JP2002350804A - 液晶パネルの製造方法および液晶パネルの製造装置 - Google Patents
液晶パネルの製造方法および液晶パネルの製造装置Info
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- JP2002350804A JP2002350804A JP2001160295A JP2001160295A JP2002350804A JP 2002350804 A JP2002350804 A JP 2002350804A JP 2001160295 A JP2001160295 A JP 2001160295A JP 2001160295 A JP2001160295 A JP 2001160295A JP 2002350804 A JP2002350804 A JP 2002350804A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 液晶パネル組立を真空貼り合せで行なう場合
には先ず上下ガラス基板を上下ステージに真空吸着す
る。次に真空チャンバー内で粗認識・アライメントをし
上下基板を軽く接触させる。この状態でさらに微認識・
アライメントをする際、吸着ステージと基板間で滑るこ
とがある。 【解決手段】 この目的を達成するために本発明の液晶
パネルの製造方法では、上下吸着ステージに基準片と基
準ピンを有する真空貼り合せ装置を用いる。
には先ず上下ガラス基板を上下ステージに真空吸着す
る。次に真空チャンバー内で粗認識・アライメントをし
上下基板を軽く接触させる。この状態でさらに微認識・
アライメントをする際、吸着ステージと基板間で滑るこ
とがある。 【解決手段】 この目的を達成するために本発明の液晶
パネルの製造方法では、上下吸着ステージに基準片と基
準ピンを有する真空貼り合せ装置を用いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は携帯電話、ビデオム
ービー、カーナビなどの画像表示装置として用いられる
液晶パネルの製造方法および液晶パネルの製造装置に関
する。
ービー、カーナビなどの画像表示装置として用いられる
液晶パネルの製造方法および液晶パネルの製造装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶パネル組立を真空槽内での貼
り合せで行う場合には、上下基板の保持を上下ステージ
に真空吸着することのみで行っていた。
り合せで行う場合には、上下基板の保持を上下ステージ
に真空吸着することのみで行っていた。
【０００３】以下に従来の液晶パネルの製造方法（従来
の真空貼り合わせ方法）について説明する。
の真空貼り合わせ方法）について説明する。
【０００４】図２、３は従来の真空貼り合わせを示すも
のである。（但し図２は従来、本発明での共通図であ
る） 図２おいて、１は支柱、２はベース、３はシリンダー、
４はフック、５は真空チャンバー上、６は真空チャンバ
ー下、７はスライドベアリング、８はスライドシャフ
ト、９は締結ホルダー、１０はシリンダ−、１１はフッ
ク、１２は上吸着ステージ、１３はサーボモーター、１
４は取り付けブラケット、１５はジョイント、１６はボ
ールネジ、１７はボールネジ用ナット、１８は認識カメ
ラ、１９はステージ用真空ポンプ、２０はチャンバー用
真空ポンプ、２１は上基板、２２は下基板、２３はリフ
トピン、２４はプレート、２５はシリンダー、である。
のである。（但し図２は従来、本発明での共通図であ
る） 図２おいて、１は支柱、２はベース、３はシリンダー、
４はフック、５は真空チャンバー上、６は真空チャンバ
ー下、７はスライドベアリング、８はスライドシャフ
ト、９は締結ホルダー、１０はシリンダ−、１１はフッ
ク、１２は上吸着ステージ、１３はサーボモーター、１
４は取り付けブラケット、１５はジョイント、１６はボ
ールネジ、１７はボールネジ用ナット、１８は認識カメ
ラ、１９はステージ用真空ポンプ、２０はチャンバー用
真空ポンプ、２１は上基板、２２は下基板、２３はリフ
トピン、２４はプレート、２５はシリンダー、である。
【０００５】また、図３において、２６は下吸着ステー
ジ。２７は球面ベアリング、２８はブラケット、２９は
ローラブラケット、３０はローラ、３１はテーパブロッ
ク、３２はボールネジ、３３はブロックガイド、３４は
ブラケット、３５はサーボモータ、３６はブラケット、
３７は圧縮バネ、３８はブラケット、３９はボールネ
ジ、４０はローラブラケット、４１はローラ、４２はテ
ーパブロック、４３はブロックガイド、４４はローラブ
ラケット、４５はローラ、４６はテーパブロック、４７
はブロックガイド、４８はブラケット、４９はサーボモ
ータ、５０はブラケット、５１は圧縮バネ、である。
ジ。２７は球面ベアリング、２８はブラケット、２９は
ローラブラケット、３０はローラ、３１はテーパブロッ
ク、３２はボールネジ、３３はブロックガイド、３４は
ブラケット、３５はサーボモータ、３６はブラケット、
３７は圧縮バネ、３８はブラケット、３９はボールネ
ジ、４０はローラブラケット、４１はローラ、４２はテ
ーパブロック、４３はブロックガイド、４４はローラブ
ラケット、４５はローラ、４６はテーパブロック、４７
はブロックガイド、４８はブラケット、４９はサーボモ
ータ、５０はブラケット、５１は圧縮バネ、である。
【０００６】以上のように構成された真空貼り合わせに
ついて、以下にその動作について説明する。
ついて、以下にその動作について説明する。
【０００７】ベース２は支柱１の上に設置されている。
真空チャンバー上５はフック４を介してシリンダー３に
吊られ上下動作する。真空チャンバー上５は下降端で真
空チャンバー下６と密着し、真空槽を形成する。真空チ
ャンバー上５に、取り付けられたスライドベアリング７
に、上吸着ステージ１２がスライドシャフト８、締結ホ
ルダー９を介してガイドされている。上吸着ステージ１
２はフック１１を介してシリンダー１０によって自重軽
減されている。
真空チャンバー上５はフック４を介してシリンダー３に
吊られ上下動作する。真空チャンバー上５は下降端で真
空チャンバー下６と密着し、真空槽を形成する。真空チ
ャンバー上５に、取り付けられたスライドベアリング７
に、上吸着ステージ１２がスライドシャフト８、締結ホ
ルダー９を介してガイドされている。上吸着ステージ１
２はフック１１を介してシリンダー１０によって自重軽
減されている。
【０００８】この際、上吸着ステージ１２はボールネジ
用ナット１７、ボールネジ１６、ジョイント１５を介し
て、取り付けブラケット１４に付いたサーボモータ１３
によって上下位置制御されている。先ず外部から供給さ
れたガラス基板２１は真空ポンプ１９によって上吸着ス
テージ１２に吸着される。真空チャンバー上５が下降し
て真空槽形成後、上吸着ステージ１２は上基板２１を真
空吸着したまま、サーボモータ１３によって下基板２２
に近接し認識カメラ１８によって先ず粗認識・アライメ
ントされる。
用ナット１７、ボールネジ１６、ジョイント１５を介し
て、取り付けブラケット１４に付いたサーボモータ１３
によって上下位置制御されている。先ず外部から供給さ
れたガラス基板２１は真空ポンプ１９によって上吸着ス
テージ１２に吸着される。真空チャンバー上５が下降し
て真空槽形成後、上吸着ステージ１２は上基板２１を真
空吸着したまま、サーボモータ１３によって下基板２２
に近接し認識カメラ１８によって先ず粗認識・アライメ
ントされる。
【０００９】ローラブラケット２８に付いたローラ２９
はブラケット３６に装着された圧縮バネ３７によってテ
ーパブロック３１に密着しており、X方向アライメント
はテーパブロック３１が指令値に基づいて動くことで行
われる。このテーパブロック３１はブラケット２８に取
り付けられたボールネジ３２をブラケット３４に付いた
サーボモータ３５が指令値に基づく回転をさせることで
動作する。Y方向についても同様で、ローラブラケット
４０、４４に付いたローラ４１、４５はブラケット５０
に装着された圧縮バネ５１によってテーパブロック４
２、４６に密着しており、Y方向アライメントはテーパ
ブロック４２、４６が指令値に基づいて動くことで行わ
れる。
はブラケット３６に装着された圧縮バネ３７によってテ
ーパブロック３１に密着しており、X方向アライメント
はテーパブロック３１が指令値に基づいて動くことで行
われる。このテーパブロック３１はブラケット２８に取
り付けられたボールネジ３２をブラケット３４に付いた
サーボモータ３５が指令値に基づく回転をさせることで
動作する。Y方向についても同様で、ローラブラケット
４０、４４に付いたローラ４１、４５はブラケット５０
に装着された圧縮バネ５１によってテーパブロック４
２、４６に密着しており、Y方向アライメントはテーパ
ブロック４２、４６が指令値に基づいて動くことで行わ
れる。
【００１０】テーパブロック４２、４６はブラケット３
８に取り付けられたボールネジ３９をブラケット４８に
付いたサーボモータ４９が指令値に基づく回転をさせる
ことで動作する。
８に取り付けられたボールネジ３９をブラケット４８に
付いたサーボモータ４９が指令値に基づく回転をさせる
ことで動作する。
【００１１】その後、上下基板を密着させた後、さらに
微認識・アライメント動作を行い、所定のアライメント
精度内に入ったことを確認した上でシリンダ−１０によ
って最終加圧を行う。
微認識・アライメント動作を行い、所定のアライメント
精度内に入ったことを確認した上でシリンダ−１０によ
って最終加圧を行う。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の液晶パネルの製造方法における、真空貼り合わせ
方法では、基板と吸着ステージ間の摩擦力より上下基板
間の摩擦力が大きい場合にはアライメントしても基板は
ステージとの間で滑りを発生することから、アライメン
トできないという問題点を有していた。
従来の液晶パネルの製造方法における、真空貼り合わせ
方法では、基板と吸着ステージ間の摩擦力より上下基板
間の摩擦力が大きい場合にはアライメントしても基板は
ステージとの間で滑りを発生することから、アライメン
トできないという問題点を有していた。
【００１３】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、高いアライメント精度と高速アライメントができる
液晶パネルの製造方法および、製造装置を提供すること
を目的とする。
で、高いアライメント精度と高速アライメントができる
液晶パネルの製造方法および、製造装置を提供すること
を目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の液晶パネルの製造方法では、上下基板の真空
貼り合わせは、上下ステージに基準片および基準ピンが
設けられた上下ステージを用いて真空貼り合せを行う。
に本発明の液晶パネルの製造方法では、上下基板の真空
貼り合わせは、上下ステージに基準片および基準ピンが
設けられた上下ステージを用いて真空貼り合せを行う。
【００１５】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１記載の液晶パネ
ルの製造方法は、液晶滴下後、上下一対の基板を貼り合
せて液晶パネルの組み立てを行う液晶パネルの製造方法
であって、基準片および基準ピンが設けられた上下ステ
ージのそれぞれに前記上下一対の基板のそれぞれの基板
を真空吸着して保持し、貼り合せを行うことを特徴とす
る液晶パネルの製造方法である また、本発明の請求項２に記載の液晶パネルの製造装置
は、上下一対の基板のそれぞれを真空吸着する上下ステ
ージを備える液晶パネルの製造装置であって、前記上下
ステージのそれぞれのステージに基準片および基準ピン
を備える液晶パネルの製造装置である。
ルの製造方法は、液晶滴下後、上下一対の基板を貼り合
せて液晶パネルの組み立てを行う液晶パネルの製造方法
であって、基準片および基準ピンが設けられた上下ステ
ージのそれぞれに前記上下一対の基板のそれぞれの基板
を真空吸着して保持し、貼り合せを行うことを特徴とす
る液晶パネルの製造方法である また、本発明の請求項２に記載の液晶パネルの製造装置
は、上下一対の基板のそれぞれを真空吸着する上下ステ
ージを備える液晶パネルの製造装置であって、前記上下
ステージのそれぞれのステージに基準片および基準ピン
を備える液晶パネルの製造装置である。
【００１６】以下、本発明の実施の形態について図面を
参照しながら詳細に説明する。
参照しながら詳細に説明する。
【００１７】本発明の真空貼り合わせでは、従来例とし
て先に説明した図２の部分は同じである。（但し、従来
例においては、図中記載の◎部分のみ無い） 図１は、本発明の実施の形態である、液晶パネル組み立
て工程の液晶パネルの真空貼り合せの際に用いられる液
晶パネルの製造装置を示す図である。この図１において
２８はブラケット、２９はローラブラケット、３０はロ
ーラ、３１はテーパブロック、３２はボールネジ、３３
はブロックガイド、３４はブラケット、３５はサーボモ
ータ、３６はブラケット、３７は圧縮バネ、３８はブラ
ケット、３９はボールネジ、４０はローラブラケット、
４１はローラ、４２はテーパブロック、４３はブロック
ガイド、４４はローラブラケット、４５はローラ、４６
はテーパブロック、４７はブロックガイド、４８はブラ
ケット、４９はサーボモータ、５０はブラケット、５１
は圧縮バネ、以上は従来例として説明した図３と同じで
あるが、本実施の形態では、５２は上基準片、５３は上
基準ピン、５４は下基準片、５５は下基準ピン、であ
る。
て先に説明した図２の部分は同じである。（但し、従来
例においては、図中記載の◎部分のみ無い） 図１は、本発明の実施の形態である、液晶パネル組み立
て工程の液晶パネルの真空貼り合せの際に用いられる液
晶パネルの製造装置を示す図である。この図１において
２８はブラケット、２９はローラブラケット、３０はロ
ーラ、３１はテーパブロック、３２はボールネジ、３３
はブロックガイド、３４はブラケット、３５はサーボモ
ータ、３６はブラケット、３７は圧縮バネ、３８はブラ
ケット、３９はボールネジ、４０はローラブラケット、
４１はローラ、４２はテーパブロック、４３はブロック
ガイド、４４はローラブラケット、４５はローラ、４６
はテーパブロック、４７はブロックガイド、４８はブラ
ケット、４９はサーボモータ、５０はブラケット、５１
は圧縮バネ、以上は従来例として説明した図３と同じで
あるが、本実施の形態では、５２は上基準片、５３は上
基準ピン、５４は下基準片、５５は下基準ピン、であ
る。
【００１８】上記のように構成された液晶パネルの製造
装置について、以下その動作を説明する。（図２共通図
に関する動作は同じである。） ローラブラケット２８に付いたローラ２９はブラケット
３６に装着された圧縮バネ３７によってテーパブロック
３１に密着しており、X方向アライメントはテーパブロ
ック３１が指令値に基づいて動くことで行われる。テー
パブロック３１はブラケット２８に取り付けられたボー
ルネジ３２をブラケット３４に付いたサーボモータ３５
が指令値に基づく回転をさせることで動作する。Ｙ方向
についても同様で、ローラブラケット４０、４４に付い
たローラ４１、４５はブラケット５０に装着された圧縮
バネ５１によってテーパブロック４２、４６に密着して
おり、Y方向アライメントはテーパブロック４２、４６
が指令値に基づいて動くことで行われる。テーパブロッ
ク４２、４６はブラケット３８に取り付けられたボール
ネジ３９をブラケット４８に付いたサーボモータ４９が
指令値に基づく回転をさせることで動作する。
装置について、以下その動作を説明する。（図２共通図
に関する動作は同じである。） ローラブラケット２８に付いたローラ２９はブラケット
３６に装着された圧縮バネ３７によってテーパブロック
３１に密着しており、X方向アライメントはテーパブロ
ック３１が指令値に基づいて動くことで行われる。テー
パブロック３１はブラケット２８に取り付けられたボー
ルネジ３２をブラケット３４に付いたサーボモータ３５
が指令値に基づく回転をさせることで動作する。Ｙ方向
についても同様で、ローラブラケット４０、４４に付い
たローラ４１、４５はブラケット５０に装着された圧縮
バネ５１によってテーパブロック４２、４６に密着して
おり、Y方向アライメントはテーパブロック４２、４６
が指令値に基づいて動くことで行われる。テーパブロッ
ク４２、４６はブラケット３８に取り付けられたボール
ネジ３９をブラケット４８に付いたサーボモータ４９が
指令値に基づく回転をさせることで動作する。
【００１９】その後、上下基板を密着させた後、さらに
微認識・アライメント動作を行う。
微認識・アライメント動作を行う。
【００２０】この際、たとえ上下基板間の摩擦力が大き
くても上ステージに取り付けられた上基準ピン５２、上
基準片５３によって上基板が上ステージとの間で滑るこ
とはない。下ステージについても同様で下基準片５４と
下基準ピン５５によって下基板が下ステージとの間で滑
ることはない。所定のアライメント精度内に入ったこと
を確認した上でシリンダ−１０によって最終加圧を行
う。
くても上ステージに取り付けられた上基準ピン５２、上
基準片５３によって上基板が上ステージとの間で滑るこ
とはない。下ステージについても同様で下基準片５４と
下基準ピン５５によって下基板が下ステージとの間で滑
ることはない。所定のアライメント精度内に入ったこと
を確認した上でシリンダ−１０によって最終加圧を行
う。
【００２１】
【発明の効果】以上のように、本発明は微認識・アライ
メントで上下基板のズレを合わせ込む過程で基板と基準
片・基準ピンを接触させた後、ステージと基板が一体動
作するので、指令値通りに基板がアライメント動作す
る。そのため、高いアライメント精度と高速アライメン
ト（＝最短回数でのアライメント）が実現できる。
メントで上下基板のズレを合わせ込む過程で基板と基準
片・基準ピンを接触させた後、ステージと基板が一体動
作するので、指令値通りに基板がアライメント動作す
る。そのため、高いアライメント精度と高速アライメン
ト（＝最短回数でのアライメント）が実現できる。
【図１】本発明の実施の形態における液晶パネルの製造
装置を示す図
装置を示す図
【図２】液晶パネルの製造装置を示す図
【図３】従来の実施の形態における液晶パネルの製造装
置を示す図
置を示す図
１ 支柱 ２ ベース ３ シリンダー ４ フック ５ 真空チャンバー上 ６ 真空チャンバー下 ７ スライドベアリング ８ スライドシャフト ９ 締結ホルダー １０ シリンダー １１ フック １２ 上吸着ステージ １３ サーボモータ １４ 取り付けブラケット １５ ジョイント １６ ボールネジ １７ ボールネジ用ナット １８ 認識カメラ １９ ステージ用真空ポンプ ２０ チャンバー用真空ポンプ ２１ 上基板 ２２ 下基板 ２３ リフトピン ２４ プレート ２５ シリンダー ２６ 下吸着ステージ ２７ 球面ベアリング ２８ ブラケット ２９ ローラブラケット ３０ ローラ ３１ テーパブロック ３２ ボールネジ ３３ ブロックガイド ３４ ブラケット ３５ サーボモ−タ ３６ ブラケット ３７ 圧縮バネ ３８ ブラケット ３９ ボールネジ ４０ ローラブラケット ４１ ローラ ４２ テーパブロック ４３ ブロックガイド ４４ ローラブラケット ４５ ローラ ４６ テーパブロック ４７ ブロックガイド ４８ ブラケット ４９ サーボモータ ５０ ブラケット ５１ 圧縮バネ ５２ 上基準片 ５３ 上基準ピン ５４ 下基準片 ５５ 下基準ピン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H088 FA09 FA16 FA24 FA30 HA01 MA20 2H089 NA22 NA38 NA48 NA60 QA12 TA01 5G435 AA17 KK03 KK05 KK10 LL07
Claims (2)
- 【請求項１】液晶滴下後、上下一対の基板を貼り合せて
液晶パネルの組み立てを行う液晶パネルの製造方法であ
って、基準片および基準ピンが設けられた上下ステージ
のそれぞれに前記上下一対の基板のそれぞれの基板を真
空吸着して保持し、貼り合せを行うことを特徴とする液
晶パネルの製造方法。 - 【請求項２】上下一対の基板のそれぞれを真空吸着する
上下ステージを備える液晶パネルの製造装置であって、
前記上下ステージのそれぞれのステージに基準片および
基準ピンを備えることを特徴とする液晶パネルの製造装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001160295A JP2002350804A (ja) | 2001-05-29 | 2001-05-29 | 液晶パネルの製造方法および液晶パネルの製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001160295A JP2002350804A (ja) | 2001-05-29 | 2001-05-29 | 液晶パネルの製造方法および液晶パネルの製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002350804A true JP2002350804A (ja) | 2002-12-04 |
Family
ID=19003732
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001160295A Pending JP2002350804A (ja) | 2001-05-29 | 2001-05-29 | 液晶パネルの製造方法および液晶パネルの製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002350804A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100439991C (zh) * | 2005-09-27 | 2008-12-03 | 塔工程有限公司 | 用于分配器工作台的玻璃附着结构 |
-
2001
- 2001-05-29 JP JP2001160295A patent/JP2002350804A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100439991C (zh) * | 2005-09-27 | 2008-12-03 | 塔工程有限公司 | 用于分配器工作台的玻璃附着结构 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20061109 |