JP2002353511A - 樹脂マイクロレンズの製造方法 - Google Patents
樹脂マイクロレンズの製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の受発光素子基板上への樹脂マイクロレ
ンズの製造方法では半球状に満たない凸レンズしか製造
できず、収束力が不足して光量の利用効率が極めて低い
という問題点を生じていた。 【解決手段】 本発明により溶融と硬化とを光反応性熱
硬化樹脂によるレジスト膜２よりも適宜に比重の軽い液
体２３中で、且つ、受発光部１０ａを下向きとする状態
で行う樹脂マイクロレンズの製造方法とし、加えて、受
発光部１０ａの周縁には溶融した状態のレジスト膜２に
対し撥水性を有する部材で形成された略リング状の撥液
（水）部１を設けることで、ほぼ真球状のマイクロレン
ズを正確に受発光部１０ａに設けることを可能とし課題
を解決するものである。
ンズの製造方法では半球状に満たない凸レンズしか製造
できず、収束力が不足して光量の利用効率が極めて低い
という問題点を生じていた。 【解決手段】 本発明により溶融と硬化とを光反応性熱
硬化樹脂によるレジスト膜２よりも適宜に比重の軽い液
体２３中で、且つ、受発光部１０ａを下向きとする状態
で行う樹脂マイクロレンズの製造方法とし、加えて、受
発光部１０ａの周縁には溶融した状態のレジスト膜２に
対し撥水性を有する部材で形成された略リング状の撥液
（水）部１を設けることで、ほぼ真球状のマイクロレン
ズを正確に受発光部１０ａに設けることを可能とし課題
を解決するものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、受発光素子チップ
の受発光部、或いは、１枚の受発光素子基板上に複数の
受発光部が設けられる受発光素子アレイなどにおいて、
前記受発光部からの発光を放散させることなく効率よく
外部に取り出すために、或いは、外部から入射する光を
効率よく受光部に収束するように、前記受発光部に設け
られる樹脂マイクロレンズに関するものであり、詳細に
はその樹脂マイクロレンズの製造方法に係るものであ
る。
の受発光部、或いは、１枚の受発光素子基板上に複数の
受発光部が設けられる受発光素子アレイなどにおいて、
前記受発光部からの発光を放散させることなく効率よく
外部に取り出すために、或いは、外部から入射する光を
効率よく受光部に収束するように、前記受発光部に設け
られる樹脂マイクロレンズに関するものであり、詳細に
はその樹脂マイクロレンズの製造方法に係るものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の樹脂マイクロレンズ８０
の製造方法を示すものが図８〜図９であり、ここでは複
数の発光部９０ａが設けられているＬＥＤ基板９０に実
施するときの例で示す。まず、第一工程として、ホトリ
ソ（ホトリソグラフィ）法などでそれぞれの発光部９０
ａを覆うように、熱硬化性の透明部材によりホトレジス
ト膜９１を形成する。
の製造方法を示すものが図８〜図９であり、ここでは複
数の発光部９０ａが設けられているＬＥＤ基板９０に実
施するときの例で示す。まず、第一工程として、ホトリ
ソ（ホトリソグラフィ）法などでそれぞれの発光部９０
ａを覆うように、熱硬化性の透明部材によりホトレジス
ト膜９１を形成する。
【０００３】しかる後に、上記ホトレジスト膜９１をＬ
ＥＤ基板９０ともども、適宜な温度に加熱すると、この
ホトレジスト膜９１は一旦溶融し液状化し、図９に示す
ように表面張力により中高のレンズ状となり、この状態
を保ち更に加熱を継続すると、前記ホトレジスト膜９１
はレンズ形状として熱硬化するものとなる。
ＥＤ基板９０ともども、適宜な温度に加熱すると、この
ホトレジスト膜９１は一旦溶融し液状化し、図９に示す
ように表面張力により中高のレンズ状となり、この状態
を保ち更に加熱を継続すると、前記ホトレジスト膜９１
はレンズ形状として熱硬化するものとなる。
【０００４】よって、前記ホトレジスト膜９１を形成す
るときの発光部９０ａに対する位置精度、ホトレジスト
膜９１の形状および膜厚、更には加熱するときの温度な
どを精密に管理すれば、各発光部９０ａには均一な光学
特性の樹脂マイクロレンズ８０が備えられるものとな
る。従って、それぞれの発光部９０ａからの光は同じ条
件で収束するものとなり、均一性が要求されるＬＥＤプ
リンタの書き込みヘッドなどの用途に適するものとな
る。
るときの発光部９０ａに対する位置精度、ホトレジスト
膜９１の形状および膜厚、更には加熱するときの温度な
どを精密に管理すれば、各発光部９０ａには均一な光学
特性の樹脂マイクロレンズ８０が備えられるものとな
る。従って、それぞれの発光部９０ａからの光は同じ条
件で収束するものとなり、均一性が要求されるＬＥＤプ
リンタの書き込みヘッドなどの用途に適するものとな
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記し
た従来の樹脂マイクロレンズ８０の製造方法において
は、得られる樹脂マイクロレンズ８０の形状が、ホトレ
ジスト膜９１を形成する部材の表面張力による盛り上が
り以上の曲率は得られないものであり、結果的には半球
状以下の曲率となり焦点距離が長く、図１０に示すよう
に発光部９０ａからの光は樹脂マイクロレンズ８０によ
り収束は行われるものの、依然として放散光であり、例
えば光ファイバーなどに効率よく導入を行うことができ
ず、利用可能な光量は前記発光部９０ａからの発光量の
たかだか１０％程度となり、効率が低い問題点を生じて
いる。
た従来の樹脂マイクロレンズ８０の製造方法において
は、得られる樹脂マイクロレンズ８０の形状が、ホトレ
ジスト膜９１を形成する部材の表面張力による盛り上が
り以上の曲率は得られないものであり、結果的には半球
状以下の曲率となり焦点距離が長く、図１０に示すよう
に発光部９０ａからの光は樹脂マイクロレンズ８０によ
り収束は行われるものの、依然として放散光であり、例
えば光ファイバーなどに効率よく導入を行うことができ
ず、利用可能な光量は前記発光部９０ａからの発光量の
たかだか１０％程度となり、効率が低い問題点を生じて
いる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は前記した従来の
課題を解決するための具体的手段として、受発光素子基
板の発光部上に光反応性熱硬化樹脂の適量をホトリソ手
段により付着させ、この光反応性熱硬化樹脂を加熱する
ことで一旦溶融させて表面張力によりレンズ形状を得、
更に加熱を継続することで前記レンズ形状を保ち硬化さ
せて成る樹脂マイクロレンズの製造方法において、前記
溶融と硬化とを前記光反応性熱硬化樹脂よりも適宜に比
重の軽い液体中で、且つ、前記発光部を下向きとする状
態で行うことを特徴とする樹脂マイクロレンズの製造方
法を提供し、加えて、前記発光部の周縁には溶融した状
態の前記光反応性熱硬化樹脂に対し撥液（水）性を有す
る部材で形成された略リング状の撥液（水）部が適宜径
として形成されていることを特徴とする請求項１記載の
樹脂マイクロレンズの製造方法とすることで課題を解決
するものである。
課題を解決するための具体的手段として、受発光素子基
板の発光部上に光反応性熱硬化樹脂の適量をホトリソ手
段により付着させ、この光反応性熱硬化樹脂を加熱する
ことで一旦溶融させて表面張力によりレンズ形状を得、
更に加熱を継続することで前記レンズ形状を保ち硬化さ
せて成る樹脂マイクロレンズの製造方法において、前記
溶融と硬化とを前記光反応性熱硬化樹脂よりも適宜に比
重の軽い液体中で、且つ、前記発光部を下向きとする状
態で行うことを特徴とする樹脂マイクロレンズの製造方
法を提供し、加えて、前記発光部の周縁には溶融した状
態の前記光反応性熱硬化樹脂に対し撥液（水）性を有す
る部材で形成された略リング状の撥液（水）部が適宜径
として形成されていることを特徴とする請求項１記載の
樹脂マイクロレンズの製造方法とすることで課題を解決
するものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】つぎに、本発明を図に示す実施形
態に基づいて詳細に説明する。図１〜図５は本発明に係
る樹脂マイクロレンズの製造方法を工程の順に示すもの
であり、この実施形態においても受発光素子基板１０
は、図１に示すように１枚の基板上に複数の発光部（お
よび／または、受光部、以下、受発光部１０ａと称す
る）１０ａが設けられているものとして説明を行うが、
本発明はこれを限定するものではなく、１つの受（発）
光部１０ａのみが設けられている受光、或いは、発光基
板１０に対しても、当然に実施は可能である。
態に基づいて詳細に説明する。図１〜図５は本発明に係
る樹脂マイクロレンズの製造方法を工程の順に示すもの
であり、この実施形態においても受発光素子基板１０
は、図１に示すように１枚の基板上に複数の発光部（お
よび／または、受光部、以下、受発光部１０ａと称す
る）１０ａが設けられているものとして説明を行うが、
本発明はこれを限定するものではなく、１つの受（発）
光部１０ａのみが設けられている受光、或いは、発光基
板１０に対しても、当然に実施は可能である。
【０００８】図２は本発明に係る樹脂マイクロレンズの
製造方法の第一工程であり、この第一工程では、前記受
発光部１０ａの周縁を取り囲むリング状に、例えばフロ
ロカーボンなど撥液（水）性の高い部材で撥液（水）部
１を形成する。尚、前記撥液（水）部１の形成に当たっ
ては、不要部分にマスキングを行うなどして、撥液
（水）部１に所望の形状が得られるようにすればよい。
製造方法の第一工程であり、この第一工程では、前記受
発光部１０ａの周縁を取り囲むリング状に、例えばフロ
ロカーボンなど撥液（水）性の高い部材で撥液（水）部
１を形成する。尚、前記撥液（水）部１の形成に当たっ
ては、不要部分にマスキングを行うなどして、撥液
（水）部１に所望の形状が得られるようにすればよい。
【０００９】また、前記撥液（水）部１の形状は、この
実施形態ではリング状、もしくは、ドーナツ状と称され
ているような形状であるとして説明を行うが、本発明は
この形状を限定するものではなく、例えば楕円状、正方
形状、長方形状などとして受発光部１０ａを取り囲むも
のとしても良く、要は、要求される前記受発光部１０ａ
から放射光のビーム形状に沿うものとすれば良いもので
ある。
実施形態ではリング状、もしくは、ドーナツ状と称され
ているような形状であるとして説明を行うが、本発明は
この形状を限定するものではなく、例えば楕円状、正方
形状、長方形状などとして受発光部１０ａを取り囲むも
のとしても良く、要は、要求される前記受発光部１０ａ
から放射光のビーム形状に沿うものとすれば良いもので
ある。
【００１０】図３は本発明に係る樹脂マイクロレンズの
製造方法の第二工程であり、この第２工程では、前の第
一工程で周縁に前記撥液（水）部１が設けられた受発光
部１０ａに対応して光反応性熱硬化樹脂によるレジスト
膜２を形成する。そして、このときには、前記レジスト
膜２は前記受発光部１０ａに対する位置精度、および、
膜厚などは高い精度とすることが望ましいのでホトリソ
法により形成する。
製造方法の第二工程であり、この第２工程では、前の第
一工程で周縁に前記撥液（水）部１が設けられた受発光
部１０ａに対応して光反応性熱硬化樹脂によるレジスト
膜２を形成する。そして、このときには、前記レジスト
膜２は前記受発光部１０ａに対する位置精度、および、
膜厚などは高い精度とすることが望ましいのでホトリソ
法により形成する。
【００１１】図４は上記レジスト膜２をレンズ形状に加
工し、且つ、その形状を安定化させる第三工程であり、
この第三工程は図５に示すような浴槽２０によって行わ
れる。前記浴槽２０は加熱源であるホットプレート２１
上に溶液バット２２が設けられており、前記溶液バット
２２中には前記レジスト膜２よりも僅かに比重の軽く、
且つ、前記レジスト膜２が形成された光反応性熱硬化樹
脂よりも高沸点で、当該樹脂と化学反応をしない液体、
例えばシリコンオイル２３が入れてあり、従って、前記
シリコンオイル２が形成された２の温度は前記ホットプ
レート２１により自在に調整可能とされている。
工し、且つ、その形状を安定化させる第三工程であり、
この第三工程は図５に示すような浴槽２０によって行わ
れる。前記浴槽２０は加熱源であるホットプレート２１
上に溶液バット２２が設けられており、前記溶液バット
２２中には前記レジスト膜２よりも僅かに比重の軽く、
且つ、前記レジスト膜２が形成された光反応性熱硬化樹
脂よりも高沸点で、当該樹脂と化学反応をしない液体、
例えばシリコンオイル２３が入れてあり、従って、前記
シリコンオイル２が形成された２の温度は前記ホットプ
レート２１により自在に調整可能とされている。
【００１２】本発明では、前記受発光素子基板１０は前
記シリコンオイル２３中に浸漬された状態で加熱が行わ
れるものであり、このときに、前記基板１０は図４に示
すように受発光部１０ａを下向きとする状態でシリコン
オイル２３中に浸漬される。このようにすることで、前
記シリコンオイル２３に適宜な温度の加熱を行うと、或
いは、適宜な温度としたシリコンオイル２３中に基板１
０を浸漬すると、前記レジスト膜２には液化を生じるも
のとなる。
記シリコンオイル２３中に浸漬された状態で加熱が行わ
れるものであり、このときに、前記基板１０は図４に示
すように受発光部１０ａを下向きとする状態でシリコン
オイル２３中に浸漬される。このようにすることで、前
記シリコンオイル２３に適宜な温度の加熱を行うと、或
いは、適宜な温度としたシリコンオイル２３中に基板１
０を浸漬すると、前記レジスト膜２には液化を生じるも
のとなる。
【００１３】従って、もしも空気中で加熱が行われれ
ば、液化したレジスト膜２は当然に重力により滴下して
しまうものとなるが、本発明により液化が比重差の少な
いシリコンオイル２３中で行われているので、レンズ固
定部１０ｂに生じる接着力が重力に勝り滴下することは
なく、よって、前記レジスト膜２には表面張力により最
も表面積の少ない形状である球形状になろうとする力が
働くものとなる。
ば、液化したレジスト膜２は当然に重力により滴下して
しまうものとなるが、本発明により液化が比重差の少な
いシリコンオイル２３中で行われているので、レンズ固
定部１０ｂに生じる接着力が重力に勝り滴下することは
なく、よって、前記レジスト膜２には表面張力により最
も表面積の少ない形状である球形状になろうとする力が
働くものとなる。
【００１４】また、前記レジスト膜２が液化したこと
で、前記撥液（水）部１も前記レジスト膜２に対して撥
水作用を行うものとなり、液化したレジスト膜２をはじ
き、撥液（水）部１から離れるようにする。よって、前
記レジスト膜２は、前記受発光部１０ａ、および、近傍
の部分のみで基板１０と接続するものとなり、前記した
表面張力により、ますます真球状に近づくものとなる。
で、前記撥液（水）部１も前記レジスト膜２に対して撥
水作用を行うものとなり、液化したレジスト膜２をはじ
き、撥液（水）部１から離れるようにする。よって、前
記レジスト膜２は、前記受発光部１０ａ、および、近傍
の部分のみで基板１０と接続するものとなり、前記した
表面張力により、ますます真球状に近づくものとなる。
【００１５】この状態で、更に適宜にシリコンオイル２
３の温度を上昇させると、光反応性熱硬化樹脂で成るレ
ジスト膜２の熱硬化は促進され、上記の真球状の形状を
保ったままで完全硬化し、以後は形状は不変のものとな
るので、シリコンオイル２３中より取り出し、適宜な洗
浄手段などにより付着したシリコンオイル２３の除去な
どを行えば良いものとなる。
３の温度を上昇させると、光反応性熱硬化樹脂で成るレ
ジスト膜２の熱硬化は促進され、上記の真球状の形状を
保ったままで完全硬化し、以後は形状は不変のものとな
るので、シリコンオイル２３中より取り出し、適宜な洗
浄手段などにより付着したシリコンオイル２３の除去な
どを行えば良いものとなる。
【００１６】図６は、上記説明の工程により得られた樹
脂マイクロレンズ５付き受発光素子基板１０を示すもの
であり、上記の工程としたことで、それぞれの受発光部
１０ａに対応しては、同芯であり、同一寸法であり、且
つ、ほぼ真球状である樹脂マイクロレンズ５が設けられ
た受発光素子基板１０が得られるものとなる。
脂マイクロレンズ５付き受発光素子基板１０を示すもの
であり、上記の工程としたことで、それぞれの受発光部
１０ａに対応しては、同芯であり、同一寸法であり、且
つ、ほぼ真球状である樹脂マイクロレンズ５が設けられ
た受発光素子基板１０が得られるものとなる。
【００１７】よって、本発明の受発光素子基板１０にお
いては、樹脂マイクロレンズ５がほぼ真球状であること
で、受発光部１０ａから放射される光に対する収束効果
が高く、図７に示すように前記樹脂マイクロレンズ５の
適宜の前方に焦点ｆを結ぶものとなり、例えば光ファイ
バー中に光を導入する際には、受発光部１０ａから放射
される光のほぼ全量を使用可能なものとして、光束利用
効率を飛躍的に向上させる。
いては、樹脂マイクロレンズ５がほぼ真球状であること
で、受発光部１０ａから放射される光に対する収束効果
が高く、図７に示すように前記樹脂マイクロレンズ５の
適宜の前方に焦点ｆを結ぶものとなり、例えば光ファイ
バー中に光を導入する際には、受発光部１０ａから放射
される光のほぼ全量を使用可能なものとして、光束利用
効率を飛躍的に向上させる。
【００１８】また、上記の製造方法としたことで、個々
の樹脂マイクロレンズ５間においての寸法差、芯ズレな
どのバラツキもホトリソレベルで僅少であり、例えばＬ
ＥＤプリンタなどにおいて、前記した焦点位置をもって
感光体などに直接感光を行わせるときにも、感光体上に
形成されるドットの寸法差、位置差は少なく、文字、図
形などの高品位の印刷を可能とするものである。
の樹脂マイクロレンズ５間においての寸法差、芯ズレな
どのバラツキもホトリソレベルで僅少であり、例えばＬ
ＥＤプリンタなどにおいて、前記した焦点位置をもって
感光体などに直接感光を行わせるときにも、感光体上に
形成されるドットの寸法差、位置差は少なく、文字、図
形などの高品位の印刷を可能とするものである。
【００１９】
【発明の効果】以上に説明したように本発明により、受
発光素子基板の受発光部上に光反応性熱硬化樹脂の適量
をホトリソ手段により付着させ、この光反応性熱硬化樹
脂を加熱することで一旦溶融させて表面張力によりレン
ズ形状を得、更に加熱を継続することで前記レンズ形状
を保ち硬化させて成る樹脂マイクロレンズの製造方法に
おいて、前記溶融と硬化とを前記光反応性熱硬化樹脂よ
りも適宜に比重の軽い液体中で、且つ、前記受発光部を
下向きとする状態で行うことを特徴とする樹脂マイクロ
レンズの製造方法とし、加えて、前記受発光部の周縁に
は溶融した状態の前記光反応性熱硬化樹脂に対し撥水性
を有する部材で形成された略リング状の撥水部が適宜径
として形成されていることを特徴とする請求項１記載の
樹脂マイクロレンズの製造方法とすることで、真球状に
近く短焦点の樹脂マイクロレンズを精度良く受発光部に
設置することを可能とし、この種の樹脂マイクロレンズ
付き受発光素子基板の使用時の光束利用率を向上させる
と共に、精度も向上させ、性能向上に極めて優れた効果
を奏するものである。
発光素子基板の受発光部上に光反応性熱硬化樹脂の適量
をホトリソ手段により付着させ、この光反応性熱硬化樹
脂を加熱することで一旦溶融させて表面張力によりレン
ズ形状を得、更に加熱を継続することで前記レンズ形状
を保ち硬化させて成る樹脂マイクロレンズの製造方法に
おいて、前記溶融と硬化とを前記光反応性熱硬化樹脂よ
りも適宜に比重の軽い液体中で、且つ、前記受発光部を
下向きとする状態で行うことを特徴とする樹脂マイクロ
レンズの製造方法とし、加えて、前記受発光部の周縁に
は溶融した状態の前記光反応性熱硬化樹脂に対し撥水性
を有する部材で形成された略リング状の撥水部が適宜径
として形成されていることを特徴とする請求項１記載の
樹脂マイクロレンズの製造方法とすることで、真球状に
近く短焦点の樹脂マイクロレンズを精度良く受発光部に
設置することを可能とし、この種の樹脂マイクロレンズ
付き受発光素子基板の使用時の光束利用率を向上させる
と共に、精度も向上させ、性能向上に極めて優れた効果
を奏するものである。
【図１】 本発明に係る樹脂マイクロレンズを設置する
受発光素子基板を示す断面図である。
受発光素子基板を示す断面図である。
【図２】 本発明に係る樹脂マイクロレンズの製造方法
の第一工程を示す断面図である。
の第一工程を示す断面図である。
【図３】 同じく第二工程を示す断面図である。
【図４】 同じく第三工程を示す説明図である。
【図５】 第三工程に使用される浴槽を示す説明図であ
る。
る。
【図６】 本発明に係る樹脂マイクロレンズの製造方法
により得られる樹脂マイクロレンズ付き受発光素子基板
を示す断面図である。
により得られる樹脂マイクロレンズ付き受発光素子基板
を示す断面図である。
【図７】 本発明に係る樹脂マイクロレンズの製造方法
により得られる樹脂マイクロレンズ付き受発光素子基板
の性能を示す説明図である。
により得られる樹脂マイクロレンズ付き受発光素子基板
の性能を示す説明図である。
【図８】 従来例の第一工程を示す説明図である。
【図９】 従来例の第二工程を示す説明図である。
【図１０】 従来例のマイクロレンズ付き受発光素子基
板の性能を示す説明図である。
板の性能を示す説明図である。
１……撥液（水）部 ２……レジスト膜 ５……マイクロレンズ １０……受発光素子基板 １０ａ……受発光部 ２０……浴槽 ２１……ホットプレート ２２……バット ２３……シリコンオイル
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０４Ｎ 5/335 Ｈ０１Ｌ 31/02 Ｄ (72)発明者 田村 弘基 東京都八王子市北野台２−27−13 (72)発明者 平本 廣幸 東京都町田市成瀬台３−28−１ Ｆターム(参考） 4M118 AA10 GD04 GD06 5C024 CX41 CY47 EX24 EX43 5F041 AA06 CA73 EE11 5F088 EA02 EA20 JA12
Claims (2)
- 【請求項１】 受発光素子基板の受発光部上に光反応性
熱硬化樹脂の適量をホトリソ手段により付着させ、この
光反応性熱硬化樹脂を加熱することで一旦溶融させて表
面張力によりレンズ形状を得、更に加熱を継続すること
で前記レンズ形状を保ち硬化させて成る樹脂マイクロレ
ンズの製造方法において、前記溶融と硬化とを前記光反
応性熱硬化樹脂よりも適宜に比重の軽い液体中で、且
つ、前記受発光部を下向きとする状態で行うことを特徴
とする樹脂マイクロレンズの製造方法。 - 【請求項２】 前記受発光部の周縁には溶融した状態の
前記光反応性熱硬化樹脂に対し撥液（水）性を有する部
材で形成された略リング状の撥液（水）部が適宜径とし
て形成されていることを特徴とする請求項１記載の樹脂
マイクロレンズの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001156918A JP2002353511A (ja) | 2001-05-25 | 2001-05-25 | 樹脂マイクロレンズの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001156918A JP2002353511A (ja) | 2001-05-25 | 2001-05-25 | 樹脂マイクロレンズの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002353511A true JP2002353511A (ja) | 2002-12-06 |
Family
ID=19000859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001156918A Pending JP2002353511A (ja) | 2001-05-25 | 2001-05-25 | 樹脂マイクロレンズの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002353511A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006070791A1 (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-06 | Grapac Japan Co., Inc. | パターン形成方法及びパターン形成装置 |
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- 2001-05-25 JP JP2001156918A patent/JP2002353511A/ja active Pending
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