JP2002304894A - プリント基板の製造方法 - Google Patents
プリント基板の製造方法Info
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Abstract
ュメモリを搭載したプリント基板の製造方法を提供する
ことにある。 【構成】 CPUは中央処理装置、FMRYは電気的に
消去・書込み可能な不揮発性のフラッシュメモリであ
る。このフラッシュメモリ(FMRY)に対する書換え
を内蔵中央処理装置(CPU)に制御させる第1動作モ
ードと外部のPROMライタに制御させる第2動作モー
ドとを有する樹脂封止型のマイクロコンピュータを用意
し、第2動作モードでフラッシュメモリ(FMRY)に
プログラムを書きこみ、書込みを行なったマイクロコン
ピュータをプリント基板に実装し、実装後に第1動作モ
ードでフラッシュメモリ(FMRY)が保持するプログ
ラムの書換えを行なう。
Description
によって情報を書換え可能な不揮発性のフラッシュメモ
リを備えたマイクロコンピュータに関する。
ラム可能な不揮発性メモリとしてEPROM(イレーザ
ブル・アンド・プログラマブル・リード・オンリ・メモ
リ)またはEEPROM(エレクトリカリ・イレーザブ
ル・アンド・プログラマブル・リード・オンリ・メモ
リ)を単一の半導体チップに搭載したマイクロコンピュ
ータについて記載されている。そのようなマイクロコン
ピュータにオン・チップ化された不揮発性メモリにはプ
ログラムやデータが保持される。EPROMは紫外線に
より記憶情報を消去するものであるから、それを実装シ
ステムから取り外さなければ書換えを行うことができな
い。EEPROMは電気的に消去・書込みを行うことが
できるので、システムに実装された状態でその記憶情報
を書換えることができるが、それを構成するメモリセル
は、MNOS(メタル・ナイトライド・オキサイド・セ
ミコンダクタ)のような記憶素子のほかに選択トランジ
スタを必要とするため、EPROMに比べて例えば2.
5倍から5倍程度の大きさになり、相対的に大きなチッ
プ占有面積を必要とする。
EEPROMについて記載されている。この一括消去型
EEPROMは本明細書におけるフラッシュメモリと同
意義に把握することができる。フラッシュメモリは、電
気的な消去・書込みによって情報を書換え可能であっ
て、EPROMと同様にそのメモリセルを1個のトラン
ジスタで構成することができ、メモリセルの全てを一括
して、またはメモリセルのブロックを一括して電気的に
消去する機能を持つ。したがって、フラッシュメモリ
は、システムに実装された状態でそれの記憶情報を書換
えることができると共に、その一括消去機能により書換
え時間の短縮を図ることができ、さらに、チップ占有面
積の低減にも寄与する。
ンピュータにフラッシュメモリを搭載することについて
検討し、これにより以下の点を見い出した。 (1)マイクロコンピュータの内蔵ROMにはプログラ
ム及びデータが格納される。更にデータには大容量デー
タと小容量データがある。これらプログラム及びデータ
を書き換える場合、通常前者については数十KB(キロ
バイト)の大きな単位で、後者については数十B(バイ
ト)の小さな単位で書換が行われる。このとき、フラッ
シュメモリの消去単位がチップ一括または同一サイズの
メモリブロック単位で行われるのでは、プログラム領域
にはちょうど良いがデータ領域には消去単位が大きすぎ
て使いにくかったり、或はその逆のケースも起こり得
る。 (2)マイクロコンピュータをシステムに実装した後に
フラッシュメモリの保持情報の一部を書換えるような場
合には、当該情報を保有している一部のメモリブロック
を書換え対象とすればよいが、一括消去可能なメモリブ
ロックの記憶容量が全てのメモリブロックで等しくされ
ているならば、メモリブロックの記憶容量よりも情報量
の少ない情報だけを書換えればよい場合にも比較的記憶
容量の大きなメモリブロックを一括消去した後に当該メ
モリブロック全体に対して順次書込みを行わなければな
らず、実質的に書換えを要しない情報のための書換えに
無駄な時間を費やすことになる。 (3)フッラシュメモリに書き込むべき情報はそのマイ
クロコンピュータが適用されるシステムにしたがって決
定されるが、当該マイクロコンピュータをシステムに実
装した状態で最初から全ての情報を書込んでいたのでは
非能率的な場合がある。 (4)マイクロコンピュータの実装状態でフラッシュメ
モリを書換えるとき、書換対象メモリブロックの一部の
情報だけを書換えればよくても、一括消去した後のメモ
リブロックの全体に書込むべき情報の全てをマイクロコ
ンピュータの外部から順次もらいながら書込みを行って
いたのでは、書換対象メモリブロックの一部の情報だけ
を書換えればよくても、当該メモリブロック全体に書込
むべき情報の全てを外部から受け取らなくてはならず、
実質的に書換えを要しない情報、すなわち書換え前に内
部で保持している情報も重ねて外部から転送されなけれ
ばならず、メモリブロックの一部書換のための情報転送
に無駄がある。 (5)フラッシュメモリを一括消去で書換える時間はそ
の情報記憶形式故にRAM(ランダム・アクセス・メモ
リ)などのメモリに比べて相当長いため、マイクロコン
ピュータによる機器制御動作に同期してリアルタイムに
フラッシュメモリを書換えることができない。
シュメモリを内蔵したマイクロコンピュータを提供する
ことにある。更に詳しく言えば、本発明の第1の目的
は、内蔵フッラシュメモリに対して行われる最初の情報
書込み処理の高効率化を図ることができるマイクロコン
ピュータを提供することである。本発明の第2の目的
は、フラッシュメモリの一部のメモリブロックが保持す
る情報の一部の書換えに対して、当該メモリブロックを
一括消去した後の書込み動作の無駄をなくして、書換え
効率を向上させることである。本発明の第3の目的は、
メモリブロックの一部書換のために必要な外部からの書
込み情報の転送動作の無駄をなくして、書換え効率を向
上させることである。本発明の第4の目的は、マイクロ
コンピュータの制御動作に同期してリアルタイムにフラ
ッシュメモリの保持情報を変更できるようにすることで
ある。
特徴は本明細書の記述及び添付図面から明らかになるで
あろう。
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば下記
の通りである。
処理装置と、この中央処理装置が処理すべき情報を電気
的な消去・書込みによって書換え可能な不揮発性のフラ
ッシュメモリとを備えたマイクロコンピュータに対し
て、前記フラッシュメモリに対する書換えを前記半導体
チップの内蔵回路例えば中央処理装置に制御させる第1
動作モードと前記半導体チップの外部装置に制御させる
第2動作モードとを選択的に指定するための動作モード
信号の入力端子を設ける。
理装置が書換え制御を行うとき、当該中央処理装置が実
行すべき書換え制御プログラムはマスクROMに保有さ
せ、或はフラッシュメモリに予め格納しておいた書換制
御プログラムをRAMに転送して、これを実行させるこ
とができる。
き情報量がその情報の種類例えばプログラム、データテ
ーブル、制御データなどに応じて相違されることを考慮
した場合に、フラッシュメモリの一部のメモリブロック
が保持する情報の一部の書換えに対して、当該メモリブ
ロックを一括消去した後の書込み動作の無駄をなくし
て、書換え効率を向上させるには、前記フラッシュメモ
リにおける一括消去可能な単位として、相互に記憶容量
の相違される複数個のメモリブロックを割当てるとよ
い。
ュメモリの書換えを制御する場合に、一括消去すべきメ
モリブロックを容易に指定できるようにするには、一括
消去すべきメモリブロックの指定情報を書換え可能に保
持するためのレジスタをフラッシュメモリに内蔵させる
とよい。
単位として相互に記憶容量の相違される複数個のメモリ
ブロックを有するとき、内蔵RAMをメモリブロック書
換えのための作業領域もしくはデータバッファ領域とし
て利用可能にするには内蔵RAMの記憶容量以下に設定
されたメモリブロックを設けておくとよい。このとき、
メモリブロックの一部書換のために必要な外部からの書
込み情報の転送動作の無駄をなくして、書換え効率を向
上させるには、前記内蔵RAMよりも記憶容量の小さな
メモリブロックの保持情報を内蔵RAMに転送し、転送
された情報の全部又は一部をそのRAM上で更新して、
その更新された情報で当該メモリブロックを書換えるよ
うにするとよい。また、フラッシュメモリが保持する制
御データなどのチューニングを行うような場合に、マイ
クロコンピュータの制御動作に同期してリアルタイムに
フラッシュメモリの保持情報を変更できるようにするに
は内蔵RAMの特定アドレスの領域を、前記内蔵RAM
よりも記憶容量の小さなメモリブロックのアドレスに重
なる様に変更配置し、すなわちメモリブロックをアクセ
スした場合に重なったRAMがアクセスされる様に、変
更配置し、そのRAMの特定アドレスで作業を行った後
でRAMの配置アドレスを元の状態に復元し、メモリブ
ロックの内容を前記RAMの特定アドレスの情報で書換
える処理を行うようにするとよい。
コンピュータをシステムに実装する前のような段階で最
初にそのフラッシュメモリに情報を書き込むようなとき
は、第2動作モードを指定することにより、PROMラ
イタのような外部書き込み装置の制御によって能率的に
情報の書き込みが行われる。
単位として相互に記憶容量の相違される複数個のメモリ
ブロックには夫々の記憶容量に応じて例えばプログラ
ム、データテーブル、制御データなどが書き込まれる。
た後でフラッシュメモリを書換える場合には、第1動作
モードを指定することにより、書換え制御をマイクロコ
ンピュータ内蔵の中央処理装置などに実行させる。この
とき、相対的に情報量の大きなデータは相対的に記憶容
量の大きなメモリブロックに、相対的に情報量の小さな
データは相対的に記憶容量の小さなメモリブロックに書
き込んでおくことができる。すなわち記憶すべき情報量
に見合う記憶容量のメモリブロックを利用することがで
きる。したがって、フラッシュメモリの保持情報の一部
書換えのために所要のメモリブロックを一括消去して
も、実質的に書換えを要しない情報群も併せて消去した
後で再び書き戻すと言うような無駄が極力防止される。
RAMの記憶容量以下に設定されたメモリブロックを設
けておくことは、内蔵RAMをメモリブロック書換えの
ための作業領域若しくはデータバッファ領域として利用
可能にする。すなわち、マイクロコンピュータの実装状
態でフラッシュメモリを書換えるとき、書換対象メモリ
ブロックの情報を内蔵RAMに転送し、書換えるべき一
部の情報だけを外部からもらってそのRAM上で書換を
行ってから、フラッシュメモリの書換を行えば、書換え
前に内部で保持されている書換を要しない情報を重ねて
外部から転送を受けなくても済み、メモリブロックの一
部書換のための情報転送の無駄を省く。また、フラッシ
ュメモリの一括消去時間は小メモリブロックに対しても
さほど短くならないから、マイクロコンピュータによる
制御動作に同期してリアルタイムにフラッシュメモリそ
れ自体を書換えることはできないが、内蔵RAMをメモ
リブロック書換えのための作業領域若しくはデータバッ
ファ領域として利用することにより、リアルタイムに書
換えたのと同じデータを結果的にメモリブロックに得る
ことができる。
目を分けて順次説明する。
ロコンピュータ
マイクロコンピュータの一実施例ブロック図が示され
る。同図に示されるマイクロコンピュータMCUは、中
央処理装置CPU、及びこの中央処理装置CPUが処理
すべき情報を電気的な消去・書込みによって書換え可能
な不揮発性のフラッシュメモリFMRY、並びにタイマ
TMR、シリアル・コミュニケーション・インタフェー
スSCI、ランダム・アクセス・メモリRAM、その他
の入出力回路I/Oなどの周辺回路、そして制御回路C
ONTが、公知の半導体集積回路製造技術によって、シ
リコンのような単一の半導体チップCHP上に形成され
て成る。前記フラッシュメモリFMRYは、電気的な消
去・書込みによって情報を書換え可能であって、EPR
OMと同様にそのメモリセルを1個のトランジスタで構
成することができ、更にメモリセルの全てを一括して、
またはメモリセルのブロック(メモリブロック)を一括
して電気的に消去する機能を持つ。フラッシュメモリF
MRYは、一括消去可能な単位として複数個のメモリブ
ロックを有する。図1において、LMBは相対的に記憶
容量の大きな大メモリブロックであり、SMBは相対的
に記憶容量の小さな小メモリブロックである。小メモリ
ブロックSMBの記憶容量はランダム・アクセス・メモ
リRAMの記憶容量よりも小さくされる。したがって、
ランダム・アクセス・メモリRAMは、小メモリブロッ
クSMBからデータ転送を受けてその情報を一時的に保
持することができ、書換えのための作業領域も若しくは
データバッファ領域として利用可能になる。このフラッ
シュメモリFMRYには所要のデータやプログラムが書
き込まれる。尚、フラッシュメモリFMRYの詳細につ
いては後述する。
ンピュータMCUがシステムに実装された状態で中央処
理装置CPUの制御に基づいてその記憶情報を書換え可
能にされると共に、汎用PROMライタのような前記半
導体チップCHPの外部装置の制御に基づいてその記憶
情報を書換え可能にされる。図においてMODEは、前
記フラッシュメモリFMRYを中央処理装置CPUに書
換え制御させる第1動作モードと前記外部装置に制御さ
せる第2動作モードとを選択的に指定するための動作モ
ード信号であり、半導体チップCHP上のモード信号入
力端子Pmodeに与えられる。
用のマイクロコンピュータ
OMを採用したマイクロコンピュータの一実施例ブロッ
ク図が示される。同図に示されるマイクロコンピュータ
MCUにおいては、図1のフラッシュメモリFMRYの
一部がマスク・リード・オンリ・メモリMASKROM
に置換えられている。マスク・リード・オンリ・メモリ
MASKROMには書換を要しないデータやプログラム
が保持されている。図2に示されるフラッシュメモリF
MRYは、一括消去可能な単位として前記小メモリブロ
ックSMBを複数個有する。
込み
シュメモリFMRYの書換えに着目したブロック図が示
される。同図には前記モード信号MODEの一例として
MD0,MD1,MD2が示される。モード信号MD1
乃至MD3は前記制御回路CONTに供給される。制御
回路CONTに含まれるデコーダは、特に制限されない
が、モード信号MD1乃至MD3を解読して、フラッシ
ュメモリFMRYに対して書き込みを要しない動作モー
ドが指示されているか、又は前記第1動作モード若しく
は第2動作モードが指示されているかを判定する。この
とき第2動作モードの指示が判断されると、制御回路C
ONTは、汎用PROMライタPRWとインタフェース
されるべきI/Oポートを指定して、内蔵フラッシュメ
モリFMRYを直接外部の汎用PROMライタPRWで
アクセス可能に制御する。すなわち、フラッシュメモリ
FMRYとの間でデータの入出力を行うためのI/Oポ
ートPORTdataと、フラッシュメモリFMRYに
アドレス信号を供給するためのI/OポートPORTa
ddrと、フラッシュメモリFMRYに各種制御信号を
供給するためのI/OポートPORTcontとが指定
される。更に、汎用PROライタPRWによる書換え制
御とは直接関係ない中央処理装置CPU,ランダム・ア
クセス・メモリRAM,マスク・リード・オンリ・メモ
リMASKROMなどの内蔵機能ブロックの実質的な動
作が抑制される。例えば、図3に例示的に示されるよう
にデータバスDBUSとアドレスバスABUSの夫々に
配置されたスイッチ手段SWITCHを介して前記中央
処理装置CPUなどの内蔵機能ブロックとフラッシュメ
モリFMRYとの接続を切離す。前記スイッチ手段SW
ITCHは、前記CPUなどの内蔵機能ブロックからデ
ータバスDBUSにデータを出力する回路や、アドレス
バスABUSにアドレスを出力する回路に配置された、
トライステート(3ステート)形式の出力回路として把
握することもできる。このようなトライステート出力回
路は、第2動作モードに呼応して高出力インピーダンス
状態に制御される。図3の例では汎用PROライタによ
る書換え制御とは直接関係ない中央処理装置CPU,ラ
ンダム・アクセス・メモリRAM,マスク・リード・オ
ンリ・メモリMASKROMなどの内蔵機能ブロック
は、スタンバイ信号STBY*(記号*はそれが付され
た信号がロウ・アクティブ信号であることを意味する)
により低消費電力モードにされている。低消費電力モー
ドにおいて前記トライステート出力回路が高出力インピ
ーダンス状態に制御されるなら、モード信号でMD0乃
至MD2による第2動作モードの指定に呼応してそれら
の機能ブロックに低消費電力モードを設定して、汎用P
ROライタPRWによる書換え制御とは直接関係ないC
PU,RAM,ROMなどの内蔵機能ブロックの実質的
な動作を抑制してもよい。
ピュータMCUの前記I/OポートPORTdata,
PORTaddr,PORTcontは変換ソケットS
OCKETを介して汎用PROMライタPRWに結合さ
れる。変換ソケットSOCKETは、一方においてI/
OポートPORTdata,PORTaddr,POR
Tcontの端子配置を有し、他方において標準メモリ
の端子配置を有し、相互に同一機能端子が内部で接続さ
れている。
グラム
リFMRYの書換えに着目したブロック図が示される。
図1のマイクロコンピュータMCUにおいて中央処理装
置CPUが実行すべき書換え制御プログラムは予め汎用
PROMライタPRWにてフラッシュメモリFMRYに
書き込まれている。図2のマイクロコンピュータMCU
では、中央処理装置CPUが実行すべき書換え制御プロ
グラムをマスク・リード・オンリ・メモリMASKRO
Mに保持させておくことができる。前記モード信号MD
0乃至MD2によって第1動作モードが指示され、制御
回路CONTがこれを認識することにより、中央処理装
置CPUは、既にフラッシュメモリFMRYに書き込ま
れた書き込み制御プログラム、或はマスク・リード・オ
ンリ・メモリMASKROMが保持する書換え制御プロ
グラムにしたがってフラッシュメモリFMRYにデータ
の書き込みを行っていく。
イクロコンピュータ(図1参照)のメモリマップが示さ
れる。同図においてフラッシュメモリの所定の領域には
書換え制御プログラムと、転送制御プログラムが予め書
き込まれている。中央処理装置CPUは、第1動作モー
ドが指示されると、転送制御プログラムを実行して書換
え制御プログラムをランダム・アクセス・メモリRAM
に転送する。転送終了後、中央処理装置CPUの処理
は、そのランダム・アクセス・メモリRAM上の書換え
制御プログラムの実行に分岐され、これによって、フラ
ッシュメモリFMRYに対する消去並びに書込み(ベリ
ファイを含む)が繰返される。
OMを有するマイクロコンピュータ(図2参照)のメモ
リマップが示される。この場合には図5で説明したよう
な転送制御プログラムは不要とされる。中央処理装置C
PUは、第1動作モードが指示されると、マスク・リー
ド・オンリ・メモリMASKROMが保持する書換え制
御プログラムを順次実行し、これにより、フラッシュメ
モリFMRYに対する消去並びに書込みが繰返される。
一例制御手順が示される。先ず中央処理装置CPUは、
前記書換え制御プログラムにしたがって、消去を行うべ
きアドレス範囲のメモリセルに対してプレライトを行
う。これによって消去前のメモリセルの状態は全て書込
み状態にそろえられる。次いで、消去対象メモリセルに
対して、少しずつ消去を行いながらその都度消去の度合
をベリファイし(イレーズ/ベリファイ)、過消去を防
止して消去動作を完了する。汎用PROMライタPRW
による消去も同様に行われる。なお、フラッシュメモリ
の消去シーケンスについては後で詳述する。
みの一例制御手順が示される。先ず中央処理装置CPU
は、フラッシュメモリFMRYの書込みスタートアドレ
スを設定する。次いで、書換え制御プログラムによって
指定された周辺回路例えばシリアル・コミュニケーショ
ン・インタフェースSCI若しくはI/Oポートを介し
て、外部から送られるデータを読み込む。このようにし
て読み込んだデータをフラッシュメモリFMRYに所定
時間書き込み、書込んだデータを読出して正常に書き込
まれたかをベリファイをする(ライト/ベリファイ)。
以下、上記データの読込み、書込み、及びベリファイを
書込み終了アドレスまで繰返していく。汎用PROMラ
イタPRWによる書き込みも同様に行われる。但しこの
場合には、書き込むべきデータはPROMライタPRW
から所定のポートを介して与えられる。なお、フラッシ
ュメモリの書込みシーケンスについては後で詳述する。
CPU制御の書込みの使い分け
マイクロコンピュータMCUのオンボード前すなわちマ
イクロコンピュータMCUをシステムに実装する前の初
期データ、又は初期プログラムの書込みに適用される。
これにより、比較的大量の情報を能率的に書込むことが
できる。
ータMCUが実装されたシステム(実装機とも称する)
を動作させながらデータのチューニングをする場合、ま
たプログラムのバグ対策、若しくはシステムのバージョ
ンアップに伴うプログラムの変更等、マイクロコンピュ
ータMCUがシステムに実装された状態(オンボード状
態)でデータやプログラムの変更が必要になった場合に
適用される。これにより、マイクロコンピュータMCU
を実装システムから取り外すことなくフラッシュメモリ
FMRYを書換えることができる。
書換えへの対応手法の一例が示される。フラッシュメモ
リFMRYは、その記憶形式故に、一括消去単位として
のメモリブロックの記憶容量を小さくしても消去に要す
る時間は短縮されず、例えば数10msec〜数秒かか
る。これにより、マイクロコンピュータMCUが実装さ
れたシステムを動作させながら、フラッシュメモリFM
RYが保持する制御データなどをリアルタイムで書換え
てデータのチューニングを行うことは難しい。これに対
処するため、前記内蔵RAMをメモリブロック書換えの
ための作業領域若しくはデータバッファ領域として利用
する。すなわち、先ず、チューニングされるべきデータ
を保持する所定の小メモリブロックSMBのデータをラ
ンダム・アクセス・メモリRAMの特定アドレスに転送
する。次に前記ランダム・アクセス・メモリRAMの特
定アドレス領域を所定の小メモリブロックSMBのアド
レスにオーバーラップさせる。このようなアドレス配置
の変更は、所定の制御ビット若しくはフラグの設定に呼
応して、ランダム・アクセス・メモリRAMのデコード
論理を切替え可能にしておくことによって実現すること
ができる。そして、制御データなどのチューニングは、
所定のメモリブロックSMBのアドレスがオーバーラッ
プされたランダム・アクセス・メモリRAMを用いて行
われる。チューニングを完了した後は、ランダム・アク
セス・メモリRAMとメモリブロックSMBのアドレス
オーバーラップを解除して、ランダム・アクセス・メモ
リRAMの配置アドレスを元の状態に復元する。最後
に、ランダム・アクセス・メモリRAMが保持するチュ
ーニングされたデータを用いて、フラッシュメモリのメ
モリブロックSMBを書換える。これにより、マイクロ
コンピュータMCUが実装されたシステムを動作させな
がら、フラッシュメモリが保持する制御データなどをリ
アルタイムで書換えたとのと同じデータを、結果的にメ
モリブロックSMBに得ることができる。
化
ックの一部書換えを能率化する手法の一例が示される。
プログラムのバグの修正若しくはバージョンアップなど
に際して、フラッシュメモリFMRYの所定メモリブロ
ックSMBが保持している情報の一部を書換える場合
は、前記RAMよりも記憶容量の小さなメモリブロック
SMBの保持情報を内蔵RAMに転送し、転送された情
報の一部をそのRAM上で更新して、その更新された情
報で当該メモリブロックを書換えるようにする。これに
より、メモリブロックSMBの一つを一括消去しても、
当該メモリブロックSMBの保持情報はRAMに保存さ
れているため、書換えるべきデータだけを外部から受け
取ってそのRAM上で書換を行えば、書換え前にフラッ
シュメモリFMRYが保持している書換を要しない情報
を重ねて外部から転送を受けなくても済み、メモリブロ
ックの一部書換のための情報転送の無駄を省くことがで
きる。
れる。同図(A)に例示的に示されたメモリセルは、2
層ゲート構造の絶縁ゲート型電界効果トランジスタによ
り構成されている。同図において、1はP型シリコン基
板、2は上記シリコン基板1に形成されたP型拡散層、
4はN型拡散層である。5は薄い酸化膜6(例えば厚さ
10nm)を介して上記P型シリコン基板1上に形成さ
れたフローティングゲート、7は酸化膜8を介して上記
フローティングゲート5上に形成されたコントロールゲ
ート、9はソース、10はドレインである。このメモリ
セルに記憶される情報は、実質的にしきい値電圧の変化
としてトランジスタに保持される。以下、特に述べない
かぎり、メモリセルにおいて、情報を記憶するトランジ
スタ(以下、記憶トランジスタと称する)がNチャンネ
ル型の場合について述べる。
えばコントロールゲート7及びドレイン10に高圧を印
加して、アバランシェ注入によりドレイン10側からフ
ローティングゲート5に電子を注入することで実現され
る。この書き込み動作により記憶トランジスタは、図1
1の(B)に示されるように、そのコントロールゲート
7からみたしきい値電圧が、書き込み動作を行わなかっ
た消去状態の記憶トランジスタに比べて高くなる。
印加して、トンネル現象によりフローティングゲート7
からソース9側に電子を引き抜くことによって実現され
る。図11の(B)に示されるように、消去動作により
記憶トランジスタはそのコントロールゲート7からみた
しきい値電圧が低くされる。図11の(B)では、書き
込み並びに消去状態の何れにおいても記憶トランジスタ
のしきい値は正の電圧レベルにされる。すなわちワード
線からコントロールゲートに与えられるワード線選択レ
ベルに対して、書き込み状態のしきい値電圧は高くさ
れ、消去状態のしきい値電圧は低くされる。双方のしき
い値電圧とワード線選択レベルとがそのような関係を持
つことによって、選択トランジスタを採用することなく
1個のトランジスタでメモリセルを構成することができ
る。記憶情報を電気的に消去する場合においては、フロ
ーティングゲートに蓄積された電子をソース電極に引く
抜くことにより、記憶情報の消去が行われるため、比較
的長い時間、消去動作を続けると、書き込み動作の際に
フローティングゲートに注入した電子の量よりも多くの
電子が引く抜かれることになる。そのため、電気的消去
を比較的長い時間続けるような過消去を行うと、記憶ト
ランジスタのしきい値電圧は例えば負のレベルになっ
て、ワード線の非選択レベルにおいても選択されるよう
な不都合を生ずる。尚、書込みも消去と同様にトンネル
電流を利用して行うこともできる。
に対して弱い書き込み、すなわち、フローティングゲー
ト5に対して不所望なキャリアの注入が行われないよう
に、ドレイン10及びコントロールゲート7に印加され
る電圧が比較的低い値に制限される。例えば、1V程度
の低電圧がドレイン10に印加されるとともに、コント
ロールゲート7に5V程度の低電圧が印加される。これ
らの印加電圧によって記憶トランジスタを流れるチャン
ネル電流の大小を検出することにより、メモリセルに記
憶されている情報の“0”、“1”を判定することがで
きる。
モリセルアレイの構成原理を示す。同図には代表的に4
個の記憶トランジスタ(メモリセル)Q1乃至Q4が示
される。X,Y方向にマトリクス配置されたメモリセル
において、同じ行に配置された記憶トランジスタQ1,
Q2(Q3,Q4)のコントロールゲート(メモリセル
の選択ゲート)は、それぞれ対応するワード線WL1
(WL2)に接続され、同じ列に配置された記憶トラン
ジスタQ1,Q3(Q2,Q4)のドレイン領域(メモ
リセルの入出力ノード)は、それぞれ対応するデータ線
DL1,DL2に接続されている。上記記憶トランジス
タQ1,Q3(Q2,Q4)のソース領域は、ソース線
SL1(SL2)に結合される。
びに書込み動作のための電圧条件の一例が示される。同
図においてメモリ素子はメモリセルを意味し、ゲートは
メモリセルの選択ゲートとしてのコントロールゲートを
意味する。同図において負電圧方式の消去はコントロー
ルゲートに例えば−10Vのような負電圧を印加するこ
とによって消去に必要な高電界を形成する。同図に例示
される電圧条件から明らかなように、正電圧方式の消去
にあっては少なくともソースが共通接続されたメモリセ
ルに対して一括消去を行うことができる。したがって図
12の構成において、ソース線SL1,SL2が接続さ
れていれば、4個のメモリセルQ1乃至Q4は一括消去
可能にされる。この場合、同一ソース線につながるメモ
リビットの数を変えることによりメモリブロックのサイ
ズを任意に設定することができる。ソース線分割方式の
場合には最小の一括消去単位とされるメモリブロックは
データ線一本分となる。一方、負電圧方式の消去にあっ
ては少なくともコントロールゲートが共通接続されたメ
モリセルに対して一括消去を行うことができる。
ロック化
の記憶容量を相違させたフラッシュメモリの一例回路ブ
ロック図が示される。
は、8ビットのデータ入出力端子D0〜D7を有し、各
データ入出力端子毎にメモリアレイARY0〜ARY7
を備える。メモリアレイARY0〜ARY7は、相対的
に記憶容量の大きなメモリブロックLMBと相対的に記
憶容量の小さなメモリブロックSMBとに2分割されて
いる。図には代表的にメモリアレイARY0の詳細が示
されているが、その他のメモリアレイARY1〜ARY
7も同様に構成されている。
は前記図11で説明した2層ゲート構造の絶縁ゲート型
電界効果トランジスタによって構成されたメモリセルM
Cがマトリクス配置されている。同様同図においてWL
0〜WLnは全てのメモリアレイARY0〜ARY7に
共通のワード線である。同一行に配置されたメモリセル
のコントロールゲートは、それぞれ対応するワード線に
接続される。夫々のメモリアレイARY0〜ARY7に
おいて、同一列に配置されたメモリセルMCのドレイン
領域は、それぞれ対応するデータ線DL0〜DL7に接
続されている。メモリブロックSMBを構成するメモリ
セルMCのソース領域はソース線SL1に共通接続さ
れ、メモリブロックLMBを構成するメモリセルMCの
ソース領域はソース線SL2に共通接続されている。
回路VOUT1,VOUT2から消去に利用される高電
圧Vppが供給される。電圧出力回路VOUT1,VO
UT2の出力動作は、消去ブロック指定レジスタのビッ
トB1,B2の値によって選択される。例えば消去ブロ
ック指定レジスタのビットB1に”1”が設定されるこ
とによって各メモリアレイARY0〜ARY7のメモリ
ブロックSMBだけが一括消去可能にされる。消去ブロ
ック指定レジスタのビットB2に”1”が設定された場
合は、各メモリアレイARY0〜ARY7のメモリブロ
ックLMBだけが一括消去可能にされる。双方のビット
B1,B2に”1”が設定されたときはフラッシュメモ
リ全体が一括消去可能にされる。
ウアドレスバッファXABUFF及びロウアドレスラッ
チXALATを介して取り込まれるロウアドレス信号A
XをロウアドレスデコーダXADECが解読することに
よって行われる。ワードドライバWDRVはロウアドレ
スデコーダXADECから出力される選択信号に基づい
てワード線を駆動する。データ読出し動作においてワー
ドドライバWDRVは電圧選択回路VSELから供給さ
れる5Vのような電圧Vccと0Vのような接地電位と
を電源として動作され、選択されるべきワード線を電圧
Vccによって選択レベルに駆動し、非選択とされるべ
きワード線を接地電位のような非選択レベルに維持させ
る。データの書き込み動作においてワードドライバWD
RVは、電圧選択回路VSELから供給される12Vの
ような電圧Vppと0Vのような接地電位とを電源とし
て動作され、選択されるべきワード線を12Vのような
書き込み用高電圧レベルに駆動する。データの消去動作
においてワードドライバWDRVの出力は0Vのような
低い電圧レベルにされる。
おいて前記データ線DL0〜DL7はカラム選択スイッ
チYS0〜YS7を介して共通データ線CDに共通接続
される。カラム選択スイッチYS0〜YS7のスイッチ
制御は、カラムアドレスバッファYABUFF及びカラ
ムアドレスラッチYALATを介して取り込まれるカラ
ムアドレス信号AYをカラムアドレスデコーダYADE
Cが解読することによって行われる。カラムアドレスデ
コーダYADECの出力選択信号は全てのメモリアレイ
ARY0〜ARY7に共通に供給される。したがって、
カラムアドレスデコーダYADECの出力選択信号のう
ちの何れか一つが選択レベルにされることにより、各メ
モリアレイARY0〜ARY7において共通データ線C
Dには1本のデータ線が接続される。
出されたデータは選択スイッチRSを介してセンスアン
プSAMPに与えられ、ここで増幅されて、データ出力
バッファDOBUFFから外部に出力される。前記選択
スイッチRSは読出し動作に同期して選択レベルにされ
る。外部から供給される書き込みデータはデータ入力バ
ッファDIBUFFを介してデータ入力ラッチ回路DI
LATに保持される。データ入力ラッチ回路DILAT
に保持されたデータが”0”のとき、書き込み回路WR
ITは選択スイッチWSを介して共通データ線CDに書
き込み用の高電圧を供給する。この書き込み用高電圧は
カラムアドレス信号AYによって選択されたデータ線を
通して、ロウアドレス信号AXでコントロールゲートに
高電圧が印加されるメモリセルのドレインに供給され、
これによって当該メモリセルが書き込みされる。前記選
択スイッチWSは書き込み動作に同期して選択レベルに
される。書き込み消去の各種タイミングや電圧の選択制
御は書き込み消去制御回路WECONTが生成する。
ュータの詳細
対応される更に詳細なマイクロコンピュータの実施例ブ
ロック図が示される。同図に示されるマイクロコンピュ
ータMCUは、図1に示される機能ブロックと同一機能
ブロックとして、中央処理装置CPU、フラッシュメモ
リFMRY、シリアル・コミュニケーション・インタフ
ェースSCI、制御回路CONT、及びランダム・アク
セス・メモリRAMを含む。図1のタイマに相当するも
のとして、16ビット・インテグレーテッド・タイマ・
パルスユニットIPUと、ウォッチドッグタイマWDT
MRを備える。また、図1の入出力回路I/Oに相当す
るものとして、ポートPORT1乃至PORT12を備
える。更にその他の機能ブロックとして、クロック発振
器CPG、割り込みコントローラIRCONT、アナロ
グ・ディジタル変換器ADC、及びウェートステートコ
ントローラWSCONTが設けられている。前記中央処
理装置CPU、フラッシュメモリFMRY、ランダム・
アクセス・メモリRAM、及び16ビット・インテグレ
ーテッド・タイマ・パルスユニットIPUは、アドレス
バスABUS、下位データバスLDBUS(例えば8ビ
ット)、及び上位データバスHDBUS(例えば8ビッ
ト)に接続される。前記シリアル・コミュニケーション
・インタフェースSCI、ウォッチドッグタイマWDT
MR、割り込みコントローラIRCONT、アナログ・
ディジタル変換器ADC、ウェートステートコントロー
ラWSCONT、及びポートPORT1乃至PORT1
2は、アドレスバスABUS、及び上位データバスHD
BUSに接続される。
リFMRYの書換え用高電圧である。EXTAL及びX
TALはマイクロコンピュータのチップに外付けされる
図示しない振動子から前記クロック発振器CPGに与え
られる信号である。φはクロック発振器CPGから外部
に出力される同期クロック信号である。MD0乃至MD
2はフラッシュメモリFMRYの書換えに際して第1動
作モード又は第2動作モードを設定するために制御回路
CONTに供給されるモード信号であり、図1のモード
信号MODEに対応される。RES*はリセット信号、
STBY*はスタンバイ信号であり、中央処理装置CP
U並びにその他の回路ブロックに供給される。NMIは
ノン・マスカブル・インタラプト信号であり、マスク不
可能な割り込みを前記割り込みコントローラICONT
に与える。図示しないその他の割り込み信号はポートP
ORT8,PORT9を介して割り込みコントローラI
CONTに与えられる。AS*は外部に出力されるアド
レス信号の有効性を示すアドレスストローブ信号、RD
*はリードサイクルであることを外部に通知するリード
信号、HWR*は上位8ビットのライトサイクルである
ことを外部に通知するアッパーバイト・ライト信号、L
WR*は下位8ビットのライトサイクルであることを外
部に通知するロアーバイト・ライト信号であり、それら
はマイクロコンピュータMCUの外部に対するアクセス
制御信号とされる。
FMRYを直接書換え制御する第2動作モード以外にお
いて、マイクロコンピュータMCUが外部をアクセスす
るためのデータBD0乃至BD15の入出力には、特に
制限されないが、前記ポートPORT1,PORT2が
割当てられる。このときのアドレス信号BA0乃至BA
19の出力には、特に制限されないが、前記ポートPO
RT3乃至PORT5が割当てられる。
動作モードが設定されたとき、そのフラッシュメモリF
MRYを書換え制御するPROMライタとの接続には、
特に制限されないが、前記ポートPORT2乃至POR
T5及びPORT8が割当てられる。すなわち、書込み
並びにベリファイのためのデータED0乃至ED7入出
力には前記ポートPORT2が割当てられ、アドレス信
号EA0ないしEA16の入力並びにアクセス制御信号
CE*(チップイネーブル信号),OE*(アウトプッ
トイネーブル信号),WE*(ライトイネーブル信号)
の入力には前記ポートPORT3乃至PORT5及びP
ORT8が割当てられる。前記チップイネーブル信号C
E*はPROMライタからのフラッシュメモリFMRY
の動作選択信号であり、アウトプットイネーブル信号O
E*はフラッシュメモリFMRYに対する出力動作の指
示信号であり、ライトイネーブル信号WE*はフラッシ
ュメモリFMRYに対する書込み動作の指示信号であ
る。尚、アドレス信号EA0ないしEA16のうちの1
ビットEA9の入力には前記信号NMIの入力端子が割
当てられる。この様にして割当てられたポートの外部端
子、並びに高電圧Vppの印加端子などのその他必要な
外部端子は、図3で説明した変換ソケットSOCKET
を介して汎用PROMライタPRWに接続される。この
ときの斯る外部端子の割り当ては、マイクロコンピュー
タMCUを変換ソケットSOCKETを介してPROM
ライタPRWに接続し易い端子配列になるように考慮す
ることができる。上記第2動作モードにおいてPROM
ライタPRWとの接続に割当てられる外部端子群には、
マイクロコンピュータMCUのその他の動作モードにお
いては他の機能が割当てられることになる。
MCUを、例えば、樹脂によって封止することによって
得られた4方向に外部端子を有するフラットパッケージ
の上面を示す。図16に示された信号は図15と共通で
ある。信号名の示されていない外部端子(ピン)は、ウ
ェート信号の入力ピン、バスリクエスト信号の入力ピ
ン、バスアクノレッジ信号の出力ピン、シリアル・コミ
ュニケーション・インタフェースSCIなどの周辺回路
と外部との信号入出力ピンなどに利用される。
て、上記パッケージFPから導出される各端子(ピン)
の間隔は、0.5mm以下とされても良い。すなわち、
マイクロコンピュータMCUのユーザが上記マイクロコ
ンピュータMCU内のフラッシュメモリFMRYを変換
ソケットSOCKETを介してPROMライタPRWに
接続し、上記フラッシュメモリFMRYにデータを書き
込む場合、パッケージFPの各端子間隔(ピンピッチ)
PPが0.5mm以下とされると、上記変換ソケットS
OCKETへ、上記パッケージFPを挿入する時に、変
換ソケットSOCKETと上記パッケージFPの外部端
子との不所望な接触に起因するピン曲りが発生しやすく
なる。この様なピン曲りが発生すると、上記変換ソケッ
トSOCKETの各端子と上記パッケージFPの各端子
との電気的接続が、ピン曲りの発生している端子に関し
て、行われなくなる。その結果、PROMライタPRW
で上記フラッシュメモリFMRYにデータを書き込めな
くなる。
装置CPUがフラッシュメモリFMRYにデータを書き
込み可能とされているので、ユーザは、上記フラッシュ
メモリFMRYへのデータ書き込みに外部PROMライ
タPRWを使用せず、上記マイクロコンピュータMCU
のパッケージを実装基板(プリント基板)に実装した
後、中央処理装置CPUで上記フラッシュメモリFMR
Yにデータを書き込むようにすれば、上記マイクロコン
ピュータMCUが、ピンピッチPPが0.5mm以下の
パッケージに封止されても、ユーザはパッケージから導
出される外部端子のリード曲りを防止できる。尚、半導
体メーカーは、自動ハンドラーを有しているので、0.
5mm以下のピンピッチを有するパッケージに上記マイ
クロコンピュータMCUが封止されても、上記マイクロ
コンピュータMCUのテストをピン曲りを発生させない
で確実に実行できる。
え用制御回路
MCUに内蔵されるフラッシュメモリFMRYの全体的
なブロック図が示される。同図においてARYは前記図
11で説明した2層ゲート構造の絶縁ゲート型電界効果
トランジスタによって構成されたメモリセルをマトリク
ス配置したメモリアレイである。このメモリアレイAR
Yは図14で説明した構成と同様に、メモリセルのコン
トロールゲートはそれぞれ対応するワード線に接続さ
れ、メモリセルのドレイン領域はそれぞれ対応するデー
タ線に接続され、メモリセルのソース領域はメモリブロ
ック毎に共通のソース線に接続されているが、メモリブ
ロックの分割態様は図14とは相違される。例えば、図
18に示されるように、相対的にそれぞれの記憶容量が
大きな7個の大メモリブロック(大ブロック)LMB0
乃至LMB6と、相対的にそれぞれの記憶容量が小さな
8個の小メモリブロック(小ブロック)SMB0乃至S
MB7とに分割されている。大メモリブロックはプログ
ラム格納領域又は大容量データ格納領域などに利用され
る。小メモリブロックは小容量データ格納領域などに利
用される。
PAB0乃至PAB15のラッチ回路である。第1動作
モードにおいてそのアドレス信号PAB0乃至PAB1
5は中央処理装置CPUの出力アドレス信号に対応され
る。第2動作モードではアドレス信号PAB0乃至PA
B15はPROMライタPRWの出力アドレス信号EA
0乃至EA15に対応される。XADECはアドレスラ
ッチALATを介して取り込まれるロウアドレス信号を
解読するロウアドレスデコーダである。WDRVはロウ
アドレスデコーダXADECから出力される選択信号に
基づいてワード線を駆動するワードドライバである。デ
ータ読出し動作においてワードドライバWDRVは5V
のような電圧でワード線を駆動し、データの書き込み動
作では12Vのような高電圧でワード線を駆動する。デ
ータの消去動作においてワードドライバWDRVの全て
の出力は0Vのような低い電圧レベルにされる。YAD
ECはアドレスラッチYALATを介して取り込まれる
カラムアドレス信号を解読するカラムアドレスデコーダ
である。YSELはカラムアドレスデコーダYADEC
の出力選択信号に従ってデータ線を選択するカラムアド
レスデコーダである。SAMPはデータ読出し動作にお
いてカラム選択回路YSELで選択されたデータ線から
の読出し信号を増幅するセンスアンプである。DOLA
Tはセンスアンプの出力を保持するデータ出力ラッチで
ある。DOBUFFはデータ出力ラッチDOLATが保
持するデータを外部に出力するためのデータ出力バッフ
ァである。図においてPDB0乃至PDB7は下位8ビ
ット(1バイト)データであり、PDB8乃至PDB1
5は上位8ビット(1バイト)データである。この例に
従えば出力データは最大2バイトとされる。DIBUF
Fは外部から供給される書き込みデータを取り込むため
のデータ入力バッファである。データ入力バッファDI
BUFFから取り込まれたデータはデータ入力ラッチ回
路DILATに保持される。データ入力ラッチ回路DI
LATに保持されたデータが”0”のとき、書き込み回
路WRITはカラム選択回路YSELで選択されたデー
タ線に書き込み用高電圧を供給する。この書き込み用高
電圧はロウアドレス信号に従ってコントロールゲートに
高電圧が印加されるメモリセルのドレインに供給され、
これによって当該メモリセルが書き込みされる。ERA
SECは指定されたメモリブロックのソース線に消去用
高電圧を供給してメモリブロックの一括消去を行うため
の消去回路である。
におけるデータ読出し動作のタイミング制御、及び書き
込み消去のための各種タイミングや電圧の選択制御など
を行う制御回路である。この制御回路FCONTは、コ
ントロールレジスタCREGを備える。
の一例が示される。コントロールレジスタCREGは、
それぞれ8ビットのプログラム/イレーズ制御レジスタ
PEREGと、消去ブロック指定レジスタMBREG1
およびMBREG2によって構成される。プログラム/
イレーズ制御レジスタPEREGにおいて、Vppは書
換え用高電圧印加に応じて”1”にされる高電圧印加フ
ラグである。Eビットは消去動作を指示するビットとさ
れ、EVビットは消去におけるベリファイ動作の指示ビ
ットとされる。Pビットは書込み動作(プログラム動
作)の指示ビットとされ、PVビットは書込みにおける
ベリファイ動作の指示ビットとされる。消去ブロック指
定レジスタMBREG1およびMBREG2は、それぞ
れ7分割された大ブロックと8分割された小ブロックに
含まれる何れのメモリブロックを消去するかを指定する
レジスタであり、その第0ビットから第7ビットは各メ
モリブロックの指定用ビットとされ、例えばビット”
1”は対応メモリブロックの選択を意味し、ビット”
0”は対応メモリブロックの非選択を意味する。例え
ば、消去ブロック指定レジスタMBREG2の第7ビッ
トが”1”のときは、小メモリブロックSMB7の消去
が指定される。
からリード・ライト可能にされている。制御回路FCO
NTは、そのコントロールレジスタCREGの設定内容
を参照し、それにしたがって消去・書込みなどの制御を
行う。外部においては、そのコントロールレジスタCR
EGの内容を書換えることによって、消去・書込み動作
の状態を制御することができる。
は、制御信号としてFLM,MS−FLN,MS−MI
SN,M2RDN,M2WRN,MRDN,MWRN,
IOWORDN,及びRSTが供給され、更に、上位1
バイトのデータPDB8乃至PDB15と、アドレス信
号PAB0乃至PAB15の所定ビットが与えらる。
RYの動作モードを指定する信号であり、その”0”が
第1動作モードを指定し、”1”が第2動作モードを指
定する。この信号FLMは、例えば前記モード信号MD
0乃至MD2に基づいて形成される。
リFMRYの選択信号であり、その”0”が選択を指示
し、”1”が非選択を指示する。第1動作モードでは中
央処理装置CPUがその制御信号MS−FLNを出力
し、第2動作モードにおいてその制御信号MS−FLN
は、PROMライタPRWから供給されるチップ・イネ
ーブル信号CE*に対応される。
ジスタCREGの選択信号である。このとき、プログラ
ム/イレーズ制御レジスタPEREGと消去ブロック指
定レジスタMBREG1およびMBREG2の何れを選
択するかは、アドレス信号PAB0乃至PAB15の所
定ビットを参照して決定される。第1動作モードでは中
央処理装置CPUがその制御信号MS−MISNを出力
する。第2動作モードでは、特に制限されないが、PR
OMライタPRWが出力する最上位アドレスビットEA
16がその制御信号MS−MISNとみなされる。
号、M2WRNはメモリライトストローブ信号、MRD
NはコントロールレジスタCREGのリード信号、MW
RNはコントロールレジスタCREGのライト信号であ
る。第1動作モードでは中央処理装置CPUがそれら制
御信号を出力する。第2動作モードでは、特に制限され
ないが、PROMライタPRWから供給されるライトイ
ネーブル信号WE*が前記信号M2WRN,MWRNと
みなされ、PROMライタから供給されるアウトプット
イネーブル信号OE*が前記信号M2RDN,MRDN
とみなされる。尚、メモリライトストローブ信号M2W
RNは、メモリセルに書込むべきデータをデータ入力ラ
ッチ回路DILATに書込むためのストローブ信号とみ
なされる。メモリセルへの実際の書込みは前記コントロ
ールレジスタCREGのPビットをセットすることによ
って開始される。
Yに対する8ビットリードアクセスと16ビットリード
アクセスとの切換え信号とされる。第2動作モードにお
いては当該制御信号IOWORDNは8ビットリードア
クセスを指示する論理値に固定される。
ット信号である。この信号RSTによってフラッシュメ
モリFMRYがリセットされることにより、或は前記プ
ログラム/イレーズ制御レジスタPEREGのVppフ
ラグが”0”にされることにより、前記プログラム/イ
レーズ制御レジスタPEREGにおけるEV,PV,
E,Pの各モード設定ビットがクリアされる。
けるメモリリード動作の一例タイミングチャートが示さ
れる。同図においてCK1M,CK2Mはノン・オーバ
ーラップ2相のクロック信号であり、動作基準クロック
信号とみなされる。tCYCはサイクルタイムであり、
RAMに対するアクセスタイムと大差ない。コントロー
ルレジスタCREGに対するリード動作もこれと同様の
タイミングで行われる。
けるメモリライト動作の一例タイミングチャートが示さ
れる。同図に示されるライトストローブ信号M2WRN
によって指示されるメモリライト動作では、前述のよう
に、メモリセルに対する実際の書込みは行われず、入力
アドレス信号PAB0乃至PAB15がアドレスラッチ
回路ALATに保持されるとともに、入力データPB8
乃至PB15がデータ入力ラッチDILATに保持され
て、そのライトサイクルが終了される。コントロールレ
ジスタCREGに対するライト動作もこれと同様のタイ
ミングで行われるが、この場合にはコントロールレジス
タCREGへの実際のデータ書込みが行われる。
え制御手順の詳細 この項目では、中央処理装置CPU又はPROMライタ
が前記制御回路FCONTを介してフラッシュメモリの
書込み,消去を行う制御手順の詳細な一例について説明
する。フラッシュメモリに対する情報の書込みは、基本
的に消去状態のメモリセルに対して行われる。マイクロ
コンピュータがシステムに実装された状態でフラッシュ
メモリの書換えを行う第1動作モードにおいて、中央処
理装置CPUが実行すべき書換え制御プログラムは、消
去用プログラムと、書込み用プログラムを含む。第1動
作モードの指定に従って、最初に消去の処理ルーチンを
実行し、ひき続いて自動的に書込みの処理ルーチンを実
行するように書換え制御プログラムを構成することがで
きる。或は消去と書込みを分けて別々に第1動作モード
を指定するようにしてもよい。PROMライタによる書
換え制御も第1動作モードの場合と同様のオペレーショ
ンによって実行される。以下、書込み制御手順と消去制
御手順とをそれぞれ説明する。
示される。同図に示される手順は、例えば1バイトのデ
ータを書込むための手順であり、第1動作モードにおけ
る中央処理装置CPUの制御と、第2動作モードにおけ
るPROMライタの制御との双方に共通とされる。例え
ば制御主体を中央処理装置CPUとして説明する。
ップでは、中央処理装置CPUはその内蔵カウンタnに
1をセットする(ステップS1)。次に、中央処理装置
CPUは、図21で説明したメモリライト動作を行っ
て、フラッシュメモリFMRYに書込むべきデータを図
17のデータ入力ラッチ回路DILATにセットすると
ともに、データを書込むべきアドレスをアドレスラッチ
回路ALATにセットする(ステップS2)。そして中
央処理装置CPUは、コントロールレジスタCREGに
対するライトサイクルを発行して、プログラムビットP
をセットする(ステップ3)。これにより制御回路FC
ONTは、前記ステップ2でセットされたデータ及びア
ドレスに基づいて、そのアドレスで指定されるメモリセ
ルのコントロールゲートとドレインとに高圧を印加して
書込みを行う。このフラッシュメモリ側での書込み処理
時間として中央処理装置CPUは例えば10μsec待
ち(ステップS4)、次いでプログラムビットPをクリ
アする(ステップS5)。
を確認するために、コントロールレジスタCREGに対
するライトサイクルを発行して、プログラムベリファイ
ビットPVをセットする(ステップ6)。これにより制
御回路FCONTは、前記ステップ2でセットされたア
ドレスを利用して、そのアドレスで選択されるべきワー
ド線にベリファイ用電圧を印加して、前記書込みを行っ
たメモリセルのデータを読出す。ここで前記ベリファイ
用電圧は、充分な書込みレベルを保証するため、例えば
5Vのような電源電圧Vccよりもレベルの高い7Vの
ような電圧レベルとされる。中央処理装置CPUはそれ
によって読出されたデータと書込みに利用したデータと
の一致を確かめる(ステップS7)。中央処理装置CP
Uは、ベリファイによって一致を確認すると、プログラ
ムベリファイビットPVをクリアし(ステップS8)、
これにより当該1バイトデータの書込みが完了される。
7のベリファイによって不一致を確認すると、ステップ
S9でプログラムベリファイビットPVをクリアした
後、前記カウンタnの値が、書込みリトライ上限回数N
に到達しているかの判定を行う(ステップS10)。こ
の結果、書込みリトライ上限回数Nに到達している場合
には書込み不良として処理が終了される。書込みリトラ
イ上限回数Nに到達していない場合には、中央処理装置
CPUは、カウンタnの値を1だけインクリメントして
(ステップS11)、前記ステップS3から処理を繰返
していく。
される。同図に示される手順は、第1動作モードにおけ
る中央処理装置CPUの制御と、第2動作モードにおけ
るPROMライタの制御との双方に共通とされる。例え
ば制御主体を中央処理装置CPUとして説明する。
りその内蔵カウンタnに1をセットする(ステップS2
1)。次に中央処理装置CPUは、消去対象領域のメモ
リセルに対してプレライトを行う(ステップS22)。
すなわち、消去対象アドレスのメモリセルに対してデー
タ”0”を書込む。このプレライトの制御手順は前記図
22で説明した書込み制御手順を流用することができ
る。このプレライトの処理は、消去前のフローティング
ゲート内の電荷量を全ビット均一にして、消去状態を均
一化するために行われる。
ルレジスタCREGに対するライトサイクルを発行し
て、一括消去対象メモリブロックを指定する(ステップ
S23)。すなわち、消去ブロック指定レジスタMBR
EG1およびMBREG2に消去対象メモリブロック番
号を指定する。消去対象メモリブロックを指定した後、
中央処理装置CPUは、コントロールレジスタCREG
に対するライトサイクルを発行して、イレーズビットE
をセットする(ステップ24)。これにより制御回路F
CONTは、前記ステップ23で指定されたメモリブロ
ックのソース線に高圧を印加させて、当該メモリブロッ
クを一括消去する。このフラッシュメモリ側での一括消
去の処理時間として中央処理装置CPUは例えば10m
sec待つ(ステップS25)。この10msecとい
う時間は、1回で消去動作を完結することができる時間
に比べて短い時間とされている。そして、次いでイレー
ズビットEをクリアする(ステップS26)。
確認するために、先ず一括消去対象メモリブロックの先
頭アドレスをベリファイすべきアドレスとして内部にセ
ットし(ステップS27)、次いで、ベリファイアドレ
スにダミーライトを行う(ステップS28)。すなわ
ち、ベリファイすべきアドレスに対してメモリライトサ
イクルを発行する。これにより、ベリファイすべきメモ
リアドレスがアドレスラッチ回路ALATに保持され
る。その後中央処理装置CPUは、コントロールレジス
タCREGに対するライトサイクルを発行して、イレー
ズベリファイビットEVをセットする(ステップ2
9)。これにより制御回路FCONTは、前記ステップ
S28でセットされたアドレスを利用して、そのアドレ
スで選択されるべきワード線に消去ベリファイ用電圧を
印加して、前記消去されたメモリセルのデータを読出
す。ここで前記消去ベリファイ用電圧は、充分な消去レ
ベルを保証するため、例えば5Vのような電源電圧Vc
cよりもレベルの低い3.5Vのような電圧レベルとさ
れる。中央処理装置CPUはそれによって読出されたデ
ータが消去完結状態のデータに一致するかをベリファイ
する(ステップS30)。中央処理装置CPUは、ベリ
ファイによって一致を確認すると、イレーズベリファイ
ビットEVをクリアし(ステップS31)、次いで今回
のベリファイアドレスが消去したメモリブロックの最終
アドレスか否かを判定し(ステップS32)、最終アド
レスであれば一連の消去動作を終了する。最終アドレス
に至っていないと判定されたときは、ベリファイアドレ
スを1だけインクリメントして(ステップS33)、再
びステップS29からの処理を繰返していく。
30のベリファイによって不一致を確認すると、ステッ
プS34でイレーズベリファイビットEVをクリアした
後、前記カウンタnの値が、漸次消去上限回数Nに到達
しているかの判定を行う(ステップS35)。この結
果、漸次消去上限回数Nに到達している場合には消去不
良として処理が終了される。漸次消去上限回数Nに到達
していない場合には、中央処理装置CPUは、カウンタ
nの値を1だけインクリメントして(ステップS3
6)、前記ステップS24から処理を繰返していく。実
際には、消去し過ぎによってメモリセルのしきい値電圧
が負の値になってしまうような過消去を防止するため
に、1回毎にベリファイを行いながら10msecとい
うような短時間づつ徐々に消去がくり返し行われてい
く。
る。
のシステムに実装する前のような段階で最初に当該マイ
クロコンピュータMCUが内蔵するフラッシュメモリF
MRYに情報を書き込むようなときは、第2動作モード
を指定することにより、PROMライタPRWのような
外部書き込み装置の制御によって能率的に情報の書込み
を行うことができる。また、マイクロコンピュータMC
Uに第1動作モードを指定することにより、当該マイク
ロコンピュータMCUがシステムに実装された状態でそ
のフラッシュメモリFMRYの記憶情報を書換えること
ができる。このとき、一括消去機能により書換え時間の
短縮を図ることができる。
一括消去可能な単位として相互に記憶容量の相違される
複数個のメモリブロック(LMB,SMB)を設けてお
くことにより、夫々のメモリブロックにはその記憶容量
に応じて例えばプログラム、データテーブル、制御デー
タなどを保持させることができる。すなわち、相対的に
情報量の大きなデータは相対的に記憶容量の大きなメモ
リブロックに、相対的に情報量の小さなデータは相対的
に記憶容量の小さなメモリブロックに書き込んでおくこ
とができる。換言すれば、記憶すべき情報量に見合う記
憶容量のメモリブロックを利用することができる。した
がって、プログラム領域にはちょうど良いがデータ領域
には消去単位が大きすぎて使いにくかったりする事態を
防止することができる。また、フラッシュメモリの保持
情報の一部書換えのために所要のメモリブロックを一括
消去しても、実質的に書換えを要しない情報群も併せて
消去した後で再び書き戻すと言うような無駄を極力防止
することができる。
RAMの記憶容量以下に設定されたメモリブロックを設
けておくことにより、内蔵RAMをメモリブロック書換
えのための作業領域若しくはデータバッファ領域として
利用できるようになる。
ピュータの実装状態でフラッシュメモリを書換えると
き、書換対象メモリブロックの情報を内蔵RAMに転送
し、書換えるべき一部の情報だけを外部からもらってそ
のRAM上で書換を行ってから、フラッシュメモリの書
換を行うことにより、書換え前に内部で保持されている
書換を要しない情報を重ねて外部から転送を受けなくて
も済み、メモリブロックの一部書換のための情報転送の
無駄を省くことができる。
小メモリブロックに対してもさほど短くならないから、
マイクロコンピュータMCUによる制御動作に同期して
リアルタイムにフラッシュメモリそれ自体を書換えるこ
とはできないが、内蔵RAMをメモリブロック書換えの
ための作業領域若しくはデータバッファ領域として利用
することにより、リアルタイムに書換えたとのと同じデ
ータを結果的にメモリブロックに得ることができる。
定情報を書換え可能に保持するためのレジスタMBRE
GをフラッシュメモリFMRYに内蔵させることによ
り、一括消去すべきメモリブロックをマイクロコンピュ
ータMCUの内外(内蔵中央処理装置,外部PROMラ
イタ)から同じ様な手順で容易に指定できる。
クロコンピュータMCUに内蔵されたフラッシュメモリ
FMRYの使い勝手を向上させることができる。
例に基づいて具体的に説明したが、本発明はそれに限定
されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲におい
て種々変更可能であることは言うまでもない。
る周辺回路は上記実施例に限定されず適宜変更すること
ができる。フラッシュメモリのメモリセルトランジスタ
は上記実施例のスタックドゲート構造のMOSトランジ
スタに限定されず、書込み動作にもトンネル現象を用い
たFLOTOX型のメモリセルトランジスタを用いるこ
とも可能である。上記実施例では、フラッシュメモリに
対する消去並びに書込みの双方の制御を図22及び図2
3に示したようなソフトウェア的な手段を介して実現し
たが、本発明はそれに限定されるものではなく、例え
ば、比較的時間のかかる一括消去を、フラッシュメモリ
の内蔵専用ハードウェアによって制御させるようにして
もよい。例えばその専用ハードウェアは、EビットやE
Vビットのセット及びクリア制御をしたり、消去状態の
ベリファイを行ったりする制御論理を備えることにな
る。この一括消去の制御論理をフラッシュメモリに内蔵
させる構成は、一括消去に関するソフトウェア的な負担
が軽減されるという点においてユーザによる使い勝手を
向上させるが、その制御論理は面積を増大させる。ま
た、一括消去の単位はソース線を共通にするメモリブロ
ックのほか、消去においてワード線を共通化できるメモ
リブロックとすることもできるが、その何れを選択する
かは、消去電圧の極性をどうするか、或は、一括消去単
位の記憶容量を極力小さくしようとする場合に単一のワ
ード線に接続するメモリセルの数と単一のデータ線に接
続されるメモリセルの数との何れの方が少ないかなどの
事情を考慮して決定することができる。メモリブロック
のサイズについては上記実施例のようなサイズ固定に限
定されない。例えば、コントロールレジスタの設定又は
モード信号の指示にしたがってそのサイズを可変にする
ことができる。例えば、ワード線を最小単位として一括
消去電圧を印加する場合には、ワード線を消去電圧で駆
動するドライバの動作をそのコントロールレジスタの設
定又はモード信号の指示にしたがって選択させればよ
い。更にメモリブロックの分割態様としては、図24に
示される様に、全体を複数個の大ブロックLMB0〜7
に分割し、更にその各大ブロックの中を複数個の小ブロ
ックSMB0〜SMB7に分けて、大ブロック単位又は
小ブロック単位で一括消去できるようにすることも可能
である。また、フラッシュメモリのメモリセルトランジ
スタにおいて、そのソース及びドレインは、印加される
電圧によって定まる相対的なものとして把握されるもの
もある。
上に中央処理装置と電気的な消去・書込みによって書換
え可能な不揮発性のフラッシュメモリとを備えた条件の
マイクロコンピュータに広く適用することができる。
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば下記
の通りである。
ータは第1動作モードと第2動作モードとを有するか
ら、マイクロコンピュータをシステムに実装する前の初
期データ、又は初期プログラムなどの比較的大量の情報
を、汎用PROMライタなどで能率的に書込むことがで
きる。更に、マイクロコンピュータが実装されたシステ
ムを動作させながらデータのチューニングをする場合、
またプログラムのバグ対策、若しくはシステムのバージ
ョンアップに伴うプログラムの変更等、マイクロコンピ
ュータがシステムに実装された状態でデータやプログラ
ムの変更が必要になった時に、マイクロコンピュータを
実装システムから取り外すことなくフラッシュメモリを
書換えることができる。
単位として相互に記憶容量の相違される複数個のメモリ
ブロックを設けておくことにより、相対的に情報量の大
きなデータは相対的に記憶容量の大きなメモリブロック
に、相対的に情報量の小さなデータは相対的に記憶容量
の小さなメモリブロックに書き込んでおくことができ、
記憶すべき情報量に見合う記憶容量のメモリブロックを
利用することができる。したがって、プログラム領域に
はちょうど良いがデータ領域には消去単位が大きすぎて
使いにくかったりする事態を防止することができる。ま
た、フラッシュメモリの保持情報の一部書換えのために
所要のメモリブロックを一括消去しても、実質的に書換
えを要しない情報群も併せて消去した後で再び書き戻す
と言うような無駄を極力防止することができる。
の記憶容量以下に設定されたメモリブロックを設けてお
くことにより、内蔵RAMをメモリブロック書換えのた
めの作業領域若しくはデータバッファ領域として利用で
きるようになる。このような条件の下で、マイクロコン
ピュータの実装状態でフラッシュメモリを書換えると
き、書換対象メモリブロックの情報を内蔵RAMに転送
し、書換えるべき一部の情報だけを外部からもらってそ
のRAM上で書換を行ってから、フラッシュメモリの書
換を行うことにより、書換え前に内部で保持されている
書換を要しない情報を重ねて外部から転送を受けなくて
も済み、メモリブロックの一部書換のための情報転送の
無駄を省くことができる。また、フラッシュメモリが保
持するデータのチューニングなどに際して、前記内蔵R
AMのアドレスを当該フラッシュメモリのメモリブロッ
クのアドレスにオーバラップさせてそのRAM上でチュ
ーニングを行い、チューニング結果をフラッシュメモリ
の該当メモリブロックに転送することにより、マイクロ
コンピュータによる制御動作に同期してリアルタイムに
フラッシュメモリそれ自体を書換えることはできなくて
も、リアルタイムに書換えたのと同じデータを結果的に
メモリブロックに得ることができる。
を書換え可能に保持するためのレジスタをフラッシュメ
モリに内蔵させることにより、一括消去すべきメモリブ
ロックをマイクロコンピュータの内外から同じ様な手順
で容易に指定できるようになる。
ュータに内蔵されたフラッシュメモリの使い勝手を向上
させることができるという効果を得る。
ロコンピュータの一実施例ブロック図である。
採用したマイクロコンピュータの一実施例ブロック図で
ある。
モリの書換えに着目したブロック図である。
換えに着目したブロック図である。
コンピュータの一例メモリマップである。
有するマイクロコンピュータの一例メモリマップであ
る。
る。
である。
への対応手法の一例説明図である。
の一部書換えを能率化する手法の一例説明図である。
る。
メモリセルアレイの構成原理説明図である。
書込み動作のための電圧条件の一例説明図である。
憶容量を相違させたフラッシュメモリの一例回路ブロッ
ク図である。
される更に詳細なマイクロコンピュータの実施例ブロッ
ク図である。
ッケージされた状態を示す平面図である。
蔵されるフラッシュメモリの全体的なブロック図であ
る。
明図である。
である。
ード動作の一例タイミングチャートである。
イト動作の一例タイミングチャートである。
チャートである。
ャートである。
示す説明図である。
ト PORT1乃至PORT12 ポート ED0乃至ED7 PROMライタとの入出力データ EA0乃至EA16 PROMライタからの入力アドレ
ス信号 CE* チップイネーブル信号 OE* アウトプットイネーブル信号 WE* ライトイネーブル信号 FCONT 制御回路 CREG コントロールレジスタ NBREG 消去ブロック指定レジスタ PEREG プログラム/イレーズ制御レジス
タ E イレーズビット EV イレーズベリファイビット P プログラムビット PE プログラムベリファイビット ERASEC 消去回路 LMB0乃至LMB6 大メモリブロック SMB0乃至SMB7 小メモリブロック
Claims (8)
- 【請求項1】 CPUとフラッシュメモリとを1つの半
導体基板上に有し、該半導体基板の外部にあるプログラ
ムを該フラッシュメモリに対するPROMライタにより
書き込みを行う第1のモードと、該半導体基板の外部に
あるデータで該フラッシュメモリ内のプログラムを該C
PUが書き換え制御プログラムを実行することにより書
き変える第2のモードと、を有する樹脂封止型半導体装
置を準備する工程と、 前記第1のモードによってPROMライタからパラレル
にプログラムを入力して前記フラッシュメモリにプログ
ラムを書き込む工程と、 前記半導体装置をプリント基板に実装する工程とを有す
る半導体装置が実装されるプリント基板の製造方法。 - 【請求項2】 CPUとシリアルコミュニケーションイ
ンタフェースとフラッシュメモリとを1つの半導体基板
上に有し、該半導体基板の外部にあるプログラムを該フ
ラッシュメモリに対するPROMライタにより書き込み
を行う第1のモードと、該半導体基板の外部にある情報
で該フラッシュメモリに該CPUが書き換え制御プログ
ラムを実行することにより書き込みを行う第2のモード
と、前記第1と第2のモードを選択的に指定する端子を
有する樹脂封止型半導体装置を準備する工程と、前記半
導体装置をプリント基板に実装する工程と、 前記実装工程の後、前記第2のモードによって前記シリ
アルコミュニケーションインタフェースを介して外部か
ら入力する情報によって前記フラッシュメモリ内のプロ
グラムを書き換える工程とを有する半導体装置が実装さ
れるプリント基板の製造方法。 - 【請求項3】 CPUとI/Oポートとフラッシュメモ
リとを1つの半導体基板上に有し、該半導体基板の外部
にあるプログラムを該フラッシュメモリに対するPRO
Mライタにより書き込みを行う第1のモードと、該半導
体基板の外部にあるデータを該フラッシュメモリに該C
PUが書き換え制御プログラムを実行することにより書
き込みを行う第2のモードと、を有するレジン封止型半
導体装置を準備する工程と、前記フラッシュメモリに書
き換え制御プログラムを前記第1のモードによってPR
OMライタで書き込む工程と、前記半導体装置をプリン
ト基板に実装する工程と、 前記実装工程の後、前記第2のモードによって前記I/
Oポートを介して外部から入力するデータによって前記
フラッシュメモリを書き換える工程とを有する半導体装
置が実装されるプリント基板の製造方法。 - 【請求項4】 CPUとI/Oポートとフラッシュメモ
リとを1つの半導体基板上に有し、該半導体基板の外部
にあるプログラムを該フラッシュメモリに対するPRO
Mライタにより書き込みを行う第1のモードと、該半導
体基板の外部にある情報を該フラッシュメモリに該CP
Uが書き換え制御プログラムを実行することにより書き
込みを行う第2のモードと、を有する樹脂封止型半導体
装置を準備する工程と、前記半導体装置をプリント基板
に実装する工程と、 前記実装工程の後、前記第2のモードによって前記I/
Oポートを介して外部から入力する情報によって前記フ
ラッシュメモリ内のプログラムを書き換える工程とを有
する半導体装置が実装されるプリント基板の製造方法。 - 【請求項5】 前記フラッシュメモリは複数の一括消去
可能なブロックに分割されており、前記書き換える工程
において一部のブロックのみが書き換えられる請求項2
乃至請求項4のいずれかに記載のプリント基板の製造方
法。 - 【請求項6】 前記書き込む工程又は書き換える工程に
は、前記フラッシュメモリを消去する工程と、書き込む
工程と、ベリファイする工程を含む請求項1乃至請求項
5のいずれかに記載のプリント基板の製造方法。 - 【請求項7】 前記樹脂封止型半導体装置は四方向に外
部端子を有するフラットパッケージに封止されている請
求項1乃至請求項6のいずれかに記載のプリント基板の
製造方法。 - 【請求項8】 前記外部端子の間隔が0.5mm以下で
ある請求項7に記載のプリント基板の製造方法。
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---|---|---|---|
JP2002031610A JP4018402B2 (ja) | 2002-02-08 | 2002-02-08 | 半導体システムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2002031610A JP4018402B2 (ja) | 2002-02-08 | 2002-02-08 | 半導体システムの製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP9191992A Division JPH05266219A (ja) | 1992-03-17 | 1992-03-17 | マイクロコンピュータ |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007190517A Division JP2008004258A (ja) | 2007-07-23 | 2007-07-23 | 半導体システムの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002304894A true JP2002304894A (ja) | 2002-10-18 |
JP4018402B2 JP4018402B2 (ja) | 2007-12-05 |
Family
ID=19192501
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002031610A Expired - Lifetime JP4018402B2 (ja) | 2002-02-08 | 2002-02-08 | 半導体システムの製造方法 |
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-
2002
- 2002-02-08 JP JP2002031610A patent/JP4018402B2/ja not_active Expired - Lifetime
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---|---|
JP4018402B2 (ja) | 2007-12-05 |
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