JP2002307366A - コンプライアンスユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 外気中の塵埃やミストあるいは液体等の異物
が内部に侵入したり、ユニット内部からの発塵が外部に
漏出するのを確実に防止することができる、防塵性に勝
れたコンプライアンスユニットを得る。 【解決手段】 第１ボディ４と第２ボディ５とを、該第
２ボディ５に形成されたチャンバー６内において基板７
とカバー１６及びベース１７との間に回転自在の第１ボ
ール２２を介設することにより、両ボディ４，５の中心
軸線と直交する平面に沿って相対的に平行移動可能なる
ように連結し、上記チャンバー６を、両ボディ４，５の
間に形成された狭い空隙部３０を通じて外部に連通さ
せ、この空隙部３０中に防塵機構３１を設けることによ
り、この空隙部３０を通じて上記チャンバー６内に塵埃
や水分などの異物が出入りするのを防止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、製品組み立てロボ
ット等に取り付けて、結合すべきワーク相互間の位置ず
れや寸法公差等を吸収する場合などに使用されるコンプ
ライアンスユニットに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種のコンプライアンスユニットとし
て、例えば、特開昭５９−１１０５９３号公報に記載の
ものが知られている。このコンプライアンスユニット
は、ロボットアームに取り付けるための第１部材と、物
品把持装置を取り付けるための第２部材とを、回転自在
の複数のボールを介して物品挿入方向に垂直な方向だけ
に二次元的に相対移動可能なるように連結したもので、
上記物品把持装置が保持するワークと、このワークを嵌
め付けるべき相手方のワークとの間に軸ずれがある場合
に、上記両部材がボールを介して相対的に移動すること
によりその軸ずれを吸収するものである。

【０００３】このようなコンプライアンスユニットは、
通常、塵埃やミストあるいは液体等の異物が飛散する環
境や、クリーンルームのような非常に厳格な清浄度が要
求される環境などで使用されるが、異物が飛散する環境
で使用するときは、外気中の異物がコンプライアンスユ
ニットの内部に侵入し、ボールの円滑な回転を阻害して
作動不良や耐久性の低下といった問題を生じ易く、クリ
ーンルーム内で使用するときは、上記両部材の相対移動
に伴うコンプライアンスユニット内部からの発塵が外部
に漏出し、ルーム内を汚染するといった問題を生じ易
い。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、外気中の塵埃やミストあるいは液体等の異物が内部
に侵入したり、ユニット内部からの発塵が外部に漏出す
るのを確実に防止することができる、防塵性に勝れたコ
ンプライアンスユニットを提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明によれば、ロボットアーム又はワークチャック手
段の何れか一方に取り付けるための第１ボディと、他方
に取り付けるための第２ボディ、上記第２ボディの内部
に形成されて第１ボディと相対する位置に連結用の開口
部を有し、この開口部を通じて上記第１ボディの一部が
その内部に嵌入しているチャンバー、上記第１ボディと
第２ボディとを両ボディの中心軸線と直交する平面に沿
って相対的に平行移動可能なるように連結する可動連結
機構と、平行移動した両ボディを原点位置に復帰させる
ための復帰機構とを含み、上記チャンバー内において上
記両ボディの間に介設されているコンプライアンス機
構、上記第１ボディと第２ボディとの間に形成されて外
側端が外部に開放し、内側端が上記開口部を通じてチャ
ンバーに連通している空隙部、上記空隙部に沿って設け
られ、該空隙部を通じて上記チャンバー内に塵埃やミス
トあるいは水分などの異物が侵入するのを防止するため
の防塵機構、を有することを特徴とするコンプライアン
スユニットが提供される。

【０００６】上記構成を有する本発明のコンプライアン
スユニットは、コンプライアンス機構を内蔵したチャン
バーを狭い空隙部を通じて外部に連通させ、この空隙部
中に防塵機構を設けたことにより、この空隙部を通じて
上記チャンバー内に外気中の塵埃やミストあるいは水分
などの異物が侵入したり、ユニット内部からの発塵が外
部に漏出したりするのを確実に防止することができる。
この結果、コンプライアンスユニットを各種の異物が飛
散する環境で使用しても、これらの異物がコンプライア
ンス機構部に侵入してボールの円滑な回転を阻害し、作
動不良や耐久性の低下といった問題を生じることがな
く、またクリーンルームで使用しても、コンプライアン
ス機構部からの発塵が該クリーンルーム内に漏出してそ
の内部を汚染するといった問題を生じることもない。

【０００７】本発明の具体的な実施態様によれば、上記
第１ボディが、ロボットアーム又はワークチャック手段
に取り付けるための本体部と、該本体部から第２ボディ
のチャンバー内に延出する筒状のシリンダー部とを有し
ていて、このシリンダー部の先端には、フラットで互い
に平行なガイド面を両面に有する基板が同軸状に固定さ
れている。一方、上記第２ボディは、上記基板の両側に
位置してそれぞれ該基板のガイド面と平行なガイド面を
有するカバー及びベースと、上記基板の側面外周を取り
囲むように位置して上記カバーとベースとを相互に連結
する筒形のスぺーサとを有している。

【０００８】また、上記可動連結機構は、上記基板の両
面のガイド面とカバー及びベースのガイド面との間にそ
れぞれ円周状に介設された回転自在の複数の第１ボール
を含み、上記復帰機構は、基板に形成されたボール孔内
に該基板に係止した状態で該ボール孔の軸線方向に変移
自在なるように嵌合し、一部が基板の両面側に突出する
複数の第２ボールと、上記ベースに設けられて該第２ボ
ールの一側に接する円錐状のボール受けと、上記シリン
ダー部内に前後進自在に収容されて上記第２ボールの他
側に当接するピストンと、このピストンを第２ボール側
に向けて弾発するばね手段とを含んでいる。

【０００９】上記第２ボールとボール孔及びボール受け
とは、上記基板の中心軸線の回りに等角度間隔で設けら
れている。また、上記ピストンの背面には圧力室が形成
され、この圧力室が圧力エア供給用の第１ポートに連通
している。

【００１０】本発明において好ましくは、上記第１ボデ
ィと第２ボディとに、両ボディの最大変移位置を規定す
るための規定手段が設けられ、この規定手段が、一方の
ボディに設けられたピンと、他方のボディに設けられて
上記ピンが嵌合する切欠部とで構成される。

【００１１】本発明の一つの具体的な実施態様によれ
ば、上記防塵機構が、第１ボディ及び第２ボディの少な
くとも一方に設けられて両ボディ間の上記空隙部に開口
する、エアを噴出又は吸引するための通気口と、該通気
口に連通する第２ポートとによって構成される。ここ
で、上記通気口から空隙部内にエアを噴出した場合に
は、該空隙部内の圧力が周囲よりも高くなって該空隙部
から外部に向かう気流が発生するため、外気中の異物が
この空隙部を通じてチャンバー内に侵入するのが防止さ
れる。また、上記空隙部内のエアを通気口を通じて吸引
した場合には、該空隙部内の圧力が周囲よりも低くな
り、外部からこの空隙部に向かう気流が発生するため、
チャンバー内で発生した塵埃等の異物がこの空隙部を通
じて外気に漏出するのが防止される。

【００１２】上記通気口を有するボディの上記空隙部に
臨む面には、該ボディの中心軸線を取り巻く環状の凹溝
を形成し、この凹溝を通じて上記通気口を空隙部に連通
させることが望ましい。

【００１３】本発明の他の具体的な実施態様によれば、
上記防塵機構が、上記空隙部の位置で第１ボディと第２
ボディとの間に介設された環状のシール部材により構成
されている。

【００１４】

【発明の実施の形態】図１〜図３は本発明に係るコンプ
ライアンスユニットの第１実施例を示している。このコ
ンプライアンスユニット１Ａは、ロボットアーム２に取
り付けるための第１ボディ４と、エアチャックのような
ワークチャック手段３を取り付けるための第２ボディ５
とを有している。

【００１５】上記第１ボディ４は、上記ロボットアーム
２に取り付けるための円柱形をした本体部４ａと、この
本体部４ａの下面中央部から同軸状に延出する小径円筒
状のシリンダー部４ｂとを有している。このシリンダー
部４ｂの先端は、上記第２ボディ５の内部に形成された
チャンバー６内に嵌合し、その先端には、該シリンダー
部４ｂよりは大径で上記本体部４ａよりは小径の円板形
をした基板７が同軸状に固定されている。この基板７
は、その両面の少なくとも外周部に、フラットで互いに
平行なガイド面７ａ，７ａを有している。また、上記シ
リンダー部４ｂの内部には、後述する復帰機構２１の一
部を構成するピストン１０が前後進自在なるように収容
されていて、このピストン１０の背面には圧力室１１が
形成され、この圧力室１１が本体部４ａの側面に開口す
る圧力エア供給用の第１ポート１２に連通している。そ
して、上記圧力室１１の内部においてピストン１０と第
１ボディ４との間には、ばね１３が介設され、このばね
１３によって上記ピストン１０が、常時前進方向に向け
て弾発されている。図中１４はピストン１０の気密性を
保つためのシール部材である。

【００１６】一方の上記第２ボディ５は、上記基板７の
一面側に位置して中央部に連結用の開口部１６ｂを有す
る円板形のカバー１６と、基板７の他面側に位置する矩
形のベース１７と、基板７の側面外周を取り囲むように
位置して上記カバー１６とベース１７とを相互に連結す
る円筒形のスぺーサ１８とを有している。そして、これ
らのカバー１６とベース１７とスぺーサ１８とによって
上記チャンバー６が区画形成され、このチャンバー６内
に上記第１ボディ４のシリンダー部４ｂが、上記カバー
１６の開口部１６ｂを通じて嵌入している。また、上記
カバー１６及びベース１７の内面にはそれぞれ、上記基
板７のガイド面７ａ，７ａと平行なガイド面１６ａ，１
７ａが形成されている。

【００１７】上記チャンバー６内にはコンプライアンス
機構が設けられ、このコンプライアンス機構は、上記第
１ボディ４と第２ボディ５とを両ボディの中心軸線と直
交する平面に沿って相対的に平行移動可能なるように連
結する可動連結機構２０と、平行移動した両ボディ４，
５を原点位置に復帰させるための復帰機構２１とで構成
されている。

【００１８】上記可動連結機構２０は、上記基板７の両
面のガイド面７ａ，７ａと上記カバー１６及びベース１
７のガイド面１６ａ，１７ａとの間にそれぞれ、複数の
第１ボール２２を円周状に配設することにより形成され
ている。この第１ボール２２は、金属等の硬質素材から
なるもので、円環状をしたリテーナ２３のボール保持孔
内に回転自在に保持されて、上記基板７のガイド面７
ａ，７ａとカバー１６及びベース１７のガイド面１６
ａ，１７ａとに転がり接触しており、この第１ボール２
２の介在によってこれらの基板７とカバー１６及びベー
ス１７とが、Ｘ−Ｙ方向及びθ方向に相対的に変移でき
るようになっている。この結果、例えばチャック手段３
で保持したワークＷ１を相手方のワークＷ２に押し付け
て嵌め込む際などに、両ワークＷ１，Ｗ２間に横方向や
回転方向の軸ずれがある場合、ワークＷ１から受ける作
用力により第２ボディ５が、第１ボディ４に対してＸ−
Ｙ方向あるいはθ方向に相対的に変移し、両ワークＷ
１，Ｗ２の軸ずれが自動的に解消されることになる。

【００１９】上記復帰機構２１は、上記基板７に設けら
れた複数のボール孔２６内に個別に嵌合する複数の第２
ボール２７と、上記ベース１７に設けられて各第２ボー
ル２７の一側に個別に当接する複数のボール受け２８
と、これらの第２ボール２７の他側に共通に当接する上
記ピストン１０と、このピストン１０を第２ボール２７
側に向けて弾発する上記ばね１３とによって構成されて
いる。上記第２ボール２７は、金属等の硬質素材からな
るもので、上記基板７の厚さよりも大きい直径を有して
おり、該基板７の中心軸線の回りに等しい中心角で設け
られた上記複数のボール孔２６内にそれぞれ、該基板７
に係止した状態で各ボール孔２６の軸線方向に変移自在
なるように収容され、その球面の一部が基板７の両面か
ら突出している。また、上記ボール受け２８は、ベース
１７上の各第２ボール２７に対応する位置に設けられて
いて、円錐状の受け面２８ａを有し、この受け面２８ａ
で上記第２ボール２７に当接している。

【００２０】この復帰機構２１は、上記ワークＷ１，Ｗ
２間の軸ずれを吸収する場合、通常は上記圧力室１１に
圧力エアが供給されることなく、ばね１３の弾発力だけ
がピストン１０に作用している状態にある。この状態で
基板７とベース１７とがＸ−Ｙ方向あるいはθ方向に相
対的に変移すると、各第２ボール２７が、上記ベース１
７と一緒に変移するボール受け２８の受け面２８ａの傾
斜に沿って該受け面２８ａの中心から外れた位置まで押
し上げられるため、該第２ボール２７と一緒にピストン
１０もばね１３を圧縮しながら押し上げられる。そし
て、ワークの軸ずれが吸収されると、ピストン１０を介
して各第２ボール２７に作用するばね１３の弾発力によ
り、これらの第２ボール２７が円錐状の受け面２８ａの
中心に位置するようにボール受け２８及びベース１７が
基板７に対して相対的に変移させられ、第１ボディ４と
第２ボディ５とが原点位置に復帰する。

【００２１】ここで、上記ばね１３による原点復帰力が
不十分な場合には、上記第１ポート１２から圧力室１１
内に適切な大きさに圧力調整されたエアを供給してピス
トン１０を加圧することにより、上記原点復帰力を調整
することができる。従ってこの場合には、圧力エアも復
帰機構２１の一部を構成することになる。

【００２２】上記コンプライアンス機構の不使用時、例
えばワークＷ１の搬送時などには、上記第１ポート１２
から圧力室１１内に圧力エアを供給してピストン１０を
加圧し、第２ボール２７をボール受け２８に強く押し付
けた状態にすることにより、第１ボディ４と第２ボディ
５とを相対的に変移しないようにロックすることができ
る。従って上記ピストン１０は、上記圧力室１１及び第
１ポート１２と共に、両ボディ４，５をロックするため
のロック機構を構成するものである。

【００２３】図示の実施例では、上記ボール孔２６と第
２ボール２７及びボール受け２８とが３組設けられてい
るが、それらは２組であっても、あるいは４組以上であ
っても良い。このように第２ボール２７とボール受け２
８とを基板７の中心軸線の回りに複数組設けることによ
り、第１ボディ４と第２ボディ５とがθ方向に変移した
場合の原点復帰を確実に行うことができる。

【００２４】上記第１ボディ４の本体部４ａと第２ボデ
ィ５のカバー１６とは相互に近接して配置され、それら
の間に小さい空隙部３０が形成されており、この空隙部
３０の外側端は外部に開放し、内側端は上記開口部１６
ｂを通じてチャンバー６に連通している。そしてこの空
隙部３０に沿う位置には、該空隙部３０を通じて上記チ
ャンバー６内に塵埃や水分などの異物が出入りするのを
防止するための防塵機構３１が設けられている。この防
塵機構３１は、第１ボディ４の上記空隙部３０に臨む面
に該第１ボディ４の中心軸線を取り巻く環状に形成され
た凹溝３２と、この凹溝３２を通じて上記空隙部３０に
開口する１つ又は複数の通気口３３と、該通気口３３に
連通する第２ポート３４とによって構成され、この第２
ポート３４が圧力エア源又は真空源に接続されることに
より、上記通気口３３及び凹溝３２を通じて空隙部３０
内にエアを噴出するか、又は空隙部３０内のエアを吸引
することができるように構成されている。

【００２５】ここで、上記通気口３３から空隙部３０内
にエアを噴出した場合には、該空隙部３０内の圧力が周
囲よりも高くなって該空隙部３０から外部に向かう気流
が発生するため、外気中の異物がこの空隙部３０を通じ
てチャンバー６内に侵入するのが防止される。従って、
コンプライアンスユニット１Ａを塵埃やミストあるいは
液体等の異物が飛散する汚染された環境で使用する場合
に適している。一方、上記空隙部３０内のエアを通気口
３３を通じて吸引した場合には、該空隙部３０内の圧力
が周囲よりも低くなり、外部からこの空隙部３０に向か
う気流が発生するため、チャンバー６内で発生した塵埃
等の異物がこの空隙部３０を通じて外気に漏出するのが
防止される。従って、コンプライアンスユニット１Ａを
クリーンルームで使用する場合に適している。

【００２６】図示の実施例では、上記防塵機構３１が第
１ボディ４側に設けられているが、この防塵機構３１
は、第１ボディ４側に設ける代わりに第２ボディ５側に
設けても良く、あるいは第１ボディ４と第２ボディ５の
両方に設けることもできる。

【００２７】また、上記第１ボディ４と第２ボディ５と
には、両ボディの最大変移位置を規定するための規定手
段３６が設けられている。この規定手段３６は、第１ボ
ディ４に設けられたピン３７と、第２ボディ５に設けら
れて上記ピン３７が嵌合する切欠部３８とで構成され、
この切欠部３８の範囲内で上記両ボディ４，５が相対的
に変移できるようになっている。この場合、ピン３７を
第２ボディ５に設け、切欠部３８を第１ボディ４に設け
ても良い。

【００２８】上記構成を有するコンプライアンスユニッ
ト１Ａは、図１に示すように、チャック手段３で保持し
たワークＷ１を相手方のワークＷ２に押し付けて嵌め込
む場合などに使用される。このとき、両ワークＷ１，Ｗ
２間にＸ−Ｙ方向やθ方向の軸ずれがある場合には、ワ
ークＷ１から受ける作用力により第２ボディ５が、上記
可動連結機構２０の第１ボール２２にガイドされて第１
ボディ４に対してＸ−Ｙ方向あるいはθ方向に相対的に
変移することにより、両ワークの軸ずれが自動的に吸
収、解消され、嵌め込み作業が完了する。

【００２９】このとき上記復帰機構２１においては、各
第２ボール２７が、ボール受け２８の変移により、その
受け面２８ａの傾斜に沿って該受け面２８ａの中心から
外れた位置まで押し上げられ、ピストン１０もばね１３
を圧縮しながら押し上げられる。そして、ワークＷ１，
Ｗ２間の軸ずれが解消すると、上記ピストン１０を介し
て各第２ボール２７に作用するばね１３の弾発力によ
り、これらの第２ボール２７が受け面２８ａの中心に位
置するようにボール受け２８従ってベース１７が基板７
に対して相対的に変移し、第１ボディ４と第２ボディ５
とが原点位置に復帰する。

【００３０】また、上記コンプライアンスユニット１Ａ
を塵埃やミストあるいは液体等の異物が飛散する汚染さ
れた環境で使用するときは、上記第２ポート３４を圧力
エア源に接続し、上記空隙部３０内にエアを噴射する。
これにより、上記空隙部３０から外部に向かう気流が発
生するため、外気中の異物がこの空隙部３０を通じてチ
ャンバー６内に侵入するのが防止される。

【００３１】一方、このコンプライアンスユニット１Ａ
をクリーンルーム内で使用するときは、上記第２ポート
３４を真空源に接続し、上記空隙部３０内のエアを通気
口３３から吸引する。これにより、外部からこの空隙部
３０に向かう気流が発生するため、チャンバー６内にお
いて上記コンプライアンス機構から発生した塵埃等の異
物が、この空隙部３０を通じて外気に漏出するのが防止
される。

【００３２】図４は本発明の第２実施例を示すもので、
この第２実施例のコンプライアンスユニット１Ｂが第１
実施例のコンプライアンスユニット１Ａと相違する点
は、防塵機構３１が、第１実施例では通気口３３からエ
アを噴射するか又は吸引するように構成されているのに
対し、この第２実施例では、上記空隙部３０の位置で第
１ボディ４と第２ボディ５との間に介設された環状のシ
ール部材４０で構成されている点である。即ち、第１ボ
ディ４の上記空隙部３０に臨む面には、中心軸線の回り
を取り巻くようにシール溝４１が切られ、このシール溝
４１内上記シール部材４０が嵌め付けられている。この
シール部材４０は、合成ゴムや合成樹脂等の弾性素材に
よって円形断面に形成されているが、その材質や形状等
はこのようなものに限定されない。また、上記第１ボデ
ィ４側に設ける代わりに第２ボディ５側に設けることも
できる。

【００３３】そして、このコンプライアンスユニット１
Ｂにおいては、上記シール部材４０によって外気中の異
物が空隙部３０からチャンバー６内に侵入したり、チャ
ンバー６からの発塵が外部に漏出したりするのを防止す
ることができる。ところが、第１ボディ４と第２ボディ
５とが相対的に変移した場合に上記シール部材４０が相
手面と擦れ合うため、条件によってはこの部分から僅か
ながらも発塵する可能性があり、このような場合にはク
リーンルーム内での使用を考慮しなければならない。し
かし、上記シール部材４０と相手面とをできるだけ発塵
性の少ない素材や表面形態にするなど、発塵しにくい構
造とすることにより、発塵を抑えてクリーンルームでの
使用を可能にすることもできる。

【００３４】なお、第２実施例の上記以外の構成は実質
的に第１実施例と同じであるから、それらの主要な同一
構成部分については第１実施例と同じ符号を付してその
説明は省略する。

【００３５】上記実施例では、第１ボディ４をロボット
アーム２に取り付け、第２ボディ５にワークチャック手
段３を取り付けるようにしているが、それとは逆に、第
２ボディ５をロボットアーム２に取り付け、第１ボディ
４にワークチャック手段３を取り付けても良い。

【００３６】

【発明の効果】以上に詳述したように、本発明によれ
ば、外気中の塵埃やミストあるいは液体等の異物が内部
に侵入したり、内部からの発塵が外部に漏出したりする
のを確実に防止することができる、防塵性に勝れたコン
プライアンスユニットを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るコンプライアンスユニットの第１
実施例を示す側面図である。

【図２】図１の縦断面図である。

【図３】図２におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線での縦断面図で
ある。

【図４】本発明に係るコンプライアンスユニットの第２
実施例を示す断面図である。

【符号の説明】

１Ａ，１Ｂ コンプライアンスユニット ２ ロボットアーム ３ チャック手段 ４ 第１ボディ ４ａ 本体部 ４ｂ シリンダー部 ５ 第２ボディ ６ チャンバー ７ 基板 ７ａ ガイド面 １０ ピストン １１ 圧力室 １２ 第１ポート １３ ばね １６ カバー １６ａ ガイド面 １６ｂ 開口部 １７ ベース １７ａ ガイド面 １８ スぺーサ ２０ 可動連結機構 ２１ 復帰機構 ２２ 第１ボール ２６ ボール孔 ２７ 第２ボール ２８ ボール受け ３０ 空隙部 ３１ 防塵機構 ３２ 凹溝 ３３ 通気口 ３４ ポート ３６ 規定手段 ３７ ピン ３８ 切欠部 ４０ シール部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C007 AS07 AS25 BT20 CY27 HT36 3J040 AA01 AA12 BA02 HA21

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ロボットアーム又はワークチャック手段の
   何れか一方に取り付けるための第１ボディと、他方に取
   り付けるための第２ボディ、 上記第２ボディの内部に形成されて第１ボディと相対す
   る位置に連結用の開口部を有し、この開口部を通じて上
   記第１ボディの一部がその内部に嵌入しているチャンバ
   ー、 上記第１ボディと第２ボディとを両ボディの中心軸線と
   直交する平面に沿って相対的に平行移動可能なるように
   連結する可動連結機構と、平行移動した両ボディを原点
   位置に復帰させるための復帰機構とを含み、上記チャン
   バー内において上記両ボディの間に介設されているコン
   プライアンス機構、 上記第１ボディと第２ボディとの間に形成されて外側端
   が外部に開放し、内側端が上記開口部を通じて上記チャ
   ンバーに連通している空隙部、 上記空隙部に沿って設けられ、該空隙部を通じて上記チ
   ャンバーに塵埃やミストあるいは水分などの異物が出入
   りするのを防止するための防塵機構、を有することを特
   徴とするコンプライアンスユニット。
2. 【請求項２】請求項１に記載のコンプライアンスユニッ
   トにおいて、 上記第１ボディが、ロボットアーム又はワークチャック
   手段に取り付けるための本体部と、該本体部から第２ボ
   ディのチャンバー内に延出する筒状のシリンダー部とを
   有していて、このシリンダー部の先端には、フラットで
   互いに平行なガイド面を両面に有する基板が同軸状に固
   定され、 上記第２ボディは、上記基板の両側に位置してそれぞれ
   該基板のガイド面と平行なガイド面を有するカバー及び
   ベースと、上記基板の側面外周を取り囲むように位置し
   て上記カバーとベースとを相互に連結する筒形のスぺー
   サとを有し、 上記可動連結機構は、上記基板の両面のガイド面とカバ
   ー及びベースのガイド面との間にそれぞれ円周状に介設
   された回転自在の複数の第１ボールを含み、 上記復帰機構は、基板に形成されたボール孔内に該基板
   に係止した状態で該ボール孔の軸線方向に変移自在なる
   ように嵌合し、一部が基板の両面から突出する複数の第
   ２ボールと、上記ベースに設けられて該第２ボールの一
   側に接する円錐状のボール受けと、上記シリンダー部内
   に前後進自在に収容されて上記第２ボールの他側に当接
   するピストンと、このピストンを第２ボール側に向けて
   弾発するばね手段とを含む、ことを特徴とするもの。
3. 【請求項３】請求項２に記載のコンプライアンスユニッ
   トにおいて、上記複数の第２ボールとボール孔及びボー
   ル受けとが、上記基板の中心軸線の回りに等角度間隔で
   設けられていることを特徴とするもの。
4. 【請求項４】請求項２に記載のコンプライアンスユニッ
   トにおいて、上記ピストンの背面に圧力室が形成され、
   この圧力室が圧力エア供給用の第１ポートに連通してい
   ることを特徴とするもの。
5. 【請求項５】請求項１から４までの何れかに記載のコン
   プライアンスユニットにおいて、上記第１ボディと第２
   ボディとに、両ボディの最大変移位置を規定するための
   規定手段が設けられ、該規定手段が、一方のボディに設
   けられたピンと、他方のボディに設けられて上記ピンが
   嵌合する切欠部とからなることを特徴とするもの。
6. 【請求項６】請求項１から５までの何れかに記載のコン
   プライアンスユニットにおいて、上記防塵機構が、第１
   ボディ及び第２ボディの少なくとも一方に設けられて両
   ボディ間の上記空隙部に開口する、エアの噴出又は吸引
   を行うための通気口と、該通気口に連通する第２ポート
   とを含むことを特徴とするもの。
7. 【請求項７】請求項６に記載のコンプライアンスユニッ
   トにおいて、上記通気口を有するボディの上記空隙部に
   臨む面に、該ボディの中心軸線を取り巻く環状の凹溝が
   形成され、この凹溝を通じて上記通気口が空隙部に連通
   していることを特徴とするもの。
8. 【請求項８】請求項１から５までの何れかに記載のコン
   プライアンスユニットにおいて、上記防塵機構が、上記
   空隙部の位置で第１ボディと第２ボディとの間に介設さ
   れた環状のシール部材からなることを特徴とするもの。