有一氣密接合介面，且每一濾網單元110之濾網框110a的下表面具有互補於支撐框106之上表面的氣密接合介面，使每一濾網單元110之濾網框110a的下表面氣密接合於對應的支撐框106之上表面。舉例來說，支撐框106之上表面具有凸出部108(其餘的上表面為平坦表面)，而每一濾網單元110之濾網框110a的下表面具有凹陷部110d(其餘的下表面為平坦表面)。當凸出部108與凹陷部110d的形狀彼此互補時，每一濾網單元110之濾網框110a的下表面接合於對應的支撐框106之上表面時，即可形成一氣密接合介面109。

當複數個濾網單元110彼此垂直疊合時，彼此間亦需要氣密接合介面。舉例來說，每一濾網單元110之濾網框110a的下表面具有凹陷部110d(其餘的下表面為平坦表面)，而每一濾網單元110之濾網框110a的上表面具有凸出部110c(其餘的上表面為平坦表面)。當凸出部110c與凹陷部110d的形狀彼此互補時，每一濾網單元110之濾網框110a的上表面接合於另一個濾網單元110之濾網框110a的下表面時，亦可形成一氣密接合介面。換言之，每一濾網單元110之濾網框110a的上表面具有相同於支撐框106之上表面的氣密接合介面。

在本發明的實施例中，支撐框106需支撐多個濾網單元的重量，可為金屬材質所製成，但並不以此為限。濾網單元110之濾網框110a為能支承其濾氣部110b為考 量，可為硬質塑膠材質所製成，但並不以此為限。當濾網單元110彼此垂直疊合或疊合於支撐框106之上表面時，藉整體的重量即可使氣密接合介面達到所需的氣密要求，無需於介面接合時另施加膠材。於後續移除濾網單元110時，即可免除去除膠材的步驟。

當濾網單元110彼此垂直疊合或疊合於支撐框106之上表面時，每一濾網單元110之濾氣部110b係對準對應的濾氣通道104，或疊合的複數個濾網單元110之濾氣部110b彼此對準。換言之，疊合的複數個濾網單元110之濾網框110a的內壁係垂直切齊，且與疊合的支撐框106之內壁垂直切齊。

在本發明的實施例中，濾氣部110b經摺疊成近似波浪狀後，將其邊緣以膠材黏貼於濾網框110a的內壁。濾氣部110b可因需求填充不同的濾料，例如活性碳、氫氧化鉀、碳酸鉀、氧化鋁或離子交換樹脂等，但不限於此。

請參照第4圖，其繪示依照本發明另一實施例之剖面圖。第4圖之實施例和第3圖之實施例主要的不同處在於：氣密接合介面是設計於氣密接合框107的上表面。因氣密接合介面的設計並非習知，若要將具有氣密接合介面的濾網單元疊合於不具有氣密接合介面的支撐框106’上，在支撐框106’上即需要先設置具有氣密接合介面的氣密接合框107。增加氣密接合框107的設計使本發明能應用至更多的傳統的支撐框上。

請參照第5圖，其繪示依照本發明再一實施例之 剖面圖。在此實施例中，支撐框106之上表面具有凹陷部108’(其餘的上表面為平坦表面)，而每一濾網單元110之濾網框110a’的下表面具有凸出部110d’(其餘的下表面為平坦表面)。當凹陷部108’與凸出部110d’的形狀彼此互補時，每一濾網單元110之濾網框110a’的下表面接合於對應的支撐框106之上表面時，即可形成一氣密接合介面109。

此外，每一濾網單元110之濾網框110a’的上表面亦具有凹陷部110c’。換言之，每一濾網單元110之濾網框110a’的上表面具有相同於支撐框106之上表面的氣密接合介面，使得複數個濾網單元110能夠垂直疊合。

請參照第6圖，其繪示依照本發明又一實施例之剖面圖。第6圖之實施例和第5圖之實施例主要的不同處在於：氣密接合介面是設計於氣密接合框107’的上表面。因氣密接合介面的設計並非習知，若要將具有氣密接合介面的濾網單元疊合於不具有氣密接合介面的支撐框106’上，在支撐框106’上即需要先設置具有氣密接合介面的氣密接合框107’。增加氣密接合框107’的設計使本發明能應用至更多的傳統的支撐框上。

在本發明的實施例中，上述凸出部(108、110c、110d’)以及凹陷部(110d、108’、110c’)均位於氣密接合介面之中間。凸出部以及凹陷部除了作為氣密接合介面之外，亦有防止濾網單元110左右偏移的定位作用。

在本發明的實施例中，每一濾網單元的長度為800毫米、寬度為485毫米，但不侷限於此。

綜上所述，本發明的空氣濾網模組利用其氣密接合介面，無需膠材即能垂直疊合濾網單元，並具有防止濾網單元左右偏移的定位作用。

雖然本發明已以實施方式揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習此技藝者，於不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

Claims (10)

1. 一種空氣濾網模組，包含：一支撐框，包含複數個濾氣通道；至少一第一濾網單元，該第一濾網單元包含一濾網框與一濾氣部，該濾氣部位於該濾網框內，該濾網框疊合於該支撐框的上表面，且該濾氣部分別對準對應的該濾氣通道，其中該支撐框之該上表面具有一氣密接合介面，且該濾網框的下表面具有互補於該支撐框之該上表面的氣密接合介面，使該濾網框的該下表面氣密接合於對應的該支撐框之該上表面，該濾網框的上表面具有一第一凸出部；以及至少一第二濾網單元，垂直疊合於該濾網框的該上表面，其中該第二濾網單元的下表面具有一第一凹陷部，該第一凹陷部與該第一凸出部互補，且氣密接合該第一凸出部。
2. 如請求項1所述之空氣濾網模組，其中該第一濾網單元之該濾網框的該上表面具有相同於該支撐框之該上表面的氣密接合介面。
3. 如請求項2所述之空氣濾網模組，其中該第一濾網單元以該互補的氣密接合介面垂直的疊合於該支撐框的上方。
4. 如請求項1所述之空氣濾網模組，其中當該第一濾網單元之該濾網框的該下表面氣密接合於對應的該支撐框之該上表面時，其截面具有一第二凸出部以及一第二 凹陷部互補的接合。
5. 如請求項4所述之空氣濾網模組，其中該第二凸出部位於該第一濾網單元之該濾網框的該下表面，且該第二凹陷部位於該支撐框之該上表面。
6. 如請求項5所述之空氣濾網模組，其中該第二凸出部以及該第二凹陷部位於該氣密接合介面之中間。
7. 如請求項4所述之空氣濾網模組，其中該第二凹陷部位於該第一濾網單元之該濾網框的該下表面，且該第二凸出部位於該支撐框之該上表面。
8. 如請求項7所述之空氣濾網模組，其中該第二凸出部以及該第二凹陷部位於該氣密接合介面之中間。
9. 如請求項3所述之空氣濾網模組，其中垂直疊合的該第一濾網單元與該第二濾網單元的濾氣部包含不同的濾料。
10. 如請求項1所述之空氣濾網模組，其中該第一濾網單元與該第二濾網單元的長度為800毫米、寬度為485毫米。