JP2002301657A - 被研磨物保持材 - Google Patents
被研磨物保持材Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、研磨作業中の駆動用のギア部が破断
しにくく、被研磨物の研磨面を傷つけない被研磨物保持
材を提供せんとするものである。 【解決手段】本発明の被研磨物保持材は、有機繊維から
なる布帛と熱硬化性樹脂とからなるシート状物が積層さ
れた被研磨物保持材において、前記熱硬化性樹脂は前記
有機繊維布帛に接合されており、かつ、硬化後の被研磨
物保持材の厚みが０．５〜１．５ｍｍであり、かつ、Ｊ
ＩＳ Ｋ６９１１に準拠する３点曲げ試験において、少
なくとも一方向の弾性率が２５００〜５５００Ｎ／ｍｍ
2であることを特徴とするものである。
しにくく、被研磨物の研磨面を傷つけない被研磨物保持
材を提供せんとするものである。 【解決手段】本発明の被研磨物保持材は、有機繊維から
なる布帛と熱硬化性樹脂とからなるシート状物が積層さ
れた被研磨物保持材において、前記熱硬化性樹脂は前記
有機繊維布帛に接合されており、かつ、硬化後の被研磨
物保持材の厚みが０．５〜１．５ｍｍであり、かつ、Ｊ
ＩＳ Ｋ６９１１に準拠する３点曲げ試験において、少
なくとも一方向の弾性率が２５００〜５５００Ｎ／ｍｍ
2であることを特徴とするものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、耐久性、耐破断性
に優れた被研磨物保持材に関する。詳しくはシリコンウ
ェハ、ハードディスクなどの被研磨物表面を摩擦して、
汚れ除去、研削、研磨、切削などを行う際の被研磨物保
持材に関する。
に優れた被研磨物保持材に関する。詳しくはシリコンウ
ェハ、ハードディスクなどの被研磨物表面を摩擦して、
汚れ除去、研削、研磨、切削などを行う際の被研磨物保
持材に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、シリコンウェハ、ハードディスク
などの研磨加工は、被研磨物を両面研磨機の上下定盤の
間に配置し、上下定盤を一定圧力で加圧して被研磨物を
挟み込み、酸化アルミなどの砥粒を水などの液体に分散
した遊離砥粒を供給した後、上下定盤および被研磨物を
遊星回転運動させることにより被研磨物の表面を研磨し
ている。この際、被研磨物保持材は、駆動用のギアを周
囲に形成した円盤に、被研磨物が研磨加工で動かないよ
うに該被研磨物保持材に貫通穴を１個ないし複数個あ
け、被研磨物をはめ込んで保持する。
などの研磨加工は、被研磨物を両面研磨機の上下定盤の
間に配置し、上下定盤を一定圧力で加圧して被研磨物を
挟み込み、酸化アルミなどの砥粒を水などの液体に分散
した遊離砥粒を供給した後、上下定盤および被研磨物を
遊星回転運動させることにより被研磨物の表面を研磨し
ている。この際、被研磨物保持材は、駆動用のギアを周
囲に形成した円盤に、被研磨物が研磨加工で動かないよ
うに該被研磨物保持材に貫通穴を１個ないし複数個あ
け、被研磨物をはめ込んで保持する。
【０００３】かかる被研磨物保持材としては、一般に、
ガラス繊維織物を基材とし、該基材にエポキシ樹脂を含
浸したシートを積層した積層板が多用されている。
ガラス繊維織物を基材とし、該基材にエポキシ樹脂を含
浸したシートを積層した積層板が多用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、かかるガラス
繊維織物−エポキシ樹脂積層板を用いると、研磨作業中
に駆動用のギアの一部が破断しやすく、折れや摩耗が発
生し、その摩耗粉が研磨砥粒中に混入して被研磨物の研
磨面を傷付けるという問題がある。
繊維織物−エポキシ樹脂積層板を用いると、研磨作業中
に駆動用のギアの一部が破断しやすく、折れや摩耗が発
生し、その摩耗粉が研磨砥粒中に混入して被研磨物の研
磨面を傷付けるという問題がある。
【０００５】本発明は、かかる従来技術の背景に鑑み、
研磨作業中の駆動用のギア部が破断しにくく、被研磨物
の研磨面を傷つけない被研磨物保持材を提供せんとする
ものである。
研磨作業中の駆動用のギア部が破断しにくく、被研磨物
の研磨面を傷つけない被研磨物保持材を提供せんとする
ものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、かかる課題を
解決するために、次のような手段を採用するものであ
る。すなわち、本発明の被研磨物保持材は、有機繊維か
らなる布帛と熱硬化性樹脂とからなるシート状物が積層
された被研磨物保持材において、前記熱硬化性樹脂は前
記有機繊維布帛に接合されており、かつ、硬化後の被研
磨物保持材の厚みが０．５〜１．５ｍｍであり、かつ、
ＪＩＳ Ｋ６９１１に準拠する３点曲げ試験において、
少なくとも一方向の弾性率が２５００〜５５００Ｎ／ｍ
ｍ2であることを特徴とするものである。
解決するために、次のような手段を採用するものであ
る。すなわち、本発明の被研磨物保持材は、有機繊維か
らなる布帛と熱硬化性樹脂とからなるシート状物が積層
された被研磨物保持材において、前記熱硬化性樹脂は前
記有機繊維布帛に接合されており、かつ、硬化後の被研
磨物保持材の厚みが０．５〜１．５ｍｍであり、かつ、
ＪＩＳ Ｋ６９１１に準拠する３点曲げ試験において、
少なくとも一方向の弾性率が２５００〜５５００Ｎ／ｍ
ｍ2であることを特徴とするものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明は、前記課題、つまり、研
磨作業中の駆動用のギア部が破断しにくく、被研磨物の
研磨面を傷つけない被研磨物保持材について鋭意検討し
たところ、有機繊維布帛を使用し、かつ、曲げ弾性率を
特定することにより、上述課題を一挙に解決することを
究明したものである。
磨作業中の駆動用のギア部が破断しにくく、被研磨物の
研磨面を傷つけない被研磨物保持材について鋭意検討し
たところ、有機繊維布帛を使用し、かつ、曲げ弾性率を
特定することにより、上述課題を一挙に解決することを
究明したものである。
【０００８】本発明でいう熱硬化性樹脂とは、フェノー
ル樹脂、レゾルシノール樹脂、エポキシ樹脂、ユリア樹
脂、メラミン樹脂、アルキド樹脂、不飽和ポリエステル
樹脂、シリコーン樹脂、キシレン樹脂などを用いること
ができるが、強度、電気絶縁性、耐酸性、耐熱性、耐水
性、成型性などからエポキシ樹脂がさらに好ましく使用
できる。かかる熱硬化性樹脂には、工業的にその目的、
用途、製造工程や加工工程での生産性あるいは特性改善
のため通常使用されている各種添加剤を含んでもよい。
例えば、変性剤、可塑剤、充填剤、離型剤、着色剤、希
釈剤などを含有せしめることができる。
ル樹脂、レゾルシノール樹脂、エポキシ樹脂、ユリア樹
脂、メラミン樹脂、アルキド樹脂、不飽和ポリエステル
樹脂、シリコーン樹脂、キシレン樹脂などを用いること
ができるが、強度、電気絶縁性、耐酸性、耐熱性、耐水
性、成型性などからエポキシ樹脂がさらに好ましく使用
できる。かかる熱硬化性樹脂には、工業的にその目的、
用途、製造工程や加工工程での生産性あるいは特性改善
のため通常使用されている各種添加剤を含んでもよい。
例えば、変性剤、可塑剤、充填剤、離型剤、着色剤、希
釈剤などを含有せしめることができる。
【０００９】本発明における布帛を構成する有機繊維と
は、木綿、羊毛、絹などの天然繊維、またはナイロン、
ビニロン、ビニリデン、ポリ塩化ビニル、ポリエステ
ル、アクリル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリウ
レタン、ポリクラールなどの合成繊維を単独または混合
して使用することができるが、吸水性が低く、寸法安定
性に優れ、かつ安価なポリエステル、ナイロン、ポリエ
チレン、ポリプロピレンが好ましく、さらにポリエステ
ルが好ましい。かかる繊維には、原糸の製造工程や加工
工程での生産性あるいは特性改善のために通常使用され
ている各種添加剤を含んでもよい。例えば熱安定剤、酸
化防止剤、光安定剤、平滑剤、耐電防止剤、可塑剤、増
粘剤、顔料、難燃剤などを含有せしめることができる。
また、該有機繊維の引張強度は、標準条件（温度２０
℃、相対湿度６５％）下で、２〜１２g/dが好ましく、
４〜１０g/dがさらに好ましい。２g/d未満であれば、積
層板としたときの機械物性が満足できなく、１２g/d以
上であれば、被研磨物保持材のギア部が破断しやすくな
る。
は、木綿、羊毛、絹などの天然繊維、またはナイロン、
ビニロン、ビニリデン、ポリ塩化ビニル、ポリエステ
ル、アクリル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリウ
レタン、ポリクラールなどの合成繊維を単独または混合
して使用することができるが、吸水性が低く、寸法安定
性に優れ、かつ安価なポリエステル、ナイロン、ポリエ
チレン、ポリプロピレンが好ましく、さらにポリエステ
ルが好ましい。かかる繊維には、原糸の製造工程や加工
工程での生産性あるいは特性改善のために通常使用され
ている各種添加剤を含んでもよい。例えば熱安定剤、酸
化防止剤、光安定剤、平滑剤、耐電防止剤、可塑剤、増
粘剤、顔料、難燃剤などを含有せしめることができる。
また、該有機繊維の引張強度は、標準条件（温度２０
℃、相対湿度６５％）下で、２〜１２g/dが好ましく、
４〜１０g/dがさらに好ましい。２g/d未満であれば、積
層板としたときの機械物性が満足できなく、１２g/d以
上であれば、被研磨物保持材のギア部が破断しやすくな
る。
【００１０】本発明でいう布帛とは、織物、編物、不織
布、フェルトなどであり、寸法安定性などから織物およ
び不織布が好ましく使用される。また、該不織布として
は、抄紙法によるペーパーや乾式法によるレジンボン
ド、サーマルボンド、ニードルパンチ、スパンボンド、
スパンレース、メルトブローなどを用いることができ
る。該布帛の単糸繊度は、１．５〜５．５ｄｔｅｘが好
ましい。１．５ｄｔｅｘ未満であると強度が低くなり破
断しやすくなる。また、５．５ｄｔｅｘ以上であると、
被研磨物保持材の層間で剥離しやすくなる。該布帛の厚
みは、０．０５〜０．７ｍｍが好ましく、０．１〜０．
６ｍｍがさらに好ましい。厚みが０．０５ｍｍ未満であ
ると、熱硬化性樹脂の付着性が悪く、０．７ｍｍ以上で
あると、被研磨物保持板の厚み調整が困難となる。該織
物や不織布の目付としては、それぞれ、織物では１５０
〜５００ｇ／ｍ2 、不織布では４０〜３００ｇ／ｍ2の
範囲のものが、被研磨物保持材の強度、生産性などの点
から好ましく使用される。また、該織物の織り密度とし
ては、２５〜６５本／２．５４ｃｍが好ましく、さらに
３０〜６０本／２．５４ｃｍが好ましい。織り密度が２
５本／２．５４ｃｍ未満であれば、樹脂の付着性が悪
く、また、成型後の被研磨物保持材の表面平滑性に劣
る。織り密度が６５本／２．５４ｃｍを越えると、織物
表面が平滑となるため、層間で剥離しやすくなる。該被
研磨物保持材を構成する複数の布帛層の内、芯材として
織物を使用することが好ましい。芯材が織物であれば、
糸の均一な経緯配列による方向性によって、屈曲時の破
断性能が向上し、特に経緯方向でのギア部が破断しにく
い。さらに、該織物に熱処理を施したものを使用する
と、被研磨物保持材成型時の寸法安定性が向上する。ま
た、表層に不織布を配置することによって、被研磨物保
持材の表面平滑性が良好となる。
布、フェルトなどであり、寸法安定性などから織物およ
び不織布が好ましく使用される。また、該不織布として
は、抄紙法によるペーパーや乾式法によるレジンボン
ド、サーマルボンド、ニードルパンチ、スパンボンド、
スパンレース、メルトブローなどを用いることができ
る。該布帛の単糸繊度は、１．５〜５．５ｄｔｅｘが好
ましい。１．５ｄｔｅｘ未満であると強度が低くなり破
断しやすくなる。また、５．５ｄｔｅｘ以上であると、
被研磨物保持材の層間で剥離しやすくなる。該布帛の厚
みは、０．０５〜０．７ｍｍが好ましく、０．１〜０．
６ｍｍがさらに好ましい。厚みが０．０５ｍｍ未満であ
ると、熱硬化性樹脂の付着性が悪く、０．７ｍｍ以上で
あると、被研磨物保持板の厚み調整が困難となる。該織
物や不織布の目付としては、それぞれ、織物では１５０
〜５００ｇ／ｍ2 、不織布では４０〜３００ｇ／ｍ2の
範囲のものが、被研磨物保持材の強度、生産性などの点
から好ましく使用される。また、該織物の織り密度とし
ては、２５〜６５本／２．５４ｃｍが好ましく、さらに
３０〜６０本／２．５４ｃｍが好ましい。織り密度が２
５本／２．５４ｃｍ未満であれば、樹脂の付着性が悪
く、また、成型後の被研磨物保持材の表面平滑性に劣
る。織り密度が６５本／２．５４ｃｍを越えると、織物
表面が平滑となるため、層間で剥離しやすくなる。該被
研磨物保持材を構成する複数の布帛層の内、芯材として
織物を使用することが好ましい。芯材が織物であれば、
糸の均一な経緯配列による方向性によって、屈曲時の破
断性能が向上し、特に経緯方向でのギア部が破断しにく
い。さらに、該織物に熱処理を施したものを使用する
と、被研磨物保持材成型時の寸法安定性が向上する。ま
た、表層に不織布を配置することによって、被研磨物保
持材の表面平滑性が良好となる。
【００１１】本発明での布帛に熱硬化性樹脂を付着する
方法としては、特に限定されるものではないが、熱硬化
性樹脂を溶剤に溶解してワニスに調製し、該布帛をワニ
ス漕に通しバーコーターにて余分な樹脂を掻き取る手段
が好ましく採用される。該布帛に対する熱硬化性樹脂の
付着比率は、布帛の重量に対して３０〜８０％が好まし
く、さらに４０〜６０％が好ましい。布帛の重量に対し
て熱硬化性樹脂の付着比率が３０％未満であれば、樹脂
付着量が少ないため、被研磨物保持板の層間剥離がおこ
りやすくなる。逆に付着比率が８０％を超えると、熱硬
化性樹脂が付着した布帛の厚みのばらつきが大きくなり
品質が不安定となる。
方法としては、特に限定されるものではないが、熱硬化
性樹脂を溶剤に溶解してワニスに調製し、該布帛をワニ
ス漕に通しバーコーターにて余分な樹脂を掻き取る手段
が好ましく採用される。該布帛に対する熱硬化性樹脂の
付着比率は、布帛の重量に対して３０〜８０％が好まし
く、さらに４０〜６０％が好ましい。布帛の重量に対し
て熱硬化性樹脂の付着比率が３０％未満であれば、樹脂
付着量が少ないため、被研磨物保持板の層間剥離がおこ
りやすくなる。逆に付着比率が８０％を超えると、熱硬
化性樹脂が付着した布帛の厚みのばらつきが大きくなり
品質が不安定となる。
【００１２】このようにして得られた熱硬化性樹脂を含
浸した織編物および不織布から選ばれた少なくとも１種
を用い、目標厚みとなるように積層枚数を２枚以上で調
整、積層し、加熱加圧成型することによって、硬化した
被研磨物保持材を得る。また、被研磨物保持材の厚みに
ついては、現在のハードディスクの厚みとの関係から
０．５〜１．５ｍｍの範囲のものが使用されているが、
これに限られるものではない。該被研磨物保持材の有機
繊維の比率は３０重量％〜７０重量％が好ましい。３０
重量％未満であれば、機械物性が低下し、７０重量％を
越えると、層間での接着性が低下する。
浸した織編物および不織布から選ばれた少なくとも１種
を用い、目標厚みとなるように積層枚数を２枚以上で調
整、積層し、加熱加圧成型することによって、硬化した
被研磨物保持材を得る。また、被研磨物保持材の厚みに
ついては、現在のハードディスクの厚みとの関係から
０．５〜１．５ｍｍの範囲のものが使用されているが、
これに限られるものではない。該被研磨物保持材の有機
繊維の比率は３０重量％〜７０重量％が好ましい。３０
重量％未満であれば、機械物性が低下し、７０重量％を
越えると、層間での接着性が低下する。
【００１３】このようにして得られた被研磨物保持材
を、下記の３点曲げ試験にて測定した。 Ａ．３点曲げ試験 ＪＩＳ Ｋ６９１１に準拠して測定した。該ＪＩＳ規格
では、厚み１ｍｍ未満の測定の記載がなかったため、試
料（寸法）、試験方法（支点間距離、荷重速度）につい
て規定した。
を、下記の３点曲げ試験にて測定した。 Ａ．３点曲げ試験 ＪＩＳ Ｋ６９１１に準拠して測定した。該ＪＩＳ規格
では、厚み１ｍｍ未満の測定の記載がなかったため、試
料（寸法）、試験方法（支点間距離、荷重速度）につい
て規定した。
【００１４】試験器 ：クロスヘッド移動速度を一定に
保てる適当な材料試験器 試料 ：長さ１００ｍｍ×幅２５ｍｍに成形したもの
を用いた。
保てる適当な材料試験器 試料 ：長さ１００ｍｍ×幅２５ｍｍに成形したもの
を用いた。
【００１５】測定方法：支点間距離を４０ｍｍに設定
し、試料を支え、その中央に加圧くさびで荷重を加え
（荷重速度５０ｍｍ／ｍｉｎ）、試料が折れたときの荷
重を測定する。なお、測定時には荷重−たわみ曲線を作
図する。
し、試料を支え、その中央に加圧くさびで荷重を加え
（荷重速度５０ｍｍ／ｍｉｎ）、試料が折れたときの荷
重を測定する。なお、測定時には荷重−たわみ曲線を作
図する。
【００１６】データ処理：曲げ弾性率を次式により算出
する。
する。
【００１７】Ｅ＝Ｌ3／４Ｗｈ3・Ｆ／Ｙ Ｅ：曲げ弾性率（Ｎ/ｍｍ2） Ｌ：支点間距離（ｍｍ） Ｗ：試料の幅（ｍｍ） ｈ：試料の高さ（厚み）（ｍｍ） Ｆ／Ｙ：荷重−たわみ曲線の直線部分の勾配（Ｎ/ｍ
ｍ）。
ｍ）。
【００１８】該３点曲げ試験において、被研磨物保持材
の少なくとも一方向における曲げ弾性率が２５００〜５
５００Ｎ／ｍｍ2であることが好ましい。２５００Ｎ／
ｍｍ2未満であれば、ギア部にかかる力に耐えられな
く、満足に研磨作業ができない。５５００Ｎ／ｍｍ2を
越えると、ギア部に亀裂や剥離が起こった場合、一気に
破断してしまう。
の少なくとも一方向における曲げ弾性率が２５００〜５
５００Ｎ／ｍｍ2であることが好ましい。２５００Ｎ／
ｍｍ2未満であれば、ギア部にかかる力に耐えられな
く、満足に研磨作業ができない。５５００Ｎ／ｍｍ2を
越えると、ギア部に亀裂や剥離が起こった場合、一気に
破断してしまう。
【００１９】
【実施例】以下、実施例により本発明をさらに詳しく説
明する。なお、本発明は実施例の記載により限定される
ものではない。
明する。なお、本発明は実施例の記載により限定される
ものではない。
【００２０】実施例１ 布帛に厚み０．２４ｍｍ、目付６０ｇ／ｍ2のポリエス
テル不織布（スパンボンド）及び０．５０ｍｍ、目付３
１１ｇ／ｍ2、織り密度４４・３５本／２．５４ｃｍ
（経糸・緯糸）のポリエステルスパン織物を使用した。
該布帛に対するエポキシ樹脂の付着比率を、布帛の重量
に対し４０〜５０％となるように付着し、１１０℃で２
〜３分乾燥させた。樹脂が付着した布帛を、不織布／ス
パン織物／不織布の構成に積層し、５ｋｇ／cm2の圧力
で、１２８℃、４０分加熱加圧成型を行い、厚み０．６
６ｍｍの被研磨物保持材を得た。
テル不織布（スパンボンド）及び０．５０ｍｍ、目付３
１１ｇ／ｍ2、織り密度４４・３５本／２．５４ｃｍ
（経糸・緯糸）のポリエステルスパン織物を使用した。
該布帛に対するエポキシ樹脂の付着比率を、布帛の重量
に対し４０〜５０％となるように付着し、１１０℃で２
〜３分乾燥させた。樹脂が付着した布帛を、不織布／ス
パン織物／不織布の構成に積層し、５ｋｇ／cm2の圧力
で、１２８℃、４０分加熱加圧成型を行い、厚み０．６
６ｍｍの被研磨物保持材を得た。
【００２１】実施例２ 布帛に厚み０．２４ｍｍ、目付６０ｇ／ｍ2のポリエス
テル不織布（スパンボンド）及び０．６０ｍｍ、目付３
９５ｇ／ｍ2、織り密度５７・３５本／２．５４ｃｍの
ポリエステルスパン織物を使用した。該布帛に対するエ
ポキシ樹脂の付着比率を、布帛の重量に対し４０〜５０
％となるように付着し、１１０℃で２〜３分乾燥させ
た。樹脂が付着した布帛を、不織布／スパン織物／不織
布の構成に積層し、５ｋｇ／cm2の圧力で、１２８℃、
４０分加熱加圧成型を行い、厚み０．８５ｍｍの被研磨
物保持材を得た。
テル不織布（スパンボンド）及び０．６０ｍｍ、目付３
９５ｇ／ｍ2、織り密度５７・３５本／２．５４ｃｍの
ポリエステルスパン織物を使用した。該布帛に対するエ
ポキシ樹脂の付着比率を、布帛の重量に対し４０〜５０
％となるように付着し、１１０℃で２〜３分乾燥させ
た。樹脂が付着した布帛を、不織布／スパン織物／不織
布の構成に積層し、５ｋｇ／cm2の圧力で、１２８℃、
４０分加熱加圧成型を行い、厚み０．８５ｍｍの被研磨
物保持材を得た。
【００２２】実施例３ 布帛に厚み０．５３ｍｍ、目付２００ｇ／ｍ2のポリエ
ステル不織布（スパンボンド）及び実施例１のポリエス
テルスパン織物を使用した。該布帛に対するエポキシ樹
脂の付着比率を、布帛の重量に対し４０〜５０％となる
ように付着し、１１０℃で２〜３分乾燥させた。樹脂が
付着した布帛を、不織布／スパン織物／不織布の構成に
積層し、５ｋｇ／cm2の圧力で、１２８℃、４０分加熱
加圧成型を行い、厚み１．２２ｍｍの被研磨物保持材を
得た。
ステル不織布（スパンボンド）及び実施例１のポリエス
テルスパン織物を使用した。該布帛に対するエポキシ樹
脂の付着比率を、布帛の重量に対し４０〜５０％となる
ように付着し、１１０℃で２〜３分乾燥させた。樹脂が
付着した布帛を、不織布／スパン織物／不織布の構成に
積層し、５ｋｇ／cm2の圧力で、１２８℃、４０分加熱
加圧成型を行い、厚み１．２２ｍｍの被研磨物保持材を
得た。
【００２３】実施例４ 布帛に厚み０．１４ｍｍ、目付１０３ｇ／ｍ2のポリエ
ステルペーパー及び実施例１のポリエステルスパン織物
を使用した。該布帛に対するエポキシ樹脂の付着比率
を、布帛の重量に対し４０〜５０％となるように付着
し、１１０℃で２〜３分乾燥させた。樹脂が付着した布
帛を、ペーパー／スパン織物／ペーパーの３枚の構成に
積層し、５ｋｇ／cm2の圧力で、１２８℃、４０分加熱
加圧成型を行い、厚さ０．６８ｍｍの被研磨物保持材を
得た。
ステルペーパー及び実施例１のポリエステルスパン織物
を使用した。該布帛に対するエポキシ樹脂の付着比率
を、布帛の重量に対し４０〜５０％となるように付着
し、１１０℃で２〜３分乾燥させた。樹脂が付着した布
帛を、ペーパー／スパン織物／ペーパーの３枚の構成に
積層し、５ｋｇ／cm2の圧力で、１２８℃、４０分加熱
加圧成型を行い、厚さ０．６８ｍｍの被研磨物保持材を
得た。
【００２４】実施例５ 布帛に厚み０．１４ｍｍ、目付１０３ｇ／ｍ2のポリエ
ステルペーパーを使用した。該布帛に対するエポキシ樹
脂の付着比率を、布帛の重量に対し４０〜５０％となる
ように付着し、１１０℃で２〜３分乾燥させた。樹脂が
付着した布帛を、ペーパーの５枚の構成に積層し、５ｋ
ｇ／cm2の圧力で、１２８℃、４０分加熱加圧成型を行
い、厚さ０．６９ｍｍの被研磨物保持材を得た。
ステルペーパーを使用した。該布帛に対するエポキシ樹
脂の付着比率を、布帛の重量に対し４０〜５０％となる
ように付着し、１１０℃で２〜３分乾燥させた。樹脂が
付着した布帛を、ペーパーの５枚の構成に積層し、５ｋ
ｇ／cm2の圧力で、１２８℃、４０分加熱加圧成型を行
い、厚さ０．６９ｍｍの被研磨物保持材を得た。
【００２５】比較例１ 布帛に厚み０．１１ｍｍ、目付７０ｇ／ｍ2のアラミド
ペーパーを使用した。該布帛に対するエポキシ樹脂の付
着比率を、布帛の重量に対し４０〜５０％となるように
付着し、１１０℃で２〜３分乾燥させた。樹脂が付着し
た布帛を、ペーパーの５枚の構成に積層し、５ｋｇ／cm
2の圧力で、１２８℃、４０分加熱加圧成型を行い、厚
さ０．６８ｍｍの被研磨物保持材を得た。
ペーパーを使用した。該布帛に対するエポキシ樹脂の付
着比率を、布帛の重量に対し４０〜５０％となるように
付着し、１１０℃で２〜３分乾燥させた。樹脂が付着し
た布帛を、ペーパーの５枚の構成に積層し、５ｋｇ／cm
2の圧力で、１２８℃、４０分加熱加圧成型を行い、厚
さ０．６８ｍｍの被研磨物保持材を得た。
【００２６】比較例２ 布帛にアラミドペーパーとポリエステルスパン織物を使
用し、樹脂が付着した布帛を表層にアラミドペーパー、
芯材にポリエステルスパン織物の構成で積層、加熱加圧
成型し、厚さ０．５８ｍｍの被研磨物保持材を得た。
用し、樹脂が付着した布帛を表層にアラミドペーパー、
芯材にポリエステルスパン織物の構成で積層、加熱加圧
成型し、厚さ０．５８ｍｍの被研磨物保持材を得た。
【００２７】比較例３ 布帛にガラス繊維織物を使用し、樹脂が付着した布帛
を、単独の構成で積層、加熱加圧成型し、厚さ０．６０
ｍｍの被研磨物保持材を得た。作製した被研磨物保持材
は、ＳＨＩＭＡＤＺＵ社製ＡＧ−５０００を使用し、本
文中記載の３点曲げ試験によって評価を行った。
を、単独の構成で積層、加熱加圧成型し、厚さ０．６０
ｍｍの被研磨物保持材を得た。作製した被研磨物保持材
は、ＳＨＩＭＡＤＺＵ社製ＡＧ−５０００を使用し、本
文中記載の３点曲げ試験によって評価を行った。
【００２８】表１に、実施例１〜５及び比較例１〜３の
結果をまとめて示す。
結果をまとめて示す。
【００２９】
【表１】
【００３０】表１から明らかなように実施例１〜５の被
研磨物保持板は、比較例１〜３に比べ、ギア部の破断の
防止に優れている。また、研磨加工後の被研磨物表面の
傷付きもない。
研磨物保持板は、比較例１〜３に比べ、ギア部の破断の
防止に優れている。また、研磨加工後の被研磨物表面の
傷付きもない。
【００３１】
【発明の効果】以上のようにして得られた被研磨物保持
板材は、ギア部が破断しにくく、被研磨物の研磨面を傷
つけないという優れた効果を有する。
板材は、ギア部が破断しにくく、被研磨物の研磨面を傷
つけないという優れた効果を有する。
フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C058 AA07 AA18 AB04 CB01 CB06 DA06 DA17 4F072 AA07 AB02 AB05 AB28 AB29 AB30 AB31 AD23 AG03 AL09
Claims (7)
- 【請求項１】 標準条件での引張強度が２〜１２g/dで
ある有機繊維からなる布帛と熱硬化性樹脂とからなるシ
ート状物が積層された被研磨物保持材において、前記熱
硬化性樹脂は前記有機繊維布帛に接合されており、か
つ、硬化後の被研磨物保持材の厚みが０．５〜１．５ｍ
ｍであり、かつ、ＪＩＳ Ｋ６９１１に準拠する３点曲
げ試験において、少なくとも一方向の弾性率が２５００
〜５５００Ｎ／ｍｍ2であることを特徴とする被研磨物
保持材。 - 【請求項２】前記布帛が、織編物および不織布から選ば
れた少なくとも１種からなる積層シートであることを特
徴とする請求項１記載の被研磨物保持材。 - 【請求項３】 前記布帛が、織物であり、かつ、該織物
の織り密度が２５〜６５本／２．５４ｃｍであることを
特徴とする請求項１または２記載の被研磨物保持材。 - 【請求項４】 前記布帛が、不織布であり、かつ、該不
織布の目付が４０〜３００ｇ／ｍ2であること特徴とす
る請求項１または２記載の被研磨物保持材。 - 【請求項５】 前記被研磨物保持材中の有機繊維の含有
量が３０重量％〜７０重量％であることを特徴とする請
求項１〜４のいずれかに記載の被研磨物保持材。 - 【請求項６】 前記熱硬化性樹脂が、エポキシ樹脂であ
ることを特徴とする請求項１記載の被研磨物保持材。 - 【請求項７】 前記有機繊維が、ポリエステルであるこ
とを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の被研磨
物保持材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001104296A JP2002301657A (ja) | 2001-04-03 | 2001-04-03 | 被研磨物保持材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001104296A JP2002301657A (ja) | 2001-04-03 | 2001-04-03 | 被研磨物保持材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002301657A true JP2002301657A (ja) | 2002-10-15 |
Family
ID=18957179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001104296A Pending JP2002301657A (ja) | 2001-04-03 | 2001-04-03 | 被研磨物保持材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002301657A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007096019A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Fujitsu Ltd | 研磨装置、試料台パッド及び研磨方法 |
-
2001
- 2001-04-03 JP JP2001104296A patent/JP2002301657A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007096019A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Fujitsu Ltd | 研磨装置、試料台パッド及び研磨方法 |
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