JP2002507235A - 酸化アルミニウムをベースとする多酸化物被覆でカプセル化したエレクトロルミネセンス蛍光体粒子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 カプセル化エレクトロルミネセント蛍光体粒子（２０）および同製造方法。各蛍光体粒子（２２）は多酸化物被覆（２４）を含んでいる実質的に透明な酸化アルミニウムによってカプセル化される。カプセル化蛍光体粒子（２０）は高い初期発光輝度と発光輝度の湿度促進減衰に対する高い耐性を示す。酸化アルミニウム含有被覆(２４)により、凝縮された水分すなわち液体の水に浸漬する事によって引き起こされる化学分解に対する感度が低減する。この被覆（２４）は酸化アルミニウムと少なくとも一つの他の金属酸化物を含有する。

Description

【発明の詳細な説明】 酸化アルミニウムをベースとする多酸化物被覆でカプセル化したエレクトロルミ ネセンス蛍光体粒子 技術分野 本発明はエレクトロルミネセンス蛍光体粒子に関し、特に耐湿性被覆でカプセ ル化した高いエレクトロルミネセンス輝度を示す蛍光体粒子、いっそう詳しくは 、液体の水に暴露することから生じる腐食すなわち化学分解に対し高い耐性を持 つ、酸化アルミニウムベースの多酸化物被覆でカプセル化したエレクトロルミネ センス蛍光体粒子に関する。本発明はまたこのようなカプセル化蛍光体粒子の製 造方法およびこれらの蛍光体粒子を用いた製品の製造方法に関する。 背景技術 蛍光体粒子は平面型ディスプレイ、装飾、ブラウン管および螢光性照明器具な どの様々な用途に使用されている。ルミネセンスすなわち蛍光体粒子による発光 は、電場を始めとする種々の形のエネルギーを加えることによって誘発できる( エレクトロルミネセンス)。エレクトロルミネセンス（「EL」）蛍光体は商業的 に大きな重要性を持つ。このような蛍光体の発光輝度および輝度の「保持性」と は通常蛍光体粒子を特徴づけるために使われる２つの基準である。 発光輝度は通常励起した時に蛍光体が発する光の量とされている。蛍光体の発 光輝度は励起条件の変動に対して敏感なので、蛍光体の発光輝度については、蛍 光体の明るさを絶対輝度ではなくむしろ相対的な輝度として表すことがしばしば 有用である。「保持性」とは、蛍光体が動作時間の経過と共に明るさを失う（すな わち、減衰する） 速度をさす。蛍光体粒子が動作中に高湿度条件に付されると、減衰速度は大きく 増加する。この水分、すなわち高湿度のおよぼす作用は「湿度加速減衰」と呼ば れている。 粒子状EL蛍光体は厚膜構造において最も一般的に使用されている。通常これら の素子は、蛍光体粒子の充填用マトリックスを形成する、高い誘電率を持つ有機 物質の層を含んでいる。このような層は通常透明な前部電極を持つプラスチック 基材の上に被覆される。後部電極は通常蛍光体層の裏面に、誘電層を間に挟んで 設けられる。電極間に電場を加えると、この層の隣接部分はその中の蛍光体粒子 が励起され、光を発する。 通常有機マトリックス、基材材料ならびに個々の粒子を被覆している有機被膜 は、水蒸気が蛍光体粒子へ拡散することによって生じる輝度の減衰を効果的に防 ぐことができなかった。このため、厚膜エレクトロルミネセント素子はフルオロ クロロカーボンポリマーのような耐湿性材料（例えば、アライドケミカル社製の ACLARポリマー）からなる比較的厚いエンベロープ、例えば、２５から１２５ミ クロン、に包まれている。しかしながら、このようなエンベロープは通常高価で あり、非発光境界を生じ、さらに例えば熱を加えるとはがれを生じる可能性もあ る。 その耐湿性を改善するために、蛍光体粒子は１種あるいは２種の酸化物の被覆 などの無機被覆によりカプセル化されてきた。いろいろな無機被覆技術が使用さ れており、またその成功の程度も様々である。通常これまで最も成功を収めてい るのは、無機被覆によりEL蛍光体粒子をカプセル化するための加水分解に基づく プロセス、例えば加水分解に基づく化学的気相蒸着（CVD）である。加水分解に 基づくCVDプロセスでは、保護被覆を形成するために水と酸化物前駆体が使用さ れている。このような加水分解に基づくCVDプロ セスでは、このプロセスが蛍光体に与える損傷を最小にし、高い初期発光輝度を 維持しつつ、水分不感受性のカプセル化蛍光体粒子を製造することが可能である 。EL蛍光体をカプセル化するのに望ましいと考えられている被覆方法の一つは、 加水分解に基づくCVDプロセスにより形成される酸化アルミニウムの被覆である 。酸化アルミニウムを蛍光体粒子の被覆にこのように使用するのが望ましいとさ れる少なくとも一つの理由は、反応性で揮発性の前駆体が存在する事、そしてそ れが望ましい光学的、電気的および耐湿性を示す酸化アルミニウムの被覆を容易 に形成するためである。 高い輝度と水分不感受性（すなわち、蛍光体粒子は蒸気の形で存在する水分か らある程度守られている）を示すこのような酸化アルミニウム被覆を持つ蛍光体 粒子が製造されている。しかしながら、通常加水分解に基づくCVDプロセスによ って製造されるもののような、無定形のおよび／または低温で得られた酸化アル ミニウム被覆は凝縮された水分、すなわち液体の水に暴露されると低い化学耐久 性を示しやすいという難点があった。化学耐久性がこのように低いため、水性ポ リマーバインダー系と共にこのような酸化アルミニウム被覆を使用することが避 けられたり、蛍光体粒子と重合体マトリックス間のインタフェースが弱くなる、 および／または、結露する大気条件での保護が不十分となったりすることがある 。 したがって、高い初期輝度、長期間保持される輝度（高湿度環境においてさえ ）および凝縮された水分すなわち言い替えれば液体の水に暴露されることによっ て生じる腐食（すなわち、化学分解）に対し高い耐性を持つ、カプセル化された EL蛍光体粒子、あるいは他の形の蛍光体を提供する、加水分解に基づくCVDによ って生産された無定形の、および／または低温で得られた酸化アルミニウム被覆 のような酸化アルミニウム蛍光体被覆が求められている。 発明の開示 本発明はそれぞれ実質的に透明な酸化アルミニウムベースの多酸化物被覆層を 持つ新規のカプセル化された蛍光体粒子を提供する。カプセル化蛍光体は高い初 期発光輝度を示し、発光輝度の湿度促進減衰に対する耐性が高い。本発明の酸化 アルミニウムベース被覆は凝縮された水分すなわち液体の水に暴露される事によ ってひき起こされる化学分解に対する感度が低減している（すなわち、液体の水 環境における腐食に対する耐性が増加している）。本発明の多金属酸化物被覆が 液体の水からの化学分解（すなわち、腐食）に対して十分耐性を示すためには多 金属酸化物被覆でカプセル化された硫化物ベースの粒子が、酸化アルミニウムの みの被覆でカプセル化した同じ粒子と比べて少なくとも２倍の時間、０.１モル 硝酸銀水溶液中に浸漬しても変色しないことが望ましい。このような硝酸銀テス トは通常蛍光体被覆の透水性をチェックするために使用されてきた。硝酸銀が水 溶液であるから、このテストはまた被覆の化学耐久性を決定するためにも使用で きることがわかった。水が引き起こす腐食に対する耐性がより高ければ、この金 属酸化物被覆が液体水環境により長期間耐えることができる。本発明はまた比較 的低温の気相加水分解反応と堆積プロセスを利用してこのようなカプセル化蛍光 体粒子を作るための新しい方法を提供する。 本発明は、少なくともある程度までは、液体水により引き起こされる腐食を化 学的に受けやすい、酸化アルミニウム蛍光体被覆の化学的耐久性のおどろくべき 増加（すなわち、腐食の低減）が、酸化アルミニウムと共に他の金属酸化物を使 用することによって可能であるという発見に、基づくものである。さらにまた、 気相加水分解に基づくプロセスによって堆積した酸化アルミニウム被覆（すなわ ち、加水分解に基づく酸化アルミニウム被覆）では、酸化アルミニウム前駆体が 発光輝度の湿度促進減衰に対して高度な保護を与える被覆を速やかにかつ容易に 形成するという傾向をほとんどあるいは全く乱すことなくその堆積行程中に添加 される他の酸化物が都合よく酸化アルミニウム被覆に取り入れられることが見い 出されている。またさらにこのように蛍光体粒子をカプセル化する被覆として多 金属酸化物を堆積させるために加水分解に基づくCVD技術が好都合に使用できる ことが見いだされた。 本発明の蛍光体被覆は、酸化アルミニウムと他の金属酸化物を混合することに より、より高い化学的耐久性を持つことができる、すなわち酸化アルミニウムの 化学的に敏感な層の上により化学的に耐久性のある金属酸化物の層が形成される と考えられる。本発明の教示は単に無定形の酸化アルミニウムベースの多酸化物 被覆のみならず結晶性のあるいは部分的に結晶性の酸化アルミニウムベースの多 酸化物被覆にも適用可能であると思われる。また本発明の教示は液体の水によっ て引き起こされる腐食を受けやすい、蛍光体用のいかなる酸化アルミニウム被覆 に対しても、その耐性を改善するために使用できると思われる。さらに本発明の 教示は、被覆が形成される温度の高低にかかわらず、蛍光体粒子のためのこのよ うに化学的に敏感な酸化アルミニウム被覆の耐腐食性を改善するために使用でき ると思われる。驚くべき事に、ほんの少量の金属酸化物（例えばシリカ）を添加 するだけで酸化アルミニウム被覆の化学耐久性を大きく改善できると思われる。 必ずしもそうでなくてもよいが、本発明の酸化アルミニウムベースの多酸化物被 覆はカプセル蛍光体粒子を大きく損傷しない（すなわち、初期輝度が未被覆蛍光 体粒子のおよそ５０％未満とならない）温度で恐らく形成されるであろう。 ここに開示し例としてあげる蛍光体粒子は電場によって誘発され ルミネセンスを生じる、すなわち発光する（エレクトロルミネセンス）タイプで ある。本発明の教示は気相酸化アルミニウム前駆体から形成される酸化アルミニ ウム被覆でカプセル化される水分に敏感な他のタイプの蛍光体粒子にも役立つよ う応用できると思われる。このような他のタイプの蛍光体粒子としては熱(熱ル ミネセンス)、光（光ルミネセンス）あるいは高エネルギー放射線（例えば、Ｘ 線あるいは電子線）を加えることによって誘発されるものをあげることができる 。 本酸化アルミニウムベース多酸化物被覆が示す、水分関連の腐食に対するより いっそう高い耐性に加えて、さらに本カプセル化蛍光体粒子は酸化アルミニウム 被覆だけでカプセル化された同じ蛍光体粒子と比較して、同等のまたはさらに改 善された初期輝度ならびに輝度の保持性を示すことが見いだされた。さらに、本 多酸化物被覆でカプセル化された蛍光体粒子はただ酸化アルミニウムのみの被覆 でカプセル化されている蛍光体粒子によって示されるものと同等あるいはそれ以 上の高い電気的効率を示すことができることが見いだされた。亜鉛を含んでいる EL蛍光体（例えば、硫化亜鉛）では本酸化アルミニウムベースの多酸化物被覆は 、酸化アルミニウムだけによる被覆と比較して、被覆を通じて拡散することによ る蛍光体からの亜鉛の損失を同程度には低減できる。酸化アルミニウム被覆でカ プセル化されることによって、蛍光体粒子に付与される他の望ましい諸性質もま た本酸化アルミニウムベースの多酸化物被覆の使用により同等に止まるか、ある いは増加するものと思われる。 本カプセル化粒子の一つの局面において、各カプセル化粒子は本被覆がないと 水分の存在下で湿度加速減衰を示すエレクトロルミネセンス蛍光体材料からなる 蛍光体粒子を含有する。実質的に透明な多金属酸化物被覆は酸化アルミニウム（ 例えば、アルミナ）から作 られる被覆よりも液体の水による化学分解に対して高い耐性を持ち、そして湿度 加速減衰から蛍光体粒子を実質的に保護するべく蛍光体粒子を十分にカプセル化 する。この被覆は酸化アルミニウムと少なくとも他の一つの金属酸化物を含有す るがここで金属酸化物は複合酸化物ムライト（３Al₂O₃・２SiO₂）の形ではない 。 この少なくとも一つの他の金属酸化物としては、単に例としてあげるのである が、酸化ケイ素（例えばシリカ）、酸化ホウ素（例えばボリア）、酸化チタン（ 例えば、チタニア）、酸化スズ、あるいは酸化ジルコニウム（例えば、ジルコニ ア）がある。これらおよび他のいかなる適当な金属酸化物も単独で、あるいは組 合せて使用することができる。 本多酸化物被覆は酸化アルミニウムと少なくとも一つの他の金属酸化物の混合 物を含有する。例えば、この被覆は酸化アルミニウム、酸化ケイ素ともう一つの 金属酸化物（例えば、酸化ホウ素）の混合物を含有することができる。あるいは 別の方法として多酸化物被覆は少なくとも内層と外層を含有してもよい。例えば 、内層は酸化アルミニウムを含有することができ、そして外層は少なくとも他の 一つの金属酸化物を含有することができる。外層は一つの金属酸化物であっても よくまた金属酸化物の混合物であってもよい。多数の外層もまた考えられる。 本発明のもう一つの局面において、それぞれが水分の存在下で湿度促進減衰を 示す蛍光体粒子の床を供給するステップと、気相酸化アルミニウム前駆体と少な くとも一つの他の気相金属酸化物前駆体を含有する、少なくとも二つの前駆体を 供給するステップと、前記の床を前駆体に暴露し、前駆体を化学的に反応させ、 上述のような多金属酸化物被覆で各蛍光体粒子をカプセル化するステップとを含 有する蛍光体粒子をカプセル化する方法が提供される。気相金属酸 化物前駆体としては被覆に望ましい金属酸化物を形成することができる前駆体で あればよい。その結果生じる被覆は、実質的に透明で、本質的に酸化アルミニウ ムから成る同様の被覆より液体の水による化学分解に対してより高い耐性を持ち 、蛍光体粒子を十分カプセル化して湿度加速減衰から実質的に守る。かかる被覆 の例としては、酸化アルミニウムと酸化ケイ素を含有し、さらに加えて少なくと も一つの他の金属酸化物を含むものと含まないものとがあげられる。 本方法は前記の床を水蒸気に暴露し、各蛍光体粒子を気相酸化アルミニウム前 駆体と少なくとも一つの他の気相金属酸化物前駆体の気相加水分解反応によって 被覆する（すなわち、気相金属酸化物前駆体はそれぞれの蛍光体粒子上、あるい は近くで、加水分解によって、化学的に反応し、そして各蛍光体粒子とカプセル 化被覆のかたちで結合する）暴露ステップを含有する加水分解ベースのプロセス であってもよい。本方法は加水分解ベースの化学的気相蒸着プロセスであること が望ましいと言ってよい。加水分解反応は蛍光体粒子に与える温度関連の損傷を 皆無にするとまで言えないとしても少なくとも実質的に最小にするのに十分低い 温度で生じることが望ましい。例えば、カプセル化された粒子が高い初期発光輝 度（例えば、未被覆の蛍光体粒子が示す値の５０％を超える）を保持することが 望ましい。さらにこの温度が、その色や光学的および電気的諸性質などの蛍光体 粒子のその他の性質に与える温度関連の損傷を皆無とまではいかなくても、少な くともに最小にするのに十分低い温度であることが望ましい。このような低温金 属酸化物被覆は必ずとはいえないまでもしばしば無定型である。 本方法は、前記の蛍光体粒子床を気相酸化アルミニウム前駆体に暴露し、化学 的に反応させて各蛍光体粒子を酸化アルミニウムを含有する内層でカプセル化す ることにより、内層と外層を持つ本多金 属酸化物被覆を形成するために使用できる。この床はもう一つの気相金属酸化物 前駆体あるいは多数の前駆体に暴露され、化学的に反応し、各内層を少なくとも 一つの他の金属酸化物を含有する外層でカプセル化することができる。所望によ り、この外層は同じ、あるいは異なる金属酸化物あるいは酸化物の混合物からな る一つ以上の他の外層で同様にカプセル化することができる。例をあげると、酸 化アルミニウムの内層を酸化ケイ素と少なくとも一つの追加の金属酸化物を含有 する外層によってカプセル化することができる。 本発明の目的、特徴および利点は本明細書ならびに添付の図面を鑑みれば明白 となるであろう。 図面の簡単な説明 図１は本発明のカプセル化蛍光体粒子製造方法の一つの実施例の概略図である 。 図２は本発明のカプセル化蛍光体粒子の一つの実施例の断面図である。 図３は本発明のカプセル化蛍光体粒子のもう一つの実施例の断面図である。 これらの図は理想化されており、単に説明のためのものであって何ら制限を意 図するものではない。 例示的実施例の詳細な説明 本発明をここに特定の実施例に関して記述するが、本発明の精神から外れるこ となく、種々の修正、再配列および置換がなされ得ることは当業者には容易に明 白であろう。したがって本発明の範囲はここに添付された請求項によってのみ制 限される。 本発明により被覆される蛍光体粒子は、例えば、硫化亜鉛ベース の蛍光体、硫化カルシウムベースの蛍光体、セレン化亜鉛ベースの蛍光体、硫化 ストロンチウムベースの蛍光体あるいはそれらを組み合わせたものを含有するこ とができる。本発明で使用される蛍光体は従来の方法に従って配合することがで きる。たとえば、硫化亜鉛ベースの蛍光体はよく知られており通常一つ以上の硫 化銅、セレン化亜鉛および硫化カドミウムなどの化合物を硫化亜鉛結晶構造を持 つ固溶体中に含有し、あるいはその粒子構造中に第二の相あるいはドメインとし て含有している。良い試験結果が市販の蛍光体シルバニア タイプ７２９で得ら れた。同様の、あるいはさらにもっと良い結果を他の蛍光体を使って得ることが できると思われる。ここに使用される蛍光体粒子は通常大きさはその用途に大き く依存して大きさは様々であってよい。本発明の各蛍光体粒子は湿度加速減衰か ら実質的に保護されるように酸化アルミニウムベースの多酸化物により被覆され ている。 ここで金属酸化物または酸化物とは主として少なくとも一つの金属と酸素で構 成された材料を言う。酸化物はまた、少なくともそれらがここに記載のものと類 似しているという条件の下で、蛍光体上の被覆の形で形成される、他の元素や化 合物を、前駆体物質あるいは蛍光体粒子由来のものを含め、含有してもよい。例 えば、ここで使用されている、金属酸化物は金属の酸化物（例えば、チタニア、 シリカ、アルミナ、酸化スズ、ジルコニア、ボリアなど）、金属の水酸化物（例 えば、水酸化アルミニウム）、酸素と少なくとも一つの金属を含んでいる化合物 、あるいはその組合せを含有することができる。有利な結果が、酸化アルミニウ ムと酸化ケイ素の被覆ならびに酸化アルミニウム、酸化ケイ素および酸化ホウ素 の被覆で得られている。有用な結果がまた酸化アルミニウムと他の金属たとえば 、スズ、ジルコニウム、マグネシウム、カルシウムの酸化物の被覆に よっても得られるものと思われる。 本多酸化物被覆は実質的に透明であるに十分なほど薄く、不透水性を提供する に十分な厚みを持つ。厚すぎる被覆は透明度が低下し、その結果輝度が減少する 傾向がある。 本発明の方法は、それぞれが水分の存在下で湿度促進減衰を示す蛍光体粒子の 床を供給するステップと、気相酸化アルミニウム前駆体と少なくとも一つの他の 気相金属酸化物前駆体を含有する少なくとも二つの前駆体を供給するステップと 、前記の層を前駆体に暴露し、前駆体を化学的に反応させ、上記のように多金属 酸化物被覆で各蛍光体粒子をカプセル化するステップとを含有する。気相金属酸 化物前駆体としては被覆に望ましい金属酸化物を形成することができる前駆体で あればよい。その結果として生じる被覆は、実質的に透明で、本質的に酸化アル ミニウムから成る同様の被覆より液体の水による化学分解に対してより高い耐性 を持ち、蛍光体粒子を十分にカプセル化して湿度加速減衰から実質的に守る。か かる被覆の例としては、酸化アルミニウムおよび酸化ケイ素、それに加えてさら に酸化ホウ素を含むものと含まないものがあげられる。本方法の例示的実施例を 図１に概略的に示す。 単に説明のためにのみ、カプセル化粒子を製造するために使用した下記に詳細 に記載（表参照）した本方法は、加水分解ベースのプロセスであり、より詳しく は、気相酸化アルミニウム前駆体と少なくとも一つの他の気相金属酸化物前駆体 の気相加水分解反応によって各蛍光体粒子を被覆するように水蒸気に床を暴露す ることを含む、加水分解ベースの化学的気相蒸着（CVD）プロセスである。この 加水分解反応はそれぞれカプセル化された蛍光体粒子に与える温度関連の損傷を 少なくとも実質的に最小にするのに十分低い温度において生じた。この方法で製 造された低温多金属酸化物被覆は無定型で あると思われる。 未被覆の蛍光体粒子１２は反応器１４内に置かれ、そして適切な温度に加熱さ れる。蛍光体粒子を十分にカプセル化する被覆を形成するために、反応室１４内 にある間、粒子を攪拌しておくことが好ましい。蛍光体粒子を攪拌するのに有用 な方法の例をあげると、反応器を振とう、振動あるいは回転させる、粒子をかき まわす、あるいは流動床内に懸濁させるなどがある。このような反応室内では、 本質的にそれぞれの粒子の全表面が露出し、粒子と反応前駆体が互いによく混合 されるように粒子は多くの異なった方法により攪拌される。通常、望ましい反応 室は流動層反応器である。流動化により通常効率的に粒子が凝集を妨げられて、 粒子と反応前駆体物質とが均一に混ざりやすく、いっそう均一な反応条件が提供 され、それによってきわめて均一なカプセル化特性が生じることになる。 多くの場合必要とされないが、凝集を起こしやすい蛍光体粒子を使用する場合 、流動化助剤、たとえば少量のヒュームドシリカを加えることが必要かもしれな い。このような助剤の選択およびその有用な量は当業者により容易に決定されよ う。 気相中の所望の前駆体物質をついで反応器１４に加え、気相加水分解反応を起 こして蛍光体粒子の表面上に多酸化物材料の被覆を形成し、それによってカプセ ル化する。下記に例示的気相加水分解反応を記す： 2(Al(CH₃)₃)+SiCl₄+5H₂O===Al₂O₃+SiO₂+6CH₄+4HCl この例においては、水蒸気、トリメチルアルミニウム（TMA）および四塩化ケイ 素が酸化物前駆体物質であると考えられる。さらにこの例示的反応は無水酸化物 の形成のためである。ある条件の下ではこのような加水分解反応は本発明を実行 する上で有用であり得る水酸化物を、少なくとも部分的に、作り出すかもしれな い。気相加水 分解反応の結果として生じるヒドロキシル化および／または水和作用の量は反応 が起こる温度に依存すると思われる。酸化物前駆体に対する水の割合もまた影響 しているかもしれない。 前駆体物質を気相の形にし、反応室に加える技法の一つは、好ましくは不活性 であるガス流、ここではキャリアガス２とよぶ、を前駆体物質純液を通して反応 室１４中にバブリングして入れる方法である。ここで使用してもよい不活性ガス の例としては、アルゴンと窒素があげられる。酸素および／または空気もまた使 用できる。この手法の利点は、キャリアガス/前駆体流を反応室内で蛍光体粒子 を流動化するために使用でき、それによって所望のカプセル化プロセスが容易に なることである。さらに、このような技法によれば反応器１４の中に前駆体物質 を導入する速度を容易に制御できる手段が供給される。再び図１にもどると、キ ャリアガス２はウォーターバブラー４を通してバブリングされ水蒸気を含んでい る前駆体流８が作り出される。キャリアガス２はまた少なくとも２つの他のバブ ラー６と７を通してバブリングされ、少なくとも２つの金属酸化物前駆体流１０ と１１を作り出す。バブラー６には酸化アルミニウム前駆体物質（例えば、TMA ）の純液が入っている。バブラー７にはもう一つの金属酸化物前駆体物質（例え ば、SiCl₄）の純液が入っている。前駆体流８、１０および１１が次に反応器１ ４の中に送られる。 本方法は酸化アルミニウムと少なくとも一つの他の金属酸化物の混合物を含有 する多金属酸化物被覆（すなわち、混合金属酸化物被覆）あるいは酸化アルミニ ウムからなる内層と少なくとも一つの他の金属酸化物からなる少なくとも一つの 外層を含有する被覆（すなわち、層状の金属酸化物被覆）を形成するために使用 できる。混合金属酸化物被覆を形成するときには、８、１０および１１のすべて の流れは同時に反応器１４の中に送られる。層状の金属酸化物被覆を形成すると きは最初に８と１０の流れを粒子が酸化アルミニウムの内層によってカプセル化 されるまで反応器１４中に送りこむ。ついで８と１１の流れを反応器１４の中に 輸送し、少なくとも一つの他の金属酸化物の外層で酸化アルミニウムの内層をカ プセル化する。内層が酸化アルミニウムと一つ以上の他の金属酸化物の混合物を 含有することが望ましいかもしれない。これは８と１０の流れを輸送する際、一 つ以上の他の金属酸化物前駆体流を共に輸送することによって、達成できる。ま た混合酸化物の内層の有無にかかわらず、外層が酸化アルミニウム以外の二つ以 上の金属酸化物の混合物を含有することが、望ましいかもしれない。外層はまた 酸化アルミニウムともう一つの金属酸化物の混合物であってもよい。 前駆体流量は適切な堆積速度と、そして望ましい品質と特徴の酸化物被覆が生 じるように調節される。反応室に存在している前駆体物質の比率が蛍光体粒子の 表面における酸化物堆積を促進するよう、流量が調節される。 特定の用途のための最適流量は、通常ある程度まで反応室内の温度、前駆体流 の温度、反応室中の粒子攪拌の度合い、および使用されている特定の前駆体に応 じて異なる。有用な流量は試行錯誤実験で容易に決定できるであろう。前駆体物 質を反応室に輸送するのに使用されるキャリアガスの流量は蛍光体粒子を望まれ るように攪拌し、最適量の前駆体物質を室に輸送するために十分であることが望 ましい。 加水分解反応と被覆方法が都合よく高速で進行するべく十分に多量の前駆体物 質が反応器の中に輸送されるように前駆体物質が十分に高い蒸気圧を持つことが また望ましい。例えば、より高い蒸気圧を持っている前駆体物質は、より低い蒸 気圧を持っている前駆体物 質より、より高速な堆積速度を提供し、それによってカプセル化時間の短縮を可 能にしている。物質の蒸気圧を増加させるために前駆体原料を加熱してもよい。 加熱された原料と反応器との間の結露を妨げるために、管類その他の、前駆体物 質を反応器に輸送する手段を加熱することが必要かもしれない。多くの場合、下 の表にまとめられているもののように、前駆体物質は室温において純液の形であ るであろう。場合によっては、前駆体物質は固体として入手可能であるが、その 場合は昇華させて利用することができる。 最も望ましい前駆体物質は蛍光体粒子に実質的に損傷を引き起こすことのない 低い温度で加水分解反応によって本多金属酸化物被覆を形成することができるも のである。前駆体物質に有害な化学成分（例えば、水や塩化物）が存在するとい ったファクターは実質的な損傷を引き起こす温度に影響を与えうる。初期輝度の 望ましくない損失を引き起こす、粒子の表面における本質的な熱損傷あるいは有 害な熱化学反応を避ける一方で、堆積中の被覆が十分なカプセル化を行い、また 液体の水による腐食や湿度加速減衰から確実に所望の保護が得られるようにする ために反応器の温度を低温に維持することは望ましい。あまりにも低い温度にお いて行われるカプセル化プロセスでは湿度加速減衰に対して望ましい耐性を提供 しない被覆をもたらす傾向があるかもしれない。このような被覆は十分に不透水 性ではない。なぜならこれはより開放された構造を持つ、すなわち過剰にトラッ プされた、あるいは未反応の水または他の前駆体成分を含有している思われるか らである。高すぎる温度において行われるカプセル化プロセスは、例えば、電界 発光輝度の減少、この蛍光体材料によって発光される光の色の望ましくない変化 あるいはシフト、あるいは蛍光体材料の本質的な減衰特性の劣化などを引き起こ すかもしれない。有利な結果を与えた前駆体物質は下の表にまとめ た通りである。 下に表にまとめた前駆体物質のほかに、他の金属アルコキシド、例えば、アル ミニウムイソプロポキシドとジルコニウムn-プロポキシドおよび他の金属アルキ ル、例えば、ジエチル亜鉛とトリエチルボランでもまた有用な結果が得られるこ とが予想される。相互に反応する前駆体物質、例えば、SiCl₄とH₂Oは、輸送シス テム中で早期反応が起こるのを妨ぐために、反応器に加えるまで混合しないこと が望ましい。したがって、反応器室中へは多数のガス流が通常供給される。 例えば、およそ３５０℃を越える高温に蛍光体粒子を暴露すると、その初期発 光輝度を減らす傾向があることが従来示唆されているが、ある特定の条件の下で 例えば、およそ１７０℃からおよそ２１０℃の低い温度に暴露することにより蛍 光体粒子が劣化するかもしれないことがわかった。私はこの説に縛られたくはな いが、蛍光体材料は暴露されている温度にだけ敏感なのではなく、ある特定の組 成物への粒子の暴露、たとえばある特定の化合物への暴露、によって生じる一つ 以上の効果がまた存在し、そしてこのような効果はまた温度に依存しているので はないかと想像される。詳しい機構はまだ明らかではないが、蛍光体粒子の表面 が、例えば、塩酸などの薬剤に暴露されることによって変化を生じ、それがその 結果として生じるカプセル化粒子の発光輝度に影響を与えるものと考えられる。 塩酸は、例えば、金属酸化物前駆体ジメチルアルミニウムクロライド（DMAC）か ら酸化アルミニウム被覆が堆積される間に生じうる。 再び図１にもどるが、カプセル化の後本発明のカプセル化蛍光体粒子１６は反 応器１４から除去される。図２に示すように、本発明のカプセル化蛍光体粒子２ ０は、それぞれ本発明の混合金属酸化物 被覆２４の中にカプセル化された蛍光体材料の粒子２２を含有することができる 。図３に示すように、本発明のカプセル化蛍光体粒子２０はまたそれぞれが酸化 アルミニウムを含有する内層２６と少なくとも一つの他の金属酸化物（例えば、 チタニア）を含有する外層２８を持つ（この外層２８は内層２６をカプセル化し ている）層状の金属酸化物被覆２４内にカプセル化された蛍光体粒子２２を含有 してもよい。層状の金属酸化物被覆２４の各層２６と２８は単体の金属酸化物で あっても金属酸化物の混合物であってもよい。被覆２４の一層あるいはすべてを 形成している混合金属酸化物は、ほぼ原子レベルで均一であっても、また被覆２ ４の全体組成からみて金属酸化物をより多かれ少なかれ含有する小領域によって 幾分不均一であってもよい。 本発明のカプセル化蛍光体粒子は実質的にその固有の特性を維持する一方で液 体の水によって引き起こされる腐食と湿度加速減衰の両方に対して高い耐性を示 す。例えば、ここに教示されているようにカプセル化された蛍光体の発光スペク トルには通常全くあるいはわずかしかシフトがなく、このような粒子は通常その 初期発光輝度の相当な部分を保持しており、本質的な減衰特性は通常未被覆の蛍 光体粒子と比べてより優れていないにせよ同等である。湿度加速減衰に対する耐 性がどのくらいのものかと言うと、通常高湿度、たとえば相対湿度が９５パーセ ントを超える、に直接暴露させて作動したときの輝度損失率が、乾燥した環境、 例えば相対湿度がおよそ１０パーセント未満、において作動した際に示す固有の 輝度損失にきわめて類似している。 実施例 本発明をさらに次の例示的実施例（表参照）によって説明するが これらの実施例は発明を何ら制限するものではない。カプセル化プロセス 基本的に、米国特許第５,１５６,８８５号に開示されているような従来のカプ セル化プロセスに従った。使用した直径３０mmの流動床反応器のそれぞれは一つ の底部入口を持つガラス‐フリットタイプファンネルから成り、反応層（すなわ ち、ベースフリット）の底に適当な大きさのフリット（例えば、サイズＣあるい はＤ）を有し、このベースフリット上に蛍光体粒子を載せた。各反応器を制御さ れた方法（例えば、油浴に浸漬する、あるいはワイヤーテープ加熱によるなど） で望ましい温度に加熱されるように改造した。それぞれの反応器に各前駆体蒸気 を導入するのには別々のガス導入管を使用した。ガラスフリットを使う代わりに 、各導入管の先を先細にし、前駆体蒸気を分散させた。つまりこのテーパによっ て、導入管からバブリングにより排出された前駆体蒸気がベースフリット上に置 かれた蛍光体粒子中へ導入された。 各反応器においては、それぞれ流動層に挿入された金属酸化物前駆体のガス導 入管は、蛍光体粒子を通って延ばされ、金属酸化物前駆体蒸気流（すなわちキャ リアガスと前駆体蒸気）をベースフリットのすぐ上の蛍光体粒子（すなわち反応 帯）の近く、あるいは底のところで反応器に導入するようにした。表にまとめた 結果においては、金属酸化物前駆体導入管はファンネル反応器の最上部を通して 差し込まれた。別法として、これらの導入管は反応器の側面を通して配置するこ ともできた。各反応器にはまた別の導入管を、ファンネル反応器の底部の入口に 接続し、水蒸気とキャリアガスを反応器の底のベースフリットに導入した。この ように、加水分解反応は実質的にベースフリット中ではなく、蛍光体粒子中で生 じた。 適当な大きさのバブラーを各前駆体用に使用した。各バブラーの大きさおよび 各導入管の先細の度合いは少なくともある程度は前駆体物質の揮発性と反応器で 所望の流量を得るために必要なバブラーを通る流量によって決まる。これらのバ ブラーはそれぞれおよそ室温に保たれた。 使用する各液体金属酸化物前駆体と水に窒素キャリアガスをバブリングした。 水を含有したキャリアガス流をついで蛍光体粒子を支持しているファンネルフリ ットを通して流した。酸化物前駆体を含有したキャリアガス流を各導入管を通し て蛍光体粒子層中に流した。一つの酸化アルミニウム前駆体の試薬級純液と少な くとも一つの他の金属酸化物前駆体の試薬級純液を前述のように使用した。表に まとめた実施例で使用された酸化アルミニウム前駆体はともにイリノイ州シカゴ のアクゾケミカル社から購入することができるトリメチルアルミニウム（TMA） とジメチルアルミニウムクロライド（DMAC）であった。使用した他の金属酸化物 前駆体は酸化ケイ素と酸化ホウ素前駆体であった。使用した特定の金属酸化物前 駆体の例をあげると，ウィスコンシン州ミルウォーキーのオールドリッチケミカ ル社から購入できるテトラエチルオルトシリケート(TEOS)、四塩化ケイ素（SiCl 4）およびトリメチルボレート（TMB）、ならびにアクゾケミカル社から購入でき るトリエチルボラン（TEB）であった。輝度試験 表にあげた蛍光体サンプルの保持電界発光輝度を米国特許第５,１５６,８８５ 号で開示されているような飽和空気テスト(すなわち、オイルグリッドテスト)を 使って求めた。下記に表にまとめてある、得られた試験データはフット-ランベ ルト（Ft-L）で表してある。蛍光体規格 市販のシルバニアタイプ７２９蛍光体粒子を表の実施例で使用した。その粒度 分布を含め、７２９蛍光体の物理的性質はシルバニアタイプ７２３、７２３RBお よび７２８蛍光体のそれに非常に類似している。タイプ７２９蛍光体はタイプ７ ２８のように、緑色の硫化亜鉛ベースの蛍光体である。表の実施例のために使用 した直径３０ミリの反応器のそれぞれにシルバニア７２９蛍光体粒子６０グラム を装てんした。 カプセル化プロセス中各実施例の反応器の温度は上記の表に記載の温度の約５ ±℃から約１０±℃の範囲でコントロールされた。流量は指示された溶液を通っ たキャリアガス（例えば、窒素ガス）の体積の測定値を示す。水と金属酸化物前 駆体のバブラーを通過した乾燥窒素の流量は上記の表の通りでcm3/分（cc/分） で表されている。カプセル化プロセスは上記の表に記載した時間の間行なわれた 。被覆中の酸化ケイ素含有量はカチオンベースであり、モルパーセントで表示し てある。 表に記載の蛍光体粒子の実施例の初期輝度値は、新しく未被覆の条件の下での 同じ蛍光体の初期発光輝度のパーセントとして輝度テストの始めに求めた。 カプセル化蛍光体粒子のサンプル（すなわち、酸化アルミニウムと多酸化物で 被覆したもの）を飽和空気テストに付し、少なくとも９５％の湿度環境において 長期間にわたり保持された種々の被覆蛍光体粒子の保持輝度と湿度促進減衰に対 する耐性を求めた。各蛍光体粒子サンプルを連続作動させた輝度セルの保持輝度 を同じ蛍光体粒子の初期輝度のパーセンテージとして測定した。上の表にまとめ た結果は使用した酸化アルミニウム前駆体のタイプ（例えば、DMACあるいはTMA ）により、その結果として生じたカプセル化蛍光体粒子が示す湿度促進減衰に対 する長期耐性に影響が生じているかもしれないことを示している。これらのテス トの結果はまた少なくとも若干の酸化アルミニウム前駆体（例えばDMAC）にとっ て、酸化アルミニウム前駆体と共に一つ以上の他の金属酸化物前駆体を使用する ことにより湿度促進減衰に対する長期の耐性を改善でき、それ故に、カプセル化 蛍光体粒子の長期保持輝度が改善できることを示している。特定の金属酸化物前 駆体を使用した結果生じた湿度促進減衰に対する長期耐性はその特定の前駆体に 対して用いられた堆積条 件に依存するのかもしれない。 蛍光体粒子の他のサンプルはカプセル化期間後各反応器から取り出され、０. １モルの硝酸銀の水溶液に浸漬され、そして観察された。無被覆蛍光体粒子はこ のような硝酸銀溶液へ浸漬されれば数分以内には硫化銀形成により、黒くなるで あろう。表にまとめられた硝酸銀テストの時間はテストされているカプセル化蛍 光体粒子の色が際立って濃くなり、すなわち黒くなり始め、凝集を開始するまで の時間である。この硝酸銀テストは水によって引き起こされた腐食に対する各金 属酸化物被覆の感受性を示す。上の表にまとめた試験結果からわかるように、酸 化アルミニウム被覆でカプセル化した蛍光体粒子（すなわち、酸化アルミニウム 前駆体だけを使って形成された）は液体の水に浸漬することによる化学分解（す なわち、腐食）に対して酸化アルミニウムベースの被覆（すなわち、酸化アルミ ニウム前駆体と少なくとも他の一つの金属酸化物前駆体を組み合わせてできた） より際立って敏感である。 上に開示した本発明の一般原則ならびに先の詳細な解説から、当業者であれば 容易に本発明に応用しうる種々の修正を理解するであろう。したがって、本発明 の範囲は下記の請求項とその同等物によってのみ制限されるものである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ， ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，ＫＥ，Ｌ Ｓ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＺ，ＵＧ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＬ ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ， ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，Ｅ Ｅ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＧＷ，ＨＵ ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ， ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，Ｍ Ｄ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ， ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＺ，Ｖ Ｎ，ＹＵ，ＺＷ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．複数のカプセル化粒子（２０）であり、前記各カプセル化粒子（２０）は 、 水分の存在下で湿度促進減衰を示すエレクトロルミネセント蛍光体材料の蛍光体 粒子（２２）と、 前記蛍光体粒子（２２）を湿度促進減衰から実質的に保護するべく十分にカプセ ル化している、酸化アルミニウムのみによる被覆よりも液体の水による化学分解 に対する耐性のより高い実質的に透明な多金属酸化物被覆（２４）とを含有する 複数のカプセル化粒子（２０）であり、 ここで前記被覆（２４）は前記酸化アルミニウムおよび少なくとも一つの他の金 属酸化物を含有しそれらがムライト化合物の形ではない、複数のカプセル化粒子 （２０）。 ２．前記カプセル化粒子（２０）のそれぞれが、前記蛍光体粒子の初期エレク トロルミネセント輝度のおよそ５０パーセント以上の初期エレクトロルミネセン ト輝度を持つ請求項１に記載のカプセル化粒子（２０）。 ３．前記カプセル化粒子（２０）のそれぞれが、硫化亜鉛ベースの蛍光体、硫 化カルシウムベースの蛍光体、セレン化亜鉛ベースの蛍光体、硫化ストロンチウ ムベースの蛍光体から選ばれる少なくとも一つあるいはそれらの組合せにより作 られる蛍光体粒子（２２）を含有する請求項１に記載のカプセル化粒子（２０） 。 ４．前記被覆（２４）が少なくとも内層（２６）と外層（２８）を含み、前記 内層（２６）が前記酸化アルミニウムを含有し、前記外層（２８）が前記少なく とも一つの他の金属酸化物を含有する請求項１に記載のカプセル化粒子（２０） 。 ５．前記被覆（２４）が前記酸化アルミニウムと前記少なくとも一つの他の金 属酸化物の混合物を含有する請求項１に記載のカプセル化粒子（２０）。 ６．前記被覆（２４）が前記酸化アルミニウムと酸化ケイ素の混合物を含有す る請求項１に記載のカプセル化粒子（２０）。 ７．前記被覆（２４）がさらに酸化ホウ素を含有する請求項１に記載のカプセ ル化粒子（２０）。 ８．前記酸化アルミニウムがアルミナを含み、前記少なくとも一つの他の金属 酸化物がシリカを含む請求項１に記載のカプセル化粒子（２０）。 ９．複数のカプセル化粒子（２０）であり、前記各カプセル化粒子（２０）は 、 水分の存在下で湿度促進減衰を示すエレクトロルミネセント蛍光体材料の蛍光体 粒子（２２）と、 前記蛍光体粒子（２２）を湿度促進減衰から実質的に保護するべく十分にカプセ ル化している、酸化アルミニウムのみによる被覆よりも液体の水による化学分解 に対する耐性のより高い、実質的に透明な多金属酸化物被覆（２４）とを含有す る複数のカプセル化粒子（２０）であり、 ここで前記被覆（２４）は前記酸化アルミニウム、酸化ケイ素および少なくとも 一つの他の金属酸化物を含有している複数のカプセル化粒子（２０）。 １０．前記被覆（２４）が少なくとも内層（２６）と外層（２８）を含有し、 前記内層（２６）が前記酸化アルミニウムを含有し、前記外層（２８）が前記酸 化ケイ素と前記少なくとも一つの他の金属酸化物とを含有する請求項９に記載の カプセル化粒子（２０）。 １１．前記被覆（２４）が前記酸化アルミニウム、前記酸化ケイ 素、そして前記少なくとも一つの他の金属酸化物の混合物を含有する請求項９に 記載のカプセル化粒子（２０）。 １２．前記少なくとも一つの他の金属酸化物が酸化ホウ素を含有する請求項９ に記載のカプセル化粒子（２０）。 １３．それぞれが水分の存在下で湿度促進減衰を示す蛍光体粒子の床を供給す るステップと、 気相酸化アルミニウム前駆体と少なくとも一つの他の気相金属酸化物前駆体を含 有する少なくとも二つの前駆体を供給するステップと、前記床を前駆体に暴露し 、前駆体を化学的に反応させ、酸化アルミニウムと少なくとも一つの他の金属酸 化物を含有する多金属酸化物被覆で各蛍光体粒子をカプセル化するステップと、 を含有する蛍光体粒子をカプセル化する方法において、 前記酸化アルミニウムと前記少なくとも一つの他の金属酸化物はムライト化合物 の形ではなく、前記被覆は実質的に透明で、本質的に酸化アルミニウムからなる 被覆と比較し液体の水により生じる化学分解に対する耐性がより高く、そして湿 度促進減衰から蛍光体粒子を実質的に守るに十分なカプセル化を行っている、蛍 光体粒子をカプセル化する方法。 １４．前記方法が水蒸気を供給するステップを含有し、前記暴露ステップが前 記床を水蒸気に暴露し、各蛍光体粒子を気相酸化アルミニウム前駆体と少なくと も一つの他の気相金属酸化物前駆体の気相加水分解反応によって被覆させるステ ップを含有する請求項１３に記載の方法。 １５．前記方法が加水分解に基づく化学蒸着法であり、前記暴露ステップの間 に、蛍光体粒子に与える温度関連の損傷を少なくとも実質的に最小にし、蛍光体 粒子の高い初期発光輝度を保持するのに十分な低い温度において気相加水分解反 応が生じる請求項１４に記 載の方法。 １６．前記方法が少なくとも一つの他の気相金属酸化物前駆体として少なくと も気相酸化ケイ素前駆体を設けるステップを含有する請求項１３に記載の方法。 １７．前記方法が、少なくとも一つの他の気相金属酸化物前駆体として少なく とも気相酸化ケイ素前駆体と少なくとも一つの追加の気相金属酸化物前駆体を供 給するステップを含有する請求項１３に記載の方法。 １８．前記方法が、前記少なくとも一つの他の気相金属酸化物前駆体として、 少なくとも気相酸化ケイ素前駆体と気相酸化ホウ素前駆体を供給するステップを 含有する請求項１３に記載の方法。 １９．前記暴露ステップが前記床を気相酸化アルミニウム前駆体に暴露し、化 学的に反応させて各蛍光体粒子を内層でカプセル化するステップと、前記床を他 の気相金属酸化物前駆体に暴露し、化学的に反応させて、各内層を外層でカプセ ル化するもう一つのステップとを含有し、ここで前記内層が酸化アルミニウムを 含有し、前記外層が少なくとも一つの他の金属酸化物を含有する請求項１３に記 載の方法。 ２０．前記床を前記他の気相金属酸化物前駆体に暴露する前記もう一つのステ ップが前記床を気相酸化ケイ素前駆体と少なくとも追加の気相金属酸化物前駆体 に暴露し、化学的に反応させ、各内層を酸化ケイ素と少なくとも一つの追加の金 属酸化物を含有する外層でカプセル化するステップを含有する請求項１９に記載 の方法。 ２１．それぞれが水分の存在下で湿度促進減衰を示す蛍光体粒子の床を供給す るステップと、 気相酸化アルミニウム前駆体、気相酸化ケイ素前駆体および少なくとも一つの他 の気相金属酸化物前駆体を含有する少なくとも３つの 前駆体を供給するステップと、 前記床を前駆体に暴露し、前駆体を化学的に反応させ、各蛍光体粒子を酸化アル ミニウム、酸化ケイ素および少なくとも一つの他の金属酸化物を含有する多金属 酸化物被覆でカプセル化するステップと、を含有する蛍光体粒子をカプセル化す る方法において、 前記被覆が実質的に透明で、本質的に酸化アルミニウムから成る同様の被覆より 液体の水による化学分解に対してより高い耐性があり、そして湿度促進減衰から 蛍光体粒子を実質的に保護するようにカプセル化している蛍光体粒子をカプセル 化する方法。 ２２．前記方法が水蒸気を供給するステップを含有し、そして前記暴露ステッ プが前記床を水蒸気に暴露し、各蛍光体粒子を気相酸化アルミニウム前駆体と少 なくとも一つの他の気相金属酸化物前駆体の気相加水分解反応により被覆する請 求項２１に記載の方法。 ２３．前記暴露ステップが、前記床を気相酸化アルミニウム前駆体に暴露し、 化学的に反応させ、各蛍光体粒子を内層でカプセル化するステップと、前記床を 気相酸化ケイ素前駆体と少なくとも一つの他の気相金属酸化物前駆体に暴露し、 化学的に反応させ、外層で、各内層をカプセル化するもう一つのステップとを含 有し、ここで前記内層が酸化アルミニウムを含有し、前記外層が酸化ケイ素と少 なくとも一つの他の金属酸化物を含有する請求項２１に記載の方法。 ２４．前記床を前記他の気相金属酸化物前駆体に暴露する前記ステップが、前 記床を気相酸化ケイ素前駆体および気相酸化ホウ素前駆体に暴露し、化学的に反 応させ、酸化ケイ素と酸化ホウ素を含有する外層で各内層をカプセル化する、請 求項２３に記載の方法。 ２５．前記方法が加水分解に基づく化学蒸着法であり、前記暴露ステップの間 に、少なくとも蛍光体粒子に対する温度関連の損傷を実質的に最小にし、そして 蛍光体粒子の高い初期発光輝度を保持す るのに十分な低い温度で、気相加水分解反応が生じる請求項２１に記載の方法。 ２６．前記方法が前記少なくとも一つの他の気相金属酸化物前駆体として少な くとも気相酸化ホウ素前駆体を設けるステップを含有する請求項２１に記載の方 法。