JP2002310622A - 光ファイバ母材合成用バーナの検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光ファイバ母材合成用バーナ（コア形成用バ
ーナ５やクラッド形成用バーナ６）の先端部の寸法を精
度良く測定する。 【解決手段】 光ファイバ母材合成用バーナ５（６）を
載置するＸＹテーブル２４と、バーナ５（６）に後方側
から光を照射する背景照明部１８と、バーナ５（６）の
先端部を見るための顕微鏡２２と、バーナ５（６）の先
端部の像を顕微鏡２２に向けて反射する平面鏡部２１と
を設ける。ガラス管から成るバーナ５（６）は、先端部
を見た際に当該先端部の輪郭が不明瞭となりやすいが、
背景照明部１８によりバーナ５（６）に後方側から光を
照射することにより、バーナ５（６）の管壁部分は暗
く、それ以外の部分は明るいというような明暗によるバ
ーナ先端部の像を得ることができる。これにより、バー
ナ先端部の輪郭が明瞭となり、非接触により精度良くバ
ーナ先端部の寸法を測定することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ母材を
合成するためのバーナを検査する装置に関するものであ
る。

【０００２】

【背景技術】図４には光ファイバ母材の製造装置の主要
構成の一例が模式的に示されている。この光ファイバ母
材の製造装置１は気相軸付法（ＶＡＤ法）により光ファ
イバ母材１１を製造するものであり、光ファイバ母材の
生成室（反応容器）２と、この生成室の排気を行う排気
管３と、種棒４と、コア形成用バーナ５と、クラッド形
成用バーナ６とを有して構成されている。

【０００３】上記コア形成用バーナ５は、例えば、径の
異なる複数の管（ガラス管（石英管））が中心軸を同軸
上に位置させて成る多重管バーナと成し、このコア形成
用バーナ５は燃料ガスを噴出して酸水素火炎８を作り出
すと共に、その酸水素火炎８に向けて四塩化珪素のガス
と少量の四塩化ゲルマニウム等の添加物のガスを噴出す
る。その四塩化珪素の火炎加水分解反応により二酸化珪
素の微粒子１０が生成される。

【０００４】この二酸化珪素の微粒子１０は種棒４の先
端部に堆積して当該種棒４の長手方向に光ファイバ母材
のコア部分が成長していく。この際、上記の如くコア形
成用バーナ５から四塩化ゲルマニウム等の添加物のガス
が噴出されており、二酸化珪素の微粒子１０と同時に例
えば二酸化ゲルマニウム等の添加物の微粒子が生成され
る。この添加物の微粒子により、二酸化珪素に添加物が
含有されて成るコアが種棒４の先端部に堆積・形成され
ていくこととなる。なお、種棒４は駆動手段（図示せ
ず）に接続されており、その駆動手段の駆動によって、
種棒４は回動しながら徐々に引き上げられていく。

【０００５】クラッド形成用バーナ６も、コア形成用バ
ーナ５と同様な構成と成し、コア形成用バーナ５により
生成されたコアの周囲にクラッドを形成する。

【０００６】このような製造装置１により生成された光
ファイバ母材１１を、例えば、焼結してガラス化し、さ
らに、線引きすることにより、光ファイバが製造され
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、光ファイバ
母材１１における半径方向の添加物の分布状態は光ファ
イバの屈折率分布を決定するものであるから、非常に重
要である。しかしながら、その添加物の分布状態は、同
じ製造装置１により製造された光ファイバ母材１１にお
いてはほぼ同じとなるが、製造装置１が異なると差異が
生じてしまう。このため、光ファイバ母材１１から作り
出される光ファイバの品質にばらつきが生じるという問
題があった。

【０００８】上記光ファイバ母材１１における添加物の
分布状態のばらつきの大きな原因は、各製造装置１毎に
コア形成用バーナ５の先端部の形状および寸法（径又は
肉厚）が異なることにある。

【０００９】そこで、各製造装置１に設けるコア形成用
バーナ５の先端部の形状および寸法をほぼ等しくすべ
く、コア形成用バーナ５の先端部の形状および寸法を検
査し、この検査結果に基づいて、ほぼ同じ形状および寸
法を持つコア形成用バーナ５を各製造装置１にそれぞれ
設置するようにしている。

【００１０】しかしながら、コア形成用バーナ５はガラ
ス管により構成され、かつ、例えば外径が約２０mmの四
重管という如く、剛性が小さいために、ノギス等の接触
式の測定具を用いてコア形成用バーナ５の先端部の寸法
を測定する場合には、その測定具によりコア形成用バー
ナ５の先端部が変形して正確に測定することができない
という問題がある。

【００１１】また、非接触によりコア形成用バーナ５の
先端部の寸法を測定する装置が提案されている。コア形
成用バーナ５の先端部の寸法測定に関しては、０．０２
mmよりも高い精度が要求されるが、提案の検査装置で
は、０．０２mm程度の精度しか無く、満足のいくもので
はなかった。

【００１２】このように、コア形成用バーナ５の先端部
の寸法を高精度に測定することが困難であったために、
各製造装置１のコア形成用バーナ５の先端部の寸法を精
度良く揃えることが難しかった。

【００１３】本発明は上記課題を解決するために成され
たものであり、その目的は、光ファイバ母材合成用バー
ナの先端部を非接触により精度良く検査することができ
る装置を提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は次に示す構成をもって前記課題を解決す
る手段としている。すなわち、第１の発明は、ガラス管
により構成される光ファイバ母材合成用バーナの先端部
を検査する装置であって、上記光ファイバ母材合成用バ
ーナを載置するバーナ載置部と、このバーナ載置部に載
置された光ファイバ母材合成用バーナに後方側から光を
照射する背景照明部と、上記バーナ載置部に載置される
光ファイバ母材合成用バーナの先端部と間隔を介して対
向する領域に配設され、かつ、光ファイバ母材合成用バ
ーナの管軸に対して傾きをもって設けられる平面鏡部
と、この平面鏡部により反射された光ファイバ母材合成
用バーナの先端部の像を受ける受像部とが設けられてお
り、その受像部の像に基づいて光ファイバ母材合成用バ
ーナの先端部が検査されることを特徴として構成されて
いる。

【００１５】第２の発明は、第１の発明の構成を備え、
背景照明部は単色光を光ファイバ母材合成用バーナに照
射する構成と成し、受像部にはカメラが配置されてお
り、このカメラは単色フィルターを介して光ファイバ母
材合成用バーナの先端部の像を取り込む構成としたこと
を特徴としている。

【００１６】上記構成の発明において、バーナ載置部に
載置された光ファイバ母材合成用バーナには、背景照明
部により、後方側から光が照射される。この背景照明部
から出射された光は、光ファイバ母材合成用バーナの管
壁（ガラス）の内部を通って当該バーナの先端部から出
射することができるが、その光量は大幅に減衰されてい
る。このため、光ファイバ母材合成用バーナの管壁部分
は暗く、それ以外の部分は明るいというような光の明暗
により光ファイバ母材合成用バーナの先端部の像を受像
部にて見ることができる。

【００１７】ガラス管から成る光ファイバ母材合成用バ
ーナはその先端部の輪郭が不明瞭となりやすいが、この
発明では、光ファイバ母材合成用バーナの先端部の像は
光の明暗による像であることから、明暗のコントラスト
により、光ファイバ母材合成用バーナの先端部の輪郭
（エッジ）が明瞭となる。これにより、バーナ先端部の
例えば形状および寸法を正確に測定することが可能とな
り、光ファイバ母材合成用バーナの先端部を精密に検査
することができることとなる。この結果、光ファイバ母
材を製造する各々の装置に設けられる光ファイバ母材合
成用バーナの先端部の形状および寸法を精度良く揃える
ことが可能となり、光ファイバの品質のばらつきを抑制
することができることとなる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下に、この発明に係る実施形態
例を図面に基づいて説明する。

【００１９】図１には第１実施形態例の光ファイバ母材
合成用バーナの検査装置が斜視図により模式的に示さ
れ、図２には図１に示す検査装置の側面図が示されてい
る。

【００２０】この第１実施形態例に示す検査装置１５
は、図１、図２に示されるように、基台１６と、この基
台１６上に設けられるＸＹステージ部１７と、背景照明
部１８と、バーナ固定部材１９と、バーナ位置決め部材
２０と、平面鏡部２１と、顕微鏡２２とを有して構成さ
れている。

【００２１】上記ＸＹステージ部１７は、バーナ載置部
であるＸＹテーブル２４と、このＸＹテーブル２４をＸ
方向に移動させるＸ方向移動手段２５と、ＸＹテーブル
２４をＹ方向に移動させるＹ方向移動手段２６とを有し
て構成されている。この第１実施形態例では、ＸＹステ
ージ部１７は、ＸＹテーブル２４を手動によりＸ方向と
Ｙ方向にそれぞれ移動させる構成と成しており、Ｘ方向
移動手段２５を手動操作するためのハンドル２５ａと、
Ｙ方向移動手段２６を手動操作するためのハンドル２６
ａとが設けられ、また、ＸＹテーブル２４のＸ方向の変
位量を示すためのスケール２５ｂと、ＸＹテーブル２４
のＹ方向の変位量を示すためのスケール２６ｂとが設け
られている。

【００２２】上記バーナ固定部材１９は、上記ＸＹテー
ブル２４上に固定されるＶ溝ブロック２７と、押さえ具
２８とを有して構成されている。Ｖ溝ブロック２７には
光ファイバ母材合成用バーナ（コア形成用バーナ５やク
ラッド形成用バーナ６）が挿通されるＶ溝２７ａが形成
されている。押さえ具２８は、そのＶ溝２７ａに配置さ
れた光ファイバ母材合成用バーナ５（６）を上側から押
え付けてＶ溝ブロック２７（つまり、ＸＹテーブル２
４）に固定するものである。

【００２３】バーナ位置決め部材２０は上記ＸＹテーブ
ル２４に起立形成されており、このバーナ位置決め部材
２０の起立面２０ａに光ファイバ母材合成用バーナ５
（６）の先端面の下端部分が当接することによって、光
ファイバ母材合成用バーナ５（６）の位置決めを行うこ
とができる。なお、図１、図２に示す符号１２は光ファ
イバ母材合成用バーナ５（６）の後端側に接続されてバ
ーナに燃料ガスや四塩化珪素のガスや添加物のガスを供
給するための枝管を示している。

【００２４】背景照明部１８は、ＸＹテーブル２４上に
配置された光ファイバ母材合成用バーナ５（６）に後方
側から光を照射するものである。

【００２５】平面鏡部２１は支持台３０を介してＸＹテ
ーブル２４に固定されている。この平面鏡部２１の配置
位置は、ＸＹテーブル２４上に配置された光ファイバ母
材合成用バーナ５（６）の先端部と間隔を介して対向す
る領域と成し、かつ、平面鏡部２１の鏡面は光ファイバ
母材合成用バーナ５（６）の管軸に対して傾きを持って
配置されている。

【００２６】この平面鏡部２１の上方側には顕微鏡２２
が配置されている。この顕微鏡２２は、平面鏡部２１に
より反射された光ファイバ母材合成用バーナ５（６）の
先端部の像を受ける受像部として機能するものであり、
この顕微鏡２２の光軸とＸＹテーブル２４（換言すれ
ば、ＸＹテーブル２４上に載置される光ファイバ母材合
成用バーナ５（６）の管軸）とが略直交するように、顕
微鏡２２は支柱３１に取り付けられている。なお、支柱
３１は基台１６に固定されている。

【００２７】この第１実施形態例では、顕微鏡２２を支
柱３１に対してＺ方向（上下方向）に移動させるための
移動機構が設けられており、顕微鏡２２を上下方向に移
動させることによって光ファイバ母材合成用バーナ５
（６）の先端部の像の焦点合わせを行うことができる構
成と成している。なお、この第１実施形態例では、手動
により顕微鏡２２を上下方向に移動させるための操作手
段（図示せず）が設けられている。

【００２８】このような検査装置１５を利用して、光フ
ァイバ母材合成用バーナ５（６）の先端部を検査する際
には、例えば、まず、光ファイバ母材合成用バーナ５
（６）をＶ溝ブロック２７のＶ溝２７ａに配置し、その
光ファイバ母材合成用バーナ５（６）の先端面の下端部
分をバーナ位置決め部材２０の起立面２０ａに当接させ
て光ファイバ母材合成用バーナ５（６）の位置決めを行
う。そして、その状態で、押さえ具２８により光ファイ
バ母材合成用バーナ５（６）を押え付けることにより、
光ファイバ母材合成用バーナ５（６）をＸＹテーブル２
４上に固定する。このとき、光ファイバ母材合成用バー
ナ５（６）の管軸とＸＹテーブル２４を略平行な状態と
する。

【００２９】次に、背景照明部１８から光ファイバ母材
合成用バーナ５（６）に向けて光が照射されている状態
で、作業者が顕微鏡２２を覗きながら、当該顕微鏡２２
を上下方向に移動させて光ファイバ母材合成用バーナ５
（６）の先端部の像の焦点合わせを行う。この第１実施
形態例では、上記の如く、背景照明部１８から光ファイ
バ母材合成用バーナ５（６）に後方側から光を照射して
いるので、顕微鏡２２を通して見るバーナ先端部の像
は、管壁部分は暗く、それ以外の部分は明るいというよ
うな明暗による像となる。上記焦点合わせにより、その
明暗による像の輪郭を明確にすることができる。また、
このとき、バーナ先端部の像の位置が顕微鏡２２の視野
における所望の位置となるように、ＸＹテーブル２４を
Ｘ方向移動手段２５によりＸ方向に変位させたり、Ｙ方
向移動手段２６によりＹ方向に変位させてもよい。

【００３０】然る後に、その顕微鏡２２を通して見られ
る光ファイバ母材合成用バーナ５（６）の先端部の像に
基づいて、光ファイバ母材合成用バーナ５（６）の先端
部の形状および寸法を測定し、この測定結果に基づいて
光ファイバ母材合成用バーナ５（６）の先端部の検査を
行う。

【００３１】上記光ファイバ母材合成用バーナ５（６）
は複数のガラス管から成る多重管構造であり、先端部を
ただ見ただけでは、各ガラス管の先端部の輪郭が不明瞭
である。このため、非接触により各ガラス管の先端部の
形状や寸法を測定する際に、測定の精度向上が難しいと
いう問題が生じる。これに対して、この第１実施形態例
では、背景照明部１８により光ファイバ母材合成用バー
ナ５（６）に後方側から光を照射する構成としたので、
光ファイバ母材合成用バーナ５（６）の先端部の像を光
の明暗による像とすることができる。その明暗のコント
ラストによって、バーナ先端部の像の輪郭が明瞭とな
り、これにより、光ファイバ母材合成用バーナ５（６）
の先端部の形状および寸法を例えば０．０１mm以下の高
精度でもって測定することが可能となる。

【００３２】このことから、光ファイバ母材の製造装置
に設ける光ファイバ母材合成用バーナ（コア形成用バー
ナ５やクラッド形成用バーナ６）の先端部の形状および
寸法を非常に精度良く揃えることができることとなる。
このため、光ファイバ母材における添加物の分布状態の
ばらつきが抑制され、これに起因して光ファイバ母材か
ら作り出される光ファイバの品質のばらつきを抑制する
ことができる。

【００３３】また、ノギス等の接触式の測定具を利用し
て光ファイバ母材合成用バーナ５（６）の先端部の寸法
を測定する場合、光ファイバ母材合成用バーナ５（６）
は細管で剛性が小さいことから、光ファイバ母材合成用
バーナ５（６）の先端部が変形したり、破損する虞があ
った。これに対して、この第１実施形態例では、非接触
により光ファイバ母材合成用バーナ５（６）の先端部の
寸法を測定する構成であるので、光ファイバ母材合成用
バーナ５（６）の変形を防止することができる。

【００３４】さらに、この第１実施形態例では、バーナ
位置決め部材２０を設けたので、複数の光ファイバ母材
合成用バーナ５（６）を順次検査する際に、それら光フ
ァイバ母材合成用バーナ５（６）の先端部の配置位置が
ほぼ一定に定まることとなるので、光ファイバ母材合成
用バーナ５（６）を替えても、顕微鏡２２の焦点合わせ
が不要、あるいは、焦点の微調整を行うだけで済むこと
となる。

【００３５】さらに、この第１実施形態例では、顕微鏡
２２は、その光軸がＸＹテーブル２４上に載置される光
ファイバ母材合成用バーナ５（６）の管軸と略直交する
ように、配設されているので、検査装置１５の長さ方向
の大きさを抑制することができる。

【００３６】なお、背景照明部１８は光ファイバ母材合
成用バーナ５（６）に光を照射することができる構成で
あれば、その構成は特に限定されるものではないが、顕
微鏡２２を通して見る光ファイバ母材合成用バーナ５
（６）の先端部の像の明暗のコントラストをより明確に
するためには、面状発光体と環状発光体と点状発光体の
うちの２つ以上を組み合わせて用いることが好ましい。
また、背景照明部１８は単色光を放射する構成としても
よい。この場合にも、顕微鏡２２を通して見る光ファイ
バ母材合成用バーナ５（６）の先端部の像の明暗のコン
トラストを明確にすることが容易となる。

【００３７】以下に、第２実施形態例を説明する。この
第２実施形態例において特徴的なことは、光ファイバ母
材合成用バーナ５（６）の先端部の形状および寸法の自
動測定が可能な構成を備えていることである。

【００３８】この第２実施形態例に示す検査装置１５
は、前記第１実施形態例の構成に加えて、図３に示すよ
うに、カメラ（例えばＣＣＤカメラ）３３と、駆動制御
部３４と、画像処理部３５と、コンピュータ部３６と、
モニタ３７と、ステージ操作部３８と、Ｘ方向駆動手段
３９と、Ｙ方向駆動手段４０と、カメラ移動手段４１と
を有して構成されている。なお、この第２実施形態例の
説明において、第１実施形態例と同一構成部分には同一
符号を付し、その共通部分の重複説明は省略する。

【００３９】カメラ３３は顕微鏡２２に設けられ、顕微
鏡２２を通して光ファイバ母材合成用バーナ５（６）の
先端部の像を取り込む構成と成している。なお、背景照
明部１８から単色光が放射されている場合には、単色フ
ィルターを介して光ファイバ母材合成用バーナ５（６）
の先端部の像を取り込み構成とすることが好ましい。

【００４０】このカメラ３３は画像処理部３５に信号接
続されている。この画像処理部３５は、カメラ３３から
送信された光ファイバ母材合成用バーナ５（６）の先端
部の画像データを画像処理して、例えば、光ファイバ母
材合成用バーナ５（６）の先端部の輪郭の検出を行う。
なお、画像処理部３５の画像処理手法には様々な手法が
あり、ここでは、その何れの手法を用いてもよく、その
説明は省略する。

【００４１】Ｘ方向駆動手段３９と、Ｙ方向駆動手段４
０と、カメラ移動手段４１とはそれぞれ電気制御が可能
な例えばモータ等の駆動手段により構成されるものであ
る。駆動制御部３４はそれらＸ方向駆動手段３９とＹ方
向駆動手段４０とカメラ移動手段４１の各動作のオン・
オフを電気制御するための信号を出力する構成を備えて
いる。

【００４２】コンピュータ部３６には装置動作を制御す
るためのプログラムが予め与えられており、コンピュー
タ部３６は、そのプログラムに従って駆動制御部３４や
画像処理部３５を制御して光ファイバ母材合成用バーナ
５（６）の先端部の検査を自動的に行うための制御構成
を備えている。

【００４３】例えば、ＸＹテーブル２４上に光ファイバ
母材合成用バーナ５（６）が載置された以降に、コンピ
ュータ部３６は、カメラ３３によって取り込まれた光フ
ァイバ母材合成用バーナ５（６）の先端部の画像データ
に基づき、駆動制御部３４を制御してＸ方向駆動手段３
９やＹ方向駆動手段４０を駆動させ、カメラ３３の視野
の所定の位置に光ファイバ母材合成用バーナ５（６）の
先端部の像が配置されるようにする。また、コンピュー
タ部３６は、同様に、カメラ移動手段４１を駆動させ
て、光ファイバ母材合成用バーナ５（６）の先端部の像
の焦点合わせを行う。

【００４４】そして、コンピュータ部３６は、その焦点
合わせが終了した以降に、画像処理部３５の画像処理に
より検出された例えば光ファイバ母材合成用バーナ５
（６）の先端部の輪郭データに基づいて、光ファイバ母
材合成用バーナ５（６）の先端部の形状および寸法の測
定を行う。このようにして、光ファイバ母材合成用バー
ナ５（６）の先端部の形状および寸法の自動測定を行う
ことが可能となる。

【００４５】また、コンピュータ部３６にはモニタ３７
や、ジョイスティック等のステージ操作部３８や、キー
ボード等の情報入力手段（図示せず）が信号接続されて
おり、コンピュータ部３６は、例えば、作業者が上記情
報入力手段を利用して発した指令に基づいて、カメラ３
３の映像をモニタ３７に映し出したり、画像処理部３５
により画像処理された光ファイバ母材合成用バーナ５
（６）の先端部のデータをモニタ３７に表示する構成を
備えている。また、コンピュータ部３６は、例えば、作
業者によりステージ操作部３８が操作されたときには、
その操作情報に基づいて、上記同様に駆動制御部３４を
制御してＸＹテーブル２４をＸ方向あるいはＹ方向に移
動させる構成を備えている。

【００４６】この第２実施形態例によれば、光ファイバ
母材合成用バーナ５（６）の先端部の検査を自動的に行
うための構成を備えているので、多数の光ファイバ母材
合成用バーナ５（６）を短時間で、効率的に検査するこ
とが可能となる。もちろん、この第２実施形態例におい
ても、第１実施形態例と同様の構成を備えているので、
光ファイバ母材合成用バーナ５（６）の先端部の形状お
よび寸法を高精度に測定することができるものである。

【００４７】なお、この発明は上記各実施形態例に限定
されるものではなく、様々な実施の形態を採り得る。例
えば、上記各実施形態例では、ＸＹテーブル２４上にバ
ーナ位置決め部材２０が設けられていたが、例えば、光
ファイバ母材合成用バーナ５（６）の先端部の設定の配
置位置を表すマーク等をＸＹテーブル２４上に形成する
場合には、このバーナ位置決め部材２０を設けなくとも
よい。

【００４８】また、上記各実施形態例では、平面鏡部２
１と支柱３１は共に固定されており、可動できないもの
であったが、平面鏡部２１の傾きと、基台１６に対する
支柱３１の傾きとのうちの少なくとも一方を可変するこ
とが可能な構成としてもよい。この場合には、例えば、
光ファイバ母材合成用バーナ５（６）に接続されている
枝管１２のために、光ファイバ母材合成用バーナ５
（６）をＸＹテーブル２４に水平に配置できない場合
に、上記平面鏡部２１の傾きと、基台１６に対する支柱
３１の傾きとのうちの少なくとも一方を可変することに
よって、光ファイバ母材合成用バーナ５（６）の先端部
の像を確実に顕微鏡２２に入射させることができる。

【００４９】さらに、上記第２実施形態例では、画像処
理後のデータに基づいて光ファイバ母材合成用バーナ５
（６）の先端部の形状および寸法を自動測定する構成で
あったが、例えば、画像処理部３５は画像処理により光
ファイバ母材合成用バーナ５（６）の先端部の輪郭デー
タを検出するまでの構成とし、その検出された輪郭デー
タに基づいて、作業者が光ファイバ母材合成用バーナ５
（６）の先端部の形状および寸法を測定する構成として
もよい。

【００５０】

【発明の効果】この発明によれば、バーナ載置部に載置
された光ファイバ母材合成用バーナに後方側から光を照
射する構成を備えたので、受像部における光ファイバ母
材合成用バーナの先端部の像は、光の明暗による像とな
る。ガラス管により成る光ファイバ母材合成用バーナ
は、そのままでは、先端部の輪郭が不明瞭であるのに対
して、この発明の如く、バーナ後方側から光を照射する
ことにより、明暗のコントラストにより光ファイバ母材
合成用バーナの先端部の輪郭を明瞭とすることができ
る。

【００５１】これにより、光ファイバ母材合成用バーナ
の先端部の例えば寸法を非常に高精度に測定することが
可能となる。このため、その測定結果に基づいて、ほぼ
同じ寸法を持つ光ファイバ母材合成用バーナをそれぞれ
各光ファイバ母材製造装置に設けることができることと
なる。この結果、光ファイバ母材における添加物の分布
状態のばらつきを抑制することができて、光ファイバの
品質のばらつきを小さく抑えることが可能となる。

【００５２】また、この発明では、非接触により、光フ
ァイバ母材合成用バーナの先端部を検査する構成である
ことから、光ファイバ母材合成用バーナの先端部の変形
等を殆ど気にすることなく、バーナ先端部の検査を行う
ことができる。

【００５３】背景照明部は単色光を光ファイバ母材合成
用バーナに照射する構成としたものにあっては、光ファ
イバ母材合成用バーナの先端部の像の明暗コントラスト
をより明確にすることができて、より一層高精度にバー
ナ先端部の寸法測定を行うことができることとなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る光ファイバ母材合成用バーナの検
査装置の第１実施形態例を模式的に示す斜視図である。

【図２】図１に示す光ファイバ母材合成用バーナの検査
装置の側面図である。

【図３】第２実施形態例を説明するための図である。

【図４】光ファイバ母材を製造するための装置の主要構
成の一例を模式的に示す図である。

【符号の説明】

１ 光ファイバ母材の製造装置 ５ コア形成用バーナ ６ クラッド形成用バーナ １１ 光ファイバ母材 １５ 検査装置 １８ 背景照明部 ２１ 平面鏡部 ２２ 顕微鏡 ２４ ＸＹテーブル ３３ カメラ ３５ 画像処理部

フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA27 AA30 AA51 BB08 CC23 DD09 FF01 FF04 GG12 GG17 GG18 GG22 HH15 JJ03 JJ26 LL12 LL22 NN20 PP02 PP12 PP24 QQ31 SS13 TT02 2G051 AB05 BB01 CA04 CA11 4G021 EA01 EB15 EB26

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガラス管により構成される光ファイバ母
   材合成用バーナの先端部を検査する装置であって、上記
   光ファイバ母材合成用バーナを載置するバーナ載置部
   と、このバーナ載置部に載置された光ファイバ母材合成
   用バーナに後方側から光を照射する背景照明部と、上記
   バーナ載置部に載置される光ファイバ母材合成用バーナ
   の先端部と間隔を介して対向する領域に配設され、か
   つ、光ファイバ母材合成用バーナの管軸に対して傾きを
   もって設けられる平面鏡部と、この平面鏡部により反射
   された光ファイバ母材合成用バーナの先端部の像を受け
   る受像部とが設けられており、その受像部の像に基づい
   て光ファイバ母材合成用バーナの先端部が検査されるこ
   とを特徴とした光ファイバ母材合成用バーナの検査装
   置。
2. 【請求項２】 背景照明部は単色光を光ファイバ母材合
   成用バーナに照射する構成と成し、受像部にはカメラが
   配置されており、このカメラは単色フィルターを介して
   光ファイバ母材合成用バーナの先端部の像を取り込む構
   成としたことを特徴とした請求項１記載の光ファイバ母
   材合成用バーナの検査装置。