JP2002299009A

JP2002299009A - セラミックヒーター

Info

Publication number: JP2002299009A
Application number: JP2001097255A
Authority: JP
Inventors: Masahito Taniguchi; 雅人谷口; Koji Yonekura; 耕治米倉
Original assignee: NGK Spark Plug Co Ltd
Current assignee: Niterra Co Ltd
Priority date: 2001-03-29
Filing date: 2001-03-29
Publication date: 2002-10-11

Abstract

(57)【要約】【課題】セラミックヒーターにおけるリード線接合用
端子とリード線との接合で、緩衝板を要することなく、
信頼性の高いリード線の接合構造を得る。【解決手段】リード線１５をクラッド金属で形成し、
そのクラッド金属は、体積抵抗率が小さく熱膨張系数が
大きい銅の層１５ａと、体積抵抗率が大きく熱膨張系数
の小さいＦｅ−Ｎｉ合金の層１５ｂとを含む構成のもの
とし、その銅の層１５ａをリード線接合用端子１１に接
合した。Ｆｅ−Ｎｉ合金の層１５ｂにより、強度の低下
を招かず、しかもその銅の層１５ａにて緩衝作用もあ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、セラミックヒータ
ーに関し、詳しくはディーゼルエンジンの始動促進用な
どに使用されるグロープラグ或いは石油ファンヒーター
の着火用ヒーターなどに使用されるセラミックヒーター
に関する。

【０００２】

【従来の技術】窒化珪素質セラミックヒーターは、常温
強度、高温強度が大きく、熱膨張係数が小さいため、グ
ロープラグなどに広く使用されている。図６は、グロ
ープラグとして使用される窒化珪素質セラミックヒータ
ー７２の一例を示したものである。このものは、窒化珪
素質セラミックからなるセラミック基体７５の先端７２
ａ寄り部位に、導電性セラミックからなり、折り返し状
（Ｕ字状）に形成された発熱体７６を埋設している。こ
の発熱体７６のＵ字の両端部（両脚の端部）７６ｃに
は、タングステンやモリブデンなどの高融点金属からな
る中継線７８、７９の一端部が夫々接合され、その他端
部をセラミックヒーター７２の後端７２ｃ寄りの側面に
露出させて一対のリード線接合用端子（以下、単に端子
ともいう）８１、８１としている。そして、リード線接
合用端子８１近傍のセラミック基体７５の表面には、メ
タライズ層（図示せず）が形成され、リード線１５、１
５がロウ材により接合されている。

【０００３】このようなセラミックヒーター７２は、グ
ロープラグとしてエンジンの副燃焼室に取り付けられる
などより、耐熱性が要求されるため、リード線接合用端
子８１には、Ａｇ系の活性ロウなどの高温用のロウ材
（高融点のロウ材）を使用してリード線１５、１５を接
合している。このような接合構造では、そのロウ付け接
合時に高温に加熱されることから、その後の冷却過程で
セラミック基体７５をなすセラミックとリード線（金
属）１５との熱膨張差により残留応力が生じて両者間の
接合強度が低下するということがあった。すなわち、セ
ラミックヒーターを構成する窒化珪素質セラミックなど
の非酸化物系セラミックは、リード線を構成するニッケ
ルなどの金属に比較すると、熱膨張係数が１／５〜１／
４と極端に小さいため、残留応力が生じてセラミックと
金属間の接合が分離することがあった。

【０００４】そこで、従来はこのような熱膨張係数の相
違に基づいて発生する応力を緩和するため、次のような
手段が講じられていた。例えば、リード線接合用端子８
１とリード線１５との間にＣｕ等の比較的低強度（軟
質）の金属（応力緩衝板又は緩衝板ともいう）を介在さ
せてロウ付けし、発生する応力を緩衝板を変形させるこ
とで緩和するというものである。また、別の手段として
は、リード線接合用端子８１とリード線１５との間にＦ
ｅ−Ｎｉ合金やＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金などの熱膨張係数
の小さい金属（応力の緩衝板）をパッドとして介在させ
てロウ付けすることも行われている。さらに、リード線
自体をこのような熱膨張係数の小さい金属製のものとす
ることも行われている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記の対策のうち前者
のようにリード線にＮｉ線を用い、緩衝板を介して接合
する構造では、応力の緩衝板をなすＣｕ等の変形容易性
によってロウ付け時の応力緩和作用はある。しかし、セ
ラミックヒーターの使用過程で加わる熱サイクルを想定
した耐久試験には不充分であった。Ｃｕ等の比較的低強
度（軟質）の金属は、熱膨張係数が大きいため、その後
の冷却加熱の繰り返しにより、セラミックにクラックを
発生させ、そのクラックが成長して接合強度が低下し、
その結果、緩衝板の剥離や成長したクラックから酸化し
て抵抗変化等を生じて耐久性が劣化するためである。な
お、リード線に銅線を用いることも考えられるが、グロ
ープラグでは、その使用過程での振動などによる疲労に
対して強度が確保できず、破断する危険性が高いため使
用できないのが実情である。

【０００６】また、後者のようにＦｅ−Ｎｉ合金やＦｅ
−Ｎｉ−Ｃｏ合金を用いる接合構造では、それらの熱膨
張係数が小さいものの、体積抵抗率が大きい。このた
め、電流印加時に発熱し、電力損失（熱エネルギー損
失）が大きいため、基本的にリード線には不向きであ
る。また、こうしたＦｅ基合金は、Ｃｕ、Ｎｉ等の軟質
金属と比較すれば硬度が高く、耐力も高いため、リード
線の接合時において発生する残留応力が大きい。残留応
力が大きいと、クラックが発生しやすいため、熱サイク
ル耐久試験に弱く、抵抗値変化が大きくなる。このよう
に、従来のセラミックヒーターにおいては、そのリード
線接合用端子（電極取出し部）とリード線との接合にお
ける信頼性が必ずしも十分ではなかった。

【０００７】本発明は、セラミックヒーターにおけるリ
ード線接合用端子とリード線との接合において、こうし
た問題点を解消し、信頼性の高いリード線の接合構造を
得ることをその目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに本発明にかかる請求項１に記載のセラミックヒータ
ーは、絶縁セラミック基体中に発熱体を埋設し、この発
熱体に導通を保持して連なるリード線接合用端子にリー
ド線を接合してなるセラミックヒーターにおいて、前記
リード線をクラッド金属で形成し、そのクラッド金属
は、体積抵抗率が小さく熱膨張系数が大きい金属の層
と、体積抵抗率が大きく熱膨張系数の小さい金属の層と
を含む構成のものとし、前記金属の層のうち、体積抵抗
率が小さく熱膨張系数が大きい金属の層をリード線接合
用端子に接合したことをことを特徴とする。

【０００９】本発明では、クラッド金属（クラッド材）
をリード線として用い、それを構成する金属の層のう
ち、体積抵抗率が小さく熱膨張系数が大きい金属の層
（以下、接合側の金属層ともいう）をリード線接合用端
子に接合したものである。このような接合側の金属層
は、比較的強度が小さく軟質であるため、熱サイクルに
対する耐久試験には弱いが、変形しやすいため、ロウ付
け時の応力を吸収する緩衝板の作用をする。一方、上記
クラッド金属を構成する、体積抵抗率が大きく熱膨張系
数の小さい金属の層（以下、非接合側の金属層ともい
う）は、接合側の金属層とは逆に、比較的強度が高い。
したがって、リード線全体としての強度アップを図るこ
とができる。

【００１０】つまり、上記したクラッド金属を用いてリ
ード線として接合した本発明の接合構造によれば、接合
側の金属層によって接合時の応力を吸収できる。また、
非接合側の金属層によってその後の熱サイクルに対する
耐久性ないし強度が保持される。このように、本発明で
は、セラミックヒーターのリード線として上記したクラ
ッド金属を用いることで、リード線接合部に要求される
応力の緩衝作用とリード線の強度を兼ね備えたものとな
ることから、信頼性の高い電気的接続を構造の複雑化を
招くことなく実現できる。なお、本発明に用いるクラッ
ド金属からなるリード線は、横断面が四角の線材（帯板
板材）とするのが好ましい。ただし、その金属の層の数
はとくに限定されるものではない。

【００１１】本発明において、クラッド金属を構成す
る、体積抵抗率が小さく熱膨張系数が大きい金属の層を
なすものは、Ｃｕ、Ｎｉ、Ａｇ、Ｐｔ又はＡｕのいずれ
かとするのが適切である。これらは、延性に富み、体積
抵抗率は１０μΩ・ｃｍ以下と小さく電気的特性にも優
れる上に、熱膨張系数も１２×１０^−６／℃以上と大き
いためである。とくに、Ｃｕ又はＮｉはコストが低く好
ましい。すなわち、上記手段においては、請求項２に記
載のように、前記金属の層のうち、前記リード線接合用
端子に接合した金属の層が、Ｃｕ、Ｎｉ、Ａｇ、Ｐｔ又
はＡｕのうちのいずれかからなるものを選択するとよ
い。

【００１２】また、本発明において、クラッド金属を構
成する、体積抵抗率が大きく熱膨張系数の小さい金属の
層をなすものは、４２％Ｎｉ鋼、３６％Ｎｉ鋼等のＦｅ
−Ｎｉ合金又はコバール等のＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金から
なるものとするのが適切である。これらは、体積抵抗率
が５０μΩ・ｃｍ以上と大きく、熱膨張形数が７×１０
^−６／℃以下と小さいためである。すなわち、上記手段
においては、請求項３に記載のように、前記金属の層の
うち、体積抵抗率が大きく熱膨張系数の小さい金属の層
が、Ｆｅ−Ｎｉ合金又はＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金からなる
ものとするとよい。

【００１３】さらに、後述する試験結果からすると、ク
ラッド金属を構成する、体積抵抗率が小さく熱膨張系数
が大きい金属の層、及び体積抵抗率が大きく熱膨張系数
の小さい金属の層はつぎのようなものとしてもよい。前
記金属の層のうち、前記リード線接合用端子に接合した
金属の層は、ビッカース硬度Ｈｖ１００以下の金属から
なるものとするとよい。また、記金属の層のうち体積抵
抗率が大きく熱膨張系数の小さい金属の層に、Ｆｅ−Ｎ
ｉ合金又はＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金を用いた場合に好まし
い結果が得られたことからして、前記金属の層のうち、
体積抵抗率が大きく熱膨張系数の小さい金属の層は、０
℃〜５００℃までにおける線膨張形数が７×１０^−６／
℃以下の金属からなるものとするとよい。

【００１４】本発明においてクラッド金属は、その金属
の層の数が２層のものでよいが、請求項４に記載のよう
に３層のものとしてもよい。このものを使用する場合に
は、接合時において、いずれの表面層で接合することも
可能となるため、作業性が極めてよい。そして、３層構
造からなるクラッド金属を用いる場合には、請求項５に
記載のように、前記クラッド金属の両方の表面層が同一
素材からなりかつ同一厚さからなるものとするのが好ま
しい。このようにしておけば、その横断面の層間に関す
る対称性に基づき、熱変化による曲げモーメントが発生
しないことから、ヒーター装置の設計において反りを考
慮する必要がないためである。

【００１５】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図１〜図３
に基いて詳細に説明する。図中２は、本形態のセラミッ
クヒーターであり、直径φ３．５ｍｍで長さ２５ｍｍの
丸棒状をなす窒化珪素質のセラミック基体５中に、略Ｕ
字状に形成された導電性セラミックからなるセラミック
発熱体６を、Ｕ字状の折り返し部を先端側にして鋳ぐる
み状に埋設した構造とされている。このセラミック発熱
体６は、セラミックヒーター２の先端２ａ寄りの折り返
し部７ａから後端２ｃ寄り部位まで延びるように形成さ
れている。ただし、本形態では、折り返し部７ａを含む
先端２ａ側には抵抗値の高い組成のセラミック発熱体７
が配置され、折り返し部７ａを含まない後端２ｃ側には
抵抗値の低いセラミック発熱体８が配置されてなる複合
構造のセラミック発熱体６とされている。

【００１６】そして、セラミック発熱体６の両脚９の端
部（後端）６ｃ寄り部位の対向する両外側面が本形態で
はセラミックヒーター２の軸線Ｇと平行にかつ同方向に
一定長さにわたって露出するように、セラミック基体５
及びセラミック発熱体６が平面（平坦）状に研削され、
研削されて露出したセラミック発熱体６の両脚の表面を
リード線接合用端子１１としている。なお、リード線接
合用端子１１の軸線Ｇ方向に沿う長さは、リード線１
５、１５との接合に適切な強度が得られるように設定す
ればよい。ただし、本例ではリード線接合用端子１１の
軸線Ｇ方向に沿う長さは６ｍｍ、幅は３ｍｍとされてい
る。また本形態では、両リード線接合用端子１１は互い
に平行な平面とされている。

【００１７】このようなセラミックヒーター２をなすセ
ラミック発熱体６の両脚の露出面をリード線接合用端子
１１とし、本例では、矩形断面のクラッド金属からなる
リード線１５がその端部寄りの主面を当接した形でロウ
材２０により接合されている。ただし、本形態ではリー
ド線１５は、その幅Ｗが１．５ｍｍで、厚さが０．３ｍ
ｍの一定の横断面形状を呈し、銅の層１５ａと、コバー
ルの層１５ｂとの２層構造をなすクラッド金属が使用さ
れている。ただし、各金属層の厚さＴ１、Ｔ２はともに
０．１５ｍｍとされている。そして、その銅の層１５ａ
を介してリード線接合用端子１１にロウ材２０にて接合
されている。なお、その接合には本例ではＣｕ：９０％
で、活性金属としてＳｉ：３％、Ｐｄ：３％及びＴｉ：
４％を含むロウ材（以下、銅ロウともいう）２０が使用
されている。因みに、ロウ材層（以下、銅ロウ材層とも
いう）２０の厚さは５０〜１５０μｍの範囲となるよう
に設定されている。

【００１８】さて次に、このようなクラッド金属からな
るリード線１５を銅ロウによって接合してなる接合構造
の作用ないし効果について説明する。本形態では、リー
ド線接合用端子１１に、銅ロウ２０を用い、クラッド金
属からなるリード線１５をその銅の層１５ａを端子１１
に当接するようにして接合したものである。したがっ
て、そのロウ付け時にはリード線１５と端子１１との間
で、セラミックとの熱膨張差により両者には従来の接合
構造によるならば残留応力が発生するところ、本形態で
は、その銅の層１５ａが軟質なために変形する。このた
め、ロウ付け時の残留応力の発生が緩和、吸収される。
すなわち、本形態では、銅とコバールからなるクラッド
金属をリード線１５として用い、体積抵抗率が小さく熱
膨張系数が大きい銅の層１５ａを端子１１側に当接させ
るようにして接合したものである。このような銅は、強
度が小さく軟質であるため、応力を吸収する緩衝板の作
用をする。

【００１９】一方、リード線１５を構成する非接合側の
金属層１５ｂはコバールからなっているため、リード線
１５全体としての強度アップが図られる。すなわち、非
接合側の金属層１５ｂは体積抵抗率が大きく熱膨張系数
の小さいコバールであり、このような金属は、接合側の
金属層すなわち銅とは異なり、強度が高いため、その後
に熱サイクルが加えられても、リード線１５の破断を招
かない。したがって、耐久性及び信頼性の高い接合構造
となすことができる。

【００２０】なお、このようなクラッド金属を用いたリ
ード線１５の他端部は、ヒーター装置内に配置される別
の端子、例えば図示しない中軸といわれる部品の側面に
接合することになる。その際には、コバールからなる非
接合側の金属層１５ｂを同端子に当接して抵抗溶接する
ことで簡単にその接合をすることができる。

【００２１】さて次に本発明の別の実施の形態について
図４及び図５に基づいて説明する。ただし、本形態は、
リード線２５をなすクラッド金属を３層構造のものとし
た点のみが前記形態と相違するだけであり、本質的相違
点はないので、同一の部位には同一の符号を付し、その
相違点のみ説明する。

【００２２】すなわち、本形態では銅、コバール、及び
銅の３層構造（１５ａ、１５ｂ、１５ａ）のクラッド金
属からなるリード線２５をセラミックヒーターにおける
端子１１に接合したものである。しかして、本形態では
接合時に、いずれの面でもロウ付けできるため作業性に
優れる。このような３層構造のものでは、両表面をなす
銅の層１５ａの厚さＴ１、Ｔ３を一定とするとよい。こ
のようにしておけば、熱変化があっても基本的に曲げモ
ーメントが作用しないためである。なお、このように３
層構造とする場合において、リード線２５の他端部を前
記した中軸と接合する場合には、表面の金属層（銅）が
あると、その接合に抵抗溶接が困難となることから、そ
の接合個所のみ銅の層を削り落とせばよい。もっとも、
この部分の接合は機械的な接合構造としてもよいし、ロ
ウ付けで接合してもよい。

【００２３】本発明においてクラッド金属の構成素材
（層）又はその各金属層の厚さ、或いは接合に用いたロ
ウ材は、セラミックヒーターの用途ないし熱環境に応じ
て適宜のものとすればよい。さらに、本発明は、上記し
た実施形態のものに限定されるものではなく、その要旨
を逸脱しない限りにおいては適宜に変更して具体化でき
る。例えば、クラッド金属からなるリード線のうち、セ
ラミックヒーターにおける端子との接合部をなす端部寄
り部位についてのみ、幅広のパッド形状にしておいても
よい。また、リード線接合用端子が円筒面であれば、リ
ード線のうちセラミックヒーターにおける端子との接合
部をなす端部寄り部位を、これに倣う円筒面として接合
すればよい。さらに、ロウ付けに使用するロウ材は銀ロ
ウなど、セラミックヒーターの用途に応じて適宜のもの
を使用すればよい。

【００２４】以下、上記の各形態において、クラッド金
属の層の構成素材（金属）又はその各金属の層の厚さ比
等を変えた各種のリード線（クラッド金属）を用い、銅
ロウ又は金ロウで接合した接合体（セラミックヒータ
ー）の試料を作った。そして、ロウ付け後のリード線の
接合強度（破断強度）を測定し、その後、耐久試験を実
施し、熱サイクル評価を試験した。なお、リード線の横
断面の寸法は、クラッド金属でない比較例（従来技術）
の金属線も含め、その幅（全幅）Ｗが１．５ｍｍで、厚
さ（全厚）が、０．３ｍｍで一定のものである。

【００２５】熱サイクル評価の試験内容は、各試料を気
相の冷熱試験機にかけ、−３０℃で１分間保持と、５０
０℃で５分間保持の繰り返しによる熱サイクルを１００
０サイクル加えた。そして、評価は試験後において、セ
ラミックにおける接合部近傍のクラックの発生の様子
（有無）と抵抗値変化をみた。結果は表１に示した通り
である。ただし各試験結果とも５個の試験の平均値であ
る。

【００２６】なお、銅ロウは前記した組成のものであ
り、金ロウはＡｕ：９６％、Ｎｉ：３％、Ｔｉ：１％の
ものを使用した。因みに、ロウ付けの条件は、銅ロウに
よる場合には１０６０℃×１時間真空保持、金ロウによ
る場合には１０２０℃×１時間真空保持である。なお、
セラミックヒーターのセラミック基体をなす絶縁性セラ
ミックは、窒化珪素を主成分とするもの（Ｓｉ_３Ｎ_４：
８５質量％、希土類酸化物：１０質量％、ＳｉＯ_２：５
質量％）であり、先端側のセラミック発熱体は、ＷＣ：
５０質量％、Ｓｉ_３Ｎ_４：４４質量％、希土類酸化物：
４質量％、ＳｉＯ _２：２質量％とし、後端側のセラミッ
ク発熱体は、ＷＣ：６０質量％、Ｓｉ_３Ｎ _４：３５質量
％、希土類酸化物：３質量％、ＳｉＯ_２：２質量％とし
た。

【００２７】

【表１】

【００２８】試料Ｎｏ．１〜３のように、体積抵抗率が
小さく、熱膨張系数の大きい素材（Ｎｉ、Ｐｔ、Ｃｕ）
からなるリード線を接合した試料では、耐久試験後でも
抵抗値の変化は見られなかった。しかし、試料Ｎｏ．
１、３のＮｉ、Ｃｕのリード線ではロウ付け後の引張り
強度が低かった。そして、いずれも耐久試験後において
セラミックにクラックの発生が見られた。

【００２９】また、試料Ｎｏ．４〜６のように体積抵抗
率が大きく、熱膨張系数の小さい素材（コバール、４２
％Ｎｉ鋼、又は３６％Ｎｉ鋼のいずれかからなる単線）
からなるリード線を接合した試料では、ロウ付け後のリ
ード線の引張り強度は十分であり、耐久試験後における
セラミックのクラック発生も見られなかった。しかし、
耐久試験後における抵抗値変化が１３％以上と大きかっ
た。これは、この種の素材からなるリード線は高強度材
のため、ロウ付け時の残留応力が大きく、耐久試験にお
いて接合部にハガレが発生したものである。

【００３０】一方、本発明範囲である試料Ｎｏ．７〜１
７のものにおいては、試料Ｎｏ．１１のものを除き、い
ずれの試験内容についても問題はなかった。なお、試料
Ｎｏ．１１のものにおいて、ロウ付け後のリード線の引
張り強度が低かったのは、高強度材であるコバールの厚
さが銅の厚さの１／２と薄かったためである。ただし、
リード線の引張り強度（破断荷重）は破断荷重が７０Ｎ
あれば実用上の問題はない。

【００３１】また、上記の試験に使用した本発明範囲の
クラッド金属からなるリード線における、リード線接合
用端子に接合した金属の層は、その硬度がいずれもビッ
カース硬度においてＨｖ１００以下であった。これよ
り、リード線接合用端子に接合した金属の層はビッカー
ス硬度においてＨｖ１００以下の金属とすることで、緩
衝作用が得られることが分かった。

【００３２】なお、前記形態では、セラミックヒーター
を構成する、発熱体及びリード線接合用端子を導電性セ
ラミックとしたが、これらはＷ、Ｍｏなどの高融点金
属、或いはＷＣ、ＴｉＮ等の高融点金属化合物であって
もよいことはいうまでもない。また、本発明において、
セラミック基体をなす絶縁性セラミックについては、セ
ラミックヒーターの用途などに応じて適宜の材質、組成
の絶縁性セラミックで形成すればよい。

【００３３】

【発明の効果】以上の説明及び試験結果からも明らかな
ように、本発明によれば、セラミックヒーターのリード
線として上記したようにクラッド金属を用いて接合した
ことで、Ｃｕ、Ｎｉ等の緩衝板を介在させることなく、
リード線接合部に要求される応力の緩衝作用とリード線
の強度を兼ね備えたものとなることから、信頼性の高い
電気的接続を構造の複雑化を招くことなく実現できる。
しかも、緩衝板を要する接合構造に比べると、そのよう
な別途、独立の部品が不要となるから、その分、コスト
の低減も期待される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るセラミックヒーターの実施形態の
正面縦断面図及びそのリード線接合用端子とリード線と
のリード線接合部の拡大図。

【図２】図１の拡大図を矢印Ａ方向から見た図。

【図３】図１の拡大図のＢ−Ｂ線断面図。

【図４】別形態のリード線接合用端子とリード線との接
合部の拡大図。

【図５】図４の拡大図のＢ−Ｂ線断面図。

【図６】従来のセラミックヒーターの正面縦断面図。

【符号の説明】

２セラミックヒーター５窒化珪素セラミック基体６発熱体７、８導電性セラミック１１リード線接合用端子１５、２５リード線１５ａ体積抵抗率が小さく熱膨張系数が大きい金属の
層１５ｂ体積抵抗率が大きく熱膨張系数の小さい金属の
層２０リード線接合用端子とリード線を接合するロウ材
（ロウ材層）Ｇセラミックヒーターの軸線

フロントページの続きＦターム(参考） 3K092 PP16 PP20 QA01 QB03 QC02 QC05 QC19 QC38 QC43 QC52 VV01 VV26 VV35 VV36

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】絶縁セラミック基体中に発熱体を埋設
し、この発熱体に導通を保持して連なるリード線接合用
端子にリード線を接合してなるセラミックヒーターにお
いて、前記リード線をクラッド金属で形成し、そのクラッド金
属は、体積抵抗率が小さく熱膨張系数が大きい金属の層
と、体積抵抗率が大きく熱膨張系数の小さい金属の層と
を含む構成のものとし、前記金属の層のうち、体積抵抗率が小さく熱膨張系数が
大きい金属の層をリード線接合用端子に接合したことを
ことを特徴とするセラミックヒーター。
【請求項２】前記金属の層のうち、前記リード線接合
用端子に接合した金属の層が、Ｃｕ、Ｎｉ、Ａｇ、Ｐｔ
又はＡｕのうちのいずれかからなることを特徴とする請
求項１記載のセラミックヒーター。
【請求項３】前記金属の層のうち、体積抵抗率が大き
く熱膨張系数の小さい金属の層が、Ｆｅ−Ｎｉ合金又は
Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金からなることを特徴とする請求項
１又は２に記載のセラミックヒーター。
【請求項４】前記クラッド金属は、３層構造からなる
ことを特徴とする請求項１、２又は３に記載のセラミッ
クヒーター。
【請求項５】請求項４において、前記クラッド金属
の両方の表面層が同一素材からなりかつ同一厚さからな
ることを特徴とするセラミックヒーター。