JP2002305434A - 半導体集積回路 - Google Patents

半導体集積回路

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JP2002305434A
JP2002305434A JP2001106439A JP2001106439A JP2002305434A JP 2002305434 A JP2002305434 A JP 2002305434A JP 2001106439 A JP2001106439 A JP 2001106439A JP 2001106439 A JP2001106439 A JP 2001106439A JP 2002305434 A JP2002305434 A JP 2002305434A
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Masashi Yonemaru
政司 米丸
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Abstract

(57)【要約】 【課題】レジスタ回路などのデータ保持回路において待
機時にデータを保持しつつ、待機電流を可能な限り削減
した半導体集積回路を提供する。 【解決手段】半導体集積回路51が備える外部から電源
供給するための外部電源供給配線VDDと、データ保持
回路を備えた内部回路3に電源供給するための内部電源
供給配線V−VDDと、の間に、内部回路3の動作時及
び待機時に供給する電流及び電圧を制御する電源制御手
段として、内部回路3の動作時に必要な電流を供給する
能力を有する第1の電流制御回路(NMOSFET)1
と、内部回路3の待機時にデータ保持回路がデータ保持
可能な電流を供給する能力を有する第2の電流制御回路
(NMOSFET)2と、を設け、内部回路3の動作時
には第1の電流制御回路1から電流を供給し、内部回路
の待機時には第2の電流制御回路2から電流を供給す
る。これにより、内部回路3の動作状態に応じて供給す
る電流及び電圧を制御でき、待機電流を低減することが
できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路に
関し、より詳しくは低電圧において動作可能で、低スタ
ンバイリーク電流を可能とする半導体集積回路技術に関
する。また、SOI(Silicon on Insurlator )回路技
術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の半導体集積回路においては、低電
圧動作のために低い閾値のデバイスにて論理回路を構成
した場合、スタンバイ時のリーク電流が増大するという
問題があった。そこで、低電圧動作のために低い閾値の
デバイスにて論理回路を構成した際に、スタンバイ時の
電流を削減するために高い閾値のデバイスを用いる技術
が、特開平6−29834号公報の論理回路に開示され
ている。この従来技術の一実施形態について、図9に基
づいて説明する。図9は、半導体集積回路の従来技術の
構成を示した回路図である。
【0003】図9において、インバータ論理回路I10
0の高位電源端子にはPMOSFETm100のドレイ
ンが接続され、低位電源端子にはNMOSFETm10
1のドレインが接続されている。また、PMOSFET
m100のソースは電源線Vddに接続され、NMOS
FETm101のソースは接地線GNDに接続されてい
る。さらに、PMOSFETm100のゲートには制御
信号CSBが入力され、NMOSFETm101のゲー
トには制御信号CSが入力される。なお、制御信号CS
は制御信号CSBの反転信号である。
【0004】インバータ論理回路I100は、低電圧で
動作するために低い閾値のMOSFETにて構成されて
いる。PMOSFETm100及びNMOSFETm1
01は、高い閾値を持つMOSFETである。本回路に
おいて動作時には、制御信号CSとしてHi、制御信号
CSBとしてLoを入力することで、PMOSFETm
100及びNMOSFETm101は共にオンとなる。
よって、論理回路I100はPMOSFETm100を
介して電源線Vddに、また、NMOSFETm101
を介して接地線GNDに接続される。このとき、論理回
路I100は低い閾値電圧のFETにて形成されている
ため、低電源電圧で動作する。
【0005】また、スタンバイ動作時には、制御信号C
SをLo、制御信号CSBをHiとして入力すること
で、PMOSFETm100及びNMOSFETm10
1は共にオフとなる。このとき、インバータ論理回路I
100は、電源線Vdd及び接地線GNDとの接続が遮
断されるため、動作しない。また、PMOSFETm1
00及びNMOSFETm101は高い閾値のFETで
あるので、リーク電流は低く抑えられている。
【0006】次に、SOI(Silicon on Insulator)デ
バイスにおいて基板電位を制御して、低電圧動作と低リ
ーク電流を実現する従来技術を、図10に基づいて説明
する。図10は、インバータ論理回路の回路図である。
このインバータ論理回路は、PMOSFETm102及
びNMOSFETm103により構成されている。PM
OSFETm102のソースは電源線Vddに、ゲート
はNMOSFETm103のゲート及び入力端子S1
に、ドレインはNMOSFETm103のドレイン及び
出力端子S2に、ボディ(バルク構造の場合はバックゲ
ート)は入力端子S1に、それぞれ接続されている。ま
た、NMOSFETm103のソースは接地線GND
に、ゲートは入力端子S1に、ドレインはPMOSFE
Tm102のドレイン及び出力端子S2に、ボディ(バ
ルク構造の場合はバックゲート)は入力端子S1に、そ
れぞれ接続されている。NMOSFETm103の動作
は、入力端子S1の入力信号がLoからHiへと変化す
るとき、ボディ(基板)電位も同様に変化し、NMOS
FETm103閾値電圧は低くなる。よって、NMOS
FETm103がより速くオンし、高速に動作する。
【0007】このとき、PMOSFETm102のゲー
ト電位とボディ電位もHiに変化し、PMOSFETm
102はオフとなり、閾値電圧も高くなる。同様に、P
MOSFETm102は入力信号がHiからLoへ変化
すると、ボディ電位も同様に変化し、閾値電位が低くな
り、PMOSFETm102がより速くオンし、高速に
動作する。
【0008】また、NMOSFETm103のゲート電
位とボディ電位もLoに変化し、NMOSFETm10
3はオフとなり閾値電圧も高くなる。このようにして、
PMOSFETm102及びNMOSFETm103
は、オン時に低閾値となりオフ時に高閾値となるため、
低電圧動作と低リーク動作を実現している。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図9を
用いて説明した従来技術においては、スタンバイ時には
内部論理回路は電源から切断されて動作しないため、フ
リップフロップ回路やメモリといったデータを記憶する
回路に用いるのには不適当であった。
【0010】また、図10を用いて説明した従来技術に
おいては、FETのボディ電位を接続するための電極を
設けなければならず、デバイス面積が増加するという欠
点がある。さらに、ボディ電位を制御するためPD(部
分空乏)型のFETにしか適用できず、より低閾値を実
現できるFD(完全空乏)型のデバイスには適用できな
いという問題がある。
【0011】そこで、本発明は上記のような問題を解決
するために創作したものであり、その目的は、レジスタ
などのデータ保持回路において待機時にデータを保持し
つつ、待機電流を可能な限り削減した半導体集積回路を
提供することである。また、SOIデバイスにおいて、
PD型のFET及びFD型のFETのいずれのデバイス
に適応できる半導体集積回路を提供することである。
【0012】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の課題
を解決するための手段として、以下の構成を備えてい
る。
【0013】(1) 外部から電源供給するための外部電源
供給配線と、内部回路に電源供給するための内部電源供
給配線と、の間に、該内部回路の動作時及び待機時に供
給する電流及び電圧を制御する電源制御手段を備えたこ
とを特徴とする。
【0014】この構成において半導体集積回路は、外部
から電源供給するための外部電源供給配線と、内部回路
に電源供給するための内部電源供給配線と、の間に、内
部回路の動作時及び待機時に供給する電流及び電圧を制
御する電源制御手段を備えている。したがって、内部回
路の動作状態に応じて供給する電流及び電圧を制御する
ことで、消費電流や待機電流を低減することが可能とな
る。
【0015】(2) 前記内部回路は、所定の電流を供給す
ることでデータを保持可能なデータ保持回路を備えてい
ることを特徴とする。
【0016】この構成において半導体集積回路は、所定
の電流を供給することでデータを保持可能なデータ保持
回路を内部回路に備えている。したがって、所定の電流
を供給することでデータ保持可能であるとともに、電流
の供給を停止することでデータの消去が可能である。
【0017】(3) 前記電源制御手段は、前記内部回路の
動作時に必要な電流を供給する能力を有する第1の電流
制御回路と、前記内部回路の待機時に前記データ保持回
路がデータ保持可能な電流を供給する能力を有する第2
の電流制御回路と、を備えたことを特徴とする。
【0018】この構成においては、内部回路の動作時に
必要な電流を供給する能力を有する第1の電流制御回路
と、内部回路の待機時に前記データ保持回路がデータ保
持可能な電流を供給する能力を有する第2の電流制御回
路と、を半導体集積回路の電源制御手段は備えている。
したがって、内部回路の動作時には第1の電流制御回路
から電流を供給することで、不具合などが発生すること
なく内部回路を動作させることが可能となり、また、内
部回路の待機時には第2の電流制御回路から電流を供給
することで、内部回路のデータ保持回路がデータを消失
することなく、データを保持することが可能となる。
【0019】(4) 前記外部電源供給配線は、前記第1の
電流制御回路に接続された第1の外部電源供給配線と、
前記第2の電流制御回路に接続された第2の外部電源供
給配線と、を備えたことを特徴とする。
【0020】この構成においては、第1の電流制御回路
に接続された第1の外部電源供給配線と、第2の電流制
御回路に接続された第2の外部電源供給配線と、を外部
電源供給配線は備えている。したがって、第1の外部電
源供給配線に内部回路の動作時に必要な電流を供給し、
第2の外部電源供給配線に内部回路の待機時に必要な電
流を供給することで、半導体集積回路の消費電力を低減
させることが可能となる。
【0021】(5) 前記第2の外部電源供給配線には、前
記第1の外部電源供給配線よりも低い電圧で、前記内部
回路の待機時に前記データ保持回路がデータ保持可能な
電流である電源供給が行われることを特徴とする。
【0022】この構成において、第1の外部電源供給配
線よりも低い電圧で、内部回路の待機時にデータ保持回
路がデータ保持可能な電流である電源の供給が、半導体
集積回路の第2の外部電源供給配線に対して行われる。
したがって、内部回路のデータ保持回路は、データを消
失することなくデータ保持可能であるとともに、半導体
集積回路の待機時の消費電流をより低減できる。
【0023】(6) 前記第1の電流制御回路は、前記外部
電源供給配線及び前記内部電源供給配線の間を開閉する
第1開閉手段を備え、前記第2の電流制御回路は、前記
外部電源供給配線及び前記内部電源供給配線の間を開閉
する第2開閉手段を備え、該第1開閉手段は、閉とした
際に、前記内部回路の動作時に必要な電流を供給可能で
あり、該第2開閉手段は、閉とした際に、前記内部回路
の待機時に前記データ保持回路がデータ保持可能な電流
を供給可能であることを特徴とする。
【0024】この構成において、半導体集積回路が備え
る第1の電流制御回路の第1開閉手段は、外部電源供給
配線及び内部電源供給配線の間を開閉するとともに、閉
とした際に、内部回路の動作時に必要な電流を供給可能
である。また、半導体集積回路が備える第2の電流制御
回路の第2開閉手段は、外部電源供給配線及び内部電源
供給配線の間を開閉するとともに、閉とした際に、内部
回路の待機時に前記データ保持回路がデータ保持可能な
電流を供給可能である。したがって、半導体集積回路の
動作時には、第1開閉手段を閉、第2開閉手段を開能と
し、半導体集積回路の待機時には、第1開閉手段を開、
第2開閉手段を閉とすることで、半導体集積回路の消費
電流を低減することが可能となる。
【0025】(7) 前記第1開閉手段及び前記第2開閉手
段は、Pチャンネル型FETを備え、前記第1開閉手段
のPチャンネル型FETは、前記内部回路の動作時に必
要な電流を供給可能なゲート長及びゲート幅であり、前
記第2開閉手段のPチャンネル型FETは、前記内部回
路の待機時に前記データ保持回路がデータ保持可能な電
流を供給可能なゲート長及びゲート幅であることを特徴
とする。
【0026】この構成において、半導体集積回路の第1
開閉手段は、内部回路の動作時に必要な電流を供給可能
なゲート長及びゲート幅であるPチャンネル型FETを
備え、半導体集積回路の第2開閉手段は、内部回路の待
機時に前記データ保持回路がデータ保持可能な電流を供
給可能なゲート長及びゲート幅であるPチャンネル型F
ETを備えている。したがって、半導体集積回路の製造
時にPチャンネル型FETのゲート長及びゲート幅は容
易に設定・変更可能であるため、所望の特性の半導体集
積回路を得ることができる。
【0027】(8) 前記第2の電流制御回路は、前記デー
タ保持回路がデータ保持可能で、外部電源供給配線に供
給された電圧よりも低い電圧を前記内部電源供給配線に
印加するとともに、前記内部回路の待機時に前記データ
保持回路がデータ保持可能な電流を供給可能な電圧降下
回路を備えたことを特徴とする。
【0028】この構成において、第2の電流制御回路
は、前記データ保持回路がデータ保持可能で、外部電源
供給配線に供給された電圧よりも低い電圧を前記内部電
源供給配線に印加するとともに、前記内部回路の待機時
に前記データ保持回路がデータ保持可能な電流を供給可
能な電圧降下回路を備えている。したがって、半導体集
積回路の待機時に、電圧降下回路からデータ保持回路に
電源供給することで、待機時の消費電流を低減すること
が可能となる。
【0029】(9) 前記電圧降下回路は、前記第2開閉手
段及び前記内部電源供給配線の間に設けたダイオード接
続のNチャンネル型FETであることを特徴とする。
【0030】この構成において、第2開閉手段及び内部
電源供給配線の間に設けたダイオード接続のNチャンネ
ル型FETが半導体集積回路の電圧降下回路である。し
たがって、半導体集積回路の製造時にNチャンネル型F
ETはゲート長及びゲート幅を容易に設定・変更可能で
あるため、所望の特性の半導体集積回路を得ることがで
きるとともに、容易に降下した電圧を得ることができ
る。
【0031】(10)SOI基板上に形成したことを特徴と
する。
【0032】この構成において、(1) 乃至(9) の半導体
集積回路は、SOI基板上に形成されている。したがっ
て、ボディ電位の制御が不要であるためPD(部分空
乏)型のFETに限らず、より低閾値を実現できるFD
(完全空乏)型のデバイスにも適用でき、定電圧動作、
低リーク電流を実現させる回路技術として非常に有益で
ある。
【0033】
【発明の実施の形態】〔第1実施形態〕図1は、本発明
の第1実施形態に係る半導体集積回路の回路図である。
図1に示した半導体集積回路51は、外部電源供給配線
VDD、内部電源供給配線V−VDD、電源制御手段を
構成する第1の電流制御回路であるPMOSFET(P
チャンネル型MOS電界効果トランジスタ)1及び第2
の電流制御回路であるPMOSFET2、並びに半導体
集積回路の内部回路であるレジスタ回路を含む論理回路
3を備えている。
【0034】PMOSFET1及びPMOSFET2は
それぞれ、ソースが外部電源供給配線VDDに接続さ
れ、ドレインが内部電源供給配線V−VDDに接続され
ている。また、PMOSFET1のゲートには、制御信
号PSが入力され、PMOSFET2のゲートには、制
御信号PSBが入力される。なお、制御信号PSBは、
制御信号PSの反転信号であり、後述する他の実施形態
においても、同様である。論理回路3は、電源端子3a
が内部電源供給配線V−VDDに接続され、接地端子3
bが接地線GNDに接続されている。
【0035】外部電源供給配線VDDは、外部電源を接
続して外部から電源供給するための配線である。内部電
源供給配線V−VDDは、内部回路である論理回路3に
電源供給するための配線である。電源制御手段を構成す
る第1の電流制御回路であるPMOSFET1及び第2
の電流制御回路であるPMOSFET2は、高閾値電圧
(Vth)のPMOSFETである。
【0036】PMOSFET1は、制御信号PSが信号
Low(以下、Loと称する。)(動作モード)の時に
オンし、制御信号PSが信号High(以下、Hiと称
する。)(待機モード)の時にオフする。また、PMO
SFET1は、論理回路3が動作するのに十分な電流を
供給できる能力を有している。よって、PMOSFET
1のゲート幅及びゲート長は、論理回路3が動作するの
に十分な電流を供給できるサイズに形成されている。
【0037】PMOSFET2は、制御信号PSBがL
o(待機モード)の時にオンし、制御信号PSBがHi
(動作モード)の時にオフする。また、PMOSFET
2は、論理回路3が備えるレジスタ回路がデータを保持
するのに最小限必要な電流を供給できる能力を有してい
る。よって、PMOSFET2のゲート幅及びゲート長
は、論理回路3が備えるレジスタ回路がデータを保持す
るのに最小限必要な電流を供給できるように形成されて
いる。
【0038】論理回路3は、データ保持回路であるレジ
スタ回路や複数の論理回路などを備え、低閾値電圧(V
th)のトランジスタ及びFETにて構成されている。
【0039】PMOSFET1及びPMOSFET2
は、外部電源供給配線及び内部電源供給配線の間を開閉
する開閉手段(スイッチ)の役目を果たす。すなわち、
半導体集積回路51の動作時には、制御信号PSとして
Lo、制御信号PSBとしてHiを入力することで、P
MOSFET1はオンし、PMOSFET2はオフす
る。この時、オンしているPMOSFET1は、前記の
ように論理回路3が動作するのに十分な電流を供給でき
るだけの能力を有しているので、論理回路3は正常に動
作する。
【0040】一方、半導体集積回路51の待機時には、
制御信号PSとしてHi、制御信号PSBとしてLoを
入力することで、PMOSFET1はオフし、PMOS
FET2はオンする。この時、オンしているPMOSF
ET2は、前記のように論理回路3が備えるレジスタ回
路がデータを保持しておくのに最小限の電流しか供給す
る能力を持たない。よって、レジスタ回路はデータを消
失することなく保持する。
【0041】このように、半導体集積回路51の動作時
と待機時とで電源制御手段に入力する信号を切り替える
ことで、待機時における電流をレジスタ回路がデータ保
持に必要な電流のみに低減できる。
【0042】〔第2実施形態〕図2は、本発明の第2実
施形態に係る半導体集積回路の回路図である。なお、図
1と同一部分には同一符号を付して、詳細な説明を省略
する。
【0043】図2に示したように、半導体集積回路52
は、図1に示した半導体集積回路51のPMOSFET
2及び内部電源供給配線V−VDDの間に、電圧降下回
路であるNMOSFET(Nチャンネル型MOS電界効
果トランジスタ)6を追加した構成である。すなわち、
NMOSFET6は、ドレイン及びゲートがPMOSF
ET2のドレインに接続され、ソースが内部電源供給配
線V−VDDに接続されている。よって、NMOSFE
T6はダイオード接続となっており、外部電源供給配線
VDDに供給された電圧は、NMOSFET6で降下し
て、外部電源供給配線VDDに供給された電圧より低い
電圧が内部電源供給配線V−VDDに印加される。
【0044】NMOSFET6は、論理回路3が備える
レジスタ回路がデータを保持するのに最小限必要な電流
を供給できる能力を有している。そのため、NMOSF
ET6のゲート幅及びゲート長は、論理回路3が備える
レジスタ回路がデータを保持するのに最小限必要な電流
を供給できるように形成されている。なお、PMOSF
ET2のゲート幅及びゲート長は、NMOSトランジス
タ6より高い値または等しい値の電流を供給できるよう
に形成されている。
【0045】半導体集積回路52の動作時には、制御信
号PSとしてLo、制御信号PSBとしてHiを入力す
ることで、PMOSFET1はオンし、PMOSFET
2はオフする。この時、オンしているPMOSFET1
は、前記のように論理回路3が動作するのに十分な電流
を供給できるだけの能力を有しているので、論理回路3
は正常に動作する。
【0046】一方、半導体集積回路52の待機時には、
制御信号PSとしてHi、制御信号PSBとしてLoを
入力することで、PMOSFET1はオフし、PMOS
FET2はオンする。この時、NMOSFET6は、前
記のように論理回路3が備えるレジスタ回路がデータを
保持しておくのに最小限の電流しか供給する能力を持た
ない。また、内部電源供給配線V−VDDへは、ダイオ
ード接続されたNMOSトランジスタ6による電圧降下
により、レジスタ回路がデータを保持可能な外部電源よ
りも低い電圧が供給される。よって、レジスタ回路はデ
ータを消失することなく保持する。
【0047】このように、半導体集積回路52の待機時
において、内部回路に印加する電源電圧を通常動作時よ
りも低い電圧であって、データ保持回路がデータ保持可
能な電圧に設定することにより、待機時に必要な電流を
さらに削減することが可能となる。
【0048】〔第3実施形態〕図3は、本発明の第3実
施形態に係る半導体集積回路の回路図である。なお、図
1と同一部分には同一符号を付して、詳細な説明を省略
する。
【0049】図3に示したように、半導体集積回路53
は、図1に示した半導体集積回路51のPMOSFET
2の代わりに、NMOSFET9を設けた構成である。
NMOSFET9は、ドレイン及びゲートが外部電源供
給配線VDDに接続され、ソースが内部電源供給配線V
−VDDに接続されている。よって、NMOSFET9
はダイオード接続となっており、外部電源供給配線VD
Dに供給された電圧は、NMOSFET9で降下して、
外部電源供給配線VDDに供給された電圧より低い電圧
が内部電源供給配線V−VDDに印加される。
【0050】NMOSFET9は、論理回路3が備える
レジスタ回路がデータを保持するのに最小限必要な電流
を供給できる能力を有している。そのため、NMOSF
ET9のゲート幅及びゲート長は、論理回路3が備える
レジスタ回路がデータを保持するのに最小限必要な電流
を供給できるように形成されている。
【0051】半導体集積回路53の動作時には、制御信
号PSとしてLoを入力することで、PMOSFET1
はオンする。この時、オンしているPMOSFET1
は、前記のように論理回路3が動作するのに十分な電流
を供給できるだけの能力を有しているので、論理回路3
は正常に動作する。なお、NMOSFET9からも、論
理回路3に電源供給が行われる。
【0052】一方、半導体集積回路53の待機時には、
制御信号PSとしてHi、制御信号PSBとしてLoを
入力することで、PMOSFET1はオフし、NMOS
FET9のみから論理回路3に電源供給が行われる。こ
の時、NMOSFET9は、前記のように論理回路3が
備えるレジスタ回路がデータを保持しておくのに最小限
の電流しか供給する能力を持たない。また、内部電源供
給配線V−VDDへは、ダイオード接続されたNMOS
FET9による電圧降下により、レジスタ回路がデータ
を保持可能な外部電源よりも低い電圧が供給される。よ
って、レジスタ回路はデータを消失することなく保持す
る。
【0053】このように、半導体集積回路53の待機時
において、内部回路に印加する電源電圧を通常動作時よ
りも低い電圧であって、データ保持回路がデータ保持可
能な電圧に設定することにより、第2実施形態の半導体
集積回路よりも簡素な構成によって、待機時に必要な電
流を削減することが可能となる。
【0054】〔第4実施形態〕図4は、本発明の第4実
施形態に係る半導体集積回路の回路図である。なお、図
1と同一部分には同一符号を付して、詳細な説明を省略
する。
【0055】図4に示したように、半導体集積回路54
は、外部電源供給配線として、第1の電流制御回路であ
るPMOSFET1に接続された第1の外部電源供給配
線である外部電源供給配線VDDと、第2の電流制御回
路であるPMOSFET12に接続された第2の外部電
源供給配線である外部電源供給配線L−VDDと、を備
えた構成である。すなわち、半導体集積回路54は、図
1に示した半導体集積回路51のPMOSFET2を削
除し、追加した外部電源供給配線L−VDD及び内部電
源供給配線V−VDDの間に、高閾値電圧(Vth)で
あるPMOSFET12を設けた構成である。
【0056】また、外部電源供給配線L−VDDには、
外部電源供給配線VDDより低い電圧であって、論理回
路3が備えるデータ保持回路であるレジスタ回路がデー
タを保持可能な電圧を供給する。
【0057】PMOSFET12は、制御信号PSBが
Lo(待機モード)の時にオンし、制御信号PSBがH
i(動作モード)の時にオフする。また、PMOSFE
T12は、論理回路3が備えるレジスタ回路がデータを
保持するのに最小限必要な電流を供給できる能力を有し
ている。よって、PMOSFET2のゲート幅及びゲー
ト長は、論理回路3が備えるレジスタ回路がデータを保
持するのに最小限必要な電流を供給できるように形成さ
れている。
【0058】PMOSFET1及びPMOSFET12
は、外部電源供給配線及び内部電源供給配線の間を開閉
する開閉手段(スイッチ)の役目を果たす。すなわち、
半導体集積回路54の動作時には、制御信号PSとして
Lo、制御信号PSBとしてHiを入力することで、P
MOSFET1はオンし、PMOSFET12はオフす
る。この時、オンしているPMOSFET1は、前記の
ように論理回路3が動作するのに十分な電流を供給でき
るだけの能力を有しているので、論理回路3は正常に動
作する。
【0059】一方、半導体集積回路54の待機時には、
制御信号PSとしてHi、制御信号PSBとしてLoを
入力することで、PMOSFET1はオフし、PMOS
FET12はオンする。この時、オンしているPMOS
FET12は、前記のように論理回路3が備えるレジス
タ回路がデータを保持しておくのに最小限の電流しか供
給する能力を持たない。また、外部電源供給配線VDD
より低い電圧であって、論理回路3が備えるレジスタ回
路がデータを保持可能な電圧を供給する。よって、レジ
スタ回路はデータを消失することなく保持する。
【0060】このように、半導体集積回路54の動作時
と待機時とで電源制御手段に入力する信号を切り替える
とともに、待機時において、内部回路に印加する電源電
圧を通常動作時よりも低い電圧であって、データ保持回
路がデータ保持可能な電圧に設定することにより、必要
な電流をさらに削減することが可能となる。
【0061】〔第5実施形態〕図5は、本発明の第5実
施形態に係る半導体集積回路の回路図である。図5に示
したように、半導体集積回路55は、外部電源供給配線
VDD、第1の内部電源供給配線V−VDD1、第2の
内部電源供給配線V−VDD2、電源制御手段である高
閾値電圧(Vth)のPMOSFET14,PMOSF
ET15,PMOSFET16、内部回路である論理演
算回路ブロック17及びレジスタ回路ブロック18を備
えている。
【0062】PMOSFET14は、ソースが外部電源
供給配線VDDに接続され、ドレインが第1の内部電源
供給配線V−VDD1に接続されている。また、PMO
SFET14のゲートには、制御信号PSが入力され
る。
【0063】PMOSFET15及びPMOSFET1
6はそれぞれ、ソースが外部電源供給配線VDDに接続
され、ドレインが第2の内部電源供給配線V−VDD2
に接続されている。また、PMOSFET15のゲート
には、制御信号PSが入力され、PMOSFET16の
ゲートには、制御信号PSBが入力される。なお、制御
信号PSBは、制御信号PSの反転信号である。
【0064】論理演算回路ブロック17は、電源端子1
7aが第1の内部電源供給配線V−VDD1に接続さ
れ、接地端子17bが接地線GNDに接続されている。
レジスタ回路ブロック18は、電源端子18aが第2の
内部電源供給配線V−VDD2に接続され、接地端子1
8bが接地線GNDに接続されている。
【0065】論理演算回路ブロック17及びレジスタ回
路ブロック18は、データ保持回路であるレジスタ回路
や複数の論理回路などを備え、低閾値電圧(Vth)の
トランジスタ及びFETにて構成されている。
【0066】外部電源供給配線VDDは、外部電源を接
続し外部から電源供給するためのものである。第1の内
部電源供給配線V−VDD1は、内部回路である論理回
路17に電源供給するためのものである。第2の内部電
源供給配線V−VDD2は、内部回路である論理回路1
8に電源供給するためのものである。
【0067】電源制御手段を構成する第1の電流制御回
路であるPMOSFET1及びPMOSFET15並び
に第2の電流制御回路であるPMOSFET16は、高
閾値電圧(Vth)のPMOSFETである。
【0068】PMOSFET14及びPMOSFET1
5は、制御信号PSがLo(動作モード)の時にオン
し、制御信号PSがHi(待機モード)の時にオフす
る。また、PMOSFET14は、論理演算回路ブロッ
ク17が動作するのに十分な電流を供給できる能力を有
している。よって、PMOSFET14のゲート幅及び
ゲート長は、論理演算回路ブロック17が動作するのに
十分な電流を供給できるサイズに形成されている。
【0069】また、PMOSFET15は、レジスタ回
路ブロック18が動作するのに十分な電流を供給できる
能力を有している。よって、PMOSFET15のゲー
ト幅及びゲート長は、レジスタ回路ブロック18が動作
するのに十分な電流を供給できるサイズに形成されてい
る。
【0070】PMOSFET16は、制御信号PSBが
Lo(待機モード)の時にオンし、制御信号PSBがH
i(動作モード)の時にオフする。また、PMOSFE
T16は、レジスタ回路ブロック18が備えるレジスタ
回路がデータを保持するのに最小限必要な電流を供給で
きる能力を有している。よって、PMOSFET2のゲ
ート幅及びゲート長は、レジスタ回路ブロック18が備
えるレジスタ回路がデータを保持するのに最小限必要な
電流を供給できるように形成されている。
【0071】論理演算回路ブロック17は、複数の論理
演算回路を備え、低閾値電圧(Vth)のトランジスタ
及びFETにて構成されている。レジスタ回路ブロック
18は、データ保持回路であるレジスタ回路を備え、低
閾値電圧(Vth)のトランジスタ及びFETにて構成
されている。
【0072】PMOSFET14、PMOSFET15
及びPMOSFET16は、外部電源供給配線及び内部
電源供給配線の間を開閉する開閉手段(スイッチ)の役
目を果たす。すなわち、半導体集積回路55の動作時に
は、制御信号PSとしてLo、制御信号PSBとしてH
iを入力することで、PMOSFET14及びPMOS
FET15はオンし、PMOSFET16はオフする。
この時、オンしているPMOSFET15は、前記のよ
うに論理演算回路ブロック17が動作するのに十分な電
流を供給できるだけの能力を有しているので、論理演算
回路ブロック17は正常に動作する。また、オンしてい
るPMOSFET16は、前記のようにレジスタ回路ブ
ロック18が動作するのに十分な電流を供給できるだけ
の能力を有しているので、レジスタ回路ブロック18は
正常に動作する。
【0073】一方、半導体集積回路55の待機時には、
制御信号PSとしてHi、制御信号PSBとしてLoを
入力することで、PMOSFET14及びPMOSFE
T15はオフし、PMOSFET16はオンする。この
時、オフされたPMOSFET14には非常に小さなリ
ーク電流しか流れないため、論理演算回路ブロック17
は動作しない。また、オンしているPMOSFET16
は、前記のようにレジスタ回路ブロック18が備えるレ
ジスタ回路がデータを保持しておくのに最小限の電流し
か供給する能力を持たない。よって、レジスタ回路はデ
ータを消失することなく保持する。
【0074】このように、半導体集積回路55の内部回
路を論理演算回路ブロックとレジスタ回路ブロックとに
分離し、また、各々のブロックに電源を供給する内部電
源供給配線を分離し、さらに、半導体集積回路55の動
作時と待機時とで電源制御手段に入力する信号を切り替
えることで、待機時における内部回路の消費電流をさら
に抑制することが可能となり、第1実施形態の半導体集
積回路よりも待機時の消費電流を低減できる。
【0075】〔第6実施形態〕図6は、本発明の第6の
実施形態に係る半導体集積回路の回路図である。なお、
図5と同一部分には同一符号を付して、詳細な説明を省
略する。
【0076】図6に示したように、半導体集積回路56
は、図5に示した半導体集積回路55のPMOSFET
16及び第2の内部電源供給配線V−VDD2の間に、
電圧降下回路であるNMOSFET22を追加した構成
である。すなわち、NMOSFET22は、ドレイン及
びゲートがPMOSFET16のドレインに接続され、
ソースが第2の内部電源供給配線V−VDD2に接続さ
れている。よって、NMOSFET22はダイオード接
続となっており、外部電源供給配線VDDに供給された
電圧は、NMOSFET22で降下して、外部電源供給
配線VDDに供給された電圧より低い電圧が第2の内部
電源供給配線V−VDD2に印加される。
【0077】NMOSFET22は、論理回路18が備
えるレジスタ回路がデータを保持するのに最小限必要な
電流を供給できる能力を有している。そのため、NMO
SFET22のゲート幅及びゲート長は、レジスタ回路
ブロック18が備えるレジスタ回路がデータを保持する
のに最小限必要な電流を供給できるように形成されてい
る。なお、PMOSFET16のゲート幅及びゲート長
は、NMOSトランジスタ22よりも高い値または等し
い値の電流を供給できるように形成されている。
【0078】半導体集積回路56の動作時には、制御信
号PSとしてLo、制御信号PSBとしてHiを入力す
ることで、PMOSFET14及びPMOSFET15
はオンし、PMOSFET16はオフする。この時、オ
ンしているPMOSFET14及びPMOSFET15
は、前記のように論理演算回路ブロック17及びレジス
タ回路ブロック18が動作するのに十分な電流を供給で
きるだけの能力を有しているので、論理演算回路ブロッ
ク17及びレジスタ回路ブロック18は正常に動作す
る。
【0079】一方、半導体集積回路56の待機時には、
制御信号PSとしてHi、制御信号PSBとしてLoを
入力することで、PMOSFET14及びPMOSFE
T15はオフし、PMOSFET16はオンする。この
時、NMOSFET22は、前記のようにレジスタ回路
ブロック18が備えるレジスタ回路がデータを保持して
おくのに最小限の電流しか供給する能力を持たない。ま
た、第2の内部電源供給配線V−VDD2へは、ダイオ
ード接続されたNMOSトランジスタ22による電圧降
下により、レジスタ回路がデータを保持可能電圧であっ
て、外部電源よりも低い電圧が供給される。よって、レ
ジスタ回路はデータを消失することなく保持する。さら
に、論理演算回路ブロック17には、PMOSFET1
4がオフされることにより、非常に小さなリーク電流し
か流れないため、動作しない。
【0080】このように、半導体集積回路56の待機時
において、内部回路に印加する電源電圧を通常動作時よ
りも低い電圧であって、データ保持回路がデータ保持可
能な電圧に設定することにより、待機時に必要な電流を
さらに削減することが可能となる。
【0081】〔第7実施形態〕図7は、本発明の第7実
施形態に係る半導体集積回路の回路図である。なお、図
5と同一部分には同一符号を付して、詳細な説明を省略
する。
【0082】図7に示したように、半導体集積回路57
は、図5に示した半導体集積回路55のPMOSFET
16の代わりに、NMOSFET27を設けた構成であ
る。すなわち、NMOSFET27は、ドレイン及びゲ
ートが外部電源供給配線VDDに接続され、ソースが第
2の内部電源供給配線V−VDD2に接続されている。
よって、NMOSFET27はダイオード接続となって
おり、外部電源供給配線VDDに供給された電圧は、N
MOSFET27で降下して、外部電源供給配線VDD
に供給された電圧より低い電圧が第2の内部電源供給配
線V−VDD2に印加される。
【0083】NMOSFET27は、レジスタ回路ブロ
ック18が備えるレジスタ回路がデータを保持するのに
最小限必要な電流を供給できる能力を有している。その
ため、NMOSFET27のゲート幅及びゲート長は、
レジスタ回路ブロック18が備えるレジスタ回路がデー
タを保持するのに最小限必要な電流を供給できるように
形成されている。
【0084】半導体集積回路57の動作時には、制御信
号PSとしてLoを入力することで、PMOSFET1
4及びPMOSFET15はオンする。この時、オンし
ているPMOSFET14及びPMOSFET15は、
前記のように論理演算回路ブロック17及びレジスタ回
路ブロック18が動作するのに十分な電流を供給できる
だけの能力を有しているので、論理演算回路ブロック1
7及びレジスタ回路ブロック18は正常に動作する。な
お、NMOSFET27からも、レジスタ回路ブロック
18に電源供給が行われる。
【0085】一方、半導体集積回路57の待機時には、
制御信号PSとしてHi、制御信号PSBとしてLoを
入力することで、PMOSFET14及びPMOSFE
T15はオフし、NMOSFET27のみからレジスタ
回路ブロック18に電源供給が行われる。この時、NM
OSFET27は、前記のようにレジスタ回路ブロック
18が備えるレジスタ回路がデータを保持しておくのに
最小限の電流しか供給する能力を持たない。また、第2
の内部電源供給配線V−VDD2へは、ダイオード接続
されたNMOSFET27による電圧降下により、レジ
スタ回路がデータを保持可能な電圧であって、外部から
供給された電源よりも低い電圧が供給される。よって、
レジスタ回路はデータを消失することなく保持する。
【0086】また、論理演算回路ブロック17には、P
MOSFET14がオフされることにより、非常に小さ
なリーク電流しか流れないため、動作しない。
【0087】このように、半導体集積回路57の待機時
において、内部回路に印加する電源電圧を通常動作時よ
りも低い電圧であって、データ保持回路がデータ保持可
能な電圧に設定することにより、第6実施形態の半導体
集積回路よりも簡素な構成によって、待機時に必要な電
流を削減することが可能となる。
【0088】〔第8実施形態〕図8は本発明の第8実施
形態に係る半導体集積回路の回路図である。なお、図5
と同一部分には同一符号を付して、詳細な説明を省略す
る。
【0089】図8に示したように、半導体集積回路58
は、外部電源供給配線として、第1の電流制御回路であ
るPMOSFET14に接続された第1の外部電源供給
配線である外部電源供給配線VDDと、別の第1の電流
制御回路であるPMOSFET31及び第2の電流制御
回路であるPMOSFET32に接続された第2の外部
電源供給配線である外部電源供給配線L−VDDと、を
備えた構成である。すなわち、図5に示した半導体集積
回路51のPMOSFET15及びPMOSFET16
を削除し、追加した外部電源供給配線L−VDD及び内
部電源供給配線V−VDDの間に、高閾値電圧(Vt
h)であるPMOSFET31及びPMOSFET32
を設けた構成である。
【0090】また、外部電源供給配線L−VDDには、
外部電源供給配線VDDより低い電圧であって、レジス
タ回路ブロック18が備えるデータ保持回路であるレジ
スタ回路がデータを保持可能な電圧を供給する。
【0091】PMOSFET31は、制御信号PSがL
o(動作モード)の時にオンし、制御信号PSがHi
(待機モード)の時にオフする。PMOSFET31
は、レジスタ回路ブロック18が動作するのに十分な電
流を供給できる能力を有している。よって、PMOSF
ET31のゲート幅及びゲート長は、レジスタ回路ブロ
ック18が動作するのに十分な電流を供給できるサイズ
に形成されている。
【0092】PMOSFET32は、制御信号PSBが
Lo(待機モード)の時にオンし、制御信号PSBがH
i(動作モード)の時にオフする。また、PMOSFE
T31は、レジスタ回路ブロック18が備えるレジスタ
回路がデータを保持するのに最小限必要な電流を供給で
きる能力を有している。よって、PMOSFET32の
ゲート幅及びゲート長は、レジスタ回路ブロック18が
備えるレジスタ回路がデータを保持するのに最小限必要
な電流を供給できるように形成されている。
【0093】PMOSFET14、PMOSFET31
及びPMOSFET32は、外部電源供給配線及び内部
電源供給配線の間を開閉する開閉手段(スイッチ)の役
目を果たす。すなわち、半導体集積回路58の動作時に
は、制御信号PSとしてLo、制御信号PSBとしてH
iを入力することで、PMOSFET14及びPMOS
FET31はオンし、PMOSFET32はオフする。
この時、オンしているPMOSFET14は、前記のよ
うに論理演算回路ブロック17が動作するのに十分な電
流を供給できるだけの能力を有しているので、論理演算
回路ブロック17は正常に動作する。また、オンしてい
るPMOSFET31は、前記のようにレジスタ回路ブ
ロック18が動作するのに十分な電流を供給できるだけ
の能力を有しているので、レジスタ回路ブロック18は
正常に動作する。
【0094】一方、半導体集積回路58の待機時には、
制御信号PSとしてHi、制御信号PSBとしてLoを
入力することで、PMOSFET14及びPMOSFE
T31はオフし、PMOSFET32はオンする。この
時、オフされたPMOSFET14には非常に小さなリ
ーク電流しか流れないため、論理演算回路ブロック17
は動作しない。また、オンしているPMOSFET32
は、前記のようにレジスタ回路ブロック18が備えるレ
ジスタ回路がデータを保持しておくのに最小限の電流し
か供給する能力を持たない。よって、レジスタ回路はデ
ータを消失することなく保持する。
【0095】このように、半導体集積回路58の動作時
と待機時とで電源制御手段に入力する信号を切り替える
とともに、待機時において、内部回路に印加する電源電
圧を通常動作時よりも低い電圧であって、データ保持回
路がデータ保持可能な電圧に設定することにより、必要
な電流をさらに削減することが可能となる。
【0096】以上本発明の実施形態について述べてきた
が、本発明の実施形態に係る半導体集積回路は図示した
PMOSFETに限らず、CMOS構成など他の方式に
おいても同様に適応することが可能である。すなわち、
本発明は、一般的なMOSプロセス技術を用いる回路全
てにおいて、極低電圧で動作し、かつ低待機電流特性を
実現し得る回路技術を提供するものである。特に、定電
圧動作のための低閾値デバイス特性を持つSOIデバイ
ス回路においても、上記の第1実施形態乃至第8実施形
態は適用可能である。すなわち、SOI基板上に第1実
施形態乃至第8実施形態のいずれかの構成を形成するこ
とが可能である。
【0097】また、ボディ電位の制御が不要であるため
PD(部分空乏)型のFETに限らず、より低閾値を実
現できるFD(完全空乏)型のデバイスにも適用でき、
定電圧動作、低リーク電流を実現させる回路技術として
非常に有益である。
【0098】
【発明の効果】本発明によれば、以下の効果が得られ
る。
【0099】(1) 半導体集積回路は、外部から電源供給
するための外部電源供給配線と、内部回路に電源供給す
るための内部電源供給配線と、の間に、内部回路の動作
時及び待機時に供給する電流及び電圧を制御する電源制
御手段を備えているので、内部回路の動作状態に応じて
供給する電流及び電圧を制御することで、消費電流や待
機電流を低減することができる。
【0100】(2) 半導体集積回路は、所定の電流を供給
することでデータを保持可能なデータ保持回路を内部回
路に備えているので、所定の電流を供給することでデー
タ保持可能であるとともに、電流の供給を停止すること
でデータの消去ができる。
【0101】(3) 内部回路の動作時に必要な電流を供給
する能力を有する第1の電流制御回路と、内部回路の待
機時に前記データ保持回路がデータ保持可能な電流を供
給する能力を有する第2の電流制御回路と、を半導体集
積回路の電源制御手段は備えているため、内部回路の動
作時には第1の電流制御回路から電流を供給すること
で、不具合などが発生することなく内部回路を動作させ
ることができ、また内部回路の待機時には第2の電流制
御回路から電流を供給することで、内部回路のデータ保
持回路がデータを消失することなく、データを保持する
ことができる。
【0102】(4) 第1の電流制御回路に接続された第1
の外部電源供給配線と、第2の電流制御回路に接続され
た第2の外部電源供給配線と、を外部電源供給配線は備
えているため、第1の外部電源供給配線に内部回路の動
作時に必要な電流を供給し、第2の外部電源供給配線に
内部回路の待機時に必要な電流を供給することで、半導
体集積回路の消費電力を低減させることができる。
【0103】(5) 第1の外部電源供給配線よりも低い電
圧で、内部回路の待機時にデータ保持回路がデータ保持
可能な電流である電源の供給が、半導体集積回路の第2
の外部電源供給配線に対して行われるので、内部回路の
データ保持回路は、データを消失することなくデータ保
持可能であるとともに、半導体集積回路の待機時の消費
電流をより低減できる。
【0104】(6) 半導体集積回路が備える第1の電流制
御回路の第1開閉手段は、外部電源供給配線及び内部電
源供給配線の間を開閉するとともに、閉とした際に、内
部回路の動作時に必要な電流を供給可能である。また、
半導体集積回路が備える第2の電流制御回路の第2開閉
手段は、外部電源供給配線及び内部電源供給配線の間を
開閉するとともに、閉とした際に、内部回路の待機時に
前記データ保持回路がデータ保持可能な電流を供給可能
である。そのため、半導体集積回路の動作時には、第1
開閉手段を閉、第2開閉手段を開能とし、半導体集積回
路の待機時には、第1開閉手段を開、第2開閉手段を閉
とすることで、半導体集積回路の消費電流を低減でき
る。
【0105】(7) 半導体集積回路の第1開閉手段は、内
部回路の動作時に必要な電流を供給可能なゲート長及び
ゲート幅であるPチャンネル型FETを備え、半導体集
積回路の第2開閉手段は、内部回路の待機時に前記デー
タ保持回路がデータ保持可能な電流を供給可能なゲート
長及びゲート幅であるPチャンネル型FETを備えてい
るので、半導体集積回路の製造時にPチャンネル型FE
Tのゲート長及びゲート幅は容易に設定・変更可能であ
るため、所望の特性の半導体集積回路を得ることができ
る。
【0106】(8) 第2の電流制御回路は、前記データ保
持回路がデータ保持可能で、外部電源供給配線に供給さ
れた電圧よりも低い電圧を前記内部電源供給配線に印加
するとともに、前記内部回路の待機時に前記データ保持
回路がデータ保持可能な電流を供給可能な電圧降下回路
を備えているため、半導体集積回路の待機時に、電圧降
下回路からデータ保持回路に電源供給することで、待機
時の消費電流を低減できる。
【0107】(9) 第2開閉手段及び内部電源供給配線の
間に設けたダイオード接続のNチャンネル型FETが半
導体集積回路の電圧降下回路であることにより、半導体
集積回路の製造時にNチャンネル型FETはゲート長及
びゲート幅を容易に設定・変更可能であるため、所望の
特性の半導体集積回路を得ることができるとともに、容
易に降下した電圧を得ることができる。
【0108】(10)(1) 乃至(9) の半導体集積回路は、S
OI基板上に形成されているので、ボディ電位の制御が
不要であるためPD(部分空乏)型のFETに限らず、
より低閾値を実現できるFD(完全空乏)型のデバイス
にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態に係る半導体集積回路の
回路図である。
【図2】本発明の第2実施形態に係る半導体集積回路の
回路図である。
【図3】本発明の第3実施形態に係る半導体集積回路の
回路図である。
【図4】本発明の第4実施形態に係る半導体集積回路の
回路図である。
【図5】本発明の第5実施形態に係る半導体集積回路の
回路図である。
【図6】本発明の第6実施形態に係る半導体集積回路の
回路図である。
【図7】本発明の第7実施形態に係る半導体集積回路の
回路図である。
【図8】本発明の第8実施形態に係る半導体集積回路の
回路図である。
【図9】半導体集積回路の従来技術の構成を示した回路
図である。
【図10】インバータ論理回路の回路図である。
【符号の説明】
1−第1の電流制御回路(NMOSFET) 2−第2の電流制御回路(NMOSFET) 3−内部回路(論理回路) 17−論理演算回路ブロック 18−レジスタ回路ブロック 51〜58−半導体集積回路 VDD,L−VDD−外部電源供給配線 V−VDD,V−VDD1,V−VDD2−内部電源供
給配線
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H03K 19/0948 Fターム(参考) 5F038 DF08 DF16 EZ20 5F064 BB07 CC12 FF08 FF36 FF46 5J055 AX12 AX14 AX42 AX44 AX64 BX02 CX07 CX23 DX14 DX43 DX54 DX73 EX07 EX37 EY21 EZ51 FX18 FX37 GX01 5J056 AA03 AA37 BB17 BB49 BB57 BB59 CC03 DD26 DD29 DD55 EE08 EE13 EE14 FF07 HH01 HH02

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 外部から電源供給するための外部電源供
    給配線と、内部回路に電源供給するための内部電源供給
    配線と、の間に、該内部回路の動作時及び待機時に供給
    する電流及び電圧を制御する電源制御手段を備えたこと
    を特徴とする半導体集積回路。
  2. 【請求項2】 前記内部回路は、所定の電流を供給する
    ことでデータを保持可能なデータ保持回路を備えている
    ことを特徴とする請求項lに記載の半導体集積回路。
  3. 【請求項3】 前記電源制御手段は、前記内部回路の動
    作時に必要な電流を供給する能力を有する第1の電流制
    御回路と、前記内部回路の待機時に前記データ保持回路
    がデータ保持可能な電流を供給する能力を有する第2の
    電流制御回路と、を備えたことを特徴とする請求項2に
    記載の半導体集積回路。
  4. 【請求項4】 前記外部電源供給配線は、前記第1の電
    流制御回路に接続された第1の外部電源供給配線と、前
    記第2の電流制御回路に接続された第2の外部電源供給
    配線と、を備えたことを特徴とする請求項3に記載の半
    導体集積回路。
  5. 【請求項5】 前記第2の外部電源供給配線には、前記
    第1の外部電源供給配線よりも低い電圧で、前記内部回
    路の待機時に前記データ保持回路がデータ保持可能な電
    流である電源供給が行われることを特徴とする請求項4
    に記載の半導体集積回路。
  6. 【請求項6】 前記第1の電流制御回路は、前記外部電
    源供給配線及び前記内部電源供給配線の間を開閉する第
    1開閉手段を備え、 前記第2の電流制御回路は、前記外部電源供給配線及び
    前記内部電源供給配線の間を開閉する第2開閉手段を備
    え、 該第1開閉手段は、閉とした際に、前記内部回路の動作
    時に必要な電流を供給可能であり、該第2開閉手段は、
    閉とした際に、前記内部回路の待機時に前記データ保持
    回路がデータ保持可能な電流を供給可能であることを特
    徴とする請求項3に記載の半導体集積回路。
  7. 【請求項7】 前記第1開閉手段及び前記第2開閉手段
    は、Pチャンネル型FETを備え、 前記第1開閉手段のPチャンネル型FETは、前記内部
    回路の動作時に必要な電流を供給可能なゲート長及びゲ
    ート幅であり、 前記第2開閉手段のPチャンネル型FETは、前記内部
    回路の待機時に前記データ保持回路がデータ保持可能な
    電流を供給可能なゲート長及びゲート幅であることを特
    徴とする請求項6に記載の半導体集積回路。
  8. 【請求項8】 前記第2の電流制御回路は、前記データ
    保持回路がデータ保持可能で、外部電源供給配線に供給
    された電圧よりも低い電圧を前記内部電源供給配線に印
    加するとともに、前記内部回路の待機時に前記データ保
    持回路がデータ保持可能な電流を供給可能な電圧降下回
    路を備えたことを特徴とする請求項3乃至7のいずれか
    に記載の半導体集積回路。
  9. 【請求項9】 前記電圧降下回路は、前記第2開閉手段
    及び前記内部電源供給配線の間に設けたダイオード接続
    のNチャンネル型FETであることを特徴とする請求項
    8に記載の半導体集積回路。
  10. 【請求項10】 SOI基板上に形成したことを特徴と
    する請求項1乃至9のいずれかに記載の半導体集積回
    路。
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