JP2002323485A - ガス中の炭化水素を検出する方法及び装置 - Google Patents

ガス中の炭化水素を検出する方法及び装置

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JP2002323485A JP2002027964A JP2002027964A JP2002323485A JP 2002323485 A JP2002323485 A JP 2002323485A JP 2002027964 A JP2002027964 A JP 2002027964A JP 2002027964 A JP2002027964 A JP 2002027964A JP 2002323485 A JP2002323485 A JP 2002323485A
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Air Liquide SA
LAir Liquide SA pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】酸素及びメタンとメタン以外の炭化水素を支配
的または実質的に含有したガス中のメタン以外の炭化水
素を検出する方法及び装置を提供する。 【解決手段】本発明は、酸素及びメタンとメタン以外の
炭化水素を支配的または実質的に含有したガス中の前記
メタン以外の炭化水素を検出する方法であって、前記ガ
ス中の炭化水素を纏めて検出して前記纏めて検出した炭
化水素に第1の値を与える段階と、前記メタン以外の炭
化水素を燃焼させる段階と、前記ガス中のメタンを検出
して第2の値を与える段階と、メタン以外の炭化水素の
量を前記第1の値と前記第2の値との差によって計算す
る段階とを含んだ方法に関する。また、本発明は、この
方法を実行するための装置に関する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】[技術分野及び従来技術]本発明は、酸素
を含有したまたは実質的に含有したガス、特には、不純
物,特には炭化水素不純物,とともに少なくとも95%
の酸素を含有し前記炭化水素が例えば200ppm未満
で存在しているガス中のメタン以外の炭化水素を検出す
る分野に関する。
【0002】また、本発明は、空気からガスを製造する
ユニットに関する。これは、これら製造ユニットの蒸発
器の液体酸素浴中での非メタン炭化水素の存在は、或る
濃度限界を超えた場合に爆発のリスクをもたらすためで
ある。これら限界は、製造ユニットのための運転指示書
で定義される。
【0003】これら炭化水素を識別及び及び検出するの
に現在使用されている手法は、一方ではクロマトグラフ
法であり、他方では赤外分光法(FTIR)である。
【0004】クロマトグラフ法は、非常に長い歳月にわ
たって使用されている手法である。それは、逐次的であ
り、幾つかの予め選択した炭化水素の識別及び検出のみ
を可能とする。クロマトグラフの投資及び維持費は高価
である。
【0005】赤外分光法は、クロマトグラフ法よりも効
果的ではあるが、予め選択されていない不純物を捜すた
めにはスペクトルの調査が必要であるので完全に包括的
(comprehensive)である訳ではない手法である。加え
て、その機器は高い投資を必要とする。
【0006】それゆえ、酸素を実質的に含有したガス中
のメタン以外の炭化水素の連続測定及び連続検出を可能
とする新規な方法及び新規な装置を見出すという問題が
生ずる。
【0007】また、従来の手法及び装置よりも使用が単
純であり且つ低コストの方法及び装置を見出すという問
題が生ずる。
【0008】また、酸素を実質的に含有したガス中のメ
タン以外の炭化水素,前記メタン以外の炭化水素はメタ
ンに対して数パーセントのオーダーの割合で存在してい
る,の連続測定及び連続検出を可能とする方法及び装置
を見出すという問題が生ずる。
【0009】また、蒸発器を具備した空気からガスを製
造するユニットの安全性を、蒸発器の酸素,それ自体は
メタンを例えば凡そ50ppmの濃度で含有し得る,中
の数ppm(例えば、5ppm未満)の濃度のガス状非
メタン炭化水素の連続的な包括的検出によって確実にす
るという問題が生ずる。
【0010】[本発明の陳述]本発明の主題は、まず第
一に、酸素中の或いは酸素を含有したまたは実質的に含
有したガス中のメタン以外の炭化水素を検出する方法
(前記酸素にはさらにメタンと前記メタン以外の炭化水
素とが混ざっている)であって、前記酸素中或いは前記
ガス中の炭化水素を纏めて検出して、前記纏めて検出し
た炭化水素に第1の値を与える段階と、前記メタン以外
の炭化水素を燃焼させる段階と、前記酸素中或いは前記
ガス中のメタンを検出して第2の値を与える段階と、好
ましくは、前記第1の値と前記第2の値との差によって
前記メタン以外の炭化水素の量を計算する段階とを含ん
だ方法である。
【0011】そのような方法は、メタン以外の炭化水素
の連続測定を実行することを可能とする。
【0012】前記検出する段階は、水素炎イオン化検出
器によって実行され得る。それゆえ、使用が単純であ
り、連続的に稼動し、正確であり、公知のシステムより
も高価でなく且つメンテナンスを必要としない検出シス
テムが製造される。
【0013】一態様によると、前記メタン以外の炭化水
素は、触媒中で灰化される。
【0014】加えて、混合物が空気中のH2:O2比に近
い或いはその比と同じオーダーのH 2:O2比を呈するよ
うに、水素が分析されるべき前記ガスに混合され得る。
【0015】前記触媒の温度は、好ましくは、前記ガス
中に存在する前記メタンの5%未満が灰化されるような
温度である。
【0016】また、本発明は、空気からガスを製造する
ユニットの蒸発器の液体酸素浴中のメタン以外の炭化水
素を検出する方法であって、前記浴からの液体酸素のサ
ンプルの抜き取りと、蒸発ガスを生成する前記液体酸素
の蒸発と、前記蒸発ガス中のメタン以外の炭化水素を検
出する上記のような方法とを含んだ方法に関する。
【0017】前記サンプルの抜き取りは、好ましくは、
液体を上げるポンプのパイプを用いて、或いは、リフト
タイプのサンプラによって実行され、それは、前記ガス
を迅速に採取すること及びそれゆえにそれぞれの時点で
分析されるべき前記混合物の適正に代表的なサンプルを
その瞬間に分析することを可能とする。
【0018】また、本発明は、上記の方法の実施に特に
適した、酸素及びメタンとメタン以外の炭化水素を支配
的または実質的に含有したガス中の前記メタン以外の炭
化水素を検出する装置であって、前記ガス中の炭化水素
を纏めて検出して前記纏めて検出した炭化水素に第1の
値を与える手段と、前記メタン以外の炭化水素を燃焼さ
せる手段と、メタンを検出する手段と、好ましくは、前
記第1の値と前記第2の値との差によって前記メタン以
外の炭化水素の量を計算するまたは計算するようにプロ
グラムされた手段とを具備した装置に関する。
【0019】また、本発明は、空気からガスを製造する
ユニットの蒸発器の液体酸素浴中のメタン以外の炭化水
素を検出する装置であって、前記浴から液体酸素のサン
プルを抜き取る手段と、前記液体酸素を蒸発させて蒸発
ガスを生成する手段と、上記の検出装置とを具備した装
置に関する。
【0020】前記蒸発ガス中のメタン以外の炭化水素の
濃度またはレベルが或る限界値を超えた場合にアラーム
を作動させる手段がさらに設けられ得る。
【0021】[図面の簡単な説明]本発明の特徴及び利
益は、以下の記載に照らすと、よりはっきりと明白にな
るであろう。この記載は、説明のために与えられ且つ制
限を含意することのない添付の図面を参照した実施例に
関し、そこで、図1は本発明の実施例を示し、図2は本
発明のコンテクストにおいて使用され得る検出器の構造
を示し、図3は酸素中の非メタン炭化水素の応答テスト
を示し、図4(a)乃至図6(b)は酸素及び炭化水素
の混合物について実行された様々な試行を示し、図7及
び図8は液体酸素浴からサンプルを抜き取り且つ分析す
る装置を示している。
【0022】[本発明の態様の詳細な説明]本発明の実
施例は図1に与えられる。
【0023】この図において、参照符号2は、酸素でま
たは実質的に酸素で構成された或いは酸素をまたは実質
的に酸素を含有し且つ炭化水素不純物を例えば100p
pmまたは50ppmまたは数10ppmのオーダーの
レベルで含んだ測定されるべきガスの引入口を示してい
る。
【0024】それら炭化水素不純物は、一方ではメタン
を及び他方ではガス状非メタン炭化水素を含んでいても
よい。一例によると、メタンは凡そ50ppmのレベル
で存在し、ガス状非メタン炭化水素は5ppmのオーダ
ーのレベルで存在する。
【0025】他の不純物,特には窒素やアルゴン,がさ
らに存在し得るが、そのガスは実質的に酸素を少なくと
も95%、好ましくは少なくとも99%または99.5
%含む。
【0026】炭化水素のみが200ppmのレベルで存
在している場合、そのガスは99.98%の酸素を含
む。
【0027】参照番号10は、本発明に係る分析システ
ムを示している。
【0028】測定されるべきガスは、弁4を経由し、触
媒6,それはガス状非メタン炭化水素の灰化を可能とす
る(HCnMまたはCH4測定モード),を越えた後に
検出器8を越えて搬送されるか、或いは、直接に検出器
8を越えて搬送される。二番目のケースでは、全ての炭
化水素が検出され(総炭化水素またはHCTまたはHC
T測定モード)、検出器は炭化水素の総量を表す信号S
Tを送る。一番目のケースでは、メタンのみが検出器に
至り、それはメタンの総量を表す信号S4を送る。それ
ら信号の処理,例えば信号処理し且つ計算する数値的手
段7を用いた,は、その後、ST−S4の引き算によ
り、ガス状非メタン炭化水素についての測定を導出する
ことを可能とする。
【0029】ガス状非メタン炭化水素の燃焼に使用され
得る触媒は、ゼオライトタイプ(アルミナや他のタイプ
など)の吸収剤上に堆積した金属酸化物または金属酸化
物の混合物,その金属酸化物は、MnO2(酸化マンガ
ン)、CuO及びCu2O(酸化銅)、ZrO2(酸化ジ
ルコニウム)などであってもよい,や、ゼオライトタイ
プ(アルミナや他のタイプなど)の吸収剤上に堆積した
貴金属または貴金属の混合物,その金属は、例えばPt
(プラチナ)やNi(ニッケル)やRh(ロジウム)で
あってもよい,であってもよい。
【0030】また、PtやNiのガーゼ、スポンジ、ま
たはワイヤが使用されてもよい。触媒の他の例は、60
%乃至75%のMnO2、11%乃至14%のCuO、
及び15%乃至16%のAl23の組成を有するカルラ
イト(carulite)である。触媒のさらに他の例は、33
〜44%のMnO2及び22〜36%のCuO(残りは
バインダである)の組成を有するホプカライト(hopcal
ite)である。
【0031】検出器8は、例えば、水素炎イオン化検出
器である。この場合、検出器8の引入口で、分析される
べきガスに水素がさらに混合される。空気が水素及び分
析されるべきガスの炎の上方に噴射され、この空気は燃
焼によって生じた水蒸気を除去する役割を果たす。
【0032】そのような検出器の一例は、Enviro
nnement S.A.(111,Bd Robes
pirre,78300 POISSY,FRANC
E)がreference HC51Mとして市販して
いるものである。
【0033】水素流量は、好ましくは、分析されるべき
水素−ガス(酸素)混合物の組成が10%乃至40%と
なるか或いは空気中のO2−H2比に近いかまたはその比
のオーダーとなるような流量である。これは、検出器が
空気について実行されるテストと同じ検出感度を得なが
らも酸素採取流量で稼動され得るのを可能とする。
【0034】また、水素流量の増加は、疑いなく、HC
nMの燃焼によって生じるイオン電流が集電される位置
で炎の形状を変える効果を有している。この電流のため
の集電極は炎の上方に位置しており、集められるイオン
の割合は炎の形状に応じて異なるであろう。
【0035】例えば、水素流量は凡そ130ml/分
(空気で使用する40ml/分とは対照的に)であり、
サンプル(酸素)及び空気(ブリードまたは水蒸気の除
去)流量はそれぞれ80ml/分及び400ml/分で
ある。
【0036】触媒6の温度は、好ましくは、可能な限り
少量のCH4が灰化されるように選ばれる。これは、カ
ルライトの場合、凡そ210℃では、些細ではない割合
のCH4が灰化されることが観測され得るからである。
実際に、HCnMの濃度の計算は、HCTモードでの測
定(サンプルが直接に検出器の中へと通る場合)とCH
4モードでの測定(サンプルが検出器の中へと入る前に
触媒中を通過する場合)との差異を知ることにある。そ
れゆえ、HCnMの濃度が顕著に増加する。
【0037】触媒中でのメタンの燃焼を減少させるため
に、その温度は二段階で調節された(カルライトの場
合)。 1. 163℃での温度調整。酸素中に10ppmのC
4+1ppmのC26を含有した混合物の分析はうま
く機能するが、酸素中に52.2ppmのCH4+5
2.5ppmのC26を含有した混合物の分析は、凡そ
10%のC26が灰化されず、その割合を1ppmのC
26含量を超えて正確に評価することはできないことを
示している。 2. 182℃での温度調整。その結果は、先の2つの
混合物に関して及び酸素中にCH4を含有せずに8pp
mのC26のみを含有した混合物に関して満足なもので
あり、それらについて全てのC26が灰化されている。
【0038】それゆえ、非メタン炭化水素のためのコン
バータの使用温度の調整,例えば160℃乃至190℃
での,は、メタンを失うことなく(或いは、せいぜいメ
タンの数%,例えばせいぜい3%または5%,を失うだ
けで)、分析されるべき酸素サンプルの非メタン炭化水
素(HCnM)を転化させることを可能とする。
【0039】図2は、本発明のコンテクストにおいて使
用される、既に上述したHC51Mタイプの検出器を備
えた検出システム10の詳細な例を示している。このシ
ステムは、水素炎イオン化検出器8を使用している。
【0040】既に前述したように、水素及び空気がルー
ト12及び14をそれぞれ経由してこの検出器中へと導
入される。
【0041】装置をゼロのメモリに合わせるために、酸
素が凡そ1barの圧力でルート16を経由して導入さ
れる。
【0042】分析されるべき酸素はルート18を経由し
て導入され、ルート21は大気圧での標準ガスの導入を
可能とする。
【0043】ルート25は、回路(circuit)中へと導
入された過剰なサンプルをブリードするのを可能とす
る。
【0044】より詳細には、ルート12はレギュレータ
37を引き続いて具備しており、その終端には点火ルー
プ32が位置している。
【0045】ルート14は清浄器(図示せず)及びレギ
ュレータ41を引き続いて具備している。
【0046】ルート16は清浄器(図示せず)及びレギ
ュレータ31を具備しており、三方電動弁24に接続さ
れている。
【0047】分析されるべきガスのサンプル、弁20、
及びポンプ22も、この電動弁24を経由して至る。
【0048】三方弁26は、分析されるべきガスを、直
接に分析器30[参照符号28はチャージバランスキャ
ピラリ(charge-balancing capillary)を示す]へと、
或いは、非メタン炭化水素を灰化するために触媒6へと
搬送するのを可能とする。参照符号33は、検出器30
の引入口での流量を調整するのを可能とする可変キャピ
ラリを示している。後者は、信号ST及びS4を与え、
それらから計算機は減法により非メタン炭化水素の量を
表す信号を計算し得る。
【0049】図3は、10ppmのCH4の存在下での
酸素中のCn(n=2、3または4)非メタン炭化水素
(HCnM)の応答テストを示している。それら試行
は、 酸素中に10ppmのCH4 酸素中に10ppmのCH4+1ppmのC26 酸素中に10ppmのCH4+1.1ppmのC24 酸素中に10ppmのCH4+1.2ppmのC22 酸素中に10ppmのCH4+1.1ppmのC36 酸素中に10ppmのCH4+1.1ppmのC38 酸素中に10ppmのCH4+1ppmのC410 に関するものである。
【0050】使用した装置は、Environneme
nt S.A.(111,Bd Robespirr
e,78300 POISSY,FRANCE)がre
ference HC51Mとして市販しているもので
あり、運転条件は以下の通りである。 触媒温度:182℃ 水素流量:凡そ130ml/分 サンプル流量:80ml/分 酸化剤空気流量:400ml/分 触媒:カルライト(先に示した組成の)
【0051】曲線IはHCnMの量を与え、曲線IIは
CH4の量を与え、曲線IIIは炭化水素の総量を与え
ている。
【0052】3つの試行は、水素炎イオン化検出器の応
答は、C22を除き(C22はより良好な応答を有して
いる)、測定されるべきCnm中の炭素原子の数に実際
に比例することを示唆している。その装置は、10pp
mのCH4を含有した酸素中の、CH4当量で1ppm未
満のCnmを検出することができる。すなわち、0.5
ppm未満のC2、0.3ppm未満のC3、及び0.2
5ppm未満のC4である。
【0053】このテストは、感度について、空気中のC
nmを測定するために実行したテスト(但し、条件は異
なる:210℃の触媒温度、40ml/分の水素流量、
80ml/分のサンプル流量、400ml/分の酸化剤
空気流量)と類似のまたは同一の結果を与えている。
【0054】図4(a)乃至図6(b)において、曲線
IはHCnM濃度のCH4当量としての変化を示し、曲
線IIはCH4当量として測定したHCT濃度の変化を
示している。
【0055】図4(a)及び(b)は、52.9ppm
のCH4を含んだ酸素中に10.7ppmのC24を含
有した混合物を52.7ppmのCH4を含んだ酸素
(これは、HCnM混合物を徐々に希釈すること及びそ
れゆえ一定のCH4濃度を維持しつつC24濃度を変化
させることを可能とする)で希釈したもの応答を示して
いる。この試行,特には曲線I,は、CH4当量で5p
pm未満,すなわちC2 4で凡そ2乃至3ppm未満,
のHCnM検出閾値を見積もることが可能であることを
示している。
【0056】図5(a)及び(b)は、49.7ppm
のCH4を含んだ酸素中に5.3ppmのC24を含有
した混合物を52.7ppmのCH4を含んだ酸素で希
釈したもの応答を示している。この試行は、上記のよう
に、CH4当量で5ppm未満,すなわちC38で2p
pm未満,のHCnM検出を示している。
【0057】図6(a)及び(b)は、52.5ppm
のCH4を含んだ酸素中に52.2ppmのC26を含
有した混合物を52.7ppmのCH4を含んだ酸素で
希釈したもの応答を示している。この試行は、前述の結
果を確証し、CH4当量で0から160ppmまでの装
置の応答の直線性を実証可能としている。
【0058】上記の3つの例において、曲線Iは、本発
明によると、凡そ50ppmのメタン中で5ppm未満
の非メタン炭化水素(CH4当量で)を検出可能である
ことを示している。
【0059】これらの試行に続き、ゼロ回路(zero cir
cuit)からの酸素(図2におけるダイアグラムのルート
16を経由して循環する酸素)について実行された測定
に関して装置の変動(drift)が測定された。凡そ20
時間にわたり、HCnM変動は0.1ppm未満であっ
た。
【0060】なお、不純物は、分析されるべきガスとし
ての周囲空気に直接使用された場合、触媒の作用を阻害
し得る。これとは逆に、そのような不純物は、本発明の
コンテクストでのように分析されるべきガスとして酸素
(及び、特には、空気からガスを製造するユニットから
もたらされる酸素)が使用される場合には存在しない。
それゆえ、本発明に係る使用は、触媒の使用持続時間を
増加させることを可能とする。
【0061】一結果例によると、本発明は、メタン当量
で5ppm未満の炭化水素,すなわち、2乃至3ppm
のC2非メタン炭化水素、2ppm未満のC3非メタン炭
化水素、及び1ppm未満のC4非メタン炭化水素,
を、凡そ50ppmのメタンを含有した酸素中で検出す
ることを可能とする[先にコメントした図4(a)乃至
図6(b)を参照のこと]。
【0062】他の結果例によると、本発明は、CH4
量で1ppm未満のHCnM(C2及び/またはC3及び
/またはC4タイプの),すなわち、0.5ppm未満
のC26、0.3ppm未満のC38、及び0.25p
pm未満のC410,を、特には10ppmのCH4を含
有した酸素中で検出することを可能とする(図3及び対
応の上記コメントを参照のこと)。
【0063】さらに他の結果例によると、本発明は、C
4当量で5ppm未満のHCnM(C2及び/またはC
3),すなわち、2乃至3ppm未満のC2及び2ppm
未満のC3,を、特には10ppmのCH4を含有した酸
素中で検出することを可能とする[先にコメントした図
4(a)乃至図6(b)を参照のこと]。
【0064】上記の装置及び方法は、空気からガスを製
造するユニットで使用され得る。そのような使用の一例
は、図7及び図8で例証される。
【0065】これら図において、参照符号60は、液体
酸素浴63を収容した液体酸素タンクを示している。液
体酸素のサンプルは、この浴から、液体を上げるポンプ
70のパイプを経由して(図8)或いはリフトタイプの
サンプラ61によって(図7)抜き取られる。この二番
目の解法は、タンク60の壁の近くに位置した小さなタ
ンク62に向けての液体の循環を含んでいる。次に、液
体の完全な蒸発が、キャピラリ及び大気交換器(atmosp
heric exchanger)64,72で構成された蒸発器中で
起こる。次に、分析されるべきガス混合物の構成成分
が、ミキサ66,74を用いて均質化される。ガスサン
プルの流量は、例えば、凡そ0.5乃至1Sm3/時で
ある。これら2つの装置は、製造ユニットの浴63中の
液体を代表するガスサンプルを、迅速に採取し且つ炭化
水素のための分析器10へと搬送することを可能とす
る。また、それらは、しばしば置換される液体を抜き取
ることを可能とする:これはタンク60中に存在する液
体の組成,特にはその装置で測定されるべき不純物,は
時間とともに変化し得るためである。それゆえ、抜き取
り回路中に、いずれの時点でも、タンク60中の液体の
その時点での組成を可能な限り正確な方法で代表してい
るサンプルを有していることが好ましい。これは、ここ
では、液体を上げるポンプ70またはリフトタイプのサ
ンプラ61のような手段の使用により可能となる。
【0066】例えば、図1または図2または図7または
図8に関連して上述したような本発明に係るシステム及
び方法は、酸素中,特には空気からガスを製造するユニ
ットの蒸発器の浴のような液体酸素浴中,の非メタン炭
化水素のレベルを監視することを可能とする。非メタン
炭化水素のレベルまたは濃度が或る限界値[それは、図
3乃至図6(b)から理解されるように、メタン当量で
数ppmのオーダー、例えばメタン当量で1ppmです
らあり得る]を超えた場合、アラームが作動させられ得
て、それゆえ、爆発のリスクが回避されるか或いは低減
される。その限界値は、例えば、製造ユニットの運転指
示書で定義されていてもよく、或いは、測定値−限界値
の比較を実行する処理ユニット7(図1を参照のこと)
中のメモリに記憶されていてもよい。
【0067】空気からガスを製造するユニットの場合、
メタンと非メタン炭化水素とを併せた炭化水素の連続測
定は、非メタン炭化水素の事前設定濃度を超えた場合
に、製造ユニットを安全にする手順を作動させることを
可能とする。例えば、アラームのレベルに応じ、入って
くる空気の精製操作に関して、及び/または、製造及び
/または製造の停止操作に関して、アクションが為され
てもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示す図。
【図2】本発明のコンテクストにおいて使用され得る検
出器の構造を示す図。
【図3】酸素中の非メタン炭化水素の応答テストを示す
図。
【図4】(a)及び(b)は酸素及び炭化水素の混合物
について実行された試行を示す図。
【図5】(a)及び(b)は酸素及び炭化水素の混合物
について実行された試行を示す図。
【図6】(a)及び(b)は酸素及び炭化水素の混合物
について実行された試行を示す図。
【図7】液体酸素浴からサンプルを抜き取り且つ分析す
る装置を示す図。
【図8】液体酸素浴からサンプルを抜き取り且つ分析す
る装置を示す図。
【符号の説明】
2…引入口 4…弁 6…触媒 7…数値的手段 8…検出器 10…分析システム 12,14,16,18,21,25…ルート 20…弁 22…ポンプ 24,26…三方弁 28…チャージバランスキャピラリ 30…分析器 31,37,41…レギュレータ 32…点火ループ 33…可変キャピラリ 60…液体酸素タンク 61…サンプラ 62…タンク 63…液体酸素浴 64,72…大気交換器 66,74…ミキサ 70…ポンプ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G042 AA01 BD01 CA10 CB01 DA04 DA07 FA07 FB04 GA01 HA07

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 酸素及びメタンとメタン以外の炭化水素
    を支配的または実質的に含有したガス中の前記メタン以
    外の炭化水素を検出する方法であって、 前記ガス中の炭化水素を纏めて検出して前記纏めて検出
    した炭化水素に第1の値を与える段階と、 前記メタン以外の炭化水素を燃焼させる段階と、 前記ガス中のメタンを検出して第2の値を与える段階
    と、 メタン以外の炭化水素の量を前記第1の値と前記第2の
    値との差によって計算する段階とを含んだ方法。
  2. 【請求項2】 前記ガスは少なくとも95%の、好まし
    くは少なくとも99%のまたは99.5%の酸素を含有
    した請求項1に記載の方法。
  3. 【請求項3】 前記ガスは酸素とメタンとメタン以外の
    炭化水素とを支配的または実質的に含有し、前記メタン
    以外の炭化水素は前記メタンに対して数パーセントのオ
    ーダーの割合で存在している請求項1または請求項2に
    記載の方法。
  4. 【請求項4】 前記メタン以外の炭化水素は前記メタン
    に対して6%未満または5%未満または4%未満または
    3%未満の割合で存在している請求項3に記載の方法。
  5. 【請求項5】 前記ガスは50ppm未満のメタンを含
    有した請求項3または請求項4に記載の方法。
  6. 【請求項6】 前記メタン以外の炭化水素は前記酸素中
    で5ppm未満の濃度で存在している請求項3乃至請求
    項5のいずれか1項に記載の方法。
  7. 【請求項7】 前記メタン以外の炭化水素は触媒(6)
    によって灰化される請求項1乃至請求項6のいずれか1
    項に記載の方法。
  8. 【請求項8】 前記検出は水素炎イオン化検出器(8)
    によって実行される請求項7に記載の方法。
  9. 【請求項9】 水素/酸素比が10%乃至40%となる
    ように、分析されるべき前記ガスに水素が混合される請
    求項7または請求項8に記載の方法。
  10. 【請求項10】 前記触媒の温度は前記ガス中に存在し
    ている前記メタンの5%未満が灰化されるような温度で
    ある請求項7乃至請求項9のいずれか1項に記載の方
    法。
  11. 【請求項11】 前記触媒の温度は160℃乃至190
    ℃である請求項10に記載の方法。
  12. 【請求項12】 空気からガスを製造するユニットの蒸
    発器の液体酸素浴(63)中のメタン以外の炭化水素を
    検出する方法であって、 前記浴(63)からの液体酸素のサンプルの抜き取り
    と、 蒸発ガスを生成する前記液体酸素の蒸発と、 請求項1乃至請求項11のいずれか1項に記載の方法に
    よる前記蒸発ガス中のメタン以外の炭化水素の検出とを
    含んだ方法。
  13. 【請求項13】 前記サンプルの前記抜き取りは液体を
    上げるポンプ(70)のパイプを用いて或いはリフトタ
    イプのサンプラ(61)によって実行される請求項12
    に記載の方法。
  14. 【請求項14】 前記蒸発ガス中のメタン以外の炭化水
    素の濃度またはレベルが或る限界値を超えた場合にアラ
    ームを作動させる段階をさらに含んだ請求項12または
    請求項13に記載の方法。
  15. 【請求項15】 酸素及びメタンとメタン以外の炭化水
    素を支配的または実質的に含有した酸素中の前記メタン
    以外の炭化水素を検出する装置であって、 前記ガス中の炭化水素を纏めて検出して前記纏めて検出
    した炭化水素に第1の値を与える手段(8)と、 前記メタン以外の炭化水素を燃焼させる手段(6)と、 メタンを検出して第2の値を与える手段(8)と、 メタン以外の炭化水素の量を前記第1の値と前記第2の
    値との差によって計算する手段(7)とを具備した装
    置。
  16. 【請求項16】 前記メタン以外の炭化水素を燃焼させ
    る手段は触媒(6)を具備した請求項15に記載の装
    置。
  17. 【請求項17】 前記炭化水素を纏めて検出する手段と
    前記メタンを検出する手段とは水素炎イオン化検出器
    (8)を具備した請求項15または請求項16に記載の
    装置。
  18. 【請求項18】 空気からガスを製造するユニットの蒸
    発器の液体酸素浴中のメタン以外の炭化水素を検出する
    装置であって、 前記浴から液体酸素のサンプルを抜き取る手段(61,
    62,70)と、 前記液体酸素を蒸発させて蒸発ガスを生成する手段(6
    4,72)と、 請求項15乃至請求項17のいずれか1項に記載の検出
    装置(10)とを具備した装置。
  19. 【請求項19】 前記蒸発ガス中のメタン以外の炭化水
    素の濃度またはレベルが或る限界値を超えた場合にアラ
    ームを作動させる手段をさらに具備した請求項18に記
    載の装置。
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