TWM626922U - 無塵室空氣過濾裝置 - Google Patents

Abstract

本創作係揭露一種無塵室空氣過濾裝置，包括一外框、一出風護網、一過濾材、及一止漏環片。該外框，具有一本體並界定出一風道、毗鄰風道進風端沿本體內環側形成有一內、外擋壁、及包含一貼抵內擋壁配合外擋壁及一粘膠組裝之進風護網。該出風護網，係橫跨風道出風端截面可拆卸的組裝於本體。該過濾材，係容置本體內環側橫跨風道截面，配置於內擋壁與出風護網之間。該止漏環片一端抵接本體與過濾材，另端抵接出風護網。藉由上述構件之組成，可依需求拆下出風護網而對過濾材進行更換，且過濾材承受本體、內擋壁與出風護網共同形成之多向預壓力，確保過濾材外周側與各構件間之氣密效果，不會因可更換之結構而降低氣密效益，克服先前技藝必需將濾材總成全部丟棄之缺失。

Description

無塵室空氣過濾裝置

本創作係與濾材設備相關之技術領域，尤其是指可更換過濾材之一種無塵室空氣過濾裝置。

按，半導體產業的製造領域中，為了符合產品生產要求，潔淨、無汙染且隔離環境下之無塵室環境，就被廣泛使用在半導體的生產製造。

無塵室環境規劃下，其進風口都會架設風機及過濾設備，使氣流經由風機驅動配合過濾設備的過濾再進入無塵室，去除空氣中的氣懸浮物。

而過濾設備中的濾網總成，必需周期性的更換。這樣的結構設計，除了造成資源浪費外，也徒增過濾設備維護上之成本。

是以，要如何解決上述先前技藝所存之問題與缺失，即為本創作之新型人所極欲加以改善者，尤其是在以最為簡易及成本的方式下，能達到最大的效益則是本創作所欲解決的方向。

有鑑於先前技藝之問題與缺失，本創作之主要目的乃在於提供一種無塵室空氣過濾裝置，藉由結構之創新設計解決先前技藝之缺失。

根據本創作上述目的，本創作係揭露一種無塵室空氣過濾裝置，包括一外框、一出風護網、一過濾材、及一止漏環片。 該外框，具有一本體並界定出一風道、毗鄰風道進風端沿本體內環側形成有一內、外擋壁、及包含一貼抵內擋壁配合外擋壁及一粘膠組裝之進風護網。該出風護網，係橫跨風道出風端截面可拆卸的組裝於本體。該過濾材，係容置本體內環側橫跨風道截面，配置於內擋壁與出風護網之間。該止漏環片一端抵接本體與過濾材，另端抵接出風護網。藉由上述構件之組成，可依需求拆下出風護網而對過濾材進行更換，且過濾材承受本體、內擋壁與出風護網共同形成之多向預壓力，確保過濾材外周側與各構件間之氣密效果，不會因可更換之結構而降低氣密效益，克服先前技藝必需將濾材總成全部丟棄之缺失。

10:外框

11:本體

111:第一框件

112:第二框件

113:塞件

12:風道

13:外擋壁

14:內擋壁

15:組裝槽

16:進風護網

20:出風護網

21:網目區

22:鎖接環部

30:止漏環片

40:發泡環片

50:過濾材

51:濾材邊條

511:濾材框

512:毛邊條

52:濾片

A1:貫孔

A2:第一組裝孔

A3:框件鎖孔

A4:第二組裝孔

G:粘膠

〔圖1〕係本創作外觀立體示意圖。

〔圖2〕係圖1所示實施例分解示意圖。

〔圖3〕係圖1所示實施例局部構件分解示意圖。

〔圖4〕係圖3所示實施例另一視角示意圖。

〔圖5〕係圖1所示實施例中I-I剖面示意圖。

〔圖6〕係圖1所示實施例中II-II剖面示意圖。

〔圖7〕係圖1所示實施例局部構件示意圖。

以下請參照相關圖式進一步說明本創作無塵室空氣過濾裝置實施例。實施例中各種不同物件係按適用於說明之比例、尺寸、變形量或位移量而描繪，而非按實際元件的比例繪製，合先敘明。且餘下實施例中相同和對稱配置之元件皆以相同的編號來表示。另外，下文所列各實施例說明中「前、後、左、右、上、下、內、 外」等方向性術語，是按照指定之視圖方向做表示，不能作為對本創作限制之解釋。

請參閱圖1至7所示，係揭示一種無塵室空氣過濾裝置，包括一外框10、一出風護網20、一止漏環片30、一發泡環片40、及一過濾材50。

上述外框10，如圖1至6所示，包括一本體11、一風道12、一外擋壁13、一內擋壁14、一組裝槽15及一進風護網16。

所述本體11，包括複數第一框件111、複數第二框件112、及複數塞件113所組成。

前述第一框件111，係為一矩形管採鏡射配置，具有複數貫孔A1及複數第一組裝孔A2。各貫孔A1，係貫穿第一框件111形成，並配置於第一框件111延伸方向之兩端。各組裝孔A2，係貫穿第一框件111一側端面形成，並沿第一框件111延伸方向之預設端面配置。

前述第二框件112，係為一矩形管採鏡射配置，並與各第一框件111直交，具有複數框件鎖孔A3及複數第二組裝孔A4。各框件鎖孔A3，係形成於第二框件112延伸方向兩端之截斷面，並與第一框件111各貫孔A1同心，配合鎖固元件彼此組接。

前述各塞件113，係匹配第一框件111兩端截斷面設置。

所述風道12，係由本體11(第一、二框件111、112)繞圍所界定之預設截面。實施時，風道12兩端分別視為進風端與出風端；其中，毗鄰第一、二組裝孔A2、A4之一端，則視為出風端。

所述外擋壁13，係沿本體11內環側端面，朝風道12 延伸形成，限縮風道12之截面積。實施時，外擋壁13配置風道12進風端。

所述內擋壁14，係間隔外擋壁13沿本體11內環側端面，朝風道12延伸形成，限縮風道12之截面積。

所述組裝槽15，係沿本體11內環側端面凹陷形成，配置於內、外擋壁14、13之間且毗鄰內擋壁14。

所述進風護網16，如圖2、5及6所示，係匹配風道12截面輪廓對應組裝槽15嵌設，並配合內、外擋壁14、13於本體11內環側端面塗設一粘膠G，粘固進風護網16並貼抵內擋壁14。

實施時，內擋壁14進一步可以防止粘膠G溢膠至內擋壁14另一端面(出風端)。且粘膠G的塗設可進一步的封閉本體11其各第一、二框件111及進風護網16等構件彼此間之間隙。

上述出風護網20，如圖2、5及6所示，係匹配第一、二組裝孔A2、A4可拆式的串接於本體11，具有一網目區21、一沿網目區21環設之鎖接環部22、及複數同心第一、二組裝孔A2、A4之貫穿鎖接環部22形成之穿孔23，提供鎖固元件穿伸後鎖設於第一、二組裝孔A2、A4。

上述止漏環片30，如圖2、5及6所示，係設置於本體11與出風護網20及過濾材50之間。透過止漏環片30之可變形量，修正出風護網20(鎖接環部22)與本體11及過濾材50相面對端面之平整度，並平均分散出風護網20(鎖接環部22)因鎖設而施予本體11及過濾材50之預壓力。實施時，止漏環片30可選自矽膠材質或其它可變形之材質。

上述發泡環片40，如圖2、5及6所示，係覆設於出風護網20之鎖接環部22遠離本體11之端面。

上述過濾材50，如圖7所示係匹配本體11其風道12 截面輪廓，容置於本體11內環側(風道12中)，並被內擋壁14與出風護網20共同夾持(夾壓)。該過濾材50，進一步包括一濾材邊條51及一濾片52。

所述濾材邊條51，係由一濾材框511及環設於濾材框511外周側之毛邊條512。實施時，毛邊條512可為羊毛氈或其它等效結構。透過濾材框511(鋼性)推頂毛邊條512(柔性)貼抵本體11內周側(形成緊配合)，可讓濾材邊條51妥適的貼合本體11內周側並提升氣密效果。

另外，濾材邊條51中之濾材框511可以省略，而單以毛邊條512可受壓變形之彈性，緊迫貼合本體11內周側達成氣密效果。

所述濾片52，係沿濾材框511(或毛邊條512)內環側端面組裝。

是以，上述即為本創作所提供一較佳實施例無塵室空氣過濾裝置各部構件及組裝方式之介紹，茲再將本創作之實施例作動特點介紹如下。

將過濾材50容置於本體11內環側(風道12中)，濾材框511透過尺寸之設計，會推頂毛邊條512緊迫本體11內環側，俾以確保過濾材50外環側方向之氣密訴求。

另外，出風護網20鎖設於第一、二組裝孔A2、A4時，配合內擋壁14可共同施予過濾材50軸向兩端之壓力，確保過濾材50沿風道12方向之氣密訴求。

當外部空氣自風道12進風端進入過濾材50，因氣密結構，而約束空氣只能經由穿經濾片52，藉此過濾空氣中的空氣懸浮物，確保自風道12出風端輸出之空氣可以符合無塵室需求。

除過濾材50組裝於本體11時具氣密訴求外。外框10 組裝於對應供氣管路(圖中未示)時，係以外框10之出風護網20端組裝供氣管路設備，其出風護網20外周側端面透過發泡環片40之變形量.確保出風護網20與供氣管路設備抵接之端面平整度，進一步達成組裝之密封性。

在使用一段時間後，可透過拆除出風護網20、止漏環片30及發泡環片40，取出容置外框10中之過濾材50，更換新的過濾材50後，覆組裝出風護網20、止漏環片30及發泡環片40達成過濾材50更替之需求，克服先前技藝濾網總成之缺失。

以上所述說明，僅為本創作的較佳實施方式而已，意在明確本創作的特徵，並非用以限定本創作實施例的範圍，本技術領域內的一般技術人員根據本創作所作的均等變化，以及本領域內技術人員熟知的改變，仍應屬本創作涵蓋的範圍。

10:外框

11:本體

111:第一框件

112:第二框件

113:塞件

13:外擋壁

16:進風護網

Claims (8)

1. 一種無塵室空氣過濾裝置，包括：一外框，具有一本體並界定出一風道、且於該風道進風端沿該本體內環側朝該風道截面形成有一外擋壁與一內擋壁、還包括一抵接該內擋壁一側配置於該風道之進風護網、及一沿該本體內環側塗設配置於該外擋壁與該進風護網間之粘膠；一出風護網，係橫跨該風道出風端截面，可拆卸的組裝於該本體遠離該進風護網之端面；一過濾材，係容置於該本體內環側橫跨該風道截面，並配置於該內擋壁與該出風護網之間；以及一止漏環片，配置於該出風護網與該本體及該過濾材之間。
2. 如請求項1所述無塵室空氣過濾裝置，其中該出風護網朝外之端面，設有一發泡環片。
3. 如請求項1所述無塵室空氣過濾裝置，其中該本體內環側端面凹陷形成有一組裝槽，提供該進風護網組裝。
4. 如請求項1所述無塵室空氣過濾裝置，其中該止漏環片係為矽膠。
5. 如請求項1所述無塵室空氣過濾裝置，其中該過濾材包括一濾材框、一沿該該濾材框外環側端面組接之毛邊條、及一係沿該濾材框內環側端面組接之濾片。
6. 如請求項1所述無塵室空氣過濾裝置，其中該過濾材包括一毛邊條及一係沿該毛邊條內環側端面組接之濾片。
7. 如請求項1所述無塵室空氣過濾裝置，其中該本體包括 鏡射配置之複數第一框件與複數第二框件，且各該第二框件與各該第一框件直交連接。
8. 如請求項7所述無塵室空氣過濾裝置，其中各該第一框件為一管件，其延伸方向兩端截斷面，分別設有一塞件。

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