JP2002310234A - クリーンルーム用防振パッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 クリーンルーム内において、部材から
アウトガスが発生するのを抑えたクリーンルーム用防振
パッドを開発することにある。 【解決手段】 荷重担持面(20)と負荷(21)との間に配
設されて荷重担持面(20)と負荷(21)との間の振動伝達を
遮断するクリーンルーム用防振パッド(A)であって、荷
重担持面(20)に設置されるステンレス製の設置プレート
(1)と、負荷(21)を担持するステンレス製の負荷担持プ
レート(2)と、設置プレート(1)と負荷担持プレート(2)
の対向面に対向して形成された複数のバネ取付凹部(3)
(4)と、前記バネ取付凹部(3)(4)に取り付けられる複数
のステンレス製でその表面が平滑処理されたバネ(5)
と、負荷担持プレート(2)に設けられ、常温でアウトガ
スを放出しない樹脂にて形成された負荷取付部材(6)と
で構成されていることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム内
に設置される機器装置類の下に設置され、たとえば床面
のような負荷担持面との間で振動の伝達を遮断する簡易
なクリーンルーム用防振パッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】現代の半導体製造プロセスでは、集積回
路の超高密度化によりクリーンルーム内の極く僅かの微
細パーティクルやクリーンルーム内に放出されたガス中
の微量不純物が半導体の欠陥を生む原因となっており、
これら微細パーティクルや微量不純ガスの管理が特に、
クラス１０以上のクリーンルームでは問題となってい
る。処が、クリーンルーム内に設置される機器類や設備
類の底部脚部として取り付けられている防振部材は防振
マットと称される従来から使用されている表面に凹凸を
有する通常のゴム材料で構成されており、これが常温で
クリーンルーム内で微細パーティクルや不純物を含むア
ウトガスを放出しており、これがクリーン度低下の一つ
の原因となっていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明の第１の解決課
題は、クリーンルーム内に設置された各種設備機器類の
下に取り付けられていたゴム製防振マットのような防振
部材を排除し、主材料がステンレス製で、樹脂部分も常
温で微細パーティクルや不純物を含むアウトガスを放出
するようなことのない新規なクリーンルーム用防振パッ
ドを開発することにあり、第２に組み立てやすいクリー
ンルーム用防振パッドを開発するにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】「請求項１」に記載の本
発明にかかるクリーンルーム用防振パッド(A)は「荷重
担持面(20)と負荷(21)との間に配設されて荷重担持面(2
0)と負荷(21)との間の振動伝達を遮断するクリーンルー
ム用防振パッド(A)であって、荷重担持面(20)に設置さ
れるステンレス製の設置プレート(1)と、負荷(21)を担
持するステンレス製の負荷担持プレート(2)と、設置プ
レート(1)と負荷担持プレート(2)の対向面に対向して形
成された複数のバネ取付凹部(3)(4)と、前記バネ取付凹
部(3)(4)に取り付けられる複数のステンレス製でその表
面が平滑処理されたバネ(5)と、負荷担持プレート(2)に
設けられ、常温でアウトガスを放出しない樹脂にて形成
された負荷取付部材(6)とで構成されている」ことを特
徴とする。

【０００５】これによれば、全ての構成部材が鏡面仕上
げされたステンレスおよび常温でアウトガスを放出しな
い樹脂であるから、クラス１０以上のクリーンルーム内
において微細パーティクルを生成する危険性が全くなく
安心して使用することができる。しかもそのバネ(5)の
数を可変することで、対象とする負荷(21)にバネ定数を
合わせることができる。なお、明細書中でいう「アウト
ガス」とは構成部材中に含まれているガス成分が構成部
材に外圧が掛かることによって或いは外圧が掛かること
なく構成部材から外部に放出されるガスのことで、当該
ガス中には構成部材或いは構成成分の微細パーティクル
や不純物が含まれており、これがクリーンルーム中に放
出されることによりクリーンルーム内の清浄度を低下さ
せ、欠陥・不良率の上昇原因となる。

【０００６】「請求項２」は「請求項１」のクリーンル
ーム用防振パッド(A)を限定したもので「少なくとも２
以上のバネ取付凹部(3)の内径がバネ(5)の外径にほぼ等
しく、残る他のバネ取付凹部(4)の内径がバネ(5)の外径
よりも大きい」ことを特徴とする。このように、バネ取
付凹部(3)(4)の内径を、バネ(5)の外径にほぼ等しいも
のと大きいものの２種類としたので、設置されるバネ
(5)の数が増加したとしても、設置プレート(1)と負荷担
持プレート(2)とをつなぐバネ(5)はその直径がほぼ等し
い嵌合状態にあるバネ取付凹部(3)とバネ(5)とであって
それ以外の大径のバネ取付凹部(4)とバネ(5)とでは遊嵌
状態となっており、クリーンルーム用防振パッド(A)の
組み立ては前述の嵌合状態となる組み合わせのものを嵌
め合わせてないくだけで簡単に組み立てることができ
る。しかも遊嵌状態にある組み合わせのものを増減する
ことで設置する負荷(21)となる設備機器に合わせてクリ
ーンルーム用防振パッド(A)のバネ定数を自由に変更す
ることができる。

【０００７】「請求項３」は請求項１または２に記載の
クリーンルーム用防振パッド(A)の更なる改良で「設置
プレート(1)の荷重担持面(20)および負荷担持プレート
(2)の負荷(21)との当接面(1a)(2a)に常温でアウトガス
を放出しない樹脂シート(7)(8)が貼着されている」こと
を特徴とするもので、このように樹脂シート(7)(8)を設
けることで荷重担持面(20)と設置プレート(1)、負荷担
持プレート(2)と負荷(21)との直接的な接触、特に負荷
担持プレート(2)と負荷(21)という金属同士の直接的な
接触を防止することができ、硬い面同士の接触による微
細パーティクルの生成を防止することができる。

【０００８】

【発明の実施の形態】本発明のクリーンルーム用防振パ
ッド(A)を図示実施例に従って説明する。クリーンルー
ム用防振パッド(A)の設置プレート(1)および負荷担持プ
レート(2)は矩形板状でその表面が研磨された磨きステ
ンレス板を切断して作られている。その対向面には、合
計８個のバネ取付凹部(3)(4)が形成されている。（勿
論、バネ取付凹部(3)(4)の数は前記個数に限定されるも
のでなく、バネ(5)が嵌合状態にて嵌り込むものが最小
２カ所あれば足る。）ここではバネ取付凹部(3)(4)が８
個形成されている例を代表例として説明する。

【０００９】前記バネ取付凹部(3)(4)はバネ(5)の外径
とほぼ等しい内径を持つものとそれより大きい内径を持
つものの２種類が形成されている。バネ(5)の外径とほ
ぼ等しい内径を持つバネ取付凹部(3)は前記設置プレー
ト(1)および負荷担持プレート(2)の四隅に形成されてお
り、バネ(5)の外径より大きい内径を持つバネ取付凹部
(4)は各辺の中間部分に形成されている。そして設置プ
レート(1)および負荷担持プレート(2)の中央には通孔
(9)(10)がそれぞれ穿設されており、負荷担持プレート
(2)の通孔(10)に負荷取付部材(6)が嵌め込まれている。

【００１０】バネ(5)は弾発力に優れたマルテンサイト
系ステンレス材が使用されており、その表面は電解研磨
により鏡面仕上げとなっている。

【００１１】また、前記負荷取付部材(6)は常温でアウ
トガスを放出しない樹脂、たとえばフッ素樹脂或いはポ
リアセタール樹脂のようなものが使用される。勿論、こ
れらに限られるものでなく、アウトガスを放出しない樹
脂であればどのようなものでも使用することができる。
負荷取付部材(6)は段付筒状のもので中心にネジ孔(11)
が穿設されており、細径部分(12)が前記通孔(10)に下か
ら嵌め込まれ、その外鍔(13)が前記通孔(10)の孔縁に係
合している。

【００１２】更に、設置プレート(1)の荷重担持面(20)
および負荷担持プレート(2)の負荷(21)との当接面(1a)
(2a)に常温でアウトガスを放出しない樹脂シート(7)
(8)、たとえばフッ素樹脂或いはポリアセタール樹脂シ
ートのようなものが貼着されている。この場合も前述同
様アウトガスを放出しない樹脂であればどのようなもの
でも使用することができる。

【００１３】次に、このクリーンルーム用防振パッド
(A)組み立て方を説明する。まず、設置プレート(1)また
は負荷担持プレート(2)の四隅のバネ取付凹部(3)に４個
のバネ(5)の一端を嵌め込み、続いて残る４つバネ取付
凹部(4)にバネ(5)の一端を遊嵌状態で挿入する。このと
き担持する負荷(21)の大きさによって使用するバネ(5)
を増減することができる。この場合は４個のバネ(5)全
て使用するものとする。このようにバネ(5)を装着した
後、残る負荷担持プレート(2)或いは設置プレート(1)の
四隅のバネ取付凹部(3)に前述の四隅のバネ(5)の他端を
嵌め込む。前述の辺の中間部分に位置する遊嵌状態にあ
るバネ(5)の他端は、その嵌り込むバネ取付凹部(4)がそ
の外径よりも大きいため、前記四隅にあるバネ(5)がバ
ネ取付凹部(3)に嵌り込めば自動的に嵌り込むことにな
る。従って、８個のバネ(5)を使用するとしても８個の
バネ(5)の方向がすべて一致していなくても組み立てる
ことができ、優れた組み立て作業性を発揮する。

【００１４】次に、このクリーンルーム用防振パッド
(A)の使用方法について説明する。防振対象の負荷(2
1)、即ち、クリーンルーム内に設置される各種設備機器
の荷重、重心の位置及び発生する振動などにあわせてク
リーンルーム用防振パッド(A)の使用個数と組み込むバ
ネ(5)の数を選定し、続いて負荷(21)の取付部に合わせ
て荷重担持面(20)上にクリーンルーム用防振パッド(A)
を配置する。然る後、当該パッド(A)上に前記負荷(2)を
載置し、ボルト等の締結具(22)にて負荷取付部材(6)に
負荷(2)を螺着・固定する。このようにした後、負荷(2
1)を作動させて振動を発生させたとしても、前記振動は
バネ(5)によって遮断され、荷重担持面(20)側に伝達さ
れない。

【００１５】ここで重要なことは、第１にこのクリーン
ルーム用防振パッド(A)がステンレスとアウトガスを放
出しない樹脂で構成されているということである。この
ことによってクリーンルーム内を汚染するような錆を発
生させることもなければ、微細パーティクルや不純物を
放出するようなこともない。第２に設置プレート(1)と
負荷担持プレート(2)の当接面(1a)(2a)にの樹脂シート
(7)(8)が貼着されているということである。これによっ
て金属である設置プレート(1)や負荷担持プレート(2)が
負荷担持面(20)や金属である負荷(21)の取付部に直接接
触せず、金属同士の直接接触により振動発生時の微細パ
ーティクルの発生を防止している。第３に設置プレート
(1)、負荷担持プレート(2)及びバネ(5)の表面を鏡面仕
上げとしているので、極く僅かながら漂っているクリー
ンルーム内の微細パーティクルの付着を極力少なくする
ことができる。その結果、クラス１０以上のクリーンル
ーム(クリーンルームのプロセスエリアのより高いクリ
ーン度が必要とされるステッパー周辺)用に使用するこ
とができるようになった。

【００１６】

【発明の効果】本発明のクリーンルーム用防振パッド
は、前述のように素材がステンレスと常温ではアウトガ
スを放出しないような樹脂で構成されているため、クリ
ーンルーム内で使用したとしてもクリーンルーム内の清
浄度を低下させるようなことがない。また、構成部材の
金属部分の表面を鏡面仕上げしているので、金属の表面
にクリーンルーム内の微細パーティクルの付着・堆積を
防止することができ、この面でもクリーンルーム内の清
浄度の保持に大いに貢献することができる。更に樹脂シ
ートの存在により金属面が負荷や負荷担持面に直接接触
することが防止され、振動発生時の微細パーティクルの
発生も防止している。その結果、クラス１０以上のクリ
ーンルーム内での使用が可能となった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る防振パッドの平面図

【図２】図１のＸ−Ｘ線断面図

【図３】図１のＹ−Ｙ線断面図

【符号の説明】

(A)…クリーンルーム用防振パッド (1)…設置プレート (1a)…当接面 (2)…負荷担持プレート (2a)…当接面 (3)…バネ取付凹部(嵌合) (4)…バネ取付凹部(遊嵌) (5)…バネ (6)…負荷取付部材 (20)…負荷担持面 (21)…負荷

フロントページの続き Ｆターム(参考） 3J048 AA01 BC02 DA01 EA38 3J059 AD02 AE10 BA01 BB04 BB10 BC02 CB15 GA50 3L058 BE02 BG05

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】(a)荷重担持面と負荷との間に配設されて
   荷重担持面と負荷との間の振動伝達を遮断するクリーン
   ルーム用防振パッドであって、 (b)荷重担持面に設置されるステンレス製の設置プレー
   トと、 (c)負荷を担持するステンレス製の負荷担持プレート
   と、 (d)設置プレートと負荷担持プレートの対向面に対向し
   て形成された複数のバネ取付凹部と、 (e)前記バネ取付凹部に取り付けられたステンレス製で
   その表面が平滑処理された複数のバネと、 (f)負荷担持プレートに設けられ、常温でアウトガスを
   放出しない樹脂にて形成された負荷取付部材とで構成さ
   れている事を特徴とするクリーンルーム用防振パッド。
2. 【請求項２】 少なくとも２以上のバネ取り付け凹部
   の内径がバネの外径にほぼ等しく、残る他のバネ取付凹
   部の内径がバネの外径よりも大きいことを特徴とする請
   求項１に記載のクリーンルーム用防振パッド。
3. 【請求項３】 設置プレートの荷重担持面および負荷
   担持プレートの負荷との当接面に常温でアウトガスを放
   出しない樹脂シートが貼着されていることを特徴とする
   請求項１又は２に記載のクリーンルーム用防振パッド。