JP2002368416A - Printed wiring board and manufacturing method therefor - Google Patents

Printed wiring board and manufacturing method therefor

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JP2002368416A
JP2002368416A JP2001167405A JP2001167405A JP2002368416A JP 2002368416 A JP2002368416 A JP 2002368416A JP 2001167405 A JP2001167405 A JP 2001167405A JP 2001167405 A JP2001167405 A JP 2001167405A JP 2002368416 A JP2002368416 A JP 2002368416A
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JP
Japan
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layer
wiring
insulating
pattern
forming
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP2001167405A
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Japanese (ja)
Inventor
Masanobu Yanagihara
昌伸 柳原
Hideaki Fukuju
英明 福寿
Nobuyuki Sato
信之 佐藤
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Kyocera Chemical Corp
Original Assignee
Kyocera Chemical Corp
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Publication date
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Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a printed wiring board where an etching processing can be omitted and the danger of environment destruction such as waste liquid treatment is not caused and to provide the manufacturing method. SOLUTION: Conductive paste is applied on a support substrate 2 along a wiring pattern and a paste pattern 3 is formed. The gap of the paste pattern 3 is filled with an insulating material 4, and a first wiring layer where the paste pattern 3 is inserted into an insulating material layer is formed. The surface of the first wiring layer is buff-polished and it is flattened. Then, the upper face of the paste pattern 3 is exposed. Conductor bump groups 5, 5,... are printed and formed on the paste pattern 3. An insulating substrate precursor (prepreg) 6 is overlapped from above and it is heated and pressed. The surface is buff-polished and the head cross sections of the conductor bump groups 5, 5,... are exposed. A paste pattern 7 is applied on them and a second wiring pattern is formed. The similar operation is repeated and a multilayer board-type printed wiring board 1 in the desired number of laminated stages is formed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はプリント配線基板に
係り、更に詳細には複数の絶縁基板と複数の配線パター
ンとを交互に積層した多層板型のプリント配線基板に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a printed wiring board, and more particularly to a multilayer printed wiring board in which a plurality of insulating substrates and a plurality of wiring patterns are alternately stacked.

【0002】[0002]

【従来の技術】マルチメディア時代到来に呼応して、携
帯電話、インターネットモバイル機器、携帯パソコンな
どの電子機器の実用化から、プリント配線板には、小型
化、軽薄化、軽量化、高密度化、低コスト化などが要求
されている。この要求を満足するプリント配線板の製造
技術としてビルドアップ型多層プリント配線板が注目さ
れている。
2. Description of the Related Art In response to the arrival of the multimedia era, electronic devices such as mobile phones, Internet mobile devices, and mobile personal computers have been put into practical use. There is a demand for cost reduction and the like. As a technique for manufacturing a printed wiring board that satisfies this requirement, attention has been paid to a build-up type multilayer printed wiring board.

【0003】そのなかでも、最近、銀ペーストなどの導
電性材料で形成した楔形の導体バンプを絶縁基板前駆体
(プリプレグ)の厚さ方向に貫挿して配線パターンどう
しを層間接続させる、「貫挿法」と呼ばれる新規のビル
ドアップ多層板が注目されている。図8は貫挿法の代表
的なプロセスを図解した垂直断面図である。
[0003] Among them, recently, a wedge-shaped conductive bump formed of a conductive material such as silver paste is inserted in the thickness direction of an insulating substrate precursor (prepreg) to connect wiring patterns between layers. A new build-up multilayer board called "the law" is attracting attention. FIG. 8 is a vertical sectional view illustrating a typical process of the insertion method.

【0004】この貫挿法によるビルドアップ多層板は図
8(a)に示すように銅箔101や内層板上にメタルス
クリーンを用いて銀ペーストを3〜6回繰り返し印刷し
て図8(c)に示したような円錐状のバンプ群102,
102,…を備えたバンプ付銅箔103を形成する。次
いで、合成樹脂シート(プリプレグ)105をコア材1
10の表面に形成された配線パターンの上に重ね、更に
その上に前記バンプ付銅箔を前記コア材110表面の配
線パターンに対して位置決めして重ねずれないように固
定する。次いでこれら位置決めし固定したコア材11
0、合成樹脂系シート(プリプレグ)105、及びバン
プ付銅箔103をプレスにかけて加圧し合成樹脂系シー
ト(プリプレグ)105の厚さ方向に前記バンプ群10
2,102,…をそれぞれ貫挿させたのち、前記バンプ
群102,102,…を貫通させた積層体を内層回路配
線板(コア材)110に重ね合わせて加熱加圧して多層
板120とする。この貫挿法はバンプにより一括してス
ルーホールを形成でき、またパッドオンビア構造を形成
できるためファインピッチの多層プリント板用などに使
用されてきている。
As shown in FIG. 8 (a), a build-up multilayer board by this penetration method is obtained by repeatedly printing a silver paste 3 to 6 times on a copper foil 101 or an inner layer board using a metal screen as shown in FIG. ), A group of conical bumps 102,
The bumped copper foil 103 provided with 102,... Is formed. Next, the synthetic resin sheet (prepreg) 105 is added to the core material 1.
The copper foil with bumps is positioned on the wiring pattern formed on the surface of the core material 110 and fixed thereon so as not to be misaligned with respect to the wiring pattern on the surface of the core material 110. Next, the core material 11 fixed and positioned
0, the synthetic resin-based sheet (prepreg) 105 and the copper foil 103 with bumps are pressed to apply pressure to the bump group 10 in the thickness direction of the synthetic resin-based sheet (prepreg) 105.
Are inserted through the respective bumps 102, 102,..., And the laminated body penetrating the bump groups 102, 102,. . This penetration method has been used for fine-pitch multi-layer printed circuit boards and the like because a through hole can be formed by bumps at a time and a pad-on-via structure can be formed.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、この貫挿法で
は配線パターンを形成するのに、銅箔を貼り付け、次い
でこの銅箔にマスキングを施し、更にこれをエッチング
液に浸漬することにより不要な部分を取り除く方法によ
り行なわれており、エッチングの為の設備が必要とな
り、製造設備が大型化するという問題がある。更にエッ
チング後には金属イオンが溶解した廃液が生成するた
め、環境破壊の虞れがあり、この廃液処理のための設備
が余分に必要となるという問題がある。また、プリプレ
グを加熱プレスした後にエッチングしたり、乾燥する工
程が必用となり、工数が多くて煩雑になるという問題が
ある。
However, in this penetration method, it is unnecessary to form a wiring pattern by attaching a copper foil, masking the copper foil, and immersing the copper foil in an etching solution. This is performed by a method of removing unnecessary parts, and equipment for etching is required, and there is a problem that manufacturing equipment becomes large. Furthermore, since a waste liquid in which metal ions are dissolved is generated after etching, there is a risk of environmental destruction, and there is a problem that extra equipment for treating the waste liquid is required. Further, there is a problem that a step of etching or drying after hot pressing the prepreg is required, and thus the number of steps is large and complicated.

【0006】本発明は上記従来の問題を解決するために
創作された発明である。即ち、本発明はエッチング槽な
どの余分な設備を必要とせず、またエッチング処理を省
略でき、廃液処理などの環境破壊の虞れのないプリント
配線基板及びその製造方法を提供することを目的とす
る。
The present invention is an invention created to solve the above-mentioned conventional problems. That is, an object of the present invention is to provide a printed wiring board which does not require an extra facility such as an etching tank or the like, can omit an etching process, and has no risk of environmental destruction such as waste liquid treatment, and a method for manufacturing the same. .

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明のプリント配線基
板の製造方法は、支持基体上に導電性ペーストで第1の
配線パターンを形成する工程と、前記第1の配線パター
ンの隙間に絶縁材料を充填して、前記第1の配線パター
ンが絶縁材料層内に貫挿された第1の配線層を形成する
工程と、前記第1の配線層を研磨して平面状の表面を形
成する工程と、前記第1の配線パターン上に導体バンプ
を形成する工程と、前記導体バンプ上に第1の絶縁層を
形成する工程と、前記第1の絶縁層表面を研磨して前記
導体バンプ頭部を露出させる工程と、前記第1の絶縁層
の前記導体バンプ頭部露出部上に導電性ペーストで第2
の配線パターンを形成する工程と、前記第2の配線パタ
ーンの隙間に絶縁材料を充填して、前記第2の配線パタ
ーンが絶縁材料層内に貫挿された第2の配線層を形成す
る工程とを具備する。
According to the present invention, there is provided a method for manufacturing a printed wiring board, comprising the steps of: forming a first wiring pattern on a supporting base with a conductive paste; and forming an insulating material in a gap between the first wiring pattern. Filling the first wiring pattern into an insulating material layer to form a first wiring layer, and polishing the first wiring layer to form a planar surface Forming a conductive bump on the first wiring pattern; forming a first insulating layer on the conductive bump; polishing the surface of the first insulating layer to form a top of the conductive bump; Exposing a second portion of the first insulating layer with a conductive paste on the exposed portion of the conductor bump head.
Forming the second wiring pattern, and filling the gap between the second wiring patterns with an insulating material to form a second wiring layer in which the second wiring pattern is inserted into the insulating material layer And

【0008】本発明の他のプリント配線基板の製造方法
は、(ア)支持基体上に導電性ペーストで一の配線パタ
ーンを形成する工程と、(イ)前記一の配線パターンの
隙間に絶縁材料を充填して、前記一の配線パターンが絶
縁材料層内に貫挿された一の配線層を形成する工程と、
(ウ)前記一の配線層を研磨して平面状の表面を形成す
る工程と、(エ)前記一の配線パターン上に導体バンプ
を形成する工程と、(オ)前記導体バンプ上に一の絶縁
層を形成する工程と、(カ)前記一の絶縁層表面を研磨
して前記導体バンプ頭部を露出させる工程と、(キ)前
記一の絶縁層の前記導体バンプ頭部露出部上に導電性ペ
ーストでもう一つの配線パターンを形成する工程と、
(ク)前記もう一つの配線パターンの隙間に絶縁材料を
充填して、前記もう一つの配線パターンが絶縁材料層内
に貫挿されたもう一つの配線層を形成する工程と、
(ケ)前記もう一つの配線層を研磨して平面状の表面を
形成する工程とを具備し、所定段数の積層体が得られる
まで引き続き上記(エ)〜(ケ)の工程を繰り返すこと
を特徴とする。
According to another method of manufacturing a printed wiring board of the present invention, there are provided (a) a step of forming one wiring pattern on a supporting base with a conductive paste, and (b) an insulating material in a gap between the one wiring pattern. Filling, the one wiring pattern to form one wiring layer penetrated into the insulating material layer,
(C) a step of polishing the one wiring layer to form a planar surface; (d) a step of forming a conductor bump on the one wiring pattern; and (e) a step of forming one conductor on the conductor bump. A step of forming an insulating layer; (f) a step of polishing the surface of the one insulating layer to expose the head of the conductive bump; and A step of forming another wiring pattern with a conductive paste,
(G) filling an insulating material in a gap between the another wiring pattern to form another wiring layer in which the another wiring pattern is inserted into the insulating material layer;
(G) polishing the another wiring layer to form a planar surface, and repeating the above steps (d) to (g) until a predetermined number of stacked bodies is obtained. Features.

【0009】本発明の更に別のプリント配線基板の製造
方法は、支持基体上に導電性ペーストで第1の配線パタ
ーンを形成する工程と、前記第1の配線パターンの隙間
に絶縁材料を充填して、前記第1の配線パターンが絶縁
材料層内に貫挿された第1の配線層を形成する工程と、
前記第1の配線層を研磨して平面状の表面を形成する工
程と、前記第1の配線パターン上に導体バンプを形成す
る工程と、前記導体バンプ上に第1の絶縁層を形成する
工程と、前記第1の絶縁層表面を研磨して前記導体バン
プ頭部を露出させる工程と、前記第1の絶縁層の前記導
体バンプ頭部露出部上に導電性ペーストで第2の配線パ
ターンを形成する工程と、前記第2の配線パターンの隙
間に絶縁材料を充填して、前記第2の配線パターンが絶
縁材料層内に貫挿された第2の配線層を形成する工程と
を具備する。
According to still another method of manufacturing a printed wiring board of the present invention, a step of forming a first wiring pattern on a supporting base with a conductive paste, and a step of filling a gap between the first wiring patterns with an insulating material. Forming a first wiring layer in which the first wiring pattern is inserted into an insulating material layer;
Polishing the first wiring layer to form a planar surface, forming a conductive bump on the first wiring pattern, and forming a first insulating layer on the conductive bump Polishing the surface of the first insulating layer to expose the conductive bump head, and forming a second wiring pattern with a conductive paste on the conductive bump head exposed portion of the first insulating layer. Forming and filling a gap between the second wiring patterns with an insulating material to form a second wiring layer in which the second wiring pattern is inserted into the insulating material layer. .

【0010】上記プリント配線基板の製造方法におい
て、前記絶縁層を形成する工程の例として、絶縁基板前
駆体を位置決めして重ね合わせた後に加熱プレスする工
程を挙げることができる。
In the method of manufacturing a printed wiring board, as an example of the step of forming the insulating layer, a step of heating and pressing after positioning and overlapping the insulating substrate precursor can be mentioned.

【0011】上記プリント配線基板の製造方法におい
て、前記絶縁層を形成する工程の例として、液状又はフ
ィルム状の絶縁材料組成物を塗布又は被着する工程を挙
げることができる。
In the method for manufacturing a printed wiring board, an example of the step of forming the insulating layer includes a step of applying or applying a liquid or film-like insulating material composition.

【0012】本発明のプリント配線基板は、導電性ペー
ストで形成された第1の配線パターンが絶縁材料層内に
貫挿された第1の配線層と、導電性ペーストで形成され
た第2の配線パターンが絶縁材料層内に貫挿された第2
の配線層と、前記第1の配線層と前記第2の配線層との
間に介挿された絶縁層と、前記絶縁層内に貫挿され、前
記第1の配線パターンと前記第2の配線パターンとを電
気的に接続する導体バンプとを具備する。
A printed wiring board according to the present invention has a first wiring layer in which a first wiring pattern formed of a conductive paste is inserted into an insulating material layer, and a second wiring layer formed of a conductive paste. A second wiring pattern is inserted through the insulating material layer.
A wiring layer, an insulating layer interposed between the first wiring layer and the second wiring layer, and a first wiring pattern interposed between the first wiring pattern and the second wiring layer. A conductive bump electrically connecting the wiring pattern.

【0013】本発明のプリント配線基板の製造方法で
は、導電性ペーストで配線パターンを形成するので、エ
ッチング設備が不要であり、エッチング工程を省略する
ことができる。また、エッチングで生じる廃液も生成し
ないので、環境に対する影響の少ないプリント配線基板
の製造方法を提供することができる。
In the method of manufacturing a printed wiring board according to the present invention, since the wiring pattern is formed with the conductive paste, no etching equipment is required, and the etching step can be omitted. In addition, since a waste liquid generated by etching is not generated, a method of manufacturing a printed wiring board with less influence on the environment can be provided.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。図1は本実施形態に係るプリント配線基板
の製造方法のフローチャートであり、図2は本実施形態
に係るプリント配線基板の製造途中の垂直断面図であ
る。本実施形態に係るプリント配線基板を製造するに
は、最初に支持基体、例えば銅箔やステンレス板或いは
樹脂シートのような支持基体2上に、導電性ペーストを
用いて配線パターンを形成する。即ち、支持基体2上の
配線パターン相当部分に導電性ペーストを塗布或いは載
置することにより配線パターンを導電性ペーストで描
き、図2(b)に示したように、支持基体2上に第1の
配線パターンとしてのペーストパターン3を形成する
(ステップ1)。
Embodiments of the present invention will be described below. FIG. 1 is a flowchart of a method for manufacturing a printed wiring board according to the present embodiment, and FIG. 2 is a vertical cross-sectional view of the printed wiring board according to the present embodiment during manufacturing. To manufacture the printed wiring board according to the present embodiment, first, a wiring pattern is formed using a conductive paste on a support base 2 such as a copper foil, a stainless steel plate, or a resin sheet. That is, by applying or placing a conductive paste on a portion corresponding to the wiring pattern on the support base 2, the wiring pattern is drawn with the conductive paste, and as shown in FIG. A paste pattern 3 is formed as a wiring pattern (step 1).

【0015】ここで用いる導電性ペーストは、例えば銀
粉や銅粉などの導電性粉末或いは微粒子をエポキシ樹脂
などの液状樹脂中に所定量配合して導電性を付与したペ
ーストである。ペーストパターン3の形成方法として
は、ノズルから導電性ペーストを吐出させながらノズル
先端を配線パターンに沿って移動させる方法や、配線パ
ターン相当部分を打ちぬいた型板(図示省略)を支持基
体2の上に重ね、前記型板の上から導電性ペーストを塗
布し、ヘラ状のもので前記型板の打ち抜き部分に導電性
ペーストを摺り込み、然る後に型板を剥がす方法や、或
いはスクリーン印刷やスプレーして導電性ペーストを配
線パターン状に成形するなどの既知の方法が挙げられ
る。
The conductive paste used here is, for example, a paste in which a predetermined amount of conductive powder or fine particles such as silver powder or copper powder is mixed into a liquid resin such as epoxy resin to impart conductivity. As a method of forming the paste pattern 3, a method of moving the tip of the nozzle along the wiring pattern while discharging the conductive paste from the nozzle, or a template (not shown) in which a portion corresponding to the wiring pattern is punched out of the support base 2. Overlay, apply a conductive paste from above the template, squeeze the conductive paste into the punched part of the template with a spatula, and then peel off the template, or screen printing or A known method such as spraying to form a conductive paste into a wiring pattern may be used.

【0016】ペーストパターン3の形成が完了したら、
ペーストパターン3が形成された支持基体2の上から絶
縁性樹脂4を塗布し、図2(c)に示したように、前記
ペーストパターン3の隙間に絶縁材料としての絶縁性樹
脂4を充填する。こうして図2(c)に示したような第
1の配線層が形成される。
When the formation of the paste pattern 3 is completed,
An insulating resin 4 is applied from above the support base 2 on which the paste pattern 3 is formed, and as shown in FIG. 2C, the gap between the paste patterns 3 is filled with the insulating resin 4 as an insulating material. . Thus, a first wiring layer as shown in FIG. 2C is formed.

【0017】ここで用いる絶縁性樹脂4としては、例え
ば、ビスフェノールA型高分子、ノボラック型フェノー
ル樹脂、メラミン樹脂硬化剤としてジシアンジミト゛(D
ICY)、硬化促進剤として2−エチル−4−メチルイ
ミダゾール、又充填剤としてタルク、シリカ、アルミ
ナ、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウムを調合を
したものなどが挙げられる。また補強剤としてガラスフ
ィラーなどを混合してもよい。
As the insulating resin 4 used here, for example, bisphenol A type polymer, novolak type phenol resin, and dicyandimitide (D
ICY), 2-ethyl-4-methylimidazole as a curing accelerator, and talc, silica, alumina, aluminum hydroxide and magnesium hydroxide as fillers. Further, a glass filler or the like may be mixed as a reinforcing agent.

【0018】上記ステップ2で塗布する際に、絶縁性樹
脂4は図2(c)に示したように前記ペーストパターン
3の上面まで覆う。そのため、絶縁性樹脂4の塗布後に
表面をバフなどにより研磨して(ステップ3)絶縁性樹
脂4の表面を平面化するとともに図2(d)のようにペ
ーストパターン3の上表面を露出させる。なお、この絶
縁性樹脂4の表面研磨は絶縁性樹脂4の硬化後に行うの
が好ましいが、未硬化の時点でヘラや溶剤などを用いて
ペーストパターン3上の絶縁性樹脂4を除去しても良
い。
At the time of application in the above step 2, the insulating resin 4 covers up to the upper surface of the paste pattern 3 as shown in FIG. Therefore, the surface of the insulating resin 4 is polished by buffing or the like after the application of the insulating resin 4 (step 3) to planarize the surface of the insulating resin 4 and expose the upper surface of the paste pattern 3 as shown in FIG. The surface polishing of the insulating resin 4 is preferably performed after the insulating resin 4 is cured. However, even if the insulating resin 4 on the paste pattern 3 is removed by using a spatula or a solvent at the time when the insulating resin 4 is not cured. good.

【0019】絶縁性樹脂4を表面研磨してペーストパタ
ーン3の上面が露出したら、印刷技術により、図2
(e)に示したように、ペーストパターン3上面の所定
位置に導体バンプ群5,5,…を形成する(ステップ
4)。
When the upper surface of the paste pattern 3 is exposed by polishing the surface of the insulating resin 4, the printing technique is used to obtain the paste pattern 3 shown in FIG.
As shown in (e), conductive bump groups 5, 5,... Are formed at predetermined positions on the upper surface of paste pattern 3 (step 4).

【0020】このとき、導体バンプ群5,5,…を構成
する導電性ペーストに含まれる金属粉末としては、銀粉
や銅粉を使用する。その形状は球状、鱗片状など使用可
能でありそれらの混合物でも良い。導電性ペーストの作
り方は、例えばこれら金属粉末と、ポリカーボネート樹
脂、ポリスルホン樹脂、ポリエステル樹脂、フェノキシ
樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂等のバインダー
成分とを混合して調整する。導電性ペーストはメタルマ
スク版などにより、銅箔面や内層板の回路面に印刷し
て、バンプ群を容易に形成することができる。
At this time, silver powder or copper powder is used as the metal powder contained in the conductive paste constituting the conductor bump groups 5, 5,. The shape may be spherical, scale-like or the like, and a mixture thereof may be used. The method of preparing the conductive paste is adjusted by, for example, mixing these metal powders and a binder component such as a polycarbonate resin, a polysulfone resin, a polyester resin, a phenoxy resin, a phenol resin, and a polyimide resin. The conductive paste can be printed on the copper foil surface or the circuit surface of the inner layer plate using a metal mask plate or the like to easily form the bump group.

【0021】このときに形成する導体バンプ群5,5,
…の大きさは底面の半径が100〜300μm、高さが
平均で100〜300μmのものを形成することが好ま
しい。導体バンプの底面半径が上記範囲を下回ると層間
接続の信頼性が低下するからであり、導体バンプの底面
半径が上記範囲を上回るとペーストパターン3の幅から
はみ出してしまうからである。
The conductor bump groups 5, 5 formed at this time are
It is preferable to form a shape having a bottom surface radius of 100 to 300 μm and a height of 100 to 300 μm on average. This is because if the bottom radius of the conductive bump is smaller than the above range, the reliability of interlayer connection is reduced. If the bottom radius of the conductive bump is larger than the above range, the bottom of the conductive bump protrudes from the width of the paste pattern 3.

【0022】導体バンプ群5,5,…の形成が完了した
ら、次いで図2(g)のように、導体バンプ群5,5,
…の底面から所定の厚さの絶縁層6(第1の絶縁層)を
形成する(ステップ5)。この絶縁層6の形成のしかた
としては、例えば図2(f)に示したように、導体バン
プ群5,5,…の頭部上に絶縁基板前駆体(プリプレ
グ)6を位置合わせして重ね、次いで加熱プレスして絶
縁基板前駆体(プリプレグ)6に導体バンプ群5,5,
…を貫挿させると同時に絶縁基板前駆体(プリプレグ)
6を硬化する方法が挙げられる。なお、他の方法として
例えば液状の絶縁性樹脂組成物6を導体バンプ群5,
5,…の上からカーテンコーターなどの塗布装置を用い
て塗布する方法や、印刷する方法、スプレーで吹き付け
る方法などが挙げられる。
When the formation of the conductor bump groups 5, 5,... Is completed, the conductor bump groups 5, 5,.
Then, an insulating layer 6 (first insulating layer) having a predetermined thickness is formed from the bottom surface of step... (Step 5). As a method of forming the insulating layer 6, for example, as shown in FIG. 2 (f), the insulating substrate precursor (prepreg) 6 is aligned and superposed on the heads of the conductor bump groups 5, 5,. Then, the resultant is heated and pressed to form a conductive bump group 5, 5, 5 on the insulating substrate precursor (prepreg) 6.
... and an insulating substrate precursor (prepreg)
6 is cured. In addition, as another method, for example, a liquid insulating resin composition
5, a coating method using a coating device such as a curtain coater, a printing method, and a spraying method.

【0023】こうして絶縁層6の形成が完了した時点で
は、図2(g)の上面から導体バンプ群5,5,…の頭
部が突出している。そのため、次の工程で絶縁層6の上
面を例えばバフにより表面研磨する(ステップ6)。こ
の表面研磨により絶縁層6の上面が平面化され、図3
(a)に示したように、絶縁層6上面から突出した導体
バンプ群5,5,…の頭部が削られて導体バンプ群5,
5,…の上面が平面状になって露出する。
When the formation of the insulating layer 6 is completed, the heads of the conductor bump groups 5, 5,... Protrude from the upper surface of FIG. Therefore, in the next step, the upper surface of the insulating layer 6 is polished by, for example, a buff (Step 6). By this surface polishing, the upper surface of the insulating layer 6 is planarized, and FIG.
As shown in (a), the heads of the conductor bump groups 5, 5,...
The upper surfaces of 5,... Are exposed in a planar shape.

【0024】このようにして図3(a)に示したような
ペーストパターン3の上に導体バンプ群5,5,…が積
み上げられ、隙間が絶縁性樹脂4,6で充填された1層
の積層板ユニットが形成される。さらに多段に積層する
場合には、上記ステップ1〜ステップ6の工程を繰り返
し行い、所望の積層段数の積層体を形成する(ステップ
7)。
In this manner, the conductor bump groups 5, 5,... Are stacked on the paste pattern 3 as shown in FIG. A laminate unit is formed. When the layers are further stacked, steps 1 to 6 are repeated to form a desired number of stacked layers (step 7).

【0025】例えば配線パターンとしてのペーストパタ
ーンが4層積層されたいわゆる4層板を形成する場合に
は、図3(a)に示した導体バンプ群5,5,…の頭部
断面が露出した絶縁層6表面上に2層目のペーストパタ
ーン7を上記ステップ1と同様にして形成し、その上か
ら絶縁性樹脂8をステップ2と同様にして塗布し、その
表面をステップ3と同様にして表面研磨し(図3
(d))、次いでステップ4と同様にして、露出させた
2層目のペーストパターン7上に導体バンプ群9,9,
…を形成し(図3(e))、次にステップ5と同様にし
て、その上に絶縁層10を形成し(図4(a)〜図4
(b))、更にステップ6と同様にして表面研磨して図
4(c)に示したような2層の積層体を得る。
For example, when a so-called four-layer plate in which four paste patterns are laminated as a wiring pattern is formed, the head cross sections of the conductor bump groups 5, 5,... Shown in FIG. A second-layer paste pattern 7 is formed on the surface of the insulating layer 6 in the same manner as in Step 1 described above, and an insulating resin 8 is applied thereon in the same manner as in Step 2, and the surface is formed in a manner similar to Step 3. Polish the surface (Fig. 3
(D)) Then, in the same manner as in step 4, the conductive bump groups 9, 9, 9
(FIG. 3 (e)), and then an insulating layer 10 is formed thereon in the same manner as in step 5 (FIGS. 4 (a) to 4 (b)).
(B)) Then, the surface is polished in the same manner as in Step 6 to obtain a two-layer laminate as shown in FIG.

【0026】以下、同様にして3層目のペーストパター
ン11を形成し(図4(d))、その上から絶縁性樹脂
12を塗布し(図5(a))、絶縁性樹脂12を表面研
磨して図5(b)に示したような3層板を形成する。こ
のようにしてペーストパターンと導体バンプとを積み上
げてゆき、積層段数が所定の値に到達したら最後のペー
ストパターンを形成する。即ち、3層目のペーストパタ
ーン11とその上の導体バンプ群13,13,…を形成
して図6(b)に示したように目的とする積層段数(こ
の場合4層)より一つ少ない(n−1)積層段数(n−
1=3)に到達したら(ステップ7)、最後の4段目の
ペーストパターン15を形成する(図6(c))。然る
後に図7(a)に示すように絶縁性樹脂15を塗布し
(ステップ9)、図7(b)に示すように表面研磨し
(ステップ10)、最後に支持基体2を剥離したりエッ
チングなどにより除去すると(ステップ11)、図7
(c)に示したような4層のペーストパターン3,7,
11,及び15を備えた多層板型のプリント配線基板1
が得られる。
In the same manner, a third-layer paste pattern 11 is formed in the same manner (FIG. 4D), and an insulating resin 12 is applied thereon (FIG. 5A). Polishing is performed to form a three-layer plate as shown in FIG. In this way, the paste pattern and the conductive bumps are stacked, and when the number of layers reaches a predetermined value, the last paste pattern is formed. That is, the third-layer paste pattern 11 and the conductive bump groups 13, 13,... On the third-layer paste pattern 11 are formed, and as shown in FIG. (N-1) Number of stacked layers (n-
When 1 = 3) is reached (step 7), the final fourth-stage paste pattern 15 is formed (FIG. 6C). Thereafter, as shown in FIG. 7A, an insulating resin 15 is applied (Step 9), the surface is polished as shown in FIG. 7B (Step 10), and finally the support base 2 is peeled off. When removed by etching or the like (step 11), FIG.
As shown in (c), four paste patterns 3, 7,
Multilayer board type printed wiring board 1 provided with 11 and 15
Is obtained.

【0027】以上説明したように、本実施形態に係るプ
リント配線基板の製造方法によれば、導電性ペーストを
用いて配線パターン(ペーストパターン)を形成してゆ
くのでエッチング設備やエッチング工程を省略すること
ができる。従ってエッチング処理による廃液などが発生
せず、廃液処理の必要性や環境汚染の虞れが未然に防止
される。
As described above, according to the method of manufacturing a printed wiring board according to the present embodiment, since a wiring pattern (paste pattern) is formed using a conductive paste, etching equipment and etching steps are omitted. be able to. Therefore, no waste liquid is generated by the etching process, and the necessity of the waste liquid treatment and the risk of environmental pollution are prevented beforehand.

【0028】また、ペーストパターンを形成した表面を
研磨した上に導体バンプを形成したり、また、表面研磨
して導体バンプの頭部を露出させた上に次のペーストパ
ターンを形成するので、ペーストパターンと導体バンプ
との接続が確実に形成され、信頼性の高い層間接続が形
成される。
In addition, a conductive bump is formed on the surface on which the paste pattern is formed, and the next paste pattern is formed on the surface of the conductive bump by exposing the head of the conductive bump. The connection between the pattern and the conductor bump is reliably formed, and a highly reliable interlayer connection is formed.

【0029】更に、ペーストパターンや導体バンプの上
から絶縁性樹脂を塗布した後、表面研磨してから次の層
を形成してゆくので、各層の厚さを均一化することがで
きる。更に各層を研磨する際に所望の厚さになるまで薄
くすることができるので、薄く、かつ、接続信頼性の高
いプリント配線基板を製造することができる。
Further, after the insulating resin is applied over the paste pattern or the conductive bumps, the surface is polished, and then the next layer is formed, so that the thickness of each layer can be made uniform. Further, when each layer is polished, the thickness can be reduced to a desired thickness, so that a printed wiring board which is thin and has high connection reliability can be manufactured.

【0030】なお、本発明の範囲は第1及び第2の実施
形態の記載内容に限定されない。例えば、上記実施形態
では導電性ペーストと導体バンプとを積み上げて多層板
を作る構成にしたが、既知の積層体、例えば2〜4層の
配線層が絶縁基板と交互に積層され、スルーホールで層
間接続された多層板の表面の配線層の上に導体バンプと
導電性ペーストから形成された配線パターンとを順次積
み上げて多層化したプリント配線基板に本発明の方法を
利用することも可能である。
The scope of the present invention is not limited to the contents described in the first and second embodiments. For example, in the above embodiment, the conductive paste and the conductive bumps are stacked to form a multilayer board, but a known laminate, for example, two to four wiring layers are alternately laminated with the insulating substrate, and the through holes are formed. It is also possible to use the method of the present invention on a printed wiring board in which conductor bumps and a wiring pattern formed from a conductive paste are sequentially stacked on a wiring layer on the surface of a multilayer board connected between layers to form a multilayer. .

【0031】(第2の実施形態)以下、本発明の第2の
実施形態に係るプリント配線基板の製造方法について説
明する。本実施形態に係るプリント配線基板の製造方法
では、上記ステップ5で絶縁層6を形成するのに絶縁基
板前駆体(プリプレグ)を導体バンプ群5,5,…の上
から重ねて加熱プレスして絶縁基板前駆体(プリプレ
グ)6に導体バンプ群5,5,…を貫挿させる方法を用
いたが、本実施形態では、ステップ5において導体バン
プ群5,5,…の上から液状の絶縁性樹脂組成物をカー
テンコーターなどの塗布装置で塗布することにより絶縁
層6を形成する構成とした。本実施形態において、カー
テンコーター等の塗布装置でで塗布する絶縁性樹脂組成
物4は、熱硬化性絶縁性樹脂と、硬化剤と、充填材と、
補強繊維などからなるのが好ましい。
(Second Embodiment) Hereinafter, a method for manufacturing a printed wiring board according to a second embodiment of the present invention will be described. In the method for manufacturing a printed wiring board according to the present embodiment, in order to form the insulating layer 6 in the step 5, the insulating substrate precursor (prepreg) is heated and pressed from above the conductive bump groups 5, 5,. The method in which the conductor bump groups 5, 5,... Are inserted through the insulating substrate precursor (prepreg) 6 is used. The insulating layer 6 was formed by applying the resin composition with a coating device such as a curtain coater. In the present embodiment, the insulating resin composition 4 applied by a coating device such as a curtain coater includes a thermosetting insulating resin, a curing agent, a filler,
It is preferably made of reinforcing fibers or the like.

【0032】上記熱硬化性絶縁性樹脂としては、エポキ
シ樹脂、ポリイミド樹脂及びこれらの変性樹脂が挙げら
れ、これらは単独又は混合して使用することができる。
The thermosetting insulating resin includes an epoxy resin, a polyimide resin and modified resins thereof, and these can be used alone or in combination.

【0033】上記硬化剤としては、通常硬化に使用され
ている化合物であれば制限無く使用でき、アミン硬化系
としては、ジシアンジアミド(DICY)、芳香族ジア
ミン等が挙げられ、フェノール硬化系としては、フェノ
ールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビス
フェノールA型ノボラック樹脂等が挙げられ、これらは
単独又は2種以上混合して使用できる。
The curing agent can be used without any limitation as long as it is a compound usually used for curing. Examples of the amine curing system include dicyandiamide (DICY) and aromatic diamine. Examples of the phenol curing system include: Phenol novolak resin, cresol novolak resin, bisphenol A type novolak resin and the like can be mentioned, and these can be used alone or in combination of two or more.

【0034】上記充填材としては、タルク、シリカ、ア
ルミナ、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウムが挙
げられ、これらは単独又は混合して使用することができ
る。ここで充填材の配合量の好ましい範囲は10〜50
重量部である。前記範囲を下回ると必用な機械的強度が
得られないからであり、前記範囲を上回ると前記絶縁性
樹脂に被覆されない充填材が発生して機械的強度や絶縁
特性が低下するからである。
Examples of the filler include talc, silica, alumina, aluminum hydroxide, and magnesium hydroxide, and these can be used alone or as a mixture. Here, the preferable range of the compounding amount of the filler is 10 to 50.
Parts by weight. If the amount is less than the above range, necessary mechanical strength cannot be obtained. If the amount exceeds the above range, a filler that is not coated with the insulating resin is generated, and the mechanical strength and the insulating properties are reduced.

【0035】上記補強繊維としては、ガラス繊維、ガラ
スウール、ウィスカーなどが挙げられ、これらは単独又
は混合して使用することができる。ここで補強繊維の配
合量の好ましい範囲は5〜30重量部である。前記範囲
を下回ると必用な機械的強度が得られないからであり、
前記範囲を上回ると前記絶縁性樹脂からはみ出て機械的
強度や絶縁特性が低下するからである。
Examples of the reinforcing fibers include glass fibers, glass wool, and whiskers, and these can be used alone or in combination. Here, the preferred range of the amount of the reinforcing fiber is 5 to 30 parts by weight. This is because the required mechanical strength cannot be obtained if the ratio is below the range,
If it exceeds the above range, it will protrude from the insulating resin and the mechanical strength and the insulating properties will decrease.

【0036】また、上記絶縁性樹脂組成物4の粘度はス
パイラル粘度計10r.p.mで測定したときに25℃
で200〜300Pa・sであることが好ましい。ここ
で上記絶縁性樹脂組成物の粘度の好ましい範囲を上記範
囲としたのは、上記範囲を下回るとカーテンコート法に
よる塗布をうまく行うことができず、上記範囲を上回る
とカーテンコート法により塗布したときに塗膜の厚さが
ばらついて均一な塗膜が得られないからである。
The insulating resin composition 4 has a viscosity of 10 r. p. 25 ° C when measured in m
Is preferably 200 to 300 Pa · s. The reason why the preferable range of the viscosity of the insulating resin composition was set to the above range was that the coating by the curtain coating method could not be successfully performed if the viscosity was below the above range, and the coating was performed by the curtain coating method if the above range was exceeded. This is because the thickness of the coating film sometimes varies and a uniform coating film cannot be obtained.

【0037】更にこのカーテンコーターで塗布する絶縁
性樹脂組成物4の層の厚さは、30〜150μmとする
のが好ましい。絶縁性樹脂組成物4の層の厚さが上記範
囲を下回ると絶縁特性や層間接続の信頼性が低下するか
らであり、上記範囲を上回ると求められる集積密度が得
られないからである。
Further, the thickness of the layer of the insulating resin composition 4 applied by the curtain coater is preferably 30 to 150 μm. If the thickness of the layer of the insulating resin composition 4 is less than the above range, the insulating properties and the reliability of interlayer connection are reduced. If the thickness exceeds the above range, the required integration density cannot be obtained.

【0038】本実施形態に係るプリント配線基板の製造
方法では、ペーストパターン上に形成した導体バンプ群
5,5,…の上から液状の絶縁性樹脂組成物を塗布して
絶縁層6を形成するので、導体バンプ群5,5,…の高
さ方向にストレスが殆ど作用しない。そのため、導体バ
ンプ群5,5,…を小型化することができ、それにより
絶縁層を薄くすることができる、という特有の効果が得
られる。更に導体バンプ5の底面や頭部の径を小さくで
きるので、プリント配線基板表面の配線パターンのピッ
チを小型化することができ、実装面の配線密度を高度化
することにより集積度を上げることができる。
In the method for manufacturing a printed wiring board according to the present embodiment, a liquid insulating resin composition is applied from above the conductive bump groups 5, 5,... Formed on the paste pattern to form the insulating layer 6. Therefore, stress hardly acts in the height direction of the conductor bump groups 5, 5,. .. Can be reduced in size, and thereby the insulating layer can be made thinner. Further, since the diameter of the bottom and the head of the conductor bump 5 can be reduced, the pitch of the wiring pattern on the surface of the printed wiring board can be reduced, and the integration density can be increased by increasing the wiring density on the mounting surface. it can.

【0039】(実施例)次に、本発明のプリント配線板
の実施例について説明する。本実施例では上記実施形態
と同様のプロセスに従って2層板の形成を試みた。導体
バンプ形成用の導電性ペーストとして、銀ペースト(CT
-217K、東芝ケミカル(株)製)を使用し、この銀ペー
ストを厚さ0.20mmで、所定箇所に線幅0.15m
mの回路パターン相当部分を打ち抜いたステンレス製メ
タルマスクを18μm厚の電解銅箔上に位置決めし、上
記銀ペーストを印刷塗布して乾燥し、然る後にカーテン
コーティングを施してエポキシ樹脂組成物を塗布した。
次いでこのエポキシ樹脂層を乾燥し硬化した後にバフ研
磨し、前記回路パターンの上面を露出させた。更にその
上に厚さ0.20mmのステンレス板の所定箇所に0.
2mm径の孔を穿孔したメタルマスクを位置決めし、そ
の上からバンプ形成用銀ペーストを印刷した。そしてこ
の印刷して得た導体バンプ群を乾燥した。その後、FR
−4プリプレグ(厚さ50μm)を重ねて加熱プレス
し、このFR−4プリプレグに前記導体バンプ群を貫挿
させた。硬化後のFR−4の表面をバフ研磨し、FR−
4の上面に突き出した導体バンプ群の頭部を削って均一
な平面状の表面を形成するとともに導体バンプ群の頭部
を水平面で切断したような状態で露出させた。更にこの
露出した導体バンプ群頭部断面の上に回路パターン相当
部分を打ち抜いたメタルマスクを重ね、その上から上記
銀ペーストを塗布した。次にメタルマスクを剥がし、上
記と同様にしてエポキシ樹脂を塗布し、硬化させた後表
面をバフ研磨した。然る後に18μm電解銅箔をエッチ
ングして除去することにより2層のプリント配線基板を
形成した。
(Example) Next, an example of the printed wiring board of the present invention will be described. In this example, formation of a two-layer plate was attempted in accordance with the same process as in the above embodiment. As a conductive paste for forming conductive bumps, silver paste (CT
-217K, manufactured by Toshiba Chemical Co., Ltd.). This silver paste is 0.20 mm thick and has a line width of 0.15 m at a predetermined position.
A stainless steel metal mask punched out from a part corresponding to the m circuit pattern is positioned on an 18 μm thick electrolytic copper foil, the silver paste is printed and dried, and then a curtain coating is applied and an epoxy resin composition is applied. did.
Next, the epoxy resin layer was dried and cured, and then buffed to expose the upper surface of the circuit pattern. Furthermore, a 0.20 mm thick stainless steel plate is placed on a predetermined position.
A metal mask having a hole with a diameter of 2 mm was positioned, and a silver paste for bump formation was printed thereon. Then, the printed conductor bump group was dried. Then, FR
-4 prepregs (thickness: 50 μm) were stacked and heated and pressed, and the above-mentioned conductor bump group was inserted into the FR-4 prepreg. After hardening, the surface of FR-4 is buff-polished, and FR-
The head of the conductor bump group protruding from the upper surface of No. 4 was shaved to form a uniform planar surface, and the head of the conductor bump group was exposed as if it were cut along a horizontal plane. Further, a metal mask punching out a portion corresponding to a circuit pattern was overlapped on the exposed cross section of the conductor bump group head, and the silver paste was applied thereon. Next, the metal mask was peeled off, an epoxy resin was applied and cured in the same manner as above, and the surface was buffed. Thereafter, the 18 μm electrolytic copper foil was removed by etching to form a two-layer printed wiring board.

【0040】この2層板の厚さは100μmと非常に薄
く、両面の配線パターンに当接した導体バンプ頭部側の
直径は10〜50μmと非常に小さいものであった。そ
のため、これらの配線パターンを用いて形成される実装
パターンはピッチの平均が30〜100μmと非常にフ
ァインなパターンとして形成することができ、集積度の
高いプリント配線基板や半導体装置が得られることが確
認された。
The thickness of this two-layer plate was extremely small, 100 μm, and the diameter of the conductor bump head side in contact with the wiring patterns on both sides was very small, 10 to 50 μm. Therefore, a mounting pattern formed using these wiring patterns can be formed as a very fine pattern having an average pitch of 30 to 100 μm, and a printed wiring board or a semiconductor device with a high degree of integration can be obtained. confirmed.

【0041】[0041]

【発明の効果】本発明のプリント配線基板の製造方法で
は、導電性ペーストで配線パターンを形成するので、エ
ッチング設備が不要であり、エッチング工程を省略する
ことができる。また、エッチングで生じる廃液も生成し
ないので、環境に対する影響の少ないプリント配線基板
の製造方法を提供することができる。
According to the method of manufacturing a printed wiring board of the present invention, since a wiring pattern is formed using a conductive paste, etching equipment is not required and the etching step can be omitted. In addition, since a waste liquid generated by etching is not generated, a method of manufacturing a printed wiring board with less influence on the environment can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施形態に係るプリント配線基板の製
造方法のフローチャートである。
FIG. 1 is a flowchart of a method for manufacturing a printed wiring board according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施形態に係るプリント配線基板の製
造途中の垂直断面図である。
FIG. 2 is a vertical sectional view of the printed wiring board according to the embodiment of the present invention in the course of manufacturing.

【図3】本発明の実施形態に係るプリント配線基板の製
造途中の垂直断面図である。
FIG. 3 is a vertical cross-sectional view of the printed wiring board according to the embodiment of the present invention in the course of manufacturing.

【図4】本発明の実施形態に係るプリント配線基板の製
造途中の垂直断面図である。
FIG. 4 is a vertical sectional view of the printed wiring board according to the embodiment of the present invention in the course of manufacturing.

【図5】本発明の実施形態に係るプリント配線基板の製
造途中の垂直断面図である。
FIG. 5 is a vertical cross-sectional view of the printed wiring board according to the embodiment of the present invention in the process of being manufactured.

【図6】本発明の実施形態に係るプリント配線基板の製
造途中の垂直断面図である。
FIG. 6 is a vertical sectional view of the printed wiring board according to the embodiment of the present invention in the course of manufacturing.

【図7】本発明の実施形態に係るプリント配線基板の製
造途中の垂直断面図である。
FIG. 7 is a vertical cross-sectional view of the printed wiring board according to the embodiment of the present invention in the process of being manufactured.

【図8】従来のプリント配線基板の製造工程を示す垂直
断面図である。
FIG. 8 is a vertical sectional view showing a manufacturing process of a conventional printed wiring board.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…プリント配線基板、2…支持基体、3…ペーストパ
ターン(第1の配線パターン)、4…(絶縁材料)、5
…導体バンプ、6…絶縁層(第1の絶縁層)、7…ペー
ストパターン(第2の配線パターン)。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Printed wiring board, 2 ... Support base, 3 ... Paste pattern (first wiring pattern), 4 ... (Insulating material), 5
... conductor bumps, 6 ... insulating layer (first insulating layer), 7 ... paste pattern (second wiring pattern).

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 信之 埼玉県川口市領家5丁目14番25号 東芝ケ ミカル株式会社川口工場内 Fターム(参考) 5E346 AA02 AA12 AA15 AA32 AA35 AA51 BB11 BB16 CC08 CC39 DD02 DD13 DD34 EE32 EE35 FF07 FF18 FF24 GG19 GG28 HH11 HH31  ──────────────────────────────────────────────────の Continuing on the front page (72) Nobuyuki Sato, Inventor 5-14-25 Ryoke, Kawaguchi-shi, Saitama F-term in Kawaguchi Plant of Toshiba Chemical Corporation (reference) 5E346 AA02 AA12 AA15 AA32 AA35 AA51 BB11 BB16 CC08 CC39 DD02 DD13 DD34 EE32 EE35 FF07 FF18 FF24 GG19 GG28 HH11 HH31

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 支持基体上に導電性ペーストで第1の配
線パターンを形成する工程と、 前記第1の配線パターンの隙間に絶縁材料を充填して、
前記第1の配線パターンが絶縁材料層内に貫挿された第
1の配線層を形成する工程と、 前記第1の配線層を研磨して平面状の表面を形成する工
程と、 前記第1の配線パターン上に導体バンプを形成する工程
と、 前記導体バンプ上に第1の絶縁層を形成する工程と、 前記第1の絶縁層表面を研磨して前記導体バンプ頭部を
露出させる工程と、 前記第1の絶縁層の前記導体バンプ頭部露出部上に導電
性ペーストで第2の配線パターンを形成する工程と、 前記第2の配線パターンの隙間に絶縁材料を充填して、
前記第2の配線パターンが絶縁材料層内に貫挿された第
2の配線層を形成する工程と、 を具備するプリント配線基板の製造方法。
A step of forming a first wiring pattern with a conductive paste on a support base; and filling an insulating material in a gap between the first wiring patterns.
A step of forming a first wiring layer in which the first wiring pattern is inserted into an insulating material layer; a step of polishing the first wiring layer to form a planar surface; Forming a conductive bump on the wiring pattern; forming a first insulating layer on the conductive bump; polishing the surface of the first insulating layer to expose the head of the conductive bump; Forming a second wiring pattern with a conductive paste on the exposed portion of the conductor bump head of the first insulating layer; filling an insulating material into a gap between the second wiring patterns;
Forming a second wiring layer in which the second wiring pattern is inserted into an insulating material layer.
【請求項2】 (ア)支持基体上に導電性ペーストで一
の配線パターンを形成する工程と、 (イ)前記一の配線パターンの隙間に絶縁材料を充填し
て、前記一の配線パターンが絶縁材料層内に貫挿された
一の配線層を形成する工程と、 (ウ)前記一の配線層を研磨して平面状の表面を形成す
る工程と、 (エ)前記一の配線パターン上に導体バンプを形成する
工程と、 (オ)前記導体バンプ上に一の絶縁層を形成する工程
と、 (カ)前記一の絶縁層表面を研磨して前記導体バンプ頭
部を露出させる工程と、 (キ)前記一の絶縁層の前記導体バンプ頭部露出部上に
導電性ペーストでもう一つの配線パターンを形成する工
程と、 (ク)前記もう一つの配線パターンの隙間に絶縁材料を
充填して、前記もう一つの配線パターンが絶縁材料層内
に貫挿されたもう一つの配線層を形成する工程と、 (ケ)前記もう一つの配線層を研磨して平面状の表面を
形成する工程とを具備し、所定段数の積層体が得られる
まで引き続き上記(エ)〜(ケ)の工程を繰り返すこと
を特徴とするプリント配線基板の製造方法。
2. A step of forming one wiring pattern with a conductive paste on a supporting base; and 2. A filling of an insulating material into a gap between the one wiring pattern to form the one wiring pattern. A step of forming one wiring layer penetrated into the insulating material layer; (c) a step of polishing the one wiring layer to form a planar surface; (E) forming one insulating layer on the conductive bump; and (f) polishing the surface of the one insulating layer to expose the head of the conductive bump. (G) forming another wiring pattern with a conductive paste on the exposed portion of the conductive bump head of the one insulating layer; and (h) filling a gap between the another wiring pattern with an insulating material. Then, the another wiring pattern penetrates through the insulating material layer. Forming another wiring layer, and (g) polishing the other wiring layer to form a planar surface. The above steps are continued until a predetermined number of stacked layers is obtained. A method for manufacturing a printed wiring board, wherein the steps (d) to (g) are repeated.
【請求項3】 請求項1又は2に記載のプリント配線基
板の製造方法であって、前記絶縁層を形成する工程が、
絶縁基板前駆体を位置決めして重ね合わせた後に加熱プ
レスする工程であることを特徴とするプリント配線基板
の製造方法。
3. The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 1, wherein the step of forming the insulating layer comprises:
A method for manufacturing a printed wiring board, comprising a step of heating and pressing after positioning and overlapping an insulating substrate precursor.
【請求項4】 請求項1又は2に記載のプリント配線基
板の製造方法であって、前記絶縁層を形成する工程が、
液状又はフィルム状の絶縁材料組成物を塗布又は被着す
る工程であることを特徴とするプリント配線基板の製造
方法。
4. The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 1, wherein the step of forming the insulating layer comprises:
A method for producing a printed wiring board, which is a step of applying or applying a liquid or film-like insulating material composition.
【請求項5】 導電性ペーストで形成された第1の配線
パターンが絶縁材料層内に貫挿された第1の配線層と、 導電性ペーストで形成された第2の配線パターンが絶縁
材料層内に貫挿された第2の配線層と、 前記第1の配線層と前記第2の配線層との間に介挿され
た絶縁層と、 前記絶縁層内に貫挿され、前記第1の配線パターンと前
記第2の配線パターンとを電気的に接続する導体バンプ
とを具備するプリント配線基板。
5. A first wiring layer in which a first wiring pattern formed of a conductive paste is inserted into an insulating material layer, and a second wiring pattern formed of a conductive paste is formed of an insulating material layer. A second wiring layer inserted into the first wiring layer, an insulating layer inserted between the first wiring layer and the second wiring layer, and a first wiring layer inserted into the insulating layer; A printed wiring board, comprising: a conductive bump electrically connecting the wiring pattern to the second wiring pattern.
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