JP2002357841A - 液晶パネルの製造方法および液晶パネルの製造装置 - Google Patents
液晶パネルの製造方法および液晶パネルの製造装置Info
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- JP2002357841A JP2002357841A JP2001164481A JP2001164481A JP2002357841A JP 2002357841 A JP2002357841 A JP 2002357841A JP 2001164481 A JP2001164481 A JP 2001164481A JP 2001164481 A JP2001164481 A JP 2001164481A JP 2002357841 A JP2002357841 A JP 2002357841A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 液晶パネル組立を真空貼り合せで行なう場合
には先ず上下ガラス基板を上下ステージに真空吸着す
る。次に真空チャンバー内で粗認識・アライメントをし
上下基板を軽く接触させる。この状態でさらに微認識・
アライメントをする際、上下ステージと基板との間で滑
ることがある。 【解決手段】 この問題を解決するために本発明の液晶
パネルの製造装置は、上下吸着ステージに基準ピン５
２，５４と基準バー５３，５５を有する。
には先ず上下ガラス基板を上下ステージに真空吸着す
る。次に真空チャンバー内で粗認識・アライメントをし
上下基板を軽く接触させる。この状態でさらに微認識・
アライメントをする際、上下ステージと基板との間で滑
ることがある。 【解決手段】 この問題を解決するために本発明の液晶
パネルの製造装置は、上下吸着ステージに基準ピン５
２，５４と基準バー５３，５５を有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は携帯電話、ビデオム
ービー、カーナビなどの画像表示装置として用いられる
液晶パネルの製造方法に関する。
ービー、カーナビなどの画像表示装置として用いられる
液晶パネルの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶パネル組立の真空貼り合せを
行う際に、上下基板を上下ステージに真空吸着のみで保
持していた。
行う際に、上下基板を上下ステージに真空吸着のみで保
持していた。
【０００３】以下に従来の液晶パネルの製造方法（従来
の真空貼り合わせ方法）について説明する。
の真空貼り合わせ方法）について説明する。
【０００４】図３、４は従来の真空貼り合わせを示すも
のである。
のである。
【０００５】図３において、１は支柱、２はベース、３
はシリンダー、４はフック、５は真空チャンバー上、６
は真空チャンバー下、７はスライドベアリング、８はス
ライドシャフト、９は締結ホルダー、１０はシリンダ
−、１１はフック、１２は上吸着ステージ、１３はサー
ボモーター、１４は取り付けブラケット、１５はジョイ
ント、１６はボールネジ、１７はボールネジ用ナット、
１８は認識カメラ、１９はステージ用真空ポンプ、２０
はチャンバー用真空ポンプ、２１は上基板、２２は下基
板、２３はリフトピン、２４はプレート、２５はシリン
ダー、である。
はシリンダー、４はフック、５は真空チャンバー上、６
は真空チャンバー下、７はスライドベアリング、８はス
ライドシャフト、９は締結ホルダー、１０はシリンダ
−、１１はフック、１２は上吸着ステージ、１３はサー
ボモーター、１４は取り付けブラケット、１５はジョイ
ント、１６はボールネジ、１７はボールネジ用ナット、
１８は認識カメラ、１９はステージ用真空ポンプ、２０
はチャンバー用真空ポンプ、２１は上基板、２２は下基
板、２３はリフトピン、２４はプレート、２５はシリン
ダー、である。
【０００６】図４において２６は下吸着ステージ、２７
は球面ベアリング、２８はブラケット、２９はローラブ
ラケット、３０はローラ、３１はテーパブロック、３２
はボールネジ、３３はブロックガイド、３４はブラケッ
ト、３５はサーボモータ、３６はブラケット、３７は圧
縮バネ、３８はブラケット、３９はボールネジ、４０は
ローラブラケット、４１はローラ、４２はテーパブロッ
ク、４３はブロックガイド、４４はローラブラケット、
４５はローラ、４６はテーパブロック、４７はブロック
ガイド、４８はブラケット、４９はサーボモータ、５０
はブラケット、５１は圧縮バネ、である。
は球面ベアリング、２８はブラケット、２９はローラブ
ラケット、３０はローラ、３１はテーパブロック、３２
はボールネジ、３３はブロックガイド、３４はブラケッ
ト、３５はサーボモータ、３６はブラケット、３７は圧
縮バネ、３８はブラケット、３９はボールネジ、４０は
ローラブラケット、４１はローラ、４２はテーパブロッ
ク、４３はブロックガイド、４４はローラブラケット、
４５はローラ、４６はテーパブロック、４７はブロック
ガイド、４８はブラケット、４９はサーボモータ、５０
はブラケット、５１は圧縮バネ、である。
【０００７】以上のように構成された真空貼り合わせの
ための液晶パネルの製造装置について、以下にその動作
について説明する。
ための液晶パネルの製造装置について、以下にその動作
について説明する。
【０００８】ベース２は支柱１の上に設置されている。
真空チャンバー上５はフック４を介してシリンダー３に
吊られ上下動作する。真空チャンバー上５は下降端で真
空チャンバー下６と密着し、真空槽を形成する。真空チ
ャンバー上６取り付けられたスライドベアリング７に、
上吸着ステージ１２がスライドシャフト８、締結ホルダ
ー９を介してガイドされている。上吸着ステージ１２は
フック１１を介してシリンダー１０によって自重軽減さ
れている。この際、上吸着ステージ１２はボールネジ用
ナット１７、ボールネジ１６、ジョイント１５を介し
て、取り付けブラケット１４に付いたサーボモータ１３
によって上下位置制御されている。
真空チャンバー上５はフック４を介してシリンダー３に
吊られ上下動作する。真空チャンバー上５は下降端で真
空チャンバー下６と密着し、真空槽を形成する。真空チ
ャンバー上６取り付けられたスライドベアリング７に、
上吸着ステージ１２がスライドシャフト８、締結ホルダ
ー９を介してガイドされている。上吸着ステージ１２は
フック１１を介してシリンダー１０によって自重軽減さ
れている。この際、上吸着ステージ１２はボールネジ用
ナット１７、ボールネジ１６、ジョイント１５を介し
て、取り付けブラケット１４に付いたサーボモータ１３
によって上下位置制御されている。
【０００９】先ず外部から供給された上基板２１は真空
ポンプ１９によって上吸着ステージ１２に吸着される。
真空チャンバー上５が下降して真空槽形成後、上吸着ス
テージ１２は上基板２１を真空吸着したまま、サーボモ
ータ１３によって下基板２２に近接し認識カメラ１８に
よって先ず粗認識・アライメントされる。ローラブラケ
ット２８に付いたローラ２９はブラケット３６に装着さ
れた圧縮バネ３７によってテーパブロック３１に密着し
ており、X方向アライメントはテーパブロック３１が指
令値に基づいて動くことで行われる。テーパブロック３
１はブラケット２８に取り付けられたボールネジ３２を
ブラケット３４に付いたサーボモータ３５が指令値に基
づく回転をさせることで動作する。Y方向についても同
様で、ローラブラケット４０、４４に付いたローラ４
１、４５はブラケット５０に装着された圧縮バネ５１に
よってテーパブロック４２、４６に密着しており、Y方
向アライメントはテーパブロック４２、４６が指令値に
基づいて動くことで行われる。テーパブロック４２、４
６はブラケット３８に取り付けられたボールネジ３９を
ブラケット４８に付いたサーボモータ４９が指令値に基
づく回転をさせることで動作する。
ポンプ１９によって上吸着ステージ１２に吸着される。
真空チャンバー上５が下降して真空槽形成後、上吸着ス
テージ１２は上基板２１を真空吸着したまま、サーボモ
ータ１３によって下基板２２に近接し認識カメラ１８に
よって先ず粗認識・アライメントされる。ローラブラケ
ット２８に付いたローラ２９はブラケット３６に装着さ
れた圧縮バネ３７によってテーパブロック３１に密着し
ており、X方向アライメントはテーパブロック３１が指
令値に基づいて動くことで行われる。テーパブロック３
１はブラケット２８に取り付けられたボールネジ３２を
ブラケット３４に付いたサーボモータ３５が指令値に基
づく回転をさせることで動作する。Y方向についても同
様で、ローラブラケット４０、４４に付いたローラ４
１、４５はブラケット５０に装着された圧縮バネ５１に
よってテーパブロック４２、４６に密着しており、Y方
向アライメントはテーパブロック４２、４６が指令値に
基づいて動くことで行われる。テーパブロック４２、４
６はブラケット３８に取り付けられたボールネジ３９を
ブラケット４８に付いたサーボモータ４９が指令値に基
づく回転をさせることで動作する。
【００１０】その後、上下基板を密着させた後、さらに
微認識・アライメント動作を行い、所定のアライメント
精度内に入ったことを確認した上でシリンダ−１０によ
って最終加圧を行う。
微認識・アライメント動作を行い、所定のアライメント
精度内に入ったことを確認した上でシリンダ−１０によ
って最終加圧を行う。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の真空貼り合わせのための製造装置およびこの装置
を用いた製造方法では、基板と吸着ステージ間の摩擦力
より上下基板間の摩擦力が大きい場合にはアライメント
しても基板はステージとの間で滑りを発生することか
ら、アライメントできないという問題点を有していた。
従来の真空貼り合わせのための製造装置およびこの装置
を用いた製造方法では、基板と吸着ステージ間の摩擦力
より上下基板間の摩擦力が大きい場合にはアライメント
しても基板はステージとの間で滑りを発生することか
ら、アライメントできないという問題点を有していた。
【００１２】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、高いアライメント精度と高速アライメントができる
ことを目的とする。
で、高いアライメント精度と高速アライメントができる
ことを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の真空貼り合わせは、上下ステージに基準ピ
ン、押さえバーを有する。
に本発明の真空貼り合わせは、上下ステージに基準ピ
ン、押さえバーを有する。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の液晶パ
ネルの製造方法は、液晶パネル組立を液晶滴下後真空貼
り合せで行う際、上基板と上ステージ、下基板と下ステ
ージを真空吸着で上下保持し、前記基板の高さ以内の基
準ピンおよび押さえバーで水平方向へのズレ防止するこ
とを特徴とする液晶パネルの製造方法である。
ネルの製造方法は、液晶パネル組立を液晶滴下後真空貼
り合せで行う際、上基板と上ステージ、下基板と下ステ
ージを真空吸着で上下保持し、前記基板の高さ以内の基
準ピンおよび押さえバーで水平方向へのズレ防止するこ
とを特徴とする液晶パネルの製造方法である。
【００１５】また、本発明の請求項２に記載の液晶パネ
ルの製造装置は、液晶パネル組立を真空貼り合せで行う
工程で用いられる液晶パネルの製造装置であって、上基
板を真空吸着して保持する上ステージおよび下基板を真
空吸着して保持する下ステージに、前記それぞれの基板
の高さ以内の高さを有する基準ピンおよび押さえバーが
設けられ、前記基準ピンおよび押さえバーで前記上基板
および下基板の水平方向へのズレを防止することを特徴
とする液晶パネルの製造装置である。
ルの製造装置は、液晶パネル組立を真空貼り合せで行う
工程で用いられる液晶パネルの製造装置であって、上基
板を真空吸着して保持する上ステージおよび下基板を真
空吸着して保持する下ステージに、前記それぞれの基板
の高さ以内の高さを有する基準ピンおよび押さえバーが
設けられ、前記基準ピンおよび押さえバーで前記上基板
および下基板の水平方向へのズレを防止することを特徴
とする液晶パネルの製造装置である。
【００１６】以下、本発明の実施の形態について図面を
参照しながら詳細に説明する。
参照しながら詳細に説明する。
【００１７】図１は本発明の真空貼り合わせ工程で用い
られる液晶パネルの製造装置を示す図であり、図２は、
押えバーの構造を示す図である。従来例として先に説明
した図３と共通の部分は同じ符号を用いる。図１におい
て、２８はブラケット、２９はローラブラケット、３０
はローラ、３１はテーパブロック、３２はボールネジ、
３３はブロックガイド、３４はブラケット、３５はサー
ボモータ、３６はブラケット、３７は圧縮バネ、３８は
ブラケット、３９はボールネジ、４０はローラブラケッ
ト、４１はローラ、４２はテーパブロック、４３はブロ
ックガイド、４４はローラブラケット、４５はローラ、
４６はテーパブロック、４７はブロックガイド、４８は
ブラケット、４９はサーボモータ、５０はブラケット、
５１は圧縮バネ、であり、以上は従来例として説明した
図３と共通である。本発明の５２は上基準ピン、５３は
上押さえバー、５４は上基準ピン、５５は上押さえバ
ー、また、図２において５６はガイド溝、５７はガイド
ブロック、５８はシリンダー、５９はブラケット、６０
はフローティングジョイント、６１はシリンダー、６２
はベース、である。
られる液晶パネルの製造装置を示す図であり、図２は、
押えバーの構造を示す図である。従来例として先に説明
した図３と共通の部分は同じ符号を用いる。図１におい
て、２８はブラケット、２９はローラブラケット、３０
はローラ、３１はテーパブロック、３２はボールネジ、
３３はブロックガイド、３４はブラケット、３５はサー
ボモータ、３６はブラケット、３７は圧縮バネ、３８は
ブラケット、３９はボールネジ、４０はローラブラケッ
ト、４１はローラ、４２はテーパブロック、４３はブロ
ックガイド、４４はローラブラケット、４５はローラ、
４６はテーパブロック、４７はブロックガイド、４８は
ブラケット、４９はサーボモータ、５０はブラケット、
５１は圧縮バネ、であり、以上は従来例として説明した
図３と共通である。本発明の５２は上基準ピン、５３は
上押さえバー、５４は上基準ピン、５５は上押さえバ
ー、また、図２において５６はガイド溝、５７はガイド
ブロック、５８はシリンダー、５９はブラケット、６０
はフローティングジョイント、６１はシリンダー、６２
はベース、である。
【００１８】上記のように構成された真空貼り合わせに
ついて、以下その動作を説明する。なお、図３と共通す
る部材に関する動作は同じである。
ついて、以下その動作を説明する。なお、図３と共通す
る部材に関する動作は同じである。
【００１９】ローラブラケット２８に付いたローラ２９
はブラケット３６に装着された圧縮バネ３７によってテ
ーパブロック３１に密着しており、X方向アライメント
はテーパブロック３１が指令値に基づいて動くことで行
われる。テーパブロック３１はブラケット２８に取り付
けられたボールネジ３２をブラケット３４に付いたサー
ボモータ３５が指令値に基づく回転をさせることで動作
する。Ｙ方向についても同様で、ローラブラケット４
０、４４に付いたローラ４１、４５はブラケット５０に
装着された圧縮バネ５１によってテーパブロック４２、
４６に密着しており、Y方向アライメントはテーパブロ
ック４２、４６が指令値に基づいて動くことで行われ
る。テーパブロック４２、４６はブラケット３８に取り
付けられたボールネジ３９をブラケット４８に付いたサ
ーボモータ４９が指令値に基づく回転をさせることで動
作する。
はブラケット３６に装着された圧縮バネ３７によってテ
ーパブロック３１に密着しており、X方向アライメント
はテーパブロック３１が指令値に基づいて動くことで行
われる。テーパブロック３１はブラケット２８に取り付
けられたボールネジ３２をブラケット３４に付いたサー
ボモータ３５が指令値に基づく回転をさせることで動作
する。Ｙ方向についても同様で、ローラブラケット４
０、４４に付いたローラ４１、４５はブラケット５０に
装着された圧縮バネ５１によってテーパブロック４２、
４６に密着しており、Y方向アライメントはテーパブロ
ック４２、４６が指令値に基づいて動くことで行われ
る。テーパブロック４２、４６はブラケット３８に取り
付けられたボールネジ３９をブラケット４８に付いたサ
ーボモータ４９が指令値に基づく回転をさせることで動
作する。
【００２０】その後、上下基板を密着させた後、さらに
微認識・アライメント動作を行う。
微認識・アライメント動作を行う。
【００２１】この際、たとえ上下基板間の摩擦力が大き
くても上ステージに取り付けられた４つの上基準ピン５
２、２つの上押さえバー５３によって上基板が上ステー
ジとの間で滑ることはない。上押さえバー５３はガイド
溝５６とガイドブロック５７にガイドされてフローティ
ングジョイント６０を介してシリンダー６１によって前
後する。前進端でブラケット５９に取り付けられたシリ
ンダー５８の下降で上押さえバー５３はガイド溝のＶ字
で前後不動にロックされる。
くても上ステージに取り付けられた４つの上基準ピン５
２、２つの上押さえバー５３によって上基板が上ステー
ジとの間で滑ることはない。上押さえバー５３はガイド
溝５６とガイドブロック５７にガイドされてフローティ
ングジョイント６０を介してシリンダー６１によって前
後する。前進端でブラケット５９に取り付けられたシリ
ンダー５８の下降で上押さえバー５３はガイド溝のＶ字
で前後不動にロックされる。
【００２２】下ステージについても同様で４つの下基準
ピン５４と２つの下押さえバー５５によって下基板が下
ステージとの間で滑ることはない。下押さえバー５５の
動作も上押さえバー同様であり、所定のアライメント精
度内に入ったことを確認した上でシリンダ−１０によっ
て最終加圧を行う。
ピン５４と２つの下押さえバー５５によって下基板が下
ステージとの間で滑ることはない。下押さえバー５５の
動作も上押さえバー同様であり、所定のアライメント精
度内に入ったことを確認した上でシリンダ−１０によっ
て最終加圧を行う。
【００２３】
【発明の効果】以上のように、本発明は微認識・アライ
メントで上下基板のズレを合わせ込む過程で基板に基準
ピンおよび押さえバーを接触させた後、ステージと基板
が一体動作するので、指令値通りに基板がアライメント
動作する。そこで高いアライメント精度と高速アライメ
ント（＝最短回数でのアライメント）が実現できる。
メントで上下基板のズレを合わせ込む過程で基板に基準
ピンおよび押さえバーを接触させた後、ステージと基板
が一体動作するので、指令値通りに基板がアライメント
動作する。そこで高いアライメント精度と高速アライメ
ント（＝最短回数でのアライメント）が実現できる。
【図１】本発明の実施の形態における液晶パネルの製造
装置を示す図
装置を示す図
【図２】本発明の実施の形態における液晶パネルの製造
装置の押えバーの構造を説明する図
装置の押えバーの構造を説明する図
【図３】従来の液晶パネルの製造装置を示す図
【図４】従来の液晶パネルの製造装置を示す図
１ 支柱 ２ ベース ３ シリンダー ４ フック ５ 真空チャンバー上 ６ 真空チャンバー下 ７ スライドベアリング ８ スライドシャフト ９ 締結ホルダー １０ シリンダー １１ フック １２ 上吸着ステージ １３ サーボモータ １４ 取り付けブラケット １５ ジョイント １６ ボールネジ １７ ボールネジ用ナット １８ 認識カメラ １９ ステージ用真空ポンプ ２０ チャンバー用真空ポンプ ２１ 上基板 ２２ 下基板 ２３ リフトピン ２４ プレート ２５ シリンダー ２６ 下吸着ステージ ２７ 球面ベアリング ２８ ブラケット ２９ ローラブラケット ３０ ローラ ３１ テーパブロック ３２ ボールネジ ３３ ブロックガイド ３４ ブラケット ３５ サーボモ−タ ３６ ブラケット ３７ 圧縮バネ ３８ ブラケット ３９ ボールネジ ４０ ローラブラケット ４１ ローラ ４２ テーパブロック ４３ ブロックガイド ４４ ローラブラケット ４５ ローラ ４６ テーパブロック ４７ ブロックガイド ４８ ブラケット ４９ サーボモータ ５０ ブラケット ５１ 圧縮バネ ５２ 上基準ピン ５３ 上押さえバー ５４ 下基準ピン ５５ 下押さえバー ５６ ガイド溝 ５７ ガイドブロック ５８ シリンダー ５９ シリンダーブロック ６０ フローティングジョイント ６１ シリンダー ６２ ベース
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 酒井 直人 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 2H088 FA01 FA09 FA16 FA30 HA01 MA20 2H089 NA22 NA38 NA49 NA60 QA12 TA01
Claims (2)
- 【請求項１】液晶パネル組立を液晶滴下後真空貼り合せ
で行う際、上基板と上ステージ、下基板と下ステージを
真空吸着で上下保持し、前記基板の高さ以内の基準ピン
および押さえバーで水平方向へのズレ防止することを特
徴とする液晶パネルの製造方法。 - 【請求項２】液晶パネル組立を真空貼り合せで行う工程
で用いられる液晶パネルの製造装置であって、 上基板を真空吸着して保持する上ステージおよび下基板
を真空吸着して保持する下ステージに、前記それぞれの
基板の高さ以内の高さを有する基準ピンおよび押さえバ
ーが設けられ、前記基準ピンおよび押さえバーで前記上
基板および下基板の水平方向へのズレを防止することを
特徴とする液晶パネルの製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001164481A JP2002357841A (ja) | 2001-05-31 | 2001-05-31 | 液晶パネルの製造方法および液晶パネルの製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001164481A JP2002357841A (ja) | 2001-05-31 | 2001-05-31 | 液晶パネルの製造方法および液晶パネルの製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002357841A true JP2002357841A (ja) | 2002-12-13 |
Family
ID=19007297
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001164481A Pending JP2002357841A (ja) | 2001-05-31 | 2001-05-31 | 液晶パネルの製造方法および液晶パネルの製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002357841A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5797863B1 (ja) * | 2015-05-29 | 2015-10-21 | オリジン電気株式会社 | 接合部材製造装置及び接合部材の製造方法 |
| CN107357094A (zh) * | 2017-08-16 | 2017-11-17 | 武汉华星光电技术有限公司 | 液晶滴下装置及液晶喷洒装置 |
-
2001
- 2001-05-31 JP JP2001164481A patent/JP2002357841A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5797863B1 (ja) * | 2015-05-29 | 2015-10-21 | オリジン電気株式会社 | 接合部材製造装置及び接合部材の製造方法 |
| KR20160140374A (ko) | 2015-05-29 | 2016-12-07 | 오리진 일렉트릭 캄파니 리미티드 | 접합부재 제조장치 및 접합부재의 제조방법 |
| CN107357094A (zh) * | 2017-08-16 | 2017-11-17 | 武汉华星光电技术有限公司 | 液晶滴下装置及液晶喷洒装置 |
| CN107357094B (zh) * | 2017-08-16 | 2020-06-05 | 武汉华星光电技术有限公司 | 液晶滴下装置及液晶喷洒装置 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20061109 |