JP2002373619A - 紫外線ランプ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】紫外線を発生するランプにおいて、例えば緩衝
材、接着剤、充填材などの、ランプを保持するための部
材や、ランプと外部流体通路を接続するゴムホースやパ
ッキング材などの紫外線により劣化する部材が、前記ラ
ンプ封体に近接または接する部分において紫外線により
劣化する問題を解決することを課題とする。 【解決手段】 紫外線により劣化する部材が近接または
接するところの前記ランプ封体の部分について、紫外線
の透過を阻止または低減できる材料の層を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、紫外線を発生する
ランプを含むランプ装置の構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】紫外線を発生するランプ、例えば誘電体
バリア放電によってエキシマ分子を生成し、エキシマが
解離するときの紫外線を放射する誘電体バリア放電ラン
プや低圧水銀ランプなどは、例えば、物体の表面改質や
有機物分解による光洗浄などの応用のための、発生紫外
線光源として利用される。

【０００３】しかし、このようなランプは、それ自体の
発生する紫外線が故に困難な問題を抱えていた。すなわ
ち、前記ランプに近接または接する、たとえば有機物な
どからなる部材が、発生する紫外線により劣化してしま
う問題である。前記ランプに近接または接する部材とし
ては、例えば緩衝材、接着剤、充填材などの、主として
前記ランプを保持するための部材、あるいは、光センサ
や温度センサなどを前記ランプに固定するための接着部
材、などである。

【０００４】これらの部材は、脆弱なガラスや結晶から
なる前記ランプの封体（広義には紫外線射出窓を含む）
に接し、支えるものであるため、金属などの剛性の高い
ものよりも、弾性を有するゴム状の緩衝部材や、液体状
態で充填し、後に固化する接着部材、充填部材が望まし
い。

【０００５】また、前記ランプが、例えば水などの液体
の流体を通すための管構造を有し、ランプを冷却するよ
うなものの場合、例えばゴムなどを材料とするホース
や、ランプの前記管構造と流体循環機構の一部である、
外部の流体通路との間に挟み込む、例えばゴムなどを材
料とするパッキング材などの、前記流体の漏れを防ぐパ
ッキング機能を有する前記冷却流体の注入または排出の
ための部材の、前記ランプ封体（または封体の延長部）
に接する部分において同様に発生する紫外線により劣化
してしまう問題があった。

【０００６】もし、前記した緩衝材、接着剤、充填材な
どの前記ランプ保持部材や前記した流体漏れを防止する
ためのパッキング材が紫外線により劣化した場合は、保
持機能が低下してランプが外れてしまう不都合が発生す
ることはもちろん、ランプ外れに至らない場合でも、前
記部材が紫外線により劣化する際に発生したガスが、前
記ランプの収納容器の紫外線射出窓面上で変質固化し、
窓の曇りを発生して、紫外線の利用効率を低下させる不
都合があった。

【０００７】さらに、前記した流体漏れを防止するため
のパッキング材が紫外線により劣化した場合は流体漏れ
が発生し、これが半導体や液晶表示パネルなどの光洗浄
装置であった場合は、クリーンルームのクリーン環境を
汚染する不都合があることはもちろん、前記ランプの給
電装置の電気出力や給電装置自体または近傍の電気回路
装置を短絡させ、これら装置を破壊したり、場合によっ
ては操作者の感電事故を生ずる重大な不都合が発生す
る。

【０００８】そのため、従来は、ゴムなどの紫外線によ
り劣化する保持部材を用いずに前記ランプを保持せざる
を得ず、したがって、強固な保持、固定ができなかっ
た。また、前記した流体漏れを防止するためのパッキン
グ材の劣化の問題のため、ランプを液体の流体で冷却す
ることを断念し、冷却効率の悪いガス（風）で冷却する
ために、十分な冷却ができなかった。

【０００９】あるいは、紫外線射出窓面の曇りの発生を
やむを得ないものとして、ゴムなどのパッキング材やホ
ースを使用して前記ランプを液体の流体で冷却する場合
は、パッキング材やホースを頻繁に交換する必要があ
り、コストや手間がかかっていた。

【００１０】例えば誘電体バリア放電ランプに関する、
ランプの冷却について述べた、米国特許庁公報５１７３
６３８においては、前記した紫外線によるホースやパッ
キング材などの劣化の問題は全く配慮されていなかっ
た。

【００１１】さらに、誘電体バリア放電ランプに関す
る、ランプの冷却について述べた、日本国特許出願２０
００−３６２３６６においては、前記した紫外線による
ホースやパッキング材などの劣化の問題を、内側電極が
遮光材を兼ねるように構成することにより回避するもの
が記載されているが、適用可能な形状の範囲が限定され
ていた。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記した紫
外線を発生するランプにおいて、例えば緩衝材、接着
剤、充填材などの、前記ランプを保持するための部材
や、光センサや温度センサなどを前記ランプに固定する
ための接着部材など、例えば有機物などからなる紫外線
により劣化する部材が、 前記ランプ封体に近接または
接する部分において紫外線により劣化する問題を解決す
る ことを課題とする。

【００１３】また、本発明は、前記したランプ封体の一
部が冷却流体が通る管構造を成す紫外線を発生するラン
プにおいて、例えばゴムホースや、前記管構造と外部流
体通路との間に挟み込むゴムパッキング材などの前記流
体の漏れを防ぐパッキング機能を有する前記冷却流体の
注入または排出のための部材の前記ランプ封体に近接ま
たは接する部分において紫外線により劣化する問題を解
決することを課題とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の発明は、
紫外線を発生するランプにおいて、紫外線により劣化す
る部材が近接または接するところの前記ランプ封体の部
分について、紫外線の透過を阻止または低減できる材料
の層を設けることを特徴とする。

【００１５】本発明の第２の発明は、ランプ封体の一部
が冷却流体が通る管構造を成す紫外線を発生するランプ
において、前記流体の漏れを防ぐパッキング機能を有す
る前記冷却流体の注入または排出のための部材が近接ま
たは接する前記ランプ封体の部分について、紫外線の透
過を阻止または低減できる材料の層を設けることを特徴
とする。

【００１６】

【作用】紫外線を発生するランプにおいて、例えば緩衝
材、接着剤、充填材などの、前記ランプを保持するため
の部材や、光センサや温度センサなどを前記ランプに固
定するための接着部材など、例えば有機物などからなる
紫外線により劣化する部材が近接または接するところの
前記ランプ封体の部分について、紫外線の透過を阻止ま
たは低減できる材料の層を設けることにより、前記紫外
線により劣化する部材が紫外線に曝されることが防止さ
れ、結果として、前記外部の紫外線により劣化する部材
が紫外線により劣化することが防止される。

【００１７】また、ランプ封体の一部が冷却流体が通る
管構造を成す紫外線を発生するランプにおいて、例えば
ゴムホースや、前記管構造と外部流体通路との間に挟み
込むゴムパッキング材などの前記流体の漏れを防ぐパッ
キング機能を有する前記冷却流体の注入または排出のた
めの部材が近接または接する前記ランプ封体の部分につ
いて、紫外線の透過を阻止または低減できる材料の層を
設けることにより、前記流体の漏れを防ぐパッキング機
能を有する 前記冷却流体の注入または排出のための部
材が紫外線に曝されることが防止され、結果として、前
記流体の漏れを防ぐパッキング機能を有する前記冷却流
体の注入または排出のための部材が紫外線により劣化す
ることが防止される。

【００１８】

【実施例】図７ａ、ｂに、誘電体バリア放電ランプによ
る従来の紫外線ランプ（９００）を示す。ａはランプ軸
を含む断面、ｂはランプ軸に垂直な面内における断面を
示す。誘電体バリア放電ランプは、誘電体バリア放電に
よってエキシマ分子を生成する放電用ガスが充填された
放電空間（９０５）があって、前記放電用ガスに放電現
象を誘起せしめるための両極の電極（９０１，９０２）
のうちの少なくとも一方と前記放電用ガスの間に誘電体
が介在する構造を有するランプで、前記電極（９０１，
９０２）に概略周期的な交流の高電圧を印加するための
給電装置（Ｐｓ）が接続される。

【００１９】本図の場合、ランプの封体を構成する、外
側管（９０３）と内側管（９０４）が、両極の電極（９
０１，９０２）と前記放電用ガスの間に介在する誘電体
を兼ねている。外側管（９０３）と内側管（９０４）と
は、封止部（９０７，９０８）にて封止されている。ま
た、外側管（９０３）の外側には、例えば導電性を有す
るパターンからなる光透過性の外側電極（９０１）が配
置され、内側管（９０４）の内側には、導電性を有する
パイプ状の内側電極（９０２）が配置される。

【００２０】放電用ガスとしては、発生させる紫外線の
波長に応じて、キセノン、ネオン、クリプトン、アルゴ
ンなどの希ガスや、これにフッ素、塩素、臭素などのハ
ロゲンを混合したもの、さらに水銀その他の金属を加え
たものが用いられ、また、ランプ封体の少なくとも外側
管（９０３）は、発生させる紫外線の波長について光透
過性の材料が用いられ、例えば溶融石英や合成石英など
のガラス、サファイアなどの結晶が用いられる。放射波
長は、一例をあげれば、１２６ｎｍ、１４６ｎｍ、１７
２ｎｍ、２２２ｎｍ、３０８ｎｍである。

【００２１】給電装置（Ｐｓ）は、放電プラズマ空間
（９０５）に充填される放電用ガスの種類や圧力、放電
ギャップの長さ（外側管（９０３）の内面と内側管（９
０４）外面の距離）外側管（９０３）と内側管（９０
４）の材質と厚さ、ランプに投入する電力密度に応じ
た、適当なピーク電圧（例えば百ボルトから数十キロボ
ルト）と周波数（例えば数キロヘルツから数メガヘル
ツ）を有する交流の電圧を発生し両極の電極（９０１，
９０２）に印加する。

【００２２】印加される電圧の波形については、正弦波
や矩形波、三角波、鋸歯状波などの連続波、あるいはパ
ルス列などを用いることができる。

【００２３】このような誘電体バリア放電ランプを、本
発明に従って、水（純水を含む）などの液体を用いて冷
却することに適した構造としたものを図１に示す。

【００２４】本図のランプ（１００）においては、内側
管（１０４）が延長された形状を有し、内側管延長部
（１０６，１０７）の先端付近の外面に（および望まし
くは端部にも）紫外線の透過を阻止または低減できる材
料の層（１１１，１１２）が設けられている。

【００２５】このように紫外線ランプ（１００）を構成
することにより、前記内側管（１０４）に冷却液体（Ｃ
ｆ）を通すことによって前記紫外線ランプ（１００）を
冷却するために、前記内側管延長部（１０６，１０７）
に、ゴムなどの弾性材料からなる、冷却液体を注入する
ためのホース（１２１）と排出するためのホース（１２
２）とを接続したとき、放電空間（１０５）から発し
て、前記内側管延長部（１０６，１０７）のガラス内部
を伝播（反射を繰り返した導波を含む）した紫外線が、
前記ホース（１２１，１２２）の内面に当たることによ
り、ゴムなどの弾性材料からなる前記ホース（１２１，
１２２）が劣化することが防止される。

【００２６】図２は、前記図７の紫外線ランプと同様
に、冷却液体を注入、排出するためのホースを接続する
ための内側管延長部を有さない本発明に従う紫外線ラン
プ（２００）を示すものである。

【００２７】本図のランプにおいては、外側管（２０
３）と内側管（２０４）の封止部の外面に紫外線の透過
を阻止または低減できる材料の層（２１１，２１２）が
設けられている。このように紫外線ランプ（２００）を
構成することにより、前記内側管（２０４）に水などの
冷却液体（Ｃｆ）を通すことによって前記紫外線ランプ
（２００）を冷却するために、流体循環機構の一部であ
る外部の流体通路、すなわち前記冷却流体の注入のため
の部材（２２３）および排出のための部材（２２４）
と、ランプの前記管構造の開口部である封止部（２０
７，２０８）との間に、前記流体の漏れを防ぐために、
例えばゴムなどを材料とするパッキング材（２２１，２
２２）を挟み込んだとき、ランプ封体の部分である前記
封止部（２０７，２０８）に接する前記パッキング材
（２２１，２２２）の面が、前記封止部（２０７，２０
８）を介して放電空間（２０５）から発した紫外線によ
って劣化することが防止される。

【００２８】なお、本図の紫外線ランプ（２００）を含
む光源装置は、前記冷却流体の注入のための前記部材
（２２３）は、光源装置基材（２３１）の衝立部分（２
３２）によって位置が限定され、また、前記冷却流体の
排出のための前記部材（２２４）は、雄ネジ構造を有す
る管状ネジ部材（２２５）を介して、前記光源装置基材
（２３１）の雌ネジ構造を有する衝立部分（２３３）に
よって位置が限定されるように構成されている。

【００２９】このため、前記管状ネジ部材（２２５）が
前記紫外線ランプ（２００）を圧縮する方向に前記管状
ネジ部材（２２５）を回転させることにより、前記パッ
キング材（２２１，２２２）が圧縮され、このことによ
り前記パッキング材（２２１）が前記封止部（２０７）
および前記冷却流体の注入のための前記部材（２２３）
に密着し、また、前記パッキング材（２２２）が前記封
止部（２０８）および前記冷却流体の注入のための前記
部材（２２４）に密着することにより、結果的に前記冷
却流体の漏れが防止される。

【００３０】なお、内側電極（２０２）は、緩い螺旋形
状を成し、電極として疎のようであるが、冷却液体（Ｃ
ｆ）が水などの比誘電率の高い物質である場合は、前記
内側管（２０４）内の冷却液体（Ｃｆ）全体が電極とし
て機能する。

【００３１】図３は、前記図１の紫外線ランプと同様
に、冷却液体を注入、排出するためのゴムなどの弾性材
料からなるホースを接続するための内側管延長部を有す
る本発明に従う紫外線ランプ（３００）を示すものであ
る。

【００３２】本図のランプ（３００）においては、Ｕ字
型の内側管（３０４）が延長された形状を有し、内側管
延長部の先端付近の外面に（および望ましくは端部に
も）紫外線の透過を阻止または低減できる材料の層（３
１１，３１２）が設けられている。

【００３３】このように紫外線ランプ（３００）を構成
することにより、前記内側管（３０４）に冷却液体（Ｃ
ｆ）を通すことによって前記紫外線ランプ（３００）を
冷却するために、前記内側管延長部に、ゴムなどの弾性
材料からなる、冷却液体を注入するためのジョイント
（３２１）と排出するためのジョイント（３２２）とを
接続したとき、放電空間（３０５）から発して、前記内
側延長部のガラス内部を伝播した紫外線が、前記ジョイ
ント（３２１，３２２）の内面に当たることにより、ゴ
ムなどの弾性材料からなる前記ジョイント（３２１，３
２２）が劣化することが防止される。

【００３４】なお、内側電極（３０２）は、前記内側管
（３０４）の中央部を通り、電極として疎のようである
が、冷却液体（Ｃｆ）が水などの比誘電率の高い物質で
ある場合は、前記内側管（３０４）内の冷却液体（Ｃ
ｆ）全体が電極として機能する。

【００３５】本図の紫外線ランプ（３００）を含む光源
装置においては、前記紫外線ランプ（３００）を、ラン
プ口金（３３２）（ここで「口金」とは、外部の構造に
対してランプ本体を保持するための、ランプ封体に固着
される部材を意味しており、文字通り金属から成るもの
に限定されず、絶縁物などの金属以外の部材から成る場
合も含まれる）と、前記紫外線ランプ（３００）とを固
着するための接着または充填部材（３３１）が近接また
は接する前記紫外線ランプ封体の部分に、紫外線の透過
を阻止または低減できる材料の層（３１３）が設けられ
ている。

【００３６】このように前記紫外線ランプ（３００）を
構成することにより、前記紫外線ランプ封体に近接また
は接する前記接着または充填部材（３３１）が、放電空
間（３０５）から発した紫外線によって劣化することが
防止され、結果として、前記接着または充填部材（３３
１）の保持機能が低下してランプが外れてしまう不都合
が防止される。

【００３７】図４は、前記図２に記載の紫外線ランプ
（２００）と基本的に同様構造を有するが、内側の電極
（４０２）が、内側管（４０４）の外側にあって、放電
空間（４０５）に接している、本発明に従う紫外線ラン
プ（４００）を示すものである。

【００３８】本図のランプにおいては、外側管（４０
３）と内側管（４０４）の封止部の外面に紫外線の透過
を阻止または低減できる材料の層（４１１，４１２）が
設けられている。

【００３９】このように紫外線ランプ（４００）を構成
することにより、冷却流体の漏れを防ぐために、例えば
ゴムなどを材料とするパッキング材（４２１，４２２）
を挟み込んだとき、前記パッキング材（４２１，４２
２）の外側管（４０３）と内側管（４０４）の封止部の
外面に近接または接する面が、放電空間（４０５）から
発した紫外線によって劣化することが防止される。

【００４０】図５は、前記図３に記載の紫外線ランプ
（３００）と基本的に同様構造を有するが、内側管（５
０４）は、その一端が閉塞されており、また内側の電極
（５０２）が、内側管（５０４）の外側にあって、放電
空間（５０５）に接している、本発明に従う紫外線ラン
プ（５００）を示すものである。

【００４１】冷却液体（Ｃｆ）は、前記内側管（５０
４）の更なる内側に設けられた、冷却流体注入管（５２
２）から注入され、前記内側管（５０４）の更なる内側
を通って、排出される。

【００４２】本図のランプ（５００）においては、内側
管（５０４）が延長された形状を有し、内側管延長部の
先端付近の外面に（および望ましくは端部にも）紫外線
の透過を阻止または低減できる材料の層（５１１）が設
けられている。

【００４３】このように紫外線ランプ（５００）を構成
することにより、前記内側管（５０４）に冷却液体（Ｃ
ｆ）を通すことによって前記紫外線ランプ（５００）を
冷却するために、前記内側管延長部に、ゴムなどの弾性
材料からなる、冷却液体を排出するためのホース（５２
１）と放電空間（５０５）から発して、前記内側延長部
のガラス内部を伝播した紫外線が、前記ホース（５２
１）の内面に当たることにより、ゴムなどの弾性材料か
らなる前記ホース（５２１）が劣化することが防止され
る。本図の紫外線ランプ（５００）を含む光源装置にお
いては、前記紫外線ランプ（５００）を、ランプ口金
（５３２）と、前記紫外線ランプ（５００）とを固着す
るための接着または充填部材（５３１）が近接または接
する前記紫外線ランプ封体の部分に、紫外線の透過を阻
止または低減できる材料の層（５１２）が設けられてい
る。

【００４４】このように前記紫外線ランプ（５００）を
構成することにより、前記紫外線ランプ封体に近接また
は接する前記接着または充填部材（５３１）が、放電空
間（５０５）から発した紫外線によって劣化することが
防止され、結果として、前記接着または充填部材（５３
１）の保持機能が低下してランプが外れてしまう不都合
が防止される。

【００４５】なお、図５に記載の紫外線ランプ（５０
０）と基本的に同様構造を有するが、内側管（５０４）
の外側にある内側の電極（５０２）を廃し、代わりに、
内側管（６０４）の更なる内側に設けられる冷却流体注
入管（６０２）を導電性材料により構成し、図６に示す
ように、給電装置（Ｐｓ）からの電圧を、導電性材料に
よりなる前記冷却流体注入管（６０２）に印加するもの
としてもよい。

【００４６】これまでに述べた、紫外線の透過を阻止ま
たは低減できる材料の層としては、例えば、チタニアな
どの紫外線不透過の絶縁体をコーティングしたり、金属
薄膜を蒸着またはメッキするなどして形成することがで
きる。また、紫外線の透過を阻止または低減できる材料
の層は、必ずしも、ランプに付着などしている必要はな
く、ランプを装置に組み込んだ際に、上記実施例に記載
したような構成となればよく、このため装置側に設けて
おくこともできる。

【００４７】また、外側管の外側に配置される、例えば
導電性を有するパターンからなる光透過性の外側電極に
ついては、網状または多孔状、樹枝状、ストライプ状な
どの、外側管全面を覆わないパターンを、例えばリソグ
ラフィ技術を用いたアルミニウムやクロムなどの金属の
蒸着やメッキ、あるいは銀ペーストや金ペーストなどの
導電性ペーストのシルクスクリーン印刷および焼成によ
り形成したり、さらには、金網や多孔金属板を被せるな
どして形成することができる。

【００４８】ここまでに示した実施例においては、内側
管として１本のみをもつ紫外線ランプを記載したが、複
数の内側管をもつものや、内側電極が配置されて冷却流
体を通さない内側管と冷却流体を通す内側管とをもつも
のにおいても本発明は適用できる。

【００４９】さらに、ここまでに示した実施例において
は、誘電体バリア放電による紫外線ランプを記載した
が、低圧水銀ランプやフラッシュランプ、さらには、マ
イクロ波放電、高周波放電、電界放電、磁界放電（無電
極放電）などの放電によるランプや電子流ランプなどの
紫外線ランプ、エキシマレーザなどのあらゆる紫外線光
源について本発明は適用できる。

【００５０】さらに、ここまでに示した実施例において
は、ランプ封体が封じ切り構造を有するもののみを記載
したが、分解可能な部品を組み立ててランプ封体を構成
するにおいて、気密を保つために使用するＯリングやガ
スケットなどの紫外線による劣化を防止する場合にも本
発明は適用できる。

【００５１】

【発明の効果】本発明により、紫外線を発生するランプ
において、紫外線により劣化する部材が、前記ランプ封
体に近接または接する部分において紫外線により劣化す
る問題を解決する課題を達成することができる。また、
本発明により、ランプ封体の一部が冷却流体が通る管構
造を成す紫外線を発生するランプにおいて、前記流体の
漏れを防ぐパッキング機能を有する前記冷却流体の注入
または排出のための部材の前記ランプ封体に近接または
接する部分において紫外線により劣化する問題を解決す
る課題を達成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の紫外線ランプの実施例を示す図であ
る。

【図２】本発明の紫外線ランプの実施例を示す図であ
る。

【図３】本発明の紫外線ランプの実施例を示す図であ
る。

【図４】本発明の紫外線ランプの実施例を示す図であ
る。

【図５】本発明の紫外線ランプの実施例を示す図であ
る。

【図６】本発明の紫外線ランプの実施例を示す図であ
る。

【図７】従来の誘電体バリア放電ランプの説明図であ
る。

【符号の説明】

Ｐｓ 給電装置 Ｃｆ 冷却液体 １００ 紫外線ランプ １０１ 外側電極 １０２ 内側電極 １０３ 外側管 １０４ 内側管 １０５ 放電空間 １０６、１０７ 内側管延長部 １１１、１１２ 紫外線の透過を阻止または低減できる
材料の層 １２１、１２２ ホース ２００ 紫外線ランプ ２０１ 外側電極 ２０２ 内側電極 ２０３ 外側管 ２０４ 内側管 ２０５ 放電空間 ２０６ 放電路 ２０７、２０８ 封止部 ２１１、２１２ 紫外線の透過を阻止または低減できる
材料の層 ２２１、２２２ パッキング材 ２２３、２２４ 冷却流体の注入のための部材 ２２５ 管状ネジ部材 ２２６、２２７ ホース ２３１ 光源装置基材 ２３２、２３３ 衝立部分 ３００ 紫外線ランプ ３０１ 外側電極 ３０２ 内側電極 ３０３ 外側管 ３０４ 内側管 ３０５ 放電空間 ３１１、３１２、３１３ 紫外線の透過を阻止または低
減できる材料の層 ３２１、３２２ ジョイント ３２３ 冷却流体注入管 ３２４ 冷却流体排出管 ３３１ 充填部材 ３３２ ランプ口金 ３３３ 光源装置基材 ３３４ 固定ネジ ４００ 紫外線ランプ ４０１ 外側電極 ４０２ 内側電極 ４０３ 外側管 ４０４ 内側管 ４０５ 放電空間 ４０６ 放電路 ４１１、４１２ 紫外線の透過を阻止または低減できる
材料の層 ４２１、４２２ パッキング材 ４２３、４２４ 冷却流体の注入のための部材 ４２５ 管状ネジ部材 ４２６、４２７ ホース ４３１ 光源装置基材 ４３２、４３３ 衝立部分 ５００ 紫外線ランプ ５０１ 外側電極 ５０２ 内側電極 ５０３ 外側管 ５０４ 内側管 ５０５ 放電空間 ５１１、５１２ 紫外線の透過を阻止または低減できる
材料の層 ５２１ ホース ５２２ 冷却流体注入管 ５３１ 充填部材 ５３２ ランプ口金 ５３３ 光源装置基材 ５３４ 固定ネジ ６００ 紫外線ランプ ６０１ 外側電極 ６０２ 内側電極を兼ねた冷却流体注入管 ６０３ 外側管 ６０４ 内側管 ６０５ 放電空間 ６１１、６１２ 紫外線の透過を阻止または低減できる
材料の層 ６２１ ホース ６３１ 充填部材 ６３２ ランプ口金

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】紫外線を発生するランプにおいて、紫外線
   により劣化する部材が近接または接するところの前記ラ
   ンプ封体の部分について、紫外線の透過を阻止または低
   減できる材料の層を設けることを特徴とする紫外線ラン
   プ装置。
2. 【請求項２】ランプ封体の一部が冷却流体が通る管構造
   を成す紫外線を発生するランプにおいて、前記流体の漏
   れを防ぐパッキング機能を有する前記冷却流体の注入ま
   たは排出のための部材が近接または接する前記ランプ封
   体の部分について、紫外線の透過を阻止または低減でき
   る材料の層を設けることを特徴とする紫外線ランプ装
   置。