JP2002361144A - 液体材料吐出装置 - Google Patents
液体材料吐出装置Info
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- JP2002361144A JP2002361144A JP2001169558A JP2001169558A JP2002361144A JP 2002361144 A JP2002361144 A JP 2002361144A JP 2001169558 A JP2001169558 A JP 2001169558A JP 2001169558 A JP2001169558 A JP 2001169558A JP 2002361144 A JP2002361144 A JP 2002361144A
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/741—Apparatus for manufacturing means for bonding, e.g. connectors
- H01L24/743—Apparatus for manufacturing layer connectors
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
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- H01L2224/743—Apparatus for manufacturing layer connectors
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 シリンジの内部圧力を迅速に所定値とするこ
とを可能とし、稼働率の向上及び吐出精度の向上を図っ
たディスペンサを提供する。 【解決手段】 液体材料を内部に保持して液体材料を吐
出するための吐出口を有するシリンジ４と、圧力媒体を
シリンジ内部に供給する供給器と、供給器からシリンジ
内部に圧力媒体を導入する媒体導入系と、媒体導入系途
中に配置されてシリンジ内部に供給される圧力媒体の圧
力を制御する圧力制御部２とからなる液体材料吐出装置
１であって、シリンジと圧力制御部とが一体となって駆
動される。
とを可能とし、稼働率の向上及び吐出精度の向上を図っ
たディスペンサを提供する。 【解決手段】 液体材料を内部に保持して液体材料を吐
出するための吐出口を有するシリンジ４と、圧力媒体を
シリンジ内部に供給する供給器と、供給器からシリンジ
内部に圧力媒体を導入する媒体導入系と、媒体導入系途
中に配置されてシリンジ内部に供給される圧力媒体の圧
力を制御する圧力制御部２とからなる液体材料吐出装置
１であって、シリンジと圧力制御部とが一体となって駆
動される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術の分野】本発明は、ペースト状の材
料、接着剤等の粘性流体を含む液体材料を、対象物に対
して吐出し、塗布、注入、充填、あるいは点滴を行う装
置及び方法に関する。より詳細には、液体材料の吐出装
置であるディスペンサから吐出される当該液体材料の体
積の精密な制御を可能とし、所望の体積の液体材料を対
象物に対して吐出等行う装置及び方法に関する。
料、接着剤等の粘性流体を含む液体材料を、対象物に対
して吐出し、塗布、注入、充填、あるいは点滴を行う装
置及び方法に関する。より詳細には、液体材料の吐出装
置であるディスペンサから吐出される当該液体材料の体
積の精密な制御を可能とし、所望の体積の液体材料を対
象物に対して吐出等行う装置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、電子部品を製造する工程におい
て、所定の微少体積の液体材料を対象物に対して吐出
し、塗布等する液体材料吐出装置として、例えば図２に
示す構成を有するディスペンサ１０１が用いられてい
る。図に示す如く、ディスペンサ１０１は、液体材料１
１０を内部に保持するシリンジ１０４、シリンジ１０４
内部に加圧空気を供給するチューブ１０５、加圧空気の
圧力を制御する圧力制御部１０２、液体材料１１０の温
度を検出する温度センサ１０９、および当該温度を制御
する温度制御部１０８から構成される。
て、所定の微少体積の液体材料を対象物に対して吐出
し、塗布等する液体材料吐出装置として、例えば図２に
示す構成を有するディスペンサ１０１が用いられてい
る。図に示す如く、ディスペンサ１０１は、液体材料１
１０を内部に保持するシリンジ１０４、シリンジ１０４
内部に加圧空気を供給するチューブ１０５、加圧空気の
圧力を制御する圧力制御部１０２、液体材料１１０の温
度を検出する温度センサ１０９、および当該温度を制御
する温度制御部１０８から構成される。
【０００３】ディスペンサ１０１においては、液体材料
１１０に対して加圧空気を介して加えられる圧力とその
加圧時間とを制御することで、吐出させる液体の体積を
制御している。一般的には、シリンジ１０４の内部をチ
ューブ１０５および圧力制御部１０２の内部に設けられ
たバルブ１１２を介して、所定の圧力を有する外部の圧
力空気源１１１と接続し、このバルブ１１２を解放する
時間によって加圧時間の制御を行っている。さらにバル
ブ１１２とシリンジ１０４との間に減圧弁１１３を設置
し、この減圧弁１１３を用いてシリンジ１０４内部に付
加される圧力を制御している。また、シリンジ１０４の
内部等の温度は、温度センサ１０９、温度制御部１０８
および温度調節装置１１４により一定温度の保持がなさ
れている。
１１０に対して加圧空気を介して加えられる圧力とその
加圧時間とを制御することで、吐出させる液体の体積を
制御している。一般的には、シリンジ１０４の内部をチ
ューブ１０５および圧力制御部１０２の内部に設けられ
たバルブ１１２を介して、所定の圧力を有する外部の圧
力空気源１１１と接続し、このバルブ１１２を解放する
時間によって加圧時間の制御を行っている。さらにバル
ブ１１２とシリンジ１０４との間に減圧弁１１３を設置
し、この減圧弁１１３を用いてシリンジ１０４内部に付
加される圧力を制御している。また、シリンジ１０４の
内部等の温度は、温度センサ１０９、温度制御部１０８
および温度調節装置１１４により一定温度の保持がなさ
れている。
【０００４】ここで、シリンジ１０４の下方先端に設け
られた開口１０４ａに存在する液体材料に加えられる吐
出圧力は、加圧空気によって付加される圧力とシリンジ
１０４内部の液体材料１１０の重量により付加される圧
力とからなる。一定体積の液体材料を吐出するために
は、開口１０４ａに存在する液体材料に対して一定の吐
出圧力が付加されなければならない。従って、液体材料
が減少し、シリンジ１０４内部の液体材料１１０の総重
量が減少した場合、一定の吐出圧力を開口１０４ａに加
えるためにはその重量減少分に応じた圧力を付加する必
要がある。
られた開口１０４ａに存在する液体材料に加えられる吐
出圧力は、加圧空気によって付加される圧力とシリンジ
１０４内部の液体材料１１０の重量により付加される圧
力とからなる。一定体積の液体材料を吐出するために
は、開口１０４ａに存在する液体材料に対して一定の吐
出圧力が付加されなければならない。従って、液体材料
が減少し、シリンジ１０４内部の液体材料１１０の総重
量が減少した場合、一定の吐出圧力を開口１０４ａに加
えるためにはその重量減少分に応じた圧力を付加する必
要がある。
【０００５】ただし、空気の体積は加えられた圧力に対
して弾性的に収縮し、かつその収縮にある程度の経過時
間を要するという特性がある。さらには、液体材料の粘
性等によって、例えばシリンジ１０４の内面に液体材料
が付着するなどして、加圧空気による圧力がシリンジ１
０４の下方以外の方向に分散してかかる場合も生じう
る。このため、単純に液体材料の減少分に応じた圧力を
付加するのみでは、実際にシリンジ開口１０４ａに所定
の圧力が加えられなくなり、ディスペンサ１０１より吐
出される体積が想定した値と異なる場合が生じうる。
して弾性的に収縮し、かつその収縮にある程度の経過時
間を要するという特性がある。さらには、液体材料の粘
性等によって、例えばシリンジ１０４の内面に液体材料
が付着するなどして、加圧空気による圧力がシリンジ１
０４の下方以外の方向に分散してかかる場合も生じう
る。このため、単純に液体材料の減少分に応じた圧力を
付加するのみでは、実際にシリンジ開口１０４ａに所定
の圧力が加えられなくなり、ディスペンサ１０１より吐
出される体積が想定した値と異なる場合が生じうる。
【０００６】従来技術においては、各種液体材料につい
ての、吐出体積に対してのシリンジ１０４内の液体材料
１１０の残量と供給空気の圧力との関係をあらかじめ得
て、その関係から吐出体積を一定にするための圧力の補
正計数を求めることとし、その補正計数に応じて随時空
気の圧力を制御することで一定量の液体材料の吐出を可
能としている。また、これら補正計数は、各種液体材料
の、種々の温度域についてすなわち種々の粘度での関係
があらかじめ求められ、実吐出体積を安定させるために
用いられている。
ての、吐出体積に対してのシリンジ１０４内の液体材料
１１０の残量と供給空気の圧力との関係をあらかじめ得
て、その関係から吐出体積を一定にするための圧力の補
正計数を求めることとし、その補正計数に応じて随時空
気の圧力を制御することで一定量の液体材料の吐出を可
能としている。また、これら補正計数は、各種液体材料
の、種々の温度域についてすなわち種々の粘度での関係
があらかじめ求められ、実吐出体積を安定させるために
用いられている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来においては、例え
ば液体材料の注入時においても、吐出量に対するシリン
ジ１０４内の液体材料１１０の残量と加圧空気による圧
力との関係を求め、その結果によりえた補正計数を用い
て実際に加える圧力の値および加圧時間を制御すること
で、充填される液体材料の体積の制御は可能であった。
また、吐出作業を数回行う毎に実吐出体積を測定し、そ
の測定結果に応じて圧力の大きさおよび加圧時間を調整
することで充填される液体材料の体積の制御を行うこと
も可能であった。
ば液体材料の注入時においても、吐出量に対するシリン
ジ１０４内の液体材料１１０の残量と加圧空気による圧
力との関係を求め、その結果によりえた補正計数を用い
て実際に加える圧力の値および加圧時間を制御すること
で、充填される液体材料の体積の制御は可能であった。
また、吐出作業を数回行う毎に実吐出体積を測定し、そ
の測定結果に応じて圧力の大きさおよび加圧時間を調整
することで充填される液体材料の体積の制御を行うこと
も可能であった。
【０００８】しかしながら、上記半導体チップの小型化
に代表されるように、一回の液体材料の吐出工程におい
て要求される実吐出体積は、近年ますます微少化しつつ
ある。具体的には、従来であれば、重量にして０．１ｍ
ｇレベルに応じた実吐出体積が制御されれば十分であっ
たものが、精度的に一桁以上高い０．０１ｍｇ以上の精
度に応じた実吐出体積の制御が要求されつつある。この
要求に対して、上述のあらかじめ求めた補正計数によっ
て圧力値等を調整する方法による場合には、シリンジ１
０４内部の圧力を極微少な量だけ変化させることが可能
であれば、上記所要の精度を得ることも可能である。
に代表されるように、一回の液体材料の吐出工程におい
て要求される実吐出体積は、近年ますます微少化しつつ
ある。具体的には、従来であれば、重量にして０．１ｍ
ｇレベルに応じた実吐出体積が制御されれば十分であっ
たものが、精度的に一桁以上高い０．０１ｍｇ以上の精
度に応じた実吐出体積の制御が要求されつつある。この
要求に対して、上述のあらかじめ求めた補正計数によっ
て圧力値等を調整する方法による場合には、シリンジ１
０４内部の圧力を極微少な量だけ変化させることが可能
であれば、上記所要の精度を得ることも可能である。
【０００９】ここで、現状のディスペンサの構成に着目
すると、圧力空気源１１１、バルブ１１２及び減圧弁１
１３とシリンジ１０４との間は可撓性のチューブ１０５
により繋がれており、このチューブ１０５は装置構成上
かなりの長さを有している。バルブ１１２の開閉により
シリンジ１０４内部の空気を加圧しようとした場合、ま
ずこのチューブ１０５の内部圧が上昇し、それに伴って
シリンジ１０４内部の圧力が上昇することとなる。ま
た、このチューブ１０５は、一般的にはビニールチュー
ブ等の材質から成り、その内部圧力の変化により弾性変
形をする。
すると、圧力空気源１１１、バルブ１１２及び減圧弁１
１３とシリンジ１０４との間は可撓性のチューブ１０５
により繋がれており、このチューブ１０５は装置構成上
かなりの長さを有している。バルブ１１２の開閉により
シリンジ１０４内部の空気を加圧しようとした場合、ま
ずこのチューブ１０５の内部圧が上昇し、それに伴って
シリンジ１０４内部の圧力が上昇することとなる。ま
た、このチューブ１０５は、一般的にはビニールチュー
ブ等の材質から成り、その内部圧力の変化により弾性変
形をする。
【００１０】従って、シリンジ１０４の内部圧力が所定
値に達するまでには、チューブ１０５の弾性変形とその
後の内部圧力の上昇に要する一定の経過時間を必要とす
ることとなる。この経過時間は、装置に許容される処理
時間が充分にある場合はそれほど問題とはならないが、
処理時間を縮め、稼働率の向上を図る上では大きな問題
となる。また、シリンジ１０４内部の圧力が定常状態と
なるまでの経過時間において、経過時間中のどの部分で
吐出工程を行うかによって、吐出量の精度も低下する恐
れがある。
値に達するまでには、チューブ１０５の弾性変形とその
後の内部圧力の上昇に要する一定の経過時間を必要とす
ることとなる。この経過時間は、装置に許容される処理
時間が充分にある場合はそれほど問題とはならないが、
処理時間を縮め、稼働率の向上を図る上では大きな問題
となる。また、シリンジ１０４内部の圧力が定常状態と
なるまでの経過時間において、経過時間中のどの部分で
吐出工程を行うかによって、吐出量の精度も低下する恐
れがある。
【００１１】また、一般的には、対象物に対して液体材
料を吐出する場合、シリンジあるいは対象物の何れかを
ＸＹ方向（所定の面内）で移動させ、吐出位置を特定
後、シリンジ開口４ａを対象物に近づける操作が必要と
なる。この場合、シリンジを移動させる構成とした場合
には、チューブの長さをシリンジ稼働範囲以上とする必
要があり、装置構成上チューブの長さを縮めることは困
難であった。
料を吐出する場合、シリンジあるいは対象物の何れかを
ＸＹ方向（所定の面内）で移動させ、吐出位置を特定
後、シリンジ開口４ａを対象物に近づける操作が必要と
なる。この場合、シリンジを移動させる構成とした場合
には、チューブの長さをシリンジ稼働範囲以上とする必
要があり、装置構成上チューブの長さを縮めることは困
難であった。
【００１２】本発明は、上記課題に鑑みてなされてもの
であり、シリンジの内部圧力を迅速に所定値とすること
が可能となるディスペンサを提供することを目的とし、
装置稼働率の向上及び吐出精度の向上を図ろうとするも
のである。
であり、シリンジの内部圧力を迅速に所定値とすること
が可能となるディスペンサを提供することを目的とし、
装置稼働率の向上及び吐出精度の向上を図ろうとするも
のである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係る液体材料吐出装置は、液体材料を内部
に保持して液体材料を吐出するための吐出口を有するシ
リンジと、圧力媒体をシリンジ内部に供給する供給器
と、供給器から前記シリンジ内部に圧力媒体を導入する
媒体導入系と、媒体導入系途中に配置されてシリンジ内
部に供給される圧力媒体の圧力を制御する圧力制御部と
からなる液体材料吐出装置であって、シリンジと圧力制
御部とが一体となって駆動されることを特徴としてい
る。
に、本発明に係る液体材料吐出装置は、液体材料を内部
に保持して液体材料を吐出するための吐出口を有するシ
リンジと、圧力媒体をシリンジ内部に供給する供給器
と、供給器から前記シリンジ内部に圧力媒体を導入する
媒体導入系と、媒体導入系途中に配置されてシリンジ内
部に供給される圧力媒体の圧力を制御する圧力制御部と
からなる液体材料吐出装置であって、シリンジと圧力制
御部とが一体となって駆動されることを特徴としてい
る。
【００１４】
【実施例】本発明の実施例の詳細について、図１を例と
して以下に説明する。図中、液体材料吐出装置であるデ
ィスペンサ１は、液体材料１０を内部に保持するシリン
ジ４、シリンジ４内部に加圧空気を供給するチューブ
５、加圧空気の一次側圧力を制御する圧力制御部２、液
体材料１０の温度を検出すると共に当該温度を制御する
温度制御部８から構成される。基本構成に関しては、図
２に示す従来のディスペンその構成を類似するため、そ
れぞれの構成要素の説明については、ここでは省略す
る。
して以下に説明する。図中、液体材料吐出装置であるデ
ィスペンサ１は、液体材料１０を内部に保持するシリン
ジ４、シリンジ４内部に加圧空気を供給するチューブ
５、加圧空気の一次側圧力を制御する圧力制御部２、液
体材料１０の温度を検出すると共に当該温度を制御する
温度制御部８から構成される。基本構成に関しては、図
２に示す従来のディスペンその構成を類似するため、そ
れぞれの構成要素の説明については、ここでは省略す
る。
【００１５】本発明に於けるディスペンサと従来のそれ
と異なる構成は、具体的にはシリンジ４近傍に配置され
た圧力制御部としての精密レギュレータ１５である。圧
力制御部２には、その内部にバルブ１２が設けられ、こ
のバルブ１２を介して、所定の圧力を有する外部の圧力
空気源１１から導入される空気の圧力を一次圧として制
御し、圧力制御後の空気が精密レギュレータ１５に導入
される。精密レギュレータ１５においては、所望される
吐出量に応じて、シリンジ４内部に付加される二次圧力
が、圧力制御部２とは独立して制御される。
と異なる構成は、具体的にはシリンジ４近傍に配置され
た圧力制御部としての精密レギュレータ１５である。圧
力制御部２には、その内部にバルブ１２が設けられ、こ
のバルブ１２を介して、所定の圧力を有する外部の圧力
空気源１１から導入される空気の圧力を一次圧として制
御し、圧力制御後の空気が精密レギュレータ１５に導入
される。精密レギュレータ１５においては、所望される
吐出量に応じて、シリンジ４内部に付加される二次圧力
が、圧力制御部２とは独立して制御される。
【００１６】ここで、本発明に用いる精密レギュレータ
１５としては、例えば、藤倉ゴム工業株式会社より販売
されるステッピングモータ起動式精密レギュレータＲＳ
・Ｍ／Ｓシリーズ（不図示）が好適である。当該レギュ
レータは、ステッピングモータによって、その二次圧力
を高精度に制御することを可能としている。また、ステ
ッピングモータ本体がレギュレータと一体化されてお
り、レギュレータ本体の容積も非常に小さく構成されて
いる。なお、このステッピングモータは、不図示のコン
トローラによって、二次圧力に応じて制御される。
１５としては、例えば、藤倉ゴム工業株式会社より販売
されるステッピングモータ起動式精密レギュレータＲＳ
・Ｍ／Ｓシリーズ（不図示）が好適である。当該レギュ
レータは、ステッピングモータによって、その二次圧力
を高精度に制御することを可能としている。また、ステ
ッピングモータ本体がレギュレータと一体化されてお
り、レギュレータ本体の容積も非常に小さく構成されて
いる。なお、このステッピングモータは、不図示のコン
トローラによって、二次圧力に応じて制御される。
【００１７】この精密レギュレータを用いることによ
り、シリンジ４の近傍にレギュレータ１５を配置するこ
とが可能となり、二次圧力が付加されるチューブ５ａを
従来の構成に対して極端に短くすることが可能となる。
さらに、シリンジ４が固定される不図示の駆動部にレギ
ュレータ１５も同様に固定し、シリンジと一体で駆動す
ることが可能となる。このことは、チューブ５を、それ
ほど可撓性が要求されない例えばテフロン（登録商標）
製、あるいは可撓性を有さないステンレス製のチューブ
等へ変更することを可能とし、二次圧力を減衰させる要
因の一つを無くすことが可能となる。
り、シリンジ４の近傍にレギュレータ１５を配置するこ
とが可能となり、二次圧力が付加されるチューブ５ａを
従来の構成に対して極端に短くすることが可能となる。
さらに、シリンジ４が固定される不図示の駆動部にレギ
ュレータ１５も同様に固定し、シリンジと一体で駆動す
ることが可能となる。このことは、チューブ５を、それ
ほど可撓性が要求されない例えばテフロン（登録商標）
製、あるいは可撓性を有さないステンレス製のチューブ
等へ変更することを可能とし、二次圧力を減衰させる要
因の一つを無くすことが可能となる。
【００１８】また、シリンジ４及びその内部は、一般的
に使用時においては加熱あるいは冷却されている。チュ
ーブ５に対してテフロン製等のチューブの使用が可能と
なることにより、レギュレータ１５とシリンジ４との間
での圧力媒体の温度管理も可能となる。これにより、圧
力媒体の熱膨張等の影響を低減し、高精度にシリンジ４
内部の圧力を制御することが可能となる。
に使用時においては加熱あるいは冷却されている。チュ
ーブ５に対してテフロン製等のチューブの使用が可能と
なることにより、レギュレータ１５とシリンジ４との間
での圧力媒体の温度管理も可能となる。これにより、圧
力媒体の熱膨張等の影響を低減し、高精度にシリンジ４
内部の圧力を制御することが可能となる。
【００１９】なお、精密レギュレータ１５は上記例示に
限定されない。すなわち、精密レギュレータ１５は、ス
テッピングモータ等により当該レギュレータ後方の二次
圧を高精度に制御可能なものであれば良く。また、用い
る精密レギュレータ１５として、極力容積が小さいも
の、あるいはシリンジ４近傍に当該レギュレータを配置
する上でその形状が適当なものであれば良い。
限定されない。すなわち、精密レギュレータ１５は、ス
テッピングモータ等により当該レギュレータ後方の二次
圧を高精度に制御可能なものであれば良く。また、用い
る精密レギュレータ１５として、極力容積が小さいも
の、あるいはシリンジ４近傍に当該レギュレータを配置
する上でその形状が適当なものであれば良い。
【００２０】また、本実施例においては、精密レギュレ
ータ１５と共に圧力制御部２を設けているが、圧力空気
源１１において一次圧の制御が可能である場合には、圧
力制御部２を除いても良い。また、本実施例においては
圧力媒体として空気を用いているが、液体材料の特性に
応じて、窒素、アルゴン等の不活性ガスを用いることと
しても良い。
ータ１５と共に圧力制御部２を設けているが、圧力空気
源１１において一次圧の制御が可能である場合には、圧
力制御部２を除いても良い。また、本実施例においては
圧力媒体として空気を用いているが、液体材料の特性に
応じて、窒素、アルゴン等の不活性ガスを用いることと
しても良い。
【００２１】
【本発明の効果】本発明によれば、ディスペンサにおけ
る精密レギュレータをシリンジ近傍に配置することによ
り、シリンジの内部圧力を迅速に所定値とすることが可
能となる。さらに、迅速かつ高精度な圧力制御が可能と
なることにより、装置稼働率の向上及び吐出精度の向上
が図れる。
る精密レギュレータをシリンジ近傍に配置することによ
り、シリンジの内部圧力を迅速に所定値とすることが可
能となる。さらに、迅速かつ高精度な圧力制御が可能と
なることにより、装置稼働率の向上及び吐出精度の向上
が図れる。
【図１】本発明に係る液体材料吐出システムの概略構成
を示す図である。
を示す図である。
【図２】従来技術における液体材料吐出システムの概略
構成を示す図である。
構成を示す図である。
１、１０１ ディスペンサ、 ２、１０２ 圧力制御部、 ４、１０４ シリンジ、 ４ａ シリンジ開口 ５、１０５ チューブ ５ａ チューブ ８、１０８ 温度制御部、 ９、１０９ 温度センサ、 １０、１１０ 液体材料、 １１、１１１ 圧力空気源、 １２、１１２ バルブ、 １３、１１３ 減圧弁、 １４、１１４ 温度調節装置、 １５ 精密レギュレータ、
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中山 正一 東京都中央区日本橋一丁目13番１号 ティ ーディーケイ株式会社内 Ｆターム(参考） 4F041 AA05 AB01 AB02 BA01 BA10 BA34 BA35 4F042 AA01 AA06 AA07 AB00 AB01 BA06 CA04 CA09 CB01 CB03 CB07 CB08 CB10 CB11 CB18 ED05 5F047 BA21 BB11 FA22
Claims (1)
- 【請求項１】 液体材料を内部に保持して前記液体材料
を吐出するための吐出口を有するシリンジと、圧力媒体
を前記シリンジ内部に供給する供給器と、前記供給器か
ら前記シリンジ内部に前記圧力媒体を導入する媒体導入
系と、前記媒体導入系途中に配置されて前記シリンジ内
部に供給される前記圧力媒体の圧力を制御する圧力制御
部とからなる液体材料吐出装置であって、前記シリンジ
と前記圧力制御部とが一体となって駆動されることを特
徴とする液体材料吐出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001169558A JP2002361144A (ja) | 2001-06-05 | 2001-06-05 | 液体材料吐出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001169558A JP2002361144A (ja) | 2001-06-05 | 2001-06-05 | 液体材料吐出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002361144A true JP2002361144A (ja) | 2002-12-17 |
Family
ID=19011616
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001169558A Pending JP2002361144A (ja) | 2001-06-05 | 2001-06-05 | 液体材料吐出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002361144A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009081218A (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-16 | Nec Corp | ダイボンディング方法及び装置 |
| JP2012129288A (ja) * | 2010-12-14 | 2012-07-05 | Canon Machinery Inc | 液体供給装置 |
| EP2438998A4 (en) * | 2009-06-03 | 2017-11-08 | Musashi Engineering, Inc. | Method and device for discharging a fixed amount of liquid |
-
2001
- 2001-06-05 JP JP2001169558A patent/JP2002361144A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009081218A (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-16 | Nec Corp | ダイボンディング方法及び装置 |
| EP2438998A4 (en) * | 2009-06-03 | 2017-11-08 | Musashi Engineering, Inc. | Method and device for discharging a fixed amount of liquid |
| JP2012129288A (ja) * | 2010-12-14 | 2012-07-05 | Canon Machinery Inc | 液体供給装置 |
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