JP2002369408A - 電力管理システム - Google Patents
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- H02J—CIRCUIT ARRANGEMENTS OR SYSTEMS FOR SUPPLYING OR DISTRIBUTING ELECTRIC POWER; SYSTEMS FOR STORING ELECTRIC ENERGY
- H02J9/00—Circuit arrangements for emergency or stand-by power supply, e.g. for emergency lighting
- H02J9/04—Circuit arrangements for emergency or stand-by power supply, e.g. for emergency lighting in which the distribution system is disconnected from the normal source and connected to a standby source
- H02J9/06—Circuit arrangements for emergency or stand-by power supply, e.g. for emergency lighting in which the distribution system is disconnected from the normal source and connected to a standby source with automatic change-over, e.g. UPS systems
- H02J9/062—Circuit arrangements for emergency or stand-by power supply, e.g. for emergency lighting in which the distribution system is disconnected from the normal source and connected to a standby source with automatic change-over, e.g. UPS systems for AC powered loads
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- H02H1/00—Details of emergency protective circuit arrangements
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 瞬時停電が発生した後、所定時間、設備に電
源を維持させることによって、瞬時停電による負荷装置
の誤動作を予防する電力管理システムを提供する。 【解決手段】 このシステムは非常電源遮断回路３７、
第１電圧整流器４３及び第２電圧整流器４９を含む。非
常電源遮断回路３７は瞬時停電時、１秒間電力開閉器３
９がトリップされることを予防する。第１電圧整流器４
３は瞬時停電により電力線を通じて交流電圧の電力が供
給されない時、所定時間間、直流電圧の電力を放電す
る。前記第２電圧整流器４９は第１電圧整流器４３から
供給された直流電圧の電力が供給され、瞬時停電発生
間、貯蔵された直流電圧の電力を放電する。
源を維持させることによって、瞬時停電による負荷装置
の誤動作を予防する電力管理システムを提供する。 【解決手段】 このシステムは非常電源遮断回路３７、
第１電圧整流器４３及び第２電圧整流器４９を含む。非
常電源遮断回路３７は瞬時停電時、１秒間電力開閉器３
９がトリップされることを予防する。第１電圧整流器４
３は瞬時停電により電力線を通じて交流電圧の電力が供
給されない時、所定時間間、直流電圧の電力を放電す
る。前記第２電圧整流器４９は第１電圧整流器４３から
供給された直流電圧の電力が供給され、瞬時停電発生
間、貯蔵された直流電圧の電力を放電する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電力系統及び半導
体製造設備に関するものであり、より詳細には交流電源
の瞬時停電による誤動作を防止するための半導体製造設
備に使用される電力管理システムに関するものである。
体製造設備に関するものであり、より詳細には交流電源
の瞬時停電による誤動作を防止するための半導体製造設
備に使用される電力管理システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】瞬時停電は、局地的地域での不安定な電
力供給環境、又は電力補修作業のための故意的な電力供
給線遮断等のような、多様な理由により発生する可能性
がある。そのような瞬時停電により、電力線を通じて供
給される交流電源が瞬間的に低くなる場合、受容れの家
側の設備は誤動作とか、動作中止が発生する。
力供給環境、又は電力補修作業のための故意的な電力供
給線遮断等のような、多様な理由により発生する可能性
がある。そのような瞬時停電により、電力線を通じて供
給される交流電源が瞬間的に低くなる場合、受容れの家
側の設備は誤動作とか、動作中止が発生する。
【０００３】瞬時停電による誤動作を防止するための多
様な技術は米国特許第５，２１６，８９７号、日本特開
平１２−１０２１９５号、日本特開平１１−１７８２４
５号及び韓国公開特許１９９８−０２３６４号等に開示
される。エアコンシステムに適用される前記米国特許第
５，２１６，８９７号では、電力復元時、多数のエアコ
ンに電力が同時に供給されることによる非正常的な電圧
降下を防止するため、所定時間ほど遅延時間を減らす回
路が使用される。前記日本特開平１２−１０２１９５号
では負荷装置での誤動作を防止するため、瞬時停電時、
電池の電圧を高め、その高められた電圧を、インバータ
を通じて交流電源に変換した後、前記交流電源を負荷側
に印加するメカニズムを提案する。反面、コンバータを
通じて変換された直流電圧の電力が供給されるＤＣリン
ク回路と、補助コンデンサー及びスイッチ回路とを含
む、前記日本特開平１１−１７８２４５号は、前記スイ
ッチ回路を通じて入力／出力電流を調節することによっ
て、負荷装置の誤動作を防止する。前記韓国公開特許１
９９８−０２３６４号は整流器、コンデンサー及びダイ
オードを使用して負荷装置の誤動作を防止し、電力復元
時、逆バイアスされたダイオードにより電力消費が多い
負荷装置への電力供給を遮断することによって、過電流
による電圧降下を防止する。
様な技術は米国特許第５，２１６，８９７号、日本特開
平１２−１０２１９５号、日本特開平１１−１７８２４
５号及び韓国公開特許１９９８−０２３６４号等に開示
される。エアコンシステムに適用される前記米国特許第
５，２１６，８９７号では、電力復元時、多数のエアコ
ンに電力が同時に供給されることによる非正常的な電圧
降下を防止するため、所定時間ほど遅延時間を減らす回
路が使用される。前記日本特開平１２−１０２１９５号
では負荷装置での誤動作を防止するため、瞬時停電時、
電池の電圧を高め、その高められた電圧を、インバータ
を通じて交流電源に変換した後、前記交流電源を負荷側
に印加するメカニズムを提案する。反面、コンバータを
通じて変換された直流電圧の電力が供給されるＤＣリン
ク回路と、補助コンデンサー及びスイッチ回路とを含
む、前記日本特開平１１−１７８２４５号は、前記スイ
ッチ回路を通じて入力／出力電流を調節することによっ
て、負荷装置の誤動作を防止する。前記韓国公開特許１
９９８−０２３６４号は整流器、コンデンサー及びダイ
オードを使用して負荷装置の誤動作を防止し、電力復元
時、逆バイアスされたダイオードにより電力消費が多い
負荷装置への電力供給を遮断することによって、過電流
による電圧降下を防止する。
【０００４】瞬時停電は一般的に電力遮断から電力復元
まで１秒以下の時間がかかる場合と定義される。電力復
元時までかかる時間が１秒以上である時には、前記瞬時
停電と区別可能な長期停電と定義される。図１は半導体
製造設備に使用される通常的な電力供給装置を示す。前
記電力供給装置は電源分配装置から供給された３相の２
０８Ｖ交流電源で動作する。図１を参照すると、前記電
力供給装置はモーター２３、前記モーター２３のスピー
ドを調節するためのインバータ（周波数変化装置２
１）、ヒーター２７、前記ヒーターのの電源オン−オフ
動作を調節するための固相継電器２５（ｓｏｌｉｄ−ｓ
ｔａｔｅ ｒｅｌａｙ、 ＳＳＲ）、圧縮器３１、過負
荷時、前述した装置を保護するための遮断器１５、１
７、１９、前記電力分配装置で供給される交流電源の供
給を遮断するための電力用開閉器５、非常電源遮断回路
３、ならびに前記モーター２３、前記ヒーター２７及び
前記圧縮器３１のような負荷設備を制御するためのＰＬ
Ｃ（ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ ｌｏｇｉｃ ｃｏｎｔ
ｒｏｌｌｅｒ）１１等を備える。
まで１秒以下の時間がかかる場合と定義される。電力復
元時までかかる時間が１秒以上である時には、前記瞬時
停電と区別可能な長期停電と定義される。図１は半導体
製造設備に使用される通常的な電力供給装置を示す。前
記電力供給装置は電源分配装置から供給された３相の２
０８Ｖ交流電源で動作する。図１を参照すると、前記電
力供給装置はモーター２３、前記モーター２３のスピー
ドを調節するためのインバータ（周波数変化装置２
１）、ヒーター２７、前記ヒーターのの電源オン−オフ
動作を調節するための固相継電器２５（ｓｏｌｉｄ−ｓ
ｔａｔｅ ｒｅｌａｙ、 ＳＳＲ）、圧縮器３１、過負
荷時、前述した装置を保護するための遮断器１５、１
７、１９、前記電力分配装置で供給される交流電源の供
給を遮断するための電力用開閉器５、非常電源遮断回路
３、ならびに前記モーター２３、前記ヒーター２７及び
前記圧縮器３１のような負荷設備を制御するためのＰＬ
Ｃ（ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ ｌｏｇｉｃ ｃｏｎｔ
ｒｏｌｌｅｒ）１１等を備える。
【０００５】前記図１で説明した電力供給装置は、瞬時
停電時にも正常的に動作するためには、特殊な設計条件
を満足しなければならない。例えば、磁気接触器（Ｍ／
Ｃ、いわゆる電力用開閉器）は１秒間ターンオン状態を
維持しなければならない。全ての負荷制御装置（例え
ば、ＰＬＣ、デジタル計器）も全て１秒間ターンオン状
態を維持しなければならない。一般的な半導体製造工程
で、反応チャンバと有機的に構成された周辺設備の動作
状態を制御するメイン制御装置で、冷却装置の動作状態
を確認するフィードバック信号は１秒間活性状態を維持
しなければならない。前記のように要求される設計条件
が充足されていない状態で、瞬時停電により、電力線を
通じて供給される交流電源の供給が一時的に遮断されれ
ば、主電源電力用開閉器５がトリップされ、全ての負荷
側制御器の制御電源状態は入力電圧範囲の離脱によりダ
ウンされる。なお、冷却装置の動作状態を知らせるフィ
ードバック信号は制御器のダウンと同時に動作不能にな
る。これにより、前記冷却装置は正常的な運行が不可能
になり、その結果、前記工程チャンバ内の温度を上昇さ
せて半導体製品の損傷を誘発する。
停電時にも正常的に動作するためには、特殊な設計条件
を満足しなければならない。例えば、磁気接触器（Ｍ／
Ｃ、いわゆる電力用開閉器）は１秒間ターンオン状態を
維持しなければならない。全ての負荷制御装置（例え
ば、ＰＬＣ、デジタル計器）も全て１秒間ターンオン状
態を維持しなければならない。一般的な半導体製造工程
で、反応チャンバと有機的に構成された周辺設備の動作
状態を制御するメイン制御装置で、冷却装置の動作状態
を確認するフィードバック信号は１秒間活性状態を維持
しなければならない。前記のように要求される設計条件
が充足されていない状態で、瞬時停電により、電力線を
通じて供給される交流電源の供給が一時的に遮断されれ
ば、主電源電力用開閉器５がトリップされ、全ての負荷
側制御器の制御電源状態は入力電圧範囲の離脱によりダ
ウンされる。なお、冷却装置の動作状態を知らせるフィ
ードバック信号は制御器のダウンと同時に動作不能にな
る。これにより、前記冷却装置は正常的な運行が不可能
になり、その結果、前記工程チャンバ内の温度を上昇さ
せて半導体製品の損傷を誘発する。
【０００６】図２は図１の電力供給システムの動作状態
を示す。各々電力線を通じて転送された交流電源の波
形、前記負荷制御装置全体の電力状態、ならびに冷却器
から主制御装置に転送されるフィードバック信号の波形
を示す。電力線を通じて交流電源が１００％供給される
時、手動式運転スイッチ（Ｒｕｎ ｓ／ｗ ｐｕｓｈ）
が作動されれば、全ての負荷設備は運転状態になる。以
後、送電側で発生する事故のような原因により、電力線
を通じて供給される交流電源の供給が遮断される電力ド
ロップが発生すれば、電力レベルが０％に落ちる。その
後、全ての制御器の動作が中断される。もしも、ｔ１で
の前記電力ドロップとｔ２での電力復元との間の時間が
１秒以下であれば、このような状況は瞬時停電に該当す
る。前記負荷装置の全ての動作は前記瞬時停電の時間、
動作中断される。以後、前記電力が復元されて運転スイ
ッチが付く時、前記全ての装置は動作を始める。反面、
ｔ３の時刻に他の電力ドロップが発生して１秒以上持続
する場合、このような状況は長期停電に該当する。前記
負荷装置はまた動作中断される。ｔ４の時刻にまた電力
が復元され、ｔ５の時刻に運転スイッチが付くと、前記
負荷装置は動作可能になる。ｔ６の時刻での運転停止ス
イッチは全体的な設備での動作を中断させる。
を示す。各々電力線を通じて転送された交流電源の波
形、前記負荷制御装置全体の電力状態、ならびに冷却器
から主制御装置に転送されるフィードバック信号の波形
を示す。電力線を通じて交流電源が１００％供給される
時、手動式運転スイッチ（Ｒｕｎ ｓ／ｗ ｐｕｓｈ）
が作動されれば、全ての負荷設備は運転状態になる。以
後、送電側で発生する事故のような原因により、電力線
を通じて供給される交流電源の供給が遮断される電力ド
ロップが発生すれば、電力レベルが０％に落ちる。その
後、全ての制御器の動作が中断される。もしも、ｔ１で
の前記電力ドロップとｔ２での電力復元との間の時間が
１秒以下であれば、このような状況は瞬時停電に該当す
る。前記負荷装置の全ての動作は前記瞬時停電の時間、
動作中断される。以後、前記電力が復元されて運転スイ
ッチが付く時、前記全ての装置は動作を始める。反面、
ｔ３の時刻に他の電力ドロップが発生して１秒以上持続
する場合、このような状況は長期停電に該当する。前記
負荷装置はまた動作中断される。ｔ４の時刻にまた電力
が復元され、ｔ５の時刻に運転スイッチが付くと、前記
負荷装置は動作可能になる。ｔ６の時刻での運転停止ス
イッチは全体的な設備での動作を中断させる。
【０００７】半導体製造設備において、従来の電力供給
システムは瞬時停電が発生すると、動作停止される。し
かし、このような瞬時停電による動作停止は、冷却器動
作不能による反応チャンバの温度上昇の問題を誘発し
て、半導体製品の損傷を生じ、工程効率を低下させるの
で、半導体製造工程に致命的である。
システムは瞬時停電が発生すると、動作停止される。し
かし、このような瞬時停電による動作停止は、冷却器動
作不能による反応チャンバの温度上昇の問題を誘発し
て、半導体製品の損傷を生じ、工程効率を低下させるの
で、半導体製造工程に致命的である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、瞬時
停電が発生しても、製造設備内の負荷の動作停止又は誤
動作を予防できる電力管理システムを提供することにあ
る。また、本発明の目的は、瞬時停電時にも、半導体製
造設備内の工程条件を安定化させることができる電力管
理システムを提供することにある。
停電が発生しても、製造設備内の負荷の動作停止又は誤
動作を予防できる電力管理システムを提供することにあ
る。また、本発明の目的は、瞬時停電時にも、半導体製
造設備内の工程条件を安定化させることができる電力管
理システムを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の本発明の一手段によると、電力管理システムは非常電
源遮断回路、第１電圧整流器及び第２電圧整流器を含
む。前記非常電源遮断回路は瞬時停電発生時、主電源開
閉器を統制して、所定の間、交流電源の供給を維持す
る。前記第１電圧整流器は整流器（又は変圧器）から供
給された電力の直流電圧で充電され、瞬時停電により、
電源供給線に交流電源が供給されない時、所定の時間、
前記直流電圧の電力を放電する。前記第２電圧整流器は
１次コイルを通じて前記第１電圧整流器から直流電圧の
電力が供給されて、２次コイルに所定の動作電圧を出力
する。前記第２電圧整流器は瞬時停電により交流電源の
供給が遮断される時、前記第１電圧整流器の充電電圧及
び前記１次コイルでの前記直流電圧を用いて、ホールド
アップ時間（ｈｏｌｄｕｐ ｔｉｍｅ、前記１次コイル
での充電電圧が前記２次コイルでの出力電圧（即ち、最
小動作電圧）に到達することにおいて所要される時間）
を決める。
の本発明の一手段によると、電力管理システムは非常電
源遮断回路、第１電圧整流器及び第２電圧整流器を含
む。前記非常電源遮断回路は瞬時停電発生時、主電源開
閉器を統制して、所定の間、交流電源の供給を維持す
る。前記第１電圧整流器は整流器（又は変圧器）から供
給された電力の直流電圧で充電され、瞬時停電により、
電源供給線に交流電源が供給されない時、所定の時間、
前記直流電圧の電力を放電する。前記第２電圧整流器は
１次コイルを通じて前記第１電圧整流器から直流電圧の
電力が供給されて、２次コイルに所定の動作電圧を出力
する。前記第２電圧整流器は瞬時停電により交流電源の
供給が遮断される時、前記第１電圧整流器の充電電圧及
び前記１次コイルでの前記直流電圧を用いて、ホールド
アップ時間（ｈｏｌｄｕｐ ｔｉｍｅ、前記１次コイル
での充電電圧が前記２次コイルでの出力電圧（即ち、最
小動作電圧）に到達することにおいて所要される時間）
を決める。
【００１０】前記非常電源遮断回路と前記第１及び第２
電圧整流器とを含む電力管理システムは、典型的な例と
して、半導体製造設備に設けられる。これにより、工程
慣性及びホールドアップ時間が前記非常電源遮断回路と
前記第１及び第２電圧整流器とを通じて増加するので、
電源供給条件が不安定な局地的地域で瞬時停電が発生し
ても、半導体製造設備での正常的な工程進行が可能であ
る。
電圧整流器とを含む電力管理システムは、典型的な例と
して、半導体製造設備に設けられる。これにより、工程
慣性及びホールドアップ時間が前記非常電源遮断回路と
前記第１及び第２電圧整流器とを通じて増加するので、
電源供給条件が不安定な局地的地域で瞬時停電が発生し
ても、半導体製造設備での正常的な工程進行が可能であ
る。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を添付した
図面を参照して、詳細に説明する。詳細な説明のために
以下の実施例では、所定の数字、物質及び構成が本発明
に対する全般的な理解を提供するために表現される。し
かし、本発明に特別に詳細な説明がなくても、具体化さ
れることができるのはこの技術分野に従事する当業者に
は自明である。又、本発明の実施例を明確にするため、
システムは模式図又はブロック図を通じて示した。図面
で、同一な参照番号は同一であるとか、類似の装置を示
す。本発明の実施例の下記の説明全般にかけて、「負荷
装置」は半導体製造設備に使用される多様な装置又は装
備、例えば、モーター、ヒーター、圧縮器、冷却器等を
意味する。又、「制御装置」は前記負荷装置を動作させ
る装置を意味する。
図面を参照して、詳細に説明する。詳細な説明のために
以下の実施例では、所定の数字、物質及び構成が本発明
に対する全般的な理解を提供するために表現される。し
かし、本発明に特別に詳細な説明がなくても、具体化さ
れることができるのはこの技術分野に従事する当業者に
は自明である。又、本発明の実施例を明確にするため、
システムは模式図又はブロック図を通じて示した。図面
で、同一な参照番号は同一であるとか、類似の装置を示
す。本発明の実施例の下記の説明全般にかけて、「負荷
装置」は半導体製造設備に使用される多様な装置又は装
備、例えば、モーター、ヒーター、圧縮器、冷却器等を
意味する。又、「制御装置」は前記負荷装置を動作させ
る装置を意味する。
【００１２】ここで公開される電力管理システムは瞬時
停電が発生しても、半導体製造設備で負荷装置が正常的
に動作することを保障するよう、第１及び第２電圧整流
器を使用して電源開閉器がトリップされるとか、設備の
電源が遮断されることを防止する。前記第１及び第２電
圧整流器はこれらの停電容量によりホールドアップ時間
を増加させることによって、瞬時停電間（例えば、１秒
間）前記設備に含まれた負荷装置の動作電圧を最小動作
電圧以上に維持する。又、前記電力管理システムは半導
体製造設備に属する反応チャンバの温度を調節する冷却
器にも適用できる。これにより、瞬時停電により交流電
源が遮断されても、前記冷却器は誤動作しない。
停電が発生しても、半導体製造設備で負荷装置が正常的
に動作することを保障するよう、第１及び第２電圧整流
器を使用して電源開閉器がトリップされるとか、設備の
電源が遮断されることを防止する。前記第１及び第２電
圧整流器はこれらの停電容量によりホールドアップ時間
を増加させることによって、瞬時停電間（例えば、１秒
間）前記設備に含まれた負荷装置の動作電圧を最小動作
電圧以上に維持する。又、前記電力管理システムは半導
体製造設備に属する反応チャンバの温度を調節する冷却
器にも適用できる。これにより、瞬時停電により交流電
源が遮断されても、前記冷却器は誤動作しない。
【００１３】図３は本発明の実施例による電力管理シス
テムを概略的に示す模式図である。図３を参照すると、
前記電力管理システムは３相の２０８Ｖ交流電源を供給
する電力分配器３１、前記分配器３１と電力供給端子３
４を連結する磁気回路遮断器３３、前記磁気回路遮断器
３３を通じて供給された２０８Ｖ交流電源を２４Ｖ交流
電源に減らす強圧変圧器３５、前記強圧変圧器３５に連
結された非常電源遮断回路３７、前記電力供給端子３４
を通じて前記磁気回路遮断器３３に連結され前記非常電
源遮断回路３７の出力に反応する電力開閉器Ｋ１、３
９、電力制御端子４０を通じて前記電力開閉器３９に連
結された磁気回路遮断器４１、前記回路遮断器４１を通
じて前記電力開閉器３９に連結された第１電圧整流器４
３、半導体製造設備で負荷装置を動作させるＰＬＣ（ｐ
ｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ ｌｏｇｉｃ ｃｏｎｔｒｏｌ
ｌｅｒ）のような制御装置４７、ならびに前記負荷装置
に使用される動作電圧を発生させる第２電圧整流器４９
を含む。前記制御装置４７は他の制御装置であるタッチ
スクリーン４５に連結される。前記回路遮断器３３、４
１は過度電流から前記回路装置を保護し、前記電力開閉
器３９は電気的非常状況が発生する時、内部回路を保護
する。
テムを概略的に示す模式図である。図３を参照すると、
前記電力管理システムは３相の２０８Ｖ交流電源を供給
する電力分配器３１、前記分配器３１と電力供給端子３
４を連結する磁気回路遮断器３３、前記磁気回路遮断器
３３を通じて供給された２０８Ｖ交流電源を２４Ｖ交流
電源に減らす強圧変圧器３５、前記強圧変圧器３５に連
結された非常電源遮断回路３７、前記電力供給端子３４
を通じて前記磁気回路遮断器３３に連結され前記非常電
源遮断回路３７の出力に反応する電力開閉器Ｋ１、３
９、電力制御端子４０を通じて前記電力開閉器３９に連
結された磁気回路遮断器４１、前記回路遮断器４１を通
じて前記電力開閉器３９に連結された第１電圧整流器４
３、半導体製造設備で負荷装置を動作させるＰＬＣ（ｐ
ｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ ｌｏｇｉｃ ｃｏｎｔｒｏｌ
ｌｅｒ）のような制御装置４７、ならびに前記負荷装置
に使用される動作電圧を発生させる第２電圧整流器４９
を含む。前記制御装置４７は他の制御装置であるタッチ
スクリーン４５に連結される。前記回路遮断器３３、４
１は過度電流から前記回路装置を保護し、前記電力開閉
器３９は電気的非常状況が発生する時、内部回路を保護
する。
【００１４】前記電力制御端子４０はモーター、ヒータ
ー６５及び圧縮器を含む負荷ブロック５０に連結され
る。前記モーター６３はインバーター５７及び回路遮断
器５１を通じて電力制御端子４０に連結される。前記イ
ンバーター５７は前記モーター６３の回転スピードを調
節する。前記ヒーター６５は固相開閉器５９（ｓｏｌｉ
ｄ ｓｔａｔｅ ｒｅｌａｙ、ＳＳＲ）及び回路遮断器
５３を通じて前記電力制御端子４０に連結される。前記
固相開閉器５９（ＳＳＲ）は前記ヒーター６５のオン／
オフ動作を制御する。前記圧縮器６７は電磁石接触器６
１及び回路遮断器５５を通じて前記電力制御端子４０に
連結される。前記回路遮断器５１、５３、５５は過度電
流から前記負荷装置、即ち前記モーター６３、前記ヒー
ター６５及び前記圧縮器６７を保護する。
ー６５及び圧縮器を含む負荷ブロック５０に連結され
る。前記モーター６３はインバーター５７及び回路遮断
器５１を通じて電力制御端子４０に連結される。前記イ
ンバーター５７は前記モーター６３の回転スピードを調
節する。前記ヒーター６５は固相開閉器５９（ｓｏｌｉ
ｄ ｓｔａｔｅ ｒｅｌａｙ、ＳＳＲ）及び回路遮断器
５３を通じて前記電力制御端子４０に連結される。前記
固相開閉器５９（ＳＳＲ）は前記ヒーター６５のオン／
オフ動作を制御する。前記圧縮器６７は電磁石接触器６
１及び回路遮断器５５を通じて前記電力制御端子４０に
連結される。前記回路遮断器５１、５３、５５は過度電
流から前記負荷装置、即ち前記モーター６３、前記ヒー
ター６５及び前記圧縮器６７を保護する。
【００１５】前記非常電源遮断回路３７は前記変圧器３
５を通じて供給される交流電源を使用して前記電源開閉
器３９を調節する。前記第１電圧整流器４３は単相（ｓ
ｉｎｇｌｅ ｐｈａｓｅ）の２０８Ｖ交流電圧の電力が
供給され、瞬時停電が発生する時、２８０Ｖの直流電圧
の電力を前記第２電圧整流器４９に放電する。前記第２
電圧整流器４９は前記第１電圧整流器４３から２８０Ｖ
の直流電圧の電力が供給され、瞬時停電時に直流電圧の
電力を放電する。前記第２電圧整流器４９から供給され
る電力の前記直流電圧は前記負荷装置（前記モーター６
３、前記ヒーター６５、前記圧縮器６７）を統制するた
めの最小動作電圧であり、５から２４Ｖの範囲である。
前記第２電圧整流器４９として、前記制御装置４７内部
又はその外部表面に配置されるスイッチングモードパワ
ーサプライ（ｓｗｉｔｃｈｉｎｇｍｏｄｅ ｓｕｐｐｌ
ｙ、ＳＭＰＳ）を使用することが望ましい。
５を通じて供給される交流電源を使用して前記電源開閉
器３９を調節する。前記第１電圧整流器４３は単相（ｓ
ｉｎｇｌｅ ｐｈａｓｅ）の２０８Ｖ交流電圧の電力が
供給され、瞬時停電が発生する時、２８０Ｖの直流電圧
の電力を前記第２電圧整流器４９に放電する。前記第２
電圧整流器４９は前記第１電圧整流器４３から２８０Ｖ
の直流電圧の電力が供給され、瞬時停電時に直流電圧の
電力を放電する。前記第２電圧整流器４９から供給され
る電力の前記直流電圧は前記負荷装置（前記モーター６
３、前記ヒーター６５、前記圧縮器６７）を統制するた
めの最小動作電圧であり、５から２４Ｖの範囲である。
前記第２電圧整流器４９として、前記制御装置４７内部
又はその外部表面に配置されるスイッチングモードパワ
ーサプライ（ｓｗｉｔｃｈｉｎｇｍｏｄｅ ｓｕｐｐｌ
ｙ、ＳＭＰＳ）を使用することが望ましい。
【００１６】前記電力開閉器３９は前記非常電源遮断回
路３７に内在するトリップ防止回路により瞬時停電が発
生する時、１秒間ターンオン状態を維持する。瞬時停電
間、前記負荷装置のための最小動作電圧は前記第１電圧
整流器４３及び前記第２電圧整流器４７のコンデンサー
に充電された電力の直流電圧により維持される。
路３７に内在するトリップ防止回路により瞬時停電が発
生する時、１秒間ターンオン状態を維持する。瞬時停電
間、前記負荷装置のための最小動作電圧は前記第１電圧
整流器４３及び前記第２電圧整流器４７のコンデンサー
に充電された電力の直流電圧により維持される。
【００１７】図４は、前記強圧変圧器３５及び前記非常
電源遮断回路３７の詳細な回路構成を示す。磁気回路遮
断器３３は電光等のような電気的衝撃により負荷装置が
破壊されることを防止するため、受容れの家側の電力線
３２に設けられる。前記電力開閉器３９、Ｋ１も前記電
力線３２に設けられて前記システムの全般的な電力供給
を調節する。前記非常電源遮断回路３７は、２０８Ｖの
交流を２４Ｖの交流電源に変換する前記強圧変圧器３５
から供給される、２４Ｖ交流電源に連結される。前記非
常電源遮断回路３７は前記２４Ｖの交流電源により動作
可能なトリップ防止回路８３、前記トリップ防止回路８
３を制御するスイッチ７９、８１、ならびに前記電力開
閉器３９を制御する磁気接触器８２を含む。
電源遮断回路３７の詳細な回路構成を示す。磁気回路遮
断器３３は電光等のような電気的衝撃により負荷装置が
破壊されることを防止するため、受容れの家側の電力線
３２に設けられる。前記電力開閉器３９、Ｋ１も前記電
力線３２に設けられて前記システムの全般的な電力供給
を調節する。前記非常電源遮断回路３７は、２０８Ｖの
交流を２４Ｖの交流電源に変換する前記強圧変圧器３５
から供給される、２４Ｖ交流電源に連結される。前記非
常電源遮断回路３７は前記２４Ｖの交流電源により動作
可能なトリップ防止回路８３、前記トリップ防止回路８
３を制御するスイッチ７９、８１、ならびに前記電力開
閉器３９を制御する磁気接触器８２を含む。
【００１８】前記電力開閉器３９は電源電圧が所定の電
圧水準以下になる場合、トリップされるように設計され
る。例えば、前記トリップ防止回路８３の電圧が２４Ｖ
以下になると、前記電力開閉器３９はターンオンされ
る。しかし、本実施例は電力送出所での事故等により瞬
時停電が発生しても前記トリップ防止回路８３を使用し
て前記電力開閉器３９を１秒間ターンオン状態に維持す
る。このように１秒間前記電力開閉器３９がターンオン
状態を維持するのは瞬時停電による望ましくない負荷装
置の動作不能を防止し、前記第１及び第２電圧整流器４
３、４９での電圧調節機能を安定化させるためである。
圧水準以下になる場合、トリップされるように設計され
る。例えば、前記トリップ防止回路８３の電圧が２４Ｖ
以下になると、前記電力開閉器３９はターンオンされ
る。しかし、本実施例は電力送出所での事故等により瞬
時停電が発生しても前記トリップ防止回路８３を使用し
て前記電力開閉器３９を１秒間ターンオン状態に維持す
る。このように１秒間前記電力開閉器３９がターンオン
状態を維持するのは瞬時停電による望ましくない負荷装
置の動作不能を防止し、前記第１及び第２電圧整流器４
３、４９での電圧調節機能を安定化させるためである。
【００１９】図５は前記第１電圧整流器４３及び前記第
２電圧整流器４９の間の機能的関係を示す。図５を参照
すると、前記第１電圧整流器４３は前記２０８Ｖの交流
電圧から２８０Ｖの直流電圧を発生させ、瞬時停電が発
生する時、前記２８０Ｖの直流電圧の電力を放電して電
力供給状態を維持させる。前記第２電圧整流器４９は前
記第１電圧整流器４３から供給された電力の前記２８０
Ｖの直流電圧から５Ｖ／２４Ｖの直流電圧を発生させ、
瞬時停電が発生する時、その内部のコンデンサーに貯蔵
された直流電圧の電力を放電することによって、５Ｖ／
２４Ｖの直流電圧で調節するホールドアップ時間を増加
させる。
２電圧整流器４９の間の機能的関係を示す。図５を参照
すると、前記第１電圧整流器４３は前記２０８Ｖの交流
電圧から２８０Ｖの直流電圧を発生させ、瞬時停電が発
生する時、前記２８０Ｖの直流電圧の電力を放電して電
力供給状態を維持させる。前記第２電圧整流器４９は前
記第１電圧整流器４３から供給された電力の前記２８０
Ｖの直流電圧から５Ｖ／２４Ｖの直流電圧を発生させ、
瞬時停電が発生する時、その内部のコンデンサーに貯蔵
された直流電圧の電力を放電することによって、５Ｖ／
２４Ｖの直流電圧で調節するホールドアップ時間を増加
させる。
【００２０】図６は、瞬時停電が発生する時、前記電力
開閉器３９がトリップ−オフ（ターンオフ）される通常
的な場合を示す。反面、図７は瞬時停電が発生しても、
前記負荷装置が正常的な動作を中断せず、電気的に連結
された状態を維持し、製造設備が運転停止状態になるこ
とを防止するように、前記電力開閉器３９が１秒間ター
ンオン状態を維持することを特徴とする本発明の実施例
の場合を示す。前記電力供給のための維持動作はまた工
程慣性を増加させる。
開閉器３９がトリップ−オフ（ターンオフ）される通常
的な場合を示す。反面、図７は瞬時停電が発生しても、
前記負荷装置が正常的な動作を中断せず、電気的に連結
された状態を維持し、製造設備が運転停止状態になるこ
とを防止するように、前記電力開閉器３９が１秒間ター
ンオン状態を維持することを特徴とする本発明の実施例
の場合を示す。前記電力供給のための維持動作はまた工
程慣性を増加させる。
【００２１】図８は、前記２０８Ｖ交流電源を２８０Ｖ
直流電源に変換させる第１電圧整流器の詳細な回路構成
を示す。図８を参照すると、電圧整流器としての前記第
１電圧整流器４３はブリッジダイオードで構成された整
流器本体８９、抵抗９１、コンデンサー９３、ダイオー
ドＤＩ及びディスプレーユニット９５を含む。前記整流
器本体８９は出力端子（ＤＣＯ＋ＤＣＯ−）の間に連結
されて、前記２０８Ｖ交流を２８０Ｖ直流に変化させ
る。前記コンデンサー９３は前記２８０Ｖ直流に充電さ
れ、瞬時停電による前記交流電源が遮断される時、所定
時間（例えば、１秒）、前記２８０Ｖの直流を放電す
る。前記ダイオードＤ１は前記抵抗９１に平行に連結さ
れ、前記コンデンサー９３の充電電圧を前記直流出力端
子ＤＣＯ＋に伝達する。抵抗Ｒ１〜Ｅ３、ＮＰＮバイポ
ーラトランジスタＱ１、ツェナーダイオードＺＤＩ及び
発光ダイオードＬＤ１〜ＬＤ５を含む前記ディスプレー
ユニット９５は前記コンデンサー９３の電流放電状態を
示す。
直流電源に変換させる第１電圧整流器の詳細な回路構成
を示す。図８を参照すると、電圧整流器としての前記第
１電圧整流器４３はブリッジダイオードで構成された整
流器本体８９、抵抗９１、コンデンサー９３、ダイオー
ドＤＩ及びディスプレーユニット９５を含む。前記整流
器本体８９は出力端子（ＤＣＯ＋ＤＣＯ−）の間に連結
されて、前記２０８Ｖ交流を２８０Ｖ直流に変化させ
る。前記コンデンサー９３は前記２８０Ｖ直流に充電さ
れ、瞬時停電による前記交流電源が遮断される時、所定
時間（例えば、１秒）、前記２８０Ｖの直流を放電す
る。前記ダイオードＤ１は前記抵抗９１に平行に連結さ
れ、前記コンデンサー９３の充電電圧を前記直流出力端
子ＤＣＯ＋に伝達する。抵抗Ｒ１〜Ｅ３、ＮＰＮバイポ
ーラトランジスタＱ１、ツェナーダイオードＺＤＩ及び
発光ダイオードＬＤ１〜ＬＤ５を含む前記ディスプレー
ユニット９５は前記コンデンサー９３の電流放電状態を
示す。
【００２２】図９は、前記第２電圧整流器４９で使用さ
れる、ＳＭＰＳに対する詳細な回路構成を示す。前記Ｓ
ＭＰＳは前述したように、交流電圧の電力が供給されて
スイッチングループを通じて直流電源電圧を発生させる
基本的な機能をする。しかし、図９に示された回路は、
一般的に前記２８０Ｖ直流で充電及び放電するコンデン
サー１０３に連結された二端子（即ち、前記第１電圧整
流器の直流出力端子ＤＣＯ＋／ＤＣＯ−）を通じて前記
第１電圧整流器４３から前記２８０Ｖの直流を受ける。
図９を参照すると、前記第２電圧整流器４９はブリッジ
ダイオードで構成された整流器本体１０１、コンデンサ
ー１０３、１０７、強圧変圧器１０５、スイッチ装置１
０９及びパルス幅制御器１１１を含む。前記整流器本体
１０１は前記第１電圧整流器４３から供給された２８０
Ｖ直流が通過する。前記整流器本体１０１に平行に連結
された前記コンデンサー１０３は、前記第１電圧整流器
４３から供給された前記２８０Ｖの直流が充電され、瞬
時停電が発生する時、前記２８０Ｖ直流を放電する。前
記強圧変圧器１０５は前記２８０Ｖ直流を前記負荷装置
の最小動作電圧である５Ｖ／２４Ｖに変換する。前記強
圧変圧器１０５の２次コイルに連結された前記コンデン
サー１０７は５Ｖ／２４Ｖの前記直流電圧の電力を充電
し、瞬時停電が発生する時、前記５Ｖ／２４Ｖの直流電
圧の電力を放電する。ＭＯＳトランジスタ（ＭＯＳ ｔ
ｒａｎｓｉｓｔｏｒ）で作られた前記スイッチ装置１０
９は前記コンデンサー１０３及び前記変圧器１０５との
間に連結され、前記変圧器１０５の２次コイルでの出力
電圧を調節する。前記パルス幅制御器１１１は前記変圧
器１０５の２次コイルでの出力電圧に反応して、前記ス
イッチ装置１０９の導電状態を調節する。前記第２電圧
整流器４９は前記第１電圧整流器４３により許された放
電時間に影響を受け、前記第１放電電圧（直流２８０
Ｖ）から前記最小動作電圧（直流５Ｖ／２４Ｖ）が形成
されるまでのホールドアップ時間を増加させる。先ず、
前記整流器本体８９から供給された前記直流電圧の最大
値、ＶDCは下の式（Ａ）のように表現される。
れる、ＳＭＰＳに対する詳細な回路構成を示す。前記Ｓ
ＭＰＳは前述したように、交流電圧の電力が供給されて
スイッチングループを通じて直流電源電圧を発生させる
基本的な機能をする。しかし、図９に示された回路は、
一般的に前記２８０Ｖ直流で充電及び放電するコンデン
サー１０３に連結された二端子（即ち、前記第１電圧整
流器の直流出力端子ＤＣＯ＋／ＤＣＯ−）を通じて前記
第１電圧整流器４３から前記２８０Ｖの直流を受ける。
図９を参照すると、前記第２電圧整流器４９はブリッジ
ダイオードで構成された整流器本体１０１、コンデンサ
ー１０３、１０７、強圧変圧器１０５、スイッチ装置１
０９及びパルス幅制御器１１１を含む。前記整流器本体
１０１は前記第１電圧整流器４３から供給された２８０
Ｖ直流が通過する。前記整流器本体１０１に平行に連結
された前記コンデンサー１０３は、前記第１電圧整流器
４３から供給された前記２８０Ｖの直流が充電され、瞬
時停電が発生する時、前記２８０Ｖ直流を放電する。前
記強圧変圧器１０５は前記２８０Ｖ直流を前記負荷装置
の最小動作電圧である５Ｖ／２４Ｖに変換する。前記強
圧変圧器１０５の２次コイルに連結された前記コンデン
サー１０７は５Ｖ／２４Ｖの前記直流電圧の電力を充電
し、瞬時停電が発生する時、前記５Ｖ／２４Ｖの直流電
圧の電力を放電する。ＭＯＳトランジスタ（ＭＯＳ ｔ
ｒａｎｓｉｓｔｏｒ）で作られた前記スイッチ装置１０
９は前記コンデンサー１０３及び前記変圧器１０５との
間に連結され、前記変圧器１０５の２次コイルでの出力
電圧を調節する。前記パルス幅制御器１１１は前記変圧
器１０５の２次コイルでの出力電圧に反応して、前記ス
イッチ装置１０９の導電状態を調節する。前記第２電圧
整流器４９は前記第１電圧整流器４３により許された放
電時間に影響を受け、前記第１放電電圧（直流２８０
Ｖ）から前記最小動作電圧（直流５Ｖ／２４Ｖ）が形成
されるまでのホールドアップ時間を増加させる。先ず、
前記整流器本体８９から供給された前記直流電圧の最大
値、ＶDCは下の式（Ａ）のように表現される。
【００２３】
【式１】
【００２４】前記式（Ａ）により、前記整流器は２００
Ｖの交流電圧から大略２７６Ｖの直流電圧、又は１００
Ｖの交流電圧から大略１３８Ｖの直流電圧を生成するこ
とが可能である。反面、前記コンデンサー９３の充電容
量、ＱCは下の式（Ｂ）のように表現される。
Ｖの交流電圧から大略２７６Ｖの直流電圧、又は１００
Ｖの交流電圧から大略１３８Ｖの直流電圧を生成するこ
とが可能である。反面、前記コンデンサー９３の充電容
量、ＱCは下の式（Ｂ）のように表現される。
【００２５】 ＱC＝ＣＶ2／２［Ｗｓｅｃ］ （Ｂ） 前記コンデンサーの総バックアップ時間は最大容量を引
くことによって得られるが、この値は前記負荷装置の全
体的な消耗電力により決められる。１０００μＦの充電
容量を有する制御装置を例として、前記制御装置のバッ
クアップ時間を見ると、下の表１に示されたように、電
力供給仕様によって多様である。
くことによって得られるが、この値は前記負荷装置の全
体的な消耗電力により決められる。１０００μＦの充電
容量を有する制御装置を例として、前記制御装置のバッ
クアップ時間を見ると、下の表１に示されたように、電
力供給仕様によって多様である。
【００２６】
【表１】
【００２７】前記第１電圧整流器４３は正常的な電力供
給時、２０８Ｖの単相の交流電源が供給される。前記整
流器本体８９は前記２０８Ｖの交流電源を２８０Ｖの直
流電源に変換する。この時、前記コンデンサー９３は前
記２８０Ｖの直流電源に充電される。前記第１抵抗９１
は前記キャパシターに影響を与えるほど多い量の過度電
流が急激に流入することを緩和させる。前記第１電圧整
流器４３は正常的な電源供給期間の間には、２８０Ｖの
直流電圧を発生させ、瞬時停電が発生する場合、前記コ
ンデンサー９３内に充電された前記直流電圧の電力を放
電する。前記コンデンサー９３からの電流は前記ダイオ
ードＤ１を通じて前記出力端子ＤＣＯ＋に供給される。
前記コンデンサーの放電状態を示す前記ディスプレー装
置９５で、前記２８０Ｖの直流電圧は前記抵抗Ｒ１、Ｒ
２を通じて前記バイポーラトランジスタＱ１のベースに
連結される。前記ツェナーダイオードＺＤ１は１０Ｖの
直流電圧の電力が通過することを許す。前記直列連結さ
れた発光装置ＬＥＤｓ、ＬＤ１〜ＬＤ５は前記コンデン
サーでの残留電圧が１０Ｖ以下であれば、ターンオフさ
れる。
給時、２０８Ｖの単相の交流電源が供給される。前記整
流器本体８９は前記２０８Ｖの交流電源を２８０Ｖの直
流電源に変換する。この時、前記コンデンサー９３は前
記２８０Ｖの直流電源に充電される。前記第１抵抗９１
は前記キャパシターに影響を与えるほど多い量の過度電
流が急激に流入することを緩和させる。前記第１電圧整
流器４３は正常的な電源供給期間の間には、２８０Ｖの
直流電圧を発生させ、瞬時停電が発生する場合、前記コ
ンデンサー９３内に充電された前記直流電圧の電力を放
電する。前記コンデンサー９３からの電流は前記ダイオ
ードＤ１を通じて前記出力端子ＤＣＯ＋に供給される。
前記コンデンサーの放電状態を示す前記ディスプレー装
置９５で、前記２８０Ｖの直流電圧は前記抵抗Ｒ１、Ｒ
２を通じて前記バイポーラトランジスタＱ１のベースに
連結される。前記ツェナーダイオードＺＤ１は１０Ｖの
直流電圧の電力が通過することを許す。前記直列連結さ
れた発光装置ＬＥＤｓ、ＬＤ１〜ＬＤ５は前記コンデン
サーでの残留電圧が１０Ｖ以下であれば、ターンオフさ
れる。
【００２８】前記第２電圧整流器４９で、前記整流器本
体１０１は２８０Ｖの直流電圧の電力を通過させる。前
記コンデンサー１０３は前記２８０Ｖの直流電圧で充電
される。前記強圧変圧器１０５は1次コイルに連結され
た前記２８０Ｖの直流電圧の電源を２次コイルに連結さ
れた前記負荷装置の最小動作電圧である５Ｖ／２４Ｖの
直流電圧の電源に変換する。前記コンデンサー１０７は
前記強圧変圧器１０５の２次コイルでの前記電圧で充電
され、瞬時停電による交流電源が遮断される時、充電さ
れたその内部の電圧の電力を放電する。前記パルス幅制
御器１１は前記強圧変圧器１０５の２次コイルでの電圧
を感知して前記スイッチ装置１０９の動作を制御するこ
とによって、前記変圧器１０５の２次コイルでの電圧を
安定された電圧レベルに調節する。瞬時停電が発生する
時、前記コンデンサー１０３は前記変圧器１０５の１次
コイルに、その内部に充電された電力を放電する。前記
第２電圧整流器４９がスイッチングモードパワーサプラ
イ（ＳＭＰＳ）を使用する場合、前記変圧器１０５の入
力端子である前記１次コイルでの２８０Ｖ直流電圧が前
記変圧器１０５の出力端子である前記２次コイルで２４
Ｖ直流電圧に変化するように、前記第２電圧整流器４９
の電圧入力／出力パターンを設計する。
体１０１は２８０Ｖの直流電圧の電力を通過させる。前
記コンデンサー１０３は前記２８０Ｖの直流電圧で充電
される。前記強圧変圧器１０５は1次コイルに連結され
た前記２８０Ｖの直流電圧の電源を２次コイルに連結さ
れた前記負荷装置の最小動作電圧である５Ｖ／２４Ｖの
直流電圧の電源に変換する。前記コンデンサー１０７は
前記強圧変圧器１０５の２次コイルでの前記電圧で充電
され、瞬時停電による交流電源が遮断される時、充電さ
れたその内部の電圧の電力を放電する。前記パルス幅制
御器１１は前記強圧変圧器１０５の２次コイルでの電圧
を感知して前記スイッチ装置１０９の動作を制御するこ
とによって、前記変圧器１０５の２次コイルでの電圧を
安定された電圧レベルに調節する。瞬時停電が発生する
時、前記コンデンサー１０３は前記変圧器１０５の１次
コイルに、その内部に充電された電力を放電する。前記
第２電圧整流器４９がスイッチングモードパワーサプラ
イ（ＳＭＰＳ）を使用する場合、前記変圧器１０５の入
力端子である前記１次コイルでの２８０Ｖ直流電圧が前
記変圧器１０５の出力端子である前記２次コイルで２４
Ｖ直流電圧に変化するように、前記第２電圧整流器４９
の電圧入力／出力パターンを設計する。
【００２９】従来技術によると、瞬時停電時、前記コン
デンサー１０３の放電により前記変圧器１０５の前記２
次コイルに前記最小動作電圧２４Ｖが発生するまでかか
るホールドアップ時間は１０〜２０ｍｓである。反面、
本実施例によると、前記第１電圧整流器４３又は前記コ
ンデンサー１０３の容量を調節することによって、前記
ホールドアップ時間は少なくとも１秒以上を具現する。
デンサー１０３の放電により前記変圧器１０５の前記２
次コイルに前記最小動作電圧２４Ｖが発生するまでかか
るホールドアップ時間は１０〜２０ｍｓである。反面、
本実施例によると、前記第１電圧整流器４３又は前記コ
ンデンサー１０３の容量を調節することによって、前記
ホールドアップ時間は少なくとも１秒以上を具現する。
【００３０】ここから、前述した電力管理システムの動
作を図１０を参照して説明する。各々前記電力管理シス
テム外部の送電所から供給される交流電源の波形、図３
の電力開閉器（磁気接触器、Ｍ／Ｃ）のオン／オフ状
態、前記制御装置及び負荷装置の動作状態、ならびに半
導体製造工程間、冷却器の動作のためのフィードバック
信号の波形を示す。
作を図１０を参照して説明する。各々前記電力管理シス
テム外部の送電所から供給される交流電源の波形、図３
の電力開閉器（磁気接触器、Ｍ／Ｃ）のオン／オフ状
態、前記制御装置及び負荷装置の動作状態、ならびに半
導体製造工程間、冷却器の動作のためのフィードバック
信号の波形を示す。
【００３１】図１０を参照すると、先ず、運転スイッチ
がｔ１１の時刻にターンオンされれば、制御器及び負荷
装置を含む前記装置が活性化される。ｔ１２の時刻に瞬
時停電によるパワードロップ（ｐｏｗｅｒ ｄｒｏｐ）
が発生しても、前記電力開閉器３９は前記非常電源遮断
回路３７に使用された前記トリップ防止回路により時刻
ｔ１２から時刻ｔ１３（例えば１秒）まで、ターンオン
状態を維持する。瞬時停電の間（１秒以内である）にも
前記電力開閉器３９はターンオン状態を維持することに
よって、前記瞬時停電による電源遮断がなく、前記全て
の制御装置はそれらの正常的な動作を遂行する。以後、
時刻ｔ１４に他の停電が発生して１秒以上持続する時、
前記電力開閉器及び前記制御装置は１秒の間活性状態を
維持した後、時刻ｔ１５にターンオフされる。前記電力
供給が停電発生後１秒後に遮断される理由は、前記電力
供給が復元される時流入する過度な電流により電力管理
システムに損傷が発生することを防止するためである。
下の表２及び表３は各々、３０００μＦの容量及び２８
０Ｖの直流電圧を有するＰＬＣ、タッチスクリーン又は
デジタル制御器等のような多様な制御装置に対するホー
ルドアップ時間及び最小動作電圧に対する、実験条件及
び結果を示す。
がｔ１１の時刻にターンオンされれば、制御器及び負荷
装置を含む前記装置が活性化される。ｔ１２の時刻に瞬
時停電によるパワードロップ（ｐｏｗｅｒ ｄｒｏｐ）
が発生しても、前記電力開閉器３９は前記非常電源遮断
回路３７に使用された前記トリップ防止回路により時刻
ｔ１２から時刻ｔ１３（例えば１秒）まで、ターンオン
状態を維持する。瞬時停電の間（１秒以内である）にも
前記電力開閉器３９はターンオン状態を維持することに
よって、前記瞬時停電による電源遮断がなく、前記全て
の制御装置はそれらの正常的な動作を遂行する。以後、
時刻ｔ１４に他の停電が発生して１秒以上持続する時、
前記電力開閉器及び前記制御装置は１秒の間活性状態を
維持した後、時刻ｔ１５にターンオフされる。前記電力
供給が停電発生後１秒後に遮断される理由は、前記電力
供給が復元される時流入する過度な電流により電力管理
システムに損傷が発生することを防止するためである。
下の表２及び表３は各々、３０００μＦの容量及び２８
０Ｖの直流電圧を有するＰＬＣ、タッチスクリーン又は
デジタル制御器等のような多様な制御装置に対するホー
ルドアップ時間及び最小動作電圧に対する、実験条件及
び結果を示す。
【００３２】
【表２】
【００３３】
【表３】
【００３４】表２及び表３に示されたように、実験結果
によると、前記非常電源遮断回路は前記負荷装置の工程
慣性（ポンプ又は圧縮器の回転慣性、ヒーターの潜熱
等）が製造設備の正常的な動作を維持させるように、前
記電力用開閉器（主電源供給用電磁石接触器）を１秒の
間ターンオン状態に維持する。これにより、瞬時停電が
発生しても、ＰＬＣ、タッチスクリーン又はデジタル制
御器等のような前記制御装置は前記第１電圧整流器から
供給される前記２８０Ｖ直流電源のバックアップにより
１秒の間各々の有効な動作を遂行する。前記実験過程に
おいて、電圧降下の実際範囲は１０〜３０％であって、
電圧降下時間は１００〜３００ｍｓであった。正常的に
供給される電圧の７０〜９０％である場合、製造設備は
正常的に動作可能であった。
によると、前記非常電源遮断回路は前記負荷装置の工程
慣性（ポンプ又は圧縮器の回転慣性、ヒーターの潜熱
等）が製造設備の正常的な動作を維持させるように、前
記電力用開閉器（主電源供給用電磁石接触器）を１秒の
間ターンオン状態に維持する。これにより、瞬時停電が
発生しても、ＰＬＣ、タッチスクリーン又はデジタル制
御器等のような前記制御装置は前記第１電圧整流器から
供給される前記２８０Ｖ直流電源のバックアップにより
１秒の間各々の有効な動作を遂行する。前記実験過程に
おいて、電圧降下の実際範囲は１０〜３０％であって、
電圧降下時間は１００〜３００ｍｓであった。正常的に
供給される電圧の７０〜９０％である場合、製造設備は
正常的に動作可能であった。
【００３５】図１１は本発明の実施例による前記電力管
理システムが適用可能であり、関連する、半導体製造装
置の機能的構成を示す。前記半導体製造設備は反応チャ
ンバ１１９、前記反応チャンバ１１９の真空状態を調節
するポンプ１１７、前記反応チャンバ１１９にＲＦパワ
ーを供給するＲＦ発生器１１５、冷却器１１３、電力線
を通じて前記冷却器１１３に交流電源を供給する電力分
配器１２３、ならびに前記設備の全般的な動作を統制す
る主統制システム１２１を含む。前記冷却器１１３は前
記反応チャンバ１１９に水を循環させることによって前
記反応チャンバ１１９内部の温度を調節する。本実施例
によると、図３に示された前記電力管理システムは前記
冷却器１１３内部に設けることができ、これにより、瞬
時停電による前記電力分配器１２３からの交流電源供給
が遮断されても、前記冷却器１１３が前記反応チャンバ
１１９の温度調節機能を維持できるようにする。
理システムが適用可能であり、関連する、半導体製造装
置の機能的構成を示す。前記半導体製造設備は反応チャ
ンバ１１９、前記反応チャンバ１１９の真空状態を調節
するポンプ１１７、前記反応チャンバ１１９にＲＦパワ
ーを供給するＲＦ発生器１１５、冷却器１１３、電力線
を通じて前記冷却器１１３に交流電源を供給する電力分
配器１２３、ならびに前記設備の全般的な動作を統制す
る主統制システム１２１を含む。前記冷却器１１３は前
記反応チャンバ１１９に水を循環させることによって前
記反応チャンバ１１９内部の温度を調節する。本実施例
によると、図３に示された前記電力管理システムは前記
冷却器１１３内部に設けることができ、これにより、瞬
時停電による前記電力分配器１２３からの交流電源供給
が遮断されても、前記冷却器１１３が前記反応チャンバ
１１９の温度調節機能を維持できるようにする。
【００３６】前記冷却器１１３に加えて、本実施例によ
る前記電力管理システムは乾式ポンプ（例えば、前記ポ
ンプ１１７）、前記反応チャンバから排出ガスを処理す
るスクラバ（ｓｃｒｕｂｂｅｒ）、ウェーハ洗浄工程
で、高温の脱イオン水を提供する高温脱イオン水供給装
置（ｈｏｔ ｓｕｐｐｌｙ ｓｙｓｔｅｍ）、ＣＭＰ工
程のためのスラリー供給装置又はリソグラフィーのため
の温度／湿度調節器等に適用できる。なお、前記電力管
理システムは、瞬時停電の間に、信頼性ある工程条件を
得られ、制御及び負荷装置の急激な電源遮断を防止しよ
うとする電源供給と関連した他の製造装置にも適用可能
である。
る前記電力管理システムは乾式ポンプ（例えば、前記ポ
ンプ１１７）、前記反応チャンバから排出ガスを処理す
るスクラバ（ｓｃｒｕｂｂｅｒ）、ウェーハ洗浄工程
で、高温の脱イオン水を提供する高温脱イオン水供給装
置（ｈｏｔ ｓｕｐｐｌｙ ｓｙｓｔｅｍ）、ＣＭＰ工
程のためのスラリー供給装置又はリソグラフィーのため
の温度／湿度調節器等に適用できる。なお、前記電力管
理システムは、瞬時停電の間に、信頼性ある工程条件を
得られ、制御及び負荷装置の急激な電源遮断を防止しよ
うとする電源供給と関連した他の製造装置にも適用可能
である。
【００３７】
【発明の効果】前述のように、本発明による電力管理シ
ステムは所定時間、電源供給を維持することによって、
瞬時停電が発生しても製造設備に使用される制御及び負
荷装置の誤動作又はシャットダウンを予防する。これに
より、瞬時停電が発生しても半導体製造設備の安定され
た工程条件を維持するのが可能である。
ステムは所定時間、電源供給を維持することによって、
瞬時停電が発生しても製造設備に使用される制御及び負
荷装置の誤動作又はシャットダウンを予防する。これに
より、瞬時停電が発生しても半導体製造設備の安定され
た工程条件を維持するのが可能である。
【００３８】本発明の望ましい実施例が例証的な目的の
ために公開されたが、本技術分野に従事する当業者は多
様な変形、追加及び代替が、添付された請求項に開示さ
れた本発明の精神及び技術的思想から外れないでも可能
であるという事実を理解できる。
ために公開されたが、本技術分野に従事する当業者は多
様な変形、追加及び代替が、添付された請求項に開示さ
れた本発明の精神及び技術的思想から外れないでも可能
であるという事実を理解できる。
【図１】半導体製造設備に使用される通常的な電力供給
システムを示す模式図である。
システムを示す模式図である。
【図２】瞬時停電時、通常的な電力供給システムで行わ
れる動作を示すタイミング図である。
れる動作を示すタイミング図である。
【図３】本発明の実施例による電力供給システムを示す
模式図である。
模式図である。
【図４】本発明の実施例による電力供給システムの非常
電源遮断回路を示す回路図である。
電源遮断回路を示す回路図である。
【図５】本発明の実施例による電力供給システムの第１
電圧整流器及び第２電圧整流器に対する簡略な機能を示
すブロック図である。
電圧整流器及び第２電圧整流器に対する簡略な機能を示
すブロック図である。
【図６】瞬時停電の間、通常的技術と本発明の実施例に
よる電力供給システムとの全ての負荷の動作を比較する
ための模式図である。
よる電力供給システムとの全ての負荷の動作を比較する
ための模式図である。
【図７】瞬時停電の間、通常的技術と本発明の実施例に
よる電力供給システムとの全ての負荷の動作を比較する
ための模式図である。
よる電力供給システムとの全ての負荷の動作を比較する
ための模式図である。
【図８】本発明の実施例による電力供給システムの第１
電圧整流器を示す回路図である。
電圧整流器を示す回路図である。
【図９】本発明の実施例による電力供給システムの第２
電圧整流器を示す回路図である。
電圧整流器を示す回路図である。
【図１０】本発明の実施例による電力管理システムの動
作を説明するためのタイミング図である。
作を説明するためのタイミング図である。
【図１１】本発明の実施例による電力供給システムが使
用される半導体製造設備の望ましい構成を示すブロック
図である。
用される半導体製造設備の望ましい構成を示すブロック
図である。
１、７、３３、４１ 磁気回路遮断器 ３ 非常電源遮断回路 ５ 電力用開閉器 ９、４５ タッチスクリーン １１ ＰＬＣ １３、４９ 第２電圧整流器 １５、１７、１９ 遮断器 ２１ 周波数変化装置 ２３、６３ モーター ２５ 固相継電器 ２７、６５ ヒーター ２９ Ｍ／Ｃ ３０、６７ 圧縮器 ３１ 電力分配器 ３２ 電力線 ３４ 電力供給端子 ３５ 強圧変圧器 ３７ 非常電源遮断回路 ３９ 電力開閉器 ４０ 電力制御端子 ４３ 第１電圧整流器 ４７ 制御装置 ５０ 負荷ブロック ５１、５３、５５ 回路遮断器 ５７ インバータ ５９ 固相開閉器 ６１ 電磁石接触器 ７９、８１ スイッチ ８２ 磁気接触器 ８３ トリップ防止回路 ８９、１０１ 整流器本体 ９１ 抵抗 ９３、１０３、１０７ コンデンサー ９５ ディスプレーユニット １０５ 強圧変圧器 １０９ スイッチ装置 １１１ パルス幅制御器 １１３ 冷却器 １１５ ＲＦ発生器 １１７ ポンプ １１９ 反応チャンバ １２１ 主統制システム １２３ 電力分配器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 林 彩洪 大韓民国京畿道烏山市ウォン洞815−１ウ ーナムジュコンアパート512棟305号 (72)発明者 張 閏善 大韓民国京畿道龍仁市器興邑ボラ里450サ ムスンアパート104棟303号 (72)発明者 李 俊九 大韓民国京畿道烏山市ウォン洞815−１ウ ーナムジュコンアパート513棟303号 Ｆターム(参考） 5G015 GB03 HA02 HA16 JA19 JA32 JA62
Claims (20)
- 【請求項１】 製造設備に電源を供給するため、交流電
源が供給される電力管理システムにおいて、 前記製造設備に交流電源を選択的に連結する電力開閉器
を制御するための非常電源遮断回路と、 前記交流電源から変換された直流電圧の電力を貯蔵し、
瞬時停電時、前記直流電圧の電力を放電する第１電圧整
流器と、 前記製造設備に動作電圧の電力を供給する第２電圧整流
器とを備え、 前記動作電圧は、瞬時停電時に前記第１電圧整流器から
供給された電力の前記直流電圧に応答することを特徴と
する電力管理システム。 - 【請求項２】 前記動作電圧は前記製造設備を動作させ
るための最小動作電圧であり、前記第２電圧整流器は前
記直流電圧が前記最小動作電圧に減少する時間を決める
ことを特徴とする請求項１に記載の電力管理システム。 - 【請求項３】 前記非常電源遮断回路は、随時停電の時
間に相応する所定の時間、前記電力開閉器をターンオン
状態に維持するトリップ防止回路を有することを特徴と
する請求項１に記載の電力管理システム。 - 【請求項４】 前記第１電圧整流器は、 前記交流電源を前記直流電圧の電力に変換する整流器本
体と、 前記直流電圧の電力を貯蔵し、瞬時停電時、前記直流電
圧の電力を放出するコンデンサーと、 を有することを特徴とする請求項１に記載の電力管理シ
ステム。 - 【請求項５】 前記第１電圧整流器は、 前記コンデンサーが前記直流電圧で充電される時、電流
の急激な増加を緩衝する抵抗と、 前記コンデンサーから前記第１電圧整流器の出力端子ま
で前記直流電圧を伝達するダイオードと、 瞬時停電間、前記コンデンサーの放電状態を示すディス
プレー回路と、 を有することを特徴とする請求項４に記載の電力管理シ
ステム。 - 【請求項６】 前記第２電圧整流器は、 前記第１電圧整流器から供給された前記直流電圧の電力
を貯蔵するコンデンサーと、 １次コイル及び２次コイルを有し、前記直流電圧を前記
動作電圧に変換する変圧器と、 前記変圧器の端子に連結され、前記変圧器の前記２次コ
イルでの電圧を調節するための制御信号に応答するスイ
ッチと、 を有することを特徴とする請求項１に記載の電力管理シ
ステム。 - 【請求項７】 製品を生産するための所定の製造工程を
遂行する第１装置と、所定の工程条件を制御するための
第２装置とを備える製造装置に使用される電力管理シス
テムにおいて、 前記製造装置に交流電源を選択的に連結する電力開閉器
を制御するための非常電源遮断回路と、 前記交流電源から変換された直流電圧の電力を貯蔵し、
瞬時停電時、前記直流電圧の電力を放出する電圧整流器
と、 前記第２装置を動作させ、電力供給器を通じて前記第２
装置に動作電圧の電力を供給する制御装置とを備え、 前記電力供給器は、瞬時停電時、前記直流電圧を前記第
２装置のための動作電圧に変換することを特徴とする電
力管理システム。 - 【請求項８】 前記動作電圧は前記第２装置を動作させ
る最小動作電圧であり、前記電力供給器は前記直流電圧
が前記最小動作電圧に減少する時間を決めることを特徴
とする請求項７に記載の電力管理システム。 - 【請求項９】 前記非常電源遮断回路は、随時停電の時
間に相応する所定の時間、前記電力開閉器をターンオン
状態に維持するトリップ防止回路を有することを特徴と
する請求項７に記載の電力管理システム。 - 【請求項１０】 前記電圧整流器は、 前記交流電源を前記直流電圧の電力に変換する整流器本
体と、 前記直流電圧の電力を貯蔵し、瞬時停電時、前記直流電
圧の電力を放出するコンデンサーと、 を有することを特徴とする請求項７に記載の電力管理シ
ステム。 - 【請求項１１】 前記電圧整流器は、 前記コンデンサーが前記直流電圧で充電される時、電流
の急激な増加を緩衝する抵抗と、 前記コンデンサーから前記電圧整流器の出力端子まで前
記直流電圧を伝達するダイオードと、 瞬時停電間、前記コンデンサーの放電状態を示すディス
プレー回路と、 を有することを特徴とする請求項１０に記載の電力管理
システム。 - 【請求項１２】 前記電力供給器は、 前記電圧整流器から供給された前記直流電圧の電力を貯
蔵するコンデンサーと、 １次コイル及び２次コイルを有し、前記直流電圧を前記
動作電圧に変換する変圧器と、 前記変圧器の端子に連結され、前記変圧器の前記２次コ
イルでの電圧を調節するための制御信号に応答するスイ
ッチと、 を有することを特徴とする請求項７に記載の電力管理シ
ステム。 - 【請求項１３】 複数の装置を備える製造設備で使用さ
れる電力管理システムにおいて、 交流電圧の電源が供給され、前記交流電圧から第１直流
電圧を生成し、前記第１直流電圧の電力を供給して前記
交流電圧の電源に瞬時停電が発生する時、前記第１直流
電圧の電力を供給する第１電圧整流器と、 前記第１直流電圧の電力が供給され、前記第１直流電圧
から第２直流電圧を生成し、前記第２直流電圧の電力を
貯蔵して瞬時停電が発生する時、前記製造設備の少なく
とも一つの装置に前記第２直流電圧の電力を供給する第
２電圧整流器と、 を備えることを特徴とする電力管理システム。 - 【請求項１４】 前記第１電圧整流器に前記交流電圧の
電源を選択的に連結するための信号を提供する非常電源
遮断回路をさらに備え、 前記非常電源遮断回路は、前記瞬時停電が発生する時、
前記交流電圧の電源と前記第１電圧整流器との連結を一
秒間維持するトリップ防止回路を有することを特徴とす
る請求項１３に記載の電力管理システム。 - 【請求項１５】 前記第１直流電圧及び前記第２直流電
圧の電圧レベルは、前記交流電圧の電圧レベルの整流値
に相応することを特徴とする請求項１３に記載の電力管
理システム。 - 【請求項１６】 前記第１電圧整流器は、 前記交流電圧を前記第１直流電圧に変換する変換手段
と、 前記変換手段に連結され、前記第１直流電圧の電力を貯
蔵する貯蔵装置と、 を有することを特徴とする請求項１３に記載の電力管理
システム。 - 【請求項１７】 前記変換手段はダイオードブリッジで
あり、前記貯蔵装置はコンデンサーであることを特徴と
する請求項１６に記載の電力管理システム。 - 【請求項１８】 前記第１電圧整流器は、前記貯蔵装置
に連結されて前記貯蔵装置の放電状態を示すディスプレ
ーユニットをさらに有することを特徴とする請求項１６
に記載の電力管理システム。 - 【請求項１９】 前記第２電圧整流器は、 前記第１直流電圧を前記第２直流電圧に変換する変換手
段と、 前記変換手段に連結されて前記第２直流電圧の電力を貯
蔵する貯蔵装置と、 を有することを特徴とする請求項１３に記載の電力管理
システム。 - 【請求項２０】 前記変換手段は、強圧変圧器を有する
ことを特徴とする請求項１９に記載の電力管理システ
ム。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2001-20767 | 2001-04-18 | ||
| KR10-2001-0020767A KR100428780B1 (ko) | 2001-04-18 | 2001-04-18 | 순시정전에 따른 설비의 오동작을 방지하는 전력 공급장치 및 이를 이용한 반도체 제조 설비 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002369408A true JP2002369408A (ja) | 2002-12-20 |
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ID=19708413
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002115236A Pending JP2002369408A (ja) | 2001-04-18 | 2002-04-17 | 電力管理システム |
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|---|---|
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| KR (1) | KR100428780B1 (ja) |
| TW (1) | TW546884B (ja) |
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| CN108604090A (zh) * | 2016-01-28 | 2018-09-28 | 株式会社富士 | 生产线的电源管理系统 |
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| KR100979194B1 (ko) * | 2008-03-17 | 2010-08-31 | (주)씨이에스티 | 통합 전원 관리용 절전형 전원 공급 장치 |
| KR102448969B1 (ko) * | 2020-06-26 | 2022-09-29 | 한화시스템 주식회사 | 전원 제어 장치 및 이를 구비하는 항전 장비 |
| KR102448970B1 (ko) * | 2020-06-26 | 2022-09-29 | 한화시스템 주식회사 | 전원 제어 장치 및 이를 구비하는 항전 장비 |
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| JPS54148220A (en) * | 1978-05-15 | 1979-11-20 | Toshiba Corp | Power supply device with stabilized dc voltage |
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| US4870534A (en) * | 1988-09-02 | 1989-09-26 | Harford Jack R | Power line surge suppressor |
| US4999728A (en) * | 1989-02-27 | 1991-03-12 | Atlas Technology, Inc. | Power surge protection circuit |
| US5237480A (en) * | 1990-02-26 | 1993-08-17 | Seiscor Technologies, Inc. | Apparatus for fault detection and isolation |
| JPH04257674A (ja) * | 1991-02-06 | 1992-09-11 | Sanyo Electric Co Ltd | 冷凍機の制御装置 |
| US5333105A (en) * | 1993-05-27 | 1994-07-26 | Eaton Corporation | Transient voltage protector |
| JP3233180B2 (ja) * | 1994-01-26 | 2001-11-26 | 京都電機器株式会社 | 瞬時電圧低下補償装置のインバータ制御回路 |
| JP3284526B2 (ja) * | 1994-08-19 | 2002-05-20 | 京都電機器株式会社 | 瞬時電圧低下補償装置 |
| JPH0926836A (ja) * | 1995-07-12 | 1997-01-28 | Brother Ind Ltd | 可搬性入出力機器 |
| KR19980021364A (ko) * | 1996-09-16 | 1998-06-25 | 김광호 | 순시정전으로 인한 오동작 방지회로 |
| KR19980047498U (ko) * | 1996-12-28 | 1998-09-25 | 이종수 | 인버터장치 |
| JP3541121B2 (ja) * | 1997-12-11 | 2004-07-07 | ファナック株式会社 | 停電処理用非常電源装置 |
| KR100275578B1 (ko) * | 1998-09-24 | 2001-01-15 | 장병우 | 자기 진단 능력을 갖는 엘리베이터 원격 감시용 단말장치 |
| JP3898355B2 (ja) * | 1998-09-25 | 2007-03-28 | レシップ株式会社 | 無停電電源装置 |
-
2001
- 2001-04-18 KR KR10-2001-0020767A patent/KR100428780B1/ko active IP Right Grant
- 2001-11-06 TW TW90127519A patent/TW546884B/zh not_active IP Right Cessation
-
2002
- 2002-01-09 US US10/040,638 patent/US6765314B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-04-17 JP JP2002115236A patent/JP2002369408A/ja active Pending
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|---|---|---|---|---|
| KR101111901B1 (ko) * | 2005-07-05 | 2012-03-02 | 삼성전자주식회사 | 디바이스의 턴오프 순서를 제어할 수 있는 전원공급장치 및전원공급방법 |
| CN108604090A (zh) * | 2016-01-28 | 2018-09-28 | 株式会社富士 | 生产线的电源管理系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| KR100428780B1 (ko) | 2004-04-27 |
| US20030038546A1 (en) | 2003-02-27 |
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| US6765314B2 (en) | 2004-07-20 |
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