JPH11160026A - 画像処理測定機の照明装置 - Google Patents
画像処理測定機の照明装置Info
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- JPH11160026A JPH11160026A JP9331713A JP33171397A JPH11160026A JP H11160026 A JPH11160026 A JP H11160026A JP 9331713 A JP9331713 A JP 9331713A JP 33171397 A JP33171397 A JP 33171397A JP H11160026 A JPH11160026 A JP H11160026A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/04—Measuring microscopes
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被測定物の形状に適した照明を、垂直落射照
明、斜め照明、リング照明の中から選択して使用するこ
とができるとともに、使い勝手に優れ、しかも、コンパ
クトにかつ経済的に構成できる画像処理測定機の照明装
置を提供する。 【解決手段】 光源１１からの光束を被測定物の真上か
ら照射する落射照明装置Ａのほかに、本体鏡筒８に着脱
可能に取り付けられ光束を前記被測定物に対して斜めか
ら照射する斜め照明装置Ｂと、本体鏡筒８に着脱可能に
取り付けられリング状光束を前記被測定物に対して照射
するリング照明装置Ｃと、前記光源１１からの光束を前
記斜め照明装置Ｂおよびリング照明装置Ｃのいずれかに
切り替える切替手段とを設ける。
明、斜め照明、リング照明の中から選択して使用するこ
とができるとともに、使い勝手に優れ、しかも、コンパ
クトにかつ経済的に構成できる画像処理測定機の照明装
置を提供する。 【解決手段】 光源１１からの光束を被測定物の真上か
ら照射する落射照明装置Ａのほかに、本体鏡筒８に着脱
可能に取り付けられ光束を前記被測定物に対して斜めか
ら照射する斜め照明装置Ｂと、本体鏡筒８に着脱可能に
取り付けられリング状光束を前記被測定物に対して照射
するリング照明装置Ｃと、前記光源１１からの光束を前
記斜め照明装置Ｂおよびリング照明装置Ｃのいずれかに
切り替える切替手段とを設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学系によって得
られた被測定物の画像から被測定物の寸法や形状などを
測定する画像処理測定機の照明装置に関する。詳しく
は、被測定物に対する照明を垂直落射照明、斜め照明、
リング照明の中から選択できるようにした画像処理測定
機の照明装置に関する。
られた被測定物の画像から被測定物の寸法や形状などを
測定する画像処理測定機の照明装置に関する。詳しく
は、被測定物に対する照明を垂直落射照明、斜め照明、
リング照明の中から選択できるようにした画像処理測定
機の照明装置に関する。
【０００２】
【背景技術】拡大光学系によって被測定物の測定部位を
光学的に拡大し、その拡大画像から被測定物の寸法や形
状などを測定する画像処理測定機、たとえば、測定顕微
鏡、工具顕微鏡、投影機などでは、被測定物の拡大画像
を鮮明に得る上で被測定物に対する照明がきわめて重要
な役割を果たす。
光学的に拡大し、その拡大画像から被測定物の寸法や形
状などを測定する画像処理測定機、たとえば、測定顕微
鏡、工具顕微鏡、投影機などでは、被測定物の拡大画像
を鮮明に得る上で被測定物に対する照明がきわめて重要
な役割を果たす。
【０００３】従来、この種の画像処理測定機における照
明方式として、被測定物に対してほぼ真上から照明光を
被測定物に照射する垂直落射照明方式が知られている。
しかし、垂直落射照明方式は、形状が比較的簡単な被測
定物を測定するときに用いられる場合が多く、複雑な形
状の被測定物、たとえば、エッジ部を数多く有する階段
状の被測定物の測定では、そのエッジ部の影を表示装置
などに鮮明に描写できない場合がある。
明方式として、被測定物に対してほぼ真上から照明光を
被測定物に照射する垂直落射照明方式が知られている。
しかし、垂直落射照明方式は、形状が比較的簡単な被測
定物を測定するときに用いられる場合が多く、複雑な形
状の被測定物、たとえば、エッジ部を数多く有する階段
状の被測定物の測定では、そのエッジ部の影を表示装置
などに鮮明に描写できない場合がある。
【０００４】そこで、これを解決するものとして、通
常、画像処理測定機に備えられている光源とは別の光源
を有する斜め照明装置や、同様に別光源をもったリング
照明装置を測定機本体に対して取り付け、これらの照明
装置からの照明によって被測定物の画像を得るようにし
た画像処理測定機が提案されている。
常、画像処理測定機に備えられている光源とは別の光源
を有する斜め照明装置や、同様に別光源をもったリング
照明装置を測定機本体に対して取り付け、これらの照明
装置からの照明によって被測定物の画像を得るようにし
た画像処理測定機が提案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した斜め
照明装置やリング照明装置では、画像処理測定機に備え
られている光源とは別の光源が必要であるため、コスト
的にも高く、しかも、これらを測定機本体に所定の姿勢
で取り付けるにも手間がかかり面倒であった。また、斜
め照明装置やリング照明を最初から測定機本体に取り付
けてしまうと、装置自体が大型化するうえ、使用用途に
よってはこれらの照明を全て必要としない場合もあるた
め、使い勝手が悪いという課題もある。
照明装置やリング照明装置では、画像処理測定機に備え
られている光源とは別の光源が必要であるため、コスト
的にも高く、しかも、これらを測定機本体に所定の姿勢
で取り付けるにも手間がかかり面倒であった。また、斜
め照明装置やリング照明を最初から測定機本体に取り付
けてしまうと、装置自体が大型化するうえ、使用用途に
よってはこれらの照明を全て必要としない場合もあるた
め、使い勝手が悪いという課題もある。
【０００６】本発明の目的は、このような従来の欠点を
解消すべくなされたもので、被測定物の形状などに応じ
て、垂直落射照明、斜め照明、リング照明のいずれかを
選択して使用することができるとともに、使い勝手に優
れ、しかも、コンパクトにかつ経済的に構成することが
できる画像処理測定機の照明装置を提供することにあ
る。
解消すべくなされたもので、被測定物の形状などに応じ
て、垂直落射照明、斜め照明、リング照明のいずれかを
選択して使用することができるとともに、使い勝手に優
れ、しかも、コンパクトにかつ経済的に構成することが
できる画像処理測定機の照明装置を提供することにあ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の画像処理測定機
の照明装置は、被測定物を載置したテーブルを有する測
定機本体と、光源を含みこの光源からの光束を前記被測
定物の真上から照射する落射照明装置と、前記測定機本
体に着脱可能に取り付けられ光束を前記被測定物に対し
て斜めから照射する斜め照明装置と、前記測定機本体に
着脱可能に取り付けられリング状光束を前記被測定物に
対して照射するリング照明装置と、前記光源からの光束
を前記斜め照明装置およびリング照明装置のいずれかに
切り替える切替手段とを備えたことを特徴とする。
の照明装置は、被測定物を載置したテーブルを有する測
定機本体と、光源を含みこの光源からの光束を前記被測
定物の真上から照射する落射照明装置と、前記測定機本
体に着脱可能に取り付けられ光束を前記被測定物に対し
て斜めから照射する斜め照明装置と、前記測定機本体に
着脱可能に取り付けられリング状光束を前記被測定物に
対して照射するリング照明装置と、前記光源からの光束
を前記斜め照明装置およびリング照明装置のいずれかに
切り替える切替手段とを備えたことを特徴とする。
【０００８】このような構成によれば、落射照明装置を
備えた測定機本体に対して、斜め照明装置およびリング
照明装置が着脱可能に構成されているから、垂直落射照
明、斜め照明およびリング照明の中から、被測定物の形
状に適した照明を選択して使用できる。しかも、これら
は測定機本体に対して着脱可能であるから、使い勝手に
優れ、かつ、コンパクトに構成することができるまた、
落射照明装置の光源からの光束を斜め照明装置およびリ
ング照明装置に切り替える切替手段が設けられているか
ら、落射照明装置の光源を斜め照明装置およびリング照
明装置に共用することができる。このため、従来のよう
に別に光源を設けて斜め照明やリング照明を行う場合に
比べ、経済的に構成することができる。
備えた測定機本体に対して、斜め照明装置およびリング
照明装置が着脱可能に構成されているから、垂直落射照
明、斜め照明およびリング照明の中から、被測定物の形
状に適した照明を選択して使用できる。しかも、これら
は測定機本体に対して着脱可能であるから、使い勝手に
優れ、かつ、コンパクトに構成することができるまた、
落射照明装置の光源からの光束を斜め照明装置およびリ
ング照明装置に切り替える切替手段が設けられているか
ら、落射照明装置の光源を斜め照明装置およびリング照
明装置に共用することができる。このため、従来のよう
に別に光源を設けて斜め照明やリング照明を行う場合に
比べ、経済的に構成することができる。
【０００９】以上の構成において、前記斜め照明装置お
よびリング照明装置は、前記光源からの光束径を所定径
にするアダプターレンズを介して、いずれか一方のみが
前記測定機本体に着脱可能に取り付けられるようになっ
ていることが好ましい。このようにすれば、測定機本体
に対して、アダプターレンズを介して、斜め照明装置お
よびリング照明装置を選択的に取り付けることができる
ので、斜め照明装置およびリング照明装置を個々に測定
機本体に取り付けるための加工を行わなくてもよい。つ
まり、１つのアダプターレンズによって斜め照明装置お
よびリング照明装置の取り付け部を兼用できるから、構
造的にも簡易に、かつ、経済的にできる。しかも、アダ
プターレンズは、光源からの光束径を斜め照明装置およ
びリング照明装置に適合する径にできるから、光源から
の光束を効果的に利用できる。
よびリング照明装置は、前記光源からの光束径を所定径
にするアダプターレンズを介して、いずれか一方のみが
前記測定機本体に着脱可能に取り付けられるようになっ
ていることが好ましい。このようにすれば、測定機本体
に対して、アダプターレンズを介して、斜め照明装置お
よびリング照明装置を選択的に取り付けることができる
ので、斜め照明装置およびリング照明装置を個々に測定
機本体に取り付けるための加工を行わなくてもよい。つ
まり、１つのアダプターレンズによって斜め照明装置お
よびリング照明装置の取り付け部を兼用できるから、構
造的にも簡易に、かつ、経済的にできる。しかも、アダ
プターレンズは、光源からの光束径を斜め照明装置およ
びリング照明装置に適合する径にできるから、光源から
の光束を効果的に利用できる。
【００１０】また、前記切替手段は、前記光源からの光
路に対して挿入、退避可能に配置されその配置位置によ
って前記光源からの光束を前記斜め照明装置およびリン
グ照明装置のいずれかに切り替える光路切替ミラーによ
って構成されていることが好ましい。この場合、光路切
替ミラーを光源からの光路に対して挿入、退避可能に構
成するには、光路切替ミラーに光路切替レバーを連結
し、この光路切替レバーを測定機本体に対して押し引き
するようにすればよい。このようにすれば、光路切替ミ
ラーを光源からの光路に対して挿入、退避するだけの簡
単な操作で、光源からの光束を斜め照明装置およびリン
グ照明装置に切り替えることができる。しかも、簡単に
構成できる。
路に対して挿入、退避可能に配置されその配置位置によ
って前記光源からの光束を前記斜め照明装置およびリン
グ照明装置のいずれかに切り替える光路切替ミラーによ
って構成されていることが好ましい。この場合、光路切
替ミラーを光源からの光路に対して挿入、退避可能に構
成するには、光路切替ミラーに光路切替レバーを連結
し、この光路切替レバーを測定機本体に対して押し引き
するようにすればよい。このようにすれば、光路切替ミ
ラーを光源からの光路に対して挿入、退避するだけの簡
単な操作で、光源からの光束を斜め照明装置およびリン
グ照明装置に切り替えることができる。しかも、簡単に
構成できる。
【００１１】また、前記斜め照明装置は、前記切替手段
によって光源からの光束が切り替えられる光路中にかつ
前記測定機本体に着脱可能に取り付けられ前記光束を２
光束に分割する受光部と、この受光部で分割された各光
束を一端側から導入しかつ他端からの出射光束を前記被
測定物に対して斜めから照射する一対の光ケーブルとを
含んで構成されていることが好ましい。このようにすれ
ば、光源からの光束を２つに分割し、その各分割光束を
被測定物に対して両側からかつ斜めから照射することが
できる。この際、一対の光ケーブルの他端に投光部を設
け、これを固定金具によって所定角度に保持するととも
に、この固定金具をたとえば対物レンズの外周に固定す
るようにするとよい。
によって光源からの光束が切り替えられる光路中にかつ
前記測定機本体に着脱可能に取り付けられ前記光束を２
光束に分割する受光部と、この受光部で分割された各光
束を一端側から導入しかつ他端からの出射光束を前記被
測定物に対して斜めから照射する一対の光ケーブルとを
含んで構成されていることが好ましい。このようにすれ
ば、光源からの光束を２つに分割し、その各分割光束を
被測定物に対して両側からかつ斜めから照射することが
できる。この際、一対の光ケーブルの他端に投光部を設
け、これを固定金具によって所定角度に保持するととも
に、この固定金具をたとえば対物レンズの外周に固定す
るようにするとよい。
【００１２】また、前記リング照明装置は、前記切替手
段によって光源からの光束が切り替えられる光路中にか
つ前記測定機本体に着脱可能に取り付けられた受光部
と、この受光部で受光した光束を一端側から導入しかつ
他端が前記落射照明装置の光軸を中心とする円環状に配
置された複数本の光ファイバとを含んで構成されている
ことが好ましい。このようにすれば、複数本の光ファイ
バを円環状に配列するだけの簡単な構成によってリング
状光束を得ることができる。この際、複数本の光ファイ
バを束ねてリング状部材に収納するとともに、そのリン
グ状部材を対物レンズの外周に固定するようにすれば、
リング状光束の集光点を対物レンズの光軸上に簡単に一
致させることができる。
段によって光源からの光束が切り替えられる光路中にか
つ前記測定機本体に着脱可能に取り付けられた受光部
と、この受光部で受光した光束を一端側から導入しかつ
他端が前記落射照明装置の光軸を中心とする円環状に配
置された複数本の光ファイバとを含んで構成されている
ことが好ましい。このようにすれば、複数本の光ファイ
バを円環状に配列するだけの簡単な構成によってリング
状光束を得ることができる。この際、複数本の光ファイ
バを束ねてリング状部材に収納するとともに、そのリン
グ状部材を対物レンズの外周に固定するようにすれば、
リング状光束の集光点を対物レンズの光軸上に簡単に一
致させることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。図１は本発明を適用した測定顕微
鏡の斜視図である。同測定顕微鏡は、本体１を備える。
本体１は、ベース２と、これに垂直に立設されたコラム
３とを有する。ベース２には、上面に被測定物Ｗを載置
するテーブル４が設けられているとともに、内部に透過
照明装置（図示省略）が設けられている。テーブル４
は、それぞれ操作ハンドル５，６の回動操作によって、
水平面内における直交二軸方向、つまり、左右方向（Ｘ
軸方向）および前後方向（Ｙ軸方向）へそれぞれ移動さ
れるＸ−Ｙテーブルによって構成されている。コラム３
には、操作ハンドル７の回動操作によって、上下方向
（Ｚ軸方向）へ昇降可能な本体鏡筒８が設けられている
とともに、各軸方向（Ｘ，Ｙ，Ｚ軸方向）の移動量を表
示する表示器９が取り付けられている。
に基づいて説明する。図１は本発明を適用した測定顕微
鏡の斜視図である。同測定顕微鏡は、本体１を備える。
本体１は、ベース２と、これに垂直に立設されたコラム
３とを有する。ベース２には、上面に被測定物Ｗを載置
するテーブル４が設けられているとともに、内部に透過
照明装置（図示省略）が設けられている。テーブル４
は、それぞれ操作ハンドル５，６の回動操作によって、
水平面内における直交二軸方向、つまり、左右方向（Ｘ
軸方向）および前後方向（Ｙ軸方向）へそれぞれ移動さ
れるＸ−Ｙテーブルによって構成されている。コラム３
には、操作ハンドル７の回動操作によって、上下方向
（Ｚ軸方向）へ昇降可能な本体鏡筒８が設けられている
とともに、各軸方向（Ｘ，Ｙ，Ｚ軸方向）の移動量を表
示する表示器９が取り付けられている。
【００１４】前記本体鏡筒８には、図２および図３に示
すように、その上面に光源１１が、正面に接眼レンズ１
２が、下面に対物レンズ１３がそれぞれ設けられてい
る。また、本体鏡筒８の内部において、前記光源１１の
真下には光路切替ミラー５１が、前記対物レンズ１３の
光軸上にはハーフミラー５２，５３がそれぞれ配置され
ているとともに、ハーフミラー５３と接眼レンズ１２と
の間にはハーフミラー５３の反射光を接眼レンズ１２に
導くフィールドレンズ５４、ミラー５５およびリレーレ
ンズ（図示省略）などが順次配置されている。なお、光
路切替ミラー５１とハーフミラー５２との間にはレンズ
５６が、ハーフミラー５３とフィールドレンズ５４との
間にはレチクル５７がそれぞれ配置されている。
すように、その上面に光源１１が、正面に接眼レンズ１
２が、下面に対物レンズ１３がそれぞれ設けられてい
る。また、本体鏡筒８の内部において、前記光源１１の
真下には光路切替ミラー５１が、前記対物レンズ１３の
光軸上にはハーフミラー５２，５３がそれぞれ配置され
ているとともに、ハーフミラー５３と接眼レンズ１２と
の間にはハーフミラー５３の反射光を接眼レンズ１２に
導くフィールドレンズ５４、ミラー５５およびリレーレ
ンズ（図示省略）などが順次配置されている。なお、光
路切替ミラー５１とハーフミラー５２との間にはレンズ
５６が、ハーフミラー５３とフィールドレンズ５４との
間にはレチクル５７がそれぞれ配置されている。
【００１５】ここに、光源１１、光路切替ミラー５１お
よびハーフミラー５３により光源１１からの光束を被測
定物Ｗの真上から照射する落射照明装置Ａが構成されて
いる。また、光源１１と光路切替ミラー５１との間に
は、開口絞り５８が配置されているとともに、それより
下方の底壁（本体鏡筒８の下面）には、雌ねじを有する
ナット部材２０を介して、内部に光源１１からの光束径
を所定径にする集光レンズを有するアダプターレンズ２
１が着脱可能に螺合されるようになっている。
よびハーフミラー５３により光源１１からの光束を被測
定物Ｗの真上から照射する落射照明装置Ａが構成されて
いる。また、光源１１と光路切替ミラー５１との間に
は、開口絞り５８が配置されているとともに、それより
下方の底壁（本体鏡筒８の下面）には、雌ねじを有する
ナット部材２０を介して、内部に光源１１からの光束径
を所定径にする集光レンズを有するアダプターレンズ２
１が着脱可能に螺合されるようになっている。
【００１６】前記アダプターレンズ２１には、光束をテ
ーブル４上の被測定物Ｗに対して斜めから照射する斜め
照明装置Ｂと、リング状光束をテーブル４上の被測定物
Ｗに対して照射するリング照明装置Ｃとが選択的に着脱
可能に構成されている。また、前記光源１１からの光束
が、アダプターレンズ２１に取り付けられた斜め照明装
置Ｂおよびリング照明装置Ｃのいずれか一方に切り替え
られるように、前記光路切替ミラー５１が光源１１から
の光路に対して挿入、退避可能に構成されている。具体
的には、図４に示すように、前記本体鏡筒８の側面に設
けられ光路切替レバー５１Ａの押し引きによって、光路
切替ミラー５１の配置位置が切り替えられるようになっ
ている。ここに、光路切替ミラー５１および光路切替レ
バー５１Ａを含んで切替手段Ｄが構成されている。な
お、図４において、５８Ａは前記開口絞り５８を可変す
る開口絞りレバーである。
ーブル４上の被測定物Ｗに対して斜めから照射する斜め
照明装置Ｂと、リング状光束をテーブル４上の被測定物
Ｗに対して照射するリング照明装置Ｃとが選択的に着脱
可能に構成されている。また、前記光源１１からの光束
が、アダプターレンズ２１に取り付けられた斜め照明装
置Ｂおよびリング照明装置Ｃのいずれか一方に切り替え
られるように、前記光路切替ミラー５１が光源１１から
の光路に対して挿入、退避可能に構成されている。具体
的には、図４に示すように、前記本体鏡筒８の側面に設
けられ光路切替レバー５１Ａの押し引きによって、光路
切替ミラー５１の配置位置が切り替えられるようになっ
ている。ここに、光路切替ミラー５１および光路切替レ
バー５１Ａを含んで切替手段Ｄが構成されている。な
お、図４において、５８Ａは前記開口絞り５８を可変す
る開口絞りレバーである。
【００１７】前記斜め照明装置Ｂは、図５にも示すよう
に、前記光源１１からの光路が切り替えられる光路中、
つまり、前記アダプターレンズ２１の底面嵌合穴２２に
着脱可能に挿入されかつ止めねじ２３によって取り付け
られるとともに前記光源１１からの光束を２光束に分割
する受光部３１と、この受光部３１に一端が連結され受
光部３１で分割された各光束を一端側から導入する一対
の光ケーブル３２Ａ，３２Ｂと、この各光ケーブル３２
Ａ，３２Ｂの他端に取り付けられ内部にレンズを有する
投光部３３Ａ，３３Ｂと、この両投光部３３Ａ，３３Ｂ
を所定の傾斜角度（被測定物Ｗに対して斜めから照射す
る角度）で保持しかつ前記対物レンズ１３の外周に止め
ねじ３４によって固定される固定金具３５とから構成さ
れている。
に、前記光源１１からの光路が切り替えられる光路中、
つまり、前記アダプターレンズ２１の底面嵌合穴２２に
着脱可能に挿入されかつ止めねじ２３によって取り付け
られるとともに前記光源１１からの光束を２光束に分割
する受光部３１と、この受光部３１に一端が連結され受
光部３１で分割された各光束を一端側から導入する一対
の光ケーブル３２Ａ，３２Ｂと、この各光ケーブル３２
Ａ，３２Ｂの他端に取り付けられ内部にレンズを有する
投光部３３Ａ，３３Ｂと、この両投光部３３Ａ，３３Ｂ
を所定の傾斜角度（被測定物Ｗに対して斜めから照射す
る角度）で保持しかつ前記対物レンズ１３の外周に止め
ねじ３４によって固定される固定金具３５とから構成さ
れている。
【００１８】前記リング照明装置Ｃは、図６および図７
にも示すように、前記アダプターレンズ２１の底面嵌合
穴２２に着脱可能に挿入されかつ止めねじ２３によって
取り付けられる受光部４１と、この受光部４１に一端が
臨ませられ受光部４１で受光した光束を一端側から導入
する複数本の光ファイバ４２と、前記受光部４１にフレ
キシブルパイプ４３を介して連結され内部に前記複数本
の光ファイバ４２を束ねた状態でかつ円環状に収納した
リング状部材４４と、このリング状部材４４を前記対物
レンズ１３の外周に固定する止めねじ４５とを含んで構
成されている。なお、リング状部材４４の下面には、図
８に示すように、円環状の溝４６が対物レンズ１３の光
軸に対して傾斜して形成され、この溝４６に複数の光フ
ァイバ４２の先端が１本ずつ円環状に整列配列されてい
る。
にも示すように、前記アダプターレンズ２１の底面嵌合
穴２２に着脱可能に挿入されかつ止めねじ２３によって
取り付けられる受光部４１と、この受光部４１に一端が
臨ませられ受光部４１で受光した光束を一端側から導入
する複数本の光ファイバ４２と、前記受光部４１にフレ
キシブルパイプ４３を介して連結され内部に前記複数本
の光ファイバ４２を束ねた状態でかつ円環状に収納した
リング状部材４４と、このリング状部材４４を前記対物
レンズ１３の外周に固定する止めねじ４５とを含んで構
成されている。なお、リング状部材４４の下面には、図
８に示すように、円環状の溝４６が対物レンズ１３の光
軸に対して傾斜して形成され、この溝４６に複数の光フ
ァイバ４２の先端が１本ずつ円環状に整列配列されてい
る。
【００１９】以上の構成であるから、測定にあたって
は、テーブル４上に被測定物Ｗを載置したのち、その被
測定物Ｗの形状に適した照明を、垂直落射照明、斜め照
明およびリング照明の中から選択する。たとえば、垂直
落射照明の場合には、図３において、光路切替ミラー５
１が光源１１からの光路中に位置している状態、つま
り、光路切替レバー５１Ａを押し込んだ状態において、
光源１１の電源をオンする。すると、光源１１からの光
束は、光路切替ミラー５１で反射され、続いて、ハーフ
ミラー５２で反射されたのち、対物レンズ１３から被測
定物Ｗに真上から照射される。被測定物Ｗからの反射光
は、対物レンズ１３およびハーフミラー５２と通って、
ハーフミラー５３で反射されたのち、フィールドレンズ
５４、ミラー５５を経て接眼レンズ１２接眼レンズ１２
で観察される。なお、ハーフミラー５３の透過光をテレ
ビやカメラで観察することも可能である。
は、テーブル４上に被測定物Ｗを載置したのち、その被
測定物Ｗの形状に適した照明を、垂直落射照明、斜め照
明およびリング照明の中から選択する。たとえば、垂直
落射照明の場合には、図３において、光路切替ミラー５
１が光源１１からの光路中に位置している状態、つま
り、光路切替レバー５１Ａを押し込んだ状態において、
光源１１の電源をオンする。すると、光源１１からの光
束は、光路切替ミラー５１で反射され、続いて、ハーフ
ミラー５２で反射されたのち、対物レンズ１３から被測
定物Ｗに真上から照射される。被測定物Ｗからの反射光
は、対物レンズ１３およびハーフミラー５２と通って、
ハーフミラー５３で反射されたのち、フィールドレンズ
５４、ミラー５５を経て接眼レンズ１２接眼レンズ１２
で観察される。なお、ハーフミラー５３の透過光をテレ
ビやカメラで観察することも可能である。
【００２０】この状態において、テーブル４をＸ軸方向
およびＹ軸方向へ移動させながら、かつ、本体鏡筒８を
Ｚ軸方向へ移動させながら、たとえば、レチクル５７の
十字線などに被測定物Ｗの測定部位を順次合わせてい
く。このとき、各軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ軸）の移動量を表示器
９から読み取って被測定物Ｗの測定部位の寸法や形状を
測定する。
およびＹ軸方向へ移動させながら、かつ、本体鏡筒８を
Ｚ軸方向へ移動させながら、たとえば、レチクル５７の
十字線などに被測定物Ｗの測定部位を順次合わせてい
く。このとき、各軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ軸）の移動量を表示器
９から読み取って被測定物Ｗの測定部位の寸法や形状を
測定する。
【００２１】一方、斜め照明の場合には、図５に示すよ
うに、ナット部材２０にアダプターレンズ２１を螺合し
たのち、このアダプターレンズ２１の嵌合穴２２に斜め
照明装置Ｂの受光部３１を嵌合し、止めねじ２３で固定
する。また、固定金具３５を対物レンズ１３の外周に挿
入し、止めねじ３４で固定する。ここで、光路切替レバ
ー５１Ａを引き出す。すると、光源１１からの光束は、
受光部３１で２光束に分割されたのち、各分割光束は、
光ケーブル３２Ａ，３２Ｂを通って投光部３３Ａ、３３
Ｂから被測定物Ｗに照射される。つまり、被測定物Ｗに
対して斜めから照射される。従って、溝や凸条なども鮮
明な画像として得ることができる。
うに、ナット部材２０にアダプターレンズ２１を螺合し
たのち、このアダプターレンズ２１の嵌合穴２２に斜め
照明装置Ｂの受光部３１を嵌合し、止めねじ２３で固定
する。また、固定金具３５を対物レンズ１３の外周に挿
入し、止めねじ３４で固定する。ここで、光路切替レバ
ー５１Ａを引き出す。すると、光源１１からの光束は、
受光部３１で２光束に分割されたのち、各分割光束は、
光ケーブル３２Ａ，３２Ｂを通って投光部３３Ａ、３３
Ｂから被測定物Ｗに照射される。つまり、被測定物Ｗに
対して斜めから照射される。従って、溝や凸条なども鮮
明な画像として得ることができる。
【００２２】また、リング照明の場合には、図６に示す
ように、ナット部材２０にアダプターレンズ２１を螺合
したのち、このアダプターレンズ２１の嵌合穴２２にリ
ング照明装置Ｃの受光部４１を嵌合し、止めねじ２３で
固定する。また、リング状部材４４を対物レンズ１３の
外周に挿入し、止めねじ４５で固定する。ここで、光路
切替レバー５１Ａを引き出す。すると、光源１１からの
光束は、受光部４１から光ファイバ４２を通ってその先
端から被測定物Ｗに照射される。つまり、被測定物Ｗに
対してリング状の光束として照射される。従って、円状
溝や円状突起なども鮮明な画像として得ることができ
る。
ように、ナット部材２０にアダプターレンズ２１を螺合
したのち、このアダプターレンズ２１の嵌合穴２２にリ
ング照明装置Ｃの受光部４１を嵌合し、止めねじ２３で
固定する。また、リング状部材４４を対物レンズ１３の
外周に挿入し、止めねじ４５で固定する。ここで、光路
切替レバー５１Ａを引き出す。すると、光源１１からの
光束は、受光部４１から光ファイバ４２を通ってその先
端から被測定物Ｗに照射される。つまり、被測定物Ｗに
対してリング状の光束として照射される。従って、円状
溝や円状突起なども鮮明な画像として得ることができ
る。
【００２３】従って、本実施形態によれば、落射照明装
置Ａおよび透過照明装置（図示省略）を備えた測定顕微
鏡に、斜め照明装置Ｂおよびリング照明装置Ｃを選択的
に取り付け可能に構成したので、被測定物Ｗの形状に適
した照明を選択して使用できる。つまり、垂直落射照
明、斜め照明およびリング照明の中から被測定物Ｗの形
状に適した照明を選択して使用できる。
置Ａおよび透過照明装置（図示省略）を備えた測定顕微
鏡に、斜め照明装置Ｂおよびリング照明装置Ｃを選択的
に取り付け可能に構成したので、被測定物Ｗの形状に適
した照明を選択して使用できる。つまり、垂直落射照
明、斜め照明およびリング照明の中から被測定物Ｗの形
状に適した照明を選択して使用できる。
【００２４】その際、本体鏡筒８にナット部材２０を取
り付け、このナット部材２０にアダプターレンズ２１を
介して、斜め照明装置Ｂおよびリング照明装置Ｃを選択
的に取り付け可能に構成したので、斜め照明装置Ｂおよ
びリング照明装置Ｃを個々に本体鏡筒８に取り付けるた
めの加工を行わなくてもよい。つまり、１つのナット部
材２０によって斜め照明装置Ｂおよびリング照明装置Ｃ
の取り付け部を兼用できるから、構造的にも簡易に、か
つ、経済的にできる。しかも、アダプターレンズ２１
は、光源１１からの光束径を斜め照明装置Ｂおよびリン
グ照明装置Ｃのファイバ径に合うように集光レンズを配
置してあるから、光源１１からの光束を効果的に利用で
きる。
り付け、このナット部材２０にアダプターレンズ２１を
介して、斜め照明装置Ｂおよびリング照明装置Ｃを選択
的に取り付け可能に構成したので、斜め照明装置Ｂおよ
びリング照明装置Ｃを個々に本体鏡筒８に取り付けるた
めの加工を行わなくてもよい。つまり、１つのナット部
材２０によって斜め照明装置Ｂおよびリング照明装置Ｃ
の取り付け部を兼用できるから、構造的にも簡易に、か
つ、経済的にできる。しかも、アダプターレンズ２１
は、光源１１からの光束径を斜め照明装置Ｂおよびリン
グ照明装置Ｃのファイバ径に合うように集光レンズを配
置してあるから、光源１１からの光束を効果的に利用で
きる。
【００２５】また、落射照明装置Ａの光源１１からの光
束を斜め照明装置Ｂおよびリング照明装置Ｃに切り替え
る切替手段Ｄを設けたので、落射照明装置Ａの光源１１
を斜め照明装置Ｂおよびリング照明装置Ｃに共用するこ
とができる。このため、従来のように別に光源を設けて
斜め照明やリング照明を行う場合に比べ、経済的に構成
することができる。しかも、切替手段Ｄは、光源１１の
真下に配置された光路切替ミラー５１を光路切替レバー
５１Ａの押し引きによって光源１１からの光路中に挿
入、退避可能に構成したので、簡単な操作、簡単な構造
によって光路を切り替えることができる。
束を斜め照明装置Ｂおよびリング照明装置Ｃに切り替え
る切替手段Ｄを設けたので、落射照明装置Ａの光源１１
を斜め照明装置Ｂおよびリング照明装置Ｃに共用するこ
とができる。このため、従来のように別に光源を設けて
斜め照明やリング照明を行う場合に比べ、経済的に構成
することができる。しかも、切替手段Ｄは、光源１１の
真下に配置された光路切替ミラー５１を光路切替レバー
５１Ａの押し引きによって光源１１からの光路中に挿
入、退避可能に構成したので、簡単な操作、簡単な構造
によって光路を切り替えることができる。
【００２６】また、斜め照明装置Ｂは、光源１１からの
光束を２光束に分割する受光部３１と、この受光部３１
に一端が連結された一対の光ケーブル３２Ａ，３２Ｂ
と、この各光ケーブル３２Ａ，３２Ｂの他端に取り付け
られた投光部３３Ａ，３３Ｂを所定の傾斜角度で保持し
かつ対物レンズ１３の外周に固定する固定金具３５とを
含んで構成されているから、光束を被測定物Ｗに対して
両側からかつ斜めから照射することができる。しかも、
投光部３３Ａ，３３Ｂを所保持した固定金具３５が対物
レンズ１３の外周に固定される構造であるから、両投光
部３３Ａ，３３Ｂを安定して支持できる。
光束を２光束に分割する受光部３１と、この受光部３１
に一端が連結された一対の光ケーブル３２Ａ，３２Ｂ
と、この各光ケーブル３２Ａ，３２Ｂの他端に取り付け
られた投光部３３Ａ，３３Ｂを所定の傾斜角度で保持し
かつ対物レンズ１３の外周に固定する固定金具３５とを
含んで構成されているから、光束を被測定物Ｗに対して
両側からかつ斜めから照射することができる。しかも、
投光部３３Ａ，３３Ｂを所保持した固定金具３５が対物
レンズ１３の外周に固定される構造であるから、両投光
部３３Ａ，３３Ｂを安定して支持できる。
【００２７】また、リング照明装置Ｃは、受光部４１
と、この受光部４１に一端が臨ませられた複数本の光フ
ァイバ４２と、この複数本の光ファイバ４２を束ねた状
態でかつ円環状に収納したリング状部材４４とを含んで
構成され、かつ、リング状部材４４の下面に複数の光フ
ァイバ４２の先端が１本ずつ円環状に整列配列された構
成であるから、簡単な構成によってリング状光束を得る
ことができる。しかも、リング状部材４４は対物レンズ
１３の外周に止めねじ４５によって固定されているか
ら、リング状光束の集光点を対物レンズ１３の光軸上に
簡単に一致させることができる。さらに、受光部４１と
リング状部材４４とはフレキシブルパイプ４３を介して
連結されているから、リング状部材４４を対物レンズ１
３の外周に固定する際にも容易に嵌合固定することがで
きる。
と、この受光部４１に一端が臨ませられた複数本の光フ
ァイバ４２と、この複数本の光ファイバ４２を束ねた状
態でかつ円環状に収納したリング状部材４４とを含んで
構成され、かつ、リング状部材４４の下面に複数の光フ
ァイバ４２の先端が１本ずつ円環状に整列配列された構
成であるから、簡単な構成によってリング状光束を得る
ことができる。しかも、リング状部材４４は対物レンズ
１３の外周に止めねじ４５によって固定されているか
ら、リング状光束の集光点を対物レンズ１３の光軸上に
簡単に一致させることができる。さらに、受光部４１と
リング状部材４４とはフレキシブルパイプ４３を介して
連結されているから、リング状部材４４を対物レンズ１
３の外周に固定する際にも容易に嵌合固定することがで
きる。
【００２８】なお、上記実施形態では、被測定物Ｗの反
射光を接眼レンズ１２で観察しながら測定する構造の測
定顕微鏡について説明したが、被測定物の反射光を別に
設けた表示装置に表示して測定するものでもよい。ま
た、上記実施形態では、測定顕微鏡について説明した
が、これに限らず、投影機などでもよい。
射光を接眼レンズ１２で観察しながら測定する構造の測
定顕微鏡について説明したが、被測定物の反射光を別に
設けた表示装置に表示して測定するものでもよい。ま
た、上記実施形態では、測定顕微鏡について説明した
が、これに限らず、投影機などでもよい。
【００２９】また、斜め照明装置Ｂおよびリング照明装
置Ｃの構成については、上記実施形態で述べた構成に限
らず、他の構成でもよく、要するに、斜め照明装置Ｂに
ついては被測定物Ｗに対して斜めから光束を照射できる
構造であればよく、また、リング照明装置Ｃについて
は、被測定物Ｗに対してリング状光束を照射できる構造
であればよい。
置Ｃの構成については、上記実施形態で述べた構成に限
らず、他の構成でもよく、要するに、斜め照明装置Ｂに
ついては被測定物Ｗに対して斜めから光束を照射できる
構造であればよく、また、リング照明装置Ｃについて
は、被測定物Ｗに対してリング状光束を照射できる構造
であればよい。
【００３０】
【発明の効果】本発明の画像処理測定機の照明装置によ
れば、被測定物の形状に応じて、垂直落射照明、斜め照
明、リング照明のいずれかを選択して使用することがで
きるとともに、使い勝手に優れ、しかも、コンパクトに
かつ経済的に構成することがでる。
れば、被測定物の形状に応じて、垂直落射照明、斜め照
明、リング照明のいずれかを選択して使用することがで
きるとともに、使い勝手に優れ、しかも、コンパクトに
かつ経済的に構成することがでる。
【図１】本発明の一実施形態に係る測定顕微鏡を示す斜
視図である。
視図である。
【図２】同上実施形態の要部を示す一部側面図である。
【図３】同上実施形態の本体鏡筒の内部を示す断面図で
ある。
ある。
【図４】図３のIV−IV線断面図である。
【図５】同上実施形態の斜め照明装置を本体鏡筒に取り
付けた状態を示す図である。
付けた状態を示す図である。
【図６】同上実施形態のリング照明装置を本体鏡筒に取
り付けた状態を示す図である。
り付けた状態を示す図である。
【図７】同上実施形態のリング照明装置を示す斜視図で
ある。
ある。
【図８】同上実施形態のリング照明装置を底面から見た
斜視図である。
斜視図である。
１ 本体（測定機本体） ４ テーブル ８ 本体鏡筒（測定機本体） １１ 光源 ２１ アダプターレンズ ３１ 受光部 ３２Ａ 光ケーブル ３３Ａ 投光部 ３５ 固定金具 ４１ 受光部 ４２ 光ファイバ ４３ フレキシブルパイプ ４４ リング状部材 ４６ 溝 ５１ 光路切替ミラー ５１Ａ 光路切替レバー Ａ 落射照明装置 Ｂ 斜め照明装置 Ｃ リング照明装置 Ｄ 切替手段 Ｗ 被測定物
Claims (5)
- 【請求項１】 被測定物を載置したテーブルを有する測
定機本体と、光源を含みこの光源からの光束を前記被測
定物の真上から照射する落射照明装置と、前記測定機本
体に着脱可能に取り付けられ光束を前記被測定物に対し
て斜めから照射する斜め照明装置と、前記測定機本体に
着脱可能に取り付けられリング状光束を前記被測定物に
対して照射するリング照明装置と、前記光源からの光束
を前記斜め照明装置およびリング照明装置のいずれかに
切り替える切替手段とを備えたことを特徴とする画像処
理測定機の照明装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の画像処理測定機の照明
装置において、前記斜め照明装置およびリング照明装置
は、前記光源からの光束径を所定径にするアダプターレ
ンズを介して、いずれか一方のみが前記測定機本体に着
脱可能に取り付けられるようになっていることを特徴と
する画像処理測定機の照明装置。 - 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載の画像処
理測定機の照明装置において、前記切替手段は、前記光
源からの光路に対して挿入、退避可能に配置されその配
置位置によって前記光源からの光束を前記斜め照明装置
およびリング照明装置のいずれかに切り替える光路切替
ミラーによって構成されていることを特徴とする画像処
理測定機の照明装置。 - 【請求項４】 請求項１〜請求項３のいずれかに記載の
画像処理測定機の照明装置において、前記斜め照明装置
は、前記切替手段によって光源からの光束が切り替えら
れる光路中にかつ前記測定機本体に着脱可能に取り付け
られ前記光束を２光束に分割する受光部と、この受光部
で分割された各光束を一端側から導入しかつ他端からの
出射光束を前記被測定物に対して斜めから照射する一対
の光ケーブルとを含んで構成されていることを特徴とす
る画像処理測定機の照明装置。 - 【請求項５】 請求項１〜請求項３のいずれかに記載の
画像処理測定機の照明装置において、前記リング照明装
置は、前記切替手段によって光源からの光束が切り替え
られる光路中にかつ前記測定機本体に着脱可能に取り付
けられた受光部と、この受光部で受光した光束を一端側
から導入しかつ他端が前記落射照明装置の光軸を中心と
する円環状に配置された複数本の光ファイバとを含んで
構成されていることを特徴とする画像処理測定機の照明
装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33171397A JP3315358B2 (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-02 | 画像処理測定機の照明装置 |
| US09/199,201 US6181471B1 (en) | 1997-12-02 | 1998-11-25 | Illuminating system for image processing measuring apparatus |
| DE19854722.6A DE19854722B4 (de) | 1997-12-02 | 1998-11-26 | Beleuchtungssystem für ein Bildverarbeitungs-Meßgerät |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33171397A JP3315358B2 (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-02 | 画像処理測定機の照明装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11160026A true JPH11160026A (ja) | 1999-06-18 |
| JP3315358B2 JP3315358B2 (ja) | 2002-08-19 |
Family
ID=18246765
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33171397A Expired - Fee Related JP3315358B2 (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-02 | 画像処理測定機の照明装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6181471B1 (ja) |
| JP (1) | JP3315358B2 (ja) |
| DE (1) | DE19854722B4 (ja) |
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| JP2007041596A (ja) * | 2005-08-02 | 2007-02-15 | Leica Microsystems (Schweiz) Ag | 落射照明装置を備える立体顕微鏡システム |
| JP2011519016A (ja) * | 2007-12-14 | 2011-06-30 | インテクプラス カンパニー、リミテッド | 表面形状測定システム及びそれを用いた測定方法 |
| JP2012253299A (ja) * | 2011-06-07 | 2012-12-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置 |
| JP2013063490A (ja) * | 2011-09-16 | 2013-04-11 | Apic Yamada Corp | 切削装置および切削方法 |
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|---|---|---|---|---|
| JP2000250100A (ja) * | 1999-03-01 | 2000-09-14 | Mitsutoyo Corp | 光学測定機用照明装置 |
| DE10066519B3 (de) | 1999-11-30 | 2019-08-14 | Mitutoyo Corporation | Bilderzeugungssonde |
| DE10133064A1 (de) * | 2001-07-07 | 2003-01-16 | Leica Microsystems | Vorrichtung zur Beleuchtung eines Betrachtungsfeldes, beispielsweise eines Objektfeldes unter einem Mikroskop, durch eine Zusatzbeleuchtung |
| JP2005017905A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Olympus Corp | 実体顕微鏡 |
| EP1495912B1 (en) * | 2003-07-10 | 2009-03-25 | Ichikoh Industries, Ltd. | Outer mirror tilting apparatus |
| CN101069115B (zh) * | 2004-04-16 | 2010-05-12 | 奥本大学 | 显微镜照明装置及其适配器 |
| WO2007064959A2 (en) * | 2005-12-01 | 2007-06-07 | Auburn University | High resolution optical microscope |
| WO2007070382A2 (en) * | 2005-12-09 | 2007-06-21 | Auburn University | Simultaneous observation of darkfield images and fluorescence using filter and diaphragm |
| US20070242335A1 (en) * | 2006-02-20 | 2007-10-18 | Hasling Thomas A | Translational filter, shutter, aperture apparatus for selecting and combining filtered and unfiltered light |
| US7822335B1 (en) | 2006-09-21 | 2010-10-26 | Microscan Systems, Inc. | Lens protector |
| US8107808B2 (en) | 2009-07-10 | 2012-01-31 | Microscan Systems, Inc. | Combination dark field and bright field illuminator |
| US8768159B2 (en) | 2009-07-10 | 2014-07-01 | Microscan Systems, Inc. | Combination dark field and bright field illuminator |
| EP2309303A1 (de) * | 2009-10-05 | 2011-04-13 | Photonic Optische Geräte Ges.m.b.H. & Co.KG | Mikroskop |
| US20110080638A1 (en) * | 2009-10-06 | 2011-04-07 | Dieter Feger | Microscope |
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| DE3100662A1 (de) * | 1980-01-31 | 1981-11-26 | Jenoptik Jena Gmbh, Ddr 6900 Jena | "vorrichtung zur dunkelfeldbeleuchtung in auflichtmikroskopen" |
| JPS57111508A (en) * | 1980-12-27 | 1982-07-12 | Olympus Optical Co Ltd | Lighting optical system of microscope for surgical operation |
| DE3442218A1 (de) * | 1984-11-19 | 1986-05-28 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Auflichtbeleuchtungsapparat fuer mikroskope |
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1997
- 1997-12-02 JP JP33171397A patent/JP3315358B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-11-25 US US09/199,201 patent/US6181471B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-11-26 DE DE19854722.6A patent/DE19854722B4/de not_active Expired - Lifetime
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| JP3315358B2 (ja) | 2002-08-19 |
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